JP2015050417A - ロードポート装置及び基板処理装置 - Google Patents

Abstract

【課題】重量やフットプリントを増加させることなく、ラッチエラーやドアクローズエラーの発生を抑制することができるロードポート装置を提供する。【解決手段】ウエハＷを処理する基板処理装置１０に設けられた挿抜用開口部４１と対向するようにウエハを収容するＭＡＣ３０がロードポート１４に配置されたときに、ＭＡＣ３０の蓋３２を開いて蓋３２を保持する共に挿抜用開口部４１を開くドア４２を有するロードポート装置４０において、ドア４２が蓋３２を保持したときにドア４２において蓋３２と接触する面の反対側の面に板ばね４５，４６を配置する。板ばね４５，４６により、ドア駆動装置４４によりドア４２に保持された蓋３２をＭＡＣ３０に装着する際に、蓋３２がＭＡＣ３０に収納されたウエハＷから反力を受けたときに、ＭＡＣ３０において蓋３２を装着するための開口面に対するドア４２の蓋３２と接触する面の傾きを補正する。【選択図】図３

Description

本発明は、基板を収容する容器と基板に対して所定の処理を施す基板処理装置との間での基板の搬送を可能にするロードポート装置と、このロードポート装置を備える基板処理装置に関する。

半導体ウエハに所定の処理を施す基板処理装置として、所定枚数の半導体ウエハを収容した容器（ポッド）を載置するロードポートを備えるものが知られている。このような基板処理装置では、半導体ウエハを処理する基板処理モジュールへ容器内の半導体ウエハを搬送するために、容器内の半導体ウエハは、ロードポートに隣接するローダーモジュールに配置されたウエハ搬送ロボットによって容器から搬出される。また、基板処理モジュールで処理された半導体ウエハは、同じウエハ搬送ロボットにより、ロードポートに載置された容器の内部に戻される。

一般的に、容器は、半導体ウエハを挿抜（搬入出）するための開口部に蓋が取り付けられた状態で、ローダーモジュールと対向するようにロードポートに載置される。ローダーモジュールのロードポート側の壁部（ローダーモジュールの外観を構成する箱状体の壁）において容器の蓋に対向する部分には、開口部と、この開口部を開閉するドアが設けられている。このドアがロードポートに載置された容器の蓋を保持してローダーモジュールの内部に退避することで容器の内部とローダーモジュールの内部とが連通し、これにより、ウエハ搬送ロボットによる容器に対する半導体ウエハの挿抜が可能になる。

ここで、ローダーモジュールのドアは、ＳＥＭＩスタンダードＥ６２で規定されるインタフェース規格であるＦＩＭＳ（Front-opening Interface Mechanical Standard）に準拠した構成とされ、例えば、特許文献１には、ＦＩＭＳシステムにおいて、容器の開口部を蓋によって閉塞する動作時に、蓋が適切に容器に固定されていることを検知する方法が提案されている。また、特許文献２には、半導体ウエハの大型化に起因して重量が増加したドアに対して、ドア駆動時に発生するモーメントに抗し得る構造を有するロードポート装置が提案されている。

特開２０１０−１５３８４３号公報 特開２０１２−０５４２７１号公報

近年、φ４５０ｍｍの半導体ウエハを収容する容器としてはＭＡＣ（Multi Application Carrier）が用いられている。ＭＡＣには、半導体ウエハを収納する本体部の開口面に蓋を固定するためのラッチ機構が設けられており、このラッチ機構を操作する操作機構がローダーモジュールに配置されたドアに設けられる。ここで、ＭＡＣに半導体ウエハが収容されている状態で容器に蓋を装着するために、蓋を保持したドアのクローズ動作（ローダーモジュールに設けられた開口部をドアで閉塞する動作）を行う際に、容器の本体部と蓋との間にラッチエラーが発生し、或いは、ローダーモジュールの開口部が確実にドアにより閉塞されないドアクローズエラーが発生することが確認されている。

その原因としては、ドアクローズ動作時には蓋が半導体ウエハを押さえ付けるが、このときに半導体ウエハから蓋が受ける反力によってドアを保持している支柱が変形してしまい、ドアにおいて蓋と当接（密着）する面（以下「ＦＩＭＳ面」という）が傾いてしまうことで、容器の開口面に対して蓋が平行とならずに傾いてしまうことが考えられる。

ここで、上記特許文献１は、ウエハサイズの大型化に伴うドアの傾きと変位等を検知する技術を提案しているが、ラッチエラーやドアクローズエラーの発生を防止することについては言及していない。また、上記特許文献２は、ドアの大型化に伴って、剛性のある構造体を用いることを提案しているが、このような対応では、ローダーモジュールの重量増加やドアを駆動する駆動機構の大型化、フットプリントの増大等の問題が生じ、ひいては、ロードポート装置のコストアップという問題が生じる。

本発明の目的は、重量やフットプリントを増加させることなく、ラッチエラーやドアクローズエラーの発生を抑制することができるロードポート装置及び基板処理装置を提供することにある。

上記目的を達成するために、請求項１記載のロードポート装置は、半導体ウエハを処理する基板処理装置に設けられた開口部と対向するように半導体ウエハを収容する容器が前記基板処理装置の外部に配置されたときに、前記容器の蓋を開くと共に前記開口部を開いて、前記基板処理装置の内部からの前記容器の内部に対する前記半導体ウエハの挿抜を可能とするロードポート装置であって、前記容器の蓋の前記容器への着脱と前記蓋の保持が可能であり、前記基板処理装置の内部側から前記開口部の開閉を行うドアと、前記ドアに前記開口部への開閉動作を行わせるドア駆動装置と、前記ドアが前記蓋を保持したときに前記ドアにおいて前記蓋と接触する面の反対側の面に配置され、前記ドア駆動装置により前記ドアに保持された前記蓋を前記容器に装着する際に前記蓋が前記容器に収納された半導体ウエハから反力を受けたときに、前記容器において前記蓋が装着される開口面に対する前記ドアの前記蓋と接触する面の傾きを補正する弾性体とを備えることを特徴とする。

請求項２記載のロードポート装置は、請求項１記載のロードポート装置において、前記弾性体を介して前記ドアを片持ち状態で保持すると共に、前記ドア駆動装置に取り付けられて、前記ドア駆動装置の駆動にしたがって前記ドアを移動させる支柱を有し、前記弾性体は、前記支柱の長手方向に所定の間隔で配置される少なくとも２枚の板ばねであることを特徴とする。

請求項３記載のロードポート装置は、請求項２記載のロードポート装置において、前記少なくとも２枚の板ばねのばね定数は、前記支柱の先端側に配置される板ばねのばね定数が、前記支柱の前記ドア駆動装置側に配置される板ばねのばね定数よりも大きいことを特徴とする。

請求項４記載のロードポート装置は、請求項２又は３に記載のロードポート装置において、前記支柱の先端側に突起部が設けられ、前記少なくとも２枚の板ばねのうち、前記支柱の先端側に配置される板ばねに前記支柱の前記突起部が挿入される穴部が形成されており、前記突起部の外周面と前記穴部の内周面との間に隙間が形成されていることを特徴とする。

上記目的を達成するために、請求項５記載の基板処理装置は、半導体ウエハに所定の処理を施す基板処理ユニットを備える基板処理装置であって、前記基板処理ユニットで処理を施す半導体ウエハ及び前記基板処理ユニットで処理された半導体ウエハを収納する容器を載置するロードポートと、前記ロードポートに載置された容器と対向するように開口部が設けられ、前記開口部を通じて前記容器の内部に対する半導体ウエハの挿抜を行うウエハ搬送装置が配置されたローダーモジュールとを備え、前記ローダーモジュールは、前記ロードポートに前記容器が載置されたときに前記容器の蓋を開くと共に前記開口部を開くロードポート装置を有し、前記ロードポート装置は、前記容器の蓋の前記容器への着脱と前記蓋の保持が可能であり、前記ローダーモジュールの基板処理装置の内部側から前記開口部の開閉を行うドアと、前記ドアに前記開口部への開閉動作を行わせるドア駆動装置と、前記ドアが前記蓋を保持したときに前記ドアにおいて前記蓋と接触する面の反対側の面に配置され、前記ドア駆動装置により前記ドアに保持された前記蓋を前記容器に装着する際に前記蓋が前記容器に収納された半導体ウエハから反力を受けたときに、前記容器において前記蓋が装着される開口面に対する前記ドアの前記蓋と接触する面の傾きを補正する弾性体とを有することを特徴とする。

本発明では、ロードポート装置のドアに、ドアの傾きを補正する弾性体を設ける。半導体ウエハが収納された容器本体に蓋を装着する際に、蓋が半導体ウエハから受ける反力をドアに設けた弾性体により吸収することにより、蓋を保持したドアに傾きが生じることを抑制する。これにより、容器本体と蓋との間のラッチエラーの発生を防止して、確実に蓋を容器本体に装着することができ、また、ドアにより基板処理装置に設けられた開口部を確実に閉塞することができるようになり、ドアクローズエラーの発生を防止することができる。

本発明の実施の形態に係る基板処理装置の概略構成を示す斜視図である。 図１の基板処理装置の概略構成を示す平面図である。 図１の基板処理装置が備えるローダーモジュールに配置されたロードポート装置の概略構造を示す概略断面図（図２中に示す矢視Ａ−Ａの概略断面図）と、ロードポート装置を構成するドアと支柱の概略構造を示す斜視図である。 ロードポート装置を構成する支柱がドアを保持する形態の変形例を示す上面図及び背面図である。

以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。ここでは、基板として直径が４５０ｍｍ（φ４５０ｍｍ）の半導体ウエハ（以下「ウエハ」という）を取り上げ、ウエハに対して所定の処理を施す基板処理装置を取り上げることとする。なお、ウエハに対して施す所定の処理としては、プラズマエッチング処理やプラズマアッシング処理、プラズマＣＶＤ成膜処理等の各種のプラズマ処理や、レジスト膜等の塗布・現像処理、ウエハに付着した異物等を除去する洗浄処理、成膜等のための熱処理、湿式（ウェット）エッチング処理等が挙げられる。

図１は、本発明の実施の形態に係る基板処理装置１０の概略構成を示す斜視図であり、図２は、基板処理装置１０の概略構成を示す平面図である。基板処理装置１０に対して、図１及び図２に示すように、３次元のＸＹＺ直交座標系を定めるものとする。Ｘ方向は、水平方向且つ基板処理装置１０の長さ方向であり、Ｙ方向は、水平方向且つ基板処理装置１０の幅方向であり、Ｚ方向は、鉛直方向である。

基板処理装置１０は、ウエハＷに所定の処理を施すウエハ処理モジュール１１と、Ｘ方向においてウエハ処理モジュール１１と対向するように所定の間隔で配置されたローダーモジュール１３と、ウエハ処理モジュール１１とローダーモジュール１３との間に配置されたウエハ中継モジュール１２と、Ｘ方向においてローダーモジュール１３を挟んでウエハ中継モジュール１２の反対側に配置されたロードポート１４とを備える。

例えば、ウエハ処理モジュール１１には、ウエハＷに対して所定の処理を施す複数の不図示のプロセスモジュールと、複数のプロセスモジュールとウエハ中継モジュール１２との間でウエハＷを搬送する不図示のウエハ搬送ロボットが配置されている。なお、ウエハ処理モジュール１１が、真空雰囲気でウエハＷに対して処理を施すためのものである場合には、ウエハ処理モジュール１１の内部全体が所定の真空度に保持され、ウエハ中継モジュール１２は、真空雰囲気と大気雰囲気との切り替えを行うことができる構成とされる。

ウエハ中継モジュール１２は、ローダーモジュール１３からウエハ処理モジュール１１へ搬送されるウエハＷやウエハ処理モジュール１１からローダーモジュール１３へ戻されるウエハＷを一時的に載置するための不図示のウエハ載置台（載置テーブル）を備える。ウエハ処理モジュール１１に配置されたウエハ搬送装置とローダーモジュール１３に配置された後述のウエハ搬送装置２０とが、ウエハ中継モジュール１２に配置されたウエハ載置台に対してアクセス可能となっている。

ローダーモジュール１３は、直方体状の大気搬送室として構成されている。ローダーモジュール１３の内部には、図２に示すように、ウエハＷを搬送するウエハ搬送装置２０が配置されている。ウエハ搬送装置２０は、不図示のガイドレールと、スカラアームタイプの搬送アーム２０ａとを有する。搬送アーム２０ａは、ガイドレールに沿って移動自在であり、また、旋回自在かつ伸縮自在に構成されている。搬送アーム２０ａの先端にはウエハＷを載置して保持するフォーク２０ｂが取り付けられている。ウエハ搬送装置２０は、ウエハ中継モジュール１２とロードポート１４に載置された後述のＭＡＣ３０との間でウエハＷを搬送する。なお、ウエハ搬送装置２０は、上述の移動タイプではなく、固定タイプであって、搬送アーム２０ａに代えて、図示のものではなく、多関節ロングリーチタイプの搬送アームを備えるものを用いることもできる。

３つのロードポート１４のそれぞれに、複数（例えば２５枚）のウエハＷを収容する容器であるＭＡＣ３０が載置される。ＭＡＣ３０に対するウエハＷの挿抜に関する詳細については後述する。基板処理装置１０は、コンピュータからなる制御装置１５を有し、制御装置１５は、基板処理装置１０全体の動作制御を行う。

図３（ａ），（ｂ）は、図２中に示す矢視Ａ−Ａの概略断面図である。ローダーモジュール１３は、以下に説明するドア４２、支柱４３及びドア駆動装置４４からなるロードポート装置４０を備える。図３（ｃ）は、ドア４２と支柱４３の概略構造を示す斜視図である。

ＭＡＣ３０は、ウエハＷを挿抜するための開口部３１と、開口部３１を閉塞する蓋３２とを備える。蓋３２が装着される開口部３１の開口面は、鉛直方向と平行（つまりＸ方向と直交する面（Ｙ−Ｚ面））である。

ＭＡＣ３０は、蓋３２がローダーモジュール１３のロードポート１４側の壁部１３ａと対向するようにロードポート１４に載置される。ＭＡＣ３０の蓋３２は、ＭＡＣ３０の本体部３０ａに装着された状態では、図３（ａ）に示されるように、例えばφ４５０ｍｍのウエハ用ＳＥＭＩスタンダードに従う不図示の回転式ラッチ方式のラッチ機構によって、本体部３０ａに保持されている。

ローダーモジュール１３のロードポート１４側の壁部１３ａにおいてロードポート１４に載置されたＭＡＣ３０の蓋３２と対向する部分には、ＭＡＣ３０の内部とローダーモジュール１３の内部とを連通させて、ＭＡＣ３０に対するウエハＷの挿抜を可能ならしめるための挿抜用開口部４１が設けられている。そして、挿抜用開口部４１は、ドア４２により開閉自在となっている。

ドア４２の外側の面（後述するＦＩＭＳ面）には、ＭＡＣ３０の蓋３２のラッチ機構を操作する不図示の操作機構が設けられている。ＭＡＣ３０がロードポート１４に載置されると、ＭＡＣ３０の蓋３２がドア４２の外側の面に当接（接触）する。こうして、ドア４２に設けられた操作機構による、ＭＡＣ３０の蓋３２のラッチ機構の解除が可能になる。ドア４２に設けられた操作機構は、ラッチ機構が解除された蓋３２を保持する保持機能を備える。したがって、ドア４２は、操作機構により蓋３２のラッチ機構を解除すると同時に、蓋３２を保持する。

ドア４２は、板ばね４５，４６を介して支柱４３に保持されている。なお、板ばね４５，４６の機能については後述する。ドア駆動装置４４は、支柱４３を駆動することにより、ドア４２を図３（ａ）中に示す矢印Ｂ１方向、Ｃ１方向に移動させることができ、これにより、蓋３２を保持したドア４２を、図３（ａ）の閉塞位置から図３（ｂ）の退避位置へと移動させることができる。逆に、ドア駆動装置４４は、ドア４２を図３（ｂ）中に示す矢印Ｃ２方向、Ｂ２方向に移動させることができ、これにより、蓋３２を保持したドア４２を、図３（ｂ）の退避位置から図３（ａ）の閉塞位置へと移動させることができる。図３（ｂ）の状態にあるときに、ローダーモジュール１３に配置されたウエハ搬送装置２０は、ＭＡＣ３０に対するウエハＷの挿抜を行うことができる。

ＭＡＣ３０をロードポート１４に載置したとき、ローダーモジュール１３の壁部１３ａに設けられた挿抜用開口部４１を閉塞しているドア４２の外側の面は鉛直方向と平行であり、ＭＡＣ３０の蓋３２も鉛直方向と平行であるため、ドア４２に設けられた操作機構による蓋３２に設けられたラッチ機構の解除は、通常、問題なく行うことができる。

一方、ロードポート１４に載置されたＭＡＣ３０をロードポート１４から別の基板処理装置等へ移動させる際には、蓋３２を保持したドア４２を図３（ｂ）の退避位置から図３（ａ）の閉塞位置へ移動させ、蓋３２をＭＡＣ３０の開口部３１に挿入して、ラッチ機構により蓋３２をＭＡＣ３０の本体部３０ａに確実に取り付ける（固定する）必要がある。

蓋３２をＭＡＣ３０の開口部３１に挿入しようとすると、蓋３２はＭＡＣ３０の内部に収納されているウエハＷに当接してウエハＷから反力を受ける。この反力により蓋３２とドア４２は、ローダーモジュール１３側へ押圧されるが、蓋３２をＭＡＣ３０の開口部３１に装着するためには、この反力に抗して、ラッチ機構により蓋３２が本体部３０ａに固定可能な位置まで押し込む必要がある。

ここで、蓋３２と同等の蓋が支柱４３と同等の支柱に直接に支持されている構造（板ばね４５，４６が無い構造）を考える。ドアは支柱に片持ち状態で保持されているため、ウエハＷから受ける反力によって、支柱は、ドア駆動装置４４に支持されたボトム側を支点として、先端側がローダーモジュール１３側に移動するように変形（変位）するおそれがある。これにより、ドアは、上側（図３（ａ）中の点Ｐ１側に相当する位置）が、下側（図３（ａ）中の点Ｐ２側に相当する位置）よりもＭＡＣ３０から遠ざかるように傾くおそれがある。つまり、ドアにおいて蓋３２と当接（密着）している面であるＦＩＭＳ面が、ＭＡＣ３０の開口部３１の開口面（Ｘ方向と直交する面）と平行ではなく、傾いた状態になるおそれがあり、こうしてドアのＦＩＭＳ面が傾くと、蓋３２もドアと同じように、ＭＡＣ３０の開口部３１の開口面に対して傾いた状態となる。

このような支柱の変形によって、蓋３２がＭＡＣ３０の開口部３１の開口面に対して傾いてしまうと、ラッチ機構が係合せずにラッチエラーが発生する可能性が高くなる。また、蓋３２を開口部３１に正常に装着させることができないときには、ドアクローズエラー（ドアをローダーモジュールの壁部に形成された開口部に対して正確な位置に保持することができないエラー）が発生してしまう可能性が高くなる。

この問題に対処する方法として、ドアを支持する支柱を太くする等して剛性を高め、ウエハＷからの反力に負けない強固な構成とする方法が考えられる。しかし、このような方法では、支柱の重量増によって、ドア駆動装置にはドアを動かすための大きなトルクや機械的構造が必要になり、ドア駆動装置の大型化、ローダーモジュールのフットプリントの拡大、コストアップ等の問題が生じる。

そこで、本発明では、ドア４２のＦＩＭＳ面に簡易な構成で自由度を持たせることにより、蓋３２をＭＡＣ３０の開口部３１に装着する際に、蓋３２を介してウエハＷから反力を受けたドア４２のＦＩＭＳ面を、ＭＡＣ３０の開口部３１の開口面と平行になるように（Ｘ方向と直交するように）、ドア４２の姿勢を補正する。

図３（ｃ）は、板ばね４５，４６の形状とドア４２と支柱４３との連結状態を示す斜視図である。図３（ａ）〜（ｃ）に示されるように、ドア４２には、支柱４３の長手方向である鉛直方向（Ｚ方向）に、Ｙ方向を長手方向とする２枚の板ばね４５，４６が並べて（略平行に）取り付けられており、ドア４２は板ばね４５，４６を介して支柱４３に保持された構造となっている。

このような構造とすることで、以下に説明する通りに、ドア４２のＦＩＭＳ面の傾きを補正して、蓋３２を確実にＭＡＣ３０の開口部３１に装着し、ラッチ機構を正常に動作させることができる。

即ち、蓋３２をＭＡＣ３０の開口部３１に取り付けるためのドアクローズ動作（ドア４２で挿抜用開口部４１を閉塞させる動作）では、ドア４２に保持された蓋３２がＭＡＣ３０の開口部３１へ嵌め込まれると共に、ドア４２が壁部１３ａの挿抜用開口部４１を閉塞するように、ドア駆動装置４４が駆動される。このとき、蓋３２がＭＡＣ３０の内部に収納されたウエハＷに当接してウエハＷから反力を受けることで、支柱４３がボトム側を支点としてその先端側がローダーモジュール１３側に移動するように変形しても、板ばね４５，４６が変位することでウエハＷからの反力が吸収され、ドア４２のＦＩＭＳ面をＭＡＣ３０の開口部３１の開口面と平行な状態に維持することができる。

こうして、ドア４２に傾きが生じることを防止することで、ドア４２に保持された蓋３２に傾きが生じることを防止することができるため、ウエハＷからの反力に抗して、蓋３２を確実に開口部３１へ押し込むことができる。よって、ドア４２の操作機構を動作させたときに、蓋３２のラッチ機構をＭＡＣ３０の本体部３０ａと係合させることができるようになり、ラッチエラーの発生を防止することができ、また、ドアクローズエラーの発生をも防止することができる。

ＭＡＣ３０の開口部３１に蓋３２を装着する際に、蓋３２がＭＡＣ３０の内部に収納されたウエハＷから反力を受けたとき、ドア４２のＦＩＭＳ面が鉛直方向と平行になるように補正することができる限りにおいて、板ばね４５，４６のばね定数は同じであっても構わず、また、大きさ（形状）にも制限はない。一方、蓋３２がウエハＷから反力を受けたときの支柱４３の変形の形態を考慮すれば、板ばね４５として、板ばね４６よりもばね定数の大きいものを用いるようにしてもよい。つまり、支柱４３のボトム側に配置される板ばね４６がウエハＷの反力を吸収して縮むようにすることで、変形した支柱４３をＭＡＣ３０側にスライドさせる（図３（ｂ）の矢印Ｂ２方向へ移動させる）ことで、ドア４２のＦＩＭＳ面をＸ方向と直交する状態に維持したまま、蓋３２をＭＡＣ３０の開口部３１へと押し込むことができる。

更に、ここでは、２枚の板ばね４５，４６をドア４２と支柱４３との間に介在させたが、３枚以上の板ばねをＺ方向に並べて配置することで、より細かくドア４２のＦＩＭＳ面の補正を行うことができるようにしてもよく、これに対して、１枚の板ばねであってもドア４２のＦＩＭＳ面の補正が可能な場合には、１枚の板ばねをドア４２と支柱４３との間に配置した構造としてもよい。

次に、支柱４３がドア４２を保持する形態の変形例について説明する。図４は、ドア４２の別の保持形態を示す上面図及び背面図である。ドア４２は、板ばね５１と、板ばね４６（図３に示す板ばね４６と同等）を介して、支柱５２に保持されている。

板ばね５１の下面（Ｚ方向下側）には、支柱５２に設けられたピン部５２ａが挿入される穴部５１ａが設けられており、板ばね５１は、穴部５１ａにピン部５２ａが挿入された状態で支柱５２に保持されている。穴部５１ａの内周面とピン部５２ａの外周面との間には、若干の隙間（クリアランス）が設けられており、この隙間は、ドア４２に保持された蓋３２をＭＡＣ３０の開口部３１に装着する際に、蓋３２がＭＡＣ３０の内部に収容されたウエハＷから反力を受けた際の反力を吸収してドア４２の傾きを補正し、ドア４２のＦＩＭＳ面を鉛直方向と平行に維持する機能を有する。

そのため、蓋３２がＭＡＣ３０の内部に収容されたウエハＷから反力を受けた際の反力によって支柱５２が変形したときの変形量がこのクリアランスによって吸収可能な程度であれば、板ばね５１に代えて、弾性を有さない板材を用いても構わない。

以上、本発明の実施の形態について、本発明に係るロードポート装置４０を備えた基板処理装置１０を例に説明を行ったが、本発明は、上記の実施の形態に限定されるものではない。例えば、上記の実施の形態では、平行に配置された２枚の板ばね４５，４６を用いて蓋３２がウエハＷから受ける反力を吸収することで、ドア４２のＦＩＭＳ面の傾きを補正したが、板ばね４５，４６に代えて、同等の機能を有する弾性体（例えば、板状のフレームとコイルばねからなるもの）を用いて、ドア４２のＦＩＭＳ面の傾きを補正するようにしてもよい。また、平行に配置された２枚の板ばね４５，４６の機能をＸ字型の１枚の板ばねに変形させることも可能である。

また、上記の実施形態では、基板処理装置１０は、ウエハ処理モジュール１１、ウエハ中継モジュール１２、ローダーモジュール１３及びロードポート１４を備えるとしたが、ウエハ中継モジュール１２を備えずに、ローダーモジュール１３に配置されたウエハ搬送装置２０が、ウエハ処理モジュール１１に配置されたプロセスモジュールに対するウエハＷの搬入出をも行う構成となっていてもよい。また、上記の実施の形態では、ウエハＷを収容する容器としてＭＡＣ３０を取り上げたが、容器は、φ４５０ｍｍのウエハＷを収容するＦＯＵＰ（Front-Opening Unified Pod）であっても構わない。また、φ３００ｍｍのウエハＷを収納するＦＯＵＰの蓋の着脱を行うロードポート装置にも、本発明の適用が可能である。

１０ 基板処理装置
１３ ローダーモジュール
３０ ＭＡＣ（容器）
３１ 開口部
３２ 蓋
４０ ロードポート装置
４１ 挿抜用開口部
４２ ドア
４３ 支柱
４４ ドア駆動装置
４５，４６，５１ 板ばね
５１ａ 穴部
５２ａ ピン部

Claims (5)

1. 半導体ウエハを処理する基板処理装置に設けられた開口部と対向するように半導体ウエハを収容する容器が前記基板処理装置の外部に配置されたときに、前記容器の蓋を開くと共に前記開口部を開いて、前記基板処理装置の内部からの前記容器の内部に対する前記半導体ウエハの挿抜を可能とするロードポート装置であって、
   前記容器の蓋の前記容器への着脱と前記蓋の保持が可能であり、前記基板処理装置の内部側から前記開口部の開閉を行うドアと、
   前記ドアに前記開口部への開閉動作を行わせるドア駆動装置と、
   前記ドアが前記蓋を保持したときに前記ドアにおいて前記蓋と接触する面の反対側の面に配置され、前記ドア駆動装置により前記ドアに保持された前記蓋を前記容器に装着する際に前記蓋が前記容器に収納された半導体ウエハから反力を受けたときに、前記容器において前記蓋が装着される開口面に対する前記ドアの前記蓋と接触する面の傾きを補正する弾性体とを備えることを特徴とするロードポート装置。
2. 前記弾性体を介して前記ドアを片持ち状態で保持すると共に、前記ドア駆動装置に取り付けられて、前記ドア駆動装置の駆動にしたがって前記ドアを移動させる支柱を有し、
   前記弾性体は、前記支柱の長手方向に所定の間隔で配置される少なくとも２枚の板ばねであることを特徴とする請求項１記載のロードポート装置。
3. 前記少なくとも２枚の板ばねのばね定数は、前記支柱の先端側に配置される板ばねのばね定数が、前記支柱の前記ドア駆動装置側に配置される板ばねのばね定数よりも大きいことを特徴とする請求項２記載のロードポート装置。
4. 前記支柱の先端側に突起部が設けられ、
   前記少なくとも２枚の板ばねのうち、前記支柱の先端側に配置される板ばねに前記支柱の前記突起部が挿入される穴部が形成されており、
   前記突起部の外周面と前記穴部の内周面との間に隙間が形成されていることを特徴とする請求項２又は３に記載のロードポート装置。
5. 半導体ウエハに所定の処理を施す基板処理ユニットを備える基板処理装置であって、
   前記基板処理ユニットで処理を施す半導体ウエハ及び前記基板処理ユニットで処理された半導体ウエハを収納する容器を載置するロードポートと、
   前記ロードポートに載置された容器と対向するように開口部が設けられ、前記開口部を通じて前記容器の内部に対する半導体ウエハの挿抜を行うウエハ搬送装置が配置されたローダーモジュールとを備え、
   前記ローダーモジュールは、前記ロードポートに前記容器が載置されたときに前記容器の蓋を開くと共に前記開口部を開くロードポート装置を有し、
   前記ロードポート装置は、
   前記容器の蓋の前記容器への着脱と前記蓋の保持が可能であり、前記ローダーモジュールの基板処理装置の内部側から前記開口部の開閉を行うドアと、
   前記ドアに前記開口部への開閉動作を行わせるドア駆動装置と、
   前記ドアが前記蓋を保持したときに前記ドアにおいて前記蓋と接触する面の反対側の面に配置され、前記ドア駆動装置により前記ドアに保持された前記蓋を前記容器に装着する際に前記蓋が前記容器に収納された半導体ウエハから反力を受けたときに、前記容器において前記蓋が装着される開口面に対する前記ドアの前記蓋と接触する面の傾きを補正する弾性体とを有することを特徴とする基板処理装置。

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