KR20200115149A - 로드 포트 - Google Patents

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Abstract

[과제] 비교적 컴팩트한 기구로, 도크 플레이트를 이동 가능하게 하고, 설치 환경 등에 좌우되지 않는 로드 포트의 제공한다.
[해결수단] 도크 플레이트를 이동하는 캠 기구를 구비한다. 상기 캠 기구는, 구동 기구와 캠 홈이 형성된 캠 플레이트를 포함한다. 상기 구동 기구는, 회전 구동 유닛, 이 회전 구동 유닛에 의해 회전되는 회전 샤프트, 이 회전 샤프트에 고정되어, 이 회전 샤프트를 회전 중심으로 하여 회전하는 장편상(長片狀)의 회전 부재 및 상기 회전 부재에 설치된 제1 캠 팔로워 및 제2 캠 팔로워를 포함한다. 상기 캠 홈은, 상기 제1 캠 팔로워와 걸어맞춤하는 제1 캠 홈과, 상기 도크 플레이트의 이동 방향에서 상기 제1 캠 홈과 다른 위치에 형성되어, 상기 제2 캠 팔로워와 걸어맞춤하는 제2 캠 홈을 포함한다.

Description

로드 포트{LOAD PORT}
본 발명은 로드 포트에 관한 것이다.
반도체 웨이퍼 등의 기판을 수용하는 FOUP 등의 용기가 알려져 있다. 이러한 용기는, 기판 반송 장치에 구비된 로드 포트에서 개폐되며, 내부의 기판의 출입이 이루어진다. 로드 포트에는 용기가 놓이는 도크 플레이트와 도크 플레이트를 이동하는 기구가 설치되어 있다. 도크 플레이트는, 용기의 주고받음을 행하는 위치와 용기의 개폐를 행하는 위치의 사이에서 이동된다(특허문헌 1 및 2). 특허문헌 1에는, 실린더를 이용한 기구가 개시되어 있다.
특허문헌 1: 일본공개특허 2018-6705호 공보 특허문헌 2: 일본특허 제6038476호 공보 특허문헌 3: 일본특허 제4526535호 공보
특허문헌 1과 같이 실린더를 이용한 기구에서는, 도크 플레이트의 이동 거리에 비례하여, 길이가 긴 실린더가 필요해지고, 이동 기구가 대형화되는 경향이 있다. 이동 기구의 소형화가 요구되고 있다.
본 발명의 목적은, 비교적 컴팩트한 기구로, 도크 플레이트를 이동 가능하게 하고, 용기 창고(스토커), 천장 반송 장치(OHT: Overhead Hoist Transport) 등의 설치 환경이나 운용 상황에 좌우되지 않고 설치, 사용할 수 있는 로드 포트를 제공하는 것에 있다.
본 발명에 의하면, 기판의 출입이 가능한 개구부를 갖는 포트 플레이트와, 상기 기판이 수용되는 용기가 놓이는 받침대를 구비한 로드 포트로서, 상기 받침대는, 베이스부와, 상기 용기가 놓이는 도크 플레이트와, 상기 베이스부와 상기 도크 플레이트의 사이에 설치되어, 상기 도크 플레이트를 상기 포트 플레이트 측의 제1 위치와, 상기 포트 플레이트로부터 이간된 제2 위치의 사이에서 이동 가능하게 지지하는 지지 유닛과, 상기 도크 플레이트를 상기 베이스부에 대해 상기 제1 위치와 상기 제2 위치의 사이에서 이동시키는 캠 기구를 구비하며, 상기 지지 유닛은, 상기 도크 플레이트가 탑재되어, 상기 도크 플레이트와 함께 이동하는 슬라이더를 포함하고, 상기 캠 기구는, 상기 베이스부에 설치된 구동 기구와, 상기 슬라이더에 연결되며, 캠 홈이 형성된 캠 플레이트를 포함하며, 상기 구동 기구는, 회전 구동 유닛과, 이 회전 구동 유닛에 의해 회전되는 회전 샤프트와, 이 회전 샤프트에 고정되어, 이 회전 샤프트를 회전 중심으로 하여 회전하는 장편상(長片狀)의 회전 부재와, 상기 회전 부재에 설치된 제1 캠 팔로워 및 제2 캠 팔로워를 포함하고, 상기 캠 홈은, 상기 제1 캠 팔로워와 걸어맞춤하는 제1 캠 홈과, 상기 도크 플레이트의 이동 방향에서 상기 제1 캠 홈과 다른 위치에 형성되어, 상기 제2 캠 팔로워와 걸어맞춤하는 제2 캠 홈을 포함하는 것을 특징으로 하는 로드 포트가 제공된다.
본 발명에 의하면, 비교적 컴팩트한 기구로, 도크 플레이트를 이동 가능하게 하고, 용기 창고(스토커), 천장 반송 장치(OHT) 등의 설치 환경이나 운용 상황에 좌우되지 않고 설치, 사용할 수 있는 로드 포트를 제공할 수 있다.
도 1은, 본 발명의 일 실시형태에 관한 로드 포트의 외관도이다.
도 2는, 도 1의 로드 포트의 내부 기구 및 사용예를 나타내는 도면이다.
도 3의 (A) 내지 (D)는, 도크 플레이트의 변위 형태를 나타내는 도면이다.
도 4는, 도크 플레이트의 이동 기구의 설명도이다.
도 5는, 도크 플레이트의 이동 기구의 설명도이다.
도 6은, 도크 플레이트의 이동 기구의 설명도이다.
도 7은, 도크 플레이트의 이동 기구의 설명도이다.
도 8의 (A) 및 (B)는, 도크 플레이트의 이동 기구의 설명도이다.
도 9의 (A)는 캠 플레이트의 사시도, (B)는 구동 기구 및 검지 유닛의 사시도이다.
도 10의 (A) 내지 (C)는, 캠 기구의 동작 설명도이다.
도 11의 (A) 내지 (C)는, 캠 기구의 동작 설명도이다.
도 12의 (A) 내지 (C)는, 캠 기구의 동작 설명도이다.
도 13의 (A) 및 (B)는, 제어부의 처리예를 나타내는 흐름도이다.
도 14는, 센서의 이동 기구의 예를 나타내는 도면이다.
이하, 첨부 도면을 참조하여 실시형태를 상세하게 설명한다. 또, 이하의 실시형태는 청구범위에 관한 발명을 한정하는 것이 아니며, 또한 실시형태에서 설명되어 있는 특징의 조합 모두가 발명에 필수적인 것으로 한정되지는 않는다. 실시형태에서 설명되어 있는 복수의 특징 중 2가지 이상의 특징이 임의로 조합되어도 된다. 또한, 동일 혹은 마찬가지의 구성에는 동일한 참조 번호를 부여하고, 중복된 설명은 생략한다.
<제1 실시형태>
<장치의 개요>
도 1은 본 발명의 일 실시형태에 관한 로드 포트(1)의 외관도이다. 도 2는 로드 포트(1)의 내부 기구 및 사용예를 나타내는 도면이다. 각 도면에서 화살표 X 및 Y는 서로 직교하는 수평 방향을 나타내고, 화살표 Z는 상하 방향을 나타낸다. 또한, X방향 중, PP는 포트 플레이트(2) 측을 나타내고 있다. 이들 화살표의 의미는 다른 도면에서도 마찬가지이다.
로드 포트(1)는, FOUP 등의 용기(5)를 개폐하는 장치이다. 용기(5)는, 반도체 웨이퍼 등의 기판(W)이 출입하는 개구부(50a)를 측부에 갖는 상자형의 용기 본체(50)와, 개구부(50a)에 착탈이 자유롭게 장착되며, 개구부(50a)를 막는 덮개(도어)(51)를 가진다. 또, 도 2는, 로드 포트(1)에 의해 덮개(51)를 분리하고, 용기(5) 내의 기판(W)에 기판 반송 로봇(6)이 액세스 가능한 상태(개방 상태)를 나타내고 있다.
로드 포트(1)는, 포트 플레이트(2)와, 용기(5)가 놓이는 받침대(3)와, 받침대(3)를 지지하는 지지부(4)를 포함한다. 포트 플레이트(2)는 Z방향으로 연장되는 판상체이다. 포트 플레이트(2)는, 분리된 덮개(51)가 X방향으로 통과 가능한 개구부(2a)를 포함한다. 로드 포트(1)는, 기판(W)의 반송을 행하는 기판 반송 로봇(6)을 내부에 갖는 기판 반송 장치(PA)에 적어도 1대 장착된다. 기판 반송 로봇(6)은 로드 포트(1) 상의 용기(5)에 대해, 기판(W)의 반출 및 반입을 행한다. 기판 반송 로봇(6)은, 기판(W)을 보유지지하는 엔드 이펙터(60)와, 엔드 이펙터(60)를 적어도 진퇴 이동이 자유롭게 보유지지하는 다관절 아암(61)과, 다관절 아암(61)의 진퇴 이동, 선회 및 승강을 행하는 구동 유닛(62)을 포함한다. 전술한 개방 상태에 있을 때, 기판 반송 로봇(6)을 기판 반송 장치(PA)와 연통하는 용기 본체(50)의 내부에 진입시킴으로써, 기판(W)의 반출 및 반입이 행해진다.
받침대(3)는, 용기(5)가 놓이는 도크 플레이트(30)를 구비한다. 도크 플레이트(30)에는, 용기(5)를 위치 결정하면서 지지하는 복수의 위치결정 핀(31)이나, 용기(5)의 재석(在席)을 검지하기 위한 복수의 검지 핀(재석 센서)(32)이 설치되어 있다. 받침대(3)에는, 도크 플레이트(30)를 X방향으로 변위시키는 구동 기구(34)가 내장되어 있다. 또한, 받침대(3)의 전면(前面)에는 조작 패널(33)이 설치되어 있다. 작업자는 조작 패널(33)을 통해, 로드 포트(1)의 설정이나 동작 지시를 행할 수 있다.
지지부(4)는 직육면체 형상의 중공체이다. 지지부(4)는, 덮개(51)를 보유지지하는 포트 도어(41)를, 덮개(51)가 개구부(50a)를 막는 폐쇄 위치, 덮개(51)가 개구부(2a)를 빠져나가 후퇴한 후퇴 위치, 및 덮개(51)가 개구부(2a)의 하연(下椽)보다 하방으로 퇴피한 개방 위치(도 2의 개방 상태의 위치)의 사이에서 이동시키는 기구(40)를 구비한다. 포트 도어(41)는 예를 들어 흡착 기구를 구비하고, 이에 의해 포트 도어(41)는 덮개(51)를 흡착 보유지지할 수 있다. 또한, 포트 도어(41)에는 덮개(51)가 구비하는 잠금 기구의 개폐를 조작하는 조작 기구(래치 키)가 설치되고, 이에 의해 용기 본체(50)와 덮개(51)의 분리, 장착이 가능하다.
포트 도어(41)는 Z방향으로 연장되는 연결 부재(42)에 지지되어 있다. 연결 부재(42)는, 스테이지 부재(43)에 X방향으로 슬라이딩이 자유롭게 지지되어 있고, 볼 나사나 전동 실린더 등의 액추에이터(44)에 의해 X방향으로 이동된다. 또한, 스테이지 부재(43)에는, 상하 방향으로 연장되는 볼 나사축(45)과 걸어맞춤하는 볼 너트(48)가 고정되어 있다. 볼 나사축(45)을 모터(47)로 회전시킴으로써, 포트 도어(41), 연결 부재(42) 및 스테이지 부재(43)가 일체적으로 승강한다.
이상의 구성에 의해, 포트 도어(41)를 X방향과 Z방향으로 이동시킬 수 있고, 이에 의해 덮개(51)는, 폐쇄 위치, 후퇴 위치, 및 개방 위치의 사이에서 이동된다. 또, 포트 도어(41)를 이동시키는 기구는 이에 한정되지 않고, 다양한 기구를 채용 가능하다.
로드 포트(1)에는, 제어부(1a)가 설치되어 있다. 제어부(1a)는, 예를 들어, CPU로 대표되는 처리부, RAM, ROM 등의 기억부, 외부 디바이스와 처리부의 사이의 입출력 인터페이스, 통신 회선(1b)을 통해 호스트 컴퓨터 등의 컴퓨터나 주변 장치(기판 반송 장치(PA), 기판 반송 로봇(6) 등)와의 통신을 행하는 통신 인터페이스를 포함한다. 구동 기구(34), 액추에이터(44), 모터(47)는 제어부(1a)에 의해 제어되고, 또한, 작업자의 조작 패널(33)을 통한 조작이 제어부(1a)에서 인식된다.
<도크 플레이트의 변위 형태>
도 3의 (A)~도 3의 (D)는, 도크 플레이트(30)의 변위 형태를 나타내는 도면으로, 로드 포트(1)의 평면도이다. 본 실시형태에서는, 구동 기구(34)에 의해, 도크 플레이트(30)의 X방향의 이동과, Z방향의 축을 따른 회전이 가능하다.
도 3의 (A)는 도크 플레이트(30)가 포트 플레이트(2)에 대해 X방향(PP) 측에 가장 근접한 위치(이하, 도크 위치라고도 함)에 있는 상태를 나타내고 있다. 용기(5)의 개폐는 이 도크 위치에서 행한다. 도 3의 (B)는 도크 플레이트(30)가 포트 플레이트(2)로부터 가장 이간된 위치(이하, 주고받음 위치라고도 함)에 있는 상태를 나타내고 있다. 작업자가 도크 플레이트(30) 상에 수작업으로 용기(5)를 놓는 경우, 혹은, 놓여 있는 용기(5)를 수작업으로 반출하는 경우에는, 이 주고받음 위치에서 행한다. 또한, 복수의 용기(5)를 스톡(stock)하고 있는 용기 창고(스토커)와 로드 포트(2)의 사이에서, 용기 반송 로봇을 이용하여, 용기(5)의 자동 주고받음을 행하는 경우에 대해서도, 이 주고받음 위치에서 행한다.
도 3의 (C)는, 도크 플레이트(30)가 도크 위치와 주고받음 위치의 중간의 위치(이하, 중간 위치라고도 함)에 있는 상태를 나타내고 있다. 반도체 제조 공장 내에 설치된 천장 반송 장치(OHT) 등에 의해, 용기(5)를 자동 반송하는 경우, 이 중간 위치에서 도크 플레이트(30)에 대한 용기(5)의 자동 놓음과, 놓여 있는 용기(5)의 자동 반출을 행한다.
도 3의 (D)는 도크 플레이트(30)를 회전시키고 있는 도중의 상태를 나타내고 있다. 본 실시형태에서는, 도크 플레이트(30)는 X방향의 임의의 위치에서 Z축을 축심으로 회전 가능하다. 도크 플레이트(30)가 회전 가능함으로써, 예를 들어, 주고받음 위치에서 작업자가 덮개(51)를 작업자 측을 향한 상태에서 도크 플레이트(30)에 용기(5)를 놓아둔 후, 회전 유닛(83)에 의해 도크 플레이트(30)의 방향을 반전시켜, 정지시킨다. 이에 의해 덮개(51)가 포트 플레이트(2) 측을 향한 상태가 된다. 그 후, 도 3의 (A)의 도크 위치로 도크 플레이트(30)를 이동시킨다.
<구동 기구의 구조>
구동 기구(34)의 구조에 대해 설명한다. 도 4는 도크 플레이트(30)를 투과하여 도시한 구동 기구(34)의 평면도이다. 도 5는 도 4에서 지지 플레이트(830)를 투과하여 도시한 구동 기구(34)의 평면도로서, 캠 플레이트(90)와 중간 플레이트(82)를 보기 쉽게 하기 위해 이들에 모양을 부여하여 강조한 도면이다. 도 6은 구동 기구(34)의 저면도이다. 도 7은, 도 4의 VII방향 단면도로서, 구동 기구(34)의 우측면도이다.
구동 기구(34)는, 베이스부(7), 지지 유닛(8) 및 캠 기구(9)를 포함한다. 베이스부(7)는 구동 기구(34)의 전체의 지지체로서, 본 실시형태의 경우, 판상의 부재이다. 베이스부(7)의 Y방향의 중앙부에는, X방향으로 연장되는 직사각형의 관통공인 개구부(7a)가 설치되어 있다. 또한, 베이스부(7)의 좌측부에는, 노치(7b)가 형성되어 있고, 여기에 캠 기구(9)의 일부의 구성이 배치되어 있다.
지지 유닛(8)은, 베이스부(7)와 도크 플레이트(30)의 사이에 배치되어 있다. 지지 유닛(8)은, 한 쌍의 레일 부재(80)와, 한 쌍의 레일 부재(80) 상을 이동하는 슬라이더(81)를 포함한다. Y방향에서 이간된 각 레일 부재(80)는, 각각 X방향으로 연장 설치되어, 베이스부(7)에 고정되어 있다. 슬라이더(81)는, 도크 플레이트(30)를 탑재하여 도크 플레이트(30)와 함께 이동한다. 슬라이더(81)의 이동 범위는, 도크 플레이트(30)의 X방향의 이동 범위인 도크 위치와 주고받음 위치의 범위에 대응한다.
슬라이더(81)는, 중간 플레이트(82)와, 회전 유닛(83)을 포함한다. 중간 플레이트(82)는, 레일 부재(80)와 걸어맞춤하여, 레일 부재(80)를 따라 슬라이딩하는 복수의 걸어맞춤 부재(81a) 상에 고정되어 있다. 중간 플레이트(82)의 Y방향의 중앙부에는, 관통공인 개구부(82a)가 형성되어 있다.
회전 유닛(83)은, 피회전체인 지지 플레이트(830)를 포함한다. 도크 플레이트(30)는 지지 플레이트(830) 상에 탑재된다. 지지 플레이트(830)는, 회전체(834)의 상단부에 고정되어 있고, 회전체(834)의 회전에 따라 회전한다. 이에 의해 도크 플레이트(30)가 도 3의 (D)에 예시한 바와 같이 회전된다. 회전체(834)는, 중간 플레이트(82)에 고정된 베어링(82b)에 회전이 자유롭게 지지되어 있고, 중간 플레이트(82)를 관통하여 그 하방까지 연장 설치되어 있다. 회전체(834)의 하단부에는 풀리(834a)가 고정되어 있다. 풀리(834a)는, 베이스부(7)의 개구부(7a) 내에 위치하고 있다.
회전 유닛(83)은, 그 구동원으로서, 액추에이터(831)를 구비한다. 액추에이터(831)는 본 실시형태의 경우, 로터리 실린더이고, 그 출력축에는 풀리(832)가 고정되어 있다. 풀리(832)와 풀리(834a)에는, 무단 벨트(833)가 감겨 있다. 액추에이터(831)의 구동에 의해, 그 구동력이 회전체(834)에 전달되어, 회전체(834)를 회전시킨다. 본 실시형태에서는, 회전 유닛(83)의 구동원으로서 로터리 실린더를 예시하였지만, 모터여도 되고, 또한, 구동 전달 기구는 벨트 전동 기구 이외의 기구이어도 된다.
액추에이터(831)는, 브래킷(835)을 개재하여 중간 플레이트(82)에 매달려 있다. 액추에이터(831)는 베이스부(7)의 하측에 위치하고, 브래킷(835)은 개구부(7a)를 삽입 통과하여 액추에이터(831)와 중간 플레이트(82)를 연결하고 있다. 회전 유닛(83)은, 중간 플레이트(82)와 함께 X방향으로 이동한다.
캠 기구(9)는, 중간 플레이트(82)를 X방향으로 이동시키는 구동 기구이다. 캠 기구(9)는, 피이동체인 캠 플레이트(90)를 포함한다. 캠 플레이트(90)는, 레일 부재(80)를 따라 슬라이딩이 자유롭게 걸어맞춤하는 복수의 걸어맞춤 부재(91) 상에 고정되어 있다. 캠 플레이트(90)는 중간 플레이트(82)와 연결되어 있다. 캠 플레이트(90)가 X방향으로 이동함으로써, 중간 플레이트(82)가 X방향으로 이동한다.
캠 플레이트(90)와 중간 플레이트(82)는, 연결 기구(92)를 개재하여 연결되어 있다. 캠 플레이트(90)와 중간 플레이트(82)는 다이렉트로 결합해도 되지만, 본 실시형태의 경우, 캠 플레이트(90)와 중간 플레이트(82)의 사이에 탄성 부재(920)를 개재시켜 결합하고, 탄성 부재(920)가 양자의 구동력 전달을 완충한다. 즉, 캠 플레이트(90)와 중간 플레이트(82)는 X방향으로 상대 변위가 가능하게 되어 있다. 이에 의해, 예를 들어 캠 플레이트(90)가, 도크 위치를 향하여 이동될 때, 포트 플레이트(2)와 용기(5)의 사이에 이물이 끼였다고 해도, 탄성 부재(920)가 탄성 변형됨으로써, 작업자가 부상을 당하지 않을 정도의 소정의 값 이하의 하중밖에 걸리지 않는다. 또한, 이 때, 용기(5), 캠 플레이트(90) 및 중간 플레이트(82)는, 더 이상, 포트 플레이트(2)에 가까워지는 방향으로 변위할 수 없다. 그 결과, 작업의 안전을 확보할 수 있다. 도 8의 (A)도 참조하여 연결 기구(92)의 구조를 설명한다. 도 8의 (A)는 연결 기구(92)의 주변의 확대 평면도이다.
탄성 부재(920)는 고무 등이어도 되지만, 본 실시형태에서는 코일 스프링이다. 연결 기구(92)는 탄성 부재(920)를 삽입 통과하는 로드(921)를 가지고 있다. 로드(921)는, 브래킷(922, 923)에 설치한 관통공을 삽입 통과하고 있다. 브래킷(922)은 중간 플레이트(82)에 고정되어 있고, 브래킷(923)은 캠 플레이트(90)에 고정되어 있다. 로드(921)의 각 단부에는 스토퍼(924)가 설치되어 있다. 탄성 부재(920)는 브래킷(922, 923)이 떨어지는 방향으로 바이어스력을 발휘하고, 또한, 브래킷(922 및 923)은 2개의 스토퍼(924)의 범위 내에서 근접, 이간이 가능하다. 즉, 캠 플레이트(90)와 중간 플레이트(82)는 2개의 스토퍼(924)의 범위 내에서 근접, 이간이 가능한데, 탄성 부재(920)의 바이어스로, 통상시는 2개의 스토퍼(924)의 거리만큼 이간되고, 어떤 외적 부하가 작용하였을 때에 근접 가능하게 되어 있다.
도 4~도 9의 (B)를 참조하여 캠 기구(9)에 대해 더욱 설명한다. 도 8의 (B)는 구동 기구(34)의 부분 측면에서 본 도면으로, 도 8의 (A)의 화살표(Y1) 방향으로 본 도면이다. 도 9의 (A)는 캠 플레이트(90)를 그 바닥면 측에서 본 사시도이고, 도 9의 (B)는 캠 기구(9)의 구동 기구(93) 및 검지 유닛(10)의 사시도이다.
캠 플레이트(90)는, 그 바닥면에 캠 홈(901 및 902)이 형성되어 있다. 캠 홈(901 및 902)은 X방향으로 이간되어 형성되며, 캠 홈(902)이 포트 플레이트(2) 측에 위치하고 있다. 캠 홈(901 및 902)은 모두 Y방향으로 연장 설치된 직선 형상의 홈으로, 캠 홈(901)이 긴 홈이다. 캠 홈(901 및 902)의 각 일단부(개방 단부라고도 함)는, X방향으로 연장되는 홈(903)으로 접속되고, 각 타단부(폐쇄 단부라고도 함)는 닫혀 있다.
구동 기구(93)는, 회전 구동 유닛(930)과, 회전 샤프트(930b)와, 회전 부재(931)를 포함한다. 회전 구동 유닛(930)은, 모터(930a)를 구동하고, 회전 샤프트(930b)를 출력축으로 한 유닛으로, 그 내부에는, 모터(930a)의 출력을 회전 샤프트(930b)에 전달하는 전달 기구(기어 기구, 벨트 전동 기구 등)가 내장되어 있다. 회전 구동 유닛(930)은, 베이스부(7)의 노치(7b)에 배치되어 있다. 노치(7b)는 상측의 플레이트(70)와, 하측의 플레이트(71)에서 부분적으로 막히고, 하측의 플레이트(71)의 더욱 하방에는, 회전 구동 유닛(930)을 지지하는 지지 플레이트(72)가 설치되어 있다. 지지 플레이트(72)는 지주(73)에 의해 상측의 플레이트(70)로부터 매달려 있고, 하측의 플레이트(71)에는, 지주(73)나 회전 구동 유닛(930)과의 간섭을 피하는 개구가 형성되어 있다.
회전 샤프트(930b)는 Z방향으로 연장되는 축이다. 회전 부재(931)는, 회전 샤프트(930b)의 상단부에 고정되어, 수평 방향으로 연장되는 장편상(長片狀)의 부재이다. 회전 부재(931)는, 그 길이방향 중심 위치로부터 길이방향 한쪽으로 오프셋한 위치를 축심으로 하여, 회전 샤프트(930b)에 피봇 지지된다. 회전 부재(931)는 회전 샤프트(930b)를 회전 중심으로 하여 회전된다. 회전 부재(931)의 길이방향의 각 단부에는, 캠 홈(901, 902)과 걸어맞춤하는 캠 팔로워(932, 933)가 회전이 자유롭게 설치되어 있다. 캠 팔로워(932, 933)의 중심 축선은 Z방향을 지향하고 있다.
캠 팔로워(932, 933)는, 회전 샤프트(930b)의 둘레방향에서 다른 위치에 배치되어 있고, 또한, 캠 팔로워(932, 933) 및 회전 샤프트(930b)는 수평 방향에서 동일 직선상에 위치하고 있다. 회전 샤프트(930b)로부터 캠 팔로워(932, 933)까지의 거리는 각각 다르며, 회전 샤프트(930b)로부터 캠 팔로워(932)까지의 거리가 길다.
캠 팔로워(932, 933)는, 본 실시형태의 경우, 동일한 직경을 가지고 있고, 캠 홈(901)과 캠 홈(902)의 X방향의 폭은, 캠 팔로워(932, 933)의 직경보다 약간 넓다. 캠 홈(901, 902)의 폭방향 중심선끼리의 이간 거리는, 캠 팔로워(932, 933)의 축심끼리의 이간 거리와 같다.
회전 부재(931)에는, 센서 도그(934)가 설치되어 있다. 검지 유닛(10)은 센서 도그(934)를 검지함으로써, 회전 부재(931)의 회전 자세를 검지한다. 본 실시형태의 경우, 검지 유닛(10)은, 3개의 센서(11~13)로 구성되어 있다. 센서(11~13)는, 포토 인터럽터로서, 센서 도그(934)가 수광 소자와 발광 소자의 사이에 개재되는 것을 검지한다. 또, 회전 부재(931)의 회전 자세는, 포토 인터럽터 이외의 센서도 채용 가능하며, 예를 들어, 회전 부재(931)의 회전량을 검지하는 로터리 인코더이어도 된다.
센서(11 및 12)는 베이스부(7)에 고정되어 있다. 센서(11)는, 도크 플레이트(30)가 도크 위치에 대응하는 위치에 회전 부재(931)가 위치하고 있는 것을 검지하는 센서이다. 이 위치에서의 회전 부재(931)의 회전 각도를 설명의 편의상 초기 위치(0도)라고 한다. 센서(12)는, 도크 플레이트(30)가 주고받음 위치에 대응하는 위치에 회전 부재(931)가 위치하고 있는 것을 검지하는 센서이다. 이 위치에서의 회전 부재(931)의 회전 각도는, 평면에서 볼 때 시계방향으로 약 360도이다.
센서(13)는, 베이스부(7)에 대한 장착 위치의 조절이 자유롭게 설치되어 있다. 구체적으로는, 센서(13)는 브래킷(14)을 개재하여 플레이트(70)에 장착되어 있다. 플레이트(70)에는, 회전 샤프트(930b)와 동심 원호 형상의 슬릿(70a, 70b)이 형성되어 있다. 브래킷(14)은 플레이트(70)의 하측에 위치하고, 플레이트(70)에 고정하여, 또한, 슬릿(70b)에 삽입 통과하여 설치되는 볼트(15)에 고정된다. 볼트(15)의 플레이트(70)에 대한 장착 위치는 슬릿(70b)을 따라 조정이 자유롭고, 이에 의해, 브래킷(14)의 플레이트(70)에 대한 자세는 슬릿(70b)을 따라 조정이 자유롭다. 센서(13)는 브래킷(14)에 탑재되어 있고, 슬릿(70a)을 통과하여 플레이트(70)의 상측에 노출되어 있다. 이에 의해, 브래킷(14)을 슬릿(70b)을 따라 이동시킴으로써, 센서(13)가 슬릿(70a)을 따라 이동된다.
센서(13)는, 회전 부재(931)의 위치를 검지하는 것이다. 구체적으로는, 센서(13)가 회전 부재(931)를 검지하였을 때, 도크 플레이트(30)는 중간 위치에 위치하게 된다. 센서(13)가 회전 부재(931)를 검지하였을 때, 본 실시형태의 경우, 회전 부재(931)가 평면에서 볼 때 시계방향으로 약 180도 회전된 것이 된다(후술하는 도 11의 (B)의 상태). 도크 플레이트(30)의 중간 위치는, 천장 반송 장치(OHT) 등에 의해, 용기(5)를 자동 반송하는 경우에 이용되는 위치로서, 이 위치는 천장 반송 장치(OHT) 및 로드 포트(1)의 설치 환경에 따라 조정이 필요해지는 경우가 있다. 본 실시형태에서는, 센서(13)의 위치 조절을 가능하게 함으로써, 이러한 설치 환경에 따른 사정에 대응할 수 있다.
또, 본 실시형태에서는, 센서(11, 12)는 위치를 고정으로 하였지만, 센서(13)와 마찬가지로 조절 가능하게 해도 된다. 단, 도크 위치와 주고받음 위치는 위치의 조절이 필요한 경우가 적어, 위치를 고정함으로써 구조를 간략화할 수 있다.
<캠 기구의 동작>
도 10의 (A)~도 12의 (C)를 참조하여 캠 기구(9)의 동작예에 대해 설명한다. 이들 도면은 회전 부재(931)가 1회전할 때의, 캠 플레이트(90)의 이동을 도시한 평면도로서, 캠 플레이트(90)는 투과 형태로 도시되어 있다. 캠 플레이트(90)는, 지지 유닛(8)을 개재하여 도크 플레이트(30)에 연결되어 있으므로, 캠 플레이트(90)의 이동에 따라 도크 플레이트(30)도 이동하게 된다.
도 10의 (A)는 회전 부재(931)의 회전 각도가 0도인 상태를 나타내고 있다. 이 때, 도크 플레이트(30)는 도크 위치에 위치하고 있다. 회전 샤프트(930b), 캠 팔로워(932 및 933)는 X방향의 동일 직선상에 위치하고 있다. 센서 도그(934)가 센서(11)에 의해 검지되고, 이 검지 결과에 의해 제어부(1a)는 도크 플레이트(30)가 도크 위치에 위치한다고 인식한다. 캠 팔로워(932)는 캠 홈(901)의 개방 단부(도 10의 (A) 중에서는 하단부)에 위치하고 있다.
도 10의 (B)는 회전 부재(931)가 시계방향으로 45도 회전한 상태를 나타내고 있다. 회전 부재(931)의 회전 과정에서 캠 팔로워(932)가 캠 홈(901)과 걸어맞춤함으로써, 캠 플레이트(90)는 포트 플레이트(2)로부터 떨어지는 방향측의 X방향(X방향에서의 PP측과 반대측 방향; 도 10의 (B) 중에서는 우방향)으로 이동하고, 도크 플레이트(30)도 마찬가지로 X방향으로 이동한다.
도 10의 (C)는 회전 부재(931)가 시계방향으로 90도 회전한 상태를 나타내고 있다. 회전 부재(931)의 회전 과정에서 캠 팔로워(932)가 캠 홈(901)과 걸어맞춤함으로써, 캠 플레이트(90)는 포트 플레이트(2)로부터 떨어지는 방향측의 X방향으로 더욱 이동하고, 도크 플레이트(30)도 마찬가지로 X방향으로 더욱 이동한다. 캠 팔로워(932)는 캠 홈(901)의 폐쇄 단부(도 10의 (C) 중에서는 상단부)에 가장 가까운 위치(반환 지점)에 위치하고 있고, 캠 팔로워(932)가 폐쇄 단부에 접촉하는 일은 없다. 회전 샤프트(930b), 캠 팔로워(932 및 933)는 Y방향의 동일 직선상에 위치하고 있다.
도 11의 (A)는 회전 부재(931)가 시계방향으로 135도 회전한 상태를 나타내고 있다. 회전 부재(931)의 회전 과정에서 캠 팔로워(932)가 캠 홈(901)의 개방 단부 측으로 이동하면서, 캠 팔로워(932)가 캠 홈(901)과 걸어맞춤함으로써, 캠 플레이트(90)는 포트 플레이트(2)로부터 떨어지는 방향측의 X방향으로 더욱 이동하고, 도크 플레이트(30)도 동일한 방향으로 더욱 이동한다.
도 11의 (B)는 회전 부재(931)가 시계방향으로 180도 회전한 상태를 나타내고 있다. 회전 부재(931)의 회전 과정에서 캠 팔로워(932)가 캠 홈(901)과 걸어맞춤함으로써, 캠 플레이트(90)는 포트 플레이트(2)로부터 떨어지는 방향측의 X방향으로 더욱 이동하고, 도크 플레이트(30)도 동일한 방향으로 더욱 이동하여 중간 위치에 도달한다. 캠 팔로워(932)는 캠 홈(901)의 개방 단부에 위치하고, 캠 팔로워(933)는 캠 홈(902)의 개방 단부(도 11의 (B) 중에서는 하단부)에 위치하고 있다. 회전 샤프트(930b), 캠 팔로워(932 및 933)는 X방향의 동일 직선상에 위치하고 있지만, 도 10의 (A)의 상태와 캠 팔로워(932, 933)의 위치가 반대로 되어 있다. 센서 도그(934)가 센서(13)에 의해 검지되고, 이 검지 결과에 의해 제어부(1a)는 도크 플레이트(30)가 중간 위치에 위치한다고 인식한다.
도 11의 (C)는 회전 부재(931)가 시계방향으로 225도 회전한 상태를 나타내고 있다. 회전 부재(931)의 회전 과정에서 캠 팔로워(933)가 캠 홈(902)의 개방 단부 측으로 이동하면서, 캠 팔로워(933)가 캠 홈(902)과 걸어맞춤함으로써, 캠 플레이트(90)는 포트 플레이트(2)로부터 떨어지는 방향측의 X방향으로 더욱 이동하고, 도크 플레이트(30)도 동일한 방향으로 더욱 이동한다.
도 12의 (A)는 회전 부재(931)가 시계방향으로 270도 회전한 상태를 나타내고 있다. 회전 부재(931)의 회전 과정에서 캠 팔로워(933)가 캠 홈(902)과 걸어맞춤함으로써, 캠 플레이트(90)는 포트 플레이트(2)로부터 떨어지는 방향측의 X방향으로 더욱 이동하고, 도크 플레이트(30)도 동일한 방향으로 더욱 이동한다. 캠 팔로워(933)는 캠 홈(902)의 폐쇄 단부에 가장 가까운 위치(반환 지점)에 위치하고 있다. 회전 샤프트(930b), 캠 팔로워(932 및 933)는 Y방향의 동일 직선상에 위치하고 있지만, 도 10의 (C)의 상태와 캠 팔로워(932, 933)의 위치가 반대로 되어 있다.
도 12의 (B)는 회전 부재(931)가 시계방향으로 315도 회전한 상태를 나타내고 있다. 회전 부재(931)의 회전 과정에서 캠 팔로워(933)가 캠 홈(902)의 개방 단부 측으로 이동하면서, 캠 팔로워(933)가 캠 홈(902)과 걸어맞춤함으로써, 캠 플레이트(90)는 포트 플레이트(2)로부터 떨어지는 방향측의 X방향으로 더욱 이동하고, 도크 플레이트(30)도 동일한 방향으로 더욱 이동한다.
도 12의 (C)는 회전 부재(931)가 시계방향으로 약 360도 회전한 상태를 나타내고 있다. 회전 부재(931)의 회전 과정에서 캠 팔로워(933)가 캠 홈(902)과 걸어맞춤함으로써, 캠 플레이트(90)는 포트 플레이트(2)로부터 떨어지는 방향측의 X방향으로 더욱 이동하고, 도크 플레이트(30)도 동일한 방향으로 더욱 이동하여 주고받음 위치에 도달한다. 캠 팔로워(933)는 캠 홈(902)의 개방 단부에 위치하고 있다. 회전 샤프트(930b), 캠 팔로워(932 및 933)는 X방향의 대략 동일 직선상에 위치하고 있지만, 도 10의 (A)의 상태와는 동일한 상태는 아니고, 센서(11)와 센서(12)의 장착 위치의 차이에 의해, 실제로는, 360도보다 약간 이전 위치에서 회전이 정지되어 있다. 센서 도그(934)가 센서(12)에 의해 검지되고, 이 검지 결과에 의해 제어부(1a)는 도크 플레이트(30)가 주고받음 위치에 위치한다고 인식한다.
본 실시형태에서는, 센서(11)와 센서(12)를 따로 설치하였지만, 센서(11)만 설치하고, 센서(11)에 의해 도크 위치와 주고받음 위치를 둘 다 검지하도록 해도 된다. 그 경우에는, 도 10의 (A)의 상태와 도 12의 (C)의 상태는 동일한 상태가 된다.
도크 플레이트(30)를 주고받음 위치로부터 중간 위치, 중간 위치로부터 도크 위치로 이동시키는 경우, 회전 부재(931)를 반시계방향으로 회전시키게 된다.
이상과 같이, 본 실시형태에서는, 회전 부재(931)의 1회전에 의해, 도크 플레이트(30)를 도크 위치와 주고받음 위치의 사이에서 이동할 수 있다. 또한, 회전 부재(931)의 반(半)회전에 의해, 도크 플레이트(30)를 도크 위치와 중간 위치의 사이, 또는, 중간 위치와 주고받음 위치의 사이에서 이동시킬 수 있다. 회전 부재(931)의 회전과, 2세트의 캠 홈, 캠 팔로워의 조합을 이용함으로써, 도크 플레이트(30)의 이동 스트로크 전체길이에 걸쳐, 구동원이 되는 액추에이터를 연장 설치할 필요가 없어, 비교적 컴팩트한 기구로, 도크 플레이트(30)를 이동 가능한 로드 포트(1)를 제공할 수 있다. 또한, 중간 위치는, 회전 부재(931)의 회전량과 센서(13)의 위치 조절에 의해, 임의의 위치로 설정할 수 있고, 또한 도크 플레이트(30)의 회전도 가능하다. 따라서, 본 실시형태의 로드 포트(1)는, 용기 창고(스토커), 천장 반송 장치(OHT) 등의 설치 환경이나 운용 상황에 좌우되지 않고 설치, 사용할 수 있다.
또한, 도크 플레이트(30)의 정지 위치의 종류에 대응한 복수의 제어 모드를 작업자가 선택 가능하게 함으로써, 더욱 유연한 사용이 가능해진다. 복수의 제어 모드는, 도크 플레이트(30)의 정지 위치로서, 주고받음 위치를 사용하지 않는 제1 제어 모드를 포함할 수 있다. 이 제1 제어 모드의 경우, 도크 플레이트(30)의 정지 위치는, 도크 위치와 중간 위치의 2곳이다. 또한, 도크 플레이트(30)의 정지 위치로서, 중간 위치를 사용하지 않는 제2 제어 모드를 포함할 수 있다. 이 제2 제어 모드의 경우, 도크 플레이트(30)의 정지 위치는, 도크 위치와 주고받음 위치의 2곳이다. 또한, 도크 플레이트(30)의 정지 위치로서, 도크 위치, 중간 위치, 주고받음 위치의 3곳 모두를 사용하는 제3 제어 모드를 포함할 수 있다. 이들 제1~제3 제어 모드에서는, 도크 플레이트(30)를 회전시키는지 여부가 다른 제어 모드도 더 포함할 수 있다.
구체적으로는, 도크 플레이트(30)의 정지 위치로서 도크 위치와 중간 위치의 2곳만 사용하는 제1 제어 모드의 경우에는, 도크 플레이트(30)는 회전시키지 않는 제어 모드만 포함하고, 회전시키는 경우의 제어 모드는 포함하지 않는다.
도크 플레이트(30)의 정지 위치로서, 중간 위치를 사용하지 않는 제2 제어 모드의 경우에는, 용기(5)를 놓아둔 상태에서 도크 플레이트(30)를 회전시켰을 때에 용기(5)와 포트 플레이트(2)의 사이에서 간섭이 발생하는 영역을 제외한 임의의 위치에서 도크 플레이트(30)를 회전시키는 경우와, 도크 플레이트(30)를 회전시키지 않는 경우의 제어 모드를 포함한다. 임의의 위치는, 다시 말하면, 도크 플레이트(30)를 회전시켰을 때에 용기(5)와 포트 플레이트(2)의 사이에서 간섭이 발생하지 않는 영역에서의 임의의 한 점이며, 주고받음 위치를 포함해도 된다.
도크 플레이트(30)의 정지 위치로서, 도크 위치, 중간 위치, 주고받음 위치의 3곳 모두를 사용하는 제3 제어 모드의 경우에는, 중간 위치에서, 용기(5)를 놓아둔 상태에서 회전시키면, 용기(5)와 포트 플레이트(2)의 사이에서 간섭이 발생하므로, 중간 위치보다 주고받음 위치 근처에서 또한 간섭이 발생하지 않는 영역에서의 임의의 위치에서 도크 플레이트(30)를 회전시키는 경우와, 도크 플레이트(30)를 회전시키지 않는 경우의 제어 모드를 포함한다. 임의의 위치는, 주고받음 위치이어도 된다.
도 13의 (A)는 이러한 제어 모드의 선택을 접수하는 처리의 예를 나타내는 흐름도로서, 제어부(1a)가 실행하는 처리의 예이다. S1에서는 미리 정해진 복수의 제어 모드 중에서, 작업자에 의한 제어 모드의 선택을 접수한다. 제어 모드의 선택은, 조작 패널(33)에 의한 입력, 또는, 통신 회선(1b)을 통해 제어부(1a)와 통신 가능한 호스트 컴퓨터 등으로부터의 입력에 의해 접수된다. S2에서는 S1에서의 선택 내용을 저장하고, 제어 모드를 설정한다. 이후, 설정된 제어 모드에서 제어부(1a)는 로드 포트(1)를 동작시킨다.
도 13의 (B)는 제어 모드가 설정된 후, 로드 포트(1)의 동작을 제어부(1a)가 제어하는 경우의 처리의 예를 나타내는 흐름도로서, 특히 도크 플레이트(30)의 이동 제어예를 나타내고 있다. S11에서는 도크 플레이트(30)의 이동 지시를 접수한다. 이동 지시는 조작 패널(33)에 의한 작업자의 수동 입력, 또는, 시스템의 자동 제어 중에, 통신 회선(1b)을 통해 제어부(1a)와 통신 가능한 호스트 컴퓨터 등으로부터의 제어 지시 입력에 의해 접수된다.
S12에서는 S11에서 접수한 이동 지시를, 설정 중인 제어 모드에 따라 실행한다. 예를 들어, 도크 플레이트(30)의 정지 위치로서, 주고받음 위치를 사용하지 않는 제1 제어 모드가 설정되어 있는 경우, 이동 지시가 있을 때마다, 회전 방향을 전환하면서 회전 부재(931)를 반회전시킨다. 이에 의해, 이동 지시가 있을 때마다 도크 플레이트(30)는 도크 위치로부터 중간 위치로, 또한, 중간 위치로부터 도크 위치로 이동한다. 회전 부재(931)의 회전 범위는 반회전이다.
또한, 예를 들어, 도크 플레이트(30)의 정지 위치로서, 중간 위치를 사용하지 않는 제2 제어 모드가 설정되어 있는 경우, 이동 지시가 있을 때마다, 회전 방향을 전환하면서 회전 부재(931)를 1회전시킨다. 이에 의해, 이동 지시가 있을 때마다 도크 플레이트(30)는 도크 위치로부터 주고받음 위치로, 또한, 주고받음 위치로부터 도크 위치로 이동한다. 회전 부재(931)의 회전 범위는 1회전이다.
또한, 예를 들어, 도크 플레이트(30)의 정지 위치로서, 도크 위치, 중간 위치, 주고받음 위치의 3곳 모두를 사용하는 제3 제어 모드가 설정되어 있는 경우, 이동 지시가 있을 때마다, 회전 부재(931)를 반회전시킨다. 회전 방향은 2회의 이동 지시마다 전환한다. 이에 의해, 이동 지시가 있을 때마다 도크 플레이트(30)는 도크 위치로부터 중간 위치로, 또한, 중간 위치로부터 주고받음 위치로, 주고받음 위치로부터 중간 위치로, 중간 위치로부터 도크 위치로 이동한다. 회전 부재(931)의 회전 범위는 1회전이다.
<제2 실시형태>
브래킷(14)을 이용한 센서(13)의 장착 구조 대신에, 센서(13)의 위치를 자동 변경하는 센서 이동 기구를 설치해도 된다. 도 14는 그 일례를 나타내는, 구동 기구(34)의 부분 측면에서 본 도면으로, 도 8의 (A)의 화살표(Y1) 방향으로 본 도면(도 8의 (B)에 상당함)이다.
센서 이동 기구(16)는, 구동원인 모터(16a)와, 모터(16a)의 출력축에 고정되어 회동하는 아암 부재(16b)를 포함하고, 센서(13)는 아암 부재(16b)에 탑재된다. 모터(16a)는 도시하지 않은 브래킷에 의해 베이스부(7)에 지지된다. 센서 이동 기구(16)의 배치 공간을 확보하기 위해, 회전 구동 유닛(930)의 배치 등이 제1 실시형태와 다르다.
모터(16a)의 출력축의 중심선(16c)은, 회전 샤프트(930b)와 동축선 상에 위치하고, 아암 부재(16b)는 중심선(16c)을 따라 회동한다. 아암 부재(16b)의 회동에 의해, 센서(13)를 슬릿(70a) 내에서, 회전 샤프트(930b)의 둘레방향으로 이동할 수 있고, 그 검지 위치를 변경할 수 있다. 구동부(1a)는, 조작 패널(33)에 대한 작업자의 조작에 따라 모터(16a)의 회전 제어를 행한다. 브래킷(14)을 이용한 센서(13)의 위치 조절에 대해, 센서(13)의 위치 조절을 자동화할 수 있다.
이상, 발명의 실시형태에 대해 설명하였지만, 발명은 상기의 실시형태에 제한되는 것은 아니고, 발명의 요지의 범위 내에서, 다양한 변형·변경이 가능하다.
1 로드 포트, 2 포트 플레이트, 3 받침대, 8 지지 유닛, 9 캠 기구, 30 도크 플레이트, 90 캠 플레이트, 93 구동 기구

Claims (13)

  1. 기판의 출입이 가능한 개구부를 갖는 포트 플레이트와,
    상기 기판이 수용되는 용기가 놓이는 받침대를 구비한 로드 포트로서,
    상기 받침대는,
    베이스부와,
    상기 용기가 놓이는 도크 플레이트와,
    상기 베이스부와 상기 도크 플레이트의 사이에 설치되어, 상기 도크 플레이트를 상기 포트 플레이트 측의 제1 위치와, 상기 포트 플레이트로부터 이간된 제2 위치의 사이에서 이동 가능하게 지지하는 지지 유닛과,
    상기 도크 플레이트를 상기 베이스부에 대해 상기 제1 위치와 상기 제2 위치의 사이에서 이동시키는 캠 기구를 구비하며,
    상기 지지 유닛은, 상기 도크 플레이트가 탑재되어, 상기 도크 플레이트와 함께 이동하는 슬라이더를 포함하고,
    상기 캠 기구는,
    상기 베이스부에 설치된 구동 기구와,
    상기 슬라이더에 연결되며, 캠 홈이 형성된 캠 플레이트를 포함하며,
    상기 구동 기구는,
    회전 구동 유닛과,
    이 회전 구동 유닛에 의해 회전되는 회전 샤프트와,
    이 회전 샤프트에 고정되어, 이 회전 샤프트를 회전 중심으로 하여 회전하는 장편상(長片狀)의 회전 부재와,
    상기 회전 부재에 설치된 제1 캠 팔로워 및 제2 캠 팔로워를 포함하고,
    상기 캠 홈은,
    상기 제1 캠 팔로워와 걸어맞춤하는 제1 캠 홈과,
    상기 도크 플레이트의 이동 방향에서 상기 제1 캠 홈과 다른 위치에 형성되어, 상기 제2 캠 팔로워와 걸어맞춤하는 제2 캠 홈을 포함하는 것을 특징으로 하는 로드 포트.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 슬라이더는,
    상기 캠 플레이트와 연결되어, 상기 캠 기구에 의해 이동되는 중간 플레이트와,
    이 중간 플레이트에 설치되어, 상기 도크 플레이트를 회전 가능하게 지지하는 회전 유닛을 구비하는 것을 특징으로 하는 로드 포트.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 캠 플레이트와 상기 중간 플레이트의 사이에, 탄성 부재가 개재되어 있는 것을 특징으로 하는 로드 포트.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 베이스부에 설치되어, 상기 회전 부재의 회전 자세를 검지하는 검지 수단을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 로드 포트.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 검지 수단은,
    상기 도크 플레이트가 상기 제1 위치, 상기 제2 위치 또는 상기 제1 위치와 상기 제2 위치 사이의 중간 위치에 있을 때의, 상기 회전 부재의 회전 자세를 검지하는 것을 특징으로 하는 로드 포트.
  6. 청구항 5에 있어서,
    상기 검지 수단은, 상기 제1 위치, 상기 제2 위치 및 상기 중간 위치에 대응하여 설치된 제1 내지 제3 센서를 포함하고,
    상기 중간 위치에 대응하여 설치된 상기 제3 센서는, 상기 베이스부에 대한 위치의 조절이 자유로운 것을 특징으로 하는 로드 포트.
  7. 청구항 6에 있어서,
    구동원을 포함하며, 이 구동원의 구동력에 의해 상기 중간 위치에 대응하여 설치된 상기 제3 센서의 위치를 상기 회전 샤프트의 둘레방향으로 변경하는 센서 이동 기구를 구비하는 것을 특징으로 하는 로드 포트.
  8. 청구항 1 내지 청구항 7 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1 캠 팔로워 및 상기 제2 캠 팔로워는, 상기 회전 샤프트의 둘레방향에서 다른 위치에 배치되고, 또한 상기 회전 샤프트까지의 거리가 서로 다른 것을 특징으로 하는 로드 포트.
  9. 청구항 1 내지 청구항 7 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1 캠 홈 및 상기 제2 캠 홈은, 상기 도크 플레이트의 이동 방향과 직교하는 방향으로 연장되는 직선 형상의 홈이고,
    상기 회전 샤프트와, 상기 제1 캠 팔로워와, 상기 제2 캠 팔로워는 동일한 직선상에 위치하며,
    이 동일한 직선이 상기 도크 플레이트의 이동 방향과 평행이 될 때, 상기 도크 플레이트는 상기 제1 위치 또는 상기 제2 위치에 위치하는 것을 특징으로 하는 로드 포트.
  10. 청구항 1에 있어서,
    상기 회전 부재가 초기 위치로부터 반(半)회전하는 동안에, 상기 제1 캠 팔로워와 상기 제1 캠 홈의 걸어맞춤에 의해, 상기 도크 플레이트가 상기 제1 위치와 상기 제2 위치 사이의 중간 위치까지 이동하고,
    상기 회전 부재가 반회전한 위치로부터 1회전하는 동안에, 상기 제2 캠 팔로워와 상기 제2 캠 홈의 걸어맞춤에 의해, 상기 도크 플레이트가 상기 중간 위치로부터 상기 제2 위치까지 이동하며,
    상기 회전 부재의 회전 범위가 상기 초기 위치로부터 반회전할 때까지가 되는 제1 제어 모드와, 상기 회전 부재의 회전 범위가 상기 초기 위치로부터 1회전할 때까지가 되는 제2 제어 모드를 선택 가능한 것을 특징으로 하는 로드 포트.
  11. 청구항 10에 있어서,
    상기 회전 부재의 회전 범위가 상기 초기 위치로부터 1회전할 때까지가 되는 제3 제어 모드를 선택 가능하고, 상기 제3 제어 모드는, 상기 회전 부재가 반회전할 때마다 상기 회전 부재의 회전을 정지하는 것을 특징으로 하는 로드 포트.
  12. 청구항 1에 기재된 로드 포트의 제어 방법으로서,
    상기 회전 부재가 초기 위치로부터 반회전하는 동안에, 상기 제1 캠 팔로워와 상기 제1 캠 홈의 걸어맞춤에 의해, 상기 도크 플레이트가 상기 제1 위치와 상기 제2 위치 사이의 중간 위치까지 이동하고,
    상기 회전 부재가 반회전한 위치로부터 1회전하는 동안에, 상기 제2 캠 팔로워와 상기 제2 캠 홈의 걸어맞춤에 의해, 상기 도크 플레이트가 상기 중간 위치로부터 상기 제2 위치까지 이동하며,
    상기 제어 방법은,
    제1 제어 모드 또는 제2 제어 모드의 선택을 접수하는 설정 공정과,
    상기 회전 부재를 회전시켜, 상기 도크 플레이트를 이동시키는 제어 공정을 포함하고,
    상기 제어 공정에서는, 상기 제1 제어 모드가 설정된 경우에는, 상기 회전 부재를 상기 초기 위치로부터 반회전하기까지의 회전 범위 내에서 회전시키고, 상기 제2 제어 모드가 설정된 경우에는, 상기 회전 부재를 상기 초기 위치로부터 1회전하기까지의 회전 범위 내에서 회전시키는 것을 특징으로 하는 제어 방법.
  13. 청구항 12에 있어서,
    상기 설정 공정에서는, 제3 제어 모드의 선택을 접수 가능하고,
    상기 제어 공정에서는, 상기 제3 제어 모드가 설정된 경우에는, 상기 회전 부재를 상기 초기 위치로부터 1회전하기까지의 회전 범위 내에서 회전시키고, 또한 상기 회전 부재가 반회전할 때마다 상기 회전 부재의 회전을 정지하는 것을 특징으로 하는 제어 방법.
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