JPH08222620A - ウェーハ自動移載機の自動ティーチング方法 - Google Patents
ウェーハ自動移載機の自動ティーチング方法Info
- Publication number
- JPH08222620A JPH08222620A JP2242395A JP2242395A JPH08222620A JP H08222620 A JPH08222620 A JP H08222620A JP 2242395 A JP2242395 A JP 2242395A JP 2242395 A JP2242395 A JP 2242395A JP H08222620 A JPH08222620 A JP H08222620A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- automatic
- cassette
- boat
- reference wafer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 作業者によるティーチング作業を自動化する
ことができるウェーハ自動移載機の自動ティーチング方
法を提供する。 【構成】 カセット１とボート２との間でウェーハ３を
ウェーハ自動移載機４により移載する方法において、カ
セット１及びボート２に載置されている基準ウェーハ３
Ａの位置をセンサ５及びセンサ７により検出し、そのオ
ン・オフのタイミングとエンコーダより出力するデータ
から基準ウェーハ３Ａ及び該基準ウェーハを保持して移
載するツィーザ６の座標を計測し、前データとのシフト
量を自動補正することにより自動ティーチングすること
を特徴とする。
ことができるウェーハ自動移載機の自動ティーチング方
法を提供する。 【構成】 カセット１とボート２との間でウェーハ３を
ウェーハ自動移載機４により移載する方法において、カ
セット１及びボート２に載置されている基準ウェーハ３
Ａの位置をセンサ５及びセンサ７により検出し、そのオ
ン・オフのタイミングとエンコーダより出力するデータ
から基準ウェーハ３Ａ及び該基準ウェーハを保持して移
載するツィーザ６の座標を計測し、前データとのシフト
量を自動補正することにより自動ティーチングすること
を特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造装置や基板
処理装置のウェーハ自動移載機に係り、特にその自動テ
ィーチング方法に関するものである。
処理装置のウェーハ自動移載機に係り、特にその自動テ
ィーチング方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来は、図２を参照して説明すると、反
応室（処理室）内に搬入されて，載置されているウェー
ハ（基板）の成膜，熱処理に供する処理用治具（石英ボ
ート）とカセットとの間でウェーハをウェーハ自動移載
機により移載する場合、目視による移載機ロボットティ
ーチングによりウェーハ移載を行っている。
応室（処理室）内に搬入されて，載置されているウェー
ハ（基板）の成膜，熱処理に供する処理用治具（石英ボ
ート）とカセットとの間でウェーハをウェーハ自動移載
機により移載する場合、目視による移載機ロボットティ
ーチングによりウェーハ移載を行っている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記従来例にあって
は、ウェーハ移載を目視によるロボットティーチングに
より行っていたため作業者の教育や人手が必要であっ
た。またウェーハをカセットから処理用治具に自動にて
移し替える場合、カセットの精度や治具精度にバラツキ
があるため、治具交換の際にティーチング作業を行い、
ウェーハが治具に接触することなく自動搬送が行えるよ
う位置確認及び調整せねばならない。
は、ウェーハ移載を目視によるロボットティーチングに
より行っていたため作業者の教育や人手が必要であっ
た。またウェーハをカセットから処理用治具に自動にて
移し替える場合、カセットの精度や治具精度にバラツキ
があるため、治具交換の際にティーチング作業を行い、
ウェーハが治具に接触することなく自動搬送が行えるよ
う位置確認及び調整せねばならない。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記従来の課
題である作業者によるティーチング作業を自動化するこ
とができるウェーハ自動移載機の自動ティーチング方法
を提供しようとするものである。即ち、本発明方法は、
カセット１とボート２との間でウェーハ３をウェーハ自
動移載機４により移載する方法において、カセット１及
びボート２に載置されている基準ウェーハ３Ａの位置を
センサ５により検出し、そのオン・オフのタイミングと
エンコーダより出力するデータから基準ウェーハ３Ａ及
び該基準ウェーハを保持して移載するツィーザ６の座標
を計測し、前データとのシフト量を自動補正することに
より自動ティーチングすることを特徴とする。
題である作業者によるティーチング作業を自動化するこ
とができるウェーハ自動移載機の自動ティーチング方法
を提供しようとするものである。即ち、本発明方法は、
カセット１とボート２との間でウェーハ３をウェーハ自
動移載機４により移載する方法において、カセット１及
びボート２に載置されている基準ウェーハ３Ａの位置を
センサ５により検出し、そのオン・オフのタイミングと
エンコーダより出力するデータから基準ウェーハ３Ａ及
び該基準ウェーハを保持して移載するツィーザ６の座標
を計測し、前データとのシフト量を自動補正することに
より自動ティーチングすることを特徴とする。
【０００５】
【作 用】上記の構成においてカセット１とボート２に
載置されている基準ウェーハの位置がセンサ５により検
出され、このセンサ５のオン・オフのタイミングとエン
コーダより出力する前データ値から基準ウェーハの座標
及びこれを保持して移載するツィーザ６の座標が計測さ
れ、前データとのシフト量が自動補正されて自動ティー
チングされることになる。
載置されている基準ウェーハの位置がセンサ５により検
出され、このセンサ５のオン・オフのタイミングとエン
コーダより出力する前データ値から基準ウェーハの座標
及びこれを保持して移載するツィーザ６の座標が計測さ
れ、前データとのシフト量が自動補正されて自動ティー
チングされることになる。
【０００６】
【実施例】図１は本発明方法の１実施例の説明図、図２
は本発明方法を実施するウェーハ自動移載機の動作説明
用正面図、図３は同じくその平面図である。図２，図３
において１はカセット、２はボート、８はボートエレベ
ータ、４はウェーハ自動移載機、９は移載機エレベー
タ、１０はクリーンユニットである。本発明方法は、石
英ボート２の形状変化に伴う、ティーチング作業を自動
化するためのものである。従って、基準となるカセット
ステージ、移載機、ボートステージのレベル及び直線性
はあらかじめ、工場組立時に規格内に調整される。本実
施方法の要旨は、カセットステージの最上段に設けられ
たスポットセンサ５によりツィーザ６及び基準ウェーハ
３Ａの位置を検出し、該スポットセンサ５のオン・オフ
のタイミングとエンコーダの出力パルス値を突合せ、ツ
ィーザ６及び基準ウェーハ３ＡのＸ，Ｙ座標を計測し、
かつＺ座標はウェーハ自動移載機４の最先端に設けられ
た吸着センサ７のオン・オフのタイミングとエンコーダ
の出力パルス値を突合せることにより計測し、前データ
とのシフト量を自動補正することにより自動ティーチン
グする。
は本発明方法を実施するウェーハ自動移載機の動作説明
用正面図、図３は同じくその平面図である。図２，図３
において１はカセット、２はボート、８はボートエレベ
ータ、４はウェーハ自動移載機、９は移載機エレベー
タ、１０はクリーンユニットである。本発明方法は、石
英ボート２の形状変化に伴う、ティーチング作業を自動
化するためのものである。従って、基準となるカセット
ステージ、移載機、ボートステージのレベル及び直線性
はあらかじめ、工場組立時に規格内に調整される。本実
施方法の要旨は、カセットステージの最上段に設けられ
たスポットセンサ５によりツィーザ６及び基準ウェーハ
３Ａの位置を検出し、該スポットセンサ５のオン・オフ
のタイミングとエンコーダの出力パルス値を突合せ、ツ
ィーザ６及び基準ウェーハ３ＡのＸ，Ｙ座標を計測し、
かつＺ座標はウェーハ自動移載機４の最先端に設けられ
た吸着センサ７のオン・オフのタイミングとエンコーダ
の出力パルス値を突合せることにより計測し、前データ
とのシフト量を自動補正することにより自動ティーチン
グする。
【０００７】本実施方法を更に具体的に詳細に記述する
と、作業者はカセット１とボート２の最上下溝に基準ウ
ェーハ３Ａをセットし、カセットステージにカセット１
をチャージする。 まず、カセットステージの最上段位置に設けられてい
るスポットセンサ５によりツィーザ６の位置を検出し、
該センサ５のオン・オフのタイミングとＸ，Ｙエンコー
ダの出力パルス値からツィーザ６のＸ，Ｙ座標及び中心
座標を計測する（図１（Ａ）参照）。 次にカセット１の最上段溝内基準ウェーハ３Ａをツィ
ーザ６により吸着することによりＺ方向にずれがないこ
とを確認する。その後、基準ウェーハ３Ａをカセット１
から取出し、基準ウェーハ３ＡのＸ，Ｙ座標をスポット
センサ５とＸ，Ｙエンコーダにより上記と同様に計測し
（図１（Ｂ），（Ｄ）参照）、基準ウェーハ３Ａの中心
及びＸ送り込み量を計算する。基準ウェーハ３Ａの中心
とツィーザ６の中心はほぼ同一となる。中心ずれが許容
値を遙かに超えた場合は、カセット１に変形があるた
め、自動ティーチングを中止し、作業者に知らせる。 しかる後、カセット１の最下段内基準ウェーハ３Ａに
ついても同様にＸ，Ｙ座標を計測し、その中心及びＸ送
り込み量を計測する。カセットによほどの変形がないか
ぎり、本動作は行わなくてもよい。
と、作業者はカセット１とボート２の最上下溝に基準ウ
ェーハ３Ａをセットし、カセットステージにカセット１
をチャージする。 まず、カセットステージの最上段位置に設けられてい
るスポットセンサ５によりツィーザ６の位置を検出し、
該センサ５のオン・オフのタイミングとＸ，Ｙエンコー
ダの出力パルス値からツィーザ６のＸ，Ｙ座標及び中心
座標を計測する（図１（Ａ）参照）。 次にカセット１の最上段溝内基準ウェーハ３Ａをツィ
ーザ６により吸着することによりＺ方向にずれがないこ
とを確認する。その後、基準ウェーハ３Ａをカセット１
から取出し、基準ウェーハ３ＡのＸ，Ｙ座標をスポット
センサ５とＸ，Ｙエンコーダにより上記と同様に計測し
（図１（Ｂ），（Ｄ）参照）、基準ウェーハ３Ａの中心
及びＸ送り込み量を計算する。基準ウェーハ３Ａの中心
とツィーザ６の中心はほぼ同一となる。中心ずれが許容
値を遙かに超えた場合は、カセット１に変形があるた
め、自動ティーチングを中止し、作業者に知らせる。 しかる後、カセット１の最下段内基準ウェーハ３Ａに
ついても同様にＸ，Ｙ座標を計測し、その中心及びＸ送
り込み量を計測する。カセットによほどの変形がないか
ぎり、本動作は行わなくてもよい。
【０００８】ボート２の最上段溝内基準ウェーハ３Ａ
を上記に記したカセットの溝内基準ウェーハの場合と
同等に吸着し、Ｚ方向のずれを吸着センサ７とエンコー
ダにより上記と同様に計測した後、スポットセンサ５に
よりツィーザ６の基準ウェーハ３ＡのＸ，Ｙ座標を計測
し（図１（Ｃ），（Ｅ）参照）、上記で求めた座標と
のシフト量を算出する（図１（Ｃ），（Ｅ）参照）。 ボート２の最上段溝に基準ウェーハ３Ａを戻した後、
シフト量補正を行い、再度スポットセンサ５により確認
する。 ボート２の最下段溝内基準ウェーハ３Ａについても同
様に行い、最上下段溝内基準ウェーハ３ＡのＸ，Ｙ座標
と、ボート２の溝内ウェーハ３のＸ，Ｙ座標が同一とな
るようシフト量を自動補正し、データ交換を行って作業
を完了する。ボート２の上下溝内ウェーハ３のＸ座標シ
フトについては、シフト量を溝数で割った量を補正可能
とする。ボート２の上下溝内ウェーハのＹ座標シフトに
ついては、許容限界値を越えた場合、“ボート不良”と
して中止する。しかしながら作業者がウェーハ上下のＹ
方向を個々に補正し（右傾斜の場合、最下段ウェーハを
右詰め、最上段ウェーハを左詰めにする。左傾斜の場合
はその逆）、再計測した結果、許容値を満たすものであ
れば完了とする。
を上記に記したカセットの溝内基準ウェーハの場合と
同等に吸着し、Ｚ方向のずれを吸着センサ７とエンコー
ダにより上記と同様に計測した後、スポットセンサ５に
よりツィーザ６の基準ウェーハ３ＡのＸ，Ｙ座標を計測
し（図１（Ｃ），（Ｅ）参照）、上記で求めた座標と
のシフト量を算出する（図１（Ｃ），（Ｅ）参照）。 ボート２の最上段溝に基準ウェーハ３Ａを戻した後、
シフト量補正を行い、再度スポットセンサ５により確認
する。 ボート２の最下段溝内基準ウェーハ３Ａについても同
様に行い、最上下段溝内基準ウェーハ３ＡのＸ，Ｙ座標
と、ボート２の溝内ウェーハ３のＸ，Ｙ座標が同一とな
るようシフト量を自動補正し、データ交換を行って作業
を完了する。ボート２の上下溝内ウェーハ３のＸ座標シ
フトについては、シフト量を溝数で割った量を補正可能
とする。ボート２の上下溝内ウェーハのＹ座標シフトに
ついては、許容限界値を越えた場合、“ボート不良”と
して中止する。しかしながら作業者がウェーハ上下のＹ
方向を個々に補正し（右傾斜の場合、最下段ウェーハを
右詰め、最上段ウェーハを左詰めにする。左傾斜の場合
はその逆）、再計測した結果、許容値を満たすものであ
れば完了とする。
【０００９】
【発明の効果】本発明方法を実施することにより、従来
の作業者によるロボットティーチング作業を自動化する
ことが可能となり、メンテナンスに必要な人件費や作業
ミスによる損害，ロボット取扱いによる危険性等を回避
することができる。
の作業者によるロボットティーチング作業を自動化する
ことが可能となり、メンテナンスに必要な人件費や作業
ミスによる損害，ロボット取扱いによる危険性等を回避
することができる。
【図１】本発明方法の１実施例の説明図である。
【図２】本発明方法を実施するウェーハ自動移載機の動
作説明用正面図である。
作説明用正面図である。
【図３】同じくその平面図である。
１ カセット ２ ボート ３ ウェーハ ３Ａ 基準ウェーハ ４ ウェーハ自動移載機 ５ 第１（スポット）センサ ６ ツィーザ ７ 第２（吸着）センサ ８ ボートエレベータ ９ 移載機エレベータ １０ クリーンユニット
Claims (2)
- 【請求項１】 カセットとボートとの間でウェーハをウ
ェーハ自動移載機により移載する方法において、カセッ
ト及びボートに載置されている基準ウェーハの位置をセ
ンサにより検出し、そのオン・オフのタイミングとエン
コーダより出力するデータから基準ウェーハ及び該基準
ウェーハを保持して移載するツィーザの座標を計測し、
前データとのシフト量を自動補正することにより自動テ
ィーチングすることを特徴とするウェーハ自動移載機の
自動ティーチング方法。 - 【請求項２】 カセットステージの最上段位置に設けら
れている第１センサによりツィーザの位置を検出し、そ
のＸ，Ｙ座標及び中心位置座標を該第１センサのオン・
オフのタイミングとエンコーダの出力パルス値から計測
し、カセット内の基準ウェーハをツィーザで保持して取
出し、該基準ウェーハの位置を第１センサにより検出
し、そのＸ，Ｙ座標を上記と同様に計測してＸ方向送り
込み量を計算し、しかる後、ボート内の基準ウェーハに
ついても同様に計測し、ツィーザによる基準ウェーハの
保持のタイミングをウェーハ自動移載機の最上端に設置
されている第２センサにより検出し、そのＺ座標を該第
２センサのオン・オフのタイミングとエンコーダの出力
パルス値から計測し、Ｚ方向のずれを計算してから、
Ｘ，Ｙ，Ｚ座標と前データとのシフト量を算出し、基準
ウェーハをボート内に戻した後、シフト量を自動補正す
ることを特徴とする請求項１のウェーハ自動移載機の自
動ティーチング方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2242395A JPH08222620A (ja) | 1995-02-10 | 1995-02-10 | ウェーハ自動移載機の自動ティーチング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2242395A JPH08222620A (ja) | 1995-02-10 | 1995-02-10 | ウェーハ自動移載機の自動ティーチング方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08222620A true JPH08222620A (ja) | 1996-08-30 |
Family
ID=12082281
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2242395A Pending JPH08222620A (ja) | 1995-02-10 | 1995-02-10 | ウェーハ自動移載機の自動ティーチング方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08222620A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5981966A (en) * | 1997-02-20 | 1999-11-09 | Tokyo Electron Limited | Auto-teaching method in semiconductor processing system |
| JP2006069687A (ja) * | 2004-08-31 | 2006-03-16 | Asyst Shinko Inc | 懸垂式昇降搬送装置における搬送台車の教示装置 |
| JP2014072263A (ja) * | 2012-09-28 | 2014-04-21 | Hitachi High-Technologies Corp | 試料搬送装置のティーチング方法 |
| CN116190294A (zh) * | 2023-04-24 | 2023-05-30 | 上海果纳半导体技术有限公司 | 一种天车示教装置和示教方法 |
-
1995
- 1995-02-10 JP JP2242395A patent/JPH08222620A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5981966A (en) * | 1997-02-20 | 1999-11-09 | Tokyo Electron Limited | Auto-teaching method in semiconductor processing system |
| KR100501616B1 (ko) * | 1997-02-20 | 2005-09-26 | 동경 엘렉트론 주식회사 | 반도체처리시스템에서의자동티칭방법과자동티칭용검출장치및자동티칭이가능한종형열처리시스템 |
| JP2006069687A (ja) * | 2004-08-31 | 2006-03-16 | Asyst Shinko Inc | 懸垂式昇降搬送装置における搬送台車の教示装置 |
| JP4543833B2 (ja) * | 2004-08-31 | 2010-09-15 | ムラテックオートメーション株式会社 | 懸垂式昇降搬送装置における搬送台車の教示装置 |
| JP2014072263A (ja) * | 2012-09-28 | 2014-04-21 | Hitachi High-Technologies Corp | 試料搬送装置のティーチング方法 |
| CN116190294A (zh) * | 2023-04-24 | 2023-05-30 | 上海果纳半导体技术有限公司 | 一种天车示教装置和示教方法 |
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