JPH07240454A - ウエハ移し替え装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】 ウエハバスケットの位置決め精度とウエハ受
け板の取付け精度を向上させ、安全で円滑なウエハの移
し替えができるようにする装置。 【構成】 装置本体Ａの始端側で待機してウエハの移し
替えの際には水平移動ブロック５と昇降作動ブロック６
が終端側へ移動され、ウエハ受け板７がウエハの収納さ
れたバスケットと空のバスケットの間でウエハの移し替
えを相互に行うウエハ受渡しブロックＢと、本体Ａの終
端側で２体のバスケットをウエハの受渡しに適合する整
合状態に載置させるバスケット位置決め手段Ｃと、昇降
作動ブロック６を本体Ａに穿設した摺動カム溝８ａ，８
ｂに沿って移動させ、ウエハ受渡し作動をブロックＢに
付与する受渡し案内手段Ｄと、回転ハンドル９で回動さ
れる送りねじ軸１０によってブロック５を水平案内溝１
１，１２に沿って往復移動させる駆動手段Ｅが装着され
ている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、一方のウエハバスケッ
ト内に収容された複数枚のウエハを他方のウエハバスケ
ットに一括して移し替える装置であり、例えば半導体の
製造工程などで半導体ウエハを一括して移し替えする際
などに使用されるウエハ移し替え装置に関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】例えば半導体の製造工程では、多数枚
（例えば２５枚程度）の半導体ウエハをウエハバスケッ
トに収納し、当該半導体ウエハに対して各種の化学処理
や洗浄あるいは各工程間の搬送作業が行われる。このウ
エハバスケットには、一般に底のない処理用バスケット
と底のある搬送用バスケットとがあり、一つの処理工程
で処理された半導体ウエハを次工程に移送して別の処理
を行なう際には、ウエハ移し替え装置を用いて処理用バ
スケットと搬送用のバスケットの間または処理用バスケ
ット相互間でウエハを一括して移し替える必要がある。

【０００３】このようなウエハ移し替え装置としては、
例えば本件出願人が先に提案した特願平４−２５１８７
８号や特願平５−６５９５１号などがある。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】然しながら、上記提案
を含む従来のウエハ移し替え装置にはさらに改善を必要
とする次に述べるような幾つかの課題があった。

【０００５】その第１は、上記バスケットの内面にはウ
エハが挿入されるウエハ挿入溝と当該挿入溝の間に突出
された間隔保持用の係止リブとが所定のピッチで交互に
形成されており、上記したウエハ移し替え装置を用いて
ウエハの移し替えを行う場合には、載置台に設置した際
に基準面となる当該バスケットの底面から最下位に収容
されたウエハ底面までの寸法を適性に設定する必要があ
る。しかし、このバスケットは現在のところ製造各社の
間で形状や寸法に対する統一規格がないので、載置台に
高さ調整手段を設けて対応しているが余りにも形状や寸
法がまちまちであるために、その設定に時間を要したり
載置台や高さ調整手段の構造が複雑になって製作費が高
くなると共に、寸法の設定が適性に行われないとウエハ
や装置を損傷させるのでその対応に苦慮していた。

【０００６】その第２は、バスケットが載置台へ固定状
態で設置されているので、ウエハの受取りまたは受渡し
作業のためにバスケット内に進入したウエハ受け板がウ
エハやバスケットに接触した際には、その衝撃がそのま
ま伝達されて衝撃音を発生したり損傷する恐れがある。

【０００７】その第３は、多数ウエハを水平に上下方向
等間隔に積載して搬送する受け渡し手段として、多数の
ウエハ受け板が上下作動板に対して片持ち状態で取り付
けられているが、従来の上下作動板構造ではその組立て
調整が容易ではなく精度の狂いや経時変化で各ウエハ受
け板間のピッチにバラツキを生ずる恐れがあり、ウエハ
の損傷や移し替えの作業に支障をきたしたりする等の課
題があった。

【０００８】すなわち、上記第１および第２の提案によ
る上下作動板構造では一本の支柱の３面に対して上下方
向等間隔に多数の嵌合溝を設け、この嵌合溝へ先端をコ
字状に切り欠いた各ウエハ受け板の連結腕部をそれぞれ
嵌合状態で挿入して当該連結腕部に穿設したピン孔に縦
長のピンを挿通することで位置決めを行った後、ねじに
より締め付けして固着させている。この構造の場合に
は、基部側を強固に固着するようにしたので当該固着の
際に自由端部である先端側が不揃いになったり、先端側
に外力が加わった際に変形する。

【０００９】その第４は、ウエハ受け板を上下作動させ
ることによってバスケットとの間でウエハの受け渡しが
行われるが、ウエハ受け板が急激に降下するとウエハに
衝撃を与えて損傷させる恐れがあるので、ダンパー手段
が必要である。

【００１０】例えば、上記第１および第２の提案では上
下作動板を介して先端に多数のウエハ受け板が装着され
る水平移動ブロックにカム棒を取り付けると共に、水平
移動ブロックを介してウエハ受け板にウエハの受け渡し
に必要な上下作動を付与するためのカム溝が装置本体の
左右両側板に穿設され、このカム溝にカム棒の両端が係
合しながら水平移動ブロックが移動される。従って、カ
ム溝内におけるカム棒の動きによって発生した振動や衝
撃はそのままウエハ受け板に伝達される。

【００１１】その第５は、ウエハ受渡しに必要なカム棒
を案内するカム溝による案内通路を２個所で個別に切り
替え操作しているので、その切り替え操作が煩雑であっ
た。

【００１２】そこで本発明では、このような従来の技術
が有する課題を解決する改善されたウエハ移し替え装置
の提供を目的とする。

【００１３】

【課題を解決するための手段】これらの課題を解決する
ために本発明による第１のウエハ移し替え装置では、水
平駆動手段により装置本体に沿って前後方向へ移動され
る水平移動ブロックを設け、この水平移動ブロックには
前面部に複数枚のウエハ受け板が上下方向等間隔で水平
に突設されたウエハ受渡しブロックが上下可動に取り付
けられ、上記水平移動ブロックに連動されたウエハ受渡
しブロックが移動される装置本体の前方には第一の載置
台とその手前に配備された第二の載置台とが設けられ、
この第一の載置台には第一のウエハバスケットを載置す
ると共に、第二の載置台には第一のウエハバスケットと
ウエハ挿入開口側を対向させてウエハ挿入溝および係止
リブを一致させた状態にして底部が開口した第二のウエ
ハバスケットを載置し、上記ウエハ受渡しブロックと装
置本体との間には上記水平移動ブロックの移動時に上記
ウエハ受渡しブロックに作用してウエハバスケット間で
ウエハの移し替えを行うようウエハ受け板を作動させる
受渡し案内手段が設けられ、この受渡し案内手段は挿入
溝に挿入されて係止リブの上面に載置される態様で各ウ
エハが収容された一方のウエハバスケットに対して、当
該各ウエハ間へ上記ウエハ受け板を水平に挿入させた後
に上昇させて係止リブ上のウエハを受取るように駆動さ
せる受取り案内手段と、このウエハ受け板を空の他方の
ウエハバスケットに対して挿入溝の高さ位置で水平に挿
入させ、一旦下降させてウエハを係止リブ上に載置させ
た後に当該ウエハバスケットからウエハ受け板を水平に
引抜いて引渡すように駆動させる引渡し案内手段を基本
構造とするウエハ移し替え装置が構成され、上記第一の
載置台には、第二の載置台に近い一端側に第一のウエハ
バスケットのウエハ挿入開口側の左右縁部がそれぞれ当
接する位置決め支柱を立設し、この位置決め支柱には他
のウエハバスケットとの接合用として第一のウエハバス
ケットに穿設されている既存の凹凸と嵌合する係止突起
と係止溝穴を設け、他端側には第一のウエハバスケット
を背部から位置決め支柱側へ押圧して支持する係止保持
部材が設けられている。

【００１４】第２のウエハ移し替え装置では、上記第１
の装置と同じ基本構造を備えたウエハ移し替え装置にお
いて、上記第一の載置台は、載置受台上に装着されて当
該載置受台に対して水平方向へスライド可能に係合され
ると共に、この載置受台との間に介在されたばね手段で
常時は上記ウエハ受渡しブロックの進入側へ付勢され、
上記ウエハ受け板が第一のウエハバスケットに進入して
ウエハの受取りまたは受渡し作業を行う際に、上記水平
移動ブロック側からの押圧で後退させると共に、上記作
業の終了で水平移動ブロックが後退した際に上記ばね手
段によって原状復帰させるようにした。

【００１５】第３のウエハ移し替え装置では、上記第１
の装置と同じ基本構造を備えたウエハ移し替え装置にお
いて、上記ウエハ受け板は、左右の取り付け板によって
基部側が挾持されており、この取り付け板の内面には各
ウエハ受け板の両側縁部が遊嵌状に差込まれる間隔保持
溝が上下方向等間隔で水平に穿設されていると共に、当
該間隔保持溝を直交する態様で複数の縦溝が設けられ、
この縦溝内に弾性パッキン材を充填して各ウエハ受け板
との交叉位置を固定させた。

【００１６】第４のウエハ移し替え装置では、上記第１
の装置と同じ基本構造を備えたウエハ移し替え装置にお
いて、上記受渡し案内手段は、上記装置本体の両側板へ
前後方向に沿って穿設された左右の摺動カム溝と、この
摺動カム溝に係合して上記ウエハの受渡し作動を上記ウ
エハ受渡しブロックに伝達するカム操作軸で構成され、
上記カム操作軸は上記水平移動ブロックに対して上下可
動な上記ウエハ受渡しブロック側の昇降作動ブロックに
取り付けられ、この昇降作動ブロックは水平移動ブロッ
クに対してダンパー用ばね手段で上方へ付勢されてい
る。

【００１７】第５のウエハ移し替え装置では、上記第４
のウエハ移し替え装置において、上記カム操作軸は上記
昇降作動ブロックに対して左右方向へ水平移動可能に取
り付けられると共に、上記装置本体の一方側板に穿設さ
れた第一の摺動カム溝または他方側板に穿設された第二
の摺動カム溝のいずれかへ切替え操作手段によって選択
的に係合してウエハ受渡しの通路が選定され、この受渡
しの通路は上記カム操作軸が第一の摺動カム溝に沿って
前進しながら終端側で上記ウエハ受け板が第一のウエハ
バスケットに収容されているウエハを受取った直後に第
一の操作レバーによって第二の摺動カム溝に切り替えら
れ、この第二の摺動カム溝に沿って後退しながら途中で
第二のウエハバスケットにウエハを引渡す第一の通路
と、上記カム操作軸が第二の摺動カム溝に沿って前進し
ながら途中で上記ウエハ受け板が第二のウエハバスケッ
トに収容されているウエハを受取ってそのまま前進し、
終端側で第一の操作レバーによって第一の摺動カム溝に
切り替えられ、後退の直後に第一のウエハバスケットに
ウエハを引渡してそのまま第一の摺動カム溝に沿って後
退する第二の通路とからなり、上記切替え操作手段は第
一および第二の摺動カム溝の終端側に出没して往路を復
路に切替える上記第一の操作レバーと、第二の摺動カム
溝に沿って後退するカム操作軸を第一の摺動カム溝側へ
復帰させる当該第二の摺動カム溝の始端側に形成された
復帰カム溝と、第一の摺動カム溝の始端側に出没してカ
ム操作軸を第一の摺動カム溝または第二の摺動カム溝に
切替えて往路を設定する第二の操作レバーと、上記第一
の操作レバーと第二の操作レバーとを連動操作するスラ
イド手段とで構成されている。

【００１８】

【実施例】以下に、本発明によるウエハ移し替え装置を
図示の実施例に基づき詳細に説明するが、この説明に際
しては本件出願人による先の第１または第２の提案のも
のと同様な構造部分については詳細な説明を省略し、本
発明の新規な構造部分について特に重点的に説明する。

【００１９】図１には移し替え装置全体の外観斜視図を
示し、図２には同装置の使用状態における平面図（ａ）
と正面図（ｂ）および左側面図（ｃ）を示す。これらの
図で示すように、平行状に配設された長尺な側板１，２
の両端部を短尺な押え板３，４で連結して方形枠状をし
た装置本体Ａが形成されている。

【００２０】この装置本体Ａには、常時は装置本体Ａの
始端側で待機してウエハ移し替えの際には水平移動ブロ
ック５と上下可動に連動した昇降作動ブロック６が終端
側へ移動され、先端のウエハ受け板７がウエハＷの収納
されたバスケットと空のバスケットの間でウエハＷの移
し替えを相互に行うウエハ受渡しブロックＢと、装置本
体Ａの終端側で２体のバスケットＣ１，Ｃ２をウエハＷ
の受渡しに適合する整合状態に載置させるバスケット位
置決め手段Ｃと、上記昇降作動ブロック６を装置本体Ａ
に穿設した摺動カム溝８Ａ，８Ｂに沿って案内移動さ
せ、ウエハ受渡しに適合する作動をウエハ受渡しブロッ
クＢに付与する受渡し案内手段Ｄと、回転ハンドル９の
操作で回動される送りねじ軸１０によって上記水平移動
ブロック５を装置本体Ａに穿設された水平案内溝１１，
１２に沿って往復移動させる駆動手段Ｅが装着されてい
る。

【００２１】駆動手段Ｅは、図３で示すように回転ハン
ドル９の回転軸１３が側板１，２間に回動自在に取り付
けられ、この回転軸１３上には駆動用のスパイラルギヤ
１４を設け、このスパイラルギヤ１４には両端を押え板
３，４に回転自在に枢支した送りねじ軸１０に取り付け
られた従動用のスパイラルギヤ１５が歯合している。送
りねじ軸１０は側板１，２間に取り付けられた軸受板１
６によって回動自在に軸支され、この送りねじ軸１０の
他端側は図４で示す水平移動ブロック５の基部に設けら
れた送りねじ孔１７に螺合されている。水平移動ブロッ
ク５は、基部に水平な支持杆１８，１９が固定され、こ
の支持杆１８，１９の前後にそれぞれ突設された案内駒
１８ａ，１８ｂ，１９ａ，１９ｂが、両側板１，２の内
面に穿設された水平案内溝１１，１２に嵌合されてい
る。

【００２２】これにより、回転ハンドル９を正転または
逆転させると回転軸１３とスパイラルギヤ１４，１５を
介して送りねじ軸１０が駆動され、この送りねじ軸１０
に螺合した水平移動ブロック５が水平案内溝１１，１２
に沿って案内されながら前進または後退作される。な
お、軸受板１６の両側面には支持杆１８，１９が挿通さ
れる切欠溝１６ａ，１６ｂが穿設されている。

【００２３】ウエハ受渡し手段Ｂは、図３で詳細を示す
ように水平移動ブロック５に取り付けられる昇降作動ブ
ロツク６と、この昇降作動ブロツク６が一端側に止めね
じで固着される左右の連結板２０，２１と、この連結板
２０，２１の他端側に形成された係止凹溝２０ａ，２１
ａに嵌合させて止めねじで一端側にが固着される連結支
持ブロック２２と、この連結支持ブロック２２の他端側
に形成した係止突起２２ａを介して一端側が止めねじで
固着される左右の間隔保持板２３，２４と、この間隔保
持板２３，２４によって基部側が片持ち状態で取り付け
られるウエハ受け板７を主要な構成部材としている。

【００２４】昇降作動ブロツク６は、アリほぞ６ａを水
平移動ブロック５のアリ溝５ａへ嵌合した状態で上下摺
動可能に取り付けられるが、この昇降作動ブロツク６を
水平移動ブロック５に対して上方へ付勢するために、ア
リ溝５ａの底面には押しばね２５の一端を支持する押上
ブロック２６を取り付けると共に、アリほぞ６ａ側には
押上ブロック２６を収容する切欠溝穴６ｂを設け、この
切欠溝穴６ｂの内面上部が押しばね２５によって支弾さ
れるようにしている。また、昇降作動ブロツク６の下端
側には左右方向へスライドできるようにカム操作軸２７
が挿着されており、このカム操作軸２７は左右のいずれ
かの先端が上記摺動カム溝８Ａ，８Ｂに係合可能な長さ
に設定されている。

【００２５】間隔保持板２３，２４には水平な挿入溝２
３ａ，２４ａが一定のピッチで並設されて、この挿入溝
２３ａ，２４ａにはウエハ受け板７の基部が差込まれる
と共に、この挿入溝２３ａ，２４ａに直交する態様で穿
設された複数の縦溝２３ｂ，２４ｂに例えば実施例に示
すように棒状に形成した軟質ポリウレタンなどの弾性パ
ッキン材２８を挿着したり、シリコンゴム系のパテを充
填して固化させることでウエハ受け板７の基部を局部的
に固着させる。その際には、ウエハバスケットと同一の
ピッチで挿入溝２９ａが穿設された位置決め用の治具２
９をウエハ受け板７の先端側を挿入した状態で止めねじ
を締め付けるようにする。これにより、例えば図５で示
すようにウエハ受け板７は基部側が湾曲した状態でも先
端側は水平状態を維持すると共に、このウエハ受け板７
は弾性的に保持されるので衝撃に対しても変形すること
がない。なお、ウエハ受け板７は従来使用していたステ
ンレスの代わりに例えばジュラルミンなどのアルミ合金
を用いてタフラム処理を施すようにしている。このアル
ミ合金はステンレスに比べて比重が小さく且つ弾力性が
あるので、ウエハ受け板７に先端に掛かる荷重が軽減さ
れて長期使用しても前倒れがなくなると共に、例えばタ
フラム処理などを施すと金属イオンによる汚染もない。

【００２６】ところで、ウエハＷは図６（ａ）で示すよ
うにバスケットＣ内の嵌合溝３１に挿入されて当該嵌合
溝間に形成された係止リブ３２上に載置された状態で上
下方向へ一定のピッチで積重されている。従って、この
ウエハＷを別のバスケットヘ移し替えする場合には、双
方のバスケットの嵌合溝３１および係止リブ３２の高さ
を一致させると共に、ウエハ受け板７を各嵌合溝３１，
３１間に整合させ、この状態で図６（ａ）のように上下
に隣接する各ウエハＷ，Ｗの間にウエハ受け板７を挿入
し、このウエハ受け板７を図６（ｂ）のように上昇させ
て一方のバスケットからウエハＷを受取る動作と、この
受取ったウエハＷを図６（ｂ）のように他方のバスケッ
トの嵌合溝３１間に挿入した後、ウエハ受け板７を下降
させてウエハＷを図６（ａ）のように係止リブ３２上に
引渡す動作が行われる。

【００２７】すなわち、ウエハ受け板７が各ウエハＷ，
Ｗ間に整合する低位置の状態Ｌと、ウエハ受け板７が各
係止リブ３２の上方へウエハＷを持ち上げて担持する高
位置の状態Ｈと、この低位置の状態Ｌから高位置の状態
Ｈへ移行または高位置の状態Ｈから低位置の状態Ｌへ移
行する昇降切り替え状態が必要である。

【００２８】受渡し案内手段Ｄは、図３および図６〜８
で示すように昇降作動ブロック６に対して左右方向へ水
平にスライド可能に挿着された上記カム操作軸２７の両
端部２７ａ，２７ｂと選択的に係合される摺動カム溝８
Ａ，８Ｂが、両側板１，２の内面へ上記水平案内溝１
１，１２とほぼ水平状に穿設されている。

【００２９】この摺動カム溝８Ａ，８Ｂには、水平移動
ブロック５が水平案内溝１１，１２に沿って前進または
後退作動された際に、当該摺動カム溝８Ａ，８Ｂに係合
されたカム操作軸２７を介して昇降作動ブロック６を上
昇または下降させ、バスケットＣ１，Ｃ２間でウエハＷ
の移し替えを行うのために必要な受渡し作動をウエハ受
け板７に付与するカム面が形成されている。また、ウエ
ハＷをバスケットＣ２側からバスケットＣ１側またはバ
スケットＣ１側からバスケットＣ２側への移し替えが選
択できるように、摺動カム溝８Ａ，８Ｂへ出没してカム
操作軸２７の通路を切り替え操作する通路切替え手段が
設けられ、この通路切替え手段と上記摺動カム溝８Ａ，
８Ｂおよびカム操作軸２７が協働して受渡し案内手段Ｄ
が構成されている。

【００３０】摺動カム溝８Ａには終端側に第１の昇降カ
ム面３３が、摺動カム溝８Ｂには途中に第２の昇降カム
面３４が形成されている。また、上記通路切替え手段に
よる通路の切り替えで各バスケットＣ１，Ｃ２間で相互
にウエハＷの移し替えができるように、上記通路が切り
替えられる以前のカム操作軸２７を常に摺動カム溝８Ａ
の始端側で待機させるために、摺動カム溝８Ｂの始端側
は摺動カム溝８Ａの始端側より短尺にし、この摺動カム
溝８Ｂの始端側にはカム操作軸２７を摺動カム溝８Ａに
スライドさせる復帰カム面３５が形成されている。

【００３１】通路切替え手段は、図８で示すように先端
をハの字状に切り欠いて形成したカム面３６ａ，３６ｂ
を備え、側板１側から摺動カム溝８Ａへ出没自在な第１
の切替えカムレバー３６と、中間をコの字状に切り欠い
て形成したカム面３７ａ，３７ｂを備え、側板１側から
カム面３７ａが摺動カム溝８Ａへカム面３７ｂが摺動カ
ム溝８Ｂへ出没自在な第２の切替えカムレバー３７と、
両端の裏面にＺ状のカム溝３８ａ，３８ｂが刻設され、
このカム溝３８ａ，３８ｂへ上記切替えカムレバー３
６，３７の基部に突設させたカムピン３６ｃ，３７ｃを
嵌合させる態様で当該切替えカムレバー３６，３７の間
に架設したスライドカム板３８と、このスライドカム板
３８が嵌合溝３９ａへ摺動自在に差し込まれた状態で側
板１に止ねじで固着されるカム案内板３９と、このカム
案内板３９中央に穿設された長孔によるスライド溝３９
ｂを挿通して下端がスライドカム板３８に固着される切
替え操作ツマミ４０とで構成されている。

【００３２】切替え操作ツマミ４０を例えば左側へスラ
イドさせると、スライドカム板３８も左側へスライドさ
れてカム溝３８ａ，３８ｂの右端にカムピン３６ｃ，３
７ｃが係合した状態になる。これにより、切替えカムレ
バー３６が引き出されて切替えカムレバー３７が押し出
される図９（ａ）の状態になる。また、切替え操作ツマ
ミ４０を右側へスライドさせると、上記とは逆に切替え
カムレバー３６が押し出されて切替えカムレバー３７が
引き出される図９（ｂ）の状態になる。

【００３３】図９（ａ）の状態は、前方に位置するバス
ケットＣ１内のウエハＷを取り出して手前側に位置する
バスケットＣ２に移し替えする場合に適合するものであ
る。

【００３４】すなわち、回転ハンドル９の正転操作で水
平移動ブロック５に連動してカム操作軸２７を摺動カム
溝８Ａに沿って前進させると、ウエハ受け板７は低位置
の状態Ｌで水平に前進しながらバスケットＣ２を通過
し、低位置の状態ＬのままバスケットＣ２内の各ウエハ
Ｗの間へ差し込まれた後、当該摺動カム溝８Ａの終端側
でカム操作軸２７は第１の昇降カム面３３によって上昇
されるので、ウエハ受け板７が低位置の状態Ｌから高位
置の状態Ｈへ上向き傾斜状に上昇して係止リブ３２上の
ウエハＷを下方から掬い上げるようにして図６（ｂ）の
ように担持すると共に、カム操作軸２７は切替えカムレ
バー３７のカム面３７ａによって摺動カム溝８Ｂの終端
側へスライドされる。

【００３５】そこで回転ハンドル９を逆転操作すると、
ウエハ受け板７はウエハＷを担持した高位置の状態Ｈの
まま摺動カム溝８Ｂに沿ってバスケットＣ２内に後退さ
れ、カム操作軸２７は第２の昇降カム面３４によって下
降されるので、ウエハ受け板７が高位置の状態Ｈから低
位置の状態Ｌへ下向き傾斜状に下降してウエハＷを図６
（ａ）のように係止リブ３２上へ引き渡した後、後退し
ながら始端側の復帰カム面３５に当接したカム操作軸２
７は摺動カム溝８Ａ側へスライドされ、摺動カム溝８Ａ
に沿って後退しながら元の待機位置に復帰する。

【００３６】図９（ｂ）の状態は、手前側に位置するバ
スケットＣ２内のウエハＷを取り出して前方に位置する
バスケットＣ１に移し替えする場合に適合するものであ
る。

【００３７】すなわち、回転ハンドル９の正転操作で待
機位置から摺動カム溝８Ａに沿って前進されたカム操作
軸２７は第１の切替えカムレバー３６のカム面３６ａに
よって摺動カム溝８Ｂ側へスライドされ、摺動カム溝８
Ｂに沿って前進しながらウエハ受け板７は図６（ａ）の
ように低位置の状態ＬでバスケットＣ２に挿入され、カ
ム操作軸２７が第２の昇降カム面３４によって上昇され
るとウエハ受け板７が図６（ｂ）のようにウエハＷを受
取り、高位置の状態Ｈのまま摺動カム溝８Ｂに沿って終
端まで前進した後、カム操作軸２７が切替えカムレバー
３７のカム面３７ｂによって摺動カム溝８Ｂの終端側へ
スライドされる。

【００３８】そこで回転ハンドル９を逆転操作すると、
カム操作軸２７が第１の昇降カム面３３によって下降さ
れるので、高位置の状態Ｈから低位置の状態Ｌへ下降し
たウエハ受け板７が担持したウエハＷを図６（ａ）のよ
うに係止リブ３２上へ引き渡した後そのまま後退し、カ
ム操作軸２７が第２の切替えカムレバー３６のカム面３
６ｂに当接すると摺動カム溝８Ｂ側へスライドされ、後
退しながら始端側の復帰カム面３５に当接したカム操作
軸２７は摺動カム溝８Ａ側へスライドされ、摺動カム溝
８Ａに沿って後退しながら元の待機位置に復帰する。

【００３９】上記のように、この実施例では切替え操作
ツマミ４０の切り替え操作によってカム操作軸２７が移
動する摺動カム溝８Ａ，８Ｂの通路を任意に選択し、回
転ハンドル９を正転および逆転させるだけでバスケット
Ｃ１とバスケットＣ２の間で任意にウエハＷの移し替え
を行うことができる。

【００４０】この場合の条件としては、手前側に位置さ
せるバスケットＣ２として底のない処理用バスケットを
使用する必要があるが、前方側のバスケットＣ１は底の
ない処理用バスケットまた底のない処理用バスケットの
いずれでも良い。

【００４１】バスケット位置決め６７Ｃは、前方側に位
置してバスケットＣ１が載置される一方の載置台４１
と、その手前側に位置してバスケットＣ２が載置される
他方の載置台４２と、載置台４１の前方に装着されてバ
スケットＣ１の位置決めを行う左右の位置決め支柱４
３，４４と、載置台４１を前後方向へ摺動可能に弾性支
持する可動受板４５と、上面に可動受板４５が取り付け
られ上記押え板３に対して上下可動な上下動案内板４６
と、高さ調整ツマミ４７の操作で上下動案内板４６を介
して載置台４１の基準高さを設定する高さ調整手段と、
載置台４１上でバスケットＣ１を上方に支弾する弾性受
座手段４８と、バスケットＣ１を上記位置決め支柱４
３，４４側へ押圧する後部押え手段４９などを主要な構
成部材としている。

【００４２】載置台４２は、装置本体の側板１，２に形
成されたアリ溝１ａ，２ａへ両端のアリほぞが上下動可
能に嵌合され、この側板２との間に例えば先に本件出願
人が提案した移し替え装置に使用されているものと同様
に、ラックとピニオンの組み合わせによる高さ調整手段
（図示を省略する。）を設け、ウエハ受け板７に整合す
る高さ位置に調整している。載置台４２の上面にはバス
ケットＣ２の載置面にある凹凸を補正して水平に載置さ
せるためのスペーサ５０が設けられている。

【００４３】載置台４１に取り付けられた位置決め支柱
４３，４４には、図１０および図１１で詳細を示すよう
に位置決め支柱４３側に係止溝穴４３ａ，４３ｂを位置
決め支柱４４に係止突起４４ａ，４４ｂをそれぞれ設
け、この係止溝穴４３ａ，４３ｂにはバスケットＣ１の
ウエハ挿入開口側に形成されたフランジ部５１の凸部５
１ａ，５１ａが係止突起４４ａ，４４ｂには凹部５１
ｂ，５１ｂがそれぞれ嵌合されるようにしている。この
場合に、係止リブ３２間の挿入溝３１に挿入される最下
位のウエハＷの下面から基準面となるバスケットＣ１の
底面までの長さＬがバスケットの製造メーカによって異
なるので、この長さＬが最も大きいバスケットでも使用
できるように載置台４１の上面から下方側の係止溝穴４
３ａおよび係止突起４４ａまでの距離を設定することが
望ましい。

【００４４】弾性受座手段４８は、載置台４１に挿入孔
を穿設してコイルばね５２とばね押え５３を収容し、こ
のばね押え５３の上方に受座板５４を取り付けると共
に、載置台４１の下方から挿入孔に差し込んだ係止軸５
５の先端をばね押え５３に螺着されている。この弾性受
座手段４８は、バスケットＣ１によって受座板５４が押
圧されるとコイルばね５２が圧縮して押圧力に応じて下
降し、押圧力が解除されるとばね力で上昇復帰する。従
って、受座板５４上にバスケットＣ１を載置してた状態
で受座板５４を下方へ押圧しながら凹凸部５１ａ，５１
ｂを係止溝穴４３ａ，４３ｂおよび係止突起４４ａ，４
４ｂに嵌合させると、バスケットＣ１を載置台４１の上
方に浮上させた状態で嵌合させる場合に比べてきわめて
容易に行うことができると共に、バスケットＣ１内のウ
エハＷに対する衝撃を緩和するクッション効果も得られ
る。但し、本発明の中には弾性受座手段４８を省略して
バスケットＣ１を載置台４１の上方に浮上させた状態で
使用する態様もあり、また弾性受座手段４８の代わりに
載置台４１上にウレタンゴムなどのクッション材を張設
するようにした態様もある。

【００４５】後部押え手段４９は、載置台４１を貫通す
る回転軸５６の上端に偏心押えリング５７が取り付けら
れ、回転軸５６の下端側には回転ツマミ５８が取り付け
られている。この後部押え手段４９は、回転ツマミ５８
を回転操作すると偏心押えリング５７が回転しながら載
置台４１上のバスケットＣ１を背面側から押圧し、バス
ケットＣ１の深さ寸法に多少の誤差があっても位置決め
支柱４３，４４との間で確実に挾持することができる。

【００４６】載置台４１と可動受板４５との関係は、載
置台４１の底面に形成したアリ溝５９に可動受板４５の
上面に形成したアリほぞ６０が嵌合して水平方向へ摺動
可能に係合され、可動受板４５の上面に穿設された刳り
貫き穴６１内には可動駒６２が収容され、この可動駒６
２は載置台４１側に穿設された取付孔６３に挿通した取
付ねじ６４をねじ孔６２ａに螺着して当該載置台４１に
固着されている。

【００４７】また、この可動駒６２は可動受板４５を水
平に貫する態様で遊嵌された押圧操作軸６５に固着さ
れ、刳り貫き穴６１内には押圧操作軸６３の外周に巻装
された押しばね６６が設けられている。これにより、可
動駒６２と載置台４１は常時は強い押しばね６６の力で
刳り貫き穴６１内の手前側へ押圧され、押圧操作軸６５
が一端側から押圧を受けると押しばね６６を圧縮しなが
ら可動駒６２と載置台４１は後退され、押圧操作軸６５
に対する押圧が解除されると押しばね６６の弾発力によ
って可動駒６２と載置台４１は原状へ復帰される。

【００４８】可動受板４５は上下動案内板４６上に固着
され、この可動受板４５はアリ溝６８を介して上記押え
板３のアリほぞ６９に嵌合して上下可動に挿着されてい
る。この上下動案内板４６と押え板３の間には、例えば
先に本件出願人が提案した移し替え装置に使用されてい
るものと同様に、ラックとピニオンの組み合わせによる
高さ調整手段（図示を省略する。）が設けられ、この高
さ調整手段は高さ調整ツマミ４７の操作によって押え板
３に対する上下動案内板４６の高さ位置を可変させ、こ
れにより載置台４１の基準高さを設定している。

【００４９】押え板３の上面には、図３で示すように上
記押圧操作軸６５に対する摺動案内溝７０が設けられ、
この摺動案内溝７０を介して装置本体Ａ内へ突設された
押圧操作軸６５の先端は押圧移動ブロック７１に当接さ
れる。押圧移動ブロック７１は、下端側の両側へ突出す
る案内突起７１ａ，７１ｂが設けられ、この案内突起７
１ａ，７１ｂは上記側板１，２の水平案内溝１１，１２
へそれぞれ摺動可能に挿入され、上記水平移動ブロック
５が終端側まで前進してきた際に支持杆１８，１９の案
内駒１８ａ，１９ａによって押圧されるようにしてい
る。

【００５０】これにより、ウエハ受け板７によるウエハ
Ｗの受け渡しのために水平移動ブロック５に連動して上
記ウエハ受渡し手段Ｂが終端側に前進移動されると、押
圧移動ブロック７１に押圧された押圧操作軸６５によっ
て可動駒６２および載置台４１が押しばね６６に抗して
後退され、その後にウエハ受渡し手段Ｂが始端側に後退
移動されると可動駒６２および載置台４１は押しばね６
６の付勢力で原状に復元するので、この載置台４１上に
装着されているバスケットＣ１は常にウエハ受け板７に
連動した状態で前後にスライドしながらウエハ受け板７
との間でウエハＷの受け渡しが行われる。 例えば、ウ
エハ受け板７にウエハＷを引き渡す際には斜め上方に前
進してくるウエハ受け板７に対してバスケットＣ１は前
進しながらウエハＷを引き渡し、ウエハ受け板７からウ
エハＷを受け取る際には斜め下方に後退するウエハ受け
板７に対してバスケットＣ１は後退しながらウエハＷを
受け取る。

【００５１】従って、バスケットＣ１が静止状態でウエ
ハＷの受け渡しを行なう従来の場合に比べると、ウエハ
Ｗやウエハ受け板７およびバスケットＣ１に対する衝撃
が吸収され且つ受け渡し作業も円滑に行われる。また、
可動駒６２および載置台４１の移動範囲を十分に大きく
しておくと、バスケットＣ１の種類によって奥行き方向
の寸法が大幅に異なる場合でも対応することができる。

【００５２】上記したように、バスケットＣ１を載置台
４１上に装着する際に、当該載置台４１に取り付けた位
置決め支柱４３，４４の係止溝穴４３ａ，４３ｂおよび
係止突起４４ａ，４４ｂを、バスケットＣ１のフエハ挿
入開口側に形成されたフランジ部５１の凸部５１ａ，５
１ａおよび凹部５１ｂ，５１ｂを嵌合させると、高さ方
向の位置決めが容易になり且つ精度が向上する。

【００５３】例えば、従来のようにバスケットを載置台
上へ直接に載置すると共に、ウエハの受け渡しに適合し
た状態に当該載置台の高さ調整を行ってバスケットを整
合させると、使用するバスケットによって基準面となる
当該バスケットの底面が載置台の上面と同じであり、当
該基準面から最下位に収容されたウエハ底面までの寸法
が一定ではないために、バスケットを交換する度に載置
台の高さ調整を適性に設定しなければならない。これに
対して上記した位置決めの場合には、図１１で示すよう
に上記寸法Ｌが一定でなくても、位置決め支柱４３，４
４の係止溝穴４３ａと係止突起４４ａに嵌合されるバス
ケットＣ１の凸部５１ａと凹部５１ｂから最下位のウエ
ハＷの下面までの寸法Ｌ１は殆どのバスケットが一定に
統一されているので、このバスケットＣ１が載置台４１
の上面から浮上される空隙が変化するだけで載置台４１
の上面から最下位のウエハＷの下面までの寸法Ｌ２は常
に一定となる。従って、予め載置台４１を所望の高さに
設定しておけば各種のバスケットに対してその都度高さ
調整を行うことなく使用することができる。

【００５４】また、実施例のように載置台４１に弾性受
座手段４８が設けられていると、この弾性受座手段４８
はバスケットＣ１が載置台４１の上面から浮上される空
隙に適合して伸縮するので、バスケットＣ１はより安定
した載置状態になる。

【００５５】

【発明の効果】以上の実施例でも明らかなように本発明
によるウエハ移し替え装置では次のような効果が得られ
る。

【００５６】請求項１のウエハ移し替え装置では、従来
のように載置台上に直接ウエハバスケットを載置させな
いで、既存のウエハバスケットに共通して設けられてい
る凹凸部を載置台に立設した位置決め支柱の係止溝穴お
よび係止突起に嵌合させた状態で装着することにより、
製造各社の間で形状や寸法が異なる各種のウエハバスケ
ットでも交換自在に使用することができる。また高さ調
整がきわめて容易であると共に、取付け精度が向上して
ウエハの受け渡し作業が容易であり且つウエハやウエハ
受け板を損傷させることもなくなる。

【００５７】請求項２のウエハ移し替え装置では、載置
受台上で水平方向へスライド可能にばね支弾された状態
でウエハ載置台が装着され、ウエハ受け板によるウエハ
の受渡しの際にウエハ載置台が連動して前進または後退
するようにしているので、ウエハ受け板とウエハ間また
はバスケット間の摩擦接触による不快音の発生防止や衝
撃緩和がされると共に、ウエハ受け板によるウエハの受
渡し作業も円滑に行われる。

【００５８】請求項３のウエハ移し替え装置では、各ウ
エハ受け板の基部が遊嵌された間隔保持溝内で直交する
複数の縦溝内に充填された弾性パッキン材で固着されて
いるので、従来のように基部全体を締付け固着する場合
に比べて固着時の曲りや間隔のバラツキの発生を減少さ
せることができると共に、この取付け精度の向上によっ
てウエハの受渡し作業を良好にし且つウエハの損傷事故
も軽減される。

【００５９】請求項４のウエハ移し替え装置では、水平
移動ブロックに上下可動な昇降作動ブロックに挿着され
たカム操作軸を、水平移動ブロックに連動して装置本体
の摺動カム溝に沿って移動させることでウエハ受渡しに
必要な昇降作動をウエハ受渡しブロックに伝達するよう
にし、上記昇降作動ブロックが水平移動ブロックに対し
てダンパー用ばね手段で上方へ付勢されているので、特
にカム操作軸が摺動カム溝に沿って下降しながらウエハ
受け板がウエハを引き渡しする際に、ウエハ受け板を介
してウエハに与える衝撃を緩和してウエハの損傷を軽減
させると共に、良好なウエハの受渡し作業を行うことが
できる。

【００６０】請求項５のウエハ移し替え装置では、上記
カム操作軸は上記昇降作動ブロックに対して左右方向へ
水平移動可能に取り付けられると共に、上記装置本体の
一方側板に穿設された第一の摺動カム溝または他方側板
に穿設された第二の摺動カム溝のいずれかへ切替え操作
手段によって選択的に係合してウエハ受渡しの通路が選
定され、この通路の切り替えが１操作によって行われて
２個のウエハバスケット間で相互にウエハの受渡しがで
きるので、切り替え操作が容易である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明によるウエハ移し替え装置の一実施例を
示す全体斜視図である。

【図２】（ａ）は図１のウエハ移し替え装置の平面図、
（ｂ）は同正面図、（ｃ）は同側面図である。

【図３】上記ウエハ移し替え装置の特に駆動手段の詳細
を示す分解斜視図である。

【図４】上記ウエハ移し替え装置の水平移動ブロックと
ウエハ受渡しブロックの詳細を示す分解斜視図である。

【図５】上記ウエハ移し替え装置のウエハ受け板の取付
け状態の説明図である。

【図６】上記ウエハ移し替え装置のウエハ受け板による
ウエハの受渡し動作の説明図である。

【図７】上記ウエハ移し替え装置の装置本体の左右側板
に設けられた水平案内溝と摺動カム溝の説明図である。

【図８】図７の摺動カム溝に対する通路切り替え手段の
分解斜視図である。

【図９】上記ウエハ移し替え装置の受渡し案内手段の動
作説明図である。

【図１０】上記ウエハ移し替え装置の載置台と載置受台
の連結を示す分解斜視図である。

【図１１】上記ウエハ移し替え装置における載置台に対
するウエハバスケットの挿着状態を示し、（ａ）は側面
図、（ｂ）は正面図である。

【符号の説明】

１，２ 側板 ３，４ 押え板 ５ 水平移動ブロック ６ 昇降作動ブロック ７ ウエハ受け板 ８Ａ，８Ｂ 摺動カム溝 ９ 回転ハンドル １０ 送りねじ軸 １１，１２ 水平案内溝 １３ 回転軸 １４，１５ スパイラルギャ １６ 軸受板 １７ 送りねじ孔 １８，１９ 支持杆 ２０，２１ 連結板 ２２ 連結支持ブロック ２３，２４ 間隔保持板 ２５ 押しばね ２６ 押上ブロック ２７ カム操作軸 ２８ 弾性パッキン ２９ 位置決め用治具 ３１ ウエハ嵌合溝 ３２ ウエハ係止溝 ３３，３４ 昇降カム面 ３５ 復帰カム面 ３６，３７ 切替えカムレバー ３８ スライドカム板 ３９ カム案内板 ４０ 切替え操作ツマミ ４１，４２ 載置台 ４３，４４ 位置決め支柱 ４５ 可動受板 ４６ 上下動案内板 ４７ 高さ調整ツマミ ４８ 弾性受座手段 ４９ 後部押え手段 ５０ スペーサ ５１ フランジ部 ５２ コイルばね ５３ ばね押え ５４ 受座板 ５５ 係止軸 ５６ 回転軸 ５７ 偏心押えリング ５８ 回転ツマミ ５９，６８ アリ溝 ６０，６９ アリほぞ ６１ 刳り貫き穴 ６２ 可動駒 ６３ 取付孔 ６４ 取付ねじ ６５ 押圧操作軸 ６６ 押しばね ７０ 摺動案内溝 ７１ 押圧移動ブロック Ａ 装置本体 Ｂ ウエハ受渡し部 Ｃ バスケット位置決め手段 Ｄ 受渡し案内手段 Ｅ 駆動手段 Ｃ１，Ｃ２ ウエハバスケット Ｗ ウエハ

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 水平駆動手段により装置本体に沿って前
   後方向へ移動される水平移動ブロックを設け、この水平
   移動ブロックには前面部に複数枚のウエハ受け板が上下
   方向等間隔で水平に突設されたウエハ受渡しブロックが
   上下可動に取り付けられ、上記水平移動ブロックに連動
   されたウエハ受渡しブロックが移動される装置本体の前
   方には第一の載置台とその手前に配備された第二の載置
   台とが設けられ、この第一の載置台には第一のウエハバ
   スケットを載置すると共に、第二の載置台には第一のウ
   エハバスケットとウエハ挿入開口側を対向させてウエハ
   挿入溝および係止リブを一致させた状態にして底部が開
   口した第二のウエハバスケットを載置し、上記ウエハ受
   渡しブロックと装置本体との間には上記水平移動ブロッ
   クの移動時に上記ウエハ受渡しブロックに作用してウエ
   ハバスケット間でウエハの移し替えを行うようウエハ受
   け板を作動させる受渡し案内手段が設けられ、この受渡
   し案内手段は挿入溝に挿入されて係止リブの上面に載置
   される態様で各ウエハが収容された一方のウエハバスケ
   ットに対して、当該各ウエハ間へ上記ウエハ受け板を水
   平に挿入させた後に上昇させて係止リブ上のウエハを受
   取るように駆動させる受取り案内手段と、このウエハ受
   け板を空の他方のウエハバスケットに対して挿入溝の高
   さ位置で水平に挿入させ、一旦下降させてウエハを係止
   リブ上に載置させた後に当該ウエハバスケットからウエ
   ハ受け板を水平に引き抜いて引渡すように駆動させる引
   渡し案内手段とで構成されたウエハ移し替え装置におい
   て、 上記第一の載置台には、第二の載置台に近い一端側に第
   一のウエハバスケットのウエハ挿入開口側の左右縁部が
   それぞれ当接する位置決め支柱を立設し、この位置決め
   支柱には他のウエハバスケットとの接合用として第一の
   ウエハバスケットに穿設されている既存の凹凸と嵌合す
   る係止突起と係止溝穴を設け、他端側には第一のウエハ
   バスケットを背部から位置決め支柱側へ押圧して支持す
   る係止保持部材が設けられていることを特徴としたウエ
   ハ移し替え装置。
2. 【請求項２】 水平駆動手段により装置本体に沿って前
   後方向へ移動される水平移動ブロックを設け、この水平
   移動ブロックには前面部に複数枚のウエハ受け板が上下
   方向等間隔で水平に突設されたウエハ受渡しブロックが
   上下可動に取り付けられ、上記水平移動ブロックに連動
   されたウエハ受渡しブロックが移動される装置本体の前
   方には第一の載置台とその手前に配備された第二の載置
   台とが設けられ、この第一の載置台には第一のウエハバ
   スケットを載置すると共に、第二の載置台には第一のウ
   エハバスケットとウエハ挿入開口側を対向させてウエハ
   挿入溝および係止リブを一致させた状態にして底部が開
   口した第二のウエハバスケットを載置し、上記ウエハ受
   渡しブロックと装置本体との間には上記水平移動ブロッ
   クの移動時に上記ウエハ受渡しブロックに作用してウエ
   ハバスケット間でウエハの移し替えを行うようウエハ受
   け板を作動させる受渡し案内手段が設けられ、この受渡
   し案内手段は挿入溝に挿入されて係止リブの上面に載置
   される態様で各ウエハが収容された一方のウエハバスケ
   ットに対して、当該各ウエハ間へ上記ウエハ受け板を水
   平に挿入させた後に上昇させて係止リブ上のウエハを受
   取るように駆動させる受取り案内手段と、このウエハ受
   け板を空の他方のウエハバスケットに対して挿入溝の高
   さ位置で水平に挿入させ、一旦下降させてウエハを係止
   リブ上に載置させた後に当該ウエハバスケットからウエ
   ハ受け板を水平に引き抜いて引渡すように駆動させる引
   渡し案内手段とで構成されたウエハ移し替え装置におい
   て、 上記第一の載置台は、載置受台上に装着されて当該載置
   受台に対して水平方向へスライド可能に係合されると共
   に、この載置受台との間に介在されたバネ手段で常時は
   上記ウエハ受渡しブロックの進入側へ付勢され、上記ウ
   エハ受け板が第一のウエハバスケットに進入してウエハ
   の受取りまたは受渡し作業を行う際に、上記水平移動ブ
   ロック側からの押圧で後退させると共に、上記作業の終
   了で水平移動ブロックが後退した際に上記バネ手段によ
   って原状復帰させることを特徴としたウエハ移し替え装
   置。
3. 【請求項３】 水平駆動手段により装置本体に沿って前
   後方向へ移動される水平移動ブロックを設け、この水平
   移動ブロックには前面部に複数枚のウエハ受け板が上下
   方向等間隔で水平に突設されたウエハ受渡しブロックが
   上下可動に取り付けられ、上記水平移動ブロックに連動
   されたウエハ受渡しブロックが移動される装置本体の前
   方には第一の載置台とその手前に配備された第二の載置
   台とが設けられ、この第一の載置台には第一のウエハバ
   スケットを載置すると共に、第二の載置台には第一のウ
   エハバスケットとウエハ挿入開口側を対向させてウエハ
   挿入溝および係止リブを一致させた状態にして底部が開
   口した第二のウエハバスケットを載置し、上記ウエハ受
   渡しブロックと装置本体との間には上記水平移動ブロッ
   クの移動時に上記ウエハ受渡しブロックに作用してウエ
   ハバスケット間でウエハの移し替えを行うようウエハ受
   け板を作動させる受渡し案内手段が設けられ、この受渡
   し案内手段は挿入溝に挿入されて係止リブの上面に載置
   される態様で各ウエハが収容された一方のウエハバスケ
   ットに対して、当該各ウエハ間へ上記ウエハ受け板を水
   平に挿入させた後に上昇させて係止リブ上のウエハを受
   取るように駆動させる受取り案内手段と、このウエハ受
   け板を空の他方のウエハバスケットに対して挿入溝の高
   さ位置で水平に挿入させ、一旦下降させてウエハを係止
   リブ上に載置させた後に当該ウエハバスケットからウエ
   ハ受け板を水平に引き抜いて引渡すように駆動させる引
   渡し案内手段とで構成されたウエハ移し替え装置におい
   て、 上記ウエハ受け板は、左右の取り付け板によって基部側
   が挾持されており、この取り付け板の内面には各ウエハ
   受け板の両側縁部が遊嵌状に差込まれる間隔保持溝が上
   下方向等間隔で水平に穿設されていると共に、当該間隔
   保持溝を直交する態様で複数の縦溝が設けられ、この縦
   溝内に弾性パッキン材を充填して各ウエハ受け板との交
   叉位置を固定させたことを特徴としたウエハ移し替え装
   置。
4. 【請求項４】 水平駆動手段により装置本体に沿って前
   後方向へ移動される水平移動ブロックを設け、この水平
   移動ブロックには前面部に複数枚のウエハ受け板が上下
   方向等間隔で水平に突設されたウエハ受渡しブロックが
   上下可動に取り付けられ、上記水平移動ブロックに連動
   されたウエハ受渡しブロックが移動される装置本体の前
   方には第一の載置台とその手前に配備された第二の載置
   台とが設けられ、この第一の載置台には第一のウエハバ
   スケットを載置すると共に、第二の載置台には第一のウ
   エハバスケットとウエハ挿入開口側を対向させてウエハ
   挿入溝および係止リブを一致させた状態にして底部が開
   口した第二のウエハバスケットを載置し、上記ウエハ受
   渡しブロックと装置本体との間には上記水平移動ブロッ
   クの移動時に上記ウエハ受渡しブロックに作用してウエ
   ハバスケット間でウエハの移し替えを行うようウエハ受
   け板を作動させる受渡し案内手段が設けられ、この受渡
   し案内手段は挿入溝に挿入されて係止リブの上面に載置
   される態様で各ウエハが収容された一方のウエハバスケ
   ットに対して、当該各ウエハ間へ上記ウエハ受け板を水
   平に挿入させた後に上昇させて係止リブ上のウエハを受
   取るように駆動させる受取り案内手段と、このウエハ受
   け板を空の他方のウエハバスケットに対して挿入溝の高
   さ位置で水平に挿入させ、一旦下降させてウエハを係止
   リブ上に載置させた後に当該ウエハバスケットからウエ
   ハ受け板を水平に引き抜いて引渡すように駆動させる引
   渡し案内手段とで構成されたウエハ移し替え装置におい
   て、 上記受渡し案内手段は、上記装置本体の両側板へ前後方
   向に沿って穿設された左右の摺動カム溝と、この摺動カ
   ム溝に係合して上記ウエハの受渡し作動を上記ウエハ受
   渡しブロックに伝達するカム操作軸で構成され、上記カ
   ム操作軸は上記水平移動ブロックに対して上下可動な上
   記ウエハ受渡しブロック側の上下作動ブロックに取り付
   けられ、この上下作動ブロックは水平移動ブロックに対
   してダンパー用バネ手段で上方へ付勢されていることを
   特徴としたウエハ移し替え装置。
5. 【請求項５】上記カム操作軸は上記上下作動ブロックに
   対して左右方向へ水平移動可能に取り付けられると共
   に、上記装置本体の一方側板に穿設された第一の摺動カ
   ム溝または他方側板に穿設された第二の摺動カム溝のい
   ずれかへ切替え操作手段によって選択的に係合してウエ
   ハ受渡しの通路が選定され、この受渡しの通路は上記カ
   ム操作軸が第一の摺動カム溝に沿って前進しながら終端
   側で上記ウエハ受け板が第一のウエハバスケットに収容
   されているウエハを受取った直後に第一の操作レバーに
   よって第二の摺動カム溝に切り替えられ、この第二の摺
   動カム溝に沿って後退しながら途中で第二のウエハバス
   ケットにウエハを引渡す第一の通路と、上記カム操作軸
   が第二の摺動カム溝に沿って前進しながら途中で上記ウ
   エハ受け板が第二のウエハバスケットに収容されている
   ウエハを受取ってそのまま前進し、終端側で第一の操作
   レバーによって第一の摺動カム溝に切り替えられ、後退
   の直後に第一のウエハバスケットにウエハを引渡してそ
   のまま第一の摺動カム溝に沿って後退する第二の通路と
   からなり、上記切替え操作手段は第一および第二の摺動
   カム溝の終端側に出没して往路を復路に切り替える上記
   第一の操作レバーと、第二の摺動カム溝に沿って後退す
   るカム操作軸を第一の摺動カム溝側へ復帰させる当該第
   二の摺動カム溝の始端側に形成された復帰カム溝と、第
   一の摺動カム溝の始端側に出没してカム操作軸を第一の
   摺動カム溝または第二の摺動カム溝に切り替えて往路を
   設定する第二の操作レバーと、上記第一の操作レバーと
   第二の操作レバーとを連動操作するスライド手段とで構
   成されている請求項４に記載したウエハ移し替え装置。