JP2001068535A - ウエハ搬送装置に於けるウエハ認識装置 - Google Patents
ウエハ搬送装置に於けるウエハ認識装置Info
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- JP2001068535A JP2001068535A JP24343499A JP24343499A JP2001068535A JP 2001068535 A JP2001068535 A JP 2001068535A JP 24343499 A JP24343499 A JP 24343499A JP 24343499 A JP24343499 A JP 24343499A JP 2001068535 A JP2001068535 A JP 2001068535A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 装置全体をコンパクト化し、且つ省スペース
化を図って効率の良いウエハマッピング作用の行われる
ウエハ搬送装置に於けるウエハ認識装置の提供。 【解決手段】 回転駆動されるドラム本体上に、該回動
とは別個に回動するようウエハ取出しアームの１個若し
くは２個を配設してなるウエハ搬送装置に於いて、ドラ
ム本体の円周巾位置からアーム支軸受けを突設させ、該
支軸受けに対し一定長で且つ巾間隔をウエハ径よりも少
し大ならしめた左右一対のアームを取付け、アーム先端
部に対し、カセット内のウエハの収納状況を検知して制
御装置へ伝送する光学式検出センサーを一体的に取付け
たことを特徴とする。
化を図って効率の良いウエハマッピング作用の行われる
ウエハ搬送装置に於けるウエハ認識装置の提供。 【解決手段】 回転駆動されるドラム本体上に、該回動
とは別個に回動するようウエハ取出しアームの１個若し
くは２個を配設してなるウエハ搬送装置に於いて、ドラ
ム本体の円周巾位置からアーム支軸受けを突設させ、該
支軸受けに対し一定長で且つ巾間隔をウエハ径よりも少
し大ならしめた左右一対のアームを取付け、アーム先端
部に対し、カセット内のウエハの収納状況を検知して制
御装置へ伝送する光学式検出センサーを一体的に取付け
たことを特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウエハ搬送
ロボットによりカセットに収納された半導体ウエハを処
理装置に搬送するウエハ搬送装置に関する。
ロボットによりカセットに収納された半導体ウエハを処
理装置に搬送するウエハ搬送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図６は従来のウエハ搬送装置６の構成を
示すものであって、Ａは平面図、Ｂは側面図である。該
図７に於いてステージ１０の上にはカセット１を載荷さ
せるものとなしてあり、ステージ１０の下部には上下機
構７により、上記カセット１の中央に於ける前後方向位
置でカセット１内の収納されるウエハ５を挟む状態に検
知しながら昇下降するセンサー手段３が設けてある。
示すものであって、Ａは平面図、Ｂは側面図である。該
図７に於いてステージ１０の上にはカセット１を載荷さ
せるものとなしてあり、ステージ１０の下部には上下機
構７により、上記カセット１の中央に於ける前後方向位
置でカセット１内の収納されるウエハ５を挟む状態に検
知しながら昇下降するセンサー手段３が設けてある。
【０００３】ここに、センサー手段３はカセット１の中
央位置にＵ字状のアーム２の各上端に投光器３ａと受光
器３ｂを設けた構成であり、モータ７ａの駆動でカセッ
ト１の下端から上端（図示例は下端位置にある）の距離
間を昇下降するものとなっている。
央位置にＵ字状のアーム２の各上端に投光器３ａと受光
器３ｂを設けた構成であり、モータ７ａの駆動でカセッ
ト１の下端から上端（図示例は下端位置にある）の距離
間を昇下降するものとなっている。
【０００４】４はステージ１０の他側位置に設けたウエ
ハ搬送ロボット、９は制御装置である。なお、８は上記
搬送ロボット４でカセット１から取出したウエハ５を処
理するためのウエハ処理装置である。
ハ搬送ロボット、９は制御装置である。なお、８は上記
搬送ロボット４でカセット１から取出したウエハ５を処
理するためのウエハ処理装置である。
【０００５】ＡＧＶ（automatic guided vehicle）又は
ＯＨＴ（Overhead Hoist Transport）などでステージ１
０上に載荷されたカセット１は、最初にカセット１内の
ウエハ５がどの棚に入っているか確認する動作を行う。
これは一般的にカセット１はウエハ５を１０枚から２５
枚収納できる構成になっているものの、どの棚にウエハ
５が収納されているか解らないためである。ステージ１
０にカセット１が載荷されると制御装置９がセンサーを
取付けたアーム２を最下端から最上端まで設定された速
度で上昇するよう指示を行う。この過程に於いて、セン
サー出力信号とアーム２の移動量との組合せにより、制
御装置９はウエハの位置情報を得ることができる。
ＯＨＴ（Overhead Hoist Transport）などでステージ１
０上に載荷されたカセット１は、最初にカセット１内の
ウエハ５がどの棚に入っているか確認する動作を行う。
これは一般的にカセット１はウエハ５を１０枚から２５
枚収納できる構成になっているものの、どの棚にウエハ
５が収納されているか解らないためである。ステージ１
０にカセット１が載荷されると制御装置９がセンサーを
取付けたアーム２を最下端から最上端まで設定された速
度で上昇するよう指示を行う。この過程に於いて、セン
サー出力信号とアーム２の移動量との組合せにより、制
御装置９はウエハの位置情報を得ることができる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
装置は前記のようにウエハマッピング機構が専用の機構
であるため、装置設置の占有面積を大きくとり、ウエハ
５のサイズが２００ｍｍ〜３００ｍｍと大型化される方
向にある現在、ますます装置の大型化に拍車がかかって
いる。しかしながら、装置の大型化はクリーンルームの
建設費用及び維持費用のコストアップに直結するため、
半導体デバイスメーカーからは省スペース装置の開発が
待ち望まれている。また、構造が複雑なため製造コスト
の上昇をもたらしていた。
装置は前記のようにウエハマッピング機構が専用の機構
であるため、装置設置の占有面積を大きくとり、ウエハ
５のサイズが２００ｍｍ〜３００ｍｍと大型化される方
向にある現在、ますます装置の大型化に拍車がかかって
いる。しかしながら、装置の大型化はクリーンルームの
建設費用及び維持費用のコストアップに直結するため、
半導体デバイスメーカーからは省スペース装置の開発が
待ち望まれている。また、構造が複雑なため製造コスト
の上昇をもたらしていた。
【０００７】また、特開平７−１５３８１８号で開示さ
れている透過式センサーをカセットとウエハの隙間に挿
入して上下動させる移動機構の場合、透過式センサーが
ウエハを搬送するウエハ取出しプレートの反対側に固定
されている為、ウエハをウエハ取出しプレートが支持し
て回転する時、占有面積を大きくとる欠点があった。
又、何らかの理由でウエハ取出し方向に飛び出したウエ
ハを検知する手段を併せ持っていないため、透過式セン
サーによりウエハを破損してしまうだけでなく、破損し
たウエハの破片がカセット内の他のウエハにも付着して
しまい最悪の場合、それらのウエハを破棄せねばならず
歩留まりの低下をもたらしていた。尚、破損したウエハ
の破片を除去するためには、装置を停止しなければなら
ないため、生産性の悪化をももたらしていた。さらに破
損したウエハの破片が透過式センサーを破損する場合も
あり、多くの修理時間を必要とし生産性の悪化をもたら
していた。本発明は、このような問題点に鑑みてなされ
たもので、その目的は専有設置面積の少ないコンパクト
で低価格のウエハ搬送装置を提供することにある。本発
明の、更に別の目的はウエハの破損を発生させることな
く、高い信頼性を持ったウエハ搬送装置を提供すること
にある。
れている透過式センサーをカセットとウエハの隙間に挿
入して上下動させる移動機構の場合、透過式センサーが
ウエハを搬送するウエハ取出しプレートの反対側に固定
されている為、ウエハをウエハ取出しプレートが支持し
て回転する時、占有面積を大きくとる欠点があった。
又、何らかの理由でウエハ取出し方向に飛び出したウエ
ハを検知する手段を併せ持っていないため、透過式セン
サーによりウエハを破損してしまうだけでなく、破損し
たウエハの破片がカセット内の他のウエハにも付着して
しまい最悪の場合、それらのウエハを破棄せねばならず
歩留まりの低下をもたらしていた。尚、破損したウエハ
の破片を除去するためには、装置を停止しなければなら
ないため、生産性の悪化をももたらしていた。さらに破
損したウエハの破片が透過式センサーを破損する場合も
あり、多くの修理時間を必要とし生産性の悪化をもたら
していた。本発明は、このような問題点に鑑みてなされ
たもので、その目的は専有設置面積の少ないコンパクト
で低価格のウエハ搬送装置を提供することにある。本発
明の、更に別の目的はウエハの破損を発生させることな
く、高い信頼性を持ったウエハ搬送装置を提供すること
にある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は回転駆動される
ドラム本体上に、該回動とは別個に回動するようウエハ
取出しアームの１個若しくは２個を配設してなるウエハ
搬送装置に於いて、ドラム本体の円周巾位置からアーム
支軸受けを突設させ、該支軸受けに対し一定長で且つ巾
間隔をウエハ径よりも少し大ならしめた左右一対のアー
ムを取付け、アーム先端部に対し、カセット内のウエハ
の収納状況を検知して制御装置へ伝送する光学式検出セ
ンサーを一体的に取付けたことを特徴とする。このさ
い、光学式検出センサーとしては透過式センサーを採用
し、左右アームの先端箇所に対しその投光器及び受光器
を対向配設するほか、上記光路を邪魔しない少し内方箇
所に左右のアーム間を繋ぐ橋杆を設け、橋杆中央に反射
式センサーを取付けたものとなし、且つこれらの不使用
時は立設状態となし、これに対し使用時に水平状態とな
るよう０°〜９０°の揺動可能に取付けしめたものとす
る。なお、透過式センサーは近接センサーとすることも
差支えない。
ドラム本体上に、該回動とは別個に回動するようウエハ
取出しアームの１個若しくは２個を配設してなるウエハ
搬送装置に於いて、ドラム本体の円周巾位置からアーム
支軸受けを突設させ、該支軸受けに対し一定長で且つ巾
間隔をウエハ径よりも少し大ならしめた左右一対のアー
ムを取付け、アーム先端部に対し、カセット内のウエハ
の収納状況を検知して制御装置へ伝送する光学式検出セ
ンサーを一体的に取付けたことを特徴とする。このさ
い、光学式検出センサーとしては透過式センサーを採用
し、左右アームの先端箇所に対しその投光器及び受光器
を対向配設するほか、上記光路を邪魔しない少し内方箇
所に左右のアーム間を繋ぐ橋杆を設け、橋杆中央に反射
式センサーを取付けたものとなし、且つこれらの不使用
時は立設状態となし、これに対し使用時に水平状態とな
るよう０°〜９０°の揺動可能に取付けしめたものとす
る。なお、透過式センサーは近接センサーとすることも
差支えない。
【０００９】
【発明の実施の形態】図１は本発明に係るウエハ搬送装
置の斜視図、図２は該装置を使用した作用説明図であ
る。図面に於いて１１は回転駆動されるドラム本体、１
２ａ，１２ｂは該ドラム本体１１上に取付けたウエハ取
出しハンドであって、各ハンドにウエハ５を吸引止着す
るための１つがコ字状をなし、他の１つは該コ字形内と
干渉しないように作動する補助ハンド１３ａ，１３ｂが
取付けてあり、これらがドラム本体内に組込まれた図示
しない駆動手段により伸縮作動するものとなされること
は、本特許出願人が先に出願し特許登録されている特許
第２７３９４１３号で示したものと同様である。なお、
１４ａ，１４ｂは補助ハンド１３ａ，１３ｂの端部に取
付けしめてなるウエハ載置プレートである。
置の斜視図、図２は該装置を使用した作用説明図であ
る。図面に於いて１１は回転駆動されるドラム本体、１
２ａ，１２ｂは該ドラム本体１１上に取付けたウエハ取
出しハンドであって、各ハンドにウエハ５を吸引止着す
るための１つがコ字状をなし、他の１つは該コ字形内と
干渉しないように作動する補助ハンド１３ａ，１３ｂが
取付けてあり、これらがドラム本体内に組込まれた図示
しない駆動手段により伸縮作動するものとなされること
は、本特許出願人が先に出願し特許登録されている特許
第２７３９４１３号で示したものと同様である。なお、
１４ａ，１４ｂは補助ハンド１３ａ，１３ｂの端部に取
付けしめてなるウエハ載置プレートである。
【００１０】本発明に於いてドラム本体１１にはその円
周巾位置からアーム支軸受け１５が設けてあり、該アー
ム支軸受け１５には一定長で且つ巾間隔をウエハ５の外
径より少し大ならしめた左右一対のアーム１６ａ，１６
ｂを０°〜９０°の揺動自在となるように取付けしめ
る。
周巾位置からアーム支軸受け１５が設けてあり、該アー
ム支軸受け１５には一定長で且つ巾間隔をウエハ５の外
径より少し大ならしめた左右一対のアーム１６ａ，１６
ｂを０°〜９０°の揺動自在となるように取付けしめ
る。
【００１１】而して、本発明のウエハ検出ハンド１６は
該アーム１６ａ，１６ｂ先端の対向する内面側位置に、
透過式センサーの投光器１７ａと、受光器１7ｂを取付
けるのであり、また該センサーの光路を邪魔しない少し
内方箇所に左右のアーム間を繋ぐ橋杆１８を設け、該橋
杆１８の中央付近に反射式センサー１９を取付けたもの
とする。図示例では橋杆１８の裏面側でセンサー光軸が
鉛直となるように取付けたものを示しているが、橋杆１
８にセンサーの光軸を通過可能とする切欠或いは透孔を
設けることにより橋杆１８の上方部に設けるようにして
も良い。
該アーム１６ａ，１６ｂ先端の対向する内面側位置に、
透過式センサーの投光器１７ａと、受光器１7ｂを取付
けるのであり、また該センサーの光路を邪魔しない少し
内方箇所に左右のアーム間を繋ぐ橋杆１８を設け、該橋
杆１８の中央付近に反射式センサー１９を取付けたもの
とする。図示例では橋杆１８の裏面側でセンサー光軸が
鉛直となるように取付けたものを示しているが、橋杆１
８にセンサーの光軸を通過可能とする切欠或いは透孔を
設けることにより橋杆１８の上方部に設けるようにして
も良い。
【００１２】一方、２０ａ，２０ｂはカセット１の棚段
を支承してなる支柱であり、各棚段にはウエハ５が載置
されるものとなっている。なお、２１はカセット１の前
面側下方位置に設けてある反射板である。
を支承してなる支柱であり、各棚段にはウエハ５が載置
されるものとなっている。なお、２１はカセット１の前
面側下方位置に設けてある反射板である。
【００１３】本発明装置は上記の如き構成であって、次
に該装置の作用を図２及び図３により説明する。図３は
平面図、図４は側面図であってＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄは夫々れ
に対応した動作図を示す。本図で見られる通り、ウエハ
検出ハンド１６は補助ハンド１３ｂに対し通常鉛直な立
設状態となされている（図Ａ）。ところで、ウエハ検出
にさいしては、ウエハ取出しハンド１２ａ，１２ｂをカ
セットの最上段のウエハ５より高い位置に移動させる。
に該装置の作用を図２及び図３により説明する。図３は
平面図、図４は側面図であってＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄは夫々れ
に対応した動作図を示す。本図で見られる通り、ウエハ
検出ハンド１６は補助ハンド１３ｂに対し通常鉛直な立
設状態となされている（図Ａ）。ところで、ウエハ検出
にさいしては、ウエハ取出しハンド１２ａ，１２ｂをカ
セットの最上段のウエハ５より高い位置に移動させる。
【００１４】而して、ウエハ検出ハンド１６を水平方向
へ倒伏させ、そのさい検出ハンド１６の先端に取付けて
ある透過式センサーの投光器１７ａ，及び受光器１７ｂ
が前記支柱２０ａ，２０ｂの間へ少し入り込んだ状態を
限度として後退させるのであり、このとき反射式センサ
ー１９の投光器からの光路が反射板２１で反射して帰
り、光路が遮断されない場合にはカセット１内に於ける
ウエハ５の飛び出しがないものとして制御回路が認識す
るものとなる。これに対してウエハ５’の如き飛び出し
がある場合には、光路が遮断されてこれを認識するもの
となる。（Ｂ図）
へ倒伏させ、そのさい検出ハンド１６の先端に取付けて
ある透過式センサーの投光器１７ａ，及び受光器１７ｂ
が前記支柱２０ａ，２０ｂの間へ少し入り込んだ状態を
限度として後退させるのであり、このとき反射式センサ
ー１９の投光器からの光路が反射板２１で反射して帰
り、光路が遮断されない場合にはカセット１内に於ける
ウエハ５の飛び出しがないものとして制御回路が認識す
るものとなる。これに対してウエハ５’の如き飛び出し
がある場合には、光路が遮断されてこれを認識するもの
となる。（Ｂ図）
【００１５】今、若し上記ウエハ５’の如き飛び出しの
ある状態下でウエハマッピングを行う際には、ドラム本
体１１の下降中にウエハ検出ハンド１６が該飛び出しウ
エハ５’と接触してウエハ５’を破損させるのであり、
従ってこの異常発生を制御回路からの指令を受けた制御
装置９を介して上位装置に伝達し、ウエハ取出しハンド
１２ａ，１２ｂ及びウエハ検出ハンド１６を揺動前の原
点位置に戻し、該装置の指令で飛び出しウエハ５’のト
ラブル解消を図る。
ある状態下でウエハマッピングを行う際には、ドラム本
体１１の下降中にウエハ検出ハンド１６が該飛び出しウ
エハ５’と接触してウエハ５’を破損させるのであり、
従ってこの異常発生を制御回路からの指令を受けた制御
装置９を介して上位装置に伝達し、ウエハ取出しハンド
１２ａ，１２ｂ及びウエハ検出ハンド１６を揺動前の原
点位置に戻し、該装置の指令で飛び出しウエハ５’のト
ラブル解消を図る。
【００１６】上記のトラブル解消には、上位装置の指令
によりドラム本体１１に於けるウエハ取出しハンド１２
ａ、或いは１２ｂを使用して、ウエハ５’をカセット１
の収納棚の所定位置へ戻すことができる。
によりドラム本体１１に於けるウエハ取出しハンド１２
ａ、或いは１２ｂを使用して、ウエハ５’をカセット１
の収納棚の所定位置へ戻すことができる。
【００１７】ところで、上記作動で反射式センサー１９
がウエハ５の飛び出しを検知しなかった場合、カセット
１内にウエハ５が存在しないことを上位装置に伝達し、
且つウエハ取出しハンド１２ｂを所定の検知位置（透過
式センサー１７の投光器１７ａ及び受光器１７ｂがウエ
ハ５を検知可能な位置）まで移動させると共に、ドラム
本体１１を下降させることにより、ウエハ検出ハンド１
６を下降させる。（図Ｃ）
がウエハ５の飛び出しを検知しなかった場合、カセット
１内にウエハ５が存在しないことを上位装置に伝達し、
且つウエハ取出しハンド１２ｂを所定の検知位置（透過
式センサー１７の投光器１７ａ及び受光器１７ｂがウエ
ハ５を検知可能な位置）まで移動させると共に、ドラム
本体１１を下降させることにより、ウエハ検出ハンド１
６を下降させる。（図Ｃ）
【００１８】このさいカセット１内にウエハが全くない
場合は、その下降の下限でこの情報を上位装置に伝達す
ると共に、元の検知作業前の状態に復帰する。ところ
で、カセット１内には一般的にウエハ５が存在するた
め、ウエハが透過式センサーの光路を遮断し、受光器１
７ｂからの遮断信号が制御装置９に出力され、制御装置
９は遮光信号が出力された上下方向の移動量を記録する
ものとなる。そして、ウエハ検出ハンド１６が最下段ま
での移動を終えると、その状態でウエハ取出しハンド１
２を反カセット側への水平方向へ少し後退移動させると
共に、ウエハ検出ハンド１６を立設状態となし、且つ全
体を当初の検知作業前の状態に戻すのである（図Ｄ）。
場合は、その下降の下限でこの情報を上位装置に伝達す
ると共に、元の検知作業前の状態に復帰する。ところ
で、カセット１内には一般的にウエハ５が存在するた
め、ウエハが透過式センサーの光路を遮断し、受光器１
７ｂからの遮断信号が制御装置９に出力され、制御装置
９は遮光信号が出力された上下方向の移動量を記録する
ものとなる。そして、ウエハ検出ハンド１６が最下段ま
での移動を終えると、その状態でウエハ取出しハンド１
２を反カセット側への水平方向へ少し後退移動させると
共に、ウエハ検出ハンド１６を立設状態となし、且つ全
体を当初の検知作業前の状態に戻すのである（図Ｄ）。
【００１９】上記実施例ではドラム本体上に２箇のウエ
ハ取出しハンド１２ａ，１２ｂを配設するダブルアーム
方式のものに於いて、その１つの取出しハンドに対しウ
エハ検出ハンド１６を取付けたものを示したが、ウエハ
取出しハンドを単に１箇となしたシングルアームのもの
であっても差支えない。なお、光学式センサーとして示
した透過式センサーは近接センサーに代替しても差し支
えない。
ハ取出しハンド１２ａ，１２ｂを配設するダブルアーム
方式のものに於いて、その１つの取出しハンドに対しウ
エハ検出ハンド１６を取付けたものを示したが、ウエハ
取出しハンドを単に１箇となしたシングルアームのもの
であっても差支えない。なお、光学式センサーとして示
した透過式センサーは近接センサーに代替しても差し支
えない。
【００２０】本発明装置では上記の通り構成して、カセ
ット１内のウエハ５の飛び出しやその存否に関する認識
情報を得るのであり、その結果を上位装置に伝達する。
そして、上記一連のウエハ認識情報を得るための処理が
終了すると、制御装置９は上位統括装置からの指令を処
理し、ウエハ搬送装置８に対し必要な加工処理のための
搬出を行うように指令されるのである。また、同様にし
て加工処理の終了したウエハ５はカセット１の指定され
た棚段へ搬送されるように、指令が送られるのである。
ット１内のウエハ５の飛び出しやその存否に関する認識
情報を得るのであり、その結果を上位装置に伝達する。
そして、上記一連のウエハ認識情報を得るための処理が
終了すると、制御装置９は上位統括装置からの指令を処
理し、ウエハ搬送装置８に対し必要な加工処理のための
搬出を行うように指令されるのである。また、同様にし
て加工処理の終了したウエハ５はカセット１の指定され
た棚段へ搬送されるように、指令が送られるのである。
【００２１】図４は上記の作動手順を図表化したフロー
シートである。
シートである。
【００２２】
【発明の効果】本発明装置は以上の通りウエハのカセッ
ト内情報を認識するための検出手段を回転ドラムを使用
してこれと一体構成し、これがための設置スペースを特
に必要としないことから従来装置に比して装置全体をコ
ンパクトで省スペース化に寄与できるものとなるのであ
り、また低価格化で効率の良いウエハマッピング作用の
行われるものとなるのである。なお、ウエハ飛び出し検
知機能を備えていることは、ウエハの破損を生じさせる
ことが全く無くなり、従って高い信頼性を持ったウエハ
搬送装置を提供することができ、且つ搬送システムの安
定稼働にも大きく寄与するものである。
ト内情報を認識するための検出手段を回転ドラムを使用
してこれと一体構成し、これがための設置スペースを特
に必要としないことから従来装置に比して装置全体をコ
ンパクトで省スペース化に寄与できるものとなるのであ
り、また低価格化で効率の良いウエハマッピング作用の
行われるものとなるのである。なお、ウエハ飛び出し検
知機能を備えていることは、ウエハの破損を生じさせる
ことが全く無くなり、従って高い信頼性を持ったウエハ
搬送装置を提供することができ、且つ搬送システムの安
定稼働にも大きく寄与するものである。
【図１】本発明装置に係るウエハ搬送装置の斜視図であ
る。
る。
【図２】作用説明の平面図である。
【図３】作用説明の側面図である。
【図４】フローシート図である。
【図５】従来装置を示すものでＡは平面図、Ｂは側面図
である。
である。
１ カセット ２ Ｕ字アーム ３ センサー手段 ４ ウエハ搬送ロボット ５ ウエハ ６ ウエハ搬送装置 ７ 上下機構 ８ ウエハ処理装置 ９ 制御装置 １１ ドラム本体 １２ａ，１２ｂ ウエハ取出しハンド １３ａ，１３ｂ 補助ハンド １４ａ，１４ｂ ウエハ載置プレート １５ アーム軸受け １６ ウエハ検出ハンド １６ａ，１６ｂ アーム １７ａ 投光器 １７ｂ 受光器 １９ 反射式センサー ２１ 反射板
Claims (3)
- 【請求項１】 回転駆動されるドラム本体上に、該回動
とは別個に回動するようウエハ取出しアームの１個若し
くは２個を配設してなるウエハ搬送装置に於いて、ドラ
ム本体の円周巾位置からアーム支軸受けを突設させ、該
支軸受けに対し一定長で且つ巾間隔をウエハ径よりも少
し大ならしめた左右一対のアームを取付け、アーム先端
部に対し、カセット内のウエハの収納状況を検知して制
御装置へ伝送する光学式検出センサーを一体的に取付け
たことを特徴とするウエハ搬送装置に於けるウエハ認識
装置。 - 【請求項２】 光学式検出センサーは透過式センサーで
あって、左右アームの先端箇所に対しその投光器及び受
光器を対向配設するほか、上記光路を邪魔しない少し内
方箇所に左右のアーム間を繋ぐ橋杆を設け、橋杆中央に
反射式センサーを設けたことを特徴とする請求項１記載
のウエハ搬送装置に於けるウエハ認識装置。 - 【請求項３】 光学式センサーを取付けた一対のアーム
は、不使用時に立設状態となし、使用時に水平状態とな
るよう０°〜９０°の揺動可能に取付けしめたことを特
徴とする請求項１又は２記載のウエハ搬送装置に於ける
ウエハ認識装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24343499A JP2001068535A (ja) | 1999-08-30 | 1999-08-30 | ウエハ搬送装置に於けるウエハ認識装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24343499A JP2001068535A (ja) | 1999-08-30 | 1999-08-30 | ウエハ搬送装置に於けるウエハ認識装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001068535A true JP2001068535A (ja) | 2001-03-16 |
Family
ID=17103823
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24343499A Withdrawn JP2001068535A (ja) | 1999-08-30 | 1999-08-30 | ウエハ搬送装置に於けるウエハ認識装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001068535A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113013075A (zh) * | 2021-02-25 | 2021-06-22 | 上海广川科技有限公司 | 一种晶圆检测装置及方法 |
-
1999
- 1999-08-30 JP JP24343499A patent/JP2001068535A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113013075A (zh) * | 2021-02-25 | 2021-06-22 | 上海广川科技有限公司 | 一种晶圆检测装置及方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060327 |
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| A521 | Written amendment |
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| RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20070612 |
|
| A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20081113 |