JPH10284572A - ウエーハ搬送システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ウェーハをキャリアステーションからトラン
スファアームロボットに搭載して搬送する過程で、適正
な姿勢でトランスファアームに搭載するための各動作を
確認することによりウェーハを確実、かつ安全に搬送す
るとともに吸着によるウエーハの汚れなども解決する。 【解決手段】 Ｃ／Ｓ側では、高さ位置検出センサＳ５
によりキャリアカセットの搬送すべきウェーハが所定高
さ位置に設定される。また、間隙確認センサＳ６によ
り、ウェーハ間にＴ／Ａ搬送フォーク６を挿入すべき間
隙が確保されているか否かを確認する。Ｔ／Ａ側では、
旋回位置確認センサＳ１により搬送フォーク６がＣ／Ｓ
側に向いているかを確認し、ウエーハ位置検出センサＳ
２，Ｓ３の信号により搬送すべきウェーハに対し搬送フ
ォーク６が適正な位置になるように補正する。さらにウ
ェーハ姿勢検出センサＳ４により搬送フォーク６に搭載
されたウェーハが正常な姿勢で搭載されているかを検出
する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、超ＬＳＩなどの製
造工程に使用される装置において、ウエーハを搬送する
ためのウエーハ搬送システムに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来のウエーハ搬送システムは、ウエー
ハを吸着して保持する機構であり、吸着部の吸着痕や空
気を吸排気するために汚れが付着し易く、また、ウエー
ハを安全に取り合いするための位置検出センサが少な
く、ウエーハの破損等の事故が発生することがあった。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、ウエ
ーハを非吸着方式で搬送するウエーハ搬送システムであ
って、ウエーハをキャリアステーションからスカラ形ト
ランスファアームロボットに搭載して搬送するシステム
において、ウエーハ面にキズ，汚れが付かないウエーハ
保持機構を設け、ウエーハの正確な位置を検出し安全な
取り合いを実施することによりウェーハを確実、かつ安
全に搬送できるようにしたウエーハ搬送システムを提供
することにある。

【０００４】

【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に本発明によるウエーハ搬送システムは、多段搭載構造
のキャリアカセットに多数のウエーハを搭載して上下さ
せ、搬送すべきウエーハを所定の出し入れ高さにもたら
すキャリアステーションと、前記キャリアステーション
の搬送すべきウエーハとその下側のウエーハの間に形成
される間隙に搬送フォークを挿入し該搬送フォークに前
記搬送すべきウエーハを搭載して前記キャリアカセット
から前記搬送フォークを引出し、必要に応じて旋回する
とともに前記搬送フォークを支持する腕部を移動させる
ことにより他のキャリアステーションなどに搬送するス
カラ形トランスファアームロボットとから構成され、前
記キャリアステーションには、前記搬送すべきウエーハ
の高さ方向の位置を検出する高さ位置検出センサと、前
記搬送すべきウエーハとその下側のウエーハに形成され
る間隙が前記搬送フォークを挿入可能な高さになってい
るか否かを検出する間隙確認センサとを設け、前記スカ
ラ形トランスファアームロボットには、前記搬送フォー
クの旋回位置が前記キャリアステーションの挿入すべき
位置にあるか否かを検出する旋回位置確認センサと、前
記搬送フォークが搬送すべきウエーハの下側の間隙に挿
入され、そのウエーハ取り合い位置が適切であるか否か
を検出するウエーハ位置検出センサと、前記ウエーハ位
置検出センサの信号により適切な位置に搬送フォークが
位置付けられ、搬送すべきウエーハを取り合いし、搭載
されたウエーハの姿勢が水平であるか否かを検出するウ
エーハ姿勢検出センサとを設けて構成してある。前記搬
送フォークには複数のガイドピンを有し、ウエーハが前
記ガイドピンのテーパ部によってアライメントされ、位
置が固定されることにより搬送中の落下を防止し、前記
ガイドピンのスカート部によりウエーハは前記搬送フォ
ークに非接触の状態で搬送されるようにしてある。前記
旋回位置確認センサは、反射形センサであり、前記キャ
リアステーション側に取り付けた反射板に光を当て、そ
の反射光を感知することによって旋回位置が正常か否か
を確認するように構成することができる。前記高さ位置
検出センサおよび前記間隙確認センサは、ウエーハのエ
ッジ外側にそれぞれ相互に対面するように光を発する発
光部と受光する受光部とを設け、その光路を遮られるか
否かによってウエーハの高さ方向の位置および間隙を検
出するように構成することができる。前記ウエーハ位置
検出センサは、搬送フォークが所定量挿入されたとき、
搬送すべきウエーハのエッジの位置を検出することによ
り搬送フォークの最適位置に補正するように構成するこ
とができる。

【０００５】上記構成によれば、ウエーハ面にキズ，汚
れが付くことはなく、キャリア内ウエーハの高さ方向の
正確な位置を検出することができ、ウエーハにキズを付
けることなく搬送フォークを挿入できるキャリア内ウエ
ーハ間の隙間を確認でき、搬送フォークがキャリア内に
接触しないためにキャリアの中心を向いていることを確
認することができ、搬送フォークをキャリアに挿入し安
全に取り合うための正確なウエーハ位置を検出すること
ができ、ウエーハが搬送フォーク上の適正な位置に搭載
されたかウエーハ面の水平度によって検出することがで
きる。

【０００６】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態を詳しく説明する。図１は、本発明によるウエ
ーハ搬送システムの実施の形態を示す図である。（ａ）
はキャリアステーションおよびトランスファアームロボ
ットよりなるウエーハ搬送システムの平面図，（ｂ）は
多段搭載されたウエーハおよび搬送フォークに注目した
ウエーハ搬送システムの側面図である。図２は、図１の
ウエーハ搬送システムのＴ／Ａ（トランスアームロボッ
トの略）搬送フォークを伸ばした状態を示す平面図，図
３は図２の側面図である。キャリアステーションはＣ／
Ｓ（キャリアステーションの略）基台２１，Ｃ／Ｓ昇降
駆動部１９およびＣ／Ｓセンサプレート１により構成さ
れる。キャリアカセット２０はキャリアステーションに
装着される。Ｃ／Ｓ基台２１に一体にＣ／Ｓ昇降駆動部
１９が取り付けられ、Ｃ／Ｓ昇降駆動部１９は内蔵する
昇降用モータ４２（図５参照）によってキャリア支持ア
ーム１９ａとＣ／Ｓキャリアプレート２を上下に移動さ
せる。

【０００７】多数のウエーハを多段搭載したキャリアカ
セット２０がＣ／Ｓキャリアプレート２に搭載されてい
る。Ｃ／Ｓ昇降駆動部１９の最上部には、その先端部に
高さ位置検出センサＳ５および間隙確認センサＳ６を取
り付けたＣ／Ｓセンサプレート１が固定されている。ま
た、旋回位置確認センサＳ１の反射板１１が取り付けら
れている。

【０００８】一方、トランスファアームロボットは、伸
縮用モータ４０および旋回用モータ４１（図５参照）を
内蔵するＴ／Ａ基台５，Ｔ／Ａ第１アーム３，Ｔ／Ａ第
２アーム４およびＴ／Ａ搬送フォーク６より構成されて
いる。Ｔ／Ａ搬送フォーク６の端部は回転軸１６により
Ｔ／Ａ第１アーム３の一端に回転可能に取り付けられ，
さらにＴ／Ａ第１アーム３の他端は回転軸１７によりＴ
／Ａ第２アーム４の一端に回転可能に取り付けられてい
る。Ｔ／Ａ第２アーム４の他端はＴ／Ａ基台５内の旋回
用モータ４１の駆動軸に係合している回転支持部１８ａ
に回転可能に取り付けられている。また、伸縮用モータ
４０はその駆動軸が回転軸１８に係合し、かつ回転支持
部１８ａに固定されている。旋回時は回転支持部１８
ａ，回転軸１８，伸縮モータ４０がともに回転する。上
記Ｔ／Ａ第１アーム３，Ｔ／Ａ第２アーム４，回転軸１
８，回転支持部１８ａおよび伸縮モータ４０により伸縮
機構が構成される。

【０００９】伸縮用モータ４０の回転により回転軸１８
が回転し、ベルトにより回転軸１７および１６に伝達さ
れる。これにより図１（ａ）の縮んだ状態の搬送フォー
クが図２に示すように伸長し、キャリアカセット２０の
ウエーハの間に挿入された状態となる。旋回用モータ４
１を駆動させることによりトランスファアームの伸縮機
構の向きを変えることができる。Ｔ／Ａ搬送フォーク６
にはガイドピン７，８，９および１０が設けられてお
り、このガイドピンの内側にウエーハが搭載される。ウ
エーハはその外縁部がガイドピン７，８，９および１０
のテーパ部７ｂ，８ｂ，９ｂおよび１０ｂによりアライ
メントされ、ガイドピンのスカート部７ｃ，８ｃ，９ｃ
および１０ｃに点接触で搭載されＴ／Ａ搬送フォーク６
に接触しないように支持される。Ｔ／Ａ搬送フォーク６
の側部には、搬送すべきウエーハに対し搬送フォーク６
の挿入位置を検出するウエーハ位置検出センサＳ２およ
びＳ３が設置されている。

【００１０】図４（ａ）は、旋回位置確認センサＳ１，
図４（ｂ）はウエーハ位置検出センサＳ２，Ｓ３，図４
（ｃ）はウエーハ姿勢検出センサＳ４，図４（ｄ）は高
さ位置検出センサＳ５，図４（ｅ）は間隙確認センサＳ
６の機能を説明するための図である。（ａ）において、
Ｔ／Ａ搬送フォーク６に取り付けられている旋回位置確
認センサＳ１は発光部より光ビームを発光する。Ｃ／Ｓ
センサプレート１に取り付けられている反射板１１によ
って光が反射され受光部で受光することによって、Ｔ／
Ａ搬送フォーク６がキャリアカセットのウエーハを搭載
するための正規の方向（図１（ａ）に示す方向）を向い
ていることを判断することができる。光ビームが戻って
こない場合には、正規の方向より外れているものとし
て、エラーを出力し伸縮動作しないように規制する。

【００１１】（ｂ）(i) において、Ｔ／Ａ搬送フォーク
６は搬送すべきウエーハ２８の下側の間隙に挿入され規
定量伸びて、ウエーハ２８がＴ／Ａ搬送フォーク６に正
常に搭載される位置より少し行き過ぎた位置まで挿入さ
れた状態を示している。当初はこの行き過ぎた位置にな
るように規定量伸びる。テーパ部７ｂ，８ｂ，９ｂおよ
び１０ｂを有する突出部７ａ，８ａ，９ａおよび１０ａ
とスカート部７ｃ，８ｃ，９ｃおよび１０ｃからなるガ
イドピン７，８，９および１０（Ｔ／Ａ搬送フォーク６
上のガイドピン８と１０のみが見えている）は搬送フォ
ーク６の前端と後端付近に取り付けられている。

【００１２】Ｔ／Ａ搬送フォーク６が矢印６ａの方向に
挿入されていき、規定量伸びる途中経路で正常に搭載さ
れる位置を越えると、ウエーハ位置検出センサＳ２，Ｓ
３が動作し、ウエーハ２８と搬送フォーク６が適切な取
り合いができる位置に伸縮軸, 旋回軸を動作させ補正す
る。ウエーハ位置検出センサＳ２，Ｓ３は搬送フォーク
６の後端左右の側部にそれぞれ取り付けられ、それぞれ
発光部と受光部から構成されている。Ｔ／Ａ搬送フォー
ク６が正常に搭載される位置を越えた時点で、ウエーハ
２８の後端部により発光部の光が遮られ、動作を開始す
る。（ｂ）(ii)は、(i) の状態のウエーハ２８とＴ／Ａ
搬送フォーク６を平面から見た図であり、ウエーハ中心
と搬送フォーク中心がずれている状態を示している。縮
動作により(iii) に示すように前後位置を補正し、さら
に旋回動作により(iv)に示すように上下位置を補正し
て、ウエーハ中心と搬送フォーク中心を一致させる。

【００１３】図２で示す二点鎖線で示すウエーハ２８
は、Ｔ／Ａ搬送フォーク６に対しその中心位置が一致
し、適切な位置になっていることを示している。この状
態では、ウエーハ２８のエッジはガイドピン７，８，９
および１０のスカート部７ｃ，８ｃ，９ｃおよび１０ｃ
に載り、突出部７ａ，８ａ，９ａおよび１０ａでエッジ
が規制され、ずれて落ちることはない。正常に搭載され
たことになる。（ｃ）(i) は、ウエーハ２８が正常に搭
載され、ウエーハ姿勢検出センサＳ４の発光部からの光
ビームはＳ４用反射板２２で反射して戻っている状態を
示している。（ｃ）(ii)はＴ／Ａ搬送フォーク６に搭載
したが、ウエーハ２９のエッジの一部がガイドピン７，
８に乗り上げ，エッジの他の部分がガイドピン９，１０
のスカート部９ｃ，１０ｃから外れている状態を示して
いる。このようにＳ４用反射板２２より光が戻ってこな
い場合には、ウエーハ２９は正常に搭載されておらず、
光ビームが遮られていることを検知でき、これによりエ
ラーを出力してＴ／Ａが縮動作をしないように規制す
る。

【００１４】（ｄ）はＣ／Ｓキャリアカセット動作中の
高さ位置検出センサＳ５とキャリア内のウエーハの位置
関係を示している。下降中に各ウエーハが高さ位置検出
センサＳ５の光軸を遮っている状態である。Ｃ／Ｓ昇降
駆動部１９の昇降動作によって高さ位置検出センサＳ５
は、各スロットでのウエーハ検出と、ウエーハが光軸を
遮ったタイミングを検出する。これにより、ウエーハが
ない場合にはエラーが出力され、また、ウエーハがある
場合には高さ位置検出センサＳ５が検出したタイミング
よりキャリアプレートをＴ／Ａ搬送フォーク６に対し、
最適な取り合い位置になるように移動する。（ｅ）はウ
エーハ３１とその下側のウエーハ３２にＴ／Ａ搬送フォ
ーク６を挿入するための間隙があるか、すなわち障害物
がないかを検知している状態を示すものである。一定の
高さ領域３３をカバーするように高さ方向に幅のある光
ビームを発射し、そのビームを受光部で検知するように
構成されている。光ビームの一部でも遮られると、受光
部からは所定出力を得ることができない。

【００１５】図５は、本発明によるウエーハ搬送システ
ムの制御回路の実施の形態を示すブロック図，図６Ａお
よび図６Ｂは、図５の動作を説明するためのフローチャ
ートである。トランスファアームロボットを制御するト
ランスファアーム制御部３５に旋回位置確認センサＳ
１，ウエーハ位置検出センサＳ２，Ｓ３およびウエーハ
姿勢検出センサＳ４が接続されている。トランスファア
ーム制御部３５の制御の下に伸縮駆動用ドライバ３７，
旋回駆動用ドライバ３８を介して伸縮用モータ４０，旋
回用モータ４１が駆動される。キャリアステーションを
制御するキャリアステーション制御部３６に高さ位置検
出センサＳ５および間隙確認センサＳ６が接続され、キ
ャリアステーション制御部３６の制御の下に昇降駆動用
ドライバ３９を介して昇降用モータ４２が駆動される。

【００１６】キャリアステーション制御部３６は、キャ
リアカセット２０を搭載した直後にキャリアカセット２
０内の全ウエーハに対しウエーハの有無と各ウエーハの
高さ位置を検出する動作を開始する。キャリアプレート
２がフルストローク下がり、この間に高さ位置検出セン
サＳ５が各スロットでのウエーハ検出と実際に光軸を遮
ったタイミングを検出する。そして再び上昇させ初期位
置に待機させる（ステップ（以下「Ｓ」という）６０
１）。つぎに、上記サーチ動作におけるウエーハ有無検
出でウエーハを検出しなかった場合にはエラーを出力す
る。ウエーハを検出した場合には高さ位置検出センサＳ
５で検出したタイミングから指定されたキャリアカセッ
トのスロットまでの移動量を算出する。そして、昇降駆
動用ドライバ３９によって昇降用モータ４２を駆動さ
せ、キャリアプレート２をＴ／Ａ搬送フォーク６に対し
最適な取り合い位置になるように移動させる（Ｓ６０
２）。つぎに間隙確認センサＳ６により搬送すべきウエ
ーハとその下側のウエーハの間に所定の高さ領域が確保
されているか、すなわちＴ／Ａ搬送フォーク６の進入範
囲にウエーハ等の障害物が存在しないことを確認する。
存在した場合にはエラー信号を出力し（Ｓ６０７）、メ
ンテナンスに移行することとなる。

【００１７】ウエーハ等の障害物が存在しない場合に
は、その情報がトランスファアーム制御部３５に伝達さ
れ、トランスファアーム制御部３５は、旋回駆動用ドラ
イバ３８によって旋回用モータ４１を駆動し、トランス
ファアームの伸縮駆動機構を旋回させる（Ｓ６０４）。
そして旋回位置確認センサＳ１によりトランスファアー
ムの伸縮駆動機構が所定の方向すなわちキャリアステー
ション位置に旋回したか否かを確認する（Ｓ６０５）。
所定の方向に旋回できなかった場合にはエラー信号を出
力する（Ｓ６０７）。キャリアステーション位置に対し
正常な方向になった場合には、伸縮駆動用ドライバ３７
によって伸縮用モータ４０を回転させＴ／Ａ搬送フォー
ク６を伸ばす動作を開始する（Ｓ６０６）。

【００１８】トランスファアーム制御部３５は、Ｔ／Ａ
搬送フォーク６を規定量伸びるように制御する。Ｔ／Ａ
搬送フォーク６は、搬送すべきウエーハの下側の間隙に
挿入され規定量伸び、ウエーハがＴ／Ａ搬送フォーク６
に正常に搭載される位置より少し行き過ぎた位置まで挿
入される。ウエーハ位置検出センサＳ２，Ｓ３の光軸は
Ｔ／Ａ搬送フォーク６が規定量伸びたときに、ウエーハ
の後端によって遮られ、オンすることになっている。ト
ランスファアーム制御部３５はウエーハ位置検出センサ
Ｓ２，Ｓ３がオンした否かを判断し（Ｓ６０８）、両セ
ンサＳ２，Ｓ３の少なくとも１つがオフ状態の場合には
補正範囲にウエーハは存在しないとしてエラー信号を出
力する（Ｓ６０９）。伸び動作中に両センサＳ２，Ｓ３
がオンした場合にはトランスファアーム制御部３５はそ
れぞれオンしたタイミングを記憶する。そしてそのタイ
ミング信号から補正量を演算し、まず伸縮軸を動作させ
左右方向を補正し、つぎに旋回軸を動作させ旋回方向を
補正する（Ｓ６１０）。

【００１９】なお、ウエーハ位置検出センサＳ２，Ｓ３
は、搬送フォーク６上のウエーハの有無を検出する機能
も有する。上記動作によりＴ／Ａ搬送フォーク６とウエ
ーハの中心位置は一致し、搭載すべき位置は適切な位置
関係になり、つぎにキャリアステーション制御部３６は
昇降駆動用ドライバ３９によって昇降用モータ４２を僅
かに駆動し、キャリアカセット２０を微少ストロークダ
ウンさせる（Ｓ６１１）。

【００２０】トランスファアーム制御部３５は、この情
報が伝達されると、ウエーハ姿勢検出センサＳ４によっ
てＴ／Ａ搬送フォーク６のガイドピンの支持部７ｂ，８
ｂ，９ｂおよび１０ｂに正常に接地したか否かを確認す
る（Ｓ６１２）。正常に接地しない場合にはキャリアカ
セット２０を微少ストロークアップさせ、Ｔ／Ａ搬送フ
ォーク６を縮ませエラー信号を出力する（Ｓ６１５，Ｓ
６１６，Ｓ６１７）。正常に接地した場合は、Ｔ／Ａ搬
送フォーク６を縮ませ、搬送目的位置までウエーハを搬
送する（Ｓ６１３，Ｓ６１４）。以上の動作過程におい
て、Ｓ６０３とＳ６０４，Ｓ６０５の動作の順番を
入れ換えても良い。また、ウエーハ位置検出センサＳ
２，Ｓ３は透過型センサではなく、反射型に置き換える
こともできる。

【００２１】

【発明の効果】以上、説明したように本発明によれば、
ウエーハを非吸着方式で搬送するウエーハ搬送システム
において、ウエーハをキャリアステーションからスカラ
形トランスファアームロボットに搭載して他のキャリア
ステーション等に搬送する過程で、ウエーハにキズ，汚
れ，破損を生じることなく、またキャリアの変形による
キャリア内ウエーハの位置のバラつきがあってもウエー
ハ位置を正確に検出するため、トランスファアームロボ
ットの搬送フォークに適正な姿勢で搭載するための各動
作を確認するので、ウェーハを他のキャリアステーショ
ンなどに確実、かつ安全に搬送できるという効果があ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明によるウエーハ搬送システムの実施の形
態を示す平面図である。

【図２】図１のウエーハ搬送システムのＴ／Ａ搬送フォ
ークを伸ばした状態を示す平面図である。

【図３】図２の側面図である。

【図４】本発明によるウエーハ搬送システムの搬送過程
における各センサの動作を説明するための図である。

【図５】本発明によるウエーハ搬送システムの制御回路
の実施の形態を示すブロック図である。

【図６Ａ】図５の動作を説明するためのフローチャート
である。

【図６Ｂ】図５の動作を説明するためのフローチャート
である。

【符号の説明】

Ｓ１…旋回位置確認センサ Ｓ２，Ｓ３…ウエーハ位置検出センサ Ｓ４…ウエーハ姿勢検出センサ Ｓ５…高さ位置検出センサ Ｓ６…間隙確認センサ １…Ｃ／Ｓセンサプレート ２…Ｃ／Ｓキャリアプレート ３…Ｔ／Ａ第１アーム ４…Ｔ／Ａ第２アーム ５…Ｔ／Ａ基台 ６…Ｔ／Ａ搬送フォーク ７，８，９，１０…ガイドピン １１…反射板 １２，１３，１４，１５，２８，２９，３０，３１…ウ
エーハ １６，１７，１８…回転軸 １９…Ｃ／Ｓ昇降駆動部 ２０…キャリアカセット ２１…Ｃ／Ｓ基台 ２２…Ｓ４用反射板 ３５…トランスファアーム制御部 ３６…キャリアステーション制御部 ３７…伸縮駆動用ドライバ ３８…旋回駆動用ドライバ ３９…昇降駆動用ドライバ ４０…伸縮用モータ ４１…旋回用モータ ４２…昇降用モータ

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 多段搭載構造のキャリアカセットに多数
   のウエーハを搭載して上下させ、搬送すべきウエーハを
   所定の出し入れ高さにもたらすキャリアステーション
   と、前記キャリアステーションの搬送すべきウエーハと
   その下側のウエーハの間に形成される間隙に搬送フォー
   クを挿入し該搬送フォークに前記搬送すべきウエーハを
   搭載して前記キャリアカセットから前記搬送フォークを
   引出し、必要に応じて旋回するとともに前記搬送フォー
   クを支持する腕部を移動させることにより他のキャリア
   ステーションなどに搬送するスカラ形トランスファアー
   ムロボットとから構成され、 前記キャリアステーションには、 前記搬送すべきウエーハの高さ方向の位置を検出する高
   さ位置検出センサと、 前記搬送すべきウエーハとその下側のウエーハに形成さ
   れる間隙が前記搬送フォークを挿入可能な高さになって
   いるか否かを検出する間隙確認センサとを設け、 前記スカラ形トランスファアームロボットには、 前記搬送フォークの旋回位置が前記キャリアステーショ
   ンの挿入すべき位置にあるか否かを検出する旋回位置確
   認センサと、 前記搬送フォークが搬送すべきウエーハの下側の間隙に
   挿入され、そのウエーハ取り合い位置が適切であるか否
   かを検出するウエーハ位置検出センサと、 前記ウエーハ位置検出センサの信号により適切な位置に
   搬送フォークが位置付けられ、搬送すべきウエーハを取
   り合いし、搭載されたウエーハの姿勢が水平であるか否
   かを検出するウエーハ姿勢検出センサとを設けたことを
   特徴とするウエーハ搬送システム。
2. 【請求項２】 前記搬送フォークには複数のガイドピン
   を有し、ウエーハが前記ガイドピンのテーパ部によって
   アライメントされ、位置が固定されることにより搬送中
   の落下を防止し、前記ガイドピンのスカート部によりウ
   エーハは前記搬送フォークに非接触の状態で搬送される
   ことを特徴とする請求項１記載のウエーハ搬送システ
   ム。
3. 【請求項３】 前記旋回位置確認センサは、反射形セン
   サであり、前記キャリアステーション側に取り付けた反
   射板に光を当て、その反射光を感知することによって旋
   回位置が正常か否かを確認するように構成したことを特
   徴とする請求項１記載のウエーハ搬送システム。
4. 【請求項４】 前記高さ位置検出センサおよび前記間隙
   確認センサは、ウエーハのエッジ外側にそれぞれ相互に
   対面するように光を発する発光部と受光する受光部とを
   設け、その光路を遮られるか否かによってウエーハの高
   さ方向の位置および間隙を検出するように構成したこと
   を特徴とする請求項１記載のウエーハ搬送システム。
5. 【請求項５】 前記ウエーハ位置検出センサは、搬送フ
   ォークが所定量挿入されたとき、搬送すべきウエーハの
   エッジの位置を検出することにより搬送フォークの最適
   位置に補正するように構成したことを特徴とする請求項
   １記載のウエーハ搬送システム。
6. 【請求項６】 前記ウエーハ姿勢検出センサは、反射型
   センサであり、搬送フォーク先端に取り付けた反射板に
   光を当て、その光路を遮るか否かによって搬送フォーク
   へ搭載されたウエーハの姿勢が水平であるか否かを検出
   するように構成したことを特徴とする請求項１記載のウ
   エーハ搬送システム。