JPH07120206B2 - 無人搬送系の移載位置決め方法 - Google Patents

無人搬送系の移載位置決め方法

Info

Publication number
JPH07120206B2
JPH07120206B2 JP1168486A JP16848689A JPH07120206B2 JP H07120206 B2 JPH07120206 B2 JP H07120206B2 JP 1168486 A JP1168486 A JP 1168486A JP 16848689 A JP16848689 A JP 16848689A JP H07120206 B2 JPH07120206 B2 JP H07120206B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
transfer
transport vehicle
stop position
light
axis direction
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP1168486A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0333903A (ja
Inventor
秀昭 春名
治隆 松田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Tsubakimoto Chain Co
Original Assignee
Tsubakimoto Chain Co
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Tsubakimoto Chain Co filed Critical Tsubakimoto Chain Co
Priority to JP1168486A priority Critical patent/JPH07120206B2/ja
Publication of JPH0333903A publication Critical patent/JPH0333903A/ja
Publication of JPH07120206B2 publication Critical patent/JPH07120206B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Control Of Position, Course, Altitude, Or Attitude Of Moving Bodies (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、予め設定された走行経路に沿って走行し、該
走行経路上の所定位置に停止する無人搬送車と、この停
止位置に設置された移載ステーションとの間に搬送物の
移載を行う無人搬送系における移載位置決め方法に関す
る。
〔従来技術〕
工場等の施設内に適宜に設置された複数の移載ステーシ
ョン間に搬送車を誘導走行させ、各移載ステーションと
の間にて搬送物の搬入及び搬出を行う無人搬送系は、FA
(Factory Automation)の構成において不可欠なもので
ある。
このような無人搬送系における搬送車は、各移載ステー
ション間に設定された走行経路上に、例えば光,磁力線
等を利用して形成された標識により誘導されると共に、
走行輪の回転数等から自身の走行距離を認識しつつ、上
位の制御コンピュータからの指令に従って走行し、所定
の移載ステーション前にて自動停止して、該移載ステー
ションとの間にて搬送物の移載を行う。この移載は、移
載ステーション前に停止した搬送車に向けて、該移載ス
テーションに装備された移載機を移動せしめて行われる
が、前記搬送車には、搬送能率の向上を図るべく、進行
方向に複数個の搬送物の載置台を備えているものがあ
り、このような場合にも対応可能なように、前記移載機
は、搬送車に向かう方向のみならず、これと略直交する
載置台の並設方向へも移動自在となっている。この移載
機は、例えば、移載ステーション上にて搬送車の進行方
向と平行な方向、即ち載置台の並設方向に移動する台車
と、該台車に取付けられ、搬送車に向けて伸縮する移載
アームとを備えてなり、移載ステーション前に搬送車が
停止した後、該搬送車の各載置台に対応させて予め定め
られた位置まで台車を移動させ、次いで、搬送車上の載
置台に向けて移載アームを伸長せしめることにより、各
載置台との間にて搬送物の移載を行う構成となってい
る。
さて、このような無人搬送系における移載の際の位置決
め精度は、搬送車の停止位置精度に依存する。搬送車の
停止は、例えば、各移載ステーション前に光,磁力線等
を利用して形成された停止標識の検出に応じて行われ
る。ところが、停止標識の検出により搬送車が停止動作
を開始した後、実際に停止に至るまでの間の走行距離に
は慣性の影響が生じ、この慣性は、停止前の速度の高低
及び積載物の有無等に応じて異なるために、搬送車の停
止位置に高い精度を実現することは困難である。このよ
うに生じる停止位置決め誤差は、搬送車と移載機との間
の搬送物の取り合いの際、移載機の一部と搬送物との間
の摺接による塵芥の発生を招来し、これは、周辺環境に
高い清浄度を要求される半導体製造設備のクリーンルー
ム内にて使用される無人搬送系においては重要な問題な
っている。
そこで従来、搬送車上の搬送物の載置台を水平面内にて
移動自在に構成し、搬送車の停止位置に誤差が生じた場
合においても、載置台の移動により移載ステーションと
の間の相対的な位置関係の補正が行い得るようにした無
人搬送系が提案されている。これには、停止後の移載ス
テーションと搬送車との相対的な位置関係の検出結果に
基づき、搬送車に搭載した駆動装置を動作させて、載置
台を、水平面内の互いに直交する2方向に移動させると
共に、垂直軸廻りに回動せしめ、能動的に相対位置の補
正を行う構成としたもの(特開昭63−284608号)と、外
力の作用により移動し得る載置台(フローチィングテー
ブル)を搬送車上に設ける一方、移載ステーションにガ
イド部を設け、搬送車の停止時に載置台とガイド部との
接触に伴って生じる前記載置台の移動により、相対位置
の補正が受動的に行われるように構成したもの(実開昭
61−138006号)とがある。
〔発明が解決しようとする課題〕
ところが前者の構成においては、載置台の駆動系が搬送
車に搭載されるため、搬送車の構造が複雑化すると共
に、搬送車の自重が増加し、走行用モータの大型化、該
モータの電源となるバッテリー容量の増加等を招来する
という難点がある。また、後者の構成においては、搬送
車の構造はやや簡略化されるが、載置台とガイド部との
接触により塵芥が発生する虞があり、また、前記接触に
伴う衝撃によって載置台上の搬送物が移動することがあ
り、この場合、移載ステーションに対して載置台が正し
く位置決めされた後においても、該載置台上の搬送物を
移載機にて取り上げる載、両者の接触が生じる虞があっ
て、クリーンルーム内での無人搬送系としての適用が難
しいという問題点がある。
本発明は斯かる事情に鑑みてなされたものであり、搬送
車側に大きい構造変化を招来することなく停止位置ずれ
の補正が行え、該搬送車と移載ステーションとの間の搬
送物の移載を確実に行うことを可能とする無人搬送系の
移載位置決め方法を提供することを目的とする。
〔課題を解決するための手段〕
本発明に係る無人搬送系の移載位置決め方法は、所定の
走行経路に沿って自走し、該経路上の所定の停止位置に
て自動停止する搬送車と、これの一側に面して各停止位
置に配置された移載ステーションとを備え、両者間にお
ける搬送物の移載を、前記移載ステーションに前記走行
経路と平行及び直交する2方向への移動自在に装備され
た移載機の動作により行うに際し、前記搬送車に対する
前記移載機の相対位置の適否を、前記2方向の夫々につ
いて非接触で検出する位置検出手段を設け、該位置検出
手段による検出可能範囲に応じて設定された所定位置に
前記移載機を移動せしめた後、該移載機自体が、前記位
置検出手段の検出結果に基づいて移動位置決めする過程
を、前記2方向の夫々に対して行うことを特徴とする。
〔作用〕
本発明においては、搬送車上の複数の載置台の夫々に対
しての移載を行うべく、移載ステーションに搬送車の走
行経路に沿う方向及びこれに直交する方向への移動自在
に装備された移載機を、これと搬送車との間の相対的な
位置関係を非接触式の位置検出手段にて検出し、この検
出結果に基づいて移載機自体を動作させることにより、
搬送車の停止位置誤差に伴って移載時に生じる移載機と
搬送物との間の相対位置誤差を補正する。
〔実施例〕
以下本発明をその実施例を示す図面に基づいて詳述す
る。第1図は本発明に係る無人搬送系の移載位置決め方
法(以下本発明方法という)の実施状態を示す平面図で
あり、第2図は同じく本発明方法の実施状態を示す一部
拡大正面図である。
図中1は、工場等の施設内に適宜設置された複数の移載
ステーションの内を1つを示しており、また2は、この
移載ステーション1との間にて搬送物3の移載を行わし
めるべく、該移載ステーション1に向けて走行中の搬送
車を示している。この搬送車2は、複数の移載ステーシ
ョン1,1…間に光学的又は磁気的標識により形成された
走行経路4に沿って、図示しない走行駆動系の動作によ
り自走し、所定の移載ステーション1前にて停止して、
該移載ステーション1との間に搬送物の移載を行うもの
である。該搬送車2の走行及び停止は、これに内蔵され
た図示しない通信装置に上位の制御コンピュータ5から
与えられる指令に従って行われるようになっている。
移載ステーション1は、前記走行経路4一側の床面上に
これと平行して延設された案内レール10、これに沿う態
様にて搬送車2の走行位置から十分上方に延設された載
置棚11、及び該載置棚11と後述する如く停止する搬送車
2との間にて搬送物の移載を行う移載機12を備えてな
り、案内レール10の反対側には、本発明方法の実施に必
要な後述する各種のセンサを取り付けるためのセンサス
タンド6が、走行経路4に沿って設置されている。
第3図は移載機12の外観斜視図である。本図及び第1,第
2図に示す如く、移載機12は、案内レール10上をこれに
案内されて移動する台車13と、該台車13の搬送車2に面
する側に鉛直をなして立設された昇降案内部14と、該昇
降案内部14に沿って昇降する昇降機15と、該昇降機15に
搭載され、走行経路4と直交する方向に伸縮する移載ア
ーム16と、該移載アーム先端に固設された移載フォーク
17とを備えてなる。このように構成された移載機12にお
いて、搬送車2との間にて実際に移載動作を行う移載フ
ォーク17は、台車13の移動により搬送車2の走行経路4
に沿う方向に移動し、また移載アーム16の伸縮動作によ
り前記走行経路4と直交する方向、即ち、搬送車2に接
近又は離反する方向に夫々移動する。つまり移載機12
は、水平面内の互いに直交する2方向に移動可能であ
り、以後説明の簡略化のため、走行経路4に沿う方向を
X軸方向とし、走行経路4と直交する方向をY軸方向と
して、夫々の正の向きを、第1図及び第3図中に矢符に
て示す如く規定する。また移載フォーク17は、前記昇降
機15の昇降動作により上下動し、移載機12と搬送車2と
の間の搬送物3の受け渡しは、この上下動により行われ
る。
第4図は搬送車2の外観斜視図である。本図及び第2図
に示す如く、搬送車2は、走行のための駆動部及び制御
コンピュータ5との間に走行情報の受渡しを行う通信装
置等を内蔵する本体部20、及びこれの上側に進行方向に
並設され、搬送物3を積載するための複数(本実施例に
おいては3個)の載置台21,21,21を備えてなる。第4図
は、移載機12の設置側からの斜視図であり、図示の如
く、X軸及びY軸の正方向が逆となっている。
前記本体部20の前部上面のY軸方向中央には、搬送車2
の停止位置の適否の判定に用いられる停止位置確認ミラ
ー30が、鏡面を水平として固設されている。第1図に示
す如く、搬送車2の後部にも同様に、停止位置確認ミラ
ー30が固設されており、停止位置の適否の判定は、これ
らの停止位置確認ミラー30,30と、これらに夫々対応さ
せて前記センサスタンド6に取付けられた停止位置セン
サ60,60とによって次の如く行われる。停止位置センサ6
0,60は、第1,第2図に示す如く、搬送車2の上方に十分
に離隔した位置にて、走行経路4の中心線に正しく一致
させて取付けてあり、Y軸方向に停止位置確認ミラー3
0,30の中心位置に整合させてある。また停止位置センサ
60,60のX軸方向の取付け位置は、第1図中に2点鎖線
にて示す如く、搬送車2が正規の停止位置に正しく停止
した際に、前記停止位置確認ミラー30,30のX軸方向中
心位置に夫々整合するように設定されている。停止位置
センサ60は、例えば、レーザ光等の指向性に優れた光を
鉛直下向きに発光する発光器と、鉛直下方からの伝播光
を受光する受光器とを内蔵してなり、受光レベルに相当
する信号を制御コンピュータ5に送信する構成となって
いる。そして制御コンピュータ5は、第2図に示す如
く、停止位置センサ60からの発光の光路上に停止位置確
認ミラー30が位置しており、該センサ60からの発光が略
全反射されて、停止位置センサ60の受光レベルが大とな
ったとき、搬送車2が正規の停止位置から所定の許容範
囲内に停止していることを認識する。
第5図は停止位置確認ミラー30の一例を示す平面図であ
る。停止位置確認ミラー30は、鏡面仕上げされたステン
レス板を、表面を艶消し塗装され、中央に所定の大きさ
の矩形孔を有する該板にて被覆し、前記ステンレス板表
面からなる鏡面30aの周縁に、前記該板表面からなる所
定幅の無反射面30bを形成せしめた構成となっている。
搬送車2の停止位置の適否は前述した如く判定されるか
ら、図示の如く、鏡面30aのX軸方向の幅がA、Y軸方
向の幅がBである場合、正規の停止位置に対するずれ量
が、X軸方向に±A/2、Y軸方向に±B/2の範囲内にある
とき、搬送車2の停止位置は適正であると判定される。
前記A及びBは、搬送車2にて達成可能な停止位置精度
に基づいて設定されるが、運転実績に基づきこれらが適
正でないと判定された場合には、前記蓋板の矩形孔の大
きさを変更することにより容易に修正可能である。
また搬送車2の本体部20には、X軸方向の移載位置決め
のために用いられる位置決めミラー31,31,31が設けてあ
る。これらは、本体部20の移載機12に面した側の側面
に、鏡面を鉛直として固設してあり、これらのX軸方向
の中心位置は、前記載置台21,21,21の中心位置に夫々整
合させてある。そして、各載置台21上の搬送物3を移載
する際、該載置台21に対応する前記位置決めミラー31
と、移載機12の台車13上に固設された移載位置センサ61
とにより、次の如く移載位置の適否が判定される。移載
位置センサ61は、前記位置決めミラー31,31,31と高さ方
向に整合され、また第1図に示す如く、移載機12の移載
アーム16の軸心位置にX軸方向に正しく整合されて取付
けられており、レーザ光等の指向性に優れた光をY軸の
正方向、即ち、走行経路4側に向けて略水平に発光する
発光器と、これと逆方向に伝播する光を受光する受光器
とを内蔵してなり、受光器による受光レベルに相当する
信号を制御コンピュータ5に送信する構成となってい
る。これにより制御コンピュータ5は、第2図に示す如
く、移載位置センサ61からの発光の光路上にいずれかの
位置決めミラー31が位置しており、該ミラー31にて移載
位置センサ61の発光が略全反射され、該センサ61の受光
レベルが大となったとき、搬送車2上のいずれかの載置
台21と移載機12との相対的な位置関係がX軸方向に適正
であると判定する。
第6図は位置決めミラー31の一例を示す平面図である。
位置決めミラー31は、前記停止位置確認ミラー30と同
様、鏡面仕上げされたステンレス板を、表面を艶消し塗
装され、細幅のスリット状開口部を有する蓋板にて被覆
し、X軸方向中央に位置して前記ステンレス板表面から
なる細幅の鏡面31aの周縁に、前記蓋板表面からなる広
幅の無反射面31bを形成せしめた構成となっている。無
反射面31bの全幅Dは、前記A寸法以上とされる。この
ように構成された位置決めミラー31からの反射光の受光
レベルに基づき、X軸方向の移載位置の適否を前述した
如く判定した場合、載置台21の中心位置と移載機12にお
ける移載アーム16の軸心位置との間のずれ量が、両者が
完全に整合した位置からX軸方向に±C/2の範囲内にあ
るとき、X軸方向の移載位置は適正であると判定され
る。このCの値は、移載アーム16先端の移載フォーク17
にて保持された搬送物3を、前記昇降機15の降下により
3置台21上に移載する際、及び載置台21上の搬送物3
を、昇降機15の上昇により移載フォーク17にて取り上げ
る際、前記搬送物3と載置台21及び移載フォーク17との
間に無用な接触がないという条件下にて設定される。
更に搬送車2の本体部20上面には、Y軸方向の移載位置
決めのために用いられる発光器32,32,32が設けてある。
これらの発光器32,32,32は、第1図及び第4図に示す如
く、3つの載置台21,21,21の夫々に対応させて、移載機
12から離隔した側の進行方向前側の角部近傍に固設され
ており、鉛直上方に向けて光投射を行う。Y軸方向の移
載位置決めは、前記発光器32,32,32と、これらの夫々に
対応させて前記センサスタンド6に取付けられた受光器
62,62,62と、移載機12の移載フォーク17先端に固定され
た遮光板17aとにて次の如く行われる。受光器62,62,62
は、第2図に示す如く、搬送車2の上方に十分離隔し、
鉛直下方に受光面を向けて取付けてあり、また第1図中
に2点鎖線にて示す如く搬送車2が正規の停止位置に正
しく停止した際、夫々に対応する前記発光器32,32,32と
X軸方向及びY軸方向に整合し、各発光器32からの投射
光の略全量が夫々に対向する受光器62にて受光されるよ
うになしてある。前述した如く、移載機12と搬送車2と
の間の搬送物3の移載は、移載機12の移載アーム16を、
Y軸の正方向に伸長せしめて行われる。前記遮光板17a
は、この移載アーム16の伸長により該アーム16先端の移
載フォーク17が載置台21に対してY軸方向に所定の相対
位置に達した時、第2図中に2点鎖線にて示す如く、移
載対象となる載置台21に対応する投光器32とこれに対向
する受光器62との間の光路を遮断するように位置決めさ
れている。受光器62,62,62は、夫々の受光レベルに相当
する信号を制御コンピュータ5に送信し、制御コンピュ
ータ5は、これらの信号に基づいてY軸方向の移載位置
決め状態の適否を判定する。この判定は、所定の載置台
21に対応する発光器32とこれに対向する受光器62との間
の光路上に遮光板17aが位置したとき、前記受光器62の
受光レベルが小となることに基づいて行われる。このと
きの判定精度は、遮光板17aの固定位置精度に影響され
るから、遮光板17aの固定位置は、搬送車2を正規の停
止位置に配置した状態にて、移載機12の移載アーム16の
伸縮動作を行わせ、受光器62による受光レベルの変化状
態を調べる実験に基づいて微調整する。
Y軸方向の移載装置決めは、この方法に限らず、X軸方
向の位置決めと同様にして行うことも可能である。この
場合、前記移載位置センサ61の如く、発光器及び受光器
を備えたセンサを、前記発光器32に換えて搬送車2上面
に固設し、また前記位置決めミラー31と同様のミラー
を、鏡面の長手方向をX軸方向とした状態にて、遮光板
17aに換えて移載フォーク17の先端に固設して、前者か
らの発光の後者からの反射光を捉えるようにすればよ
く、また、移載フォーク17側にセンサを搬送車2側にミ
ラーを固設してもよいことは言うまでもない。
以上の如く構成された無人搬送系において実施例される
本発明方法の実施手順につき、制御コンピュータ5の動
作内容を示す第7図のフローチャートに従って説明す
る。
制御コンピュータ5は、搬送車2から送信される情報に
より、適宜の移載ステーション1前での該搬送車2の停
止を確認した後、本発明方法に従って移載位置決め動作
を開始し、まず、搬送車2の停止位置の適否を判定す
る。この判定は、前述した如く、停止位置センサ60の受
光結果に基づいて行われ、停止位置確認ミラー30が第5
図に示すものである場合、正規の停止位置に対してX軸
方向に±A/2の範囲内にあり、Y軸方向に±B/2の範囲内
にある場合に停止位置が適正である判定される。なおこ
れに加えて、Y軸方向の位置決め判定用の発光器32,32,
32からの発光が、夫々の受光器62,62,62にて受光されて
いるか否かも調べられ、この結果も停止位置の適否の判
定に補助的に用いられる。前記A及びBは搬送車2に実
施可能な停止精度に基づいて決定されており、搬送車2
の停止動作が正常になされた場合、前記判定の結果は適
正となるべきものであるが、搬送車2の走行状態に異常
がある場合等において、適正でないと判定されることが
あり、このとき制御コンピュータ5は、例えば、搬送車
2を所定位置にまで退避させ、再度移載ステーション1
前への停止を行わしめるべく動作し、再度の停止位置が
なお不適と判定された場合、警報の発生により異常事態
の発生をオペレータに報知すべく、所定の警報手段に動
作指令を発する。
搬送車2の停止位置が適正である場合、制御コンピュー
タ5は、移載機12をX軸方向に移動させるべく、該移載
機12の台車13に移動指令を発する。台車13のこの移動
は、所定の基準位置に到達するまでの間においては高速
にて行われ、その後は、所定の移動範囲内において、前
記移載位置センサ61による検出結果に基づいて低速にて
行われる。前記基準位置は、搬送車2が正規の停止位置
に正しく停止しているときに、移載アーム16の軸心が載
置台21の中心線からX軸方向に−A/2だけ離隔すること
を基準として、各載置台21,21,21の夫々に対して設定し
てある。また、前記移動範囲はX軸の正方向にAなる範
囲としてある。即ち、前記基準位置及びこれからの移動
範囲はいずれも、停止位置確認ミラー30のX軸方向の大
きさAを基準として設定されている。前述した如く、搬
送車2の停止位置は、正規の停止位置に対してX軸方向
に±A/2の範囲内にあるとき適正と判定されるから、前
記基準位置から前記所定範囲内にて移動する移載機12の
低速移動範囲において、移載機12と載置台21との間には
正しい整合状態が必ず実現される。移載機12の移載アー
ム16の軸心位置と載置台21の中心とのX軸方向の整合
は、前述した如く移載位置センサ61の出力レベルの上昇
により検出されるから、前記低速移動は、移動距離がA
を超えない範囲において、前記検出がなされるまで行わ
れ、この検出がなされた場合、台車13に停止指令を発し
てX軸方向の移載位置決めを終了する。なお、前記移動
範囲内にてX軸方向の位置決めがなされない場合、台車
13の高速移動の段階にまで戻って前記各過程を繰返す。
そしてこの繰返しの後、再度同様の結果が生じた際に
は、警報の発生により異常事態の発生をオペレータに報
知すべく、図示しない所定の警報手段に動作指令を発す
る。
このようにしてX軸方向の位置決めを終了した後、制御
コンピュータ5は、同様の手順によりY軸方向の移載位
置決め動作を開始し、まず、移載機12の移載端である移
載フォーク17を、移載対象となる載置台21に向けてY軸
の正方向に移動せしめるべく、移載アーム16に伸長指令
を発する。移載アーム16のこの伸長は、移載フォーク17
が所定の基準位置に到達するまでの間においては高速に
て行われ、その後は、前記載置台21に対応する受光器62
による検出結果に基づいて、所定範囲内において低速に
て行われる。前記基準位置は、搬送車2が正規の停止位
置に正しく停止しているときに移載フォーク17と載置台
21とがY軸方向に正しく整合される位置からY軸方向に
−B/2だけ移載アーム16が短縮した位置となっており、
また、前記移動範囲は、Y軸の正方向にBなる範囲とし
てあり、いずれも停止位置確認ミラー30のY軸方向の寸
法Bを基準として設定されている。前述した如く、搬送
車2の停止位置は、正規の停止位置に対してY軸方向に
±B/2の範囲内にあるとき適正と判定されるから、移載
フォーク17と載置台21との間のY軸方向の正しい整合状
態が実現される位置が、前記基準位置から前記所定範囲
内にて生じる移載フォーク17の低速移動範囲内に必ず存
在する。移載フォーク17と載置台21の中心とのY軸方向
の整合は、前述した如く受光器62の出力レベルの低下に
より認識されるから、制御コンピュータ5は、移載アー
ム16への低速伸長指令を、前記基準位置からの伸長長さ
がBを超えない範囲において、前記出力レベルの低下が
生じるまで発し、この検出がなされたとき移載アーム16
への停止指令を発する。この一連の動作により、移載機
12と搬送車2との間のY軸方向の移載位置決めが行われ
る。なお、前記移動範囲内にて位置決めがなされない場
合、移載アーム16の高速伸長の段階に戻って前記各過程
を繰返す。そしてこの繰返しの後、再度同様の結果が生
じた際には、警報の発生により異常事態の発生をオペレ
ータに報知すべく、所定の警報手段に動作指令を発す
る。
このようにしてX軸及びY軸方向への移載位置決めがな
された後、制御コンピュータ5は、移載機12へ移載指令
信号を発し、該移載機12に移載動作を行わせる。この移
載動作は、移載機12から搬送車2へ搬送物3を移載する
場合には、昇降機15の下降により、また搬送車2から移
載機12への移載がなされる場合には、昇降機15の上昇に
より行われることは前述した如くである。次いで制御コ
ンピュータ5は、搬送車2の各載置台21について移載が
終了したか否かを調べ、否である場合には、フローチャ
ートの最初の段階に戻り、次なる載置台21に対して同様
の動作を繰返し、全ての載置台21,21,21に対する移載が
終了した場合、次なる搬送車2の停止まで本発明に係る
動作を休止し、搬送車2の走行制御等の他の制御動作を
行う。
なお、停止状態にある搬送車2に対する移載機12の相対
位置の適否を判定する手段は、本実施例中に示すものに
限らないことは言うまでもなく、移載機12の構成もま
た、本実施例中に示すものに限らない。
〔効果〕
以上詳述した如く本発明方法においては、搬送車が移載
ステーション前の所定位置に停止した後、該ステーショ
ンに装備されており、本来移載のための移動機能を有す
る移載機自体が、位置検出手段による検出結果に基づい
て移動して、移載のための正確な位置決めを行うから、
載置台の移動機構等、搬送車側に大きい構造上の変化を
招来することなく、また搬送車の停止位置精度を過度に
高める必要なく確実な移載位置決めが可能となり、移載
機と搬送物の接触に伴う塵芥の発生がないことから、ク
リーンルーム内における無人搬送系への適用も可能であ
る等、本発明は優れた効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明方法の実施状態を示す模式的平面図、第
2図は本発明方法の実施状態を示す一部拡大正面図、第
3図は移載機の一例を示す外観斜視図、第4図は搬送車
の一例を示す外観斜視図、第5図は搬送車の停止位置検
出用ミラーの拡大平面図、第6図は搬送車の移載機に対
する相対位置検出用のミラーの拡大平面図、第7図は本
発明方法の実施手順を示すフローチャートである。 1……移載ステーション、2……搬送車、4……走行経
路、5……制御コンピュータ、6……センサスタンド、
12……移載機、13……台車、16……移載アーム、17……
移載フォーク、17a……遮光板、21……載置台、30……
停止位置確認ミラー、31……位置決めミラー、32……発
光器、60……停止位置センサ、61……移載位置センサ、
62……受光器

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】所定の走行経路に沿って自走し、該経路上
    の所定の停止位置にて自動停止する搬送車と、これの一
    側に面して各停止位置に設置された移載ステーションと
    を備え、両者間における搬送物の移載を、前記移載ステ
    ーションに前記走行経路と平行及び直交する2方向への
    移動自在に装備された移載機の動作により行うに際し、 前記搬送車に対する前記移載機の相対位置の適否を、前
    記2方向の夫々について非接触で検出する位置検出手段
    を設け、 該位置検出手段による検出可能範囲に応じて設定された
    所定位置に前記移載機を移動せしめた後、該移載機自体
    が、前記位置検出手段の検出結果に基づいて移動位置決
    めする過程を、前記2方向の夫々に対して行うことを特
    徴とする無人搬送系の移載位置決め方法。
JP1168486A 1989-06-29 1989-06-29 無人搬送系の移載位置決め方法 Expired - Lifetime JPH07120206B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1168486A JPH07120206B2 (ja) 1989-06-29 1989-06-29 無人搬送系の移載位置決め方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1168486A JPH07120206B2 (ja) 1989-06-29 1989-06-29 無人搬送系の移載位置決め方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH0333903A JPH0333903A (ja) 1991-02-14
JPH07120206B2 true JPH07120206B2 (ja) 1995-12-20

Family

ID=15868984

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1168486A Expired - Lifetime JPH07120206B2 (ja) 1989-06-29 1989-06-29 無人搬送系の移載位置決め方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH07120206B2 (ja)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7023649B6 (ja) * 2017-09-25 2022-04-18 キヤノン株式会社 搬送システム及び加工システム
US10965201B2 (en) 2017-09-25 2021-03-30 Canon Kabushiki Kaisha Transport system, processing system and manufacturing method of article
WO2023139666A1 (ja) * 2022-01-18 2023-07-27 本田技研工業株式会社 作業車両、制御装置、制御方法及びシステム

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61138006U (ja) * 1985-02-12 1986-08-27
JPS61257748A (ja) * 1985-05-09 1986-11-15 Toyota Motor Corp 無人搬送車用パレツト移載装置
JPH0179109U (ja) * 1987-11-13 1989-05-26

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0333903A (ja) 1991-02-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100640105B1 (ko) 무인운반차, 무인운반차시스템 및 웨이퍼운반방법
KR102214427B1 (ko) 천정 반송차
KR100729986B1 (ko) 자동반송시스템
JP4409552B2 (ja) ロール自動供給装置
WO2011158422A1 (ja) 移載装置および移載方法
KR102463268B1 (ko) 물품 반송 설비, 및 물품 반송차
JP4541371B2 (ja) ロール体搬送装置
JPH07120206B2 (ja) 無人搬送系の移載位置決め方法
JP2019049447A (ja) 検査システム
JP3957477B2 (ja) 無人搬送車および物品搬送設備
JP2021046287A (ja) 走行車システム
KR101926787B1 (ko) 패널을 정밀하게 이송하는 장치 및 이를 이용한 패널 이송 방법
US20220258990A1 (en) Substrate transfer device and substrate transfer method
CN213649753U (zh) 上下料搬运系统
JP3319012B2 (ja) ウエハ搬送制御方法
JP7380637B2 (ja) 有軌道台車
KR102413317B1 (ko) 자동반송시스템의 제어방법
JP2019133404A (ja) 無人搬送装置
JPH07117847A (ja) 搬送装置
JP2935328B2 (ja) 物品搬送車
JP2011243129A (ja) 搬送車システム
TW202131434A (zh) 用於自動化晶圓載具搬運的裝置及方法
JPH10289939A (ja) 無人搬送台車
JP2001135989A (ja) 部品搭載装置の衝突防止装置
JPH10284572A (ja) ウエーハ搬送システム