TWI730653B - 裝載埠 - Google Patents

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Abstract

[課題] 提供能夠利用比較緊湊的機構移動裝卸板且不受設置環境等影響的裝載埠。 [解決手段] 具備移動裝卸板的凸輪機構。前述凸輪機構包括驅動機構和形成有凸輪溝的凸輪板。前述驅動機構包括：旋轉驅動單元；旋轉軸，其係利用該旋轉驅動單元進行旋轉；長片狀的旋轉構件，其係固定於該旋轉軸，並以該旋轉軸為旋轉中心進行旋轉；以及第一凸輪從動件及第二凸輪從動件，其係設置於前述旋轉構件。前述凸輪溝包括：第一凸輪溝，其係與前述第一凸輪從動件卡合；以及第二凸輪溝，其係在前述裝卸板的移動方向上形成在與前述第一凸輪溝不同的位置，並與前述第二凸輪從動件卡合。

Description

裝載埠
本發明有關裝載埠。
已知有收容半導體晶片等基板的FOUP等容器。這樣的容器在配備於基板輸送裝置的裝載埠處開閉，並對內部的基板進行出入。在裝載埠設置有載置容器的裝卸板(dock plate)和移動裝卸板的機構。裝卸板在進行容器的交接的位置與進行容器的開閉的位置之間移動(專利文獻1及2)。專利文獻1公開了使用缸筒的機構。
[先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本特開2018-6705號專利公報
[專利文獻2]日本特許第6038476號公報
[專利文獻3]日本特許第4526535號公報
在如專利文獻1那樣使用缸筒的機構中，與 裝卸板的移動距離成比例地需要長條狀的缸筒，存在移動機構大型化的傾向。期待移動機構的小型化。
本發明的目的在於提供能夠利用比較緊湊的機構移動裝卸板且能夠不受容器倉庫(儲料器)、高架輸送裝置(OHT)等設置環境、運用狀況影響地進行設置、使用的裝載埠。
根據本發明，提供一種裝載埠，具備：埠板，其係具有能夠進行基板的出入的開口部；以及載置臺，其係載置收容前述基板的容器；其特徵為：前述載置臺具備：基座部；裝卸板，其係載置前述容器；支撐單元，其係設置在前述基座部與前述裝卸板之間，並將前述裝卸板支撐為能夠在前述埠板側的第一位置與從前述埠板遠離的第二位置之間移動；以及凸輪機構，其係使前述裝卸板相對於前述基座部在前述第一位置與前述第二位置之間移動；前述支撐單元包括滑動件，該滑動件係搭載前述裝卸板並與前述裝卸板一起移動；前述凸輪機構包括：驅動機構，其係設置於前述基座部；以及凸輪板，其係與前述滑動件連結，且形成有凸輪溝； 前述驅動機構包括：旋轉驅動單元；旋轉軸，其係利用該旋轉驅動單元進行旋轉；長片狀的旋轉構件，其係固定於該旋轉軸，並以該旋轉軸為旋轉中心進行旋轉；以及第一凸輪從動件及第二凸輪從動件，其係設置於前述旋轉構件；前述凸輪溝包括：第一凸輪溝，其係與前述第一凸輪從動件卡合；以及第二凸輪溝，其係在前述裝卸板的移動方向上形成在與前述第一凸輪溝不同的位置，並與前述第二凸輪從動件卡合。
根據本發明，可以提供能夠利用比較緊湊的機構移動裝卸板且能夠不受容器倉庫(儲料器)、高架輸送裝置(OHT)等設置環境、運用狀況影響地進行設置、使用的裝載埠。
1:裝載埠
2:埠板
3:載置臺
4:支撐部
5:容器
6:基板搬運機器人
7:基座部
8:支撐單元
9:凸輪機構
10:檢測單元
11:感測器
12:感測器
13:感測器
14:支架
15:螺栓
16:感測器移動機構
30:裝卸板
31:定位銷
32:檢測銷(存在感測器)
33:操作面板
34:驅動機構
40:機構
41:埠門
42:連結構件
43:臺部構件
44:致動器
45:滾珠螺桿軸
47:馬達
48:滾珠螺帽
50:容器主體
51:蓋(門)
60:末端作用器
61:多關節臂
62:驅動單元
70:板
71:板
72:支撐板
73:支柱
80:軌道構件
81:滑動件
82:中間板
83:旋轉單元
90:凸輪板
91:卡合構件
92:連結機構
93:驅動機構
830:支撐板
831:致動器
832:滑輪
833:環形帶
834:旋轉體
835:支架
901:凸輪溝
902:凸輪溝
903:槽
920:彈性構件
921:桿
922:支架
923:支架
924:止動件
930:旋轉驅動單元
931:旋轉構件
932:凸輪從動件
933:凸輪從動件
934:感測器掣子
16a:馬達
16b:臂構件
16c:中心線
1a:控制部
1b:通訊線路
2a:開口部
70a:狹縫
70b:狹縫
7a:開口部
7b:缺口
81a:卡合構件
82a:開口部
82b:軸承
834a:滑輪
930a:驅動馬達
930b:旋轉軸
50a:開口部
W:基板
[圖1]是本發明的一實施方式的裝載埠的外觀圖。
[圖2]是示出圖1的裝載埠的內部機構及使用例的圖。
[圖3](A)至(D)是示出裝卸板的位移形態的圖。
[圖4]是裝卸板的移動機構的說明圖。
[圖5]是裝卸板的移動機構的說明圖。
[圖6]是裝卸板的移動機構的說明圖。
[圖7]是裝卸板的移動機構的說明圖。
[圖8](A)及(B)是裝卸板的移動機構的說明圖。
[圖9](A)是凸輪板的立體圖，(B)是驅動機構及檢測單元的立體圖。
[圖10](A)至(C)是凸輪機構的動作說明圖。
[圖11](A)至(C)是凸輪機構的動作說明圖。
[圖12](A)至(C)是凸輪機構的動作說明圖。
[圖13](A)及(B)是示出控制部的處理例的流程圖。
[圖14]是示出感測器的移動機構的例子的圖。
以下，參閱附圖詳細說明實施方式。尚且，以下的實施方式並非限定與申請專利範圍有關的發明，而且不限定在實施方式所說明的特徵的組合之全部為發明所必需者。也可以任意組合在實施方式中所說明的複數個特徵中二個以上的特徵。而且，對相同或者是同樣的構成賦予相同的參考編號，省略重複的說明。
<第一實施方式> <裝置的概要>
圖1是本發明的一實施方式的裝載埠1的外觀圖。圖2 是示出裝載埠1的內部機構及使用例的圖。在各圖中，箭頭X及Y表示相互正交的水平方向，箭頭Z表示上下方向。另外，X方向上的PP示出了埠板2側。這些箭頭的意思在其它附圖中也同樣如此。
裝載埠1是對FOUP等容器5進行開閉的裝置。容器5具有箱狀的容器主體50和蓋(門)51，該箱狀的容器主體在側部具有出入半導體晶片等基板W的開口部50a，該蓋(門)裝卸自如地安裝於開口部50a，並將開口部50a堵塞。此外，圖2示出了透過裝載埠1將蓋51拆卸且基板搬運機器人6能夠靠近容器5內的基板W的狀態(開放狀態)。
裝載埠1包括埠板2、載置容器5的載置臺3以及支撐載置臺3的支撐部4。埠板2為沿Z方向延伸的板狀體。埠板2包括可供拆卸後的蓋51沿X方向透過的開口部2a。在基板輸送裝置PA至少安裝有1台裝載埠1，該基板輸送裝置在內部具有對基板W進行輸送的基板搬運機器人6。基板搬運機器人6相對於裝載埠1上的容器5進行基板W的搬出及搬入。基板搬運機器人6包括：末端作用器60，其係保持基板W；多關節臂61，其係至少將末端作用器60保持成進退移動自如；以及驅動單元62，其係進行多關節臂61的進退移動、回轉及升降。在處於前述的開放狀態時，透過使基板搬運機器人6進入到與基板輸送裝置PA連通的容器主體50的內部，從而進行基板W的搬出及搬入。
載置臺3具備載置容器5的裝卸板30。在裝卸 板30設置有對容器5定位並進行支撐的多個定位銷31、用於檢測容器5的存在的多個檢測銷(存在感測器)32。在載置臺3內置有使裝卸板30沿X方向位移的驅動機構34。另外，在載置臺3的前部面設置有操作面板33。作業人員能夠經由操作面板33進行裝載埠1的設定及動作指示。
支撐部4為長方體形狀的中空體。支撐部4具備使保持蓋51的埠門41在關閉位置、後退位置及打開位置(圖2的開放狀態的位置)之間移動的機構40，該關閉位置是蓋51堵塞開口部50a的位置，該後退位置是蓋51穿過開口部2a並後退的位置，該打開位置是蓋51與開口部2a的下緣相比退避到下方的位置。埠門41例如具備吸附機構，由此，埠門41能夠對蓋51進行吸附保持。另外，在埠門41設置有對蓋51所具備的鎖定機構的開閉進行操作的操作機構(閂鎖鍵)，由此，能夠實現容器主體50與蓋51的拆卸、安裝。
埠門41由沿Z方向延伸的連結構件42支撐。連結構件42沿X方向滑動自如地支撐於臺部構件43，利用滾珠絲杠、電動缸等致動器44使該連結構件沿X方向移動。另外，在臺部構件43固定有與沿上下方向延伸的滾珠螺桿軸45卡合的滾珠螺帽48。透過利用馬達47使滾珠螺桿軸45旋轉，從而使埠門41、連結構件42及臺部構件43一體地升降。
透過以上結構，能夠使埠門41沿X方向和Z方向移動，由此，能夠使蓋51在關閉位置、後退位置及打 開位置之間移動。此外，使埠門41移動的機構並不限定於此，能夠採用各種機構。
在裝載埠1設置有控制部1a。控制部1a例如包括：以CPU為代表的處理部、RAM、ROM等記憶部、外部設備與處理部之間的輸入輸出介面、經由通訊線路1b與主機等電腦、周邊裝置(基板輸送裝置PA、基板搬運機器人6等)進行通訊的通訊介面。驅動機構34、致動器44及馬達47由控制部1a控制，另外，在控制部1a識別作業人員的經由操作面板33的操作。
<裝卸板的位移形態>
圖3(A)~圖3(D)是示出裝卸板30的位移形態的圖，且是裝載埠1的俯視圖。在本實施方式中，能夠利用驅動機構34進行裝卸板30的X方向上的移動和繞Z方向的旋轉。
圖3(A)示出了裝卸板30相對於埠板2位於在X方向上最接近PP側的位置(以下，也稱為移送位置(dock position))的狀態。在該移送位置進行容器5的開閉。圖3(B)示出了裝卸板30位於最遠離埠板2的位置(以下，也稱為交接位置)的狀態。在作業人員手動地將容器5載置在裝卸板30上的情況下，或者在手動地將載置的容器5搬出的情況下，在該交接位置進行上述作業。另外，當在積存有多個容器5的容器倉庫(儲料器)與裝載埠2之間使用容器輸送機械臂進行容器5的自動交接的情況下，也是在該交接位置進行上述作業。
圖3(C)示出了裝卸板30位於移送位置與交接位置的中間的位置(以下，也稱為中間位置)的狀態。在利用設置在半導體製造工廠內的高架輸送裝置(OHT)等自動地輸送容器5的情況下，在該中間位置進行相對於裝卸板30的容器5的自動載置和載置的容器5的自動搬出。
圖3(D)示出了使裝卸板30旋轉的中途的狀態。在本實施方式中，裝卸板30能夠在X方向上的任意位置以Z軸為軸心進行旋轉。由於裝卸板30能夠旋轉，因此，例如作業人員在交接位置處在使蓋51朝向作業人員側的狀態下將容器5載置於裝卸板30之後，利用旋轉單元83使裝卸板30的方向反轉並使其停止。由此，成為蓋51朝向埠板2側的狀態。之後，使裝卸板30移動到3(A)的移送位置。
<驅動機構的構造>
對驅動機構34的構造進行說明。圖4是以透視裝卸板30的方式圖示的驅動機構34的俯視圖。圖5是在圖4中以透視支撐板830的方式圖示的驅動機構34的俯視圖，且是為了易於觀察凸輪板90和中間板82而對它們標注圖案並進行強調的圖。圖6是驅動機構34的仰視圖。圖7是圖4的VII方向的向視圖，且是驅動機構34的右側視圖。
驅動機構34包括基座部7、支撐單元8及凸輪機構9。基座部7為驅動機構34整體的支撐體，在本實施方式的情況下為板狀的構件。在基座部7的Y方向上的中央部 設置有作為沿X方向延伸的長方形的貫通孔的開口部7a。另外，在基座部7的左側部形成有缺口7b，在此配設有凸輪機構9的一部分結構。
支撐單元8配置在基座部7與裝卸板30之間。支撐單元8包括一對軌道構件80和在一對軌道構件80上移動的滑動件81。在Y方向上遠離的各軌道構件80分別沿X方向延伸設置，並固定於基座部7。滑動件81搭載裝卸板30並與裝卸板30一起移動。滑動件81的移動範圍對應於裝卸板30的X方向上的移動範圍即移送位置與交接位置的範圍。
滑動件81包括中間板82和旋轉單元83。中間板82被固定在多個卡合構件81a上，該多個卡合構件與軌道構件80卡合併沿著軌道構件80滑動。在中間板82的Y方向上的中央部形成有作為貫通孔的開口部82a。
旋轉單元83包括作為被旋轉體的支撐板830。裝卸板30搭載在支撐板830上。支撐板830固定於旋轉體834的上端部，利用旋轉體834的旋轉而進行旋轉。由此，裝卸板30如圖3(D)例示的那樣旋轉。旋轉體834旋轉自如地支撐於被固定在中間板82上的軸承82b，並貫通中間板82而延伸設置到其下方。在旋轉體834的下端部固定有滑輪834a。滑輪834a位於基座部7的開口部7a內。
旋轉單元83具備致動器831作為其驅動源。致動器831在本實施方式的情況下為旋轉缸，在其輸出軸固定有滑輪832。在滑輪832與滑輪834a捲繞有環形帶 833。透過致動器831的驅動，向旋轉體834傳遞其驅動力，並使旋轉體834旋轉。在本實施方式中，例示旋轉缸作為旋轉單元83的驅動源，但可以為馬達，另外，驅動傳遞機構也可以為帶傳動機構以外的機構。
致動器831經由支架835懸吊於中間板82。致動器831位於基座部7的下側，支架835插通開口部7a並將致動器831與中間板82連結。旋轉單元83與中間板82一起沿X方向移動。
凸輪機構9是使中間板82沿X方向移動的驅動機構。凸輪機構9包括作為被移動體的凸輪板90。凸輪板90被固定在沿著軌道構件80滑動自如地卡合的多個卡合構件91上。凸輪板90與中間板82連結。透過使凸輪板90沿X方向移動，從而使中間板82沿X方向移動。
凸輪板90與中間板82經由連結機構92連結。可以將凸輪板90與中間板82直接結合，但在本實施方式的情況下，以在凸輪板90與中間板82之間夾設彈性構件920的方式將其結合，彈性構件920緩衝兩者的驅動力傳遞。即，凸輪板90與中間板82能夠在X方向上相對位移。由此，例如在凸輪板90朝向移送位置移動時，即使在埠板2與容器5之間夾入異物，透過使彈性構件920彈性變形，從而僅會施加不會使作業人員負傷的程度的預定值以下的載荷。另外，此時，容器5、凸輪板90及中間板82無法進一步向接近埠板2的方向位移。結果，能夠確保作業的安全。還將參照圖8(A)對連結機構92的構造進行說明。圖 8(A)是連結機構92的周邊的放大俯視圖。
彈性構件920可以為橡膠等，但在本實施方式中為螺旋彈簧。連結機構92具有將彈性構件920插通的桿921。桿921插通在支架922、923上設置的貫通孔。支架922固定於中間板82，支架923固定於凸輪板90。在桿921的各端部設置有止動件924。彈性構件920在使支架922、923分開的方向上產生作用力，另外，支架922及923能夠在2個止動件924的範圍內接近或遠離。即，凸輪板90與中間板82能夠在2個止動件924的範圍內接近或遠離，在彈性構件920的作用力下，通常會遠離2個止動件924的距離，且能夠在某些外部負荷作用時接近。
參照圖4~圖9(B)，進一步對凸輪機構9進行說明。圖8(B)是驅動機構34的局部側視圖，且是沿圖8(A)的箭頭Y1方向觀察得到的圖。圖9(A)是從凸輪板90的底面側觀察凸輪板90的立體圖，圖9(B)是凸輪機構9的驅動機構93及檢測單元10的立體圖。
凸輪板90在其底面形成有凸輪溝901及902。凸輪溝901及902形成為在X方向上遠離，凸輪溝902位於埠板2側。凸輪溝901及902均為沿Y方向延伸設置的直線狀的溝，凸輪溝901這一方為更長的溝。凸輪溝901及902的各一端部(也稱為開放端部)由沿X方向延伸的槽903連接，各另一端部(也稱為封閉端部)封閉。
驅動機構93包括旋轉驅動單元930、旋轉軸930b及旋轉構件931。旋轉驅動單元930為驅動馬達930a並 將旋轉軸930b作為輸出軸的單元，在其內部內置有向旋轉軸930b傳遞馬達930a的輸出的傳遞機構(齒輪機構、帶傳動機構等)。旋轉驅動單元930配置於基座部7的缺口7b。缺口7b被上側的板70和下側的板71局部地堵塞，在下側的板71的更靠下方的位置設置有支撐旋轉驅動單元930的支撐板72。利用支柱73從上側的板70懸吊支撐板72，在下側的板71形成有避免與支柱73、旋轉驅動單元930的干涉的開口。
旋轉軸930b為沿Z方向延伸的軸。旋轉構件931為固定於旋轉軸930b的上端部並沿水平方向延伸的長片狀的構件。旋轉構件931以從其長邊方向上的中心位置偏移到長邊方向的一方的位置為軸心而樞軸支撐於旋轉軸930b。旋轉構件931以旋轉軸930b為旋轉中心進行旋轉。在旋轉構件931的長邊方向上的各端部旋轉自如地設置有與凸輪溝901、902卡合的凸輪從動件932、933。凸輪從動件932、933的中心軸線指向Z方向。
凸輪從動件932、933在旋轉軸930b的圓周方向上配置在不同的位置，且凸輪從動件932、933及旋轉軸930b在水平方向位於同一直線上。從旋轉軸930b到凸輪從動件932、933的距離彼此不同，從旋轉軸930b到凸輪從動件932的距離更長。
在本實施方式的情況下，凸輪從動件932、933具有相同的直徑，凸輪溝901與凸輪溝902的X方向上的寬度比凸輪從動件932、933的直徑稍寬。凸輪溝901、902 的寬度方向上的中心線彼此的遠離距離與凸輪從動件932、933的軸心彼此的遠離距離相等。
在旋轉構件931設置有感測器掣子934。檢測單元10透過檢測感測器掣子934，從而檢測旋轉構件931的旋轉姿態。在本實施方式的情況下，檢測單元10包括感測器11~13這3個感測器。感測器11~13為光電斷路器，並對感測器掣子934被夾設在受光元件與發光元件之間進行檢測。此外，對於旋轉構件931的旋轉姿態而言，也可以採用光電斷路器以外的感測器，例如也可以為檢測旋轉構件931的旋轉量的旋轉編碼器。
感測器11及12固定於基座部7。感測器11是對旋轉構件931位於與裝卸板30的移送位置對應的位置進行檢測的感測器。為了便於說明，將該位置的旋轉構件931的旋轉角度設為初始位置(0度)。感測器12是對旋轉構件931位於與裝卸板30的交接位置對應的位置進行檢測的感測器。該位置的旋轉構件931的旋轉角度在俯視時在順時針方向上為大致360度。
感測器13被設置成其相對於基座部7的安裝位置調節自如。具體而言，感測器13經由支架14安裝於板70。在板70形成有與旋轉軸930b同心的圓弧形狀的狹縫70a、70b。支架14位於板70的下側，並固定於螺栓15，該螺栓固定於板70且將狹縫70b插通地設置。螺栓15相對於板70的安裝位置沿著狹縫70b調整自如，由此，支架14相對於板70的姿態沿著狹縫70b調整自如。感測器13搭載於 支架14，並透過狹縫70a在板70的上側露出。由此，透過使支架14沿著狹縫70b移動，從而使感測器13沿著狹縫70a移動。
感測器13檢測旋轉構件931的位置。具體而言，在感測器13檢測到旋轉構件931時，裝卸板30位於中間位置。在感測器13檢測到旋轉構件931時，在本實施方式的情況下，旋轉構件931在俯視時沿順時針方向旋轉大致180度(後述的圖11(B)的狀態)。裝卸板30的中間位置是在利用高架輸送裝置(OHT)等自動地輸送容器5的情況下利用的位置，該位置有時需要根據高架輸送裝置(OHT)及裝載埠1的設置環境來進行調整。在本實施方式中，由於將感測器13設為能夠進行位置調節，因此，能夠應對與這樣的設置環境相應的情形。
此外，在本實施方式中，將感測器11、12的位置固定，但也可以與感測器13同樣地設為能夠調節。然而，需要對移送位置和交接位置進行位置調節的情況較少，透過將位置固定，從而能夠簡化構造。
<凸輪機構的動作>
參照圖10(A)~圖12(C)，對凸輪機構9的動作例進行說明。這些附圖是圖示出旋轉構件931進行一次旋轉時的凸輪板90的移動的俯視圖，以透視的方式對凸輪板90進行圖示。由於凸輪板90經由支撐單元8與裝卸板30連結，因此，伴隨著凸輪板90的移動，裝卸板30也進行移動。
圖10(A)示出了旋轉構件931的旋轉角度為0度的狀態。此時，裝卸板30位於移送位置。旋轉軸930b、凸輪從動件932及933位於X方向的同一直線上。利用感測器11檢測感測器掣子934，根據該檢測結果，控制部1a識別出裝卸板30位於移送位置。凸輪從動件932位於凸輪溝901的開放端部(在圖10(A)中為下端部)。
圖10(B)示出了旋轉構件931沿順時針方向旋轉45度後的狀態。透過在旋轉構件931的旋轉過程中使凸輪從動件932與凸輪溝901卡合，從而使凸輪板90向從埠板2分開的方向側的X方向(X方向上的與PP側相反一側的方向；在圖10(B)中為右向)移動，裝卸板30也同樣地向X方向移動。
圖10(C)示出了旋轉構件931沿順時針方向旋轉90度後的狀態。透過在旋轉構件931的旋轉過程中使凸輪從動件932與凸輪溝901卡合，從而使凸輪板90進一步向從埠板2分開的方向側的X方向移動，裝卸板30也同樣地進一步向X方向移動。凸輪從動件932位於最接近凸輪溝901的封閉端部(在圖10(C)中為上端部)的位置(轉折地點)，凸輪從動件932不與封閉端部抵接。旋轉軸930b、凸輪從動件932及933位於Y方向的同一直線上。
圖11(A)示出了旋轉構件931沿順時針方向旋轉135度後的狀態。透過在旋轉構件931的旋轉過程中使凸輪從動件932向凸輪溝901的開放端部側移動，並使凸輪從動件932與凸輪溝901卡合，從而使凸輪板90進一步向從埠 板2分開的方向側的X方向移動，裝卸板30也進一步向相同的方向移動。
圖11(B)示出了旋轉構件931沿順時針方向旋轉180度後的狀態。透過在旋轉構件931的旋轉過程中使凸輪從動件932與凸輪溝901卡合，從而使凸輪板90進一步向從埠板2分開的方向側的X方向移動，裝卸板30也進一步向相同的方向移動，並到達中間位置。凸輪從動件932位於凸輪溝901的開放端部，凸輪從動件933位於凸輪溝902的開放端部(在圖11(B)中為下端部)。雖然旋轉軸930b、凸輪從動件932及933位於X方向的同一直線上，但凸輪從動件932、933的位置與圖10(A)的狀態相反。利用感測器13檢測感測器掣子934，根據該檢測結果，控制部1a識別出裝卸板30位於中間位置。
圖11(C)示出了旋轉構件931沿順時針方向旋轉225度後的狀態。透過在旋轉構件931的旋轉過程中使凸輪從動件933向凸輪溝902的開放端部側移動，並使凸輪從動件933與凸輪溝902卡合，從而使凸輪板90進一步向從埠板2分開的方向側的X方向移動，裝卸板30也進一步向相同的方向移動。
圖12(A)示出了旋轉構件931沿順時針方向旋轉270度後的狀態。透過在旋轉構件931的旋轉過程中使凸輪從動件933與凸輪溝902卡合，從而使凸輪板90進一步向從埠板2分開的方向側的X方向移動，裝卸板30也進一步向相同的方向移動。凸輪從動件933位於最接近凸輪溝902的 封閉端部的位置(轉折地點)。雖然旋轉軸930b、凸輪從動件932及933位於Y方向的同一直線上，但凸輪從動件932、933的位置與圖10(C)的狀態相反。
圖12(B)示出了旋轉構件931沿順時針方向旋轉315度後的狀態。透過在旋轉構件931的旋轉過程中使凸輪從動件933向凸輪溝902的開放端部側移動，並使凸輪從動件933與凸輪溝902卡合，從而使凸輪板90進一步向從埠板2分開的方向側的X方向移動，裝卸板30也進一步向相同的方向移動。
圖12(C)示出了旋轉構件931沿順時針方向旋轉大致360度後的狀態。透過在旋轉構件931的旋轉過程中使凸輪從動件933與凸輪溝902卡合，從而使凸輪板90進一步向從埠板2分開的方向側的X方向移動，裝卸板30也進一步向相同的方向移動，並到達交接位置。凸輪從動件933位於凸輪溝902的開放端部。雖然旋轉軸930b、凸輪從動件932及933位於X方向的大致同一直線上，但並非為與圖10(A)的狀態相同的狀態，由於感測器11與感測器12的安裝位置的不同，旋轉實際上會在比360度稍靠前的位置停止。利用感測器12檢測感測器掣子934，根據該檢測結果，控制部1a識別出裝卸板30位於交接位置。
在本實施方式中，單獨地設置有感測器11和感測器12，但也可以僅設置感測器11，並利用感測器11來檢測移送位置和交接位置這雙方。在該情況下，圖10(A)的狀態和圖12(C)的狀態成為相同的狀態。
在使裝卸板30從交接位置移動到中間位置、從中間位置移動到移送位置的情況下，使旋轉構件931沿逆時針方向旋轉。
如以上那樣，在本實施方式中，透過旋轉構件931的一次旋轉，能夠使裝卸板30在移送位置與交接位置之間移動。另外，透過旋轉構件931的半次旋轉，能夠使裝卸板30在移送位置與中間位置之間或中間位置與交接位置之間移動。透過利用旋轉構件931的旋轉和兩組凸輪溝、凸輪從動件的組合，無需遍及裝卸板30的整個移動行程地延伸設置作為驅動源的致動器，可以提供能夠利用比較緊湊的機構移動裝卸板30的裝載埠1。另外，透過調節旋轉構件931的旋轉量和感測器13的位置，能夠將中間位置設定在任意位置，另外，裝卸板30也能夠進行旋轉。因此，本實施方式的裝載埠1能夠不受容器倉庫(儲料器)、高架輸送裝置(OHT)等設置環境、運用狀況影響地進行設置、使用。
另外，透過使作業人員能夠選擇與裝卸板30的停止位置的種類對應的多個控制模式，從而能夠實現更靈活的使用。多個控制模式可以包括不使用交接位置作為裝卸板30的停止位置的第一控制模式。在該第一控制模式的情況下，裝卸板30的停止位置為移送位置和中間位置這兩處。另外，可以包括不使用中間位置作為裝卸板30的停止位置的第二控制模式。在該第二控制模式的情況下，裝卸板30的停止位置為移送位置和交接位置這兩處。另外， 可以包括使用移送位置、中間位置、交接位置這三處的全部作為裝卸板30的停止位置的第三控制模式。在上述第一~第三控制模式中，也可以進一步包括是否使裝卸板30旋轉的不同的控制模式。
具體而言，在僅使用移送位置和中間位置這兩處作為裝卸板30的停止位置的第一控制模式的情況下，僅包括不使裝卸板30旋轉的控制模式，不包括使裝卸板30旋轉的情況下的控制模式。
在不使用中間位置作為裝卸板30的停止位置的第二控制模式的情況下，包括：使裝卸板30在除了在以載置有容器5的狀態使裝卸板30旋轉時會在容器5與埠板2之間產生干涉的區域以外的任意位置旋轉的情況下的控制模式；以及不使裝卸板30旋轉的情況下的控制模式。換言之，任意位置為在使裝卸板30旋轉時不會在容器5與埠板2之間產生干涉的區域中任意一點，也可以包括交接位置。
在使用移送位置、中間位置、交接位置這三處的全部作為裝卸板30的停止位置的第三控制模式的情況下，包括：由於在中間位置以載置有容器5的狀態進行旋轉時會在容器5與埠板2之間產生干涉而在比中間位置靠交接位置且不會產生干涉的區域中的任意位置使裝卸板30旋轉的情況下的控制模式；以及不使裝卸板30旋轉的情況下的控制模式。任意位置也可以為交接位置。
圖13(A)是示出受理這樣的控制模式的選擇的處理的例子的流程圖，且是控制部1a執行的處理的例 子。在S1中，從預先設定的多個控制模式中受理由作業人員進行的控制模式的選擇。透過基於操作面板33的輸入或來自能夠經由通訊線路1b與控制部1a通訊的主機等的輸入，從而受理控制模式的選擇。在S2中，保存S1中的選擇內容，並設定控制模式。以後，控制部1a以所設定的控制模式使裝載埠1動作。
圖13(B)是示出在設定控制模式之後控制部1a控制裝載埠1的動作的情況下的處理的例子的流程圖，特別是示出了裝卸板30的移動控制例。在S11中，受理裝卸板30的移動指示。透過基於操作面板33的作業人員的手動輸入或者來自能夠在系統的自動控制中經由通訊線路1b與控制部1a通訊的主機等的控制指示輸入，從而受理移動指示。
在S12中，按照設定中的控制模式執行在S11中受理到的移動指示。例如在設定了不使用交接位置作為裝卸板30的停止位置的第一控制模式的情況下，每當有移動指示時，一邊切換旋轉方向，一邊使旋轉構件931進行半次旋轉。由此，每當有移動指示時，裝卸板30從移送位置向中間位置移動，另外，從中間位置向移送位置移動。旋轉構件931的旋轉範圍為半次旋轉。
另外，例如在設定了不使用中間位置作為裝卸板30的停止位置的第二控制模式的情況下，每當有移動指示時，一邊切換旋轉方向，一邊使旋轉構件931進行一次旋轉。由此，每當有移動指示時，裝卸板30從移送位置 向交接位置移動，另外，從交接位置向移送位置移動。旋轉構件931的旋轉範圍為一次旋轉。
另外，例如在設定了使用移送位置、中間位置、交接位置這三處的全部作為裝卸板30的停止位置的第三控制模式的情況下，每當有移動指示時，使旋轉構件931進行半次旋轉。每當有兩次移動指示時，會對旋轉方向進行切換。由此，每當有移動指示時，裝卸板30從移送位置向中間位置移動，另外，從中間位置向交接位置移動，從交接位置向中間位置，從中間位置向移送位置移動。旋轉構件931的旋轉範圍為一次旋轉。
<第二實施方式>
代替使用支架14的感測器13的安裝構造，也可以設置自動地變更感測器13的位置的感測器移動機構。圖14是示出其一例的驅動機構34的局部側視圖，且是從圖8(A)的箭頭Y1方向觀察得到的圖(相當於圖8(B))。
感測器移動機構16包括作為驅動源的馬達16a和固定於馬達16a的輸出軸並進行轉動的臂構件16b，感測器13搭載於臂構件16b。馬達16a透過未圖示的支架支撐於基座部7。由於能夠確保感測器移動機構16的配置空間，因此，旋轉驅動單元930的配置等與第一實施方式不同。
馬達16a的輸出軸的中心線16c位於與旋轉軸930b相同的軸線上，臂構件16b繞中心線16c轉動。透過使 臂構件16b轉動，從而能夠使感測器13在狹縫70a內沿旋轉軸930b的圓周方向移動，能夠對其檢測位置進行變更。驅動部1a根據作業人員對操作面板33的操作來進行馬達16a的旋轉控制。相對於使用支架14的感測器13的位置調節，能夠使感測器13的位置調節自動化。
以上，說明了有關發明的實施方式，但是，發明並不被限制在上述的實施方式，在發明的要旨的範圍內，可以做種種的變形、變更。
9:凸輪機構
90:凸輪板
901,902:凸輪溝
930b:旋轉軸
931:旋轉構件
932,933:凸輪從動件
934:感測器掣子

Claims (13)

  1. 一種裝載埠，具備： 埠板，其係具有能夠進行基板的出入的開口部；以及 載置臺，其係載置收容前述基板的容器；其特徵為： 前述載置臺具備： 基座部； 裝卸板，其係載置前述容器； 支撐單元，其係設置在前述基座部與前述裝卸板之間，並將前述裝卸板支撐為能夠在前述埠板側的第一位置與從前述埠板遠離的第二位置之間移動；以及 凸輪機構，其係使前述裝卸板相對於前述基座部在前述第一位置與前述第二位置之間移動； 前述支撐單元包括滑動件，該滑動件係搭載前述裝卸板並與前述裝卸板一起移動； 前述凸輪機構包括： 驅動機構，其係設置於前述基座部；以及 凸輪板，其係與前述滑動件連結，且形成有凸輪溝； 前述驅動機構包括： 旋轉驅動單元； 旋轉軸，其係利用該旋轉驅動單元進行旋轉； 長片狀的旋轉構件，其係固定於該旋轉軸，並以該旋轉軸為旋轉中心進行旋轉；以及 第一凸輪從動件及第二凸輪從動件，其係設置於前述旋轉構件； 前述凸輪溝包括： 第一凸輪溝，其係與前述第一凸輪從動件卡合；以及 第二凸輪溝，其係在前述裝卸板的移動方向上形成在與前述第一凸輪溝不同的位置，並與前述第二凸輪從動件卡合。
  2. 如請求項1的裝載埠，其中， 前述滑動件具備： 中間板，其係與前述凸輪板連結，並透過前述凸輪機構進行移動；以及 旋轉單元，其係設置於該中間板，並將前述裝卸板支撐為能夠旋轉。
  3. 如請求項2的裝載埠，其中， 在前述凸輪板與前述中間板之間夾設有彈性構件。
  4. 如請求項1的裝載埠，其中， 前述裝載埠還具備檢測部件，其係設置於前述基座部，並對前述旋轉構件的旋轉姿態進行檢測。
  5. 如請求項4的裝載埠，其中， 前述檢測部件檢測前述裝卸板位於前述第一位置、前述第二位置或前述第一位置與前述第二位置之間的中間位置時的前述旋轉構件的旋轉姿態。
  6. 如請求項5的裝載埠，其中， 前述檢測部件包括與前述第一位置、前述第二位置及前述中間位置對應地設置的第一感測器、第二感測器及第三感測器； 與該中間位置對應地設置的前述第三感測器的相對於前述基座部的位置調節自如。
  7. 如請求項6的裝載埠，其中， 前述裝載埠具備感測器移動機構，其係包括驅動源，透過該驅動源的驅動力，在前述旋轉軸的圓周方向上變更與前述中間位置對應地設置的前述第三感測器的位置。
  8. 如請求項1~7中任一項的裝載埠，其中， 前述第一凸輪從動件及前述第二凸輪從動件在前述旋轉軸的圓周方向上配置在不同的位置，且到前述旋轉軸的距離相互不同。
  9. 如請求項1~7中任一項的裝載埠，其中， 前述第一凸輪溝及前述第二凸輪溝為沿與前述裝卸板的移動方向正交的方向延伸的直線狀的溝； 前述旋轉軸、前述第一凸輪從動件及前述第二凸輪從動件位於相同的直線上； 在該相同的直線與前述裝卸板的移動方向平行時，前述裝卸板位於前述第一位置或前述第二位置。
  10. 如請求項1的裝載埠，其中， 在前述旋轉構件從初始位置起進行半次旋轉的期間，藉由前述第一凸輪從動件與前述第一凸輪溝的卡合，使前述裝卸板移動到前述第一位置與前述第二位置之間的中間位置； 在前述旋轉構件從進行了半次旋轉的位置起進行一次旋轉的期間，藉由前述第二凸輪從動件與前述第二凸輪溝的卡合，使前述裝卸板從前述中間位置移動到前述第二位置； 能夠選擇第一控制模式和第二控制模式，在前述第一控制模式中，前述旋轉構件的旋轉範圍為從前述初始位置起到進行半次旋轉為止的範圍，在前述第二控制模式中，前述旋轉構件的旋轉範圍為從前述初始位置起到進行一次旋轉為止的範圍。
  11. 如請求項10的裝載埠，其中， 能夠選擇前述旋轉構件的旋轉範圍為從前述初始位置起到進行一次旋轉為止的範圍的第三控制模式，在前述第三控制模式中，每當前述旋轉構件進行半次旋轉時，使前述旋轉構件的旋轉停止。
  12. 一種控制方法，乃是控制請求項1的裝載埠的控制方法；其中， 在前述旋轉構件從初始位置起進行半次旋轉的期間，藉由前述第一凸輪從動件與前述第一凸輪溝的卡合，使前述裝卸板移動到前述第一位置與前述第二位置之間的中間位置； 在前述旋轉構件從進行了半次旋轉的位置起進行一次旋轉的期間，藉由前述第二凸輪從動件與前述第二凸輪溝的卡合，使前述裝卸板從前述中間位置移動到前述第二位置； 前述控制方法包括： 受理第一控制模式或第二控制模式的選擇的設定工序；以及 使前述旋轉構件旋轉並使前述裝卸板移動的控制工序； 在前述控制工序中，在設定了前述第一控制模式的情況下，使前述旋轉構件在從前述初始位置起到進行半次旋轉為止的旋轉範圍內旋轉，在設定了前述第二控制模式的情況下，使前述旋轉構件在從前述初始位置起到進行一次旋轉為止的旋轉範圍內旋轉。
  13. 如請求項12的控制方法，其中， 在前述設定工序中，能夠受理第三控制模式的選擇； 在前述控制工序中，在設定了前述第三控制模式的情況下，使前述旋轉構件在從前述初始位置起到進行一次旋轉為止的旋轉範圍內旋轉，且每當前述旋轉構件進行半次旋轉時，使前述旋轉構件的旋轉停止。
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