JPH11145239A - 基板処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 カセットからの基板の飛び出しを防止する基
板処理装置を提供する。 【解決手段】 隔壁１２の開口部１２ａを塞ぐためのシ
ャッター部材５に当接部材８を装着する。カセットステ
ージ２に載置されたカセット１に向けて、当接部材８を
移動させることで、カセット１から飛び出している基板
Ｗに当接部材を当接させる。さらに、当接部材８をカセ
ット１に向けて前進させて、この基板Ｗをカセット１内
に押し込む。その結果、カセット１内の全ての基板Ｗ
は、カセット１から飛び出すことなく整列するので、基
板Ｗの飛び出しに起因する装置の停止を防止することが
でき、処理効率を向上することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、複数枚の基板を収
納するカセットから基板を取り出し、この基板に所定の
処理を行う基板処理装置に係り、特にカセットから基板
が飛び出すことを防止する技術に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば、半導体ウエハ、液晶表示用ガラ
ス基板、フォトマスク用ガラス基板、光ディスク用ガラ
ス基板などの基板に各種の処理を行う基板処理装置はク
リーンルーム内に設置されている。各基板処理装置の間
における基板の搬送は、複数枚の基板をカセットに収納
した状態で行われている。そして、従来の基板処理装置
は、このカセットを載置するための載置部に置かれたカ
セットから基板を取り出して、基板に所定の処理を行う
処理部にまで基板を搬送するための基板搬送機構を備え
ている。この基板搬送機構によってカセットから基板を
取り出すときに、基板がカセットから飛び出している
と、処理部の所定の位置へ基板を置くことができなかっ
たり、基板搬送機構が基板を落下させてしまうといった
不都合が生じる。そこで、この種の基板処理装置は、載
置部に載置されたカセットの開口面から基板端面の飛び
出しを検出する、透過型の光センサなどで構成された基
板検出手段を備えている。このカセットの開口面からの
基板端面の飛び出しは、例えばオペレータが載置部にカ
セットを載置する際の衝撃によって発生したり、また、
装置等の振動によって、カセット内の基板が振動して、
徐々に基板がカセットの開口に向かって移動することに
よって発生する。

【０００３】基板処理装置は、基板が収納されたカセッ
トが載置部に載置されると、基板検出手段によって、カ
セットの開口から飛び出しかけている基板を検出する。
この基板の飛び出しが検出されたら、基板処理装置は、
カセットからの基板の取り出しを中止するとともに、オ
ペレータに音や光などで警告を行う。この警告により、
オペレータは、飛び出しかけている基板をカセット内に
戻し、再度、載置部にカセットを載置することで、処理
が続行される。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の基板処理装置の構成では、載置部に載置され
たカセットの開口面から基板の端面が飛び出すたびに、
装置での処理が中断されてしまうので、処理効率が低下
するという問題がある。

【０００５】また、近年の半導体ウエハの大型化に伴っ
て、この半導体ウエハを収納するカセットについて、新
たな規格が取り決められている。この規格に準じたカセ
ットは、半導体ウエハを取り出すための開口に蓋が取付
けられている。この蓋付きカセットを使用するために、
基板処理装置には、蓋を着脱するための機構が搭載され
ている。しかし、このような蓋を開閉する機構を備えた
基板処理装置には、構造的な問題で基板検出手段を取り
付けることができないが、実際には蓋付きカセットと、
従来のカセットとを同一の基板処理装置にて併用する場
合が多くある。したがって、従来のカセットを使用する
場合には、カセットからの基板の飛び出しが検出できな
いので、搬送不良や基板の落下などにより装置での処理
が中断するという問題がある。

【０００６】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たものであって、カセットからの基板の飛び出しを防止
して、基板搬送機構によるカセットからの基板の取り出
しを円滑に行うことができる基板処理装置を提供するこ
とを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明は、このような目
的を達成するために、次のような構成をとる。すなわ
ち、請求項１に記載の発明は、複数枚の基板を収納する
カセットから基板搬送機構によって基板を取り出し、こ
の基板に所定の処理を行う基板処理装置において、前記
カセットを載置する載置部と、前記載置部に載置された
カセットに収納されている複数枚の基板の端面に当接さ
せる当接部材と、前記載置部に載置されたカセットと前
記当接部材とを相対移動させて、前記当接部材をカセッ
トに収納されている複数枚の基板の端面に当接させる相
対移動機構とを備えたことを特徴とするものである。

【０００８】請求項２に記載の発明は、請求項１に記載
の基板処理装置において、前記装置はさらに、前記基板
に所定の処理を行う処理部と前記載置部とを仕切る隔壁
に設けられた通過口を介して、前記基板搬送機構による
カセットからの基板の取り出し・収納を許容するように
前記通過口を開閉するシャッターを備え、前記当接部材
は、前記カセットに対向するシャッターの片面に設けら
れていることを特徴とするものである。

【０００９】請求項３に記載の発明は、請求項２に記載
の基板処理装置において、前記相対移動機構は、前記シ
ャッターをカセットの開口方向に後退及び前進させると
ともに、通過口を基板が通過する際に前記基板搬送機構
の動作範囲以外にシャッターを退避させるシャッター駆
動機構である。

【００１０】請求項４に記載の発明は、請求項２に記載
の基板処理装置において、前記相対移動機構は、前記載
置部に載置されたカセットを、前記カセットに対向する
シャッターの片面に近接する位置にまで移動させるカセ
ット駆動機構である。

【００１１】請求項５に記載の発明は、請求項２に記載
の基板処理装置において、前記当接部材は、前記カセッ
トに対向するシャッターの片面に着脱可能に取り付けら
れている。

【００１２】

【作用】請求項１に記載の発明の作用は次のとおりであ
る。すなわち、相対移動機構は、複数枚の基板を収容し
て載置部に載置されたカセットと当接部材とを相対移動
させる。当接部材は、この相対移動によって、カセット
に収納されている複数枚の基板の端面に当接して基板を
カセットの奥側に押し入れることで基板を整列させる。

【００１３】請求項２に記載の発明によれば、載置部に
載置されたカセットとシャッターとが相対移動すること
により、シャッターの片面に設けられた当接部材がカセ
ット内の基板に当接し、基板をカセットの奥側へ押しい
れて基板を整列させる。

【００１４】請求項３に記載の発明によれば、前記相対
移動機構であるシャッター駆動機構が、シャッターをカ
セットの開口方向に移動させることにより、シャッター
の片面に取り付けられた当接部材がカセット内の基板の
端面に当接して基板を整列させる。

【００１５】請求項４に記載の発明によれば、相対移動
機構であるカセット駆動機構が、載置部に載置されたカ
セットをシャッターの方へ移動させることにより、シャ
ッターの片面に取り付けられた当接部材がカセット内の
基板に当接して基板を整列させる。

【００１６】請求項５に記載の発明によれば、シャッタ
ーの片面に取付けらた当接部材を取り外した場合には、
シャッターは単に通過口を開閉するために使用される一
方、当接部材を取付けた場合には、シャッターは通過口
の開閉とともに、カセット内の基板の整列のためにも使
用される。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施例を説明する。図１は本発明の実施例に係る基板処理
装置の要部の概略構成を示す平面図である。図２はその
側面図である。なお、この実施例の基板処理装置は、Ｆ
ＯＵＰ(Front Open Unified Pod)カセットと呼ばれてい
る、基板を取り出し・収納するための開口に蓋が取り付
けられているカセットと、オープンカセットと呼ばれて
いる、蓋のない通常のカセットとに対応した基板処理装
置である。カセットからの基板の飛び出しが問題となる
のは、オープンカセットであるので以下の説明では、こ
のオープンカセット（以下、単に「カセット」と呼ぶ）
がセットされた場合を例に採って説明する。

【００１８】この基板処理装置は、基板Ｗをカセット１
から取り出して、この基板Ｗに所定の処理を施す処理部
２０と、カセット１を載置する載置部３とが隔壁１２で
隔てられて構成されている。載置部３には、カセット１
を載置する複数個（本実施例では４個）のカセットステ
ージ２が設けられている。

【００１９】カセットステージ２には、カセット１が載
置されたことを検出するために、反射センサやプッシュ
スイッチなどで構成された図示しない検出手段がカセッ
ト１の載置面に設けられている。また、カセットステー
ジ２は、その下方に設けられたカセット駆動機構４によ
って、隔壁１２方向（Ｙ方向）に進退移動可能に構成さ
れている。

【００２０】カセット駆動機構４は、カセットステージ
２の下面に設けられた凸部２ａに螺合する螺軸４ｂを電
動モータ４ａで駆動する、いわゆる螺子送り機構によっ
て構成されている。カセットステージ２にカセット１が
載置されると、電動モータ４ａが螺軸４ｂを正回転させ
てカセットステージ２を隔壁１２に向かって前進させ
る。また、カセット１内の全ての基板Ｗの処理が終了す
ると、電動モータ４ａは、螺軸４ｂを逆回転してカセッ
トステージ２を後退させる。

【００２１】隔壁１２には、カセット１の開口と対向す
る位置に、カセット１の開口とほぼ同じ面積の開口部１
２ａが設けられている。この開口部１２ａは、カセット
１から基板Ｗの取り出し・収納を行うためのものであ
り、カセット１が載置されていない場合には、装置内外
の雰囲気を遮断するためにシャッター部材５によって閉
じられている。

【００２２】このシャッター部材５は、シャッター駆動
機構７に取り付けられている。シャッター駆動機構７
は、シャッター部材５をＺ方向に昇降可能にする昇降機
構７ａと、Ｙ方向に進退可能にする進退機構７ｂとで構
成されている。昇降機構７ａは、図示しない電動モータ
の回転によってシャッター部材５を昇降させるための螺
子送り機構で構成されている。進退機構７ｂは、昇降機
構７ａを進退させる螺子送り機構で構成され、進退機構
７ｂにより昇降機構７ａを進退させることで、シャッタ
ー部材５を進退可能としている。

【００２３】このシャッタ駆動機構７は、カセットステ
ージ２にカセット１が載置されると、シャッター部材５
を後退移動させるとともに、隔壁１２の開口部１２ａの
下方に設けられた、当接部材８を保持する当接部材保持
領域１３にまで下降させ、さらに、当接部材８に近接す
る位置にまでシャッター部材５を前進移動させる。な
お、シャッター駆動機構７は、本発明における相対移動
機構に相当する。

【００２４】シャッター部材５は、当接部材保持領域１
３に保持される当接部材８に近接する位置にまで移動す
ることで、シャッター部材５に備えるロック機構６によ
って、当接部材８を装着する。

【００２５】当接部材８は、図３に示すように、板部材
８ａの片面に、基板Ｗを当接させるための細長い半円柱
形の一対の凸部材８ｂを鉛直方向に対向配置して構成さ
れている。この凸部材８ｂは、基板Ｗの端面に当接させ
るので、当接の際の衝撃を緩和し、かつ基板Ｗを汚染し
ない材質、例えばフツ素樹脂などで形成されている。ま
た当接部材８は、板部材８ａに設けられた保持機構３０
（図４参照）によって、当接部材保持領域１３に保持さ
れる一方、シャッター部材５に装着される場合には、シ
ャッター部材５のロック機構６に連結接続される。この
保持機構３０を図４に示す。なお、保持機構３０は、本
発明における、シャッターを当接部材に取り付けるため
の着脱機構に相当する。また、本発明の当接部材は、こ
の実施例に示す当接部材８の形状に限定するものではな
い。例えば、板部材８ａに取り付けられた凸部材８ｂは
１個でもよく、また、カセット１内の全ての基板Ｗにの
み同時に当接する形状であればよい。

【００２６】図４中、鎖線は、当接部材保持領域１３を
示す。この当接部材保持領域１３は、載置部３の開口部
１２ａの下方に設けられ、当接部材８を収納できるよう
な凹形状に形成されている（図２参照）。板部材８ａの
保持機構３０は、基端部にラック３３が刻設された２本
のロック部材３２と、ラック３３に噛み合う回転自在な
ピニオン３４とが埋設されて構成されている。保持機構
３０は、板部材８ａに埋設する各ロック部材３２の先端
部の爪３２ａを、当接部材保持領域１３に設けられた図
示しないロック穴に挿入させることで、当接部材保持領
域１３に当接部材８を固定保持する。なお、ピニオン３
４は、図示しないバネ機構により、爪３２ａが板部材８
ａの端面から突出するように付勢されている。

【００２７】また、図５に示すように、シャッター部材
５に備えるロック機構６は、当接部材８のピニオン３４
に設けられた２個の孔３４ａに嵌入する２本の連結部材
６ａと、この連結部材６ａを回転駆動する電動モータ６
ｂとで構成されている。なお、当接部材８とシャッター
部材５とは、図６に示すように装着される。

【００２８】シャッター部材５のロック機構６は、当接
部材保持領域１３から当接部材８を取り外すために、次
のように動作する。シャッター部材５が、当接部材８に
近接する位置にまで来ると、ロック機構６に備える連結
部材６ａが、ピニオン３４の孔３４ａに嵌入され、モー
タ６ｂが回転駆動し、ピニオン３４を回転させる。この
回転が、ラック３３を介してロック部材３２を下降させ
て、当接部材保持領域１３と当接部材８とのロックを解
除し、当接部材８を取り外し可能にする。ロックが解除
された当接部材８は、シャッター部材５のロック機構６
の連結部材６ａによって連結接続される。したがって、
シャッター部材５に当接部材８が装着された状態になる
ので、シャッター駆動機構７によって当接部材８もシャ
ッター部材５と一体に進退昇降移動させることができ
る。また、当接部材８を当接部材保持領域１３に固定保
持させる場合には、シャッター駆動機構７によってシャ
ッター部材５に装着した当接部材８を、当接部材保持領
域１３に移動させた後、ロック機構６の電動モータ６ｂ
を逆回転させる。この回転が、ロック部材３２を上昇さ
せて、当接部材保持領域１３に当接部材８を取り付ける
ことができる。なお、当接部材８は、連結部材６ａによ
って連結接続されるだけでなく、例えばシャッター部材
５に真空吸着機構を設けて、当接部材８をシャッター部
材５に吸着保持させるように構成してもよい。なお、本
実施例装置にＦＯＵＰカセットがセットされた場合に
は、シャッター部材５に備えるロック機構６は、ＦＯＵ
Ｐカセットの蓋を着脱するのに使用することもできる。

【００２９】図７（ａ）に示すように、当接部材保持領
域１３で当接部材８を装着したシャッター部材５は、後
退移動した後、開口部１２ａの高さにまで上昇する。こ
のとき、カセットステージ２の前進移動は終了し、カセ
ット１の開口は、隔壁１２の開口部１２ａ近傍で停止し
ている。次に、シャッター部材５は、カセット１の開口
に向かって（−Ｙ方向）前進移動する。シャッター部材
５が開口部１２ａに近づく途中で、当接部材８は、カセ
ット１から飛び出している基板Ｗ_i の端面に当接する。
さらに、シャッター部材５が前進移動すると、図７
（ｂ）に示すように、当接した基板Ｗ_i は当接部材８に
よってカセット１内に押し込まれる。シャッター部材５
の前進移動が終了した際には、カセット１内の全ての基
板Ｗが当接部材８によってカセット１内に押し込まれて
整列した状態となる。なお、シャッター駆動機構７は、
シャッター部材５の前進移動が終了した位置を基準とし
て、カセット１内の基板Ｗを押し過ぎないような適切な
ストロークで前進するように設置されている。

【００３０】シャッター駆動機構７は、シャッター部材
５の前進移動が終了すると、再び当接部材保持領域１３
にまでシャッター部材５を移動させる。シャッター部材
５が、当接部材保持領域１３に移動すると、基板搬送機
構９によって、処理部２０への基板Ｗの搬送を開始す
る。

【００３１】基板搬送機構９は、基板Ｗを保持するアー
ム９ａを備えている。この保持アーム９ａは、図１に示
すような「Ｉ」の字型の形状となっているが、例えば
「Ｕ」の字型の形状であってもよい。このアーム９ａ
は、基板Ｗの下面を点接触で支持する図示しない複数本
の支持ピンを備え、搬送中の基板Ｗの脱落や位置ズレな
どを防止するために基板Ｗの周辺に点接触する部材が設
けられている。

【００３２】基板搬送機構９は、次のように構成されて
いる。図１、図２に示すように、アーム９ａは、アーム
支持台９ｂに配備された螺子送り機構によって、水平面
内で進退移動可能に構成されている。次に、アーム支持
台９ｂは、アーム回転台９ｃに内蔵された電動モータの
出力軸に連結支持されている。この電動モータの回転に
よって、アーム９ａは、水平面内で回転可能となる。さ
らに、アーム回転台９ｃは、螺子送り機構で構成された
昇降機構９ｄによって、昇降可能に構成されている。ま
た、昇降機構９ｄは、水平面内のＸ方向にスライド移動
可能なスライド駆動機構９ｅに搭載されている。

【００３３】上述した構成によって、アーム９ａは、次
のように動作する。スライド移動機構９ｅは、載置部３
に載置された所定のカセット１に対向する位置にまでア
ーム９ａをスライド移動させる。カセット１内の最上段
の基板Ｗを取り出すために、アーム９ａを上昇させ、さ
らにアーム９ａを基板Ｗの下面にまで前進移動させ、ア
ーム９ａの上に基板Ｗを保持した後に、アーム９ａを後
退させて、基板Ｗをカセット１から取り出す。スライド
移動機構９ｅは、アーム９ａを装置のほぼ中央付近にま
で移動させて、処理部２０の基板搬送機構に基板Ｗを受
け渡す。処理部２０で基板Ｗの処理が終了すると、基板
搬送機構９は、処理部２０から基板Ｗを受け取り、再び
その基板Ｗを取り出したカセット１内に収納する。この
処理をカセット１の全ての基板Ｗに対して行う。

【００３４】カセット１の全ての基板Ｗの処理が終了
し、カセット１に全ての基板Ｗが収納されると、シャッ
ター部材５は、ロック機構６を動作させて、当接部材８
を当接部材保持領域１３に固定保持する。当接部材８が
離脱されたシャッター部材５は、シャッター駆動機構７
によって、開口部１２ａにまで移動され、開口部１２ａ
は、シャッター部材５によって塞がれる。カセット１が
載置されたカセットステージ２は、カセット駆動機構４
によって後退移動し、カセット１をカセット取り上げ位
置にまで移動させる。

【００３５】また、この実施例では、従来のカセット
（オープンカセット）１に就いて説明したが、ＦＯＵＰ
カセットを使用する場合には、次のように動作する。ま
ず、カセットステージ２にＦＯＵＰカセットが載置され
ると、カセットステージ２は、開口部１２ａを塞いでい
るシャッター部材５に近接した位置にまで、前進移動す
る。次に、シャッター部材５のロック機構６によって、
ＦＯＵＰカセットの蓋が取外される。シャッター部材５
は、この蓋を保持したまま下降して待機する。この状態
で、基板搬送機構９によって基板Ｗの搬送を行う。ＦＯ
ＵＰカセット内の全ての基板Ｗの処理が終了すると、蓋
を保持するシャッター部材５は、ＦＯＵＰカセットの開
口にまで移動し、蓋を取り付ける。ＦＯＵＰカセットに
蓋が取り付けられると、カセットステージ２は、後退し
てＦＯＵＰカセットをカセット取り上げ位置にまで持っ
てくる。

【００３６】本発明は、以下のように変形実施すること
も可能である。

【００３７】（１）上記実施例では、当接部材８を隔壁
１２の開口部１２ａの下方に収納するように構成した
が、この場所に当接部材８を収納するためのスペースを
設けることが出来ない場合には、例えばシャッター部材
５のカセット１に対向する片面に、ネジ孔を設ける一
方、当接部材８には、このネジ孔に対応する位置に貫通
孔を設けることで、当接部材８をシャッタ部材５にネジ
止めするように構成してもよい。こうすることで、隔壁
１２の外側（載置部３側）から当接部材８を容易に着脱
することができる。

【００３８】（２）上記実施例では、相対移動機構をシ
ャッター駆動機構７で構成して、当接部材８をカセット
１に向けて移動させることにより、カセット１内の基板
Ｗを整列させたが、例えば、相対移動機構をカセット移
動機構４で構成し、静止している当接部材に向けてカセ
ットを移動させることもできる。

【００３９】例えば、図８（ａ）に示すように、隔壁１
２の開口部１２ａを、当接部材８が予め装着されたシャ
ッター部材５で塞いでおく。カセット１が、カセットス
テージ２に載置されると、カセットステージ２はカセッ
ト駆動機構４によって前進移動する。カセット１の開口
が当接部材８に向かって移動するので、カセット１から
飛び出した基板Ｗ_i は、当接部材８に当接する（図８
（ｂ））。さらに、カセットステージ２は前進移動する
ので、この基板Ｗ_i はカセット１内に押し込まれる。カ
セットステージ２の前進移動が終了したときには、当接
部材８によって、全ての基板Ｗがカセット１内に押し込
まれて整列される（図８（ｃ））。そして、当接部材８
が装着されたシャッター部材５は、基板搬送機構９の動
作範囲以外にまで移動退避し、基板搬送機構９による基
板Ｗの搬送が開始される。このとき、当接部材８は、変
形例（１）のように、シャッター部材５にネジ止めして
装着するようにしてもよい。

【００４０】（３）上記実施例では、ＦＯＵＰカセット
に対応する基板処理装置について説明したが、ＦＯＵＰ
カセットに対応していない基板処理装置に、前記シャッ
ター駆動機構７又はカセット駆動機構４に相当する相対
移動機構を設けることもできる。この場合には、従来の
基板処理装置において、基板の飛び出しを検出する検出
手段で、基板の飛び出しが検出されると、当接部材を備
える相対移動機構が稼働して、本実施例と同様にして、
当接部材によりカセット内に基板を押し入れるように構
成する。このような構成にすれば、カセットからの飛び
出しがあっても、装置が停止することがないので、処理
効率を向上することができる。

【００４１】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、請求項
１に記載の発明によれば、載置部に置かれたカセットの
開口から飛び出した基板を、当接部材によってカセット
内の奥側へ押し入れて、基板を整列させることができる
ので、基板の飛び出しによる処理の停止を防止すること
ができ、処理効率を向上することができる。また、その
結果、装置自体の振動などによって、カセットから基板
が落下するような事態をも防止することができるので、
基板の製造歩留りも向上することができる。

【００４２】請求項２に記載の発明によれば、基板処理
装置に備わっている構造であるシャッターに当接部材を
取付けるので、装置の製造コストの上昇を最小限に抑え
ることができる。

【００４３】請求項３に記載の発明によれば、シャッタ
ー駆動機構を相対移動機構として利用しているので、当
接部材を駆動するための構造を新たに設ける必要がな
く、簡単な構成によってカセットからの基板の飛び出し
による装置異常を防止することができる。

【００４４】請求項４に記載の発明によれば、カセット
駆動機構を相対移動機構として利用しているので、当接
部材を駆動するための構造を新たに設ける必要がなく、
簡単な構成によってカセットから基板の飛び出しによる
装置異常を防止することができる。

【００４５】請求項５に記載の発明によれば、当接部材
はシャッターに着脱自在に取り付けられているので、基
板が飛び出さない構造となっているカセット（ＦＯＵＰ
カセット）を使用する場合には、当接部材を取り外して
シャッターとして使用する一方、基板が飛び出してしま
う構造となっているカセット（オープンカセット）を使
用する場合には、当接部材を取り付けることができる。
したがって、複数種類のカセットが混在して使用される
状況においても、確実にカセットからの基板の飛び出し
を防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例に係る基板処理装置の概略構成
を示す平面図である。

【図２】実施例に係る装置の概略構成を示す側面図であ
る。

【図３】実施例の当接部材を示す斜視図である。

【図４】実施例の当接部材に埋設される保持機構を示す
概略断面図である。

【図５】実施例のシャッター部材に設けられたロック機
構を示す概略断面図である。

【図６】実施例のシャッター部材と当接部材との分解斜
視図である。

【図７】実施例の当接部材を装着したシャッター部材の
動作を示す図である。

【図８】変形例において当接部材に向かってカセットを
移動させた場合の動作を示す図である。

【符号の説明】

１ …カセット ２ …カセットステージ ３ …載置部 ４ …カセット駆動機構 ５ …シャッター部材 ６ …ロック機構 ７ …シャッター駆動機構 ８ …当接部材 ８ａ…凸部材 ８ｂ…板部材 ９ …基板搬送機構 １２ …隔壁 １２ａ…開口部 １３ …当接部材保持領域 ３０ …保持機構 Ｗ …基板

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数枚の基板を収納するカセットから基
   板搬送機構によって基板を取り出し、この基板に所定の
   処理を行う基板処理装置において、 前記カセットを載置する載置部と、 前記載置部に載置されたカセットに収納されている複数
   枚の基板の端面に当接させる当接部材と、 前記載置部に載置されたカセットと前記当接部材とを相
   対移動させて、前記当接部材をカセットに収納されてい
   る複数枚の基板の端面に当接させる相対移動機構とを備
   えたことを特徴とする基板処理装置。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の基板処理装置におい
   て、前記装置はさらに、 前記基板に所定の処理を行う処理部と前記載置部とを仕
   切る隔壁に設けられた通過口を介して、前記基板搬送機
   構によるカセットからの基板の取り出し・収納を許容す
   るように前記通過口を開閉するシャッターを備え、 前記当接部材は、前記カセットに対向するシャッターの
   片面に設けられていることを特徴とする基板処理装置。
3. 【請求項３】 請求項２に記載の基板処理装置におい
   て、 前記相対移動機構は、前記シャッターをカセットの開口
   方向に後退及び前進させるとともに、通過口を基板が通
   過する際に前記基板搬送機構の動作範囲以外にシャッタ
   ーを退避させるシャッター駆動機構である基板処理装
   置。
4. 【請求項４】 請求項２に記載の基板処理装置におい
   て、 前記相対移動機構は、前記載置部に載置されたカセット
   を、前記カセットに対向するシャッターの片面に近接す
   る位置にまで移動させるカセット駆動機構である基板処
   理装置。
5. 【請求項５】 請求項２に記載の基板処理装置におい
   て、 前記当接部材は、前記カセットに対向するシャッターの
   片面に着脱可能に取り付けられている基板処理装置。