JP2003068825A - ロードポート - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ポッドオープナーに備わる鍵とウェハキャリ
アに備わる鍵穴とをスムースに係合することが可能なロ
ードポートを提供する。 【解決手段】 半導体プロセス装置３にウェハを供給す
る際のインターフェイスであるロードポート２におい
て、ウェハを格納するキャリアを自動で開閉する機構で
あるポッドオープナー２２にむけてキャリアを搬送する
キャリアベースＣＢに、搬送方向と直交する方向にスラ
イドするスライド機構を備える。ポッドオープナー２２
に備わるラッチキーＬＫの配設位置と、キャリアに備わ
る鍵穴の配設位置とが微妙にずれていた場合、キャリア
ベースＣＢが搬送方向と直交する方向にスライドし、鍵
穴の位置を調節する。その結果、ラッチキーＬＫと鍵穴
とが適切に係合する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はウェハキャリアの位
置を微調整可能なロードポートに関する。

【０００２】

【従来の技術】一般的に、半導体デバイスのプロセス工
程は、回路誤動作の原因となる微粒子（パーティクル）
がウェハ上に飛散することを防止するために、空気を高
い清浄状態に維持したクリーンルームにおいて行われ
る。そして、クリーンルームにおいてはパーティクルが
ウェハに飛散する危険性が低いため、プロセス工程間の
ウェハ搬送には、オープンカセット型のウェハキャリア
を利用することが可能であった。

【０００３】ところで、近年、大規模なクリーンルーム
に対する投資の削減と工程の自動化を目的として、ミニ
エンバイロメントと呼ばれる局所的なクリーンルームを
使用した設備が増加してきている。ミニエンバイロメン
ト方式のプロセスでは、高い清浄状態に保たれた設備を
部分的に設け、その設備内でのみウェハのハンドリング
を行う。そして、ウェハ搬送時には、密閉型のウェハキ
ャリア（FOUP：FrontOpening Unified Pod）を利用し、
ウェハをパーティクルから保護する。

【０００４】ミニエンバイロメント環境で利用されるウ
ェハキャリアは、ロック機構によって搬送中に簡単に開
かないようになっており、その開閉を自動で行うには、
ポッドオープナーと呼ばれる専用の装置を必要とする。
ポッドオープナーには、ウェハキャリアを開閉するため
の、いわば鍵のようなものが備わっており、これとウェ
ハキャリア側に備わった鍵穴とを係合させて開錠するこ
とで、ウェハキャリアの蓋を開閉することができるよう
になっている。

【０００５】ポッドオープナーは通常、プロセス装置へ
のウェハ入出装置であるロードポートに設置されてお
り、その寸法は、ＳＥＭＩ（Semiconductor Equipment
Materials International）によって規格化されてい
る。ウェハキャリアをロードポートに載置すると、ウェ
ハキャリアは自動的にポッドオープナーに向けて搬送さ
れ、ウェハキャリアに備わる鍵穴とポッドオープナーに
備わる鍵とが係合される。そして、ウェハキャリアの蓋
が開かれ、プロセス装置にウェハが取り込まれるように
なっている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ＳＥＭ
Ｉ規格では、ポッドオープナー側の寸法は規定している
ものの、ウェハキャリアの寸法については無規定であ
る。そのため、ウェハキャリアはポッドオープナーの寸
法に合わせて製作されている。ところが、ウェハキャリ
アを製作する各メーカー毎に、ウェハキャリアに備わる
鍵穴の位置に微妙な個体差があり、ポッドオープナーに
備わる鍵とウェハキャリアに備わる鍵穴との間に引っか
かりが生じる場合があった。

【０００７】鍵と鍵穴とに引っかかりがある場合、鍵穴
に鍵を挿入する際および鍵穴から鍵を抜出する際におい
て、ウェハキャリアの姿勢が大きく崩れることがあっ
た。半導体プロセスにおいては自動化された工程も多々
あるが、ウェハキャリアの搬送姿勢が崩れると、人手の
介入を必要とし、生産効率が低下した。

【０００８】また、鍵と鍵穴の位置が正確に一致しない
場合、鍵と鍵穴とを係合しようとすると、両者の間に強
い摩擦が生じる。この摩擦に起因してパーティクルが発
生し、密閉されたウェハキャリア内に侵入することがあ
る。侵入したパーティクルがウェハに飛散した場合、そ
のロットの歩留まりが低下する。

【０００９】上述の問題に鑑み、本発明は、ポッドオー
プナーに備わる鍵の位置とウェハキャリアに備わる鍵穴
の位置との間のずれを調節し、スムースに鍵穴と鍵とを
係合することの可能なロードポートを提供することを目
的としている。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上述の課題を解決するた
め、本発明のロードポートにあっては、鍵穴が形成され
た開口面を備え、前記鍵穴に鍵部を係止させて前記開口
面を開いて内部に収納されたウェハを取り出すことが可
能なキャリアから前記ウェハを取り出すロードポートに
おいて、前記キャリアを載置する搬送台と、前記キャリ
アの開口面を開口する開口部と、前記開口部の所定位置
に突出して形成された鍵部と、前記搬送台を前記開口部
に向けて移動させる移動機構と、前記搬送台を前記移動
機構の移動方向と直交する方向にスライド可能に支持す
るスライド機構とを備えることを特徴とする。かかるロ
ードポートにより、鍵穴と鍵部との配設位置に微妙なず
れがある場合であっても、鍵穴の配設位置と鍵部の配設
位置とを調節し、鍵穴と鍵部とを適切に係合させること
が可能である。

【００１１】また、前記スライド機構による前記搬送台
のスライド方向はＸ方向であり、前記キャリアを前記搬
送台の上に載せるときに、Ｘ方向における前記搬送台の
位置決めを行うガイド部を備えることが好ましい。そう
することで、ウェハキャリア載置の段階での搬送台の位
置を一定に保つことができ、自動搬送機等によるウェハ
キャリア搬送に好適である。

【００１２】また、鍵と鍵穴とを適切に係合できない理
由は、キャリアに設けられた鍵穴の位置にバラツキがあ
ることに因る。そこで、搬送台の位置をＸ方向に微調整
可能とすべくスライド機構が設けられている。しかし、
搬送台のＸ方向の位置を全く定めないままキャリアを搬
送すると、鍵と鍵穴とを係合させることができない場合
が生じる。そこで、前記ガイド部は、前記移動機構によ
る前記搬送台の移動開始位置から前記鍵穴と前記鍵部が
近接する所定位置まで、Ｘ方向における前記搬送台の位
置決めを行い、前記搬送台が前記所定位置を越えて前記
開口部に近づくと前記キャリアを解放することが好まし
い。

【００１３】

【発明の実施の形態】＜１．実施形態の構成＞次に、本
発明の一実施形態について、図面を参照しつつ説明す
る。図１は、本実施形態で使用されるウェハキャリア１
の外観構成を示す斜視図である。図１に示すように、ウ
ェハキャリア１は、ウェハ格納部ＣＴと蓋ＬＤとを備え
る。図示は省略するが、ウェハ格納部ＣＴはその内部に
複数のスロットを備え、各スロットにそれぞれウェハを
収納することができる。したがって、ウェハキャリア１
によって複数枚のウェハを同時に搬送することができ
る。そして、蓋ＬＤは、ウェハ格納部ＣＴを密閉するこ
とが可能であり、ウェハ格納部ＣＴと嵌合することで、
内部を密閉して外気から遮断することができる。

【００１４】さらに、ウェハキャリア１には、ウェハ格
納部ＣＴと蓋ＬＤとが密着した状態で固定することを可
能とするロック機構（図示せず）を備えており、ウェハ
キャリア１の搬送中に、蓋ＬＤが開くことのない構成と
なっている。蓋ＬＤを取り外し、ウェハキャリア１を開
口させるためには、所定形状の鍵を利用する必要があ
る。図１に示すように、蓋ＬＤは、鍵穴部ＫＨを備えて
いる。この鍵穴部ＫＨと所定形状の鍵を係合させ、鍵を
回動することで、ロック機構が解除され、蓋ＬＤを取り
外すことが可能になる。

【００１５】また、ウェハキャリア１のキャリア格納部
ＣＴ底部には、所定形状の凹部ＣＣ（図示せず）が形成
されている。この凹部ＣＣは、ロードポート２上にウェ
ハキャリア１を載置する際の基準位置を示すものであ
る。

【００１６】ロードポート２は、ウェハキャリア１を開
閉し、ウェハキャリア１に格納されたウェハをプロセス
装置３に供給する機械的インターフェイスである。図２
は、ロードポート２の外観構成を示す斜視図である。図
２に示すように、ロードポート２は、プロセス装置３の
外壁に嵌合されて備えられており、ハウジング２１とポ
ッドオープナー２２とを備えている。

【００１７】ハウジング２１は、ロードポート２に搬送
されてきたウェハキャリア１を載置する台である。ハウ
ジング２１は、移動可能なキャリアベースＣＢを備えて
おり、このキャリアベースＣＢには、ウェハキャリア１
底部の凹部ＣＣと嵌合可能なピンＣＶが備わっている。
凹部ＣＣにピンＣＶを嵌合することで、キャリアベース
ＣＢ上のウェハキャリア１を、常に一定方向に向けるこ
とができる。

【００１８】ウェハキャリア１の凹部ＣＣとキャリアベ
ースＣＢのピンＣＶとを嵌合させ、ロードポート２を駆
動すると、キャリアベースＣＢは、図２中の矢印ｙの方
向（以下、ｙ軸方向と称する）に移動する。そして、キ
ャリアベースＣＢは、ウェハキャリア１を、ポッドオー
プナー２２が配設された位置に誘導する。

【００１９】また、ポッドオープナー２２は、プロセス
装置３の開口部を密閉しており、ポッドオープナー２２
が開口すると、プロセス装置３もまた開口するようにな
っている。したがって、ウェハキャリア１がポッドオー
プナー２２を密閉した状態で、ポッドオープナー２２が
ウェハキャリア１の蓋ＬＤを取り外すと、ウェハキャリ
ア１に格納されたウェハを、外気から遮断された状態
で、プロセス装置３に供給することが可能となる。

【００２０】そして、ウェハキャリア１の開閉のため、
ポッドオープナー２２は、ウェハキャリア１の蓋ＬＤに
備わる鍵穴部ＫＨと係合可能なラッチキーＬＫを備えて
いる。このラッチキーＬＫと鍵穴部ＫＨとを係合、回動
することで、ウェハキャリア１の蓋ＬＤを取り外すこと
が可能となる。

【００２１】図３は、ラッチキーＬＫの構成を示す三面
図である。ラッチキーＬＫは軸ＡＸと鍵部ＫＹとを備え
ており、軸ＡＸの先端に鍵部ＫＹが固着されている。そ
して、鍵部ＫＹは軸ＡＸの回動にしたがって回動する。
ラッチキーＬＫは、初期状態では図３中に示すａの状態
になっているが、ウェハキャリア１の鍵穴部ＫＨと係合
すると、ラッチキーＬＫは９０°回動し、図３中に示す
ｂの状態へと変化する。すると、ウェハキャリア１が開
錠され、蓋ＬＤを取り外すことができるようになる。

【００２２】ここで、ラッチキーＬＫの配設位置がウェ
ハキャリア１に備わる鍵穴部ＫＨの配設位置と微妙にず
れている場合がある。この場合に、無理にラッチキーＬ
Ｋとウェハキャリア１とを係合させようとすると、ラッ
チキーＬＫとウェハキャリア１とが擦合し、パーティク
ルが発生する場合がある。また、キャリアベースＣＢに
備わるピンＣＶとウェハキャリア１に備わる凹部ＣＣと
が外れ、キャリアベースＣＢ上で、ウェハキャリア１の
姿勢が大きく崩れる場合がある。そこで、本実施形態の
キャリアベースＣＢでは、図２中の矢印ｘの方向（以
下、ｘ軸方向と称する）にウェハキャリア１が移動する
ことを可能としている。

【００２３】図４〜図６は、本実施形態のキャリアベー
スＣＢの移動機構を示す三面図である。図４は、当該移
動機構の側面図を示し、図５は、上面図を示し、図６
は、正面図を示す。まず、キャリアベースＣＢはアクチ
ュエータＡＴの動力にしたがって、ウェハキャリア１を
搬送することが可能である。このとき、ウェハキャリア
１の搬送軌道として利用されるのが、リニアガイドＬＧ
１である。リニアガイドＬＧ１は、ハウジング２１上に
設けられており、キャリアベースＣＢをｙ軸方向に誘導
するレールである。

【００２４】さらに、リニアガイドＬＧ１上には、リニ
アガイドＬＧ２が設けられている。このリニアガイドＬ
Ｇ２は、図５に示すｗの幅だけｘ軸方向にスライド移動
することが可能である。そして、このリニアガイドＬＧ
２上に、キャリアベースＣＢが配設される。つまり、キ
ャリアベースＣＢは、リニアガイドＬＧ２のスライド幅
ｗだけ、ｘ軸方向に移動することができる。したがっ
て、キャリアベースＣＢ上に載置されるウェハキャリア
１は、リニアガイドＬＧ２のスライド幅ｗだけ、ｘ軸方
向に位置を調節することができるようになっている。

【００２５】ところで、キャリアベースＣＢがリニアガ
イドＬＧ２の軌道にしたがって、ウェハキャリア１のｘ
軸方向の位置を調節するのは、ウェハキャリア１の個体
差に対応するためである。ウェハキャリア１をポッドオ
ープナー２２に向けて搬送する際の基準は、常にＳＥＭ
Ｉによって規定された位置に対応することが好ましい。
このため、位置ガイドＧＤ１によって、ウェハキャリア
１の搬送開始時の基準位置を確定しておく。位置ガイド
ＧＤ１はハウジング２１上に設けられており、先端が曲
面状に形成された板材である。この位置ガイドＧＤ１
が、図５において一点鎖線で示されるハウジング２１の
線Ｌ上に配設されている。

【００２６】そして、ウェハキャリア１が載置される段
階において、キャリアベースＣＢを常に位置ガイドＧＤ
１によって示される基準位置に位置させるため、キャリ
アベースＣＢには、位置ガイドＧＤ２が設けられる。位
置ガイドＧＤ２は一対の円筒状突起であり、位置ガイド
ＧＤ１の厚みよりやや広い間隔をもって、線Ｌを中心と
して対称に設けられる。位置ガイドＧＤ２は、ウェハキ
ャリア１が載置される位置においては、必ず位置ガイド
ＧＤ１を挟持するよう構成されているため、キャリアベ
ースＣＢおよび当該キャリアベースＣＢ上に載置された
ウェハキャリア１は、常にｘ軸方向をＳＥＭＩによって
定められた位置として、ポッドオープナー２２に向けて
搬送されることとなる。つまり、位置ガイドＧＤ１と位
置ガイドＧＤ２とは、搬送台の位置決めを行うガイド部
として機能する。

【００２７】そして、位置ガイドＧＤ２は、ウェハキャ
リア１の鍵穴部ＫＨとポッドオープナー２２のラッチキ
ーＬＫとが係合する直前においては解放されるようにな
っている。この段階で、上述のリニアガイドＬＧ２の機
構が作用し、キャリアベースＣＢのｘ軸方向の移動可能
になる。この構成の結果、ウェハキャリア１がポッドオ
ープナー２２に向けて搬送される際の初期位置をＳＥＭ
Ｉ規格によって定められた位置に保つと同時に、鍵穴部
ＫＨの配設位置とラッチキーＬＫの配設位置とが微妙に
異なっていた場合に、ウェハキャリア１の個体差に合わ
せて、ｘ軸方向に位置を調節することが可能となるので
ある。

【００２８】＜２．実施形態の動作＞次に、上記の構成
による本実施形態のロードポート２の具体的な動作の流
れについて説明する。まず、前工程より供給された複数
枚のウェハは、ウェハキャリア１に積載され、人手もし
くは自動搬送機によって、プロセス装置３に設置された
ロードポート２の位置に搬送される。そして、ウェハキ
ャリア１は、その底部の凹部ＣＣがキャリアベースＣＢ
上に形成されたピンＣＶと嵌合する状態で載置される。
そして、ウェハキャリアＣＢが載置された後、キャリア
ベースＣＢは、アクチュエータＡＴの動力にしたがっ
て、ｙ軸方向に移動する。そして、ウェハキャリアＣＢ
は、ポッドオープナー２２の配設位置に誘導される。

【００２９】このとき、ハウジング２１上に配設された
位置ガイドＬＧ１と、キャリアベースＣＢの裏部に配設
された位置ガイドＬＧ２とが係合しているため、キャリ
アベースＣＢのｘ軸方向の位置は、所定状態に保たれて
いる。そして、ウェハキャリアＣＢの蓋ＬＤに備えられ
た鍵穴ＫＨとポッドオープナー２２に備えられたラッチ
キーＬＫとが係合する直前において位置ガイドＬＧ２が
解放され、キャリアベースＣＢは、ｘ軸方向にスライド
移動が可能となる。

【００３０】ここで、ウェハキャリア１の蓋ＬＤに備え
られた鍵穴ＫＨの配設位置が、ポッドオープナー２２に
備えられたラッチキーＬＫの配設位置と微妙にずれてい
たとする。この段階では、キャリアベースＣＢはｘ軸方
向に移動が可能であるため、ラッチキーＬＫの形状にし
たがってリニアガイドＬＧ２がスライドし、ウェハキャ
リア１のｘ軸方向の位置が微調整される。その結果、鍵
穴ＫＨの位置とラッチキーＬＫの位置とが一致し、両者
を係合させることができるようになる。

【００３１】ここで、ウェハキャリア１の蓋ＬＤに備え
られた鍵穴ＫＨの配設位置が、ポッドオープナー２２に
備えられたラッチキーＬＫの配設位置と微妙にずれてい
たとする。このような場合でも、本実施形態のキャリア
ベースＣＢは、ｘ軸方向にスライド移動し、ラッチキー
ＬＫと鍵穴ＫＨとを適切に係合させることが可能であ
る。

【００３２】、図７〜図１０は、上記動作の詳細を示す
説明図である。まず、ウェハキャリア１の鍵穴ＫＨが、
キャリアベースＣＢの搬送動作に伴って、ラッチキーＬ
Ｋに近付いていく（図７）。この段階では、キャリアベ
ースＣＢに備わるガイドＧＤ２が、ハウジング２１に設
けられたガイドＧＤ１を挟持しているため、キャリアベ
ースＣＢは、ｘ軸方向の移動ができない。

【００３３】そして、キャリアベースＣＢがさらにウェ
ハキャリア１を搬送し、鍵穴ＫＨがラッチキーＬＫに接
触する直前において、キャリアベースＣＢに備わるガイ
ドＧＤ２が解放され、キャリアベースＣＢがｘ軸方向に
移動可能となる。その直後、ラッチキーＬＫと鍵穴ＫＨ
とが接触する（図８）。すると、ラッチキーＬＫの先端
部および鍵穴ＫＨに備わる微妙な丸みにしたがって、キ
ャリアベースＣＢがｘ軸方向に移動する（図９、矢印ａ
方向に移動）。すると、ラッチキーＬＫと鍵穴ＫＨとの
ｘ軸方向の位置が調節され、ラッチキーＬＫと鍵穴ＫＨ
とが、適切に係合する（図１０）。

【００３４】例えば、ｙ軸方向にのみ移動可能なキャリ
アベースであれば、ラッチキーＬＫと鍵穴ＫＨとが図８
に示す状態に陥った場合、キャリアベースＣＢの搬送す
る力に応じて、ラッチキーＬＫと鍵穴ＫＨとが強く擦合
することとなる。このときに、パーティクルが生じる。
それに比較し、本実施形態のロードポート２では、鍵穴
ＫＨとラッチキーＬＫとの係合時の摩擦を必要最小限に
押さえることができるため、パーティクルの発生を押さ
えることができる。

【００３５】また、ｙ軸方向にのみ移動可能なキャリア
ベースには、鍵穴ＫＨとラッチキーＬＫの配設位置とが
正確に一致しない場合、ラッチキーＬＫが、ウェハキャ
リア１の蓋ＬＤを凹部ＣＣとピンＣＶが外れてしまうほ
ど強く押してしまうことになり、結果として、ウェハキ
ャリア１の搬送姿勢が大きく崩れる場合があるという問
題があった。しかし、本実施形態のロードポート２で
は、ウェハキャリア１の搬送姿勢が崩れる以前に、鍵穴
ＫＨとラッチキーＬＫとが係合するように位置調整され
るため、半導体プロセスが自動化されている場合であっ
ても、人手の介入を必要とする場面を低減させることが
できる。

【００３６】さらに、工程が終了すると、キャリアベー
スＣＢは初期位置に復帰することとなるが、ｘ軸方向の
位置は、初期位置ガイドＧＤ１およびＧＤ２によって復
帰されるため、つねにキャリアベースＣＢを基準位置に
納めることができる。したがって、搬送開始位置が一定
となり、ウェハキャリア１を自動搬送機などによって搬
送する場合であっても問題を生じることがない。

【００３７】＜３．変形例＞なお、本発明のロードポー
トＬＰは、上述の実施形態にのみ限定されるものではな
く、その技術的思想の範囲内で種々の変更を加えること
が可能である。

【００３８】（１）上述の実施形態においては、キャリ
アベースＣＢの移動方向補助機構としてリニアガイド１
およびリニアガイド２を備える態様をとって説明を行っ
たが、リニアガイドＬＧ１およびＬＧ２の代わりに、平
面上を自由移動可能なボールキャスター等を利用する態
様をとっても構わない。要は、ウェハキャリア１に備わ
る鍵穴部ＫＨとラッチキーＬＫとの係合の際、キャリア
ベースＣＢが図２中の矢印ｘ方向に微調整可能であれ
ば、どのような態様であっても構わない。

【００３９】（２）上述の実施形態においては、ロード
ポート２はバッファを備えず、一つのウェハキャリア１
のみを処理する態様をとって説明を行ったが、バッファ
を備え、複数のロードポート２を格納することが可能な
ロードポート２であっても構わない。要は、ウェハキャ
リア１を開閉する際に、ポッドオープナー２がｘ軸方向
に微調整可能な態様であれば、どのような態様であって
も構わない。

【００４０】

【発明の効果】以上、説明したように、本実施形態のロ
ードポートによれば、ウェハキャリアの蓋に備わる鍵穴
の位置がラッチキーの位置と微妙に異なる場合であって
も、ウェハキャリアがポッドオープナーに押しつけられ
る力に応じて移動し、鍵穴の位置とラッチキーの位置と
が調節される。したがって、工程におけるウェハキャリ
アの姿勢をより安定させる効果を持つとともに、ラッチ
キーと鍵穴との擦合により発生するパーティクルを低減
させることができ、歩留まりの向上に効果を発揮する。

【図面の簡単な説明】

【図１】 ウェハキャリア１の外観構成を示す斜視図で
ある。

【図２】 ロードポート２の外観構成を示す斜視図であ
る。

【図３】 ラッチキーＬＫの構成を示す三面図である。

【図４】 キャリアベースＣＢの移動機構を示す側面図
である。

【図５】 キャリアベースＣＢの移動機構を示す上面図
である。

【図６】 キャリアベースＣＢの移動機構を示す正面図
である。

【図７】 鍵穴ＫＨとラッチキーＬＫとの係合の詳細を
示す説明図である。

【図８】 鍵穴ＫＨとラッチキーＬＫとの係合の詳細を
示す説明図である。

【図９】 鍵穴ＫＨとラッチキーＬＫとの係合の詳細を
示す説明図である。

【図１０】 鍵穴ＫＨとラッチキーＬＫとの係合の詳細
を示す説明図である。

【符号の説明】 １…ウェハキャリア、ＬＤ…蓋、ＫＨ…鍵穴、２…ロー
ドポート、２２…ポッドオープナー、ＬＫ…ラッチキ
ー、ＣＢ…キャリアベース、ＬＧ１，ＬＧ２…リニアガ
イド、ＧＤ１，ＧＤ２…位置ガイド。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 5F031 CA02 DA08 EA11 EA12 EA14 FA01 FA03 FA11 FA15 KA20 NA02 NA10 NA18 PA26

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 鍵穴が形成された開口面を備え、前記鍵
   穴に鍵部を係止させて前記開口面を開いて内部に収納さ
   れたウェハを取り出すことが可能なキャリアから前記ウ
   ェハを取り出すロードポートにおいて、 前記キャリアを載置する搬送台と、 前記キャリアの開口面を開口する開口部と、 前記開口部の所定位置に突出して形成された鍵部と、 前記搬送台を前記開口部に向けて移動させる移動機構
   と、 前記搬送台を前記移動機構の移動方向と直交する方向に
   スライド可能に支持するスライド機構とを備えることを
   特徴とするロードポート。
2. 【請求項２】 前記スライド機構による前記搬送台のス
   ライド方向はＸ方向であり、 前記キャリアを前記搬送台の上に載せるときに、Ｘ方向
   における前記搬送台の位置決めを行うガイド部を備える
   ことを特徴とする請求項１に記載のロードポート。
3. 【請求項３】 前記ガイド部は、前記移動機構による前
   記搬送台の移動開始位置から前記鍵穴と前記鍵部が近接
   する所定位置まで、Ｘ方向における前記搬送台の位置決
   めを行い、前記搬送台が前記所定位置を越えて前記開口
   部に近づくと前記キャリアを解放することを特徴とする
   請求項２に記載のロードポート。