JPWO2005122241A1 - 容器開閉装置及びその容器載置位置調整方法 - Google Patents
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Abstract
少なくとも、半導体ウエハ１４を複数枚収納可能な容器１０を載置して位置決めするドックプレート３１と、ドッグプレート３１を容器受渡位置と容器ドア１３が着脱される作業位置との間で移動させるドック移動機構３０と、容器ドア１３を着脱・保持する着脱・保持機構を有するポートドア２３と、ポートドア２３を水平に移動させるポートドア進退機構と、容器ドア１３を格納するためにポートドア２３が容器ドア１３を保持した状態でポートドアを垂直に移動させるポートドア昇降機構と、ポートドア２３により閉塞される開口部を有するポートプレート２１とからなる容器開閉装置１において、ドック移動機構３０は、ドックプレート３１の停止位置を所望の位置に変更可能とする停止位置可変手段を備えている。
Description
本願の発明は、半導体ウエハを所定の間隔で、水平に、複数枚収納して搬送する密閉可能な容器を開閉するための容器開閉装置及びその容器載置位置調整方法に関し、特に容器を受け渡す載置部において、容器の載置位置を所望の位置に変更可能とするその機構と方法とに関する。
近年、大規模なクリーンルームに対する投資の削減と工程の自動化を目的として、ミニエンバイロンメントと呼ばれる局所的なクリーンルームを使用した設備が増加してきている。ミニエンバイロンメント方式のプロセスでは、高い清浄状態に保たれた設備を部分的に設け、その設備内でのウエハのハンドリングを行なう。そして、ウエハ搬送時には、密閉型のウエハキャリア（ＦＯＵＰ：Ｆｒｏｎｔ Ｏｐｅｎｉｎｇ Ｕｎｉｆｉｅｄ Ｐｏｄ）を利用し、ウエハをパーティクルから保護する。
ミニエンバイロンメント環境で利用されるウエハキャリアは、ロック機構によって搬送中に簡単に開かないようになっており、その開閉を自動で行なうには、ＦＯＵＰオープナと呼ばれる専用の容器開閉装置を必要とする。そして、ウエハキャリアは、天井搬送装置や移載装置などの搬送装置で他の工程から搬送され、ＦＯＵＰオープナの載置部上部に搬送され、載置部との間で移載される。
ＦＯＵＰオープナは通常、プロセス装置へのウエハ入出口に設置されており、その寸法は、ＳＥＭＩ（Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ）によって規格化されている。同様に、ウエハキャリアの寸法もＳＥＭＩ規格で規定されており、ＦＯＵＰオープナの載置部位置の位置決めピンとウエハキャリアの位置決め溝とが一致して確実にＦＯＵＰオープナの載置位置にウエハキャリアが載置されるようになっている。そのため、ウエハキャリアの位置決め溝は、必要最小限の溝穴となっており、容易に位置決めできるように円錐状に加工している。そうすることで、天井搬送装置や移載装置によって搬送されてきたウエハキャリアがＦＯＵＰオープナの載置部と搬送装置との間で正確に移載される。
一方、天井搬送装置や移載装置などの搬送装置は、停止位置に多少のばらつきがあり、ＦＯＵＰオープナの載置部と移載装置との間でウエハキャリアを移載するために、Ｘ・Ｙ方向の位置合わせを行なわなくてはならない。このとき、天井搬送装置や移載装置のＸ方向（走行方向）は、停止位置の修正により比較的調整し易いが、Ｙ方向については、走行軌道の調整や、ＦＯＵＰオープナの設置位置調整又はＦＯＵＰオープナが設置されているプロセス装置全体の位置調整をしなくてはならない。
その解決策として、移載装置のウエハキャリア保持部にアーム型の機構を構成して、ウエハキャリアを任意の方向に移動し、載置部に載置するようにしている（特開２００３−０５１５２７号公報参照）。
ミニエンバイロンメント環境で利用されるウエハキャリアは、ロック機構によって搬送中に簡単に開かないようになっており、その開閉を自動で行なうには、ＦＯＵＰオープナと呼ばれる専用の容器開閉装置を必要とする。そして、ウエハキャリアは、天井搬送装置や移載装置などの搬送装置で他の工程から搬送され、ＦＯＵＰオープナの載置部上部に搬送され、載置部との間で移載される。
ＦＯＵＰオープナは通常、プロセス装置へのウエハ入出口に設置されており、その寸法は、ＳＥＭＩ（Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ）によって規格化されている。同様に、ウエハキャリアの寸法もＳＥＭＩ規格で規定されており、ＦＯＵＰオープナの載置部位置の位置決めピンとウエハキャリアの位置決め溝とが一致して確実にＦＯＵＰオープナの載置位置にウエハキャリアが載置されるようになっている。そのため、ウエハキャリアの位置決め溝は、必要最小限の溝穴となっており、容易に位置決めできるように円錐状に加工している。そうすることで、天井搬送装置や移載装置によって搬送されてきたウエハキャリアがＦＯＵＰオープナの載置部と搬送装置との間で正確に移載される。
一方、天井搬送装置や移載装置などの搬送装置は、停止位置に多少のばらつきがあり、ＦＯＵＰオープナの載置部と移載装置との間でウエハキャリアを移載するために、Ｘ・Ｙ方向の位置合わせを行なわなくてはならない。このとき、天井搬送装置や移載装置のＸ方向（走行方向）は、停止位置の修正により比較的調整し易いが、Ｙ方向については、走行軌道の調整や、ＦＯＵＰオープナの設置位置調整又はＦＯＵＰオープナが設置されているプロセス装置全体の位置調整をしなくてはならない。
その解決策として、移載装置のウエハキャリア保持部にアーム型の機構を構成して、ウエハキャリアを任意の方向に移動し、載置部に載置するようにしている（特開２００３−０５１５２７号公報参照）。
しかしながら、キャリア保持部へアーム型機構を構成して、ＦＯＵＰオープナの載置部と移載装置との間でウエハキャリアを移載するようになると、アームの旋回範囲の確保が必要になる。また、移載装置支持部からウエハキャリア保持部までの距離が長くなり、移載機構の水平動作の位置決め時にウエハキャリアの振動が発生し、発生した振動が停止するまで、その場で待機しなくてはならなくなり、ウエハキャリアの移載時間に影響が出る。また、移載装置にアーム型機構などの追加機構を備えると、大掛かりな装置となり、コストアップとなる。
本願の発明は、従来の容器開閉装置（ＦＯＵＰオープナ）及びその容器載置位置調整方法が有する前記のような問題点を解決して、容器開閉装置に備わるドックプレートの位置と、容器に備わるドックプレートへの位置決め溝とのずれを調節し、スムースにドックプレートの容器載置位置と容器の位置決め溝との位置合わせをすることが可能な容器開閉装置及びその容器載置位置調整方法を提供することを課題とする。
本願の発明によれば、このような課題は、次のような容器開閉装置及びその容器載置位置調整方法により解決される。
すなわち、その容器開閉装置は、少なくとも、半導体ウエハを所定の間隔で水平に複数枚収納可能な容器を載置して位置決めするドックプレートと、前記ドッグプレートを容器受渡位置と容器ドアが着脱される作業位置との間で移動させることが可能なドック移動機構と、前記容器ドアを着脱する着脱機構と前記容器ドアを保持する保持機構とを有するポートドアと、前記ポートドアを水平に移動させるポートドア進退機構と、前記容器ドアを格納するために前記ポートドアが前記容器ドアを保持した状態で前記ポートドアを垂直に移動させるポートドア昇降機構と、前記ポートドアにより閉塞される開口部を有するポートプレートとからなり、前記ドッグ移動機構は、前記ドックプレートの停止位置を所望の位置に変更可能とする停止位置可変手段を備えていることを特徴としている。
好ましい実施形態では、前記停止位置可変手段は、ドックプレートの停止位置を数値制御により所望の位置に変更する制御手段を備えている。
別の好ましい実施形態では、前記停止位置可変手段は、容器ドアの取り外しを行なう方向へのドックプレートの移動方向をＸ方向とし、該Ｘ方向と直交する方向をＹ方向とするとき、ドックプレートの停止位置をＸ方向の所望の位置に変更可能とする。
さらに別の好ましい実施形態では、前記停止位置可変手段は、容器ドアの取り外しを行なう方向へのドックプレートの移動方向をＸ方向とし、該Ｘ方向と直交する方向をＹ方向とするとき、ドックプレートの停止位置をＸ方向及びＹ方向の所望の位置に変更可能とする。
前記のように、ドッグ移動機構が容器開閉装置のドックプレートの停止位置を所望の位置に変更可能とする停止位置可変手段を備えることで、容器を搬送装置と容器開閉装置の容器載置部（ドックプレートに備えられる）との間で受渡をするとき、の容器載置位置を所望の位置に容易に柔軟に位置決めすることができ、異なる容器や搬送装置と容器開閉装置の容器載置部とのずれに個別に、容易に対応することが可能になり、さらに、これを数値制御により行なうことで、自動で正確に容器の受渡移載をすることができるとともに、停止位置確認をする特別な機構を設けなくてもよい。
また、その容器開閉装置は、少なくとも、半導体ウエハを所定の間隔で水平に複数枚収納可能な容器を載置して位置決めするドックプレートと、前記ドックプレートを容器受渡位置と容器ドアが着脱される作業位置との間で移動させることが可能なドッグ移動機構と、前記容器ドアを着脱する着脱機構と前記容器ドア保持する保持機構とを有するポートドアと、前記ポートドアを水平に移動させるポートドア進退機構と、前記容器ドアを格納するために前記ポートドアが前記容器ドアを保持した状態で前記ポートドアを垂直に移動させるポートドア昇降機構と、前記ポートドアにより閉塞される開口部を有するポートプレートとからなり、前記ドッグ移動機構は、前記ドックプレートの停止位置を確認する停止位置確認手段と、前記停止位置確認手段の設置位置を所望の位置に変更可能とする設置位置可変手段とを備えていることを特徴としている。
好ましい実施形態では、前記設置位置可変手段は、停止位置確認手段の設置位置を数値制御により所望の位置に変更する制御手段を備えている。
別の好ましい実施形態では、前記設置位置可変手段は、容器ドアの取り外しを行なう方向へのドックプレートの移動方向をＸ方向とし、該Ｘ方向と直交する方向をＹ方向とするとき、停止位置確認手段の設置位置をＸ方向の所望の位置に変更可能とする。
さらに別の好ましい実施形態では、前記設置位置可変手段は、容器ドアの取り外しを行なう方向への前記ドックプレートの移動方向をＸ方向とし、前記Ｘ方向と直交する方向をＹ方向とするとき、停止位置確認手段の設置位置をＸ方向及びＹ方向の所望の位置に変更可能とする。
前記のように、ドッグ移動機構が容器開閉装置のドックプレートの停止位置を確認する停止位置確認手段を備え、この停止位置確認手段の設置位置を所望の位置に変更可能とする設置位置可変手段をさらに備えることで、容器を搬送装置と容器開閉装置の容器載置部（ドックプレートに備えられる）との間で受渡をするとき、ドックプレートの停止位置を正確に確実に確認した上で、これに基づいてドックプレート上の容器載置位置を所望の位置に容易に柔軟に位置決めすることができ、異なる容器や搬送装置と容器開閉装置の容器載置部とのずれに個別に、正確かつ確実に、容易に対応することが可能になり、さらに、これを数値制御により行なうことで、自動でさらに正確に容器の受渡移載をすることができる。
また、その容器開閉装置の容器載置位置調整方法は、少なくとも、半導体ウエハを所定の間隔で水平に複数枚収納可能な容器を載置して位置決めするための容器載置手段と、前記容器載置手段を容器受渡位置と容器ドアが着脱される作業位置との間で移動可能にするための移動手段と、前記移動手段により前記作業位置に移動させられた前記容器載置手段に載置された前記容器の容器ドアを着脱するための着脱手段とを備えた容器開閉装置の容器載置位置調整方法であって、前記移動手段は、前記容器載置手段の停止位置を所望の位置に変更可能とすることを特徴としている。
好ましい実施形態では、前記移動手段は、容器載置手段の停止位置を数値制御により所望の位置に変更する。
前記のような容器載置位置調整方法としているので、移動手段が容器載置手段の停止位置を所望の位置に変更可能とすることで、容器を搬送装置と容器開閉装置の容器載置部（容器載置手段に備えられる）との間で受渡をするとき、容器載置部を所望の位置に容易に柔軟に位置決めすることができ、異なる容器や搬送装置と容器開閉装置の容器載置部とのずれに個別に、容易に対応することが可能になり、さらに、これを数値制御により行なうことで、自動で正確に容器の受渡移載をすることができるとともに、停止位置確認をする特別な機構を設けなくてもよい。
さらに、その容器開閉装置の容器載置位置調整方法は、少なくとも、半導体ウエハを所定の間隔で水平に複数枚収納可能な容器を載置して位置決めするための容器載置手段と、前記容器載置手段を容器受渡位置と容器ドアが着脱される作業位置との間で移動可能にするための移動手段と、前記移動手段により前記作業位置に移動させられた前記容器載置手段に載置された前記容器の容器ドアを着脱するための着脱手段とを備えた容器開閉装置の容器載置位置調整方法において、前記移動手段は、前記容器載置手段の停止位置を確認する位置を所望の位置に変更可能とすることを特徴としている。
好ましい実施形態では、前記移動手段は、容器載置手段の停止位置を確認する位置を数値制御により所望の位置に変更する。
前記のような容器載置位置調整方法としているので、移動手段が容器載置手段の停止位置を確認する位置を所望の位置に変更可能とすることで、容器を搬送装置と容器開閉装置の容器載置部（容器載置手段に備えられる）との間で受渡をするとき、移動手段が容器載置手段の停止位置を正確に確実に確認した上で、これに基づいて容器開閉装置の容器載置部を所望の位置に容易に柔軟に位置決めすることができ、異なる容器や搬送装置と容器開閉装置の容器載置部とのずれに個別に、正確かつ確実に、容易に対応することが可能になり、さらに、これを数値制御により行なうことで、自動でさらに正確に容器の受渡移載をすることができる。
以上のような本願の発明の容器開閉装置及びその容器載置位置調整方法の構成によれば、大掛かりな装置を必要とせずに、多種の容器や搬送装置と容器開閉装置の容器載置部との誤差に対応することが可能になり、搬送装置と容器開閉装置との間で正確に容器の受渡移載をすることができる。
本願の発明は、従来の容器開閉装置（ＦＯＵＰオープナ）及びその容器載置位置調整方法が有する前記のような問題点を解決して、容器開閉装置に備わるドックプレートの位置と、容器に備わるドックプレートへの位置決め溝とのずれを調節し、スムースにドックプレートの容器載置位置と容器の位置決め溝との位置合わせをすることが可能な容器開閉装置及びその容器載置位置調整方法を提供することを課題とする。
本願の発明によれば、このような課題は、次のような容器開閉装置及びその容器載置位置調整方法により解決される。
すなわち、その容器開閉装置は、少なくとも、半導体ウエハを所定の間隔で水平に複数枚収納可能な容器を載置して位置決めするドックプレートと、前記ドッグプレートを容器受渡位置と容器ドアが着脱される作業位置との間で移動させることが可能なドック移動機構と、前記容器ドアを着脱する着脱機構と前記容器ドアを保持する保持機構とを有するポートドアと、前記ポートドアを水平に移動させるポートドア進退機構と、前記容器ドアを格納するために前記ポートドアが前記容器ドアを保持した状態で前記ポートドアを垂直に移動させるポートドア昇降機構と、前記ポートドアにより閉塞される開口部を有するポートプレートとからなり、前記ドッグ移動機構は、前記ドックプレートの停止位置を所望の位置に変更可能とする停止位置可変手段を備えていることを特徴としている。
好ましい実施形態では、前記停止位置可変手段は、ドックプレートの停止位置を数値制御により所望の位置に変更する制御手段を備えている。
別の好ましい実施形態では、前記停止位置可変手段は、容器ドアの取り外しを行なう方向へのドックプレートの移動方向をＸ方向とし、該Ｘ方向と直交する方向をＹ方向とするとき、ドックプレートの停止位置をＸ方向の所望の位置に変更可能とする。
さらに別の好ましい実施形態では、前記停止位置可変手段は、容器ドアの取り外しを行なう方向へのドックプレートの移動方向をＸ方向とし、該Ｘ方向と直交する方向をＹ方向とするとき、ドックプレートの停止位置をＸ方向及びＹ方向の所望の位置に変更可能とする。
前記のように、ドッグ移動機構が容器開閉装置のドックプレートの停止位置を所望の位置に変更可能とする停止位置可変手段を備えることで、容器を搬送装置と容器開閉装置の容器載置部（ドックプレートに備えられる）との間で受渡をするとき、の容器載置位置を所望の位置に容易に柔軟に位置決めすることができ、異なる容器や搬送装置と容器開閉装置の容器載置部とのずれに個別に、容易に対応することが可能になり、さらに、これを数値制御により行なうことで、自動で正確に容器の受渡移載をすることができるとともに、停止位置確認をする特別な機構を設けなくてもよい。
また、その容器開閉装置は、少なくとも、半導体ウエハを所定の間隔で水平に複数枚収納可能な容器を載置して位置決めするドックプレートと、前記ドックプレートを容器受渡位置と容器ドアが着脱される作業位置との間で移動させることが可能なドッグ移動機構と、前記容器ドアを着脱する着脱機構と前記容器ドア保持する保持機構とを有するポートドアと、前記ポートドアを水平に移動させるポートドア進退機構と、前記容器ドアを格納するために前記ポートドアが前記容器ドアを保持した状態で前記ポートドアを垂直に移動させるポートドア昇降機構と、前記ポートドアにより閉塞される開口部を有するポートプレートとからなり、前記ドッグ移動機構は、前記ドックプレートの停止位置を確認する停止位置確認手段と、前記停止位置確認手段の設置位置を所望の位置に変更可能とする設置位置可変手段とを備えていることを特徴としている。
好ましい実施形態では、前記設置位置可変手段は、停止位置確認手段の設置位置を数値制御により所望の位置に変更する制御手段を備えている。
別の好ましい実施形態では、前記設置位置可変手段は、容器ドアの取り外しを行なう方向へのドックプレートの移動方向をＸ方向とし、該Ｘ方向と直交する方向をＹ方向とするとき、停止位置確認手段の設置位置をＸ方向の所望の位置に変更可能とする。
さらに別の好ましい実施形態では、前記設置位置可変手段は、容器ドアの取り外しを行なう方向への前記ドックプレートの移動方向をＸ方向とし、前記Ｘ方向と直交する方向をＹ方向とするとき、停止位置確認手段の設置位置をＸ方向及びＹ方向の所望の位置に変更可能とする。
前記のように、ドッグ移動機構が容器開閉装置のドックプレートの停止位置を確認する停止位置確認手段を備え、この停止位置確認手段の設置位置を所望の位置に変更可能とする設置位置可変手段をさらに備えることで、容器を搬送装置と容器開閉装置の容器載置部（ドックプレートに備えられる）との間で受渡をするとき、ドックプレートの停止位置を正確に確実に確認した上で、これに基づいてドックプレート上の容器載置位置を所望の位置に容易に柔軟に位置決めすることができ、異なる容器や搬送装置と容器開閉装置の容器載置部とのずれに個別に、正確かつ確実に、容易に対応することが可能になり、さらに、これを数値制御により行なうことで、自動でさらに正確に容器の受渡移載をすることができる。
また、その容器開閉装置の容器載置位置調整方法は、少なくとも、半導体ウエハを所定の間隔で水平に複数枚収納可能な容器を載置して位置決めするための容器載置手段と、前記容器載置手段を容器受渡位置と容器ドアが着脱される作業位置との間で移動可能にするための移動手段と、前記移動手段により前記作業位置に移動させられた前記容器載置手段に載置された前記容器の容器ドアを着脱するための着脱手段とを備えた容器開閉装置の容器載置位置調整方法であって、前記移動手段は、前記容器載置手段の停止位置を所望の位置に変更可能とすることを特徴としている。
好ましい実施形態では、前記移動手段は、容器載置手段の停止位置を数値制御により所望の位置に変更する。
前記のような容器載置位置調整方法としているので、移動手段が容器載置手段の停止位置を所望の位置に変更可能とすることで、容器を搬送装置と容器開閉装置の容器載置部（容器載置手段に備えられる）との間で受渡をするとき、容器載置部を所望の位置に容易に柔軟に位置決めすることができ、異なる容器や搬送装置と容器開閉装置の容器載置部とのずれに個別に、容易に対応することが可能になり、さらに、これを数値制御により行なうことで、自動で正確に容器の受渡移載をすることができるとともに、停止位置確認をする特別な機構を設けなくてもよい。
さらに、その容器開閉装置の容器載置位置調整方法は、少なくとも、半導体ウエハを所定の間隔で水平に複数枚収納可能な容器を載置して位置決めするための容器載置手段と、前記容器載置手段を容器受渡位置と容器ドアが着脱される作業位置との間で移動可能にするための移動手段と、前記移動手段により前記作業位置に移動させられた前記容器載置手段に載置された前記容器の容器ドアを着脱するための着脱手段とを備えた容器開閉装置の容器載置位置調整方法において、前記移動手段は、前記容器載置手段の停止位置を確認する位置を所望の位置に変更可能とすることを特徴としている。
好ましい実施形態では、前記移動手段は、容器載置手段の停止位置を確認する位置を数値制御により所望の位置に変更する。
前記のような容器載置位置調整方法としているので、移動手段が容器載置手段の停止位置を確認する位置を所望の位置に変更可能とすることで、容器を搬送装置と容器開閉装置の容器載置部（容器載置手段に備えられる）との間で受渡をするとき、移動手段が容器載置手段の停止位置を正確に確実に確認した上で、これに基づいて容器開閉装置の容器載置部を所望の位置に容易に柔軟に位置決めすることができ、異なる容器や搬送装置と容器開閉装置の容器載置部とのずれに個別に、正確かつ確実に、容易に対応することが可能になり、さらに、これを数値制御により行なうことで、自動でさらに正確に容器の受渡移載をすることができる。
以上のような本願の発明の容器開閉装置及びその容器載置位置調整方法の構成によれば、大掛かりな装置を必要とせずに、多種の容器や搬送装置と容器開閉装置の容器載置部との誤差に対応することが可能になり、搬送装置と容器開閉装置との間で正確に容器の受渡移載をすることができる。
図１は、本願の発明の第１の実施例（実施例１）の容器開閉装置に相当するＦＯＵＰオープナの概観図である。
図２は、同ＦＯＵＰオープナの概略図であって、（ａ）は縦断面図、（ｂ）は部分正面図、（ｃ）は平面図である。
図３は、本願の発明の第２の実施例（実施例２）におけるＦＯＵＰオープナの概略図であって、（ａ）は縦断面図、（ｂ）は部分正面図、（ｃ）は平面図である。
図４は、本実施例１とその変形例におけるドック位置調整機構（ドック移動機構）の概略図である。
図５は、本実施例２とその変形例におけるドック位置調整機構（ドック移動機構）の概略図である。
図６は、本実施例１において、ＦＯＵＰが作業位置まで前進して、ＦＯＵＰドアがポートドアの係合面に接触した基本状態を示す動作図である。
図７は、本実施例１において、ドックプレートとＦＯＵＰとの位置合わせする状態を示す動作図である。
図８は、本実施例２において、ドックプレートとＦＯＵＰとの位置合わせする状態を示す動作図である。
図９は、本実施例１におけるＦＯＵＰオープナの概略制御構成図である。
図１０は、本実施例２におけるＦＯＵＰオープナの概略制御構成図である。
図１１は、従来例において、ドックプレートとＦＯＵＰ搬送装置との位置合わせを行なう場合の概略フローチャート図である。
図１２は、本実施例１、２において、ドックプレートとＦＯＵＰ搬送装置との位置合わせを行なう場合の概略フローチャート図である。
図１３は、本実施例２とその変形例における検出センサ移動機構の他の実施形態を示す概略図である。
図１４は、本実施例１とその変形例におけるドック移動機構の他の実施形態を示す概略図である。
図２は、同ＦＯＵＰオープナの概略図であって、（ａ）は縦断面図、（ｂ）は部分正面図、（ｃ）は平面図である。
図３は、本願の発明の第２の実施例（実施例２）におけるＦＯＵＰオープナの概略図であって、（ａ）は縦断面図、（ｂ）は部分正面図、（ｃ）は平面図である。
図４は、本実施例１とその変形例におけるドック位置調整機構（ドック移動機構）の概略図である。
図５は、本実施例２とその変形例におけるドック位置調整機構（ドック移動機構）の概略図である。
図６は、本実施例１において、ＦＯＵＰが作業位置まで前進して、ＦＯＵＰドアがポートドアの係合面に接触した基本状態を示す動作図である。
図７は、本実施例１において、ドックプレートとＦＯＵＰとの位置合わせする状態を示す動作図である。
図８は、本実施例２において、ドックプレートとＦＯＵＰとの位置合わせする状態を示す動作図である。
図９は、本実施例１におけるＦＯＵＰオープナの概略制御構成図である。
図１０は、本実施例２におけるＦＯＵＰオープナの概略制御構成図である。
図１１は、従来例において、ドックプレートとＦＯＵＰ搬送装置との位置合わせを行なう場合の概略フローチャート図である。
図１２は、本実施例１、２において、ドックプレートとＦＯＵＰ搬送装置との位置合わせを行なう場合の概略フローチャート図である。
図１３は、本実施例２とその変形例における検出センサ移動機構の他の実施形態を示す概略図である。
図１４は、本実施例１とその変形例におけるドック移動機構の他の実施形態を示す概略図である。
少なくとも、半導体ウエハを所定の間隔で水平に複数枚収納可能な容器を載置して位置決めするドックプレートと、該ドッグプレートを容器受渡位置と容器ドアが着脱される作業位置との間で移動させることが可能なドック移動機構と、容器ドアを着脱する着脱機構と該容器ドアを保持する保持機構とを有するポートドアと、該ポートドアを水平に移動させるポートドア進退機構と、容器ドアを格納するためにポートドアが容器ドアを保持した状態でポートドアを垂直に移動させるポートドア昇降機構と、ポートドアにより閉塞される開口部を有するポートプレートとからなる容器開閉装置において、ドッグ移動機構は、ドックプレートの停止位置を所望の位置に変更可能とする停止位置可変手段を備えるものとする。
この停止位置可変手段は、ドックプレートの停止位置を数値制御により所望の位置に変更する制御手段を備えるものとし、さらに、容器ドアの取り外しを行なう方向へのドックプレートの移動方向をＸ方向とし、Ｘ方向と直交する方向をＹ方向とするとき、ドックプレートの停止位置を少なくともＸ方向の所望の位置に変更可能とする。なお、ドックプレートの停止位置を確認・検出するために、停止位置確認手段を具備せしめるのがよい。
この停止位置可変手段は、ドックプレートの停止位置を数値制御により所望の位置に変更する制御手段を備えるものとし、さらに、容器ドアの取り外しを行なう方向へのドックプレートの移動方向をＸ方向とし、Ｘ方向と直交する方向をＹ方向とするとき、ドックプレートの停止位置を少なくともＸ方向の所望の位置に変更可能とする。なお、ドックプレートの停止位置を確認・検出するために、停止位置確認手段を具備せしめるのがよい。
次に、本願の発明の第１の実施例（実施例１）を、図面を参照しつつ、詳細に説明する。
図１は、本実施例１の容器開閉装置に相当するＦＯＵＰオープナの概観図、図２は、同ＦＯＵＰオープナの概略図であって、（ａ）は縦断面図、（ｂ）は部分正面図、（ｃ）は平面図、図４は、本実施例１とその変形例におけるドック位置調整機構（ドック移動機構）の概略図、図６は、本実施例１において、ＦＯＵＰが作業位置まで前進して、ＦＯＵＰドアがポートドアの係合面に接触した状態を示す動作図、図７は、本実施例１において、ドックプレートとＦＯＵＰとの位置合わせする状態を示す動作図、図９は、本実施例１におけるＦＯＵＰオープナの概略制御構成図、図１１は、従来例において、ドックプレートと搬送装置との位置合わせを行なう場合の概略フローチャート図、図１２は、本実施例１において、ドックプレートと搬送装置との位置合わせを行なう場合の概略フローチャート図である。
図１及び図２において、ＦＯＵＰオープナ１は、ＦＯＵＰ１０内のウェハ１４の転送のために、外部汚染空間３００の雰囲気にウェハ１４を曝すことなくＦＯＵＰドア１３を開放して、ＦＯＵＰ内第１制御空間１００と第２制御空間２００とを連通させる役割を担う。そのため、ＦＯＵＰ１０は、ＦＯＵＰオープナ１の定められた位置に確実に載置される必要がある。そこで、本実施例１においては、このような課題がどのようにして解決されているかを、以下に説明する。
本実施例１におけるＦＯＵＰオープナ１の構成要素は、図２および図４（ａ）に図示されるように、少なくとも、半導体ウェハ１４を所定の間隔で、水平に、複数枚収納したＦＯＵＰ１０と、ＦＯＵＰ１０を載置して位置決めするドックプレート３１と、ドックプレート３１をＦＯＵＰ受渡位置とＦＯＵＰドア１３が着脱される作業位置との間で移動させるドック移動機構３０と、ＦＯＵＰドア１３を着脱する着脱機構とＦＯＵＰドア１３を保持する保持機構とを内蔵して有するポートドア２３と、ポートドア２３を水平に移動させるポートドア進退機構４０と、ＦＯＵＰドア１３を格納するために、ポートドア２３がＦＯＵＰドア１３を保持した状態で、ポートドア２３を垂直に移動させるポートドア昇降機構５０と、ポートドア２３により閉塞される開口部を有するポートプレート２１とからなっている。
ＦＯＵＰ１０は、ＦＯＵＰフレーム１１とＦＯＵＰドア１３とからなり、ＦＯＵＰドア１３は、ＦＯＵＰフレーム１１の前方開口１２を開閉する蓋体をなす。
ドック移動機構３０は、ＦＯＵＰ１０に形成されている位置決め溝１５と容易に一致するように位置決め溝１５より若干小さい位置決めピン３２が、位置決め溝１５と略同じ間隔で取り付け固定されるドックプレート３１と、ドックプレート３１の下方に配置されるベース３２１と、ベース３２１の上面に固定して取り付けられ、嵌合溝が形成されたレール３２２と、一定間隔を空けてレール３２２の嵌合溝に摺動可能に嵌合する二つの摺動部材３２３と、ドックプレート３１の下方に配置されるベース３１１と、ベース３１１上に配置されるドックプレート３１を移動させるための駆動源となるドック移動モータ３１２と、ドック移動モータ３１２の出力軸の回転とともに回転可能にベース３１１上に取り付けられて支持され、ネジ溝が形成されたボールネジ３１３と、ボールネジ３１３の回転時にボールネジ３１３のネジ溝に螺合して水平移動する伝達部材３１４と、ドックプレート３１の下面に設けられ、ドックプレート３１が移動するときドックプレート３１とともに移動して、ドックプレート３１上に載置されたＦＯＵＰ１０がドックプレート３１上から落下しないようにドックプレート３１上にＦＯＵＰ１０を一時的に固定するロック機能を備えたロック機構３３０とから構成される。
ロック機構３３０は、回転動力を出力するロックモータ３３２と、ロックモータ３３２の出力軸に接続されて回転出力を伝達することを可能とするドックプレート３１の下面に取り付け固定された伝達機構３３３と、ドックプレート３１の下面に取り付け固定されて軸受を備えた支持部材３３５と、支持部材３３５の軸受に回転可能に支持されて一方の端部を伝達機構３３３に接続した伝達部材３３４と、伝達部材３３４の一部に取り付け固定され、伝達部材３３４が動作するとともに動作するロックヘッド３３６とから構成されている。
さらに、ドック移動機構３０は、ドックプレート３１を検出する検出確認機構３４０をドックプレート３１の下方に備える。検出確認機構３４０は、検出センサ３４３ａ、３４３ｂを備え、これらの検出センサ３４３ａ、３４３ｂは、取付部材３４２ａ、３４２ｂへそれぞれ取り付け固定される。取付部材３４２ａ、３４２ｂは、ドックプレート３１の下方に配置されるベース３３１の上部に取り付け固定された固定部材３４１ａ、３４１ｂにそれぞれ取り付け固定される。
実施例１の変形例
次に、本実施例１の変形例について、図４（ａ）、（ｂ）を参照しつつ、詳細に説明する。
なお、図４（ａ）と図４（ｂ）との違いは、ドック移動機構部分の構造に関し、図４（ｂ）に図示されるドック移動機構３０は、Ｘ・Ｙ方向の２方向にドックプレート３１を移動する構成となっている点で異なる。その他の点については変わりがないので、これらについては、同じ名称と符号とを用いることとし、その詳細な説明を省略する。
図４（ａ）のドック移動機構３０では、摺動部材３２３の取付面にドックプレート３１が取り付けられているが、図４（ｂ）のドック移動機構３０では、摺動部材３２３の取付面に、ドックプレート３１の移動方向をＸ・Ｙ方向の２方向にするために、ドックプレート３１に代えて補助プレート３１ａが取り付けられている。補助プレート３１ａの上面には、ポートドア２３の面と略平行になるようにして、２本のレール３７２が一定間隔をおいて略平行に取り付け固定されている。そして、それぞれのレール３７２に沿って摺動可能に摺動部材３７３がそれぞれのレール３７２に２本ずつ取り付けられている。摺動部材３７３の上面には、ドックプレート３１が取り付け固定されている。
また、２本のレール３７２の間には、ドックプレート３１をＹ方向に移動するためのドックプレート移動機構３６０が備えられている。ドックプレート移動機構３６０は、駆動源としてドック移動モータ３６２と、ドック移動モータ３６２の出力軸から出力される回転力を伝達するボールネジ３６３と、ボールネジ３６３のネジ溝に螺合するとともに、ボールネジ３６３の回転に伴って水平摺動する伝達部材３６４とにより構成されている。そして、伝達部材３６４がドックプレート３１の下面の一部に取り付け固定されることにより、ドックプレート３１をＹ方向へ移動可能にしている。
また、ドックプレート３１のＹ方向への移動を検知して制限する検出センサ３８３ａ、３８３ｂが取付部材３８２ａ、３８２ｂへそれぞれ取り付けられている。取付部材３８２ａ、３８２ｂは、補助プレート３１ａの上面端部の一部に取り付けられた固定部材３８１ａ、３８１ｂへそれぞれ取り付けられ、Ｙ方向へ移動するドックプレート３１を検出センサ３８３ａ、３８３ｂが検出できるように、ドックプレート３１の２個所の移動端にそれぞれ対応させて取り付け固定されている。これらは、Ｙ方向へ移動するドックプレート３１を検出する検出確認機構をなしている。
実施例１のＦＯＵＰ受取動作
次に、本実施例１におけるＦＯＵＰ１０の受け取りからＦＯＵＰ１０の作業位置への移動までの動作について、図６（ａ）〜（ｄ）をもとに説明する。
ドックプレート３１は、ＦＯＵＰ１０がドックプレート３１上に載置されていない場合は、ＦＯＵＰ受渡位置（ポートプレート２１から離れた位置）に待機している。このときの検出センサ３４３ａ、３４３ｂは、ドックプレート３１の動作範囲限界を定めるとともに、その停止位置を確認するためのドックプレート３１の確認手段として使用されている（図６（ａ））。
次に、図示されない搬送装置によりＦＯＵＰ１０がＦＯＵＰオープナ１上に搬送され、搬送装置がドックプレート３１の略上方に停止する。停止後、搬送装置とＦＯＵＰオープナ１との間で信号通信による遣り取りが行なわれ、ＦＯＵＰ１０の位置決め溝１５とドックプレート３１上に設けられている位置決めピン３２とが合うように、ＦＯＵＰ１０がドックプレート３１上に移載される（図６（ｂ））。
ドックプレート３１上に載置されたＦＯＵＰ１０は、ロック機構３３０のロック動作により、ドックプレート３１上に一時的に受け取られ固定される（図６（ｃ））。
ＦＯＵＰ１０がドックプレート３１上にロックされると、ＦＯＵＰ１０は、ドック移動機構３０の作動により作業位置（ポートプレート２１に接近した位置）に移動させられる（図６（ｄ））。
作業位置に移動したＦＯＵＰ１０は、ポートドア２３に内蔵されたＦＯＵＰドア開閉機構によりＦＯＵＰドア１３のロックが解除され、ＦＯＵＰフレーム１１からＦＯＵＰドア１３が取り外される。その後、ＦＯＵＰドア１３は、ポートドア２３に保持され、ポートドア進退機構４０により所定の位置まで水平移動が行なわれ、ポートドア昇降機構５０により所定の位置まで下降する。
以上が、ＦＯＵＰ１０が図示されていない搬送装置により搬送され、ＦＯＵＰオープナ１で受け取られ、ＦＯＵＰドア１３が外されるまでの概略動作である。なお、ＦＯＵＰドア１３の取付けから搬送装置への移載までは、受け取り動作の逆の順序で行なわれる。
実施例１の位置合わせ動作
次に、本実施例１において、ＦＯＵＰ１０とドックプレート３１との間で、ＦＯＵＰ１０の位置決め溝１５とドックプレート３１の位置きめピン３２とを位置合わせする動作を図７、図９により説明する。
図示されない搬送装置によりＦＯＵＰ１０がＦＯＵＰオープナ１の上方に到達すると、搬送装置とＦＯＵＰオープナ１との間で信号の確認が行なわれる。
確認した信号に基づいて、記憶部６１に記憶されているドックプレート３１の受渡位置のデータ（後に説明されるＦＯＵＰオープナ１の設置時に記憶される搬送装置毎のドックプレート３１の受渡位置データ）を読み出す。
読み出したデータをもとに制御手段６０がドック移動機構３０のドック移動モータ３１２を回転制御して、ドックプレート３１を受渡位置に移動させる。
これらドック移動モータ３１２、ドック移動モータ３１２の回転によりボールネジ機構を介してドックプレート３１を受渡位置へ移動させる機構及び制御手段６０は、ドックプレート３１の停止位置可変手段をなしている。この停止位置可変手段は、ドックプレート３１の停止位置をＸ方向の所望の位置に変更可能である。
ドックプレート３１が受渡位置に移動を完了後、搬送装置がＦＯＵＰ１０を下降させて、ＦＯＵＰ１０をＦＯＵＰオープナ１へ渡す。
以上が本実施例１の搬送装置とドックプレート３１とのＦＯＵＰ１０の受渡動作である。
図１は、本実施例１の容器開閉装置に相当するＦＯＵＰオープナの概観図、図２は、同ＦＯＵＰオープナの概略図であって、（ａ）は縦断面図、（ｂ）は部分正面図、（ｃ）は平面図、図４は、本実施例１とその変形例におけるドック位置調整機構（ドック移動機構）の概略図、図６は、本実施例１において、ＦＯＵＰが作業位置まで前進して、ＦＯＵＰドアがポートドアの係合面に接触した状態を示す動作図、図７は、本実施例１において、ドックプレートとＦＯＵＰとの位置合わせする状態を示す動作図、図９は、本実施例１におけるＦＯＵＰオープナの概略制御構成図、図１１は、従来例において、ドックプレートと搬送装置との位置合わせを行なう場合の概略フローチャート図、図１２は、本実施例１において、ドックプレートと搬送装置との位置合わせを行なう場合の概略フローチャート図である。
図１及び図２において、ＦＯＵＰオープナ１は、ＦＯＵＰ１０内のウェハ１４の転送のために、外部汚染空間３００の雰囲気にウェハ１４を曝すことなくＦＯＵＰドア１３を開放して、ＦＯＵＰ内第１制御空間１００と第２制御空間２００とを連通させる役割を担う。そのため、ＦＯＵＰ１０は、ＦＯＵＰオープナ１の定められた位置に確実に載置される必要がある。そこで、本実施例１においては、このような課題がどのようにして解決されているかを、以下に説明する。
本実施例１におけるＦＯＵＰオープナ１の構成要素は、図２および図４（ａ）に図示されるように、少なくとも、半導体ウェハ１４を所定の間隔で、水平に、複数枚収納したＦＯＵＰ１０と、ＦＯＵＰ１０を載置して位置決めするドックプレート３１と、ドックプレート３１をＦＯＵＰ受渡位置とＦＯＵＰドア１３が着脱される作業位置との間で移動させるドック移動機構３０と、ＦＯＵＰドア１３を着脱する着脱機構とＦＯＵＰドア１３を保持する保持機構とを内蔵して有するポートドア２３と、ポートドア２３を水平に移動させるポートドア進退機構４０と、ＦＯＵＰドア１３を格納するために、ポートドア２３がＦＯＵＰドア１３を保持した状態で、ポートドア２３を垂直に移動させるポートドア昇降機構５０と、ポートドア２３により閉塞される開口部を有するポートプレート２１とからなっている。
ＦＯＵＰ１０は、ＦＯＵＰフレーム１１とＦＯＵＰドア１３とからなり、ＦＯＵＰドア１３は、ＦＯＵＰフレーム１１の前方開口１２を開閉する蓋体をなす。
ドック移動機構３０は、ＦＯＵＰ１０に形成されている位置決め溝１５と容易に一致するように位置決め溝１５より若干小さい位置決めピン３２が、位置決め溝１５と略同じ間隔で取り付け固定されるドックプレート３１と、ドックプレート３１の下方に配置されるベース３２１と、ベース３２１の上面に固定して取り付けられ、嵌合溝が形成されたレール３２２と、一定間隔を空けてレール３２２の嵌合溝に摺動可能に嵌合する二つの摺動部材３２３と、ドックプレート３１の下方に配置されるベース３１１と、ベース３１１上に配置されるドックプレート３１を移動させるための駆動源となるドック移動モータ３１２と、ドック移動モータ３１２の出力軸の回転とともに回転可能にベース３１１上に取り付けられて支持され、ネジ溝が形成されたボールネジ３１３と、ボールネジ３１３の回転時にボールネジ３１３のネジ溝に螺合して水平移動する伝達部材３１４と、ドックプレート３１の下面に設けられ、ドックプレート３１が移動するときドックプレート３１とともに移動して、ドックプレート３１上に載置されたＦＯＵＰ１０がドックプレート３１上から落下しないようにドックプレート３１上にＦＯＵＰ１０を一時的に固定するロック機能を備えたロック機構３３０とから構成される。
ロック機構３３０は、回転動力を出力するロックモータ３３２と、ロックモータ３３２の出力軸に接続されて回転出力を伝達することを可能とするドックプレート３１の下面に取り付け固定された伝達機構３３３と、ドックプレート３１の下面に取り付け固定されて軸受を備えた支持部材３３５と、支持部材３３５の軸受に回転可能に支持されて一方の端部を伝達機構３３３に接続した伝達部材３３４と、伝達部材３３４の一部に取り付け固定され、伝達部材３３４が動作するとともに動作するロックヘッド３３６とから構成されている。
さらに、ドック移動機構３０は、ドックプレート３１を検出する検出確認機構３４０をドックプレート３１の下方に備える。検出確認機構３４０は、検出センサ３４３ａ、３４３ｂを備え、これらの検出センサ３４３ａ、３４３ｂは、取付部材３４２ａ、３４２ｂへそれぞれ取り付け固定される。取付部材３４２ａ、３４２ｂは、ドックプレート３１の下方に配置されるベース３３１の上部に取り付け固定された固定部材３４１ａ、３４１ｂにそれぞれ取り付け固定される。
実施例１の変形例
次に、本実施例１の変形例について、図４（ａ）、（ｂ）を参照しつつ、詳細に説明する。
なお、図４（ａ）と図４（ｂ）との違いは、ドック移動機構部分の構造に関し、図４（ｂ）に図示されるドック移動機構３０は、Ｘ・Ｙ方向の２方向にドックプレート３１を移動する構成となっている点で異なる。その他の点については変わりがないので、これらについては、同じ名称と符号とを用いることとし、その詳細な説明を省略する。
図４（ａ）のドック移動機構３０では、摺動部材３２３の取付面にドックプレート３１が取り付けられているが、図４（ｂ）のドック移動機構３０では、摺動部材３２３の取付面に、ドックプレート３１の移動方向をＸ・Ｙ方向の２方向にするために、ドックプレート３１に代えて補助プレート３１ａが取り付けられている。補助プレート３１ａの上面には、ポートドア２３の面と略平行になるようにして、２本のレール３７２が一定間隔をおいて略平行に取り付け固定されている。そして、それぞれのレール３７２に沿って摺動可能に摺動部材３７３がそれぞれのレール３７２に２本ずつ取り付けられている。摺動部材３７３の上面には、ドックプレート３１が取り付け固定されている。
また、２本のレール３７２の間には、ドックプレート３１をＹ方向に移動するためのドックプレート移動機構３６０が備えられている。ドックプレート移動機構３６０は、駆動源としてドック移動モータ３６２と、ドック移動モータ３６２の出力軸から出力される回転力を伝達するボールネジ３６３と、ボールネジ３６３のネジ溝に螺合するとともに、ボールネジ３６３の回転に伴って水平摺動する伝達部材３６４とにより構成されている。そして、伝達部材３６４がドックプレート３１の下面の一部に取り付け固定されることにより、ドックプレート３１をＹ方向へ移動可能にしている。
また、ドックプレート３１のＹ方向への移動を検知して制限する検出センサ３８３ａ、３８３ｂが取付部材３８２ａ、３８２ｂへそれぞれ取り付けられている。取付部材３８２ａ、３８２ｂは、補助プレート３１ａの上面端部の一部に取り付けられた固定部材３８１ａ、３８１ｂへそれぞれ取り付けられ、Ｙ方向へ移動するドックプレート３１を検出センサ３８３ａ、３８３ｂが検出できるように、ドックプレート３１の２個所の移動端にそれぞれ対応させて取り付け固定されている。これらは、Ｙ方向へ移動するドックプレート３１を検出する検出確認機構をなしている。
実施例１のＦＯＵＰ受取動作
次に、本実施例１におけるＦＯＵＰ１０の受け取りからＦＯＵＰ１０の作業位置への移動までの動作について、図６（ａ）〜（ｄ）をもとに説明する。
ドックプレート３１は、ＦＯＵＰ１０がドックプレート３１上に載置されていない場合は、ＦＯＵＰ受渡位置（ポートプレート２１から離れた位置）に待機している。このときの検出センサ３４３ａ、３４３ｂは、ドックプレート３１の動作範囲限界を定めるとともに、その停止位置を確認するためのドックプレート３１の確認手段として使用されている（図６（ａ））。
次に、図示されない搬送装置によりＦＯＵＰ１０がＦＯＵＰオープナ１上に搬送され、搬送装置がドックプレート３１の略上方に停止する。停止後、搬送装置とＦＯＵＰオープナ１との間で信号通信による遣り取りが行なわれ、ＦＯＵＰ１０の位置決め溝１５とドックプレート３１上に設けられている位置決めピン３２とが合うように、ＦＯＵＰ１０がドックプレート３１上に移載される（図６（ｂ））。
ドックプレート３１上に載置されたＦＯＵＰ１０は、ロック機構３３０のロック動作により、ドックプレート３１上に一時的に受け取られ固定される（図６（ｃ））。
ＦＯＵＰ１０がドックプレート３１上にロックされると、ＦＯＵＰ１０は、ドック移動機構３０の作動により作業位置（ポートプレート２１に接近した位置）に移動させられる（図６（ｄ））。
作業位置に移動したＦＯＵＰ１０は、ポートドア２３に内蔵されたＦＯＵＰドア開閉機構によりＦＯＵＰドア１３のロックが解除され、ＦＯＵＰフレーム１１からＦＯＵＰドア１３が取り外される。その後、ＦＯＵＰドア１３は、ポートドア２３に保持され、ポートドア進退機構４０により所定の位置まで水平移動が行なわれ、ポートドア昇降機構５０により所定の位置まで下降する。
以上が、ＦＯＵＰ１０が図示されていない搬送装置により搬送され、ＦＯＵＰオープナ１で受け取られ、ＦＯＵＰドア１３が外されるまでの概略動作である。なお、ＦＯＵＰドア１３の取付けから搬送装置への移載までは、受け取り動作の逆の順序で行なわれる。
実施例１の位置合わせ動作
次に、本実施例１において、ＦＯＵＰ１０とドックプレート３１との間で、ＦＯＵＰ１０の位置決め溝１５とドックプレート３１の位置きめピン３２とを位置合わせする動作を図７、図９により説明する。
図示されない搬送装置によりＦＯＵＰ１０がＦＯＵＰオープナ１の上方に到達すると、搬送装置とＦＯＵＰオープナ１との間で信号の確認が行なわれる。
確認した信号に基づいて、記憶部６１に記憶されているドックプレート３１の受渡位置のデータ（後に説明されるＦＯＵＰオープナ１の設置時に記憶される搬送装置毎のドックプレート３１の受渡位置データ）を読み出す。
読み出したデータをもとに制御手段６０がドック移動機構３０のドック移動モータ３１２を回転制御して、ドックプレート３１を受渡位置に移動させる。
これらドック移動モータ３１２、ドック移動モータ３１２の回転によりボールネジ機構を介してドックプレート３１を受渡位置へ移動させる機構及び制御手段６０は、ドックプレート３１の停止位置可変手段をなしている。この停止位置可変手段は、ドックプレート３１の停止位置をＸ方向の所望の位置に変更可能である。
ドックプレート３１が受渡位置に移動を完了後、搬送装置がＦＯＵＰ１０を下降させて、ＦＯＵＰ１０をＦＯＵＰオープナ１へ渡す。
以上が本実施例１の搬送装置とドックプレート３１とのＦＯＵＰ１０の受渡動作である。
次に、本願の発明の第２の実施例（実施例２）を図３、図５（ａ）を参照しつつ説明する。なお、ここでは、検出センサ移動機構３５０の構成のみ説明する。その他の構成、すなわち、ＦＯＵＰオープナ１の基本構成、ＦＯＵＰ１０の構成、ロック機構３３０の構成、ドック移動機構３０の構成等については、実施例１と同様であるので、説明を省略する。
本実施例２において、ドックプレート３１の位置を検出する検出センサ３４３ａを所望の位置に移動させるための検出センサ移動機構３５０は、次のようにして構成されている。
図３及び図５（ａ）に図示されるように、ベース３３１の上面端部付近に検出センサ移動機構３５０のベース３５１を取り付け固定し、ベース３５１の上面にレール３５６を取り付け固定する。そして、レール３５６に嵌合し、これに沿って摺動可能な摺動部材３５５を設ける。摺動部材３５５には、固定部材３４１ａが取り付け固定され、この固定部材３４１ａの一部に伝達部材３５４が連結されている。
また、固定部材３４１ａの上面には、検出センサ３４３ａの取付部材３４２ａが取り付け固定されており、この取付部材３４２ａに検出センサ３４３ａが、摺動部材３５５がレール３５６上を摺動することにより、わずかに位置調整可能に取り付けられている。
伝達部材３５４は、検出センサ駆動モータ３５２の作動により検出センサ駆動モータ３５２の出力軸が回転するに伴ってポールネジ３５３が回転動作すると、ポールネジ３５３に螺合してネジ方向に水平移動することが可能に、固定部材３４１ａに取り付けられている。
他方、ＦＯＵＰドア外し位置（作業位置）側には、ドックプレート３１が作業位置に到達したことを確認する検出センサ３４３ｂが取付部材３４２ｂへ取り付け固定され、この取付部材３４２ｂは、ベース３３１の端部の上部に取り付け固定された固定部材３４１ｂへ取り付け固定されている。検出センター３４３ｂは、Ｘ方向におけるドックプレート３１の基準位置として使用されている。
実施例２の変形例
次に、本実施例２の変形例について、図５（ａ）、（ｂ）をもとに説明する。なお、図５（ａ）と図５（ｂ）との違いは、ドック移動機構部分の構造に関し、図５（ｂ）のドック移動機構３０は、Ｘ・Ｙ方向の２方向にドックプレート３１を移動する構成を備えている点で異なる。その他の点については変わりがないので、これらについては、同じ名称と符号とを用いることとし、その詳細な説明を省略する。
図５（ａ）のドック移動機構３０では、摺動部材３２３の取付面にドックプレート３１が取り付けられているが、図５（ｂ）のドック移動機構３０では、摺動部材３２３の取付面に、ドックプレート３１の移動方向をＸ・Ｙ方向の２方向にするために、ドックプレート３１に代えて補助プレート３１ａが取り付けられている。補助プレート３１ａの上面には、ポートドア２３の面と略平行になるようにして、２本のレール３７２が一定間隔をおいて略平行に取り付け固定されている。そして、それぞれのレール３７２に沿って摺動可能に摺動部材３７３がそれぞれのレール３７２に２本ずつ取り付けられている。摺動部材３７３の上面には、ドックプレート３１が取り付け固定されている。
また、２本のレール３７２の間には、ドックプレート３１をＹ方向に移動するためのドックプレート移動機構３６０が備えられている。ドックプレート移動機構３６０は、駆動源としてドック移動モータ３６２と、ドック移動モータ３６２の出力軸から出力される回転力を伝達するボールネジ３６３と、ボールネジ３６３のネジ溝に螺合するとともに、ボールネジ３６３の回転に伴って水平摺動する伝達部材３６４とにより構成されている。そして、伝達部材３６４がドックプレート３１の下面の一部に取り付け固定されることにより、ドックプレート３１をＹ方向へ移動可能にしている。
また、ドックプレート３１のＹ方向への移動を制限し、Ｙ方向への位置決め位置を検知する検出センサ３９３ａを所望の位置に移動させるための検出センサ移動機構４００が備えられている。この検出センサ移動機構４００は、次のようにして構成されている。
図５（ｂ）に図示されるように、補助プレート３１ａの上面端部の一部に検出センサ移動機構４００のベース４０１を取り付け固定し、ベース４０１の上面にレール４０６を取り付け固定する。そして、レール４０６に嵌合し、これに沿って摺動可能な摺動部材４０５を設ける。摺動部材４０５には、固定部材３９１ａが取り付け固定され、この固定部材３９１ａの一部に伝達部材４０４が連結されている。
また、固定部材３９１ａの上面には、検出センサ３９３ａの取付部材３９２ａが取り付け固定されており、この取付部材３９２ａに検出センサ３９３ａが、摺動部材４０５がレール４０６上を摺動することにより、わずかに位置調整可能に取り付けられている。この検出センサ３９３ａは、ドックプレート３１のＹ方向移動時のＦＯＵＰ受取位置を検出する。
伝達部材４０４は、検出センサ駆動モータ４０２の作動により検出センサ駆動モータ４０２の出力軸が回転するに伴ってボールネジ４０３が回転動作すると、ボールネジ４０３に螺合してネジ方向に水平移動することが可能に、固定部材３９１ａに取り付けられている。
他方、ドックプレート３１のＹ方向への基準位置を検知する検出センサ３９３ｂが取付部材３９２ｂへ取り付けられている。この取付部材３９２ｂは、補助プレート３１ａの上面端部の一部に取り付けられた固定部材３９１ｂへ取り付けられ、Ｙ軸方向移動時のドックプレート３１の基準位置を検出できるように、補助プレート３１ａの端部に取り付け固定されている。
実施例２のＦＯＵＰ受取動作
次に、本実施例２におけるＦＯＵＰ１０の受け取りからＦＯＵＰ１０の作業位置への移動までの動作について、実施例１で説明した図６（ａ）〜（ｄ）をもとに説明する。
ドックプレート３１は、ＦＯＵＰ１０がドックプレート３１上に載置されていない場合には、ＦＯＵＰ受渡位置（ポートプレート２１から離れた位置）に待機している。このときの検出センサ３４３ａ、３４３ｂは、ドックプレート３１のＦＯＵＰ受渡位置を定めるためのドックプレート３１の停止位置確認手段として使用されている（図６（ａ））。
次に、図示されない搬送装置によりＦＯＵＰ１０がＦＯＵＰオープナ１上に搬送され、搬送装置がドックプレート３１の略上方に停止する。停止後、搬送装置とＦＯＵＰオープナ１との間で信号通信による遣り取りが行なわれ、ＦＯＵＰ１０の位置決め溝１５とドックプレート３１上に設けられている位置ぎめピン３２とが合うように、ＦＯＵＰ１０がドックプレート３１上に移載される（図６（ｂ））。ここで、実施例１では、ドックプレート３１が記憶部６１（図９参照）に記憶されているデータをもとに受取位置へ移動したが、本実施例２では、記憶部６１（図１０参照）に記憶されているデータをもとに検出センサ移動機構３５０が検出確認機構３４０を受渡位置に移動させてから、ドックプレート３１が受渡位置に移動する。
ドックプレート３１上に載置されたＦＯＵＰ１０は、ロック機構３３０のロック動作により、ドックプレート３１上に一時的に受け取られ固定される（図６（ｃ））。
ＦＯＵＰ１０がドックプレート３１上にロックされると、ＦＯＵＰ１０は、ドック移動機構３０の作動により作業位置（ポートプレート２１に接近した位置）に移動させられる（図６（ｄ））。
作業位置に移動したＦＯＵＰ１０は、ポートドア２３に構成されたＦＯＵＰドア開閉機構によりＦＯＵＰドア１３のロックが解除され、ＦＯＵＰフレーム１１からＦＯＵＰドア１３が取り外される。その後、ＦＯＵＰドア１３は、ポートドア２３に保持され、ポートドア進退機構４０により所定の位置まで水平移動が行なわれ、ポートドア昇降機構５０により所定の位置まで下降する。
以上が、ＦＯＵＰ１０が図示されていない搬送装置により搬送され、ＦＯＵＰオープナ１で受け取られ、ＦＯＵＰドア１３が外されるまでの概略動作である。なお、ＦＯＵＰドア１３の取付けから搬送装置への移載までは、受け取り動作の逆の順序で行なわれる。
実施例２の位置合わせ動作
次に、本実施例２において、ＦＯＵＰ１０とドックプレート３１との間で、ＦＯＵＰ１０の位置ぎめ溝１５とドックプレート３１の位置ぎめピン３２とを位置合わせする動作を図８（ａ）〜（ｃ）、図１０により説明する。
ドックプレート３１は、ＦＯＵＰ１０がドックプレート３１上に載置されていない場合には、ＦＯＵＰ受渡位置（ポートプレート２１から離れた位置）に待機している。このときの検出センサ３４３ａ、３４３ｂは、ドックプレート３１のＦＯＵＰ受渡位置と作業位置との位置確認を行なう検出センサとして使用されている。
次に、図示されない搬送装置によりＦＯＵＰ１０がＦＯＵＰオープナ１に搬送され、搬送装置がドックプレート３１の略上方に停止する。停止後、搬送装置とＦＯＵＰオープナ１との間で信号通信による遣り取りが行なわれ、受渡しを行なう搬送装置に一致したドックプレート３１の位置データ（後に説明するＦＯＵＰオープナ１設置時に記憶される搬送装置毎のドックプレート３１の受渡位置データ）を記憶部６１から読み出す（図８（ａ））。
次に、読み出したデータをもとに制御手段６０が検出センサ移動機構３５０の検出センサ駆動モータ３５２を回転制御して、検出センサ３４３ａをドックプレート３１の受渡位置に対応する所定の位置に移動させる（図８（ｂ））。
これら検出センサ駆動モータ３５２、検出センサ駆動モータ３５２の回転によりボールネジ機構を介して検出センサ３４３ａを所定の位置に移動させる機構及び制御手段６０は、検出センサ３４３ａの設置位置可変手段をなしている。この設置位置可変手段は、検出センサ３４３ａの設置位置をＸ方向の所望の位置に変更可能である。
検出センサ３４３ａが所定の位置に移動を完了後、ドックプレート３１が、ドックプレート移動機構３０によりＦＯＵＰ１０の受渡位置へ移動し、検出センサ３４３ａにより検出されて、停止する。その後、ＦＯＵＰ１０がドックプレート３１上に載置される。
以上が、ＦＯＵＰ１０が図示されていない搬送装置によりＦＯＵＰオープナ１上方に搬送され、検出センサ移動機構３５０の作動により、ドックプレート３１がＦＯＵＰ１０の受渡位置へ移動するまでの概略動作である。
ＦＯＵＰオープナの設置
次に、ＦＯＵＰオープナ１の設置に関して、従来の設置方法と本願の発明の設置方法とを図１１、図１２により説明する。
従来の設置方法（図１１）
図示されないプロセス装置のインターフェース部に従来のＦＯＵＰオープナ（ドックプレートの停止位置が固定されているもの）を設置するとき、規格で決められた位置にＦＯＵＰオープナを仮に取り付け、次に、ＦＯＵＰを搬送する搬送装置をＦＯＵＰオープナの上方に仮に待機させる（ステップ５００）。
次に、ステップ５００で設置したＦＯＵＰオープナ又は搬送装置の位置調整を行なう（ステップ５０１）。
次に、手動によりＦＯＵＰを保持した搬送装置の保持部を、ＦＯＵＰの位置決め溝とドックプレートの位置決めピンとの位置が確認できる位置まで徐々に近づける。また、搬送装置の保持部で保持しているＦＯＵＰの位置決め溝とドックプレートの位置決めピンとの位置が確認できる位置まで、ドックプレートを移動する（ステップ５０２）。
次に、移動したＦＯＵＰの位置決め溝とドックプレートの位置決めピンとが略一致する範囲内である（ＦＯＵＰ受渡位置が所定の範囲内にある）か確認を行なう（ステップ５０３）。
ステップ５０３でＦＯＵＰ受渡位置が所定の範囲外のときは、ＦＯＵＰオープナの設置位置の再設置又は、搬送装置の停止位置の再設定を行なう（ステップ５０６）。
その後、再びＦＯＵＰオープナと搬送装置とを手動で動作させ、ＦＯＵＰの位置決め溝とドックプレートの位置決めピンとの位置確認を手動により行なう（ステップ５０７）。以後、これらの両位置のずれが所定の範囲内になるまで、すなわち、ＦＯＵＰ受渡位置が所定の範囲内にあるようになるまで、ステップ５０３、ステップ５０６、ステップ５０７を繰り返し行なう。
次に、ＦＯＵＰ受渡位置が所定の範囲内にあるようになったら、その他の搬送装置とＦＯＵＰオープナとの間でのＦＯＵＰ受渡位置の確認を行なう（ステップ５０４）。そして、ステップ５０１、５０２、５０３、５０４、５０６、５０７の作業を繰り返す。このようにして、複数の搬送装置とＦＯＵＰオープナとの間でのＦＯＵＰ受渡位置の確認ができたら、ＦＯＵＰオープナの設置が完了となる（５０５）。
本願の発明の設置方法（図１２）
次に、本願の発明のＦＯＵＰオープナ１の設置方法を図１２により説明する。
図示されないプロセス装置のインターフェース部に本願の発明のＦＯＵＰオープナ１（ドックプレート３１の停止位置が可変にされているもの）を設置するとき、規格で決められた位置にＦＯＵＰオープナ１を仮に取り付け、次に、ＦＯＵＰ１０を搬送する搬送装置をＦＯＵＰオープナ１の上方に仮に待機させる（ステップ６００）。
次に、ステップ６００で設置したＦＯＵＰオープナ１又は搬送装置の位置調整を行なう（ステップ６０１）。
次に、手動によりＦＯＵＰ１０を保持した搬送装置の保持部を、ＦＯＵＰ１０の位置決め溝１５とドックプレート３１の位置決めピン３２との位置が確認できる位置まで徐々に近づける。また、位置決め溝１５と位置決めピン３２との位置が確認できる位置まで、ドックプレート３１を移動する（ステップ６０２）。
次に、移動したＦＯＵＰ１０の位置決め溝１５とドックプレート３１の位置決めピン３２とが略一致する範囲内にある（ＦＯＵＰ受渡位置が所定の範囲内にある）か確認を行なう（６０３）。
ステップ６０３でＦＯＵＰ受渡位置が所定の範囲外の（位置決め溝１５と位置決めピン３２とが略一致しない）ときは、手動によりドックプレート３１を再度動作させ、ＦＯＵＰ１０の位置決め溝１５とのドックプレート３１の位置決めピン３２とが略一致するように調整を行なう（ステップ６０６）。
次に、ＦＯＵＰ受渡位置が所定の範囲内にあるようになったら（位置決め溝１５と位置決めピン３２とが略一致したら）、図１０に図示されるように、入力手段７０によりドックプレート３１の位置データを制御手段６０に入力し、その後、位置データを記憶部６１に記憶する（ステップ６１０、６１１）。このとき、搬送装置を識別可能な識別番号などで管理できるように行なうことにより、搬送装置毎に対応したドックプレート３１の位置データを記憶することができる。
次に、その他の搬送装置とＦＯＵＰオープナとの間でのＦＯＵＰ受渡位置の確認を行なう（ステップ６０４）。そして、ステップ６０２、６０３、６０６、６１０、６１１の作業を繰り返す。このようにして、複数の搬送装置とＦＯＵＰオープナ１との間でのＦＯＵＰ受渡位置の確認ができたら、ＦＯＵＰオープナ１の設置が完了となる（６０５）。
実施例２の検出センサ移動機構の変形例
次に、実施例２の検出センサ移動機構３５０、４００の変形例について説明する。実施例２の検出センサ移動機構３５０、４００においては、いずれも検出センサ３４３ａ、３９３ａを移動させるためにボールネジ３５３、４０３が使用されたが、これらのボールネジに代えて、カム機構が使用されてもよい。図１３には、図５（ｂ）に図示される検出センサ移動機構４００が、そこで使用されていたボールネジ４０３がカム機構によって置換されることによって変形された検出センサ移動機構の例（検出センサ移動機構４２０）が図示されている。
図１３に図示される検出センサ移動機構４２０は、次のようにして構成されている。
図１３（ａ）において、検出センサ駆動モータ４０２の出力軸には、アーム状の伝達部材４２３の一端部が固着されており、この伝達部材４２３の他端部には、カムフォロア４２４が転動自在に取り付けられている。このカムフォロア４２４は、伝達部材４２３が検出センサ駆動モータ４０２の出力軸の回転により回動されるとき、固定部材３９１ａの一半側に形成されたカム溝４２７内を転動しながら摺動する。それと同時に、固定部材３９１ａは、カムフォロア４２４によりレール４０６に沿った方向の押圧作用を受けて、摺動部材４０５とともにレール４０６に沿って移動する。これにより、検出センサ３９３ａのレール４０６に沿った方向（Ｙ方向）における位置調整が可能になる。図１３（ｂ）は、伝達部材４２３の長手方向がレール４０６に直交する位置にまで伝達部材４２３が回動された時点において、検出センサ３９３ａが占める調整位置を示している。
固定部材３９１ａは、図５（ｂ）に図示される検出センサ移動機構４００における固定部材３９１ａと伝達部材４０４とが一体化されたものに相当している。カムフォロア４２４の伝達部材４２３に対する取付位置は、伝達部材４２３に形成された調整溝４２８内でカムフォロア４２４を適切に動かして固定することにより、種々に調整が可能であり、これにより、検出センサ３９３ａの最大位置調整量を可変にすることができる。
その他の点は、図５（ｂ）に図示される検出センサ移動機構４００と同様であるので、同じ名称と符号とを用いることとして、その詳細な説明を省略する。
本実施例２において、ドックプレート３１の位置を検出する検出センサ３４３ａを所望の位置に移動させるための検出センサ移動機構３５０は、次のようにして構成されている。
図３及び図５（ａ）に図示されるように、ベース３３１の上面端部付近に検出センサ移動機構３５０のベース３５１を取り付け固定し、ベース３５１の上面にレール３５６を取り付け固定する。そして、レール３５６に嵌合し、これに沿って摺動可能な摺動部材３５５を設ける。摺動部材３５５には、固定部材３４１ａが取り付け固定され、この固定部材３４１ａの一部に伝達部材３５４が連結されている。
また、固定部材３４１ａの上面には、検出センサ３４３ａの取付部材３４２ａが取り付け固定されており、この取付部材３４２ａに検出センサ３４３ａが、摺動部材３５５がレール３５６上を摺動することにより、わずかに位置調整可能に取り付けられている。
伝達部材３５４は、検出センサ駆動モータ３５２の作動により検出センサ駆動モータ３５２の出力軸が回転するに伴ってポールネジ３５３が回転動作すると、ポールネジ３５３に螺合してネジ方向に水平移動することが可能に、固定部材３４１ａに取り付けられている。
他方、ＦＯＵＰドア外し位置（作業位置）側には、ドックプレート３１が作業位置に到達したことを確認する検出センサ３４３ｂが取付部材３４２ｂへ取り付け固定され、この取付部材３４２ｂは、ベース３３１の端部の上部に取り付け固定された固定部材３４１ｂへ取り付け固定されている。検出センター３４３ｂは、Ｘ方向におけるドックプレート３１の基準位置として使用されている。
実施例２の変形例
次に、本実施例２の変形例について、図５（ａ）、（ｂ）をもとに説明する。なお、図５（ａ）と図５（ｂ）との違いは、ドック移動機構部分の構造に関し、図５（ｂ）のドック移動機構３０は、Ｘ・Ｙ方向の２方向にドックプレート３１を移動する構成を備えている点で異なる。その他の点については変わりがないので、これらについては、同じ名称と符号とを用いることとし、その詳細な説明を省略する。
図５（ａ）のドック移動機構３０では、摺動部材３２３の取付面にドックプレート３１が取り付けられているが、図５（ｂ）のドック移動機構３０では、摺動部材３２３の取付面に、ドックプレート３１の移動方向をＸ・Ｙ方向の２方向にするために、ドックプレート３１に代えて補助プレート３１ａが取り付けられている。補助プレート３１ａの上面には、ポートドア２３の面と略平行になるようにして、２本のレール３７２が一定間隔をおいて略平行に取り付け固定されている。そして、それぞれのレール３７２に沿って摺動可能に摺動部材３７３がそれぞれのレール３７２に２本ずつ取り付けられている。摺動部材３７３の上面には、ドックプレート３１が取り付け固定されている。
また、２本のレール３７２の間には、ドックプレート３１をＹ方向に移動するためのドックプレート移動機構３６０が備えられている。ドックプレート移動機構３６０は、駆動源としてドック移動モータ３６２と、ドック移動モータ３６２の出力軸から出力される回転力を伝達するボールネジ３６３と、ボールネジ３６３のネジ溝に螺合するとともに、ボールネジ３６３の回転に伴って水平摺動する伝達部材３６４とにより構成されている。そして、伝達部材３６４がドックプレート３１の下面の一部に取り付け固定されることにより、ドックプレート３１をＹ方向へ移動可能にしている。
また、ドックプレート３１のＹ方向への移動を制限し、Ｙ方向への位置決め位置を検知する検出センサ３９３ａを所望の位置に移動させるための検出センサ移動機構４００が備えられている。この検出センサ移動機構４００は、次のようにして構成されている。
図５（ｂ）に図示されるように、補助プレート３１ａの上面端部の一部に検出センサ移動機構４００のベース４０１を取り付け固定し、ベース４０１の上面にレール４０６を取り付け固定する。そして、レール４０６に嵌合し、これに沿って摺動可能な摺動部材４０５を設ける。摺動部材４０５には、固定部材３９１ａが取り付け固定され、この固定部材３９１ａの一部に伝達部材４０４が連結されている。
また、固定部材３９１ａの上面には、検出センサ３９３ａの取付部材３９２ａが取り付け固定されており、この取付部材３９２ａに検出センサ３９３ａが、摺動部材４０５がレール４０６上を摺動することにより、わずかに位置調整可能に取り付けられている。この検出センサ３９３ａは、ドックプレート３１のＹ方向移動時のＦＯＵＰ受取位置を検出する。
伝達部材４０４は、検出センサ駆動モータ４０２の作動により検出センサ駆動モータ４０２の出力軸が回転するに伴ってボールネジ４０３が回転動作すると、ボールネジ４０３に螺合してネジ方向に水平移動することが可能に、固定部材３９１ａに取り付けられている。
他方、ドックプレート３１のＹ方向への基準位置を検知する検出センサ３９３ｂが取付部材３９２ｂへ取り付けられている。この取付部材３９２ｂは、補助プレート３１ａの上面端部の一部に取り付けられた固定部材３９１ｂへ取り付けられ、Ｙ軸方向移動時のドックプレート３１の基準位置を検出できるように、補助プレート３１ａの端部に取り付け固定されている。
実施例２のＦＯＵＰ受取動作
次に、本実施例２におけるＦＯＵＰ１０の受け取りからＦＯＵＰ１０の作業位置への移動までの動作について、実施例１で説明した図６（ａ）〜（ｄ）をもとに説明する。
ドックプレート３１は、ＦＯＵＰ１０がドックプレート３１上に載置されていない場合には、ＦＯＵＰ受渡位置（ポートプレート２１から離れた位置）に待機している。このときの検出センサ３４３ａ、３４３ｂは、ドックプレート３１のＦＯＵＰ受渡位置を定めるためのドックプレート３１の停止位置確認手段として使用されている（図６（ａ））。
次に、図示されない搬送装置によりＦＯＵＰ１０がＦＯＵＰオープナ１上に搬送され、搬送装置がドックプレート３１の略上方に停止する。停止後、搬送装置とＦＯＵＰオープナ１との間で信号通信による遣り取りが行なわれ、ＦＯＵＰ１０の位置決め溝１５とドックプレート３１上に設けられている位置ぎめピン３２とが合うように、ＦＯＵＰ１０がドックプレート３１上に移載される（図６（ｂ））。ここで、実施例１では、ドックプレート３１が記憶部６１（図９参照）に記憶されているデータをもとに受取位置へ移動したが、本実施例２では、記憶部６１（図１０参照）に記憶されているデータをもとに検出センサ移動機構３５０が検出確認機構３４０を受渡位置に移動させてから、ドックプレート３１が受渡位置に移動する。
ドックプレート３１上に載置されたＦＯＵＰ１０は、ロック機構３３０のロック動作により、ドックプレート３１上に一時的に受け取られ固定される（図６（ｃ））。
ＦＯＵＰ１０がドックプレート３１上にロックされると、ＦＯＵＰ１０は、ドック移動機構３０の作動により作業位置（ポートプレート２１に接近した位置）に移動させられる（図６（ｄ））。
作業位置に移動したＦＯＵＰ１０は、ポートドア２３に構成されたＦＯＵＰドア開閉機構によりＦＯＵＰドア１３のロックが解除され、ＦＯＵＰフレーム１１からＦＯＵＰドア１３が取り外される。その後、ＦＯＵＰドア１３は、ポートドア２３に保持され、ポートドア進退機構４０により所定の位置まで水平移動が行なわれ、ポートドア昇降機構５０により所定の位置まで下降する。
以上が、ＦＯＵＰ１０が図示されていない搬送装置により搬送され、ＦＯＵＰオープナ１で受け取られ、ＦＯＵＰドア１３が外されるまでの概略動作である。なお、ＦＯＵＰドア１３の取付けから搬送装置への移載までは、受け取り動作の逆の順序で行なわれる。
実施例２の位置合わせ動作
次に、本実施例２において、ＦＯＵＰ１０とドックプレート３１との間で、ＦＯＵＰ１０の位置ぎめ溝１５とドックプレート３１の位置ぎめピン３２とを位置合わせする動作を図８（ａ）〜（ｃ）、図１０により説明する。
ドックプレート３１は、ＦＯＵＰ１０がドックプレート３１上に載置されていない場合には、ＦＯＵＰ受渡位置（ポートプレート２１から離れた位置）に待機している。このときの検出センサ３４３ａ、３４３ｂは、ドックプレート３１のＦＯＵＰ受渡位置と作業位置との位置確認を行なう検出センサとして使用されている。
次に、図示されない搬送装置によりＦＯＵＰ１０がＦＯＵＰオープナ１に搬送され、搬送装置がドックプレート３１の略上方に停止する。停止後、搬送装置とＦＯＵＰオープナ１との間で信号通信による遣り取りが行なわれ、受渡しを行なう搬送装置に一致したドックプレート３１の位置データ（後に説明するＦＯＵＰオープナ１設置時に記憶される搬送装置毎のドックプレート３１の受渡位置データ）を記憶部６１から読み出す（図８（ａ））。
次に、読み出したデータをもとに制御手段６０が検出センサ移動機構３５０の検出センサ駆動モータ３５２を回転制御して、検出センサ３４３ａをドックプレート３１の受渡位置に対応する所定の位置に移動させる（図８（ｂ））。
これら検出センサ駆動モータ３５２、検出センサ駆動モータ３５２の回転によりボールネジ機構を介して検出センサ３４３ａを所定の位置に移動させる機構及び制御手段６０は、検出センサ３４３ａの設置位置可変手段をなしている。この設置位置可変手段は、検出センサ３４３ａの設置位置をＸ方向の所望の位置に変更可能である。
検出センサ３４３ａが所定の位置に移動を完了後、ドックプレート３１が、ドックプレート移動機構３０によりＦＯＵＰ１０の受渡位置へ移動し、検出センサ３４３ａにより検出されて、停止する。その後、ＦＯＵＰ１０がドックプレート３１上に載置される。
以上が、ＦＯＵＰ１０が図示されていない搬送装置によりＦＯＵＰオープナ１上方に搬送され、検出センサ移動機構３５０の作動により、ドックプレート３１がＦＯＵＰ１０の受渡位置へ移動するまでの概略動作である。
ＦＯＵＰオープナの設置
次に、ＦＯＵＰオープナ１の設置に関して、従来の設置方法と本願の発明の設置方法とを図１１、図１２により説明する。
従来の設置方法（図１１）
図示されないプロセス装置のインターフェース部に従来のＦＯＵＰオープナ（ドックプレートの停止位置が固定されているもの）を設置するとき、規格で決められた位置にＦＯＵＰオープナを仮に取り付け、次に、ＦＯＵＰを搬送する搬送装置をＦＯＵＰオープナの上方に仮に待機させる（ステップ５００）。
次に、ステップ５００で設置したＦＯＵＰオープナ又は搬送装置の位置調整を行なう（ステップ５０１）。
次に、手動によりＦＯＵＰを保持した搬送装置の保持部を、ＦＯＵＰの位置決め溝とドックプレートの位置決めピンとの位置が確認できる位置まで徐々に近づける。また、搬送装置の保持部で保持しているＦＯＵＰの位置決め溝とドックプレートの位置決めピンとの位置が確認できる位置まで、ドックプレートを移動する（ステップ５０２）。
次に、移動したＦＯＵＰの位置決め溝とドックプレートの位置決めピンとが略一致する範囲内である（ＦＯＵＰ受渡位置が所定の範囲内にある）か確認を行なう（ステップ５０３）。
ステップ５０３でＦＯＵＰ受渡位置が所定の範囲外のときは、ＦＯＵＰオープナの設置位置の再設置又は、搬送装置の停止位置の再設定を行なう（ステップ５０６）。
その後、再びＦＯＵＰオープナと搬送装置とを手動で動作させ、ＦＯＵＰの位置決め溝とドックプレートの位置決めピンとの位置確認を手動により行なう（ステップ５０７）。以後、これらの両位置のずれが所定の範囲内になるまで、すなわち、ＦＯＵＰ受渡位置が所定の範囲内にあるようになるまで、ステップ５０３、ステップ５０６、ステップ５０７を繰り返し行なう。
次に、ＦＯＵＰ受渡位置が所定の範囲内にあるようになったら、その他の搬送装置とＦＯＵＰオープナとの間でのＦＯＵＰ受渡位置の確認を行なう（ステップ５０４）。そして、ステップ５０１、５０２、５０３、５０４、５０６、５０７の作業を繰り返す。このようにして、複数の搬送装置とＦＯＵＰオープナとの間でのＦＯＵＰ受渡位置の確認ができたら、ＦＯＵＰオープナの設置が完了となる（５０５）。
本願の発明の設置方法（図１２）
次に、本願の発明のＦＯＵＰオープナ１の設置方法を図１２により説明する。
図示されないプロセス装置のインターフェース部に本願の発明のＦＯＵＰオープナ１（ドックプレート３１の停止位置が可変にされているもの）を設置するとき、規格で決められた位置にＦＯＵＰオープナ１を仮に取り付け、次に、ＦＯＵＰ１０を搬送する搬送装置をＦＯＵＰオープナ１の上方に仮に待機させる（ステップ６００）。
次に、ステップ６００で設置したＦＯＵＰオープナ１又は搬送装置の位置調整を行なう（ステップ６０１）。
次に、手動によりＦＯＵＰ１０を保持した搬送装置の保持部を、ＦＯＵＰ１０の位置決め溝１５とドックプレート３１の位置決めピン３２との位置が確認できる位置まで徐々に近づける。また、位置決め溝１５と位置決めピン３２との位置が確認できる位置まで、ドックプレート３１を移動する（ステップ６０２）。
次に、移動したＦＯＵＰ１０の位置決め溝１５とドックプレート３１の位置決めピン３２とが略一致する範囲内にある（ＦＯＵＰ受渡位置が所定の範囲内にある）か確認を行なう（６０３）。
ステップ６０３でＦＯＵＰ受渡位置が所定の範囲外の（位置決め溝１５と位置決めピン３２とが略一致しない）ときは、手動によりドックプレート３１を再度動作させ、ＦＯＵＰ１０の位置決め溝１５とのドックプレート３１の位置決めピン３２とが略一致するように調整を行なう（ステップ６０６）。
次に、ＦＯＵＰ受渡位置が所定の範囲内にあるようになったら（位置決め溝１５と位置決めピン３２とが略一致したら）、図１０に図示されるように、入力手段７０によりドックプレート３１の位置データを制御手段６０に入力し、その後、位置データを記憶部６１に記憶する（ステップ６１０、６１１）。このとき、搬送装置を識別可能な識別番号などで管理できるように行なうことにより、搬送装置毎に対応したドックプレート３１の位置データを記憶することができる。
次に、その他の搬送装置とＦＯＵＰオープナとの間でのＦＯＵＰ受渡位置の確認を行なう（ステップ６０４）。そして、ステップ６０２、６０３、６０６、６１０、６１１の作業を繰り返す。このようにして、複数の搬送装置とＦＯＵＰオープナ１との間でのＦＯＵＰ受渡位置の確認ができたら、ＦＯＵＰオープナ１の設置が完了となる（６０５）。
実施例２の検出センサ移動機構の変形例
次に、実施例２の検出センサ移動機構３５０、４００の変形例について説明する。実施例２の検出センサ移動機構３５０、４００においては、いずれも検出センサ３４３ａ、３９３ａを移動させるためにボールネジ３５３、４０３が使用されたが、これらのボールネジに代えて、カム機構が使用されてもよい。図１３には、図５（ｂ）に図示される検出センサ移動機構４００が、そこで使用されていたボールネジ４０３がカム機構によって置換されることによって変形された検出センサ移動機構の例（検出センサ移動機構４２０）が図示されている。
図１３に図示される検出センサ移動機構４２０は、次のようにして構成されている。
図１３（ａ）において、検出センサ駆動モータ４０２の出力軸には、アーム状の伝達部材４２３の一端部が固着されており、この伝達部材４２３の他端部には、カムフォロア４２４が転動自在に取り付けられている。このカムフォロア４２４は、伝達部材４２３が検出センサ駆動モータ４０２の出力軸の回転により回動されるとき、固定部材３９１ａの一半側に形成されたカム溝４２７内を転動しながら摺動する。それと同時に、固定部材３９１ａは、カムフォロア４２４によりレール４０６に沿った方向の押圧作用を受けて、摺動部材４０５とともにレール４０６に沿って移動する。これにより、検出センサ３９３ａのレール４０６に沿った方向（Ｙ方向）における位置調整が可能になる。図１３（ｂ）は、伝達部材４２３の長手方向がレール４０６に直交する位置にまで伝達部材４２３が回動された時点において、検出センサ３９３ａが占める調整位置を示している。
固定部材３９１ａは、図５（ｂ）に図示される検出センサ移動機構４００における固定部材３９１ａと伝達部材４０４とが一体化されたものに相当している。カムフォロア４２４の伝達部材４２３に対する取付位置は、伝達部材４２３に形成された調整溝４２８内でカムフォロア４２４を適切に動かして固定することにより、種々に調整が可能であり、これにより、検出センサ３９３ａの最大位置調整量を可変にすることができる。
その他の点は、図５（ｂ）に図示される検出センサ移動機構４００と同様であるので、同じ名称と符号とを用いることとして、その詳細な説明を省略する。
次に、図１３に示されるカム機構がドックプレートの移動機構として使用された実施例を、実施例３として、図１４を参照しつつ、詳細に説明する。
この実施例３の実施例１（図２参照）との違いは、ドック移動機構３０に使用されている移動機構部分がボールネジを使用した構成からカム機構を使用した構成となっている点にある。その他の点については変わりがないので、これらについては、同じ名称と符号とを用いることとし、その詳細な説明を省略する。
図１４のドック移動機構３０においては、ベース３１１の下面にドック移動モーター５１２が取り付け固定され、ベース３１１の一部には、該ドック移動モーター５１２の出力軸５１３が上下方向に貫通するようにして、図示されない切り欠き孔が形成されている。出力軸５１３には、アーム状の伝達部材５１４の一端部が固着されており、この伝達部材５１４の他端部には、カムフォロア５１６が転動自在に取り付けられている。このカムフォロア５１６は、伝達部材５１４がドック移動モータ５１２の出力軸５１３の回転により回動されるとき、固定部材５１５の一部に形成されたカム溝５１７内を転動しながら摺動する。それと同時に、固定部材５１５は、カムフォロア５１６によりレール３２２に沿った方向の押圧作用を受けて、摺動部材３２３とともにレール３２２に沿って移動する。これにより、ドックプレート３１のレール３２２に沿った方向における動作が可能になる。
カムフォロア５１６の伝達部材５１４に対する取付位置は、伝達部材５１４に形成された調整溝５１８内でカムフォロア５１６を適切に動かして固定することにより、種々に調整が可能であり、これにより、ドックプレート３１の最大位置調整量を可変にすることができる。
その他の点は、図２に図示されるドック移動機構３０と同様であるので、同じ名称と符号とを用いることとして、その詳細な説明を省略する。
制御手段、モータの変形例
制御手段６０によるドック移動モータ３１２、５１２、検出センサ駆動モータ３５２等の制御は、これらのモータとしてサーボモータを使用し、これらのモータの制御を数値制御により行なうように構成することもできる。これにより、自動でより正確な制御が可能になる。
この実施例３の実施例１（図２参照）との違いは、ドック移動機構３０に使用されている移動機構部分がボールネジを使用した構成からカム機構を使用した構成となっている点にある。その他の点については変わりがないので、これらについては、同じ名称と符号とを用いることとし、その詳細な説明を省略する。
図１４のドック移動機構３０においては、ベース３１１の下面にドック移動モーター５１２が取り付け固定され、ベース３１１の一部には、該ドック移動モーター５１２の出力軸５１３が上下方向に貫通するようにして、図示されない切り欠き孔が形成されている。出力軸５１３には、アーム状の伝達部材５１４の一端部が固着されており、この伝達部材５１４の他端部には、カムフォロア５１６が転動自在に取り付けられている。このカムフォロア５１６は、伝達部材５１４がドック移動モータ５１２の出力軸５１３の回転により回動されるとき、固定部材５１５の一部に形成されたカム溝５１７内を転動しながら摺動する。それと同時に、固定部材５１５は、カムフォロア５１６によりレール３２２に沿った方向の押圧作用を受けて、摺動部材３２３とともにレール３２２に沿って移動する。これにより、ドックプレート３１のレール３２２に沿った方向における動作が可能になる。
カムフォロア５１６の伝達部材５１４に対する取付位置は、伝達部材５１４に形成された調整溝５１８内でカムフォロア５１６を適切に動かして固定することにより、種々に調整が可能であり、これにより、ドックプレート３１の最大位置調整量を可変にすることができる。
その他の点は、図２に図示されるドック移動機構３０と同様であるので、同じ名称と符号とを用いることとして、その詳細な説明を省略する。
制御手段、モータの変形例
制御手段６０によるドック移動モータ３１２、５１２、検出センサ駆動モータ３５２等の制御は、これらのモータとしてサーボモータを使用し、これらのモータの制御を数値制御により行なうように構成することもできる。これにより、自動でより正確な制御が可能になる。
以上述べたように、本願の発明の容器開閉装置及びその容器載置位置調整方法は、ＦＯＵＰオープナを設置するにあたり、搬送装置との位置合わせを容易にすばやく確実にすることが可能である。また、ＦＯＵＰを確実にＦＯＵＰオープナの載置部に載置することができ、産業上の利用可能性がきわめて大である。
Claims (12)
- 少なくとも、半導体ウエハを所定の間隔で水平に複数枚収納可能な容器を載置して位置決めするドックプレートと、
前記ドッグプレートを容器受渡位置と容器ドアが着脱される作業位置との間で移動させることが可能なドック移動機構と、
前記容器ドアを着脱する着脱機構と前記容器ドアを保持する保持機構とを有するポートドアと、
前記ポートドアを水平に移動させるポートドア進退機構と、
前記容器ドアを格納するために前記ポートドアが前記容器ドアを保持した状態で前記ポートドアを垂直に移動させるポートドア昇降機構と、
前記ポートドアにより閉塞される開口部を有するポートプレートと
からなる容器開閉装置において、
前記ドッグ移動機構は、前記ドックプレートの停止位置を所望の位置に変更可能とする停止位置可変手段を備えている
ことを特徴とする容器開閉装置。 - 前記停止位置可変手段は、前記ドックプレートの停止位置を数値制御により所望の位置に変更する制御手段を備えていることを特徴とする請求項１に記載の容器開閉装置。
- 前記停止位置可変手段は、前記容器ドアの取り外しを行なう方向への前記ドックプレートの移動方向をＸ方向とし、前記Ｘ方向と直交する方向をＹ方向とするとき、前記ドックプレートの停止位置をＸ方向の所望の位置に変更可能とすることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の容器開閉装置。
- 前記停止位置可変手段は、前記容器ドアの取り外しを行なう方向への前記ドックプレートの移動方向をＸ方向とし、前記Ｘ方向と直交する方向をＹ方向とするとき、前記ドックプレートの停止位置をＸ方向及びＹ方向の所望の位置に変更可能とすることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の容器開閉装置。
- 少なくとも、半導体ウエハを所定の間隔で水平に複数枚収納可能な容器を載置して位置決めするドックプレートと、
前記ドックプレートを容器受渡位置と容器ドアが着脱される作業位置との間で移動させることが可能なドッグ移動機構と、
前記容器ドアを着脱する着脱機構と前記容器ドア保持する保持機構とを有するポートドアと、
前記ポートドアを水平に移動させるポートドア進退機構と、
前記容器ドアを格納するために前記ポートドアが前記容器ドアを保持した状態で前記ポートドアを垂直に移動させるポートドア昇降機構と、
前記ポートドアにより閉塞される開口部を有するポートプレートと
からなる容器開閉装置において、
前記ドッグ移動機構は、前記ドックプレートの停止位置を確認する停止位置確認手段と、前記停止位置確認手段の設置位置を所望の位置に変更可能とする設置位置可変手段とを備えている
ことを特徴とする容器開閉装置。 - 前記設置位置可変手段は、前記停止位置確認手段の設置位置を数値制御により所望の位置に変更する制御手段を備えることを特徴とする請求項５に記載の容器開閉装置。
- 前記設置位置可変手段は、前記容器ドアの取り外しを行なう方向への前記ドックプレートの移動方向をＸ方向とし、前記Ｘ方向と直交する方向をＹ方向とするとき、前記停止位置確認手段の設置位置をＸ方向の所望の位置に変更可能とすることを特徴とする請求項５又は請求項６に記載の容器開閉装置。
- 前記設置位置可変手段は、前記容器ドアの取り外しを行なう方向への前記ドックプレートの移動方向をＸ方向とし、前記Ｘ方向と直交する方向をＹ方向とするとき、前記停止位置確認手段の設置位置をＸ方向及びＹ方向の所望の位置に変更可能とすることを特徴とする請求項５又は請求項６に記載の容器開閉装置。
- 少なくとも、半導体ウエハを所定の間隔で水平に複数枚収納可能な容器を載置して位置決めするための容器載置手段と、
前記容器載置手段を容器受渡位置と容器ドアが着脱される作業位置との間で移動可能にするための移動手段と、
前記移動手段により前記作業位置に移動させられた前記容器載置手段に載置された前記容器の容器ドアを着脱するための着脱手段と
を備えた容器開閉装置の容器載置位置調整方法において、
前記移動手段は、前記容器載置手段の停止位置を所望の位置に変更可能とする
ことを特徴とする容器開閉装置の容器載置位置調整方法。 - 前記移動手段は、前記容器載置手段の停止位置を数値制御により所望の位置に変更することを特徴とする請求項９に記載の容器開閉装置の容器載置位置調整方法。
- 少なくとも、半導体ウエハを所定の間隔で水平に複数枚収納可能な容器を載置して位置決めするための容器載置手段と、
前記容器載置手段を容器受渡位置と容器ドアが着脱される作業位置との間で移動可能にするための移動手段と、
前記移動手段により前記作業位置に移動させられた前記容器載置手段に載置された前記容器の容器ドアを着脱するための着脱手段と
を備えた容器開閉装置の容器載置位置調整方法において、
前記移動手段は、前記容器載置手段の停止位置を確認する位置を所望の位置に変更可能とする
ことを特徴とする容器開閉装置の容器載置位置調整方法。 - 前記移動手段は、前記容器載置手段の停止位置を確認する位置を数値制御により所望の位置に変更することを特徴とする請求項１１に記載の容器開閉装置の容器載置位置調整方法。
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