JP2006069687A - 懸垂式昇降搬送装置における搬送台車の教示装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ウエハ等の被搬送物の搬送に際して、実際に稼動するキャリアに比べて、形状精度が十分高い位置補正用基準治具5を所定の載置台3に正規に位置決めし、当該位置補正用基準治具5のフランジ5aに対して一対のフィンガ24ca、24cbが所望の状態に把持されるハンド部24の空間座標位置を把握することにより、この空間座標位置と制御上の空間座標位置とを特定する各要素に基づいて基準となる補正値を得る。
【選択図】図1
Description
より詳しくは、キャリアのフランジ部を把持する一対のフィンガ及びその接近・離隔機構を備えたハンド部を昇降可能に吊り下げたOHT用台車に対し、前記一対のフィンガを備えたハンド部の制御上における停止位置の空間座標位置の各要素と、所定の停止位置における空間座標の各要素とのズレを補正値としてマニュアル操作を基礎に与える教示装置に関するものである。
このOHTは、OHT用台車が有する昇降機構によって所定の箇所においてキャリアを昇降させるとともに、当該OHT用台車を、所定の軌道に沿って配設されたレールに懸垂状態で移送させる構成をなしている。
先ず、OHTを適用した半導体クリーンルームの概要を、特許文献1の図5を基に説明する。図5において、半導体クリーンルーム内には、複数のプロセス処理装置51とストッカ52が並べられており、夫々のプロセス処理装置51やストッカ52には、ウエハキャリア(カセット)Wを載置するロードポート(キャリアの載置台)53が設置されている。また、天井付近には、前記プロセス制御装置51やストッカ52の間でウエハキャリアWを搬送するOHT61が設置されている。前記OHT61は、前記プロセス処理装置51やストッカ52を接続するように天井付近に配設された軌道62と、この軌道62に沿って走行するOHT用台車63と、前記OHT用台車63から懸垂材64によって吊り下げられたハンド部65等から構成されている。そして、このハンド部65は、OHT用台車63内に設けられた巻き取り装置(図示せず)による前記懸垂材64の巻き取り/繰り出しにより昇降する。
ここにX、Yは水平面内の直交する2方向で、XがOHT用台車63の走行方向の空間座標要素を、ZはX、Yに対して直交する空間座標要素を、θは水平面内における回転方向の空間座標要素を夫々示している。
このときの空間座標位置(Xi,Yi,Zi,θi)のデータは教示装置に入力され、位置
補正データ(Xi−X0,Yi−Y0,Zi−Z0,θi−θ0)を得る。そして、この位置補正データ(Xi−X0,Yi−Y0,Zi−Z0,θi−θ0)はOHT用台車63内のメモリーに記憶される。
このような作業はベイの数が10あるとした場合、3600データとなり、1回の作業に10分要するとすると、教示時間はのべ600時間に及び莫大な時間を要した。
そこで、特許文献1の発明は、このような長時間を要する教示時間の大幅な短縮、及びオペレータの個人差の生じない教示手段を得るための技術を開示している。
(イ)教示対象として用いるキャリアは、実際にウエハ等の搬送に供せられるカセットのように量産される汎用性の高いものを使用している。従って、仮に正確な教示作業が行われたとしても、OHT用台車のハンド部における前記空間座標位置(Xi,Yi,Zi,θi)の教示内容は基本となる教示データがばらつき、精度的に十分とは云えず、教示データの誤差が大きいときは、教示後、OHT台車のハンド部がキャリアのフランジを適正に把持できず、キャリアの落下事故を招く恐れがある。
及び前記キャリアが載置される載置台に対する搬送台車の制御上の位置と所定の位置との偏差値を予め個別に求め、この偏差値を補正値として各搬送台車のコントローラに記憶させ、各搬送台車毎、各載置台毎に前記補正値を用い、各搬送台車の各載置台へのアクセスの制御手段を具備してなる懸垂式昇降搬送装置において、
前記補正値の計測手段として、形状寸法精度が高い位置補正用基準治具を、前記載置台上の正規の位置に載置し、前記基準治具のフランジ部を前記一対のフィンガが、所望の把持位置にあるときの搬送台車の空間座標位置と、予め設定した制御上の空間座標位置との差異を補正値として計測することを特徴とする。
この請求項2に係る発明によれば、引用元の請求項1に係る発明の効果に加えてOHT用台車のハンド部における一対のフィンガが位置補正用基準治具のフランジに対して適性に位置決めする操作を効率よく行うことができる。
この請求項3に係る発明によれば、引用元の請求項1又は2に係る発明の効果に加えて、一対のフィンガと位置補正用基準治具のフランジ部との適正な相対位置関係を目視にて容易に確認できるため、さほど熟練を要しなくとも、一対のフィンガを有するハンド部が効率良くOHT用台車の制御上の停止点から所望の位置へ移行するための教示作業を行うことができる。
この請求項4に係る発明によれば、引用元の請求項1乃至3に係る発明の効果に加えて当該請求項1乃至3の発明により大きなズレを一定値以下の小さなズレに短時間で調整し、残る微調整を一対のフィンガと位置補正用基準治具とが相対向する面同士の相対位置のズレ表示手段で実施する2段階による調整法に基づいて、大きなズレであっても短時間で、かつ、精度よく一対のフィンガと、位置補正用治具との位置合せ作業を終息させることができる。
この請求項5に係る発明によれば、引用元の請求項4に係る発明の効果に加えて、前記一対のフィンガと前記位置補正用基準治具とが相対向する面同士の相対位置のズレの程度が目視でき、このズレの調整が短時間にできる。
先ず、図面の概要を述べると、図1は本発明に係るOHT用台車と位置補正用基準治具との位置関係の要部構成を示す正面図、図2はハンド部の内部機構を示す斜視図、図3はハンド部における一対のフィンガの駆動機構を示す斜視図、図4は位置補正用基準治具の構成図で、(A)は平面図、(B)は正面図、(C)は側面図(D)は底面図、図5は一対のフィンガと位置補正用基準治具の相対向する相対位置のズレ表示手段の具体例を示す要部概略図で(A)はOHT用台車の走行方向のズレ表示手段、(B)はOHT用台車の走行方向と直交する方向のズレ表示手段である。
次にマニュアルコントローラ6を操作することによってハンド部25は、載置台3上に正規の位置にセットされた位置補正用基準治具5のフランジ部5aを所望の状態にて把持する位置に目視によりセッティングすることができる。
マニュアルコントローラ6の操作によりハンド部24を所望の状態に位置合せが完了した時点で、マニュアルコントローラ6を操作して、OHT用台車2のコントローラに位置決め完了信号を送信する。この信号を受けてOHT用台車2は位置合せ後の空間座標位置(Xi,Yi,Zi,θi)を内蔵するコントローラに読み込み、前記記憶した空間座標位置(X0,Y0,Z0,θ0)とから位置補正データ(Xi−X0,Yi−Y0,Zi−Z0,θi−θ0)を計算し、内蔵するコントローラに記憶する。
一方、OHT用台車2の走行方向に対して直交するY方向と中心部の垂直軸に対する回転角θを調整するための位置決め機構22の内部機構について図2を参照して説明する。図2において、22cは歯車で、一対のフィンガ24ca、24cbを備えたハンド部24とともに水平方向の回動が許容されるように設置される。22da、22dbはロッドで、相対向する面に歯車22cと同一ピッチの一連の歯部が形成され、互いに並行に配置されるとともに、各歯部が前記歯車22cに噛合っている。22ea、22ebは、夫々前記ロッド22da、22dbの長手方向の位置を変位制御するためのアクチュエータである。この際、各ロッド22da、22dbが夫々矢印Da、Dbの方向に変位すると。歯車22cが矢印D方向に回転し、ハンド部24の垂直軸方向の角度θを調整できる。また、各ロッド22da、22dbを同一方向に同じ量移動させると、ハンド部24をOHT台車2の走行方向に直交するY方向に移動させることができる。22fは前記懸垂材23の巻取り・繰出し機構である。
前記マーク部材5i、5jによって、作業者による一対のフィンガ24ca、24cbを台車2のハンド部24の制御上の空間座標位置から位置補正用基準治具5のフランジ5aを適正に把持する空間座標位置までの補正値を台車2の制御部に教示することが的確に行える。
これら、けがき線7と、目盛線8とは、一対のフィンガ24ca、24cbが位置補正用基準治具5のフランジ5aを適正に把持する位置にあるとき、けがき線7が目盛線の中心位置に対向するように事前に設定されているものとする。
(1) OHT用台車2がプロセス制御装置又はストッカ等の何れかの載置台3において
軌道上のストップマークを読取り、ストップマーク位置に停止する。この時、OHT用台車2は停止した場所で、今まで記憶していた空間座標位置を特定する各要素をリセットし制御上の空間座標位置(X0,Y0,Z0,θ0)とし、内蔵するコントローラに記憶する。
(2)作業者によるコントローラ6の操作によって、走行制御機能に基づく空間座標要素X、図示しない周知の距離検知手段に基づく空間座標要素Z、図2に示す機構による空間座標要素Y、θを目視による変化にて、一対のフィンガ24ca、24cbを互いに離隔状態を保った状態にて位置補正用基準治具5のフランジ5aを挟む位置まで移行させる。
(3)一対のフィンガ24ca、24cbを近接させて行う把持動作を実施していないこの状態で、空間座標要素X、Y、θを微動変位させる。
(5)更に図5に示すように、位置補正用基準治具5の上面板5eに表示したけがき線7と、一対のフィンガ24ca、24cbに表示した目盛線8の中心位置とが一致するように調整を行う。
(6)この調整後、マニュアルコントローラ6を操作して、OHT用台車2のコントローラに位置合せ完了信号を送信する。この信号を受けてOHT用台車2は位置合せ後の空間座標位置(Xi,Yi,Zi,θi)をOHT用台車2が内蔵するコントローラに読み込む。
(7)前記制御上の空間座標位置(X0,Y0,Z0,θ0)と調整後の空間座標位置(Xi,Yi,Zi,θi)とから補正値(δX、δY、δZ、δθ)を演算し、OHT用台車が内蔵するコントローラに記憶させ教示を終了させる。
ところで、位置補正用基準治具5の構成要素の精度が高く形成されていることに伴い当該位置補正用基準治具5の形状精度は高く、前記補正値(δX、δY、δZ、δθ)は該当OHT台車2、該当載置台3において基準となる精度を有しているため、位置補正用基準治具5に比べて形状精度の劣るウエハ等の搬送において稼動するキャリアであっても、教示データにて一対のフィンガ24ca、24cbがキャリアのフランジ部を的確に把持できる。
24ca、24cb.フィンガ
5.位置補正用基準治具
2a.フランジ
5i、5j.マーク部材
7.けがき線
8.目盛線
Claims (5)
- キャリアのフランジ部を把持し、或いは、当該フランジ部との係合を解くように互いに接近・離隔する一対のフィンガーと、
当該一対のフィンガー並びにその接近・離隔制御部材を昇降可能に吊り下げる機構と、
所定の軌道に沿って走行する機構と、
走行方向と直交する方向、中心部における垂直軸方向並びにその回転方向の変位機構と、
を有する搬送台車、
及び前記キャリアが載置される載置台に対する搬送台車の制御上の位置と所定の位置との偏差値を予め個別に求め、この偏差値を補正値として各搬送台車用のコントローラに記憶させ、各搬送台車毎、各載置台毎に前記補正値を用い、各搬送台車の各載置台へのアクセスの制御手段を具備してなる懸垂式昇降搬送装置において、
前記補正値の計測手段として、形状寸法精度が高い位置補正用基準治具を、前記載置台上の正規の位置に載置し、前記基準治具のフランジ部を前記一対のフィンガーが、所望の状態に把持させたときの搬送台車の空間座標位置と、予め設定した制御上の空間座標位置との差異を補正値として計測することを特徴とする懸垂式昇降搬送装置における搬送台車の教示装置。 - 空間座標位置を決定する要素が搬送台車の走行方向の位置、搬送台車の前記走行方向に直交する方向の位置、台車の中心部における垂直方向の位置、及び台車の中心部における垂直軸に対する回転角からなる4座標値であることを特徴とする請求項1に記載の懸垂式昇降搬送装置における搬送台車の教示装置。
- 前記搬送台車の一対のフィンガーが正規に前記位置補正用基準治具のフランジ部を把持する位置にあって、前記一対のフィンガーを上方より前記位置補正用基準治具の平面上に投影したとき、前記一対のフィンガーの投影形状と一致するマーク形状を、前記位置補正用基準治具の平面上であって、前記一対のフィンガーの底面と対向する面に表示したことを特徴とする請求項1又は2に記載の懸垂式昇降搬送装置における搬送台車の教示装置。
- 前記一対のフィンガーと前記位置補正用基準治具とが相対向する面同士の相対位置のずれ表示手段を備えた請求項1乃至3のいずれかに記載の懸垂式昇降搬送装置における搬送台車の教示装置。
- 相対位置のずれ表示手段が搬送台車の走行方向及びこれと直交する方向の少なくとも一方に沿って位置する適所において、一対のフィンガーと、位置補正用基準治具とが一方にはけがき線を、他方には当該けがき線の位置を確認する目盛線を表示してなることを特徴とする請求項4に記載の懸垂式昇降搬送装置における搬送台車の教示装置。
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Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008056450A (ja) * | 2006-09-01 | 2008-03-13 | Asyst Technologies Japan Inc | 被搬送物保管システム |
JP2008177340A (ja) * | 2007-01-18 | 2008-07-31 | Asyst Technologies Japan Inc | 天井走行搬送装置 |
JP2009035403A (ja) * | 2007-08-03 | 2009-02-19 | Asyst Technologies Japan Inc | 搬送システム、及び該搬送システムにおける教示方法 |
US7762754B2 (en) | 2006-12-28 | 2010-07-27 | Muratec Automation Co., Ltd. | Storage apparatus for transported object |
EP2305594A1 (en) * | 2008-07-23 | 2011-04-06 | Daifuku Co., Ltd. | Learning device and learning method in article conveyance facility |
JP2011131300A (ja) * | 2009-12-22 | 2011-07-07 | Canon Inc | ロボットシステム、その制御装置及び方法 |
KR20180119967A (ko) * | 2017-04-26 | 2018-11-05 | 세메스 주식회사 | 호이스트 모듈의 티칭 방법 및 이를 수행하기 위한 장치 |
KR20190011979A (ko) * | 2017-07-26 | 2019-02-08 | 세메스 주식회사 | 호이스트 모듈의 티칭 방법 및 이를 수행하기 위한 장치 |
CN113998403A (zh) * | 2020-07-28 | 2022-02-01 | 长鑫存储技术有限公司 | 转运系统及转运方法 |
KR20220155516A (ko) * | 2021-05-14 | 2022-11-23 | 주식회사 에스에프에이 | 반송 시스템, 반송차 교시장치 및 반송차 교시방법 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08222620A (ja) * | 1995-02-10 | 1996-08-30 | Kokusai Electric Co Ltd | ウェーハ自動移載機の自動ティーチング方法 |
JPH08245167A (ja) * | 1995-03-10 | 1996-09-24 | Nippon Sanso Kk | 超低温液化ガス容器の吊上げ装置 |
JPH11111797A (ja) * | 1997-10-06 | 1999-04-23 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置および基板処理装置の組み立て方法 |
JPH11322265A (ja) * | 1998-05-19 | 1999-11-24 | Shinko Electric Co Ltd | 懸垂式昇降装置 |
JPH11349280A (ja) * | 1998-06-05 | 1999-12-21 | Shinko Electric Co Ltd | 懸垂式搬送装置 |
JP2001071288A (ja) * | 1999-09-06 | 2001-03-21 | Murata Mach Ltd | 搬送システムのティーチング方法とその装置 |
JP2003192269A (ja) * | 2001-10-19 | 2003-07-09 | Daifuku Co Ltd | 吊下搬送設備とその学習装置 |
-
2004
- 2004-08-31 JP JP2004252032A patent/JP4543833B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08222620A (ja) * | 1995-02-10 | 1996-08-30 | Kokusai Electric Co Ltd | ウェーハ自動移載機の自動ティーチング方法 |
JPH08245167A (ja) * | 1995-03-10 | 1996-09-24 | Nippon Sanso Kk | 超低温液化ガス容器の吊上げ装置 |
JPH11111797A (ja) * | 1997-10-06 | 1999-04-23 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置および基板処理装置の組み立て方法 |
JPH11322265A (ja) * | 1998-05-19 | 1999-11-24 | Shinko Electric Co Ltd | 懸垂式昇降装置 |
JPH11349280A (ja) * | 1998-06-05 | 1999-12-21 | Shinko Electric Co Ltd | 懸垂式搬送装置 |
JP2001071288A (ja) * | 1999-09-06 | 2001-03-21 | Murata Mach Ltd | 搬送システムのティーチング方法とその装置 |
JP2003192269A (ja) * | 2001-10-19 | 2003-07-09 | Daifuku Co Ltd | 吊下搬送設備とその学習装置 |
Cited By (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008056450A (ja) * | 2006-09-01 | 2008-03-13 | Asyst Technologies Japan Inc | 被搬送物保管システム |
US7762754B2 (en) | 2006-12-28 | 2010-07-27 | Muratec Automation Co., Ltd. | Storage apparatus for transported object |
JP4730311B2 (ja) * | 2007-01-18 | 2011-07-20 | ムラテックオートメーション株式会社 | 天井走行搬送装置 |
JP2008177340A (ja) * | 2007-01-18 | 2008-07-31 | Asyst Technologies Japan Inc | 天井走行搬送装置 |
JP2009035403A (ja) * | 2007-08-03 | 2009-02-19 | Asyst Technologies Japan Inc | 搬送システム、及び該搬送システムにおける教示方法 |
US8632295B2 (en) | 2007-08-03 | 2014-01-21 | Murata Machinery, Ltd. | Transporting system, and teaching method in the transporting system |
EP2305594A1 (en) * | 2008-07-23 | 2011-04-06 | Daifuku Co., Ltd. | Learning device and learning method in article conveyance facility |
EP2305594A4 (en) * | 2008-07-23 | 2013-07-03 | Daifuku Kk | LEARNING DEVICE AND LEARNING METHOD IN ARTICLE TRANSPORT DEVICE |
JP2011131300A (ja) * | 2009-12-22 | 2011-07-07 | Canon Inc | ロボットシステム、その制御装置及び方法 |
KR20180119967A (ko) * | 2017-04-26 | 2018-11-05 | 세메스 주식회사 | 호이스트 모듈의 티칭 방법 및 이를 수행하기 위한 장치 |
KR102307849B1 (ko) | 2017-04-26 | 2021-10-01 | 세메스 주식회사 | 호이스트 모듈의 티칭 방법 및 이를 수행하기 위한 장치 |
KR20190011979A (ko) * | 2017-07-26 | 2019-02-08 | 세메스 주식회사 | 호이스트 모듈의 티칭 방법 및 이를 수행하기 위한 장치 |
KR102220336B1 (ko) | 2017-07-26 | 2021-02-25 | 세메스 주식회사 | 호이스트 모듈의 티칭 방법 및 이를 수행하기 위한 장치 |
CN113998403A (zh) * | 2020-07-28 | 2022-02-01 | 长鑫存储技术有限公司 | 转运系统及转运方法 |
KR20220155516A (ko) * | 2021-05-14 | 2022-11-23 | 주식회사 에스에프에이 | 반송 시스템, 반송차 교시장치 및 반송차 교시방법 |
KR102492162B1 (ko) * | 2021-05-14 | 2023-01-27 | 주식회사 에스에프에이 | 반송 시스템, 반송차 교시장치 및 반송차 교시방법 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4543833B2 (ja) | 2010-09-15 |
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