CN116391249A - 装载端口 - Google Patents

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Abstract

本发明的课题在于提供一种装载端口，即使是密封部件粘连的情况或密封部件的摩擦大的密闭容器，也不会发生搬运装置整体错误停止这样的故障而能够将容器主体和盖分离。为此，装载端口控制部在传感器检测到密闭容器的正常载置的情况下，以第一动作过程进行密闭容器的打开动作，在传感器检测到所述密闭容器的载置异常的情况下，以能够更可靠地进行密闭容器的打开动作的第二动作过程重试打开动作而防止搬运装置停止。

Description

装载端口
技术领域
本发明涉及用于装卸以给定的间隔收纳多片半导体晶圆并进行搬运的可密闭的容器的盖的盖开闭装置，涉及与作为密闭容器的FOUP(Front-Opening Unified Pod：前开式晶圆传送盒)的盖一体化而装卸盖和FOUP主体的装载端口门。
背景技术
以往，半导体晶圆的表面处理在维持在高清洁度的环境的所谓净化室内进行，但随着半导体的微细化的进展，为了将设置有多个处理装置的净化室整体维持在高清洁度，需要较大的设备投资费用和维持费，在成本方面成为较大的障碍。因此，通过将净化室整体维持在清洁度比较低的状态，仅将对晶圆表面实施处理的处理装置的内部的微小的环境(微环境)保持为高清洁度，实现了半导体制造工序的成品率的提高。
在半导体晶圆的制造工序中需要多个表面处理工序、检查工序，在净化室内配置有多个对晶圆表面进行各种表面加工、检查的专用的处理装置。处理中的晶圆被收纳在将内部保持为高清洁度的FOUP中，在净化室内的各处理装置之间搬运，实施各种加工处理。另外，FOUP向各处理装置的搬运、各处理工序的进展状况由主计算机管理。在执行各处理工序的各处理装置中具备被称为EFEM(Equipment Front End Module：设备前端模块)的晶圆搬运装置，在该EFEM中具备载置FOUP而开闭FOUP的盖的被称为装载端口的多个盖开闭装置。另外，EFEM的内部被维持在比净化室内的环境高的压力，成为净化室内的尘埃不能侵入EFEM的微小环境(微环境)内的结构。由此，收纳在FOUP内部并从前一工序搬运来的晶圆不会附着尘埃而被搬运到下一处理装置。
装卸FOUP和FOUP的盖的装载端口的结构是由作为国际性的业界团体的SEMI(Semiconductor Equipmentand Materials International：国际半导体产业协会)所规定的SEMI标准规定的，很多制造商制造符合该标准的FOUP、装载端口。一般来说，FOUP由收纳晶圆的FOUP主体和封闭形成于该FOUP主体的开口的盖构成，在FOUP主体的内部沿上下方向隔开给定的间隔形成有搁板，在该各搁板上能够一片一片地收容晶圆。在封闭FOUP主体的开口的盖的周缘固定有衬垫等密封部件，通过该密封部件，FOUP的开口周缘与盖之间被气密地封闭。
在专利文献1中记载了以往的装载端口。装载端口具备载置FOUP并使FOUP进退移动的进退机构、与FOUP的盖一体化并开闭盖的装载端口门、以及使该装载端口门升降移动的升降机构。当在进退机构的给定的位置载置FOUP时，装载端口在通过进退机构所具备的固定部件将FOUP固定在载置台上的状态下，通过进退机构使载置台朝向装载端口门前进而使FOUP的盖与装载端口门接触。当盖与装载端口门接触时，则通过装载端口门所具备的一体化单元使装载端口门与盖一体化，并且解除盖的锁定机构。然后，通过使载置台后退移动，使FOUP主体与盖分离。在使FOUP主体与盖分离后，通过升降机构使一体化的盖和装载端口门下降到不与晶圆的搬运干涉的位置。通过上述动作，FOUP的盖被打开，成为搬运装置所具备的搬运机器人能够相对于FOUP主体搬入搬出晶圆的状态。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2001-298075号公报
发明内容
发明所要解决的课题
在半导体制造工序中，为了实现每单位时间的晶圆处理片数的提高，将装载端口开闭盖时的动作速度设定为尽可能高速。在以往的装载端口中，在使FOUP主体与盖分离时，使FOUP主体和盖以高速相对移动，因此，由于在设置于盖的周缘的密封部件与FOUP主体之间产生的摩擦、密封部件的粘连，有时盖不能顺畅地从FOUP主体离开，FOUP主体会从进退机构浮起。另外，若在FOUP主体浮起的状态下继续打开动作，则在盖从FOUP主体完全脱离时，会发生FOUP主体向进退机构落下这样的故障。由于该FOUP主体落下时的冲击，收纳的晶圆在FOUP内发生位置偏移，或者由于落下的冲击，晶圆与搁板碰撞而产生尘埃。而且，由于FOUP主体浮起，设置于载置台的载荷传感器反应而产生错误，因此，会发生具备多个装载端口的搬运装置整体停止这样的故障。
用于解决课题的技术方案
为了解决上述问题，本发明的装载端口的特征在于，具备：
载置台，其将密闭容器载置于给定的位置，所述密闭容器具备收纳晶圆的容器主体和气密地封闭该容器主体的盖；
传感器，其检测所述密闭容器向所述载置台的载置状态；
载置台驱动机构，其使所述载置台进退移动；
装载端口门，其与所述盖接合而一体化后将所述盖从所述容器主体分离而打开密闭容器；
门升降机构，其使所述装载端口门升降移动；以及
装载端口控制部，其存储有用于使所述载置台驱动机构、所述装载端口门以及所述门升降机构动作的多个动作过程，并基于该动作过程来控制所述载置台驱动机构、所述装载端口门以及所述门升降机构的动作，
所述装载端口控制部，
为了将所述盖从所述容器主体分离而打开所述密闭容器，基于第一动作过程，控制所述载置台驱动机构和所述门升降机构，使得从在所述对接位置处所述装载端口门和所述盖接合而一体化的状态，使所述载置台以第一速度后退到所述解除对接位置，
在基于所述第一动作过程的打开动作时，在所述传感器检测到所述密闭容器的载置异常的情况下，控制为使所述密闭容器返回到所述对接位置后，基于与所述第一动作过程不同的第二动作过程再次执行所述打开动作。
通过采用上述结构，密闭容器的容器主体和盖通过与容器主体浮起的第一动作过程不同的、能够更可靠地将容器主体与盖分离的第二动作过程来进行打开动作，因此，即使通过基于第一动作过程的打开动作而一度浮起，也能够通过基于第二动作过程的打开动作，使容器主体不会从载置台浮起而将盖分离。由此，能够防止由于打开动作的不良情况而导致包括正常的装载端口的搬运装置整体频繁地停止动作这样的故障的发生。
此外，也可以构成为，本发明的装载端口控制部执行的打开动作的第二动作过程是比所述第一动作过程慢的速度，所述装载端口控制部至少在所述密闭容器的所述盖与所述容器主体分离之前，执行所述第二动作过程。另外，也可以构成为，第二动作过程是断续地反复进行微小的后退动作而将载置台移动至解除对接位置的处理过程(断续地反复进行后退动作和停止)，所述装载端口控制部至少在所述密闭容器的所述盖与所述容器主体分离之前，执行所述第二动作过程。进而，也可以构成为，第二动作过程是在使载置台移动到给定的后退位置后，暂时使所述载置台以比到所述后退位置的距离短的距离前进的设定，所述装载端口控制部至少在所述密闭容器的所述盖与所述容器主体分离之前，执行所述第二动作过程。
进而，本发明的装载端口控制部的特征在于，至少在所述密闭容器的所述盖与所述容器主体分离之前，通过所述门升降机构使所述装载端口门在给定的动作范围内沿上下方向升降移动。通过采用上述结构，除了使载置台进退移动的动作之外，还进行使容器的盖沿上下方向升降移动的动作，因此能够使盖从容器主体顺畅地分离。
此外，优选所述装载端口门的所述上下方向的动作范围是比容器主体与所述盖之间的上下方向的间隙尺寸小的尺寸。通过采用上述结构，能够防止因使盖沿上下方向移动而引起的容器主体与盖的碰撞或因上下移动而引起的容器主体的浮起。另外，优选为比所述装载端口门与配置于所述装载端口门的周围的气流调整板(气流调整部件)之间的间隙尺寸小的尺寸。通过采用上述结构，能够防止因装载端口门与气流调整部件碰撞而引起的尘埃的产生。
另外，上述例示的各种第二动作过程可以分别适当组合使用。而且，也可以构成为，通过第二动作过程也不能分离盖时，执行给定次数的各种第二动作过程。另外，也可以构成为，对第二动作过程适当赋予优先顺序，按照优先顺序来执行各种不同的第二动作过程。例如，在作为第二动作过程，即使以比第一动作过程的移动速度慢的速度使载置台移动也不能将盖从容器主体分离的情况下，作为第三动作过程，可以进行分割载置台的移动而断续地反复进行移动和停止的动作。另外，也可以构成为，对上述作为第二动作过程而说明的动作过程赋予优先顺序，作为第三、第四动作过程，组合来执行。
发明效果
根据本发明的装载端口，即使在由于密封部件粘连的情况或密封部件的摩擦大等理由而导致密闭容器的打开动作在通常的打开动作过程中发生异常的情况下，也能够通过能更可靠地打开的第二动作过程来进行打开处理，从而能够防止每次发生打开异常时搬运装置整体停止这样的故障，能够提高系统整体的工作效率。
附图说明
图1是表示作为本发明的一个实施方式的EFEM的剖视图。
图2是表示作为本发明的一个实施方式的装载端口的剖视图。
图3是表示作为本发明的一个实施方式的装载端口具备的载置台的图，(a)是从上表面观察本实施方式的装载端口具备的载置台的图，(b)是用于说明从侧面方向观察载置台的主要部分的FOUP的示意图。
图4是表示作为本发明的一个实施方式的装载端口具备的装载端口门及其周边以及内部的机构的图，(a)是从配置有载置台一侧观察装载端口门的图，(b)是表示使闩锁键左旋转而开锁的状态的盖开闭机构的示意图。
图5是表示在本发明中使用的FOUP主体和盖的图，(a)是表示收纳有晶圆W的FOUP主体和从主体分离的盖的立体图，(b)是表示盖的内侧的立体图，(c)是表示FOUP的底面的图。
图6是表示在本发明中使用的盖的内部结构的图。
图7是表示盖相对于FOUP主体的位置和密封部件的状态的局部放大剖视图，(a)是表示FOUP主体和盖被开锁的状态的局部放大剖视图，(b)是表示被上锁的状态的局部放大剖视图。
图8是表示将盖按压在FOUP上的施力机构的结构的局部放大剖视图，(a)以及(b)表示盖未被按压于FOUP主体的状态，(c)表示盖被按压于FOUP主体的状态。
图9是表示本发明的装载端口具备的检测传感器的一例的示意图，(a)是表示FOUP正确地载置且光路被检测销遮蔽的正常状态的图，(b)是表示由于FOUP倾斜而致使受光部受光的错误状态的图。
图10是表示FOUP30的载置状态的图，(a)是表示对接位置的FOUP的侧视图，(b)是表示由于密封部件与凸缘粘连而通过打开动作使FOUP的后部浮起的状态的侧视图。
图11是比较表示基于第一动作过程和第二动作过程的打开动作的效果的图，(a)是用实线表示以第一动作过程使载置台移动时的经过时间和移动距离的图，(b)是用实线表示通过以比第一动作过程慢的移动速度使载置台移动的第二动作过程进行了打开动作时的经过时间和移动距离的图，(c)是表示一边反复进行短距离的移动和停止一边使载置台移动到解除对接位置的第二动作过程的情况的图。
图12表示第二动作过程的其他示例，(a)是表示通过反复后退和前进直至解除对接位置来进行基于第二动作过程的打开动作的示例的图，(b)以及(c)是表示一边使装载端口门上下振动一边使载置台移动到卸载位置的第二动作过程的图。
图13是例示本发明的一个实施方式所涉及的装载端口的结构的一部分的框图。
具体实施方式
以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。图1是表示将收纳于FOUP30的晶圆W不暴露在外部环境中而在FOUP30与晶圆处理装置6之间搬运的搬运装置即EFEM7的概要的剖视图。至少，EFEM7具备载置FOUP30并开闭FOUP30的门的装载端口8、取出收纳在FOUP30的内部的晶圆W并向处理装置搬运的搬运机器人9、以及向EFEM7的内部空间供给清洁的空气的FFU(Fun Filter Unit：风机过滤单元)10。这些装载端口8和搬运机器人9协同动作的搬运动作由配置于EFEM7内的控制装置17控制。此外，在图1中，仅示出1个FOUP30，但通常大多在横向上排列有多个。
EFEM7的内部空间成为由框架18和固定于该框架18的罩覆盖的清洁空间，在该空间的顶棚部分设置有FFU10。FFU10通过过滤器过滤由风扇从外部导入的空气，将清洁的空气作为下降气流供给到EFEM7的内部空间。而且，在EFEM7的地板面上配置有具有以给定的开口率开设的多个开口的底面罩13，从FFU10供给的清洁的空气通过EFEM7的内部空间，从该底面罩13的开口向EFEM7的外部排出。从FFU10供给的清洁的空气的流量和底面罩13的开口率被调整为EFEM7的内部空间的压力比外部的气压高，防止在EFEM7的外部产生的尘埃流入EFEM7的内部空间。
图2是表示本发明的实施方式所涉及的装载端口8的剖视图。另外，图3的(a)是从上表面观察图2所示的实施方式的装载端口8具备的载置台21的图，图3的(b)是从侧面方向观察载置台21的示意图。为了便于说明，用剖面仅示出FOUP主体1和盖2。装载端口8起到作为在使外部气氛不进入的同时将FOUP30的盖2从FOUP主体1拆下而使FOUP30的内部气氛与EFEM7的内部气氛连通的盖开闭装置的作用。由此，能够不将FOUP30以及EFEM7内部暴露在外部气氛中，而通过搬运机器人9从FOUP30取出晶圆W并进行搬运。
参照图2，本实施方式的装载端口8具备：水平框架20，其设置于以相对于EFEM7的框架18直立的状态连接固定的主体框架19；载置台21，其将FOUP30载置于给定的位置；载置台驱动部23，其设置在水平框架20上并使载置台21在水平面内前进/后退移动；板27，其固定于主体框架19，形成有能够供晶圆W以及FOUP30的盖2通过的端口开口部26；装载端口门28，其能够通过端口开口部26，具备与FOUP30的盖2一体化的机构；以及门升降部29，其使装载端口门28升降移动。
如图3的(b)所示，本实施方式的载置台驱动部23具备作为驱动源的马达31、和与马达31连结的进给丝杠机构32。马达31的旋转轴和进给丝杠机构32的滚珠丝杠轴通过公知的联接机构连结，从而马达31的旋转轴的旋转传递到滚珠丝杠轴，由此，载置台21能够移动到水平方向的给定的位置。作为该给定的位置，载置台驱动机构23例如能够使载置台21移动到FOUP30的盖2与装载端口门28接合而一体化的对接位置、分离FOUP主体1和盖2的解除对接位置、FOUP主体1与盖2分离后的装载端口门28的下降动作时用于使载置台驱动机构23不干涉的退避位置、用于将FOUP30交接到铺设在净化室内的搬运FOUP的单元的基准位置等各个位置。
门升降部29具备作为驱动源的马达33和进给丝杠机构34(参照图2)。在马达33的旋转轴和进给丝杠机构34的滚珠丝杠轴上分别固定有带轮，在该2个带轮之间架设有带。由此，马达33的旋转轴的旋转被传递到进给丝杠机构34的滚珠丝杠轴，从而装载端口门28升降移动到给定的位置。此外，本实施方式的载置台驱动部23和门升降部29所具备的马达31、33优选为能够进行旋转轴的角度控制的步进马达，这些马达31、33的动作速度、动作距离由装载端口8所具备的装载端口控制部35控制。另外，作为载置台驱动部23和门升降部29所具备的驱动源，也可以代替图2及图3所示的马达31、33而设为具备利用了空气压或油压这样的流体压的公知的气缸的结构。
在载置台21的上表面，以俯视时位于等腰三角形的各顶点的方式隔开给定的间隔竖立设置有3根作为支承FOUP30的圆柱状的部件的运动销12-1、12-2、12-3(参照图3的(a)、(b))。运动销12-1、12-2、12-3优选顶部为大致半球状的形状。在FOUP30载置于运动销12-1、12-2、12-3上时，通过在FOUP30的底面形成为大致V字状的凹陷的3个V槽部11分别与运动销12-1、12-2、12-3各自的顶部接触，从而FOUP30被定位在载置台21上的给定的位置。而且，在各运动销12-1、12-2、12-3各自的附近，配置有用于检测FOUP30是否载置于载置台21上的正常的位置的检测传感器36-1、36-2、36-3。
本实施方式的装载端口8所具备的检测传感器36-1、36-2、36-3分别由检测销、对检测销向上方施力的压缩弹簧、透射光式传感器构成。在图9中例示基于透射光式传感器的检测传感器的一例。如图9的(a)所示，当FOUP30正确地载置于运动销12-1、12-2、12-3上时，检测销66被FOUP30的底面向下方压下，从发光部71照射的检测光70被检测销66遮挡。因此，受光部72无法检测到检测光70，输出断开信号。另一方面，当FOUP30未被载置时、或如图9的(b)所示FOUP30未被正确地载置时，成为检测销66被压缩螺旋弹簧67等向上方推起的状态，受光部72检测到检测光70，输出接通信号(受光信号)。该接通或断开信号被发送到装载端口控制部35，控制部识别FOUP30是否被正确地载置。
当正确地载置为运动销12-1、12-2、12-3与FOUP30的V槽部11内的给定的位置抵接时，FOUP30的底面的位置下降与V槽部11的深度相当的距离。在FOUP30未被正确地载置的情况下，FPUP30的底面处于比正确地配置的情况高的位置。检测传感器36-1、36-2、36-3根据该底面的下降位置的不同，在FOUP30被正确地载置时将断开信号发送到装载端口控制部35，在未被正确地配置时将接通信号发送到装载端口控制部35。
检测传感器36-1、36-2、36-3的高度方向的位置调整为，仅在FOUP30正常载置的情况下，所有的检测传感器36-1、36-2、36-3输出断开信号。例如，调整为在由于运动销中的一个未被正确地载置于V槽部11的位置而使FOUP30以倾斜的状态载置的情况下，使这3个检测传感器36-1、36-2、36-3中的至少任一个成为接通状态。因此，装载端口控制部35通过从各检测传感器36-1、36-2、36-3发送的这些信号，能够识别FOUP30是否正常地载置于载置台21上。
另外，载置于运动销12-1、12-2、12-3上的FOUP30通过卡止钩37卡止于载置台21(参照图3的(b))。卡止钩37与未图示的气缸联动，通过向该气缸供给压缩空气而使气缸的活塞杆伸长，从而卡止钩37将FOUP30卡止于载置台21。另外，通过释放供给到气缸的压缩空气，活塞杆收缩，从而卡止钩37解除FOUP30的卡止。向气缸的压缩空气的供给和释放通过装载端口8所具备的未图示的电磁阀来切换。电磁阀设置于将压缩空气的供给源与气缸连通的配管的中途，由装载端口控制部35控制动作。
另外，在载置台21上，为了管理晶圆W的处理工序，可以设置读取分别赋予给各FOUP30的ID信息的未图示的ID读取器。此外，作为ID读取器，可以利用读取FOUP30所具备的条形码的条形码读取器、向FOUP30所具备的ID标签发送电波并接收从ID标签发送回的电波的RFID(Radio Frequency Identifier：射频识别器)读取器等。
图4是表示本实施方式的装载端口8所具备的装载端口门28及其周边机构的图，图4的(a)是从配置有载置台21一侧观察装载端口门28的图，图4的(b)是表示使闩锁键15左旋转而开锁的状态的盖开闭机构39的示意图。装载端口门28具备：定位销38，其将FOUP30的盖2相对于装载端口门28进行定位；闩锁键15，其与盖2所具备的上锁机构51(参照图6)卡合而进行盖2的上锁和开锁；以及盖开闭机构39，其使闩锁键15旋转。定位销38是配置在图4所示的装载端口门28的正面左上和右下的直径约9mm的大致圆柱状的部件。在各定位销38的周围具备由硅橡胶等柔软的材料形成的吸附垫40。而且，在定位销38形成有用于吸引(真空吸附)盖2的流路，该流路与设置于装置外部的未图示的真空源连接。与装载端口门28接触的FOUP30的盖2通过定位销38相对于装载端口门28定位在给定的位置，进而通过来自真空源的真空吸附力吸引盖2而使装载端口门28和盖2一体化。
闩锁键15是以从装载端口门28的表面突出的方式配置的大致T字状的部件，在装载端口门28的正面左右一对地设置。各个闩锁键15通过装载端口门28的内部所具备的盖开闭机构39顺时针及逆时针旋转。本实施方式的盖开闭机构39具备气缸41作为驱动源，通过气缸41的活塞杆进退移动，与活塞杆连结的凸轮机构42联动而使闩锁键15进行旋转动作。此外，向气缸41的压缩空气的供给和释放由装载端口控制部35控制。根据上述结构，在装载端口门28和盖2一体化后，通过使闩锁键15向给定的方向旋转，盖2被开锁，从而能够从FOUP主体1分离。另外，通过使闩锁键15向相反方向旋转，从而FOUP30的盖2以无法从FOUP主体1分离的方式被上锁。
在上述结构的基础上，在装载端口8具备检测在FOUP30的内部形成的各搁板上是否收容有晶圆W的映射传感器43(参照图4的(a))。作为本实施方式的装载端口8所具备的映射传感器43，使用将光源和受光部左右隔开间隔配置的透射光式传感器。本实施方式的映射传感器43以能够向FOUP主体1的内部方向摆动的状态安装于装载端口门28。映射传感器43在装载端口门28下降到给定的高度位置时，配置于映射传感器43的左右的光源和受光部双方朝向FOUP主体1的内部以不与晶圆接触的程度进入内部。在该状态下，在通过门升降部29使映射传感器43与装载端口门28一起下降时，通过检测光源的光是否被载置于各搁板上的晶圆W的边缘遮挡，依次检测各搁板上的晶圆W的有无。作为使映射传感器43向FOUP主体1的内部方向进退移动的传感器驱动机构的驱动源，具备未图示的气缸。此外，映射传感器43的驱动以及门升降部29等各驱动机构由装载端口控制部35控制，映射传感器43的检测信号被输入到装载端口控制部35。通过映射传感器43的检测信号，能够对FOUP主体1内的所有的搁板检测晶圆W的有无。
接着，对收容晶圆W的密闭容器即FOUP30进行说明。图5的(a)是表示收纳有晶圆W的FOUP主体1和盖2的分解立体图，图5的(b)是表示盖2的内侧的立体图。图5的(c)是表示FOUP30的底面的图。FOUP30由在上下方向上隔开间隔形成的搁板上收容晶圆W的FOUP主体1和气密地封闭FOUP主体1的盖2构成。在FOUP主体1的一个侧面形成有用于取出放入晶圆W的开口44，该开口44被盖2封闭。在FOUP主体1的底部，在给定的位置配置有3个与运动销12-1、12-2、12-3分别接触而规定FOUP30相对于载置台21的位置的形成为大致V字状的V槽部(定位槽)11。另外，在FOUP主体1的底部形成有卡合部45，该卡合部45与载置台21的卡止钩37(图3的(b))卡合，从而使FOUP主体1固定于载置台21。此外，在FOUP主体1的底部，根据需要具备用于注入与FOUP30的内部的气氛置换的吹扫气体的注入用口46、和用于将残留在FOUP30内的气体向FOUP30外部排出的排出用口47。
而且，在FOUP主体1的开口44的周缘，设置有以包围开口44的方式形成的开口凸缘48。在开口凸缘48的上端和下端的与开口44对置的面上，设置有用于插入后述的盖2的锁定部件55的凹部49。另外，在盖2的周缘的FOUP主体1侧环绕设置有密封部件50，通过该密封部件50与形成于开口凸缘48的内侧的第二平面58(参照图7)密接，FOUP主体1的内部空间被气密地封闭。
盖2由相互嵌合的表面板2a和背面板2b构成，在表面板2a与背面板2b之间，具备用于对FOUP主体1和盖2进行上锁及开锁的上锁机构51(参照图6)。另外，在盖2的周缘，设置有图7所示的密封部件50和通过表面板2a和背面板2b夹入固定密封部件50的槽部，通过该密封部件50维持FOUP主体1与盖2之间的密闭性。而且，在背面板2b上，具备用于将收容于FOUP主体1的晶圆W固定在给定的位置的保持器52(参照图5的(b))。在表面板2a上设置有：定位销孔4，其供设置于装载端口门28的定位销38插入；以及闩锁键孔53，其用于与后述的盖开闭机构39的闩锁键15卡合。
图6是表示盖2的内部结构的图。配置于盖2的内部的上锁机构51由2个圆盘状部件54和锁定部件55构成，2个圆盘状部件54分别配置在与装载端口门28所具备的闩锁键15对应的位置，锁定部件55配置在圆盘状部件54的上方和下方，与圆盘状部件54的旋转动作联动地上下移动。在各个圆盘状部件54上，在其周向上在2处遍及约90°地设置有凸轮槽56。该凸轮槽56的距圆盘状部件54的旋转中心的半径方向的距离形成为，在附图观察时随着向顺时针方向前进而变远。
另外，在该凸轮槽56经由连结销连结有锁定部件55的基端部。另外，锁定部件55以能够沿铅垂方向移动的方式配置于盖2的内部，通过上述结构，通过圆盘状部件54顺时针旋转90°，连结销被凸轮槽56的周缘部按压。由此，锁定部件55的前端部相对于盖2的上表面和下表面突出，进入开口凸缘48的凹部49，FOUP30和盖2被上锁。另外，通过圆盘状部件54逆时针旋转90°，连结销被凸轮槽56的周缘部拉入内部，由此，锁定部件55的前端部后退。由此，通过从开口凸缘48的凹部49退出，FOUP30和盖2被开锁。
在圆盘状部件54的中央以大致长方形设置有闩锁键孔53。当固定于装载端口8的载置台21上的FOUP30通过载置台21前进移动而与装载端口门28接触时，配置于装载端口门28的闩锁键15的前端部分与该闩锁键孔53嵌合。并且，通过盖开闭机构39动作，闩锁键15和圆盘状部件54正转，从而FOUP30和盖2被开锁。另外，通过盖开闭机构39向相反方向动作，闩锁键15和圆盘状部件54反转，从而FOUP30和盖2被上锁。
图7是表示盖2被开锁或上锁时的密封部件50相对于FOUP主体1的状态的局部放大剖视图，图7的(a)是表示FOUP主体1和盖2被开锁的状态的图，图7的(b)是表示FOUP主体1和盖2被上锁的状态的图。设置于盖2的外周面的密封部件50由各种热塑性弹性体、氟橡胶等材料成型。密封部件50由环形部50a和唇部50b构成。环形部50a嵌合在形成于表面板2a与背面板2b之间的槽部中，唇部50b从该环形部50a突出。唇部50b成型为从根部部分到前端部分厚度逐渐变薄，前端部成型为朝向FOUP主体1的内部方向外侧倾斜地突出。在盖2与FOUP主体1嵌合时，通过该唇部50b与FOUP主体1的内部壁接触，FOUP主体1的内部空间被密封。另外，在一体化的盖2与FOUP主体1之间设有间隙62。该间隙62设置于盖2的外周，将本实施方式的FOUP主体1与盖之间的间隙尺寸设为L2。
如图7所示，FOUP主体1的开口44的周缘形成有：第一平面57，其形成于FOUP主体1的开口凸缘48；以及第二平面58，其形成于比该第一平面57更深的位置，且面积小于第一平面57。另外，第一平面57和第二平面58形成为台阶状，在该第一平面57与第二平面58之间，以开口面积随着从FOUP30内部向外侧逐渐变大的方式形成有倾斜面59a。另外，在盖2形成有与该向外的倾斜面59a对应的倾斜面59b，这些倾斜面59a、59b在盖2与FOUP主体1嵌合时，作为用于使盖2相对于FOUP主体1顺畅地嵌合的导向件发挥作用。
另外，在盖2的内部，设置有在上锁时向将盖2朝向FOUP主体1按压的方向施力的施力机构。图8是表示施力机构的结构的局部放大剖视图，表示在上锁或开锁时锁定部件55相对于开口凸缘48的凹部49侵入或退避的状态。图8的(a)表示盖2和FOUP主体1未被上锁，密封部件50的唇部50b与FOUP主体1的第二平面58接触的状态。通过闩锁键15旋转，锁定部件55从相对于盖2没入的状态移动到从盖2突出而侵入凹部49的位置时，设置于锁定部件55的突起部分60a与设置于背面板2b的突起部分60b接触，从而锁定部件55的前端被向从FOUP主体1离开的方向施力(参照图8的(b))。若锁定部件55进一步从盖2突出，则锁定部件55的前端与FOUP主体1的凹部49的壁面抵接，从而盖2被向朝FOUP主体1的内侧方向压入的方向施力(参照图8的(c))。通过该作用力，盖2被向FOUP主体1的深处按压，密封部件50的唇部50b也被向FOUP主体1的第二平面58按压，唇部50b一边变形一边与第二平面58密接。由此，FOUP30的内部空间被密闭。
密封部件50由氟橡胶或硅橡胶这样的柔软的材料成型，若一旦FOUP主体1和盖2被上锁，则密封部件50的唇部50b和FOUP主体1的第二平面58有时会粘连。而且，在密封部件50的加工精度存在偏差的情况下，唇部50b与第二平面58的周缘的壁接触，会发生不能顺畅地打开FOUP30的盖2而引起装载端口8动作不良这样的故障。而且，FOUP30大多长期间使用，由于长期间的使用，密封部件50会发生劣化，或FOUP主体1发生变形。这样的密封部件50的劣化、FOUP主体1的变形成为打开动作时的阻力，若要强行打开盖2，则会导致FOUP主体1浮起等故障发生。在这样的故障发生时，需要回收发生问题的FOUP30并进行密封部件50的更换或FOUP主体1的维护。
图10是用于说明在装载端口8打开密封部件50与第二平面58粘连的状态的FOUP30时的、FOUP30的动作异常状态的侧视图。首先，如图10的(a)所示，使载置有FOUP30的装载端口8的载置台21朝向装载端口门28前进，使盖2与装载端口门28接触。在本实施方式的装载端口8中，将该盖2与装载端口门28一体化的载置台21和装载端口门28的位置作为对接(Docking)位置。此外，在载置台21处于该对接位置时，配置于装载端口门28的周缘的气流调整部件61与FOUP30的周缘的开口凸缘48不接触，而位于在水平方向上隔开给定的间隙63相互对置的位置。
接着，在装载端口门28和盖2一体化而盖2被开锁后，为了从FOUP主体1拆下盖2，载置台21从图10的(a)所示的对接位置后退移动。在此，将能够使FOUP主体1与盖2正常分离时识别为完全分离的位置称为解除对接(Undocking)位置。另外，即使是唇部50b与第二平面58粘连的FOUP30，只要在到达该解除对接位置之前唇部50b与第二平面58分离，就不会被检测为载置异常。
若通过到该解除对接位置的移动而盖正常地分离，则载置台21进一步继续后退而移动到退避位置。当拆下盖2时，为了搬出收容在FOUP主体1中的晶圆W，搬运机器人9将手指插入FOUP主体1的内部。盖2和装载端口门28下降到不与此时的手指的动作干涉的位置。所谓载置台21的退避位置，是指不与该盖2和装载端口门28的下降移动干涉的位置。
在载置台21后退移动到解除对接位置时，有时尽管FOUP主体1已经移动到解除对接位置，密封部件50的唇部50b也不从第二平面58分离，盖2与FOUP主体1不顺畅地分离。在该情况下，由于FOUP主体1的开口凸缘48与盖2粘连而无法向后方移动，因此如图10的(b)所示，FOUP主体1成为以前方的2根运动销12-1、12-2为支点向前方倾斜的姿势。即，FOUP主体1的后部成为从配置于载置台21的后方的运动销12-3浮起的姿势。
当FOUP主体1的后部浮起时，配置于运动销12-3的附近的检测传感器36-3输出接通信号。当在该定时接收到来自检测传感器36-3的接通信号时，装载端口控制部35识别为在打开动作中发生了错误而向EFEM7的控制装置17发送错误发生信号。这样，当FOUP主体1倾斜时，FOUP主体1的开口凸缘48与气流调整部件61接触(参照图10的(b))，有可能发生接触时产生的尘埃附着于收容在FOUP主体1中的晶圆W这样的故障。另外，从FOUP主体1的后部成为浮起的姿势的状态开始，由于唇部50b从第二平面58分离，FOUP主体1的后部落下到运动销12-3上，由于该冲击，收容在FOUP主体1中的晶圆W也有可能受到损伤。因此，在频繁地发生这样的故障的情况下，控制装置17会使EFEM7的搬运动作停止。此外，这样的故障是即使在不使载置台21后退移动而使装载端口门28和盖2相对于FOUP主体1后退移动从而从FOUP主体1拆下盖2的方式的装载端口8中也同样可能发生的故障。
上述那样的故障在载置台21从对接位置移动到解除对接位置的时间比粘连的唇部50b从第二平面58分离的时间短的情况下发生。由于唇部50b是由柔软的材料形成的部件，所以即使载置台21后退到解除对接位置，唇部50b的一部分也会与第二平面58粘连，该粘连的唇部50b逐渐从第二平面58剥离，因而盖2的分离延迟。因此，在本实施方式的装载端口8中，当检测传感器36-3检测到FOUP主体1的后部浮起的情况时，接收到该信号的装载端口控制部35执行使载置台21暂时返回到对接位置而使FOUP主体1返回到原来的正常的载置状态(图10的(a)的状态)的动作。然后，例如，执行以动作速度比通常的动作速度慢的第二动作过程使载置台21后退等用于防止FOUP主体1的浮起并且使FOUP主体1与盖2分离的动作。
此外，从不使EFEM7整体的搬运吞吐量降低的观点出发，优选在未发生FOUP30浮起这样的载置异常时进行通常的动作过程即第一动作过程下的打开动作，仅在发生了载置异常的情况下以第二动作过程执行打开动作。另外，在发生了载置异常时，优选以第二动作过程使载置台21后退到解除对接位置而可靠地使FOUP主体1和盖2分离，分离成功后的动作以速度快的通常的第一动作过程使载置台21移动到退避位置。由此，能够抑制打开动作整体的吞吐量降低。
而且，控制装置17从装载端口控制部35接收到FOUP30的浮起错误信号时，向管理净化室内的晶圆处理工序的主计算机发送警报信号(错误信号)和FOUP30的ID信息。发送到主计算机的错误信号被传递给净化室内的作业者，作业者执行发生了问题的FOUP30的修补，由此能够防止故障的再次发生。
图9是表示检测传感器36-3的剖视图。检测传感器36-3具备：检测销66；对检测销66向上方施力的压缩螺旋弹簧67；透射光式传感器68；以及壳体69，其固定于载置台21上并收容检测销66和压缩螺旋弹簧67。在FOUP30被正确地载置于运动销12-1、12-2、12-3上时，如图9的(a)所示，由于FOUP30的载荷，压缩螺旋弹簧67被压缩，从而检测销66被FOUP30向下方按压，从透射光式传感器68的发光部71照射的检测光70被遮挡。由此，受光部72不感知检测光70，检测传感器36-3输出断开信号。来自各检测传感器36-1、36-2、36-3的断开信号被发送到装载端口控制部35，装载端口控制部35在从所有的检测传感器发送了断开信号时，识别为FOUP30被正确地载置。
在FOUP30的后部成为浮起的状态时，如图9的(b)所示，检测销66被压缩螺旋弹簧67向上方施力。此时，从透射光式传感器68的发光部照射的检测光70到达受光部72，透射光式传感器68成为受光状态，检测传感器输出接通信号。该接通信号被发送到装载端口控制部35，装载端口控制部35识别为FOUP30未载置的情况、或未被正确地载置的情况。检测销66的上下方向尺寸和可动范围优选构成为，即使在FOUP30的底面浮起的状态下，压缩螺旋弹簧67也承受FOUP30的后部的载荷而支承底面。即使在FOUP30的后部浮起的状态下，压缩螺旋弹簧67也承受FOUP30的载荷，由此能够降低FOUP30的后部落下时的速度，能够缓和落下引起的冲击。此外，本实施方式的检测传感器36-3所具备的压缩螺旋弹簧67优选具有如下程度的弹性力：即使在载置了一片晶圆W也没有收容的FOUP主体1时，检测销66也能够遮挡透射光式传感器68的检测光70。
而且，如图3所示，检测FOUP主体1浮起的单元也可以追加与配置于运动销12-3的附近的检测传感器36-3不同的检测传感器65。作为检测传感器65，例如，可以使用接近传感器、光传感器、光电传感器等。检测传感器65可以是任意的检测方式的传感器，但优选使用检测精度比检测传感器36-3高的传感器。例如，在检测传感器36-3为在FOUP主体1的后部浮起2mm时检测到载置异常的传感器的情况下，检测传感器65设为即使为小于2mm的浮起量也能够检测的传感器，由此能够高精度地检测FOUP主体1的浮起。
图11的(a)是用实线表示由于密封部件的粘连而盖难以顺畅地从FOUP主体分离的状态时以第一动作过程使载置台21从对接位置移动到解除对接位置时的经过时间与移动距离的图表。图11的(b)是用实线表示在同样难以分离盖的状态下以移动速度比第一动作过程慢的第二动作过程使载置台21从对接位置移动到解除对接位置时的经过时间和移动距离的图表。在任一图表中，横轴都是时间，纵轴都是移动距离，移动距离用马达31的动作脉冲数表示。在本实施方式的马达31中，作为一例，将载置台21处于对接位置时设为0脉冲，将使马达31的旋转轴正转而从对接位置移动到解除对接位置时的马达31的脉冲数设为10000脉冲。而且，图表上的点表示唇部50b从第二平面58分离的时间点TX，将载置台21以第一动作过程移动到解除对接位置(10000脉冲的位置)的时间点用T1表示，将载置台21以第二动作过程移动到解除对接位置(10000脉冲的位置)的时间点用T2表示。
在图11的(a)中，在作为通常的打开动作的第一动作过程中，即使载置台21到解除对接位置的移动结束，唇部50b也不会从第二平面58分离，FOUP主体1的后部成为浮起的姿势，发生错误。与此相对，如图11的(b)所示，在以比第一动作过程慢的速度移动的第二动作过程中，由于在载置台21移动到解除对接位置之前唇部50b从第二平面58分离，因此FOUP主体1的后部不会浮起，不会发生错误。从该第一动作过程向第二动作过程的切换由装载端口控制部35进行。如图13所示，装载端口控制部35具备：进行各种运算的计算机；存储有各种设定数据、示教数据、动作程序的存储单元；以及在与装载端口8所具备的驱动装置以及各种传感器等之间收发信号的通信单元。装载端口控制部35在接收到来自检测传感器36-1、36-2、36-3的信号时，按照存储于存储单元的动作程序，从第一动作过程切换为第二动作过程而执行FOUP30的打开动作。
另外，第二动作过程下的打开动作也可以设为在装载端口控制部35使载置台21从对接位置移动到解除对接位置时使载置台21一边反复进行短距离的后退移动和停止一边移动到解除对接位置的方式。例如，如图11的(c)所示，若将使载置台21移动到解除对接位置的马达31的动作脉冲数设为10000脉冲，则反复进行每当使马达31的旋转轴正转2000脉冲而使载置台21后退时，使马达31的旋转轴暂时停止，再次使马达31的旋转轴正转2000脉冲这样的动作，直至载置台21到解除对接位置的移动结束的时间点T3。通过进行该动作，在相比于载置台21移动到解除对接位置更早的时间点，唇部50b从第二平面58分离。由此，FOUP主体1不会浮起。此外，如图11的(b)、(c)所示，为了抑制打开动作整体的吞吐量降低，也可以使载置台21以第二动作速度后退到解除对接位置，之后的动作以动作速度快的第一动作速度使载置台21移动。
另外，本实施方式的装载端口8也可以进行上述打开动作以外的打开动作。在第二动作过程的其他实施方式中，也可以设为在使载置台21从对接位置后退到解除对接位置时，边反复进行在使载置台21后退到给定的位置后，使载置台21暂时前进，之后再次使载置台21后退这样的动作边移动到解除对接位置的方式。该动作通过依次切换装载端口8所具备的载置台驱动部23的马达31的旋转轴的旋转方向和旋转角度来进行。
例如，如图12的(a)所示，若将为了使载置台21从对接位置移动到解除对接位置所需的马达31的动作脉冲数设为10000脉冲，则使马达31的旋转轴正转3000脉冲而使载置台21后退后，使马达31的旋转轴反转1000脉冲而使载置台21前进。由此，载置台21从对接位置移动到后退了2000脉冲的位置。通过反复进行该动作直至载置台21移动到解除对接位置的时间点T4，从而使盖2和FOUP主体1分离。
通过上述的各种动作，将粘连的唇部50b逐渐从第二平面58剥离，能够在防止FOUP主体1的浮起的同时使盖2与FOUP主体1分离。此外，为了抑制打开动作整体的吞吐量降低，载置台21后退3000脉冲量的动作速度和载置台21前进1000脉冲量的动作速度也可以设定为比第一动作过程快的动作速度。另外，在该打开动作中利用的马达的速度数据、示教数据以及动作程序存储在装载端口8所具备的装载端口控制部35中，装载端口控制部35按照所存储的动作程序执行该打开动作。此外，将盖2按压于凸缘48的距离、第一动作过程、第二动作过程中的载置台21的移动量(脉冲数)等其他的上述的数值、量只不过是例示，能够根据FOUP30的种类、载置台驱动部23的结构适当调整。
另外，在第二动作过程的其他的实施方式中，通过一边使装载端口门28在上下方向(铅垂方向)上振动一边使载置台21后退，也能够使FOUP主体1和盖2分离。在本实施方式的装载端口8中，在装载端口门28的上方和左右配置有气流调整部件61，在装载端口门28与气流调整部件61之间设有给定的间隙64(参照图2、4、8)。在此，若将间隙64的尺寸设为L1，则在比装载端口门28的上方的间隙64的尺寸L1小的动作范围内使装载端口门28振动。此外，气流调整部件61配置在比装载端口门28的与盖2接触的面更靠里的方向、即靠近EFEM7的内部空间处。因此，即使在载置台21前进而装载端口门28和盖2一体化的状态下，FOUP主体1与气流调整部件61也不会接触，即使装载端口门28在上下方向上振动，FOUP主体1与气流调整部件61也不会相互摩擦而产生尘埃。
装载端口门28的振动动作通过如下方式执行：在装载端口门28和盖2一体化后，在载置台21移动到解除对接位置之前，依次切换作为门升降部29的驱动源的马达33的旋转轴的旋转方向和旋转角度而使装载端口门28升降移动。图12的(b)是表示载置台21从对接位置移动到解除对接位置的期间的装载端口门28的升降动作的图表。图表的横轴是经过时间，纵轴是表示装载端口门28的移动距离的门升降部29的马达33的动作脉冲数，将装载端口门28位于与盖2一体化的对接位置时的脉冲数设为0。图表上的纵的虚线T1表示载置台21到解除对接位置的移动结束的时间点，图表上的点表示唇部50b从第二平面58分离的时间点TX。
本实施方式的装载端口8当使装载端口门28上升移动5000脉冲时，装载端口门28有可能与气流调整部件61接触，因此装载端口门28的动作范围的上限保持在4000脉冲左右。在使装载端口门28振动的情况下，使马达33的旋转轴正转4000脉冲而使装载端口门28上升移动后，使马达33的旋转轴反转4000脉冲而使装载端口门28下降移动从而返回到原来的对接位置(脉冲数为0)。通过该装载端口门28的升降移动，与装载端口门28一体化的盖2也相对于FOUP主体1反复升降移动，将粘连的唇部50b从第二平面58剥离，由此使FOUP主体1和盖2分离。此外，装载端口门28的升降移动优选持续到载置台21移动到解除对接位置为止。另外，通过以第二动作过程使载置台21后退到解除对接位置，之后以动作速度快的第一动作过程使载置台21移动，由此能够抑制打开动作整体的吞吐量降低。
此外，上述动作脉冲数、升降动作的次数只不过是例示，优选根据FOUP30的种类、装载端口8的结构适当调整。另外，在上述实施方式中，设定为在载置台21从对接位置移动到解除对接位置的期间进行装载端口门28的升降动作，但本发明不限定于此，也可以构成为，在装载端口门28与盖2一体化而将盖2开锁后，在载置台21开始向解除对接位置的移动动作前进行装载端口门28的升降动作，在装载端口门28的升降动作结束后，载置台21开始向解除对接位置的移动。此外，通过使装载端口门28和盖2振动，有时从使装载端口门28和盖2一体化的闩锁键15周边产生尘埃，但由于装载端口门28和盖2密接，因此产生的尘埃不会从接合部分向外部飞散。另外，即使尘埃从装载端口门28与盖2之间的间隙向外部飞散，尘埃也会通过来自FFU10的下降气流而向EFEM7的外部排出，因此不会附着到收容在FOUP主体1中的晶圆W的表面。
而且，作为装载端口8进行的升降动作的其他实施方式，也可以将装载端口门28的升降动作范围扩展到装载端口门28与盖2一体化的对接位置(0脉冲)的下方。图12的(c)是表示放大后的装载端口门28的升降动作的图表。与图12的(b)同样，图表的横轴是时间，纵轴表示装载端口门28的移动距离的门升降部29的马达33的动作脉冲数。在本实施方式中，除了使装载端口门28向比与盖2一体化的位置靠上方(正方向)移动的动作之外，还进行使装载端口门28移动到比与盖2一体化的位置靠下方(负方向)的动作。
在装载端口门28和盖2一体化后，首先使马达33的旋转轴正转4000脉冲而使装载端口门28上升移动4000脉冲量，之后，使马达33的旋转轴反转8000脉冲而使装载端口门28下降移动8000脉冲量，从而使其从对接位置(脉冲数0)移动到下降了4000脉冲量的位置。接着，使马达33的旋转轴正转8000脉冲而使装载端口门28移动到从对接位置上升了4000脉冲量的位置。通过该装载端口门28的升降移动，盖2也相对于FOUP主体1反复进行升降移动，将粘连的唇部50b从第二平面58剥离，由此容易使FOUP主体1和盖2分离。此外，装载端口门28的升降移动优选持续至载置台21移动到解除对接位置为止。另外，通过以第二动作过程使载置台21后退到解除对接位置，之后以动作速度快的第一动作过程使载置台21移动，能够抑制打开动作整体的吞吐量降低。
如上所述，在本实施方式中，由于将装载端口门28的振动范围设得较大，因此能够使粘连的唇部50b迅速地从第二平面58分离。此外，装载端口门28振动时的下降动作优选控制在不使FOUP30的后端浮起的程度。另外，在上述的使装载端口门28振动的两个实施方式中，以装载端口门28与气流调整部件61之间的间隙63的尺寸L1为基准对使装载端口门28升降移动时的动作范围进行了说明，但在FOUP主体1与盖2之间的间隙62的尺寸L2比尺寸L1小的情况下，优选以尺寸L2为基准来设置装载端口门28的升降范围。通过在比尺寸L1小的动作范围内使装载端口门28进行升降动作，能够防止FOUP主体1与盖2碰撞、或FOUP主体1的后部浮起。
此外，上述动作脉冲数、升降动作的次数只不过是例示，优选根据FOUP30的种类、装载端口8的结构适当调整。另外，装载端口门28的升降动作可以与载置台21从对接位置移动到解除对接位置的动作组合来进行，也可以在载置台21开始到解除对接位置的移动之前进行装载端口门28的升降动作，在装载端口门28的升降动作结束后，开始载置台21到解除对接位置的移动。
另外，上述例示的其他各种第二动作过程也可以分别适当组合来使用。而且，在第二动作过程中也无法分离盖时，也可以构成为执行给定次数的各种第二动作过程。另外，也可以构成为，对第二动作过程适当赋予优先顺序，并按照该优先顺序依次执行上述的各种不同的第二动作过程。例如，作为第二动作过程，在即使以比第一动作过程的移动速度慢的速度使载置台移动，也无法从容器主体分离盖的情况下，作为第三动作过程，可以进行将载置台的移动进行分割而断续地反复移动和停止的动作。另外，也可以构成为，对上述作为第二动作过程说明的动作过程赋予优先顺序，作为第三、第四动作过程组合来执行。
以上，参照附图详细说明了本发明的实施方式，但本发明不限于上述实施方式，在不脱离本发明的主旨的范围内能够进行各种变更。

Claims (10)

1.一种装载端口，其特征在于，具备：
载置台，其将密闭容器载置于给定的位置，所述密闭容器具备收纳晶圆的容器主体和气密地封闭该容器主体的盖；
传感器，其检测所述密闭容器向所述载置台的载置状态；
载置台驱动机构，其使所述载置台至少在对接位置与解除对接位置之间进退移动；
装载端口门，其与所述盖接合而一体化后将所述盖从所述容器主体分离而打开密闭容器；
门升降机构，其使所述装载端口门升降移动；以及
装载端口控制部，其存储有用于使所述载置台驱动机构、装载端口门以及所述门升降机构动作的多个动作过程，并基于该动作过程来控制所述载置台驱动机构、所述装载端口门以及所述门升降机构的动作，
所述装载端口控制部进行如下控制：
为了将所述盖从所述容器主体分离而打开所述密闭容器，基于第一动作过程，控制所述载置台驱动机构和所述门升降机构，使得从在所述对接位置处所述装载端口门与所述盖接合而一体化的状态，使所述载置台以第一速度后退到所述解除对接位置；
在基于所述第一动作过程的打开动作时，在所述传感器检测到所述密闭容器的载置异常的情况下，控制为使所述密闭容器返回到所述对接位置后，基于与所述第一动作过程不同的第二动作过程再次执行所述打开动作。
2.根据权利要求1所述的装载端口，其特征在于，
所述第二动作过程对所述载置台驱动机构进行控制以使得以比所述第一速度慢的速度从所述对接位置后退。
3.根据权利要求1所述的装载端口，其特征在于，
所述第二动作过程是如下的动作过程：将从所述对接位置到所述解除对接位置的距离分割为多个，一边按照该分割出的每个划分距离暂时停止一边使所述载置台从所述对接位置后退到所述解除对接位置。
4.根据权利要求1所述的装载端口，其特征在于，
所述第二动作过程是如下的动作过程：将从所述对接位置到所述解除对接位置的距离分割为多个，按照该分割出的每个划分距离反复进行所述载置台的后退和进退，从而使所述载置台从所述对接位置移动到所述解除对接位置。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的装载端口，其特征在于，
在所述装载端口门的上方和左右的周缘隔着给定的间隙配置有气流调整部件，
所述第二动作过程一边通过所述门升降机构使与所述盖一体化的所述装载端口门在比所述给定的间隙小的范围内沿上下方向进行升降动作，一边通过所述载置台驱动机构使所述载置台从所述对接位置移动到所述解除对接位置。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的装载端口，其特征在于，
所述装载端口控制部在执行了所述第二动作过程时所述传感器再次检测到所述密闭容器的载置异常的情况下，控制为反复执行给定次数的所述第二动作过程。
7.根据权利要求2所述的装载端口，其特征在于，
所述装载端口控制部在执行了基于对所述载置台驱动机构进行控制以使得以比所述第一速度慢的速度从所述对接位置后退的所述第二动作过程的打开动作时，在所述传感器再次检测到所述密闭容器的载置异常的情况下，所述装载端口控制部控制为使所述密闭容器再次返回到所述对接位置后，基于与所述第一以及第二动作过程不同的第三动作过程再次执行所述打开动作。
8.根据权利要求3所述的装载端口，其特征在于，
所述装载端口控制部在执行了基于将从所述对接位置到所述解除对接位置的距离分割为多个并一边按照该分割出的每个划分距离暂时停止一边使所述载置台从所述对接位置后退到所述解除对接位置的所述第二动作过程的打开动作时，在所述传感器再次检测到所述密闭容器的载置异常的情况下，所述装载端口控制部控制为使所述密闭容器再次返回到所述对接位置后，基于与所述第一以及第二动作过程不同的第三动作过程再次执行所述打开动作。
9.根据权利要求4所述的装载端口，其特征在于，
所述装载端口控制部在执行了基于将从所述对接位置到所述解除对接位置的距离分割成多个并按照该分割出的每个划分距离反复进行所述载置台的后退和进退而使所述载置台从所述对接位置移动到所述解除对接位置的所述第二动作过程的打开动作时，在所述传感器再次检测到所述密闭容器的载置异常的情况下，所述装载端口控制部控制为使所述密闭容器再次返回到所述对接位置后，基于与所述第一以及第二动作过程不同的第三动作过程再次执行所述打开动作。
10.根据权利要求4所述的装载端口，其特征在于，
在所述装载端口门的上方和左右方向的周缘隔着给定尺寸的间隙配置有气流调整部件，
在执行了基于一边通过所述门升降机构使与所述盖一体化的所述装载端口门在比所述给定的间隙小的范围内沿上下方向进行升降动作一边通过所述载置台驱动机构使所述载置台从所述对接位置移动到所述解除对接位置的所述第二动作过程的打开动作时，在所述传感器再次检测到所述密闭容器的载置异常的情况下，所述装载端口控制部控制为使所述密闭容器再次返回到所述对接位置后，基于与所述第一以及第二动作过程不同的第三动作过程再次执行所述打开动作。
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