JP2019527853A - レベリング可能なレチクルライブラリシステム - Google Patents
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Abstract
Description
複数のレチクルを装填されたレチクルカセットを外部レチクルライブラリに配置する。ロック解除メカニズムによる外部レチクルライブラリをロック解除する。QRコード走査後に、レチクルカセットを内部レチクルライブラリに搬送する。内部レチクルライブラリからレチクルを取り出し、それを露光のためにマスクステージに配置する。露光完了後、メカニカルアームによってレチクルをマスクステージから内部レチクルライブラリに戻す。
レチクルライブラリは重く、変速機構の摩耗を引き起こす傾向にあるため、その中において粒子を形成し得る。レチクルライブラリは、常に開いているため、レチクルライブラリに含まれたレチクルの表面が汚染されるおそれがある。レチクルが変形し、その後の操作がより困難になる。そしてセキュリティインターロックを行うことができない。さらに、それは片持ち梁のようなものであり、したがって、それは重い荷重の下で著しく変形する傾向がある。いくつかの設計上の誤差と相まって、Z方向の調整、及び使用前の初回のレベリング(水平調整)は、その通常の操作のため、必要とする。初回のレベリングが適切にされていないと、その後の使用中においてレチクルライブラリの大きな非平坦性を除去するのに時間がかかる。
レチクルライブラリアセンブリは、前記レチクルライブラリアセンブリがフレームアセンブリを介してピボットアセンブリによってレベリングすることができるように、前記フレームアセンブリ上に配置されており、
前記レチクルライブラリアセンブリが、前記フレームアセンブリに対してレベリングすることができる。
前記レチクルライブラリアセンブリの開口を密閉するために前記レチクルライブラリアセンブリ上に配置されたシールをさらに備えてもよい。
前記本体は、前記レチクルライブラリアセンブリインタフェースプレートを介して前記レチクルライブラリアセンブリ、又は前記フレームアセンブリに接続されており、
前記プッシュバック機構は、前記本体に搭載され、
前記密閉扉は、前記レチクルライブラリアセンブリの開口を密閉するよう、又は密閉しないように、閉鎖又は開放されるように設けられており、
プッシュバック機構は、前記密閉扉の開閉を制御するために駆動してもよい。
前記プッシュバック機構は、前記インターロックセンサの検出結果に基づいて前記密閉扉の開閉を制御するために駆動してもよい。
前記ピボット軸の両端部は、それぞれ前記調整機構、及び前記ユニバーサル軸受アセンブリに連結され、
前記ピボット軸は、前記フレームアセンブリインタフェース部材を介して前記フレームアセンブリに連結され、
前記調整機構は、前記ピボット軸の向きを調整することにより、前記フレームアセンブリ及び前記レチクルライブラリアセンブリをその上にレベリングするように構成されていてもよい。
前記調整機構は、第1の球面軸受、上部軸受ハウジング、軸受ハウジング接続ブロック、楔状ブロック、及び止めねじを備え、
前記止めねじは、垂直Z方向に沿って、前記楔状ブロックと係合し、前記楔状ブロックは、前記止めねじをZ方向に前進させることによって、水平X方向に変位させることができ、
前記楔状ブロックは、前記軸受ハウジング接続ブロックを介して前記上部軸受ハウジングに接続されており、
前記上部軸受ハウジングは、前記第1の球面軸受を介して前記ピボット軸の一端に接続されて、
前記ピボット軸が、前記楔状ブロックのX方向の変位によって、前記第1の球面軸受の内輪に対して、Ry方向に回動することができる。
前記調整機構は、前記軸受ハウジング接続ブロックと前記上部軸受ハウジングとの相対位置をY方向に沿って変化させて、
前記上部軸受ハウジングを前記第1の球面軸受の内輪に対して前記Rx方向に揺動させることができる調整ねじをさらに含んでもよい。
前記下部軸受ハウジングは、前記第2の球面軸受を介して前記ピボット軸の一端に接続され、
前記Z方向調整ブロックは、上部ブロックを介した前記ピボット軸のZ方向の位置変更するように構成されていてもよい。
レチクルライブラリアセンブリ支持フレームと、
前記レチクルライブラリアセンブリ支持フレームの下にある保管システム支持フレームと、を含み、
前記レチクルライブラリアセンブリは、前記レチクルライブラリアセンブリ支持フレーム上に支持され、
前記保管システム支持フレームの底部には、前記ピボットアセンブリによるレベリング調整から生じる構成をロックするためのロック部材が設けられていてもよい。
前記ガス浴開口は、外部から不活性ガス源に接続され、
前記ガス浴開口は、内部でガス浴管によって前記レチクルライブラリアセンブリに接続されていてもよい。
前記レチクルベイは、レチクルを収容するように構成されていてもよい。
ピボット軸302は、その一端で調整機構301に連結され、その他端でユニバーサル軸受アセンブリ303に連結されている。
ピボット軸302は、フレームアセンブリインタフェース部材304を介してフレームアセンブリ2に固定されている。
調整機構301は、ピボット軸の向きを調整することにより、フレームアセンブリ2、及びレチクルライブラリアセンブリ4をレベリング(平坦化)する。
止めねじ3016は、Z方向に沿って楔状ブロック3015と係合し、従って、そのZ方向の前進は、楔状ブロック3015のX方向に沿う変位を引き起こすことができる。
楔状ブロック3015は、その名称によって示唆されるように、Z方向運動をX-方向運動に変換することができる傾斜面を有する楔状の部材である。
これは当業者によって容易に理解されるであろうし、さらにその説明は不要であると考えられる。
楔状ブロック3015は、軸受ハウジング接続ブロック3018を介して上部軸受ハウジング3012に接続されている。
上部軸受ハウジング3012は、第1の球面軸受3013を介してピボット軸302の一端に接続されている。
このように、楔状ブロック3015のX方向の変位の結果として、ピボット軸302は、第1の球面軸受3013の内輪に対してRy方向に旋回する。
本発明の別の実施形態の1つでは、直線運動から最終旋回運動への変換を容易にするために、楔状ブロック3015が挿入される固定ねじ3017を通して腎臓スロットを画定し、追加の調整マージンを可能にする。
その結果、上部軸受ハウジング3012に連結されその下端に固定されたピボット軸302は、Ry方向にわずかに揺動することを強いられる。
Ry方向調整後、固定ねじ3017を締めてもよい。
具体的には、調整機構301は、調整ねじ3014をさらに含み得る。調整ねじ3014は、Y方向に関して、軸受ハウジング接続ブロック3018、及び上部軸受ハウジング3012の相対位置を変更することが可能である。そのため、上部軸受ハウジング3012を、第1の球面軸受3013の内輪に対してRX方向に揺動させる。
具体的には、調整ねじ3014を回転させると、上部軸受ハウジング3012がY方向に移動する。ピボット軸302は、その下端が固定されており、Rx方向にわずかに揺動しなければならない。これによって、Rx方向の調整が達成される。
下部軸受ハウジング3032は、第2の球面軸受3031を介してピボット軸3032の一端に接続されている。
Z方向調整ブロック3034は、上部ブロック3035の助けを借りて、ピボット軸3032のZ方向の位置を変更するように設けられている。
実際に使用する場合、Z方向調整ブロック3034を回転させて、Z方向調整ブロック3034がZ方向に移動する。これによって、当接した上部ブロック3035に、レチクルライブラリアセンブリを駆動させて、Z方向の希望の位置に移動させる。
その後、ロックナット3033を締め付ける。
特定の実施形態では、レチクルライブラリアセンブリ4内に含まれたレチクルの清浄度を保護し、かつ、保つため、窒素が、不活性ガスとしてガス浴開口204を通して、レチクルライブラリアセンブリ4に導入される。
粒子抽出管6は、粒子抽出開口208に接続され、レチクルライブラリアセンブリ4からの可能な微粒子状物質を抽出するように構成されている。
201-保管システム支持フレーム ;202-ピボットインタフェース開口 ;203-レチクルライブラリアセンブリ支持フレーム ;204-ガス浴開口 ;205-スクリューレバー ;206-案内管 ;207-ねじ案内溝 ;208-粒子抽出開口 ;
301-調整機構 ;302-ピボット軸 ;303-ユニバーサル軸受アセンブリ ;304-フレームアセンブリインタフェース部材 ;
3011-インタフェースプレート ;3012-上部軸受ハウジング ;3013-第1の球面軸受 ;3014-調整ねじ ;3015-楔状ブロック ;3016-止めねじ ;3017-固定ねじ ;3018-軸受ハウジング接続ブロック ;3031-第2の球面軸受 ;3032-下部軸受ハウジング ;3033-ロックナット ;3034-Z方向調整ブロック ;3035-上部ブロック ;
401-変形センサ ;402-レベリングねじ ;403-ガス浴開口 ;404-レチクルライブラリフレーム ;405-レチクルベイ ;406-カバー ;407-存在センサ ;
500-本体 ;501-密閉扉 ;502-レチクルライブラリアセンブリインタフェースプレート ;503-プッシュバック機構 ;504-インターロックセンサ。
Claims (14)
- レチクルライブラリアセンブリ、ピボットアセンブリ、及びフレームアセンブリを備え、
前記レチクルライブラリアセンブリは、前記レチクルライブラリアセンブリが前記フレームアセンブリを介して前記ピボットアセンブリによってレベリングすることができるように、前記フレームアセンブリ上に配置されており、
前記レチクルライブラリアセンブリが前記フレームアセンブリに対してレベリングすることができる、
レベリング可能なレチクルライブラリシステム。 - 前記レチクルライブラリアセンブリの開口を密閉するために前記レチクルライブラリアセンブリ上に配置されたシールをさらに備える、
請求項1に記載のレベリング可能なレチクルライブラリシステム。 - 前記シールが、本体と、密閉扉と、レチクルライブラリアセンブリインタフェースプレートと、プッシュバック機構とを含み、
前記本体が、前記レチクルライブラリアセンブリインタフェースプレートを介して前記レチクルライブラリアセンブリ、又は前記フレームアセンブリに接続され、
前記プッシュバック機構は、前記本体に搭載され、
前記密閉扉は、前記レチクルライブラリアセンブリの開口を密閉する、又は密閉しないように開閉し、
前記プッシュバック機構は、前記密閉扉の開閉を制御するように駆動される、
請求項2に記載のレベリング可能なレチクルライブラリシステム。 - 前記シールは、メカニカルアームがレチクルを取り去る、又は配置するための所定の位置に到達したか否かを検出するために前記本体に配置されたインターロックセンサをさらに含み、
前記プッシュバック機構は、前記インターロックセンサの検出結果に基づいて前記密閉扉の開閉を制御する、
請求項3に記載のレベリング可能なレチクルライブラリシステム。 - 前記ピボットアセンブリは、ピボット軸と、調整機構と、フレームアセンブリインタフェース部材と、ユニバーサル軸受アセンブリと、を備え、
前記ピボット軸の両端部は、それぞれ前記調整機構、及び前記ユニバーサル軸受アセンブリに連結され、
前記ピボット軸は、前記フレームアセンブリインタフェース部材を介して前記フレームアセンブリに連結され、
前記調整機構は、前記ピボット軸の向きを調整することにより、前記フレームアセンブリ及び前記レチクルライブラリアセンブリをその上にレベリングするように構成されている、
請求項1に記載のレベリング可能なレチクルライブラリシステム。 - Ry方向は、水平X方向に直交する水平なY方向周りの回転方向として定義され、
前記調整機構は、第1の球面軸受、上部軸受ハウジング、軸受ハウジング接続ブロック、楔状ブロック、及び止めねじを備え、
前記止めねじは、垂直Z方向に沿って、前記楔状ブロックと係合し、前記楔状ブロックは、前記止めねじをZ方向に前進させることによって、水平X方向に変位させることができ、
前記楔状ブロックは、前記軸受ハウジング接続ブロックを介して前記上部軸受ハウジングに接続されており、
前記上部軸受ハウジングは、前記第1の球面軸受を介して前記ピボット軸の一端に接続されて、
前記ピボット軸が、前記楔状ブロックのX方向の変位によって、前記第1の球面軸受の内輪に対して、Ry方向に回動することができる、
請求項5に記載のレベリング可能なレチクルライブラリシステム。 - Rx方向は、水平X方向を中心とする回転方向と定義され、
前記調整機構は、前記軸受ハウジング接続ブロックと前記上部軸受ハウジングとの相対位置をY方向に沿って変化させて、
前記上部軸受ハウジングを前記第1の球面軸受の内輪に対して前記Rx方向に揺動させることができる調整ねじをさらに含む、
請求項6に記載のレベリング可能なレチクルライブラリシステム。 - 前記ユニバーサル軸受アセンブリは、第2の球面軸受と、下部軸受ハウジングと、Z方向調整ブロックとを含み、
前記下部軸受ハウジングは、前記第2の球面軸受を介して前記ピボット軸の一端に接続され、
前記Z方向調整ブロックは、上部ブロックを介した前記ピボット軸のZ方向の位置変更するように構成された、
請求項5に記載のレベリング可能なレチクルライブラリシステム。 - 前記フレームアセンブリは、
レチクルライブラリアセンブリ支持フレームと、
前記レチクルライブラリアセンブリ支持フレームの下にある保管システム支持フレームと、を含み、
前記レチクルライブラリアセンブリは、前記レチクルライブラリアセンブリ支持フレーム上に支持され、
前記保管システム支持フレームの底部には、前記ピボットアセンブリによるレベリング調整から生じる構成をロックするためのロック部材が設けられている、
請求項1に記載のレベリング可能なレチクルライブラリシステム。 - 前記フレームアセンブリは、ガス浴開口を備え、
前記ガス浴開口は、外部から不活性ガス源に接続され、
前記ガス浴開口は、内部でガス浴管によって前記レチクルライブラリアセンブリに接続されている、
請求項1又は9に記載のレベリング可能なレチクルライブラリシステム。 - 前記フレームアセンブリは、粒子抽出管によって前記レチクルライブラリアセンブリに接続された粒子抽出開口を備えている、
請求項1又は9に記載のレベリング可能なレチクルライブラリシステム。 - 前記レチクルライブラリアセンブリは、レチクルライブラリフレームと、前記レチクルライブラリフレームによって保持されるレチクルライブラリと、前記レチクルライブラリ内のレチクルベイと、を含み、
前記レチクルベイは、レチクルを収容するように構成される、
請求項1に記載のレベリング可能なレチクルライブラリシステム。 - 前記レチクルライブラリアセンブリと前記フレームアセンブリとの間のレベリングは、複数のレベリングねじによって、行われる、
請求項1又は12に記載のレベリング可能なレチクルライブラリシステム。 - 前記レチクルライブラリアセンブリは、変形センサを備える、
請求項1又は12に記載のレベリング可能なレチクルライブラリシステム。
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