JP2009246238A - リフトピンユニット及びそれを具備したxyステージ装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明に係るリフトピンユニット50は、ワークを搭載させるための吸着盤10の裏面に固定可能な取付けプレート51と、取付けプレート51に固定されるモータ54と、吸着盤10を貫通して上下方向に延在するピン穴70内に挿入される複数のリフトピン67と、モータ54の回転をリフトピン67の上下運動に変換する運動変換手段Sと、を備え、運動変換手段Sは、モータ54の出力軸54aとして延在するネジ軸57と、ネジ軸57に螺合されたナット部58と、ナット部58に連結されたカム板63と、カム板63に形成されたカム溝63aに沿って移動すると共に、リフトピン67を支持するリフトピンベース66に連結された従動ローラ64と、を有する。
【選択図】図4
Description
このような構成を採用すると、運動変換手段をコンパクトにすることができ、リフトピンの昇降機構の小型が可能になる。
このように、リフトピンベースを格子状にすることで、軽量化が可能になり、このような軽量化に伴って、モータの出力を小さくすることができるので、モータの小型化を可能にし、リフトピンユニットの軽量化及び小型化が達成される。
Claims (4)
- ワークを搭載させるためのワークテーブルの裏面に配置可能な取付けプレートと、
前記取付けプレートに固定されるモータと、
前記ワークテーブルを貫通して上下方向に延在するピン穴内に挿入可能な複数のリフトピンと、
前記モータの回転を前記リフトピンの上下運動に変換する運動変換手段と、を備えたことを特徴とするリフトピンユニット。 - 前記運動変換手段は、
前記モータの出力軸として延在するネジ軸と、
前記ネジ軸に螺合されたナット部と、
前記ナット部に連結されたカム板と、
前記カム板に形成されたカム溝に沿って移動すると共に、前記リフトピンを支持するリフトピンベースと、を有することを特徴とする請求項1記載のリフトピンユニット。 - 前記複数のリフトピンの下端は、複数本のフレームによって略格子状に形成された前記リフトピンベースに固定され、前記リフトピンベースは、前記取付けプレートに対して固定されたガイドレールに沿って上下動することを特徴とする請求項2記載のリフトピンユニット。
- 上面でワークを吸着保持する吸着盤と、
前記吸着盤の裏面に固定された複数のリフトピンユニットと、を有し、
前記リフトピンユニットは、
前記ワークを吸着させるための前記吸着盤の裏面に固定可能な取付けプレートと、
前記取付けプレートに固定されたモータと、
前記吸着盤を貫通可能で上下方向に延在するピン穴内に挿入される複数のリフトピンと、
前記モータの回転を前記リフトピンの上下運動に変換する運動変換手段と、を備えたことを特徴とするXYステージ装置。
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