JP2001060615A - ウエハ搬送装置に於けるウエハ認識装置 - Google Patents
ウエハ搬送装置に於けるウエハ認識装置Info
- Publication number
- JP2001060615A JP2001060615A JP23443499A JP23443499A JP2001060615A JP 2001060615 A JP2001060615 A JP 2001060615A JP 23443499 A JP23443499 A JP 23443499A JP 23443499 A JP23443499 A JP 23443499A JP 2001060615 A JP2001060615 A JP 2001060615A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- cassette
- sensor
- hand
- recognition device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 装置全体をコンパクト化し、且つ省スペース
化を図って効率の良いウエハマッピング作用の行われる
ウエハ搬送装置に於けるウエハ認識装置の提供。 【解決手段】 回転駆動されるドラム本体上に、該回動
とは別個に回動するようウエハ取出しアームの１個若し
くは２個を配設してなるウエハ搬送装置に於いて、少な
くとも１個の取出しアームのウエハ載置プレートと反対
側となる位置に対し、カセット内のウエハの収納状況を
検知して制御装置へ伝送する光学式検出センサーを取付
けたことを特徴とする。
化を図って効率の良いウエハマッピング作用の行われる
ウエハ搬送装置に於けるウエハ認識装置の提供。 【解決手段】 回転駆動されるドラム本体上に、該回動
とは別個に回動するようウエハ取出しアームの１個若し
くは２個を配設してなるウエハ搬送装置に於いて、少な
くとも１個の取出しアームのウエハ載置プレートと反対
側となる位置に対し、カセット内のウエハの収納状況を
検知して制御装置へ伝送する光学式検出センサーを取付
けたことを特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウエハ搬送
ロボットによりカセットに収納された半導体ウエハを処
理装置に搬送するウエハ搬送装置に関する。
ロボットによりカセットに収納された半導体ウエハを処
理装置に搬送するウエハ搬送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図７は従来のウエハ搬送装置６の構成を
示すものであって、Ａは平面図、Ｂは側面図である。該
図７に於いてステージ１０の上にはカセット１を載荷さ
せるものとなしてあり、ステージ１０の下部には上下機
構７により、上記カセット１の中央に於ける前後方向位
置でカセット１内の収納されるウエハ５を挟む状態に検
知しながら昇下降するセンサー手段３が設けてある。
示すものであって、Ａは平面図、Ｂは側面図である。該
図７に於いてステージ１０の上にはカセット１を載荷さ
せるものとなしてあり、ステージ１０の下部には上下機
構７により、上記カセット１の中央に於ける前後方向位
置でカセット１内の収納されるウエハ５を挟む状態に検
知しながら昇下降するセンサー手段３が設けてある。
【０００３】ここに、センサー手段３はカセット１の中
央位置にＵ字状のアーム２の各上端に投光器３ａと受光
器３ｂを設けた構成であり、モータ７ａの駆動でカセッ
ト１の下端から上端（図示例は下端位置にある）の距離
間を昇下降するものとなっている。
央位置にＵ字状のアーム２の各上端に投光器３ａと受光
器３ｂを設けた構成であり、モータ７ａの駆動でカセッ
ト１の下端から上端（図示例は下端位置にある）の距離
間を昇下降するものとなっている。
【０００４】４はステージ１０の他側位置に設けたウエ
ハ搬送ロボット、９は制御装置である。なお、８は上記
搬送ロボット４でカセット１から取出したウエハ５を処
理するためのウエハ処理装置である。
ハ搬送ロボット、９は制御装置である。なお、８は上記
搬送ロボット４でカセット１から取出したウエハ５を処
理するためのウエハ処理装置である。
【０００５】ＡＧＶ（automatic guided vehicle）又は
ＯＨＴ（Overhead Hoist Transport）などでステージ１
０上に載荷されたカセット１は、最初にカセット１内の
ウエハ５がどの棚に入っているか確認する動作を行う。
これは一般的にカセット１はウエハ５を１０枚から２５
枚収納できる構成になっているものの、どの棚にウエハ
５が収納されているか解らないためである。ステージ１
０にカセット１が載荷されると制御装置９がセンサーを
取付けたアーム２を最下端から最上端まで設定された速
度で上昇するよう指示を行う。この過程に於いて、セン
サー出力信号とアーム２の移動量との組合せにより、制
御装置９はウエハの位置情報を得ることができる。
ＯＨＴ（Overhead Hoist Transport）などでステージ１
０上に載荷されたカセット１は、最初にカセット１内の
ウエハ５がどの棚に入っているか確認する動作を行う。
これは一般的にカセット１はウエハ５を１０枚から２５
枚収納できる構成になっているものの、どの棚にウエハ
５が収納されているか解らないためである。ステージ１
０にカセット１が載荷されると制御装置９がセンサーを
取付けたアーム２を最下端から最上端まで設定された速
度で上昇するよう指示を行う。この過程に於いて、セン
サー出力信号とアーム２の移動量との組合せにより、制
御装置９はウエハの位置情報を得ることができる。
【０００６】アームが最上部まで上昇すると制御装置９
は、ウエハの載荷情報を上方位置に伝達する。而して、
上位位置からの命令によりウエハ搬送処理装置６は、制
御装置９にて命令を処理しウエハ搬送ロボット４へ指示
された棚段のウエハ５を図示しないウエハ処理装置８に
搬送を行い、処理の終わったウエハ５を指示された棚段
に収納するよう指令を送る。
は、ウエハの載荷情報を上方位置に伝達する。而して、
上位位置からの命令によりウエハ搬送処理装置６は、制
御装置９にて命令を処理しウエハ搬送ロボット４へ指示
された棚段のウエハ５を図示しないウエハ処理装置８に
搬送を行い、処理の終わったウエハ５を指示された棚段
に収納するよう指令を送る。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
装置は前記のようにウエハマッピング機構が専用の機構
であるため、装置設置の占有面積を大きくとり、ウエハ
５のサイズが２００ｍｍ〜３００ｍｍと大型化される方
向にある現在、ますます装置の大型化に拍車がかかって
いる。しかしながら、装置の大型化はクリーンルームの
建設費用及び維持費用のコストアップに直結するため、
半導体デバイスメーカーからは省スペース装置の開発が
待ち望まれている。また、構造が複雑なため製造コスト
の上昇をもたらしていた。
装置は前記のようにウエハマッピング機構が専用の機構
であるため、装置設置の占有面積を大きくとり、ウエハ
５のサイズが２００ｍｍ〜３００ｍｍと大型化される方
向にある現在、ますます装置の大型化に拍車がかかって
いる。しかしながら、装置の大型化はクリーンルームの
建設費用及び維持費用のコストアップに直結するため、
半導体デバイスメーカーからは省スペース装置の開発が
待ち望まれている。また、構造が複雑なため製造コスト
の上昇をもたらしていた。
【０００８】また、特開平７−１５３８１８号で開示さ
れている透過式センサーをカセットとウエハの隙間に挿
入し上下させる移動機構の場合、透過式センサーがウエ
ハを搬送するウエハ取出しプレートの反対側に固定され
ている為、ウエハをウエハ取出しプレートが支持して回
転する時、占有面積を大きくとる欠点があった、又、何
らかの理由でウエハ取出し方向に飛び出したウエハを検
知する手段を併せ持っていないため、透過式センサーに
よりウエハを破損してしまうだけでなく、破損したウエ
ハの破片がカセット内の他のウエハにも付着してしまい
最悪の場合、それらのウエハを破棄せねばならず歩留ま
りの低下をもたらしていた。尚、破損したウエハの破片
を除去するためには、装置を停止しなければならないた
め、生産性の悪化をももたらしていた。さらに破損した
ウエハの破片が透過式センサーを破損する場合もあり、
多くの修理時間を必要とし生産性の悪化をもたらしてい
た。本発明は、このような問題点に鑑みてなされたもの
で、その目的は専有設置面積の少ないコンパクトで低価
格のウエハ搬送装置を提供することにある。本発明の、
更に別の目的はウエハの破損を発生させることなく、高
い信頼性を持ったウエハ搬送装置を提供することにあ
る。
れている透過式センサーをカセットとウエハの隙間に挿
入し上下させる移動機構の場合、透過式センサーがウエ
ハを搬送するウエハ取出しプレートの反対側に固定され
ている為、ウエハをウエハ取出しプレートが支持して回
転する時、占有面積を大きくとる欠点があった、又、何
らかの理由でウエハ取出し方向に飛び出したウエハを検
知する手段を併せ持っていないため、透過式センサーに
よりウエハを破損してしまうだけでなく、破損したウエ
ハの破片がカセット内の他のウエハにも付着してしまい
最悪の場合、それらのウエハを破棄せねばならず歩留ま
りの低下をもたらしていた。尚、破損したウエハの破片
を除去するためには、装置を停止しなければならないた
め、生産性の悪化をももたらしていた。さらに破損した
ウエハの破片が透過式センサーを破損する場合もあり、
多くの修理時間を必要とし生産性の悪化をもたらしてい
た。本発明は、このような問題点に鑑みてなされたもの
で、その目的は専有設置面積の少ないコンパクトで低価
格のウエハ搬送装置を提供することにある。本発明の、
更に別の目的はウエハの破損を発生させることなく、高
い信頼性を持ったウエハ搬送装置を提供することにあ
る。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は回転駆動される
ドラム本体上に、該回動とは別個に回動するようウエハ
取出しアームの１個若しくは２個を配設してなるウエハ
搬送装置に於いて、少なくとも１個の取出しアームのウ
エハ載置プレートと反対側となる位置に対し、カセット
内のウエハの収納状況を検知して制御装置へ伝送する光
学式検出センサーを取付けたことを特徴とする。このさ
い、光学式検出センサーは平面視をＵ字状となした左右
角体の先端幅間隔を、カセット内ウエハの円周外端を部
分的な非接触状態に挟む巾寸法となし、且つ対向する対
面側に透過式センサーの投光部及び受光部を設けるほ
か、その手前側の角体間を繋ぐ架橋杆の中央に反射式セ
ンサーを備えたものとなすのであり、また平面視Ｕ字状
の光学式検出センサーは、不使用時に立設状態をなし、
これに対し使用状態に水平状態となるよう揺動可能な構
成に取付けるのである。なお、透過式センサーはこれに
代えて近接センサーとなすとができるものである。
ドラム本体上に、該回動とは別個に回動するようウエハ
取出しアームの１個若しくは２個を配設してなるウエハ
搬送装置に於いて、少なくとも１個の取出しアームのウ
エハ載置プレートと反対側となる位置に対し、カセット
内のウエハの収納状況を検知して制御装置へ伝送する光
学式検出センサーを取付けたことを特徴とする。このさ
い、光学式検出センサーは平面視をＵ字状となした左右
角体の先端幅間隔を、カセット内ウエハの円周外端を部
分的な非接触状態に挟む巾寸法となし、且つ対向する対
面側に透過式センサーの投光部及び受光部を設けるほ
か、その手前側の角体間を繋ぐ架橋杆の中央に反射式セ
ンサーを備えたものとなすのであり、また平面視Ｕ字状
の光学式検出センサーは、不使用時に立設状態をなし、
これに対し使用状態に水平状態となるよう揺動可能な構
成に取付けるのである。なお、透過式センサーはこれに
代えて近接センサーとなすとができるものである。
【００１０】
【発明の実施の形態】図１は本発明に係るウエハ搬送装
置の斜視図、図２は同じく同装置でＡは平面図、Ｂは側
面図である。１１は回転駆動されるドラム本体、１２
ａ，１２ｂは該ドラム本体１１上に取付けたウエハ取出
しハンドであって、各ハンドにウエハ５を吸引止着する
ための１つがコ字状をなし、他の１つは該コ字形内と干
渉しないように作動する補助ハンド１３ａ，１３ｂが取
付けてあり、これらがドラム本体内に組込まれた図示し
ない駆動手段により伸縮作動するものとなされること
は、本特許出願人が先に出願し特許登録されている特許
第２７３９４１３号で示したものと同様である。なお、
１４ａ，１４ｂは補助ハンド１３ａ，１３ｂの端部に取
付けしめてなるウエハ載置プレートである。
置の斜視図、図２は同じく同装置でＡは平面図、Ｂは側
面図である。１１は回転駆動されるドラム本体、１２
ａ，１２ｂは該ドラム本体１１上に取付けたウエハ取出
しハンドであって、各ハンドにウエハ５を吸引止着する
ための１つがコ字状をなし、他の１つは該コ字形内と干
渉しないように作動する補助ハンド１３ａ，１３ｂが取
付けてあり、これらがドラム本体内に組込まれた図示し
ない駆動手段により伸縮作動するものとなされること
は、本特許出願人が先に出願し特許登録されている特許
第２７３９４１３号で示したものと同様である。なお、
１４ａ，１４ｂは補助ハンド１３ａ，１３ｂの端部に取
付けしめてなるウエハ載置プレートである。
【００１１】本発明に於いてコ字状ハンド１３ｂの端部
は、ウエハ載置プレート１４ｂと逆対する側へ突出する
凸段部１５を設け、該凸段部１５に対しウエハ検出ハン
ド１６を取付けしめてなる。ここにウエハ検出ハンド１
６はカセット内のウエハ外周弧面の二点間を挟む状態に
して検出可能とする巾寸法ＬのＵ字状角体に形成し、該
Ｕ字状角体の根本１６ｃを上記凸段部１５ｂに対し０°
〜９０°の揺動可能状態に取付けしめるのであり、且つ
該Ｕ字状角体の開放側で一定長をなした左右一対の角杆
１６ａ，１６ｂの先端内面側には透過式センサー１７の
投光器１７ａ、及び受光器１７ｂが取付けてある。１８
は上記透過式センサーの光路と干渉しないよう角杆１６
ａ，１６ｂの中間位置付近に設けた橋杆であって、上記
透過式センサーの光路と干渉しないようその中央位置に
於いて、反射式センサー１９が設けてある。図示例では
橋杆１８の裏面側でセンサー光軸が鉛直となるように取
付けたものを示しているが、橋杆１８にセンサーの光軸
を通過可能とする切欠或いは透孔を設けることにより橋
杆１８の上方部に設けるようにしても良い。
は、ウエハ載置プレート１４ｂと逆対する側へ突出する
凸段部１５を設け、該凸段部１５に対しウエハ検出ハン
ド１６を取付けしめてなる。ここにウエハ検出ハンド１
６はカセット内のウエハ外周弧面の二点間を挟む状態に
して検出可能とする巾寸法ＬのＵ字状角体に形成し、該
Ｕ字状角体の根本１６ｃを上記凸段部１５ｂに対し０°
〜９０°の揺動可能状態に取付けしめるのであり、且つ
該Ｕ字状角体の開放側で一定長をなした左右一対の角杆
１６ａ，１６ｂの先端内面側には透過式センサー１７の
投光器１７ａ、及び受光器１７ｂが取付けてある。１８
は上記透過式センサーの光路と干渉しないよう角杆１６
ａ，１６ｂの中間位置付近に設けた橋杆であって、上記
透過式センサーの光路と干渉しないようその中央位置に
於いて、反射式センサー１９が設けてある。図示例では
橋杆１８の裏面側でセンサー光軸が鉛直となるように取
付けたものを示しているが、橋杆１８にセンサーの光軸
を通過可能とする切欠或いは透孔を設けることにより橋
杆１８の上方部に設けるようにしても良い。
【００１２】一方、２０ａ，２０ｂはカセット１の棚段
を支承してなる支柱であり、各棚段にはウエハ５が載置
されるものとなっている。なお、２１はカセット１の前
面側下方位置に設けてある反射板である。
を支承してなる支柱であり、各棚段にはウエハ５が載置
されるものとなっている。なお、２１はカセット１の前
面側下方位置に設けてある反射板である。
【００１３】本発明装置は上記の如き構成であって、次
に該装置の作用を図３及び図４により説明する。図３は
平面図、図４は側面図であってＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄは夫々れ
に対応した動作図を示す。本図で見られる通り、ウエハ
検出ハンド１６は補助ハンド１３ｂに対し通常鉛直な立
設状態となされている（図Ａ）。ところで、ウエハ検出
にさいしては、ウエハ取出しハンド１２ａ，１２ｂをカ
セットの最上段のウエハ５より高い位置に移動させる。
に該装置の作用を図３及び図４により説明する。図３は
平面図、図４は側面図であってＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄは夫々れ
に対応した動作図を示す。本図で見られる通り、ウエハ
検出ハンド１６は補助ハンド１３ｂに対し通常鉛直な立
設状態となされている（図Ａ）。ところで、ウエハ検出
にさいしては、ウエハ取出しハンド１２ａ，１２ｂをカ
セットの最上段のウエハ５より高い位置に移動させる。
【００１４】而して、ウエハ取出しハンドの補助ハンド
１３ｂ及びウエハ検出ハンド１６をカセット１のウエハ
取出し方向に対し所定関係位置となるように回動させる
と共に、ウエハ検出ハンド１６を水平方向へ倒伏させ、
そのさい検出ハンド１６の先端に取付けてある一対の透
過式センサー１７ａ，１７ｂが前記支柱２０ａ，２０ｂ
の間へ少し入り込んだ状態を限度として後退させるので
あり、このとき反射式センサー１９の投光器からの光路
が反射板２１で反射して帰り、光路が遮断されない場合
にはカセット１内に於けるウエハ５の飛び出しがないも
のとして制御回路が認識するものとなる。これに対して
ウエハ５’の如き飛び出しがある場合には、光路が遮断
されてこれを認識するものとなる。（Ｂ図）
１３ｂ及びウエハ検出ハンド１６をカセット１のウエハ
取出し方向に対し所定関係位置となるように回動させる
と共に、ウエハ検出ハンド１６を水平方向へ倒伏させ、
そのさい検出ハンド１６の先端に取付けてある一対の透
過式センサー１７ａ，１７ｂが前記支柱２０ａ，２０ｂ
の間へ少し入り込んだ状態を限度として後退させるので
あり、このとき反射式センサー１９の投光器からの光路
が反射板２１で反射して帰り、光路が遮断されない場合
にはカセット１内に於けるウエハ５の飛び出しがないも
のとして制御回路が認識するものとなる。これに対して
ウエハ５’の如き飛び出しがある場合には、光路が遮断
されてこれを認識するものとなる。（Ｂ図）
【００１５】今、若し上記ウエハ５’の如き飛び出しの
ある状態下でウエハマッピングを行う際には、ドラム本
体１１の下降中にウエハ検出ハンド１６が該飛び出しウ
エハ５’と接触してウエハ５’を破損させるのであり、
従ってこの異常発生を制御回路からの指令を受けた制御
装置９を介して上位装置に伝達し、ウエハ取出しハンド
１２ａ，１２ｂ及びウエハ検出ハンド１６を揺動前の原
点位置に戻し、該装置の指令で飛び出しウエハ５’のト
ラブル解消を図る。
ある状態下でウエハマッピングを行う際には、ドラム本
体１１の下降中にウエハ検出ハンド１６が該飛び出しウ
エハ５’と接触してウエハ５’を破損させるのであり、
従ってこの異常発生を制御回路からの指令を受けた制御
装置９を介して上位装置に伝達し、ウエハ取出しハンド
１２ａ，１２ｂ及びウエハ検出ハンド１６を揺動前の原
点位置に戻し、該装置の指令で飛び出しウエハ５’のト
ラブル解消を図る。
【００１６】上記のトラブル解消には、上位装置の指令
によりドラム本体１１に於けるウエハ取出しハンド１２
ａ、或いは１２ｂを使用して、ウエハ５’をカセット１
の収納棚の所定位置へ戻すことができる。
によりドラム本体１１に於けるウエハ取出しハンド１２
ａ、或いは１２ｂを使用して、ウエハ５’をカセット１
の収納棚の所定位置へ戻すことができる。
【００１７】ところで、上記作動で反射式センサー１９
がウエハ５の飛び出しを検知しなかった場合、カセット
１内にウエハ５が存在しないことを上位装置に伝達し、
且つウエハ取出しハンド１２ｂを所定の検知位置（透過
式センサー１７の投光器１７ａ及び受光器１７ｂがウエ
ハ５を検知可能な位置）まで移動させると共に、ドラム
本体１１を下降させることにより、ウエハ検出ハンド１
６を下降させる。（図Ｃ）
がウエハ５の飛び出しを検知しなかった場合、カセット
１内にウエハ５が存在しないことを上位装置に伝達し、
且つウエハ取出しハンド１２ｂを所定の検知位置（透過
式センサー１７の投光器１７ａ及び受光器１７ｂがウエ
ハ５を検知可能な位置）まで移動させると共に、ドラム
本体１１を下降させることにより、ウエハ検出ハンド１
６を下降させる。（図Ｃ）
【００１８】このさいカセット１内にウエハが全くない
場合は、その下降の下限でこの情報を上位装置に伝達す
ると共に、元の検知作業前の状態に復帰する。ところ
で、カセット１内には一般的にウエハ５が存在するた
め、ウエハが透過式センサーの光路を遮断し、受光器１
７ｂからの遮断信号が制御装置９に出力され、制御装置
９は遮光信号が出力された上下方向の移動量を記録する
ものとなる。そして、ウエハ検出ハンド１６が最下段ま
での移動を終えると、その状態でウエハ取出しハンド１
２を反カセット側への水平方向へ少し後退移動させると
共に、ウエハ検出ハンド１６を立設状態となし、且つ全
体を当初の検知作業前の状態に戻すのである（図Ｄ）。
場合は、その下降の下限でこの情報を上位装置に伝達す
ると共に、元の検知作業前の状態に復帰する。ところ
で、カセット１内には一般的にウエハ５が存在するた
め、ウエハが透過式センサーの光路を遮断し、受光器１
７ｂからの遮断信号が制御装置９に出力され、制御装置
９は遮光信号が出力された上下方向の移動量を記録する
ものとなる。そして、ウエハ検出ハンド１６が最下段ま
での移動を終えると、その状態でウエハ取出しハンド１
２を反カセット側への水平方向へ少し後退移動させると
共に、ウエハ検出ハンド１６を立設状態となし、且つ全
体を当初の検知作業前の状態に戻すのである（図Ｄ）。
【００１９】上記実施例ではドラム本体上に２箇のウエ
ハ取出しハンド１２ａ，１２ｂを配設するダブルアーム
方式のものに於いて、その１つの取出しハンドに対しウ
エハ検出ハンド１６を取付けたものを示したが、ウエハ
取出しハンドを単に１箇となしたシングルアームに対し
ても同様に実施することができる。図６はこの構成を示
す装置の斜視図であり、使用状態は前例同様である。な
お、光学式センサーとして示した透過式センサーは近接
センサーに代替しても差し支えない。
ハ取出しハンド１２ａ，１２ｂを配設するダブルアーム
方式のものに於いて、その１つの取出しハンドに対しウ
エハ検出ハンド１６を取付けたものを示したが、ウエハ
取出しハンドを単に１箇となしたシングルアームに対し
ても同様に実施することができる。図６はこの構成を示
す装置の斜視図であり、使用状態は前例同様である。な
お、光学式センサーとして示した透過式センサーは近接
センサーに代替しても差し支えない。
【００２０】本発明装置では上記の通り構成して、カセ
ット１内のウエハ５の飛び出しやその存否に関する認識
情報を得るのであり、その結果を上位装置に伝達する。
そして、上記一連のウエハ認識情報を得るための処理が
終了すると、制御装置９は上位統括装置からの指令を処
理し、ウエハ搬送装置８に対し必要な加工処理のための
搬出を行うように指令されるのである。また、同様にし
て加工処理の終了したウエハ５はカセット１の指定され
た棚段へ搬送されるように、指令が送られるのである。
ット１内のウエハ５の飛び出しやその存否に関する認識
情報を得るのであり、その結果を上位装置に伝達する。
そして、上記一連のウエハ認識情報を得るための処理が
終了すると、制御装置９は上位統括装置からの指令を処
理し、ウエハ搬送装置８に対し必要な加工処理のための
搬出を行うように指令されるのである。また、同様にし
て加工処理の終了したウエハ５はカセット１の指定され
た棚段へ搬送されるように、指令が送られるのである。
【００２１】図５は上記の作動手順を図表化したフロー
シートである。
シートである。
【００２２】
【発明の効果】本発明装置は以上の通りウエハのカセッ
ト内情報を認識するための検出手段をウエハ取出しハン
ドを利用してこれに一体構成し、これがための設置スペ
ースを必要としないことから従来装置に比して装置全体
をコンパクトで省スペース化に寄与できるものとなるの
であり、また低価格化で効率の良いウエハマッピング作
用の行われるものとなるのである。なお、ウエハ飛び出
し検知機能を備えていることは、ウエハの破損を生じさ
せることが全く無くなり、従って高い信頼性を持ったウ
エハ搬送装置を提供することができ、且つ搬送システム
の安定稼働にも大きく寄与するものである。
ト内情報を認識するための検出手段をウエハ取出しハン
ドを利用してこれに一体構成し、これがための設置スペ
ースを必要としないことから従来装置に比して装置全体
をコンパクトで省スペース化に寄与できるものとなるの
であり、また低価格化で効率の良いウエハマッピング作
用の行われるものとなるのである。なお、ウエハ飛び出
し検知機能を備えていることは、ウエハの破損を生じさ
せることが全く無くなり、従って高い信頼性を持ったウ
エハ搬送装置を提供することができ、且つ搬送システム
の安定稼働にも大きく寄与するものである。
【図１】本発明装置に係るウエハ搬送装置の斜視図であ
る。
る。
【図２】Ａは図１の平面図、Ｂは同側面図である。
【図３】作用説明の平面図である。
【図４】作用説明の側面図である。
【図５】フローシート図である。
【図６】他の例を示す斜視図である。
【図７】従来装置を示すものでＡは平面図、Ｂは側面図
である。
である。
１ カセット ２ Ｕ字アーム ３ センサー手段 ４ ウエハ搬送ロボット ５ ウエハ ６ ウエハ搬送装置 ７ 上下機構 ８ ウエハ処理装置 ９ 制御装置 １１ ドラム本体 １２ａ，１２ｂ ウエハ取出しハンド １３ａ，１３ｂ 補助ハンド １４ａ，１４ｂ ウエハ載置プレート １６ ウエハ検出ハンド １７ａ，１７ｂ 透過式センサー １８ 橋杆 １９ 反射式センサー ２１ 反射板
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 5F031 CA02 DA01 FA01 FA11 GA03 GA36 GA43 GA44 GA47 GA49 GA50 JA02 JA05 JA06 JA13 JA23 JA25 PA18
Claims (4)
- 【請求項１】 回転駆動されるドラム本体上に、該回動
とは別個に回動するようウエハ取出しアームの１個若し
くは２個を配設してなるウエハ搬送装置に於いて、少な
くとも１個の取出しアームのウエハ載置プレートと反対
側となる位置に対し、カセット内のウエハの収納状況を
検知して制御装置へ伝送する光学式検出センサーを取付
けたことを特徴とするウエハ搬送装置に於けるウエハ認
識装置。 - 【請求項２】 光学式検出センサーは平面視をＵ字状と
なした左右角体の先端幅間隔を、カセット内ウエハの円
周外端を部分的な非接触状態に挟む巾寸法となし、且つ
対向する対面側に透過式センサーの投光部及び受光部を
設けるほか、その手前側の角体間を繋ぐ架橋杆の中央に
反射式センサーを備えしめたことを特徴とする請求項１
記載のウエハ搬送装置に於けるウエハ認識装置。 - 【請求項３】 平面視Ｕ字状の光学式検出センサーは、
不使用時に立設状態をなし、これに対し使用状態に水平
状態となるよう揺動可能に取付けしめたことを特徴とす
る請求項２記載のウエハ搬送装置に於けるウエハ認識装
置。 - 【請求項４】 透過式センサーを近接センサーとなした
ことを特徴とする請求項２又は３記載のウエハ搬送装置
に於けるウエハ認識装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23443499A JP2001060615A (ja) | 1999-08-20 | 1999-08-20 | ウエハ搬送装置に於けるウエハ認識装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23443499A JP2001060615A (ja) | 1999-08-20 | 1999-08-20 | ウエハ搬送装置に於けるウエハ認識装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001060615A true JP2001060615A (ja) | 2001-03-06 |
Family
ID=16970957
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23443499A Pending JP2001060615A (ja) | 1999-08-20 | 1999-08-20 | ウエハ搬送装置に於けるウエハ認識装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001060615A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006196676A (ja) * | 2005-01-13 | 2006-07-27 | Tokyo Electron Ltd | 処理装置および処理方法 |
| KR100746304B1 (ko) | 2006-08-10 | 2007-08-03 | 주식회사 탑 엔지니어링 | 평판 디스플레이용 디스펜서 |
| US7255524B2 (en) * | 2003-04-14 | 2007-08-14 | Brooks Automation, Inc. | Substrate cassette mapper |
| KR100780085B1 (ko) | 2005-12-30 | 2007-11-29 | 파워칩 세미컨덕터 코포레이션 | 변위 웨이퍼 검출 시스템들 |
| CN114800580A (zh) * | 2021-01-29 | 2022-07-29 | 日本电产三协株式会社 | 工业用机器人 |
-
1999
- 1999-08-20 JP JP23443499A patent/JP2001060615A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7255524B2 (en) * | 2003-04-14 | 2007-08-14 | Brooks Automation, Inc. | Substrate cassette mapper |
| JP2006196676A (ja) * | 2005-01-13 | 2006-07-27 | Tokyo Electron Ltd | 処理装置および処理方法 |
| KR100780085B1 (ko) | 2005-12-30 | 2007-11-29 | 파워칩 세미컨덕터 코포레이션 | 변위 웨이퍼 검출 시스템들 |
| KR100746304B1 (ko) | 2006-08-10 | 2007-08-03 | 주식회사 탑 엔지니어링 | 평판 디스플레이용 디스펜서 |
| CN114800580A (zh) * | 2021-01-29 | 2022-07-29 | 日本电产三协株式会社 | 工业用机器人 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3709265B2 (ja) | ウェハカセットの搬送方法 | |
| US20100135755A1 (en) | Lid closing method for closed container and lid opening/closing system for closed container | |
| US20030130759A1 (en) | Precision soft-touch gripping mechanism for flat objects | |
| KR101503119B1 (ko) | 반송 시스템 | |
| WO2017038811A1 (ja) | 基板搬送ロボットおよび基板処理システム | |
| JP4669643B2 (ja) | ウエハマッピング装置およびそれを備えたロードポート | |
| WO2016140318A1 (ja) | 基板搬送ロボットおよび基板処理システム | |
| KR102560895B1 (ko) | 기판 반송 로봇 및 자동 교시 방법 | |
| JP2002224982A (ja) | 薄型基板搬送用ロボットおよび薄型基板検出方法 | |
| US7139640B2 (en) | Substrate transfer system | |
| JPH07153818A (ja) | 半導体ウエハ認識装置 | |
| JP4352159B2 (ja) | ウエハ搬送装置 | |
| JP2001060615A (ja) | ウエハ搬送装置に於けるウエハ認識装置 | |
| JPH106262A (ja) | ロボットの教示方法及びその装置 | |
| JPH05304198A (ja) | 搬送装置 | |
| CN117116824A (zh) | 一种紧凑型晶圆传输系统及其控制方法 | |
| JP2001068535A (ja) | ウエハ搬送装置に於けるウエハ認識装置 | |
| JP2000252348A (ja) | ウエハ搬送装置 | |
| JP3814159B2 (ja) | 無人搬送車 | |
| JPH07201952A (ja) | 半導体製造装置 | |
| JP4276810B2 (ja) | 無人搬送車 | |
| JP2887219B2 (ja) | 搬送装置及びその方法 | |
| JP2002313876A (ja) | 無人搬送車 | |
| JP2003060011A (ja) | 基板搬送装置及び基板処理システム | |
| KR20020075583A (ko) | 반도체 제조에 사용되는 기판의 이송을 제어하는 장치 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060327 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20070612 |
|
| RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20070612 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20081029 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20081111 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20090310 |