JPH0611069B2 - ウエハ整列装置 - Google Patents
ウエハ整列装置Info
- Publication number
- JPH0611069B2 JPH0611069B2 JP24625585A JP24625585A JPH0611069B2 JP H0611069 B2 JPH0611069 B2 JP H0611069B2 JP 24625585 A JP24625585 A JP 24625585A JP 24625585 A JP24625585 A JP 24625585A JP H0611069 B2 JPH0611069 B2 JP H0611069B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- cassette
- hand
- aligning
- wafers
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［発明の属する分野］ 本発明はウエハ整列装置に関し、詳しくは、ＩＣ，ＬＳ
Ｉ等の製造工程で用いられるウエハカセット（ウエハ収
納箱）からのウエハ挿脱を直進型ハンドを用いて行なう
ウエハ搬送装置において、ウエハカセット内でウエハを
整列させる装置に関する。
Ｉ等の製造工程で用いられるウエハカセット（ウエハ収
納箱）からのウエハ挿脱を直進型ハンドを用いて行なう
ウエハ搬送装置において、ウエハカセット内でウエハを
整列させる装置に関する。
［従来技術］ 従来、半導体製造装置でのウエハの搬送においては、ウ
エハ挿脱口側から直進型のハンドを挿入する方式がよく
用いられている。これは、直接、ウエハカセットよりウ
エハをハンドに載せて取出す方式である。この方式によ
れば、ウエハカセットの任意の部分からウエハを取出し
また同じ位置に戻すことが可能となるので、すべてのカ
セットを供給および回収兼用のカセットにすることがで
き、装置が小形化できるメリットがある。
エハ挿脱口側から直進型のハンドを挿入する方式がよく
用いられている。これは、直接、ウエハカセットよりウ
エハをハンドに載せて取出す方式である。この方式によ
れば、ウエハカセットの任意の部分からウエハを取出し
また同じ位置に戻すことが可能となるので、すべてのカ
セットを供給および回収兼用のカセットにすることがで
き、装置が小形化できるメリットがある。
第３図は、従来のウエハ搬送装置の概略構成を示す。同
図において、１は直進ハンド、２は直進ハンド１の駆動
部である。また、４はウエハ、５はウエハ４を収納する
ウエハカセット、６はウエハカセット５を載置する台で
ある。19はハンド１の移動方向を示す。
図において、１は直進ハンド、２は直進ハンド１の駆動
部である。また、４はウエハ、５はウエハ４を収納する
ウエハカセット、６はウエハカセット５を載置する台で
ある。19はハンド１の移動方向を示す。
ところで、このような直進型ハンドによる方式ではハン
ドに略具合よくウエハを載置する必要がある。もしウエ
ハカセットよりウエハが余り大きく飛び出していると様
々な不具合が生ずるからである。例えば、ウエハ挿脱口
でハンドがウエハ取出しのため上下（第３図矢印19方
向）したときウエハを破損する危険がある。また、ウエ
ハがハンド上にずれて載置され、次工程でチャックにウ
エハを搭載しようとしてもウエハがバキューム吸着溝か
ら離れてしまってうまく挿着できなかったり、静電容量
型のセンサでプリアライメントしようとするときはその
検知範囲からウエハ端面がはみ出してうまく検知できな
い、またウエハを一旦ウエハカセット内の所定位置に整
列させても、装置の振動等で再び飛び出すことがある等
の問題があった。
ドに略具合よくウエハを載置する必要がある。もしウエ
ハカセットよりウエハが余り大きく飛び出していると様
々な不具合が生ずるからである。例えば、ウエハ挿脱口
でハンドがウエハ取出しのため上下（第３図矢印19方
向）したときウエハを破損する危険がある。また、ウエ
ハがハンド上にずれて載置され、次工程でチャックにウ
エハを搭載しようとしてもウエハがバキューム吸着溝か
ら離れてしまってうまく挿着できなかったり、静電容量
型のセンサでプリアライメントしようとするときはその
検知範囲からウエハ端面がはみ出してうまく検知できな
い、またウエハを一旦ウエハカセット内の所定位置に整
列させても、装置の振動等で再び飛び出すことがある等
の問題があった。
そこで、ウエハ脱出動作に先立ってウエハを一旦整列さ
せる必要がある。このため、従来は必ず一回、手動等に
よりウエハカセットを挿脱口側を天にして傾倒せしめ、
しかる後ウエハカセットを揺動せしめウエハを整列して
いた。この方法だとウエハに対して頻繁に振動を与える
こととなり、その分ウエハ損傷の確率が高くなるという
欠点があった。
せる必要がある。このため、従来は必ず一回、手動等に
よりウエハカセットを挿脱口側を天にして傾倒せしめ、
しかる後ウエハカセットを揺動せしめウエハを整列して
いた。この方法だとウエハに対して頻繁に振動を与える
こととなり、その分ウエハ損傷の確率が高くなるという
欠点があった。
［発明の目的］ 本発明は上述の従来形における問題点に鑑み、ウエハ挿
脱口のウエハ理想整列位置よりある一定量離れた位置に
ウエハの有無を検知するためのセンサを設け、ウエハが
検知されなかったときは整列動作を行なわず、ウエハが
有るとき即ちカセットからウエハが飛び出したときのみ
ウエハカセットを傾けてウエハを整列させるという構想
に基づき、ウエハがカセット挿脱口から飛び出したこと
が原因となって発生するウエハの損傷を大幅に少なく
し、全体としてウエハの損傷の確率を小さくすることを
目的とする。
脱口のウエハ理想整列位置よりある一定量離れた位置に
ウエハの有無を検知するためのセンサを設け、ウエハが
検知されなかったときは整列動作を行なわず、ウエハが
有るとき即ちカセットからウエハが飛び出したときのみ
ウエハカセットを傾けてウエハを整列させるという構想
に基づき、ウエハがカセット挿脱口から飛び出したこと
が原因となって発生するウエハの損傷を大幅に少なく
し、全体としてウエハの損傷の確率を小さくすることを
目的とする。
［発明の概要］ 上記目的を達成するため、本発明のウエハ整列装置は、
ウエハカセットからのウエハ取出しをカセットのウエハ
挿脱口側のウエハと対抗する位置に直進型ハンドを設
け、該ハンドをカセット内にウエハに接触しないように
挿入し、その進入方向と直角方向にハンドを移動せし
め、ハンド上にウエハを載置し、しかる後にハンドをカ
セットのウエハ挿脱口側に脱出せしめてウエハを取出す
ウエハ搬送装置において、ウエハ挿脱口側のウエハの理
想整列位置よりある一定量離れた位置にウエハの有無を
検知できる検知手段を設けてウエハを脱出させる動作に
先立ちウエハの有無を検知し、無しのときはそのまま、
有りのときはウエハを一旦整列させた後に、ハンドをウ
エハカセットに挿入してウエハを取出すことを特徴とす
る。
ウエハカセットからのウエハ取出しをカセットのウエハ
挿脱口側のウエハと対抗する位置に直進型ハンドを設
け、該ハンドをカセット内にウエハに接触しないように
挿入し、その進入方向と直角方向にハンドを移動せし
め、ハンド上にウエハを載置し、しかる後にハンドをカ
セットのウエハ挿脱口側に脱出せしめてウエハを取出す
ウエハ搬送装置において、ウエハ挿脱口側のウエハの理
想整列位置よりある一定量離れた位置にウエハの有無を
検知できる検知手段を設けてウエハを脱出させる動作に
先立ちウエハの有無を検知し、無しのときはそのまま、
有りのときはウエハを一旦整列させた後に、ハンドをウ
エハカセットに挿入してウエハを取出すことを特徴とす
る。
［実施例の説明］ 以下、図面を用いて本発明の実施例を説明する。
第１，２図は本発明の一実施例に係るウエハ整列装置の
構成を示す。なお、従来例と共通または対応する部分に
ついては同一の符番で示す。第１，２図において、２は
直進ハンド１の駆動部でありまたウエハ４がカセット５
内のどの部分にあるか検知するための検知機構部でもあ
る。３は検知機構部２と同じくウエハ検知のためのミラ
ーである。また、ウエハカセット５を載置する台６はカ
セット５と係合している。７は偏心カムであり不図示の
モータによって回転されて載置台６に揺動運動を与え
る。８はスプリングであり載置台６を偏心カム７に押し
つけるためのものである。10,12はスプリング８の引掛
け部材である。９は載置台６が傾くときの回転中心とな
る軸支部材、同様に14は押し上げ台13が傾くときの回転
中心となる軸支部材である。11は本体部材であり軸支部
材９，14と係合している。15はプッシャであり、押し上
げ台13を押し上げる作用をする。16,17はセンサであ
り、16が発光側、17は受光側である。18は16より発せら
れた光ビームを示す。
構成を示す。なお、従来例と共通または対応する部分に
ついては同一の符番で示す。第１，２図において、２は
直進ハンド１の駆動部でありまたウエハ４がカセット５
内のどの部分にあるか検知するための検知機構部でもあ
る。３は検知機構部２と同じくウエハ検知のためのミラ
ーである。また、ウエハカセット５を載置する台６はカ
セット５と係合している。７は偏心カムであり不図示の
モータによって回転されて載置台６に揺動運動を与え
る。８はスプリングであり載置台６を偏心カム７に押し
つけるためのものである。10,12はスプリング８の引掛
け部材である。９は載置台６が傾くときの回転中心とな
る軸支部材、同様に14は押し上げ台13が傾くときの回転
中心となる軸支部材である。11は本体部材であり軸支部
材９，14と係合している。15はプッシャであり、押し上
げ台13を押し上げる作用をする。16,17はセンサであ
り、16が発光側、17は受光側である。18は16より発せら
れた光ビームを示す。
以上の構成において、ウエハ整列の動作を第１，２図を
参照して説明する。
参照して説明する。
まず、発光側センサ16からビーム18を発し受光側センサ
17で受光する。ビーム18の位置は理想ウエハ位置よりあ
る一定量だけ離れた位置に設定する。
17で受光する。ビーム18の位置は理想ウエハ位置よりあ
る一定量だけ離れた位置に設定する。
もし、第２図に示す如くウエハ４がウエハカセット５か
ら飛び出しているとビーム18は遮られる。するとプッシ
ャ15が働き、載置台６および押し上げ台13、偏心カム７
とともに軸支部材９，14を回転中心としてウエハカセッ
ト５をウエハ挿脱口側を天にして傾ける。しかる後、偏
心カム７を不図示のモータによって回転させてウエハカ
セットに揺動運動を与え、ウエハ４をウエハカセット５
内に確実に整列させる。スプリング８は偏心カム７の回
転に従って伸縮し、載置台６を偏心カム７に押し付けて
いる。揺動の後、再びウエハカセット５を起こす。
ら飛び出しているとビーム18は遮られる。するとプッシ
ャ15が働き、載置台６および押し上げ台13、偏心カム７
とともに軸支部材９，14を回転中心としてウエハカセッ
ト５をウエハ挿脱口側を天にして傾ける。しかる後、偏
心カム７を不図示のモータによって回転させてウエハカ
セットに揺動運動を与え、ウエハ４をウエハカセット５
内に確実に整列させる。スプリング８は偏心カム７の回
転に従って伸縮し、載置台６を偏心カム７に押し付けて
いる。揺動の後、再びウエハカセット５を起こす。
もしここで、第１図の如くウエハがビーム18を遮らなけ
れば、ウエハカセット５の傾動および揺動は行なわれな
い。
れば、ウエハカセット５の傾動および揺動は行なわれな
い。
次に、直進ハンド１をウエハカセット５に差し込む適性
位置、即ち取出す目標であるウエハ４に対して、ハンド
１を差し込むべき位置を検知する。これは検知機構部２
にある不図示のレーザ源からレーザを発しミラー３に当
てて、反射した不図示の光を不図示のディテクタにて検
知することにより行なう。検知後ハンド１はカセット５
内に進入し、第１図の紙面上方向へと移動する。
位置、即ち取出す目標であるウエハ４に対して、ハンド
１を差し込むべき位置を検知する。これは検知機構部２
にある不図示のレーザ源からレーザを発しミラー３に当
てて、反射した不図示の光を不図示のディテクタにて検
知することにより行なう。検知後ハンド１はカセット５
内に進入し、第１図の紙面上方向へと移動する。
ウエハ４がウエハカセット５内の不図示の棚部材からハ
ンド１の上に移ると不図示のバキューム検知機構によっ
てウエハ４がハンド１に確実に載置されたことが検知さ
れる。その後、ウエハ４はカセット外に搬出される。搬
出されたウエハは不図示の次工程へと移送される。
ンド１の上に移ると不図示のバキューム検知機構によっ
てウエハ４がハンド１に確実に載置されたことが検知さ
れる。その後、ウエハ４はカセット外に搬出される。搬
出されたウエハは不図示の次工程へと移送される。
ウエハをカセット５に戻す場合は戻す前にウエハ検知を
行ないビームが遮られなければそのまま、また遮られれ
ば傾動および揺動運動を行なってウエハを整列させ、し
かる後ウエハをカセット５に戻す。
行ないビームが遮られなければそのまま、また遮られれ
ば傾動および揺動運動を行なってウエハを整列させ、し
かる後ウエハをカセット５に戻す。
なお、寸法はハンド１によってビーム18が遮られるこ
とのないように設定しなければならない。すなわち、ビ
ーム18がハンド１の上下する位置に入り込まないように
する必要がある。しかし、寸法を余り大きくするとそ
の分装置が大きくなるという欠点が生じる。また、反対
に余り小さいと外部振動などでウエハがウエハカセット
５より少し飛び出したのみで傾動および揺動運動を頻繁
に行なわねばならないという問題が生じる。従って、３
〜５mm程度に選ぶとよい。
とのないように設定しなければならない。すなわち、ビ
ーム18がハンド１の上下する位置に入り込まないように
する必要がある。しかし、寸法を余り大きくするとそ
の分装置が大きくなるという欠点が生じる。また、反対
に余り小さいと外部振動などでウエハがウエハカセット
５より少し飛び出したのみで傾動および揺動運動を頻繁
に行なわねばならないという問題が生じる。従って、３
〜５mm程度に選ぶとよい。
本実施例ではウエハカセットを傾動させたが、傾動させ
ないでハンドにウエハを押し込むための専用部材を設け
てもよい。しかし、その場合でもセンサは必要である。
また、本実施例では、センサとして透過型を用いたが、
これに限ることなく反射型のセンサ等を用いてもよい。
ないでハンドにウエハを押し込むための専用部材を設け
てもよい。しかし、その場合でもセンサは必要である。
また、本実施例では、センサとして透過型を用いたが、
これに限ることなく反射型のセンサ等を用いてもよい。
［発明の効果］ 以上説明したように、本発明によれば、カセット挿脱口
からウエハが飛び出していることを検知するセンサを設
け、ウエハ飛び出しがあったときのみ整列動作を行なっ
ていので、ウエハを整列させるための傾動および揺動運
動をウエハ挿脱毎に行なう必要がなくなり、ウエハ飛び
出しによるウエハの破損を大幅に少なくし、全体として
ウエハの損傷の確率を小さくすることができる。
からウエハが飛び出していることを検知するセンサを設
け、ウエハ飛び出しがあったときのみ整列動作を行なっ
ていので、ウエハを整列させるための傾動および揺動運
動をウエハ挿脱毎に行なう必要がなくなり、ウエハ飛び
出しによるウエハの破損を大幅に少なくし、全体として
ウエハの損傷の確率を小さくすることができる。
第１図は、本発明の一実施例に係るウエハ整列装置の構
成図、 第２図は、上記実施例においてウエハがウエハカセット
より少し飛び出してビームを遮った状態を示す図、 第３図は、従来のウエハ搬送装置の概略構成図である。 １：直進ハンド、４：ウエハ：５：カセット、７：偏心
カム、15：プッシャ、16：発光センサ、17：受光セン
サ、18：ビーム。
成図、 第２図は、上記実施例においてウエハがウエハカセット
より少し飛び出してビームを遮った状態を示す図、 第３図は、従来のウエハ搬送装置の概略構成図である。 １：直進ハンド、４：ウエハ：５：カセット、７：偏心
カム、15：プッシャ、16：発光センサ、17：受光セン
サ、18：ビーム。
Claims (3)
- 【請求項１】ウエハカセット内のウエハを該カセットの
ウエハ挿脱口に対して一直線に整列させる装置であっ
て、 該ウエハカセット内に収納されたウエハの少なくとも１
枚が該カセットの挿脱口に対して所定量以上突出してい
るとき検出信号を発生するウエハ位置検出手段と、 該検出信号に基づいて上記ウエハカセット内のウエハを
一方向に付勢するウエハ整列手段と を具備することを特徴とするウエハ整列装置。 - 【請求項２】前記整列手段は、前記カセットを挿脱口側
を天として傾倒しその後該カセットを揺動するものであ
る特許請求の範囲第１項記載のウエハ整列装置。 - 【請求項３】前記整列手段は、前記カセットの挿脱口側
からウエハと対向する位置に設けたウエハ挿脱用の直進
型ハンドに、該ハンドを該カセット内に挿入したとき該
カセット内の所定位置からずれて収納されているウエハ
の外周に当接して該ウエハを所定位置に押込む部材を設
け、これにより整列するものである特許請求の範囲第１
項記載のウエハ整列装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24625585A JPH0611069B2 (ja) | 1985-11-05 | 1985-11-05 | ウエハ整列装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24625585A JPH0611069B2 (ja) | 1985-11-05 | 1985-11-05 | ウエハ整列装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62106641A JPS62106641A (ja) | 1987-05-18 |
| JPH0611069B2 true JPH0611069B2 (ja) | 1994-02-09 |
Family
ID=17145801
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24625585A Expired - Lifetime JPH0611069B2 (ja) | 1985-11-05 | 1985-11-05 | ウエハ整列装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0611069B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5605428A (en) * | 1993-03-05 | 1997-02-25 | Jenoptik Gmbh | Device for indexing magazine compartments and wafer-shaped objects in the compartments |
| US5964564A (en) * | 1996-07-15 | 1999-10-12 | B-W Controls, Inc. | Method and apparatus for detecting cross-slotted objects |
| DE19725527A1 (de) * | 1997-06-17 | 1998-12-24 | Philips Patentverwaltung | Reaktor zur Verarbeitung von Wafern mit einer Schutzvorrichtung |
| KR100788198B1 (ko) | 2006-07-03 | 2007-12-26 | 주식회사 에스에프에이 | 구동용 회로기판 공급장치 및 구동용 회로기판 공급장치용카세트 하우징 |
| JP2008018340A (ja) * | 2006-07-13 | 2008-01-31 | Trinc:Kk | 浮遊物捕捉装置および浮遊物反発装置 |
-
1985
- 1985-11-05 JP JP24625585A patent/JPH0611069B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62106641A (ja) | 1987-05-18 |
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