JP2010232561A - ウェーハ検出機構、及びｆｏｕｐ - Google Patents

Abstract

【課題】ＦＯＵＰの蓋部を開けることなくＦＯＵＰ内のウェーハに対する検出処理を適切に行うことができるとともに、ウェーハの損傷を防止しつつ構造の簡素化を図ることが可能なウェーハ検出機構を提供する。
【解決手段】開閉可能な蓋部１２を有するＦＯＵＰ１の内部に高さ方向へ複数段に亘って収容したウェーハＷに対して検出を行うウェーハ検出機構Ｘを、蓋部１２に設けた各ウェーハＷのエッジを保持し得るリテーナ１２Ｂと、リテーナ１２Ｂの弾性変形又は移動を検出することでウェーハＷの少なくとも有無を検出する検出部Ｓとによって構成した。
【選択図】図３

Description

本発明は、ＦＯＵＰ内に収容されたウェーハの少なくとも有無を検出するウェーハ検出機構に関するものである。

半導体の製造工程においては、歩留まりや品質の向上のため、クリーンルーム内でのウェーハの処理がなされている。しかしながら、素子の高集積化や回路の微細化、ウェーハの大型化が進んでいる今日では、小さな塵をクリーンルーム内の全体で管理することは、コスト的にも技術的にも困難となってきている。このため、近年では、クリーンルーム内全体の清浄度向上に代わる方法として、ウェーハの周囲の局所的な空間についてのみ清浄度をより向上させる「ミニエンバイロメント方式」を取り入れ、ウェーハの搬送その他の処理を行う手段が採用されている。ミニエンバイロメント方式では、ウェーハを高清浄な環境で搬送・保管するためのＦＯＵＰ（Front-Opening Unified Pod）と呼ばれる格納用容器と、ＦＯＵＰ内のウェーハを半導体製造装置との間で出し入れするとともに搬送装置との間でＦＯＵＰの受け渡しを行うインターフェース部の装置であるロードポート（Load Port）が重要な装置として利用されている。すなわち、クリーンルーム内において特にＦＯＵＰ内と半導体製造装置内とを高清浄度に維持しながら、ロードポートを配置した空間、換言すればＦＯＵＰ外と半導体製造装置外とを比較的低清浄度とすることで、クリーンルームの建設・稼働コストを抑制するようにされている。

ウェーハを高さ方向へ複数段に亘って収納可能なＦＯＵＰは、後方にのみ開口した概略箱型のＦＯＵＰ本体と、ＦＯＵＰ本体の後方を蓋封し得る蓋部とを備えてなり、この蓋部の内向面には、各ウェーハを保持し得るリテーナが設けられている（特許文献１参照）。リテーナには、弾性を有し、ＦＯＵＰ内に収納されたウェーハを蓋部の内向面側から弾性変形しながら保持することにより、ＦＯＵＰ内における各ウェーハの収納位置を位置決めするとともに、薄く脆弱なウェーハの損傷を防止し得るように構成されたものが通常用いられている。

ところで、ＦＯＵＰ内に収納されたウェーハを半導体製造装置へ移送する前に、ＦＯＵＰ内に複数段に亘って収納されたウェーハの数や収納姿勢を認識（マッピング）するマッピング処理が行われる。マッピング処理を行うマッピング機構は、通常ロードポートに設けられており、ＦＯＵＰの蓋部を開けた後、マッピング機構を構成する投光部及び受光部をＦＯＵＰ内に挿入し、投光部から出力された光量の変化を受光部で検出することによりウェーハの有無、傾き、或いは重なりを検出し得るように構成されていた（特許文献２参照）。

特開２００８−１３５４３４号公報 特開２００５−３４７６０３号公報

ところが、このようなマッピング機構は、マッピング処理を行うに際してＦＯＵＰの蓋部を開ける処理工程が要求されるため、マッピング処理に時間が掛かるという問題があった。また、ロードポート側にマッピング機構を構成する投光部及び受光部を設けなければならず、さらにはこれら投光部及び受光部をＦＯＵＰ内に位置付けた位置とＦＯＵＰ内から退避させた位置との間で移動させる機構（リンク機構等）をもロードポートに設けなければならず、構造の複雑化を招来していた。また、マッピング処理時、或いはマッピング処理の前後においてマッピング機構の一部がウェーハに干渉した場合にはウェーハが損傷する可能性があることから、マッピング機構の動作を慎重に行わせるように設定されていることが多く、これもマッピング処理に時間が掛かる要因であるとも考えられる。

本発明は、このような問題に着目してなされたものであって、主たる目的は、ＦＯＵＰの蓋部を開けることなくＦＯＵＰ内のウェーハに対する検出処理を適切に行うことができるとともに、構造の簡素化を図ることが可能なウェーハ検出機構を提供することにある。

すなわち本発明のウェーハ検出機構は、ＦＯＵＰ内に高さ方向へ複数段に亘って収納されているウェーハを検出するものであって、ＦＯＵＰに設けられ各ウェーハのエッジを保持し得るリテーナと、リテーナの弾性変形又は移動の少なくとも何れか一方を検出することによりウェーハの少なくとも有無を検出する検出部とを備えたものであることを特徴とする。ここで、「リテーナの弾性変形を検出する」とは、リテーナの弾性変形の有無又は弾性変形量を検出することを意味するものであり、「リテーナの移動を検出する」とは、リテーナの移動の有無又は移動量を検出することを意味するものである。そして、検出部は、リテーナの弾性変形のみを検出するもの、リテーナの移動のみを検出するもの、リテーナの弾性変形及び移動を検出するもの、これら何れの態様も包含するものである。

このようなウェーハ検出機構であれば、ウェーハのエッジを保持するというリテーナ本来の機能を利用して、検出部でリテーナの弾性変形又は移動を検出することによりウェーハの少なくとも有無を検出するようにしているため、ウェーハ検出処理を行う際にＦＯＵＰの蓋部を開ける作業が要求されず、ウェーハの検出処理に掛かる時間を有効に短縮することができるとともに、ロードポートに投光部や受光部等の専用のマッピング機構を設けることなく、構造の簡素化をも有効に図ることができる。また、リテーナ自体は、ウェーハのエッジを保持するものであり、ウェーハの検出処理時又はウェーハの検出処理の前後においてリテーナがウェーハのエッジに干渉することは当初から想定されたものであるため、リテーナがウェーハのエッジに干渉することによりウェーハが損傷するという事態は生じ難く、長期に亘って適切なウェーハの検出処理機能を維持することができる。リテーナ及び検出部は、ＦＯＵＰ内に収納可能なウェーハの段数に対応して設けられる。

特に、本発明のウェーハ検出機構では、ＦＯＵＰが高さ方向へ複数段に亘ってウェーハを載置し得るウェーハ載置部を備えたものとし、リテーナをＦＯＵＰ内においてウェーハ載置部の各段部に載置され得るウェーハに対して一対ずつ設け、これら対をなすリテーナの先端部同士の離間寸法を、ウェーハのエッジに形成された位置合わせ用切欠部の開口幅よりも大きく設定することができる。なお、位置合わせ用切欠部としてはノッチやオリフラが挙げられる。また、「高さ方向へ複数段に亘ってウェーハを載置するウェーハ載置部」とは、換言すれば、ウェーハ載置部が、高さ方向に複数の段部を有し、各段部にそれぞれウェーハを載置することが可能なものである、ということである。このような構成とすれば、エッジに位置合わせ用切欠部が形成されたウェーハを保持する際に、一方のリテーナが位置合わせ用切欠部に入り込んでしまった場合であっても他方のリテーナがウェーハのエッジのうち位置合わせ用切欠部を避けた部分を保持するものとなり、位置合わせ用切欠部の有無に左右されることなく、適切なウェーハの検出処理を行うことができる。

さらに、ＦＯＵＰが、内部空間に複数のウェーハを収納可能であって且つウェーハの出し入れ方向にのみ開口したＦＯＵＰ本体と、ＦＯＵＰ本体の開口を蓋封し得る蓋部とを備えたものである場合、蓋部にリテーナ及び検出部を設ければ、ウェーハ検出機構の主要部であるリテーナ及び検出部を蓋部にのみ付帯させる一方で、ＦＯＵＰ本体は周知の構造のものを適用することができ、構造の簡素化を図ることができるとともに、蓋部をＦＯＵＰ本体に装着するだけで検出部がリテーナの弾性変形又は移動を検出可能な状態となり、ウェーハに対する検出処理を好適に行うことができる。

また、本発明のＦＯＵＰは、上述したウェーハ検出機構を構成する際に好適に用いられるものである。具体的には、内部に高さ方向へ複数段に亘ってウェーハを収納可能であって且つウェーハの出し入れ方向にのみ開口したＦＯＵＰ本体と、ＦＯＵＰ本体の開口を蓋封し得る蓋部とを備え、蓋部の内向面に各ウェーハを保持し得るリテーナを設けたＦＯＵＰであって、リテーナの弾性変形又は移動の少なくとも何れか一方を検出することでウェーハの少なくとも有無を検出する検出部を備えていることを特徴とする。このようなＦＯＵＰであれば、上述したウェーハ検出機構と同様又は略同様の作用効果、すなわち、ウェーハ検出処理を行う際にＦＯＵＰの蓋部を開ける作業が要求されず、ウェーハの検出処理に掛かる時間を有効に短縮することができるとともに、構造の簡素化をも有効に図ることができるという作用効果を奏する。

さらに、本発明のＦＯＵＰは、高さ方向へ複数段に亘ってウェーハを載置し得るウェーハ載置部を備え、リテーナをＦＯＵＰ内においてウェーハ載置部の各段部に載置され得るウェーハに対して一対ずつ設け、これら対をなすリテーナの先端部同士の離間寸法を、ウェーハのエッジに形成された位置合わせ用切欠部の開口幅よりも大きく設定している。

本発明によれば、ＦＯＵＰの蓋部を開けることなくＦＯＵＰ内のウェーハに対する検出処理を適切に行うことができるとともに、ウェーハの損傷を防止しつつ構造の簡素化を図ることが可能なウェーハ検出機構を提供することができる。

本発明の一実施形態に係るウェーハ検出機構を適用したＦＯＵＰ、及びこのＦＯＵＰを載せたロードポートの模式的な側面図図。 同実施形態に係るウェーハ検出機構を適用したＦＯＵＰの模式的な平面図。 図２におけるｚ領域拡大図。 同実施形態に係るウェーハ検出機構においてリテーナが非保持状態にある状態を図３に対応させて示す図。

以下、本発明の一実施形態を、図面を参照して説明する。
本実施形態に係るウェーハ検出機構Ｘは、ＦＯＵＰ１内における少なくともウェーハＷの有無を検出できるようにしたものである。そして、本実施形態に係るウェーハ検出機構Ｘは、ＦＯＵＰ１の蓋部１２に設けたウェーハ押さえとして機能するリテーナ１２Ｂを利用したものである点に特徴を有するものである。

ＦＯＵＰ１は、図１及び図２に示すように、ウェーハＷの出し入れ方向である後方（ロードポート２側）にのみ開口した概略箱型のＦＯＵＰ本体１１と、ＦＯＵＰ本体１１の後方を蓋封し得る蓋部１２とを備えたものである。このようなＦＯＵＰ１は、複数のウェーハＷを収容した状態でロードポート２の載置板２２上に搬送され、ロードポート２によりＦＯＵＰ１内のウェーハＷを図示しない半導体製造装置内との間で出し入れ可能に構成したものである。ここで、ロードポート２について簡単に説明する。

ロードポート２は、ＦＯＵＰ１内に収容されたウェーハＷを半導体製造装置内に払い出すとともに、半導体製造装置で処理されたウェーハＷをＦＯＵＰ１内に収容する機能を有するものであり、図１に示すように、ほぼ矩形板状をなし略鉛直姿勢で配置されるフレーム２１と、このフレーム２１の高さ方向中央部からやや上方寄りの位置に略水平姿勢で設けた載置板２２と、フレーム２１のうち載置板２２とほぼ同じ高さ位置に開口下縁を設定し半導体製造装置内に連通し得る開口部を開閉するドア部２３とを備えたものである。載置板２２はフレーム２１の前面から前方に延びる支持台２４に支持されている。載置板２２には、上向きに突出させた３つの突起２２ａを形成している。これら３つの突起２２ａは、これら３つの突起２２ａをＦＯＵＰ１の底面に形成された穴（図示省略）に係合させることで、載置板２２上におけるＦＯＵＰ１の位置決めを図っている。

一方、ＦＯＵＰ１は、図１及び図２に示すように、ＦＯＵＰ本体１１と蓋部１２とから構成されるものである。ＦＯＵＰ本体１１は、前壁１１１、左右一対の側壁１１２、上壁１１３及び底壁１１４を一体に有し、これら各壁によって囲まれる内部空間にウェーハＷを複数段所定ピッチで載せることが可能な棚部（本発明における「ウェーハ載置部」に相当、図示省略）を備えたものである。つまり、棚部は、高さ方向に複数の段部を有し、各段部にそれぞれウェーハを載置することが可能なものである。この棚部は、前方及び後方に開口する概略筒状をなし、各側壁にウェーハＷのエッジ部分を支持し得るスリットを所定ピッチで設け、スリットにウェーハＷのエッジを載せることによって、高さ方向へ複数段に亘ってウェーハを載置することができるようにしている。ＦＯＵＰ本体１１を構成する各壁１１１、１１２、１１３、１１４同士の境界部分は緩やかな湾曲形状をなす。また、上壁１１３における上向面の中央部に、搬送装置（ＯＨＴ：Over Head Transport）に把持されるフランジ部１１５を設けている。

蓋部１２は、ロードポート２のドア部２３と対面し得るものであり、概略板状をなす。蓋部１２には、図２に示すように、この蓋部１２をＦＯＵＰ本体１１にロックし得るラッチ部１２Ａを設けている。そして、この蓋部１２のうち内向面に、ウェーハＷのエッジを保持可能なリテーナ１２Ｂを設けている。本実施形態では、棚部の各段部（スリット）に載置され得る１枚のウェーハＷのエッジを左右一対のリテーナ１２Ｂで保持し得るように構成している。左右一対のリテーナ１２Ｂを、ＦＯＵＰ１内に収納可能なウェーハＷの枚数（段数）と同数組蓋部１２に設け、それぞれ１組のリテーナ１２ＢによってウェーハＷを１枚ずつ保持できるように設定している。

各リテーナ１２Ｂは、弾性を有し、蓋部１２の内向面から内方（蓋部１２から離間する方向）に向かって突出した形状をなす。また、対をなすリテーナ１２Ｂは、先端部（突出端部）同士が内方に向かって漸次近付く方向に延び、ウェーハＷを保持していない非保持状態１２Ｂ（ＵＨ）における先端部同士の離間寸法１２Ｂｘを、ウェーハＷのエッジに形成されたノッチＷ１（本発明における「位置合わせ用切欠部」に相当）の開口幅Ｗ１ｘよりも大きく設定している（図３及び図４参照）。また、各リテーナ１２Ｂの先端部のうちウェーハＷのエッジに直接接する部分には保持溝（図示省略）を設けている。
このようなリテーナ１２Ｂは、蓋部１２をＦＯＵＰ本体１１に取り付けた際、ＦＯＵＰ１内に収容したウェーハＷのエッジと接触し、保持溝（図示省略）にウェーハＷのエッジを収容しつつ全体的に弾性変形しながら先端部を蓋部１２に漸次近付ける方向に移動する。このように、各リテーナ１２Ｂは、ウェーハＷのエッジを保持する保持状態１２Ｂ（Ｈ：図３参照）とウェーハＷのエッジを保持していない非保持状態１２Ｂ（ＵＨ：図４参照）との間で弾性変形しながら先端部を位置変更（移動）させるものである。なお、対をなすリテーナ１２Ｂがそれぞれ保持状態１２Ｂ（Ｈ）にある場合、各リテーナ１２Ｂの先端部同士が干渉しないように設定している。

本実施形態に係るウェーハ検出機構Ｘは、このようなリテーナ１２Ｂと、リテーナ１２Ｂの保持状態１２Ｂ（Ｈ）と非保持状態１２Ｂ（ＵＨ）との間における弾性変形の有無及び移動の有無を検出することでウェーハＷの少なくとも有無を検出する検出部Ｓとから構成される。検出部Ｓは、主としてセンサ素子を利用したものである。具体的には、検出部Ｓを、各リテーナ１２Ｂの先端部のうち蓋部１２に対面し得る部分に設けられリテーナ１２Ｂの保持状態１２Ｂ（Ｈ）と非保持状態１２Ｂ（ＵＨ）との間の弾性変形に伴って位置変更（移動）する可動接点Ｓ１と、蓋部１２のうち各リテーナ１２Ｂが保持状態１２Ｂ（Ｈ）になった際に各可動接点Ｓ１と接触し得る部分に設けた固定接点Ｓ２とによって構成している。本実施形態では、可動接点Ｓ１をリテーナ１２Ｂの先端部のうち蓋部１２に対面し得る部分に蓋部１２側に突出させて設けている。なお、これら可動接点Ｓ１及び固定接点Ｓ２がセンサ素子として機能していることは言及するまでもない。本実施形態に係るウェーハ検出機構Ｘは、可動接点Ｓ１と固定接点Ｓ２とからなる検出部Ｓを、リテーナ１２Ｂと同数備えている。１枚のウェーハＷを左右一対のリテーナ１２Ｂで保持する本実施形態では、ウェーハＷ１枚に対して２つの検出部Ｓを用いている。

そして、ＦＯＵＰ１内においてウェーハＷの載置が予定されている段部にウェーハＷが正常姿勢（水平姿勢）で収容されている場合、このウェーハＷのエッジは左右一対のリテーナ１２Ｂに保持される。したがって、左右一対のリテーナ１２Ｂは何れも非保持状態１２Ｂ（ＵＨ）から保持状態１２Ｂ（Ｈ）へと弾性変形しながら移動し、各リテーナ１２Ｂの先端部に設けた各可動接点Ｓ１がそれぞれ対応する固定接点Ｓ２に接触する。これにより、左右一対のリテーナ１２Ｂに対応して設けた左右一対の検出部Ｓは、それぞれリテーナ１２Ｂの非保持状態１２Ｂ（ＵＨ）から保持状態１２Ｂ（Ｈ）への弾性変形及び移動を検出することでウェーハＷの存在を検出し、検出信号を後述する検出信号読取部に出力する。

一方、ウェーハＷの載置が予定されている段部にウェーハＷが載置されていない場合、リテーナ１２Ｂは非保持状態１２Ｂ（ＵＨ）のまま移動しないため、各リテーナ１２Ｂの先端部に設けた各可動接点Ｓ１がそれぞれ対応する固定接点Ｓ２に接触することはなく、検出部Ｓは、これら対をなすリテーナ１２Ｂの非保持状態１２Ｂ（ＵＨ）から保持状態１２Ｂ（Ｈ）への弾性変形及び移動を検出せず、検出信号を出力しないことになる。

また、ＦＯＵＰ１内においてウェーハＷの載置が予定されている段部にウェーハＷが正常姿勢で収容されている場合であっても、ウェーハＷの回転角度によってはエッジに形成されたノッチＷ１内にリテーナ１２Ｂが入り込んでしまう場合があるが、本実施形態では、リテーナ１２Ｂの先端部同士の離間寸法１２Ｂｘを、ノッチＷ１の開口幅Ｗ１ｘよりも大きく設定しているため、一方のリテーナ１２ＢがノッチＷ１に入り込んでしまった場合であっても他方のリテーナ１２ＢがウェーハＷのエッジのうちノッチＷ１を避けた部分を保持するものとなり、当該他方のリテーナ１２Ｂは非保持状態１２Ｂ（ＵＨ）から保持状態１２Ｂ（Ｈ）へと弾性変形しながら移動する。したがって、左右一対の可動接点Ｓ１のうち何れか一方は対応する固定接点Ｓ２に接触する。これにより、左右一対の検出部Ｓのうち一方の検出部Ｓは、リテーナ１２Ｂの非保持状態１２Ｂ（ＵＨ）から保持状態１２Ｂ（Ｈ）への弾性変形及び移動を検出することでウェーハＷの存在を検出し、検出信号を後述する検出信号読取部に出力する。

本実施形態では、検出信号読取部を例えばロードポート２の載置板２２に設け、各検出部Ｓから出力される検出信号を蓋部１２の内部に設けた図示しない配線によりＦＯＵＰ１の底部まで導き、ロードポート２の載置板２２にＦＯＵＰ１を載せた際にこの検出信号読取部によって検出信号を読み取り、読み取った検出情報に基づいてＦＯＵＰ１内のウェーハＷを半導体製造装置内との間で移送する移送ロボットを作動させるようにしている。

このように本実施形態に係るウェーハ検出機構Ｘは、ウェーハＷのエッジを保持するというリテーナ１２Ｂ本来の機能を利用して、リテーナ１２Ｂと、リテーナ１２Ｂの弾性変形又は移動を検出することでウェーハＷの少なくとも有無を検出する検出部Ｓとを用いて構成したものであるため、ウェーハ検出処理を行う際にＦＯＵＰ１の蓋部１２を開ける作業が要求されず、ウェーハ検出処理に掛かる時間を有効に短縮することができるとともに、ロードポート２に投光部や受光部等の専用のマッピング機構を設けることなく、構造の簡素化をも有効に図ることができる。また、リテーナ１２Ｂ自体は、ウェーハＷのエッジを保持するものであり、ウェーハ検出処理時又はウェーハ検出処理の前後においてリテーナ１２ＢがウェーハＷのエッジに干渉することは当初から想定されたものであるため、リテーナ１２ＢがウェーハＷのエッジに干渉することによりウェーハＷが損傷するという事態は生じ難く、蓋部１２をＦＯＵＰ本体１１に装着するだけでウェーハＷに対する適切な検出処理を行うことができる。

特に、本発明のウェーハ検出機構Ｘでは、１枚のウェーハＷのエッジを２個のリテーナ１２Ｂで保持し得るように構成し、対をなすリテーナ１２Ｂの先端部同士の離間寸法１２Ｂｘを、ウェーハＷのエッジに形成された位置合わせ用のノッチＷ１の開口幅Ｗ１ｘよりも大きく設定している。これにより、エッジにノッチＷ１が形成されたウェーハＷを保持する際に、一方のリテーナ１２ＢがノッチＷ１に入り込んでしまった場合であっても他方のリテーナ１２ＢがウェーハＷのエッジのうちノッチＷ１が形成された箇所を避けた部分を保持するものとなり、ノッチＷ１の有無に左右されることなく、適切なウェーハ検出処理を行うことができる。

さらに、内部に高さ方向へ複数段に亘ってウェーハＷを収納可能であって且つウェーハＷの出し入れ方向にのみ開口したＦＯＵＰ本体１１と、ＦＯＵＰ本体１１の開口を蓋封し得る蓋部１２とを備えたＦＯＵＰ１において、蓋部１２にリテーナ１２Ｂ及び検出部Ｓを設けることにより、ウェーハ検出機構Ｘの主要部であるリテーナ１２Ｂ及び検出部Ｓを蓋部１２にのみ付帯させる一方で、ＦＯＵＰ本体１１は周知の構造のものを適用することができ、構造の簡素化を図ることができるとともに、蓋部１２をＦＯＵＰ本体１１に装着するだけで検出部Ｓがリテーナ１２Ｂの弾性変形又は移動を検出可能な状態となり、ウェーハＷに対する検出処理を好適に行うことができる。

なお、本発明は上述した実施形態に限定されるものではない。例えば、検出部は、リテーナの弾性変形又は移動の少なくとも何れかを検出するものであればよく、上記実施形態で述べた接触の有無を検知する接点以外のもの、例えば、非接触でリテーナの弾性変形又は移動の少なくとも何れか一方を検出するものであってもよい。非接触型の検出部としては、近接センサ、フォトインタラプタ、距離センサ、渦電流式センサ、光電センサ等が挙げられる。また、検出部が、センサを用いたものではなく、リテーナの弾性変形又は移動に伴って、回転動作又は進退動作可能なレバーやアーム、或いは伸縮動作又は折り畳み動作可能なリンク機構等といった作動部材を主体として構成されたものであってもよく、この場合、オペレータは作動部材の動きの有無を確認することによりウェーハの少なくとも有無を把握することができる。

また、上述した実施形態では、検出部として、弾性変形及び移動の有無を検出する態様を例示したが、弾性変形量又は移動量の少なくとも何れか一方を検出することでウェーハの少なくとも有無を検出する検出部であっても構わない。

さらに、検出部が、ウェーハの有無だけではなく、ＦＯＵＰ内に収納されているウェーハが水平姿勢であるか否か（傾いていないか否か）、ウェーハが１枚ずつ収納されているか否か（重なっていないか否か）を検出可能なものとすることもできる。

また、リテーナは、蓋部に一体又は一体的に設けられたものでもよいが、蓋部に着脱可能に設けたものであれば、損傷した場合等には該当するリテーナだけを交換するだけで対応することができる。さらに、一枚のウェーハを１個又は３個以上のリテーナで保持する態様であってもよい。リテーナの形状も適宜変更して構わない。また、リテーナをＦＯＵＰ本体に設けた態様であってもよい。リテーナとして、板バネを適用しても構わない。

また、リテーナが、ウェーハのエッジを保持する際に弾性変形することなく移動するもの、例えば一定の形状を維持したまま姿勢変更するものであっても構わない。この場合、検出部は、リテーナの移動の有無または移動量を検出することでウェーハの少なくとも有無を検出するものであればよい。また、リテーナには、塑性変形するものを適用して、使用の度に使い切り、交換可能なものを用いてもよい。

また、検出部が検出信号に基づいて点灯又は点滅するＬＥＤ等の発光素子を備えたものとし、検出信号読取部を例えばロードポートのドア部に設けた光学センサによって構成しても構わない。このような態様であれば、上述した実施形態と比較して、蓋部の内部からＦＯＵＰの底部に亘って検出信号を送信するための配線を設ける必要がなく、構造の簡素化を図ることができる。その他、各部の具体的構成についても上記実施形態に限られるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形が可能である。

１…ＦＯＵＰ
１１…ＦＯＵＰ本体
１２…蓋部
１２Ｂ…リテーナ
Ｓ…検出部
Ｗ…ウェーハ
Ｗ１…位置合わせ用切欠部（ノッチ）
Ｘ…ウェーハ検出機構

Claims (5)

1. ＦＯＵＰ内に高さ方向へ複数段に亘って収納されているウェーハを検出するウェーハ検出機構であって、
   前記ＦＯＵＰに設けられ各ウェーハのエッジを保持し得るリテーナと、
   前記リテーナの弾性変形又は移動の少なくとも何れか一方を検出することでウェーハの少なくとも有無を検出する検出部とを具備してなることを特徴とするウェーハ検出機構。
2. 前記ＦＯＵＰが高さ方向へ複数段に亘ってウェーハを載置し得るウェーハ載置部を備えたものであり、前記リテーナは前記ＦＯＵＰ内において前記ウェーハ載置部の各段部に載置され得るウェーハに対して一対ずつ設けられており、これら対をなす前記リテーナの先端部同士の離間寸法をウェーハのエッジに形成された位置合わせ用切欠部の開口幅よりも大きく設定している請求項１に記載のウェーハ検出機構。
3. 前記ＦＯＵＰが、内部に複数のウェーハを収納可能であって且つウェーハの出し入れ方向にのみ開口したＦＯＵＰ本体と、当該ＦＯＵＰ本体の開口を蓋封し得る蓋部とを備えたものであり、当該蓋部に前記リテーナ及び前記検出部を設けている請求項１又は２の何れかに記載のウェーハ検出機構。
4. 内部に高さ方向へ複数段に亘ってウェーハを収納可能であって且つウェーハの出し入れ方向にのみ開口したＦＯＵＰ本体と、当該ＦＯＵＰ本体の開口を蓋封し得る蓋部とを備え、当該蓋部の内向面に各ウェーハを保持し得るリテーナを設けたＦＯＵＰであって、
   前記リテーナの弾性変形又は移動の少なくとも何れか一方を検出することでウェーハの少なくとも有無を検出する検出部を備えていることを特徴とするＦＯＵＰ。
5. 高さ方向へ複数段に亘ってウェーハを載置し得るウェーハ載置部を備え、前記リテーナは前記ウェーハ載置部の各段部に載置され得るウェーハに対して一対ずつ設けられており、これら対をなす前記リテーナの先端部同士の離間寸法を、ウェーハのエッジに形成された位置合わせ用切欠部の開口幅よりも大きく設定している請求項４に記載のＦＯＵＰ。

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