JP3590517B2 - カセット内ウエフア検出装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明はカセット内ウエフア検出装置に係わり、特に蓋の着脱で気密の封止や解除をすることができるポッド(莢)タイプのカセット(以下、ポッドカセットと略記する)に収納されている半導体などのウエフアを検出する装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来の半導体ウエフア用カセットは、カセットの前後が解放状態にありウエフアをカセットの左右両側壁で支持する構造で、ウエファがカセットの前後面で露出していた。カセットに収納されている半導体などのウエフアを検出する従来の装置としては、例えば、カセットの前面に透過形センサの発光素子を配置し、カセットの後方に透過形センサの受光素子を配置し、カセットを上下いずれかの方向に移動させることによって、発光素子からの光線(光軸)がウエフアで遮断されることを検出してウエフアを検出するものや、ウエフアを搬送するロボットのアームに反射形センサを取付け、アームを上昇又は下降させることにより、反射光を得てウエフアを検出するものなどがあった。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
蓋の着脱で気密の封止や解除をすることができる開口部が1ヶ所しかないポッドカセットでは、カセット内を通過させてセンサの検出光を透過させる従来技術は、検出光が該カセットを透過できないので使用できない。
【0004】
またロボットのアームに反射形センサを設置した従来技術では、ロボットはウエフアの検出中にアームの先端にあるハンドを用いて他の動作をすることが不可能であり、スループットが悪い。さらに、ウエフアの有無は検出できてもウエフアの段違い挿入や誤挿入等の検出は不可能である。
【0005】
それゆえ本発明の目的は、ポッドカセットにおいてウエフアを検出することができ、その検出中にウエフアの搬送を行うロボットはウエフアの検出動作とは独立した動きを取ることができるカセット内ウエフア検出装置を提供することにある。
【0006】
さらに、本発明の他の目的はポッドカセットにおいてウエフアの段違い挿入や誤挿入等の検出をすることができるカセット内ウエフア検出装置を提供することにある。
【0007】
発明の一観点によれば、カセットに収納されたウエファを該カセットとセンサの相対移動で検出するカセット内ウエファ検出装置において、カセットは蓋の着脱で気密の封止や解除をすることができるポッドカセットで、その内部に複数枚のウエファを多段に桟で区切られた間隔を持って収納するようになっており、該ポッドカセットの蓋を着脱するオープナーと、該オープナーの上部左右両端に、該ポッドカセットに収納されているウエファのほぼ中心に向かう方向に沿って先端を移動させ得る手段を介して取り付けられているウエハの検知センサと、処理台上に置かれた該ポッドカセットの蓋を該オープナーが着脱する際、該ポッドカセット内に収納されたウエフアの配列方向での該オープナーと該ポッドカセットとの相対移動時に該検知センサの出力に基づいてウエファの有無を検出するウエファ検出手段とを有することを特徴とするカセット内ウエファ検出装置が提供される。
【0008】
本発明の他の観点によれば、カセットに収納されたウエファを該カセットとセンサの相対移動で検出するカセット内ウエファ検出装置において、カセットは蓋の着脱で気密の封止や解除をすることができるポッドカセットで、その内部に複数枚のウエファを多段に桟で区切られた間隔を持って収納するようになっており、該ポッドカセットの蓋を着脱するオープナーと、光軸が該ポッドカセットの開口面および該ポッドカセットに収納されるウエファと平行になるように該オープナーに取り付けた透過型の光検知センサからなるウエファの検知センサと、処理台上に置かれたポッドカセットの蓋を該オープナーが着脱する際、該ポッドカセット内に収納されたウエファの配列方向での該オープナーと該ポッドカセットとの相対移動時に該検知センサの出力に基づいてウエファの有無を検出するウエファ検出手段とを有することを特徴とするカセット内ウエファ検出装置が提供される。
【0009】
さらに好ましくは、該検知センサの光軸を該ポッドカセット内に水平に収納されたウエファで遮光したときの該検知センサの出力よりも該検知センサの出力が長い期間にわたって発生する場合に該ポッドカセットにおける桟にウエファが段違いで挿入されていることを検出するウエファ段違い挿入検出手段とを有する。
【0010】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施形態を図1〜図7を用いて説明する。
【0011】
図2において、100は半導体処理設備で、金属蒸着部101とアニーリング部102と2個のポッドカセット設置部103とこれら各部間で一点鎖線で示した半導体ウエフア104を移載する搬送部105とを備えている。ポッドカセット設置部103に置かれるポッドカセット1は、図中左右方向に移動するテーブル106で搬送部105の開口107にほぼ気密にはめ込まれる。
【0012】
搬送部105における開口107の内側にポッドカセット1の蓋を開ける機能と開口107を塞ぐ機能とを有するオープナー108がある。ポッドカセット1が外されるときは、オープナー108が開口107を覆って外気侵入を遮断する。なお、上側の開口107におけるオープナーの図示は煩雑さを避けるために省略し、下側の開口107におけるオープナー108のみが点線で示されている。
【0013】
金属蒸着部101,アニーリング部102と搬送部105とはゲートバルブ109,110を介して連通される。搬送部105にはレール111が図中上下方向に延在している。レール111上を図において上下に移動する多関節ロボット112があって、先端のハンドに半導体ウエフア104を載せて金属蒸着部101,アニーリング部102,ポッドカセット設置部103に置かれるポッドカセット1間を多関節ロボット112のx,y,z軸方向の移動およびθ軸回転などにより移載して所望な処理を行う。
【0014】
半導体処理設備100における一連の処理は制御部113で伝送線114を介して上位ホスト機と交信をしながらソフト的に管理している。
【0015】
ポッドカセット1は図3に示すように内部に複数枚の半導体ウエフア104を多段に桟で区切られた間隔を持って収納し、蓋2をはめてリンク3を動かしロックをするとポッドカセット1内を外部と遮断されたクリーンな環境に保つことができる。ポッドカセット1におけるリンク3の操作や蓋2の着脱は図2のオープナー108で行う。ポッドカセット1における蓋2の着脱やロックはオープナー108で操作ができるものであればリンク3以外の任意の手段でよい。
【0016】
図4はオープナー108でポッドカセット1における蓋2のロックを解除しさらに蓋2を脱離させる状況を示している。オープナー108の図示していない吸着盤が蓋2の前面中央部に吸着し、ロック解除機構がリンク3を回転させると蓋2はポッドカセット1から外れる。その後、図4に矢印A,Bで示すようにオープナー108を移動すると、図5に示すようにポッドカセット1は解放され、収納されている半導体ウエフア104を取り出すことができる状態になる。図4の矢印A,Bとは逆の図5の矢印C,Dで示すようにオープナー108を移動させると図4のように蓋2を装着することができる。
【0017】
図1にオープナー108に備えられているウエフア検出機構を示す。図1ではオープナー108上面の右半分を示しているが、オープナー108の上部左右両端部には、固定アーム12にペンシリンダ13が取り付けられ、そのシリンダ軸13aの先端に固定金具14を介して検知センサ15が設けられている。検知センサ15は反射型で、光軸は二点鎖線で示すように半導体ウエフア104の中心位置に向っている。従って、ウエフアが真円であれば、光軸がウエフアと交差する時、検知センサ15からの検出光はウエフア周縁部に直角に入射し、反射光の少なくとも一部は光軸に沿って検知センサ15へ戻ってくる。
【0018】
図示を省略した左側の検知センサと共に、検知センサ15はウエフア検知時にペンシリンダ13で半導体ウエフア104の中心位置に向けて周縁部に直角に近付くように移動され、検出精度を高めるようになっている。検知終了後は逆方向に移動され、蓋2の着脱の障害にならぬようになっている。なお、図1における16は検知センサ15の検知信号を図2に示した制御部113に送る伝送線、17はペンシリンダ13を動作させる動力線である。
【0019】
オープナー108の上部左右両端部に設置された2個の検知センサ15は、図4、図5に矢印BあるいはCで示したオープナー108の縦方向移動時、すなわちオープナー108とポッドカセット1との該ポッドカセット内に収納された半導体ウエフア104の配列方向での相対移動時に半導体ウエフア104の有無を検出する。
【0020】
図6(a)に示すように、2個の検知センサ15の光軸が矢印E,Fの方向にスイープされるとき、半導体ウエフア104があれば反射光は各検知センサ15で受信され、図6(b)に示す検知信号をだす。この検知信号が同時に生ずれば半導体ウエフア104はポッドカセット1の桟1aに水平に収納されていると認知される。
【0021】
図7(b)に示すように検知信号がずれて生じるときは図7(a)に示すように半導体ウエフア104はポッドカセット1の桟1aに誤って段違いになって斜めに収納されていると認知される。このように検知センサ15の検知信号と検知位置を対応付けることによって、半導体ウエフア104の有無だけでなく斜め収納も確認でき、ポッドカセット1内における全半導体ウエフア104の収納状況を制御部113に内蔵の記憶部に記録(マッピング)できる。そしてその記録データを利用して、搬送部105における多関節ロボット112により金属蒸着部101,アニーリング部102,ポッドカセット設置部103に置かれたポッドカセット1間での半導体ウエフア104の搬送移載を行う。
【0022】
この実施形態では、検知センサをオープナー108に設置しているので格別な手段は不要であり、オープナー自体の動作中に検出をすることができる。多関節ロボット112は半導体ウエフア104の検知(検出動作)に無関係であるから、オープナー108の動作中に独立して自由に行動できる。
【0023】
次に本発明の他の実施形態を図8に従って説明する。
なお、同図において、図1に示したものと同一物あるいは相当物には同一引用符号を付けている。
【0024】
図8において、21はオープナー108の上端部に設置したモータ、22はホルダー23をポッドカセット1の開口面Aの方向に往復させるピニオン・ラックである。ホルダー23の先端は二股に分かれており、一方の端部に発光素子24a,他方の端部に受光素子24bを設けてある。発光素子24aと受光素子24b間の光軸は、ポッドカセット1の開口面Aおよび該ポッドカセットに収納されるウエフア104と平行になるようにしている。
【0025】
ウエファ104は大口径になるほど中央部が凹むが、多段に収納されたウエファのうち隣接した段のウエファ間を光軸が二点鎖線で示すように走る場合に光軸はウエフア104と平行とみなす。ホルダー23の腕部および両端部は、ウエファ104の周縁に接触しない位置に配置される。図4の矢印Bあるいは図5の矢印C方向にオープナー108を移動させると、図6(b)、図7(c)の2つの信号を合成したような信号が得られる。ウエフアが平行に格納されている場合は遮光状態に応じた短いパルスが発生する。図7(a)に示すように、ポッドカセット1内でのウエフア104の段違い挿入があると1段以上の期間にわたった長いパルスが発生する。このようにして段違い挿入や誤挿入等の検出をすることができる。
【0026】
次に、本発明の更に他の実施形態を図9に従って説明する。なお、同図において、図1および図8に示したものと同一物あるいは相当物には同一引用符号を付けている。
【0027】
図9において、オープナー108の上に間隔部材108bを介してオープナー108の上面部と平行に支持板108aが支持されている。モータ21はオープナー108の上面部と支持板108aの下面部の間に位置するように支持板108aの下面部に設置されている。モータ21は回転軸21aを有する。
【0028】
支持板108aにはモータ21の回転軸21aの位置から離れた所に支軸26が設けられている。回転軸21aと支軸26にそれぞれ連結アーム25a、25bが結合されている。連結アーム25a、25bの先端部にホルダー23が回転可能に軸支されており、オープナー108に対してホルダー23が矢印で示すように連結アーム25a、25bで移動する。従ってこれらは、所謂、平行クランクアームを構成している。ホルダー23には固定金具14で発光素子24a、受光素子24bが設けられている。発光素子24a、受光素子24bでウエフア104の検知センサを構成している。
【0029】
オープナー108で蓋2の着脱を行う場合、ホルダー23はモータ21の駆動に伴う軸21aの回転で連結アーム25a、25bによりオープナー108の上面部と支持板108aの下面部の間に畳み込まれた状態になり、蓋2の着脱の邪魔にならないようになっている。ウエフア104の検知をするときは、図に示すように、モータ21の駆動に伴う軸21aの逆方向への回転による連結アーム25a、25bの回転動作によりホルダー23がポッドカセット1の開口部Aに近づいて、発光素子24a、受光素子24b間の二点鎖線で示す光軸が開口部Aやウエフア104と平行になるようにしている。
【0030】
このような構成で、図8に示した実施形態と同様に、段違い挿入や誤挿入等の検出をすることができる。そして、連結アーム25a、25bなどによる簡単な機構で検知センサとウエフア104などとの平行度を容易に検出することができる。
【0031】
図9のものは搬送部105とオープナー108の間隔を狭くしたい場合に有効である。逆に間隔を取りたい場合には連結アーム25a、25bなどによる平行クランクアーム機構は、パンタグラフ機構のものに替えることができる。
【0032】
図9の平行クランクアーム機構や上記のパンタグラフ機構は支持板108aを用いないで、オープナー108の上面部に直接設けてもよい。
【0033】
以上実施例に沿って本発明を説明したが、本発明はこれらに制限されるものではない。たとえば、種々の変更、改良、組み合わせ等が可能なことは当業者に自明であろう。
【0034】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、ポッドカセットに収納したウエフアを検出することができ、その検出中にウエフアの搬送を行うロボットはウエフアの検出動作とは独立した動きを取ることができるカセット内ウエフア検出装置を得ることができる。さらに、本発明によれば、ポッドカセットにおいてウエフアの段違い挿入や誤挿入等の検出をすることができるカセット内ウエフア検出装置を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態を示すもので、ポッドカセットに収納された半導体ウエフアをオープナーに取り付けた検知センサで検出している状況を示した図である。
【図2】ポッドカセットが設置された半導体処理設備を上方からみた部分断面図である。
【図3】蓋を開けたポッドカセット内に半導体ウエフアが収納された状況を示す図である。
【図4】オープナーでポッドカセットの蓋を開ける状況を示す図である。
【図5】オープナーでポッドカセットの蓋を開ける状況を示す図である。
【図6】オープナーでポッドカセットの蓋を開ける際に正しく収納された半導体ウエフアを検出する状況を示す図である。
【図7】オープナーでポッドカセットの蓋を開ける際に誤って収納された半導体ウエフアを検出する状況を示す図である。
【図8】本発明の他の実施形態を示す一部破断平面図であり、ポッドカセットに収納された半導体ウエフアをオープナーに取り付けた検知センサで検出している状況を示した図である。
【図9】本発明の更に他の実施形態を示す一部破断平面図であり、図8と同様に、ポッドカセットに収納された半導体ウエフアをオープナーに取り付けた検知センサで検出している状況を示した図である。
【符号の説明】
1 ポッドカセット
1a 桟
2 蓋
3 リンク
12 固定アーム
13 ペンシリンダ
14 固定金具
15 検知センサ
103 ポッドカセット設置部
104 半導体ウエフア
105 搬送部
108 オープナー
112 多関節ロボット
113 制御部
Claims (3)
- カセットに収納されたウエファを該カセットとセンサの相対移動で検出するカセット内ウエファ検出装置において、
カセットは蓋の着脱で気密の封止や解除をすることができるポッドカセットで、その内部に複数枚のウエファを多段に桟で区切られた間隔を持って収納するようになっており、
該ポッドカセットの蓋を着脱するオープナーと、
該オープナーの上部左右両端に、該ポッドカセットに収納されているウエファのほぼ中心に向かう方向に沿って先端を移動させ得る手段を介して取り付けられているウエハの検知センサと、
処理台上に置かれた該ポッドカセットの蓋を該オープナーが着脱する際、該ポッドカセット内に収納されたウエフアの配列方向での該オープナーと該ポッドカセットとの相対移動時に該検知センサの出力に基づいてウエファの有無を検出するウエファ検出手段とを有することを特徴とするカセット内ウエファ検出装置。 - カセットに収納されたウエファを該カセットとセンサの相対移動で検出するカセット内ウエファ検出装置において、
カセットは蓋の着脱で気密の封止や解除をすることができるポッドカセットで、その内部に複数枚のウエファを多段に桟で区切られた間隔を持って収納するようになっており、
該ポッドカセットの蓋を着脱するオープナーと、
光軸が該ポッドカセットの開口面および該ポッドカセットに収納されるウエファと平行になるように該オープナーに取り付けた透過型の光検知センサからなるウエファの検知センサと、
処理台上に置かれたポッドカセットの蓋を該オープナーが着脱する際、該ポッドカセット内に収納されたウエファの配列方向での該オープナーと該ポッドカセットとの相対移動時に該検知センサの出力に基づいてウエファの有無を検出するウエファ検出手段とを有することを特徴とするカセット内ウエファ検出装置。 - 請求項2に記載のカセット内ウエフア検出装置において、さらに、該検知センサの光軸を該ポッドカセット内に水平に収納されたウエファで遮光したときの該検知センサの出力よりも該検知センサの出力が長い期間にわたって発生する場合に該ポッドカセットにおける桟にウエファが段違いで挿入されていることを検出するウエファ段違い挿入検出手段とを有することを特徴とするカセット内ウエファ検出装置。
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