JP4352159B2 - ウエハ搬送装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は半導体ウエハ搬送ロボットにより、カセット内に収納された半導体ウエハを処理装置に搬送するウエハ搬送装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
図5は、従来のウエハ搬送装置の構造を示す図である。該図5に於いて、ステージ10の上にはカセット1が載荷できるようになっており、ステージ10の下部には上下機構7により上下動作可能なアーム2と該アーム2の一端にはセンサー3の投光器3aが、もう一端にはセンサーの受光器3bが取付けられており、夫々れの電源線(図示せず)、信号線(図示せず)は制御装置9に接続されている。また、カセット1のウエハ取出し方向にはウエハ搬送ロボット4が設置されている。
【0003】
AGV(Automatic Guided Vehicle)またはOHT(Overhead Hoist Transport)などでステージ10上に載荷されたカセット1は、最初にカセット1内のウエハ5がどの棚に入っているか認識する動作を行う。これは通常、カセット1はウエハ5を10枚から25枚収納できる構造になっており、どの棚にウエハ5が収納されているか分からないためである。
ステージ10にカセット1が載荷されると制御装置9は、センサーの取付けられたアーム2を最下面から最上面まで設定された速度で上昇するよう指示を行う。この過程に於いて、センサー出力信号とアーム2の移動量との組合せにより、制御装置9はウエハ位置情報を得ることができる。
アームが最上部まで上昇すると制御装置9は、ウエハの載荷情報を上位装置に伝達する。而して、上位装置からの命令によりウエハ搬送装置6は、制御装置9にて命令を処理しウエハ搬送ロボット4へ指示された段の棚のウエハ5をウエハ処理装置8に搬送を行い、処理の終わったウエハ5を指示された段の棚に収納するように指令を送る。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の装置は前記のようにウエハマッピング機構が専用の機構であるため、装置設置の占有面積を大きくとり、ウエハ5のサイズが200mmから300mmと大型化される方向にある現在、ますます装置の大型化に拍車がかかっている。而して、装置の大型化はクリーンルームの建設費用及び維持費用のコストアップに直結するため、半導体デバイスメーカーからは省スペース装置の開発が待ち望まれている。また、構造が複雑なため製造コストの上昇をもたらしていた。
【0005】
また、特開平7−153818号で開示されている透過式センサーをカセットとウエハの隙間に挿入し上下する移動機構の場合、ウエハ取出し方向に飛出したウエハを検出する手段を併せ持っていないため、何らかの理由で透過式センサーによりウエハを破損してしまうだけではなく、破損したウエハの破片がカセット内の他のウエハにも付着してしまい最悪の場合、それらのウエハを破棄せねばならず、歩留まりの低下をもたらす問題がある。
また、破損したウエハの破片を除去するには、装置を停止しなければならないため、生産性の悪化をももたらすことになる。さらに破損したウエハの破片が透過式センサーを破損する場合もあり、多くの修理時間を必要とし生産性の悪化をもたらす問題がある。
本発明は、このような問題点に鑑みてなされたもので、その目的は占有設置面積の少ないコンパクトで低価格のウエハ搬送装置を提供することにある。
本発明の、さらに別の目的はウエハの破損を発生させることなく、高い信頼性を持ったウエハ搬送装置を提供することにある。
【0006】
本発明は、ウエハ取出しハンドを備えたカセット前面箇所で上下動するウエハ搬送ロボットに於いて、ウエハの外周弧面の2点間を非接触に挟む距離だけ間隔を開けたU字状先端部を持つウエハ検出ハンドを、ウエハ取出しハンドの上面或いは下面箇所に、ウエハ取出しハンドによるウエハ搬送動作の邪魔とならないよう配設し、ウエハ取出しハンドに対し駆動軸の駆動で、前記U字状先端部を当該配設位置からカセット前面側に対向するように回動可能に取付けしめ、該ウエハ検出ハンドは投光器と受光器をU字状先端部に対向配置させた透過式センサー、及び該透過式センサーの光路と干渉しない箇所でセンサー光軸を鉛直となるようにした反射式センサーとを備え、前記U字状先端部がカセット前面側に対向するように回動する際に、前記ウエハ検出ハンドが他に干渉しないよう、事前に前記ウエハ取出しハンドを前記カセット前面箇所の反対方向に前進させる構成となしたことを特徴とする。
【0007】
【発明の実施の形態】
図1は本発明に係るウエハ搬送ロボットの斜視図である。11はウエハ搬送ロボット本体、12は該本体11に取付けられるウエハ取出しハンドであって、12a,12b,12c及び12’a,12’b,12’cのアーム及びウエハ載置プレート12d,12’dとからなる。図示例はウエハ取出しハンド12を左右一対のものに構成し、各ハンドは本体11内に組込まれた図示しない駆動手段により伸縮作動されるのであり、この構成は本件出願人に係る特許第2749314号に示したものと同様である。
【0008】
本実施例に於いて、取出しハンド12に於けるコ字状アーム12cの上段裏面部には、U字状に形成したウエハ検出ハンド13を、アーム12c内に収蔵したモータ14の駆動で、θ=0°〜180°の範囲で揺動若しくは回動するよう設けしめてある。(図示例は揺動するものを示す)
【0009】
ここに、U字状の対向間距離Lはウエハ5の外周弧面fの2点間を非接触に挟むことを可能とするものとなし、且つ対向する先端部には投光器15aと受光器15bとからなる透過式センサー15が取付けてある。一方、その底面部中央箇所には上記透過式センサー15の光路と干渉しないようにして、センサー光軸を鉛直となした反射式センサー16が取付けてある。
【0010】
他方、17はウエハを載荷するカセットであって、ウエハ5がカセット17の棚段を介し、鉛直な高さ方向へ多数枚収納させてある。而して、該カセット17の前面開放部は上記ウエハ検出ハンド13が後述するウエハ検知作業時に、少しその内部へ支障なく入り込み可能になしてある。なお、18はカセット17の前面下部位置に設けた反射板である。
【0011】
本発明に係るウエハ搬送ロボットは以上の如く構成させてあり、以下その作用について説明する。図2は側面図、図3は図2に対応する平面図であって、ウエハ搬送装置に内にカセット17が運び込まれた場合、制御装置9はウエハ搬送ロボット本体11をカセット17の取出し方向に対し、所定関係位置となるように回動させ、ウエハ検出ハンド13の透過式センサー15がカセット17のウエハ取出し側を向くように、モータ14を駆動させて原点位置PからP’の180°回動させる。そのさい、ウエハ検出ハンド13が他の物体等に干渉しないよう、事前にウエハ検出ハンド13の取付けられたコ字状アーム側のウエハ取出しハンド12cを図面2のBで示す如く左方向へ若干前進させるようにする。
【0012】
次に、この状態でウエハ搬送ロボット本体11を上昇させ、図2及び図3のCに示す如くウエハ検出ハンド13をカセット17に於ける最上段のウエハ5より少し高い位置に移動させる。而して、ウエハ取出しハンド12cをカセット17へ向けて予め設定した位置までを限度として移動させるのであり、このさい反射式センサー16の投光器からの光路が反射板18で反射して帰り、光路が遮断されない場合にはカセット17内に収納されたウエハ5の飛び出しがないものとして認識される。
【0013】
これに対し、ウエハ5’の如く飛び出しがある場合には、光路が遮断されてこれを認識するものとなる。
今若し、上記ウエハ5’の如き飛び出しのある状態でウエハマッピングを行う際には、搬送ロボット本体11の下降中にウエハ検出ロボット13が上記飛び出しウエハ5’と接触し、該ウエハ5’を破損させるのであり、従って予め制御装置9が異常発生を上位装置に伝達し、ウエハ取出しハンド12cを原点位置に戻し、上位装置の指令で飛び出しウエハ5’のトラブルが解消されるまで待機させるのである。
【0014】
上記実施例ではウエハ取出しハンド12cを搬送ロボット本体11とカセット17との対向間距離で定まる特定位置まで移動させ、飛び出しウエハを検出するものについて説明したが、他の例としてウエハ取出しハンド12cを移動させ、反射式センサー16がウエハ5を検出した位置と、初めにウエハ取出しハンド12cを移動させて標準状態で載置されているウエハ5を検出したさいに制御装置9が記憶していたものとを比較することにより、カセット17内のウエハが飛び出しているか否かを検出するようになしても良い。
【0015】
ところで、上記作動で反射式センサー16がウエハ5の飛び出しを検知しなかった場合、図2及び図3の各Dで示す如く、ウエハ検出ハンド13を透過式センサー15の投光器15a及び受光器15bがウエハ5を検出可能な位置へ移動させる。続いて一点鎖線位置に示す如くウエハ搬送ロボット本体11を下降させることにより、ウエハ検出ハンド13を共に下降させる。
そして、受光器15bがウエハ5を検出しないで最下段まで移動した場合、ウエハ検出ハンド13を初めの原点位置まで後退させ、カセット内にウエハが存在しないことを上位装置へ伝達する。
【0016】
これに対し、通常はカセット17内にウエハ5が存在するためウエハ5が透過式センサー15の光路を遮断し、受光器15bからの遮光信号が制御装置9に出力され、制御装置9は遮光信号が出力された上下方向の移動量を記憶するものとなる。そして、ウエハ検出ハンド13が最下部まで移動を終えると、ウエハ取出しハンド12cを初めの原点pまで後退させるのである。
【0017】
本発明装置では、上記の通り構成してカセット17内のウエハ認識情報を得るのであり、その結果を上位装置へ伝達する。そして、上記一連のウエハ認識情報を得るための処理が終了した後に、制御装置9は上位統括装置からの指令を処理し、ウエハ搬送ロボット11がカセット17内の指定された棚のウエハ5をウエハ処理装置8へ搬送するように指令を送る。また、同様に処理の終了したウエハ5をカセット17の指定された棚段へ搬送するように、ウエハ搬送ロボット11に指令を送るのである。
図4は上記の作動順序を図表化したフローシートである。
【0018】
上記実施例ではウエハ取出しハンドを左右一対の対称配設したものを示したが、単一の取出しハンドとすることも差支えない。このさい、コ字状ハンドを採用して同様に実施することも出来るが、コ字状ハンドを採用しないものでは単にそのアーム上面位置に設けるようになしても良い。また、ウエハ検出ハンドを0°〜180°の範囲で揺動させるものについて示したが、0°〜180°のあと、180°〜360°の回動で原点位置に復帰させるようになしても差支えない。
【0019】
【発明の効果】
本発明の如く構成したウエハ搬送ロボットによれば、ウエハ検出ハンドをウエハ取出しハンドと兼用のアームでウエハ搬送動作中、その上面或いは下面箇所に邪魔とならないよう配設させることを可能となして、コンパクト化が図れる。而して、この一体化は作動操作が一定の順序に規制化されるものとなすから、誤動作で制御操作中誤ってウエハ検出センサーが破損されたりすることのないものであり、又占有設置面積を少なく且つ低価格化のウエハマッピング作用の行われるものとなるのである。一方ウエハ飛び出し検知機能についても同様であって、ウエハの破損を生じさせることなく、高い信頼性を持ったウエハ搬送装置を提供することができるものとなる。他方、搬送システムの安定稼働に大きく寄与することができるのである。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の装置に係るウエハ搬送ロボットの斜視図である。
【図2】上記装置の作動状態を示す側面図である。
【図3】図2は夫々れに対応する平面図である。
【図4】フローシートである。
【図5】従来装置を示すものである。
【符号の説明】
1 カセット
2 アーム
3 センサー
4 搬送ロボット
5 ウエハ
6 ウエハ搬送装置
8 ウエハ処理装置
9 制御装置
11 ウエハ搬送ロボット本体
12 ウエハ取出しハンド
13 ウエハ検出ハンド
14 モータ
15 透過式センサー
15a 投光器
15b 受光器
16 反射式センサー
17 カセット
18 反射板
Claims (4)
- 運び込まれたカセット内に収納されたウエハを取出し、処理装置に搬送するウエハ搬送ロボットを備えたウエハ搬送装置において、
前記ウエハ搬送ロボットは、前記カセットの前面箇所で上下動するウエハ搬送ロボットであって、
ウエハの外周弧面の2点間を非接触に挟む距離だけ間隔を開けたU字状先端部を持つウエハ検出ハンドを、ウエハ取出しハンドの上面或いは下面箇所に配設し、ウエハ取出しハンドに対し駆動軸の駆動で、前記U字状先端部を当該配設位置から前記カセットに対向するように回動可能に取付けしめ、
該ウエハ検出ハンドは投光器と受光器をU字状先端部に対向配置させた透過式センサー、及び該透過式センサーの光路と干渉しない箇所でセンサー光軸を鉛直となるようにした反射式センサーとを備え、
前記U字状先端部がカセットに対向するように回動する際に、事前に前記ウエハ取出しハンドを前記カセットから離れる方向に移動させる構成となしたことを特徴とするウエハ搬送装置。 - ウエハ検出ハンドを前記カセットに対向させる際は、180°の回動をすることを特徴とした請求項1記載のウエハ搬送装置。
- ウエハ検出ハンドの底面側中央に反射式センサーを備えたものとなしたことを特徴とした請求項1又は2記載のウエハ搬送装置。
- ウエハ取出しハンドを左右一対備えたものとなし、このうちの1つはコ字状アームに形成し、該コ字状アームの上段側裏面部にウエハ検出ハンドを取付けしめたことを特徴とする請求項1,2又は3記載のウエハ搬送装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP33794499A JP4352159B2 (ja) | 1999-11-29 | 1999-11-29 | ウエハ搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP33794499A JP4352159B2 (ja) | 1999-11-29 | 1999-11-29 | ウエハ搬送装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001156147A JP2001156147A (ja) | 2001-06-08 |
JP4352159B2 true JP4352159B2 (ja) | 2009-10-28 |
Family
ID=18313481
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP33794499A Expired - Lifetime JP4352159B2 (ja) | 1999-11-29 | 1999-11-29 | ウエハ搬送装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4352159B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101464704B1 (ko) * | 2012-10-22 | 2014-11-27 | 주식회사 나온테크 | 핸드부의 기어 비를 이용한 이송 진공로봇 |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20030095109A (ko) * | 2002-06-11 | 2003-12-18 | 동부전자 주식회사 | 웨이퍼 이송 장치 |
KR100885244B1 (ko) * | 2007-09-27 | 2009-02-24 | 세메스 주식회사 | 웨이퍼 이송장치 및 이를 이용한 웨이퍼 이송 방법 |
JP5472323B2 (ja) * | 2009-02-09 | 2014-04-16 | 川崎重工業株式会社 | ロボットシステム |
JP6545519B2 (ja) * | 2015-04-27 | 2019-07-17 | 川崎重工業株式会社 | 基板搬送ロボットおよび基板検出方法 |
CN111354668B (zh) * | 2018-12-24 | 2023-09-29 | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 | 硅片传输系统及方法 |
CN113013075A (zh) * | 2021-02-25 | 2021-06-22 | 上海广川科技有限公司 | 一种晶圆检测装置及方法 |
CN115167079B (zh) * | 2022-07-20 | 2023-10-27 | 江苏晶杰光电科技有限公司 | 一种光刻机的晶片输送装置 |
-
1999
- 1999-11-29 JP JP33794499A patent/JP4352159B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101464704B1 (ko) * | 2012-10-22 | 2014-11-27 | 주식회사 나온테크 | 핸드부의 기어 비를 이용한 이송 진공로봇 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2001156147A (ja) | 2001-06-08 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060327 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20070612 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20070612 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20081127 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20081209 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090121 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090217 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090417 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090519 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090526 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090623 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090713 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 4352159 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120807 Year of fee payment: 3 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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EXPY | Cancellation because of completion of term |