JP2004311864A - 半導体処理装置用ロードポート - Google Patents
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Abstract
【課題】塵を発生させることなくポートドアの昇降動作を行うことができる半導体処理装置用ロードポートを提供する。
【解決手段】外面に蓋が載置されるポートドア3と、該ポートドア3の外周を囲むように配置される壁面と該ポートドア3の内面に対向して配置される底面とで区画されるバッファーチャンバ6と、該ポートドア3の内面に接合され該ポートドア3の面と垂直な方向にそって該ポートドア3を昇降させる昇降手段4と、該昇降手段4の外周に配置されるベローズ31とを備え、該ベローズ31の一端31aは該バッファーチャンバ6の底面と連結し、該ベローズ31の他端31bは該バッファーチャンバ6の外側において該昇降手段4に対して固定されていることを特徴とする基板処理装置用ロードポートにより解決する。
【選択図】 図1a
【解決手段】外面に蓋が載置されるポートドア3と、該ポートドア3の外周を囲むように配置される壁面と該ポートドア3の内面に対向して配置される底面とで区画されるバッファーチャンバ6と、該ポートドア3の内面に接合され該ポートドア3の面と垂直な方向にそって該ポートドア3を昇降させる昇降手段4と、該昇降手段4の外周に配置されるベローズ31とを備え、該ベローズ31の一端31aは該バッファーチャンバ6の底面と連結し、該ベローズ31の他端31bは該バッファーチャンバ6の外側において該昇降手段4に対して固定されていることを特徴とする基板処理装置用ロードポートにより解決する。
【選択図】 図1a
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
この発明は、半導体製品等の基板など高清浄度が要求される処理の対象物たる基板を内部に収納し蓋と本体で密閉して内部を高清浄度に保ったクリーンボックスから基板の出し入れを実行する基板処理装置において、基板の出し入れの際に該蓋を鉛直方向に移動させて蓋の開閉をおこなうSMIF方式クリーンボックスの蓋の開閉のための開閉機構とそれを有するクリーンボックスのロードポート部に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体製品等の基板の処理工程は高清浄度が保証された環境下で行うことが必要であり、部屋全体が高清浄度に保たれたクリーンルーム内で行われることが一般的であった。しかし、大きな体積を占める部屋全体を高清浄度に保つには大きな設備投資と維持費を必要とし、また、一旦設備投資を行うと製造工程の変更に伴う部屋レイアウト変更の際に再度の大きな設備投資が必要となり不経済である。そこで近年では、部屋全体を高清浄度に保つことなく半導体基板処理装置の内部を微少環境空間(以下、ミニエンバイロンメント部と呼ぶ)として高清浄度に保つことで、部屋全体を高清浄度に保った時と同じ効果を得る手法が知られている(以下、このような基板処理装置をクリーン装置と呼ぶ)。
すなわち、基板の製造が行われる部屋に前記基板処理装置をレイアウトして、内部を高清浄度に保った基板の保管容器(以下、クリーンボックスと呼ぶ)で当該クリーン装置間の搬送を行う。そして、外部から塵が侵入しないようにクリーンボックスを基板処理装置に設けた基板のための所定の出し入れ口に連結させて、この所定の出し入れ口を介して基板の受け渡しを行えば、製造が行われる部屋の清浄度を高くせずとも基板が曝される環境をすべて高清浄度に保つことができるというものである。これにより部屋全体をクリーンルーム化した場合と同じ効果を得ることが可能となり、設備投資や維持費を削減して効率的な生産工程を実現できる。なお、この明細書中において、基板とはたとえば露光用マスク(レチクル)、半導体ウェハー等を含む意味として用いる。従って、基板処理装置はレチクル処理装置、半導体ウェハー処理装置を含む意味として用いる。
【0003】
図9を参照してクリーン装置1について説明する。図9はクリーン装置1の全体の断面を示した図である。クリーン装置1は処理室60と搬送室50とロードポート部10とを備えている。
処理室60はクリーン装置1において実行される各種の基板処理を実行する部分である。
搬送室50は外部と遮断された密閉の空間を内部に有する室であってその内部には基板を搬送するためのロボットアーム55が配置されている。
ロードポート部10は基板をクリーン装置1の処理室60へ搬入するためにクリーンボックス2を載置する部位であって、クリーンボックス2の本体2aから蓋2bを取り外す機能を備えている。
ロードポート部10の内部にはほぼ水平に保たれたポートドア3が配置されている。ポートドア3は鉛直方向に昇降する(たとえば、特許文献1参照)。図9の状態ではポートドア3は下降した状態となっている。ポートドア3はポートドア3を四方から囲む壁面とポートドア3の下面とほぼ平行に位置する底部とにより囲まれていて、この壁面と底部とによりロードポート部10の内部にバッファーチャンバ6を構成する。バッファーチャンバ6の上方は開放され、ポートドア3の大きさとほぼ同じアクセス開口5を構成する。従って、アクセス開口5からみれば所定の深さを有するバッファーチャンバ6となっている。アクセス開口5の大きさはクリーンボックス2の開口が包絡する領域とほぼ同じまたはそれ以下の大きさであって、ポートドア3はバッファーチャンバ6の壁面にそって上昇または下降をおこなう。クリーンボックス2をロードポート部10に載置した際にアクセス開口5は図9に示したようにクリーンボックス2の本体2aで覆われていて、蓋2bをはずしてもロードポート部10のバッファーチャンバ6の密閉状態が保たれる。
ロードポート部10の内部のバッファーチャンバ6と搬送室50の内部50aとは搬送用開口51により、搬送室50の内部50aと処理室60の内部60aは搬送用開口52により連通している。ロードポート部10の内部と搬送室50の内部50aと処理室60の内部は密閉されて外部環境から遮断された状態にあってミニエンバイロンメント部を形成する。
また、搬送用開口51は開閉用ゲートバルブ53aにより駆動される開閉扉53で開閉され、一方搬送用開口52は開閉用ゲートバルブ54aにより駆動される開閉扉54で開閉される。
【0004】
続いて図10を参照して、ロードポート部10について詳細に説明する。図10は図9のうちロードポート部10を特に拡大して示した図である。図10では、図9と異なりポートドア3は上昇した状態を示している。また、図10は蓋2bがポートドア3上に載置されている状態である。なお、図10において二点鎖線により示した状態が下降状態のポートドア3の位置である。ポートドア3には昇降手段4が接続されている。昇降手段4はラッチ開閉軸4aとラッチ開閉軸内にアクチュエータを保持するためのフレーム4bと昇降シャフト4cと電動アクチュエータ7とを備えている。ラッチ開閉軸4aは鉛直方向に延在する棒状の部材でポートドア3の内面たる下方の面にその一端が接合されていて昇降手段4の昇降動作を直接ポートドア3に伝達する役目を果たしている。ラッチ開閉軸4aのポートドア3と反対側の端部はフレーム4bに接合され、またフレーム4bは昇降シャフト4cに接続されている。昇降シャフト4cは電動アクチュエータ7に接続されていて、これにより昇降手段4としてポートドア3の昇降動作を喚起せしめる。バッファーチャンバ6の下方中央にはラッチ開閉軸4aが貫通する貫通孔が配置されている。貫通孔はラッチ開閉軸4aの大きさとほぼ同じであるか、またはそれ以下である。
ラッチ開閉軸4aの内部にはラッチ開閉軸4aの中心周りに回動可能な回転シャフト33が取り付けられている。回転シャフト33の先端にはポートドア3の面から鉛直方向に突出するように配置された棒状のラッチピン32が配置されている。ラッチピン32は回転シャフト33の回転軸を中心とする円周上の任意の位置に配置されている。なおラッチピン32は円周上に点対象に配置された円形の孔とするのが好ましい。
【0005】
ポートドア3はアクセス開口5の形状とほぼ対応する形状の矩形の平板形状であって、上昇した際にポートドア3がアクセス開口5に嵌入されて図10に示したようにアクセス開口5を閉じてバッファーチャンバ6を外界から遮断して密閉するようになっている。ロードポート部10の外面側にあたるポートドア3の上面側にはクリーンボックス2の蓋2bの位置を合わせるため、ポートドア3の上面からほぼ垂直に突出した突起たる位置決めピン3cが配置されている。クリーンボックス2の蓋2bには位置決めピン3cに対応した孔が配置されている。クリーンボックス2がロードポート部10に載置され、ポートドア3が上昇してクリーンボックス2の蓋2bに当接した際にはこの位置決めピン3cが孔に嵌入してポートドア3の正しい位置に蓋2bが位置するようになっている。
【0006】
ポートドア3の下方はアクセス開口5の大きさよりも大きいフランジ状の鍔3aを構成している。鍔3aにはシール部材3bがはめ込まれている。電動アクチュエータ7を駆動しラッチ開閉軸4aを上昇させてポートドア3をアクセス開口5に嵌入するとアクセス開口5の縁部5aに鍔3aが当接してバッファーチャンバ6が密閉状態となる。一方、逆に電動アクチュエータ7を駆動しラッチ開閉軸4aを下降しポートドア3を下降させるとアクセス開口5が大きく開いた状態となる。
ポートドア3の下側の面からバッファーチャンバ6内部における少なくともラッチ開閉軸4aの外周にはベローズ31が取り付けられている(たとえば、特許文献1または特許文献2参照)。電動アクチュエータ7を駆動してラッチ開閉軸4aが上昇した場合にはポートドア3が底面から離れるためベローズ31は伸び、電動アクチュエータ7を駆動してラッチ開閉軸4aが下降した場合にはポートドア3に近づくためベローズ31が縮む。
【0007】
クリーンボックス2の本体2aと蓋2bは、ラッチ機構により運搬時における蓋2bの脱落の防止が講じられている。図11は蓋2bの内部のラッチ機構を示した図である。
従来のラッチ機構は代表的には下記の構造となっている。蓋2bのほぼ中心の位置には回動可能に配置された円形の回転カム板21を有している。回転カム板21には回転カム板21の中心とする円周上の任意の位置に配置されたラッチ穴21aが穿設されている。なお、ラッチ穴21aは円周上に点対象に配置された円形の孔とするのが好ましい。ラッチ穴21aはラッチピン32と係合する孔であり、ラッチピン32を受容可能な形状の孔であると共にその位置もラッチピン32の位置と対応するように配置されている。
回転カム板21のラッチ穴21aの外側には、回転カム板21の中心に対し点対称の関係にある2本のカム溝23が配置されている。カム溝23のそれぞれの一端を始点23aとして他端を終点23bとすると、カム溝23の始点23aと回転カム板21の中心との距離が最も短く、一方カム溝23の終点23b側でカム溝23の中心と回転カム板21の中心からの距離が最も長い状態となる。一方、蓋2bには蓋2bの面にそって平行に可動なラッチ部材26を有している。ラッチ部材26の回転カム板21側には従動ピン24が配置されている。この従動ピン24はカム溝23と係合している。また、ラッチ部材26は蓋2aの側面から突出する先端部を含んでいる。
今、蓋2bが載置されるポートドア3のラッチ開閉軸4内の回転シャフト33の先端に配置されたラッチピン32がラッチ穴21aに嵌入され、回転シャフト33を回転することにより回転カム板21を回転するとラッチ部材26の従動ピン24がカム溝23bの始点23aから終点23bに向かってカム溝23にそって移動する。それに従って、従動ピン24の位置は回転カム板21の中心から回転カム板21の外側に向かって移動する。その移動距離に従ってラッチ部材26の先端部22aが蓋2bの外側に向かって移動する。従動ピン24が始点23aに位置する際にはラッチ部材26aが蓋2b内に収まり、従動ピン24が終点23bに位置する際には蓋2bから突出するように設定する。一方、クリーンボックス2の本体2aの蓋2bと当接する位置にラッチ部材26aと係合するラッチ孔30が配置されていので、回転カム板21を回転させることにより蓋2bをクリーンボックス2に固定することができる。
ポートドア3の上面には開閉機構として回転カム板21のカム溝23に係合し回転可能なラッチピン32が配置されている。ラッチピン32はラッチ開閉軸4aの内部に配置される回転シャフト33と結合している。回転シャフト33は回動手段たるロータリーアクチュエータ34と連結している。
【0008】
続いて、クリーン装置1において、ロードポート部10と搬送室50と処理室60との間でどのように基板9をいかに交換するかについて説明する。
クリーンボックス2はまず、図9のようにロードポート部に載置されて、固定される。このとき、基板9は蓋2b上に載せられている。電動アクチュエータ7を駆動してラッチ開閉軸4aを上昇させると、ベローズ31が伸びながらポートドア3が上昇し、ポートドア3の上面から突出するラッチピン32はラッチ穴21aに挿入される。そしてポートドア3はクリーンボックス2の蓋2bに当接する。この段階でロータリーアクチュエータ34を回転させると回転シャフト33が回転し、それに対応してラッチピン32がラッチ穴21aの縁を押して回転カム板21を回転させる。回転カム板21が回転すると従動ピン24が回転してラッチ部材26が扉2bの内部に収まる。この状態で蓋2bはクリーンボックス2の本体2aに対しての固定が解かれる。
ここで電動アクチュエータ7を駆動してラッチ開閉軸4aを下降させると、ポートドア3もベローズ31が縮みながら下降し、それに伴って蓋2bは自重によりポートドア3の下降に従ってクリーンボックス2の本体2aから離れる。ポートドア3が完全に下降した段階でバッファーチャンバ6の底部に基板9を載置した蓋2bが位置する状態となる。この状態でロボットアーム55による搬送動作が可能となる。
【0009】
搬送用開口51をロードポート部10の内部のバッファーチャンバ6と搬送室50の内部50aとは搬送用開口51により、搬送室50の内部50aと処理室60の内部60aは搬送用開口52により連通している。ロードポート部10の内部と搬送室50の内部50aと処理室60の内部は密閉されて外部環境から遮断された状態にあってミニエンバイロンメント部を形成する。
また、開閉用ゲートバルブ53aを駆動して開閉扉53をあけるとロードポート部10の内部のバッファーチャンバ6と搬送室50の内部50aが連通する。ロボットアーム55を操作してロードポート部10の内部のバッファーチャンバ6から基板9を運び出す。さらに、開閉用ゲートバルブ54aを駆動して開閉扉54を開けて搬送室50の内部50aと処理室60の内部60aとが連通する。ロボットアーム55を操作して搬送室50から処理室60に基板9を運び入れる。
なお、これに関する関連する先行技術文献情報としては次のものが有る。
【特許文献1】
特開2001−203253号公報
【特許文献2】
特開平6−268046号公報
【特許文献3】
特許第3084827号明細書
【0010】
【発明が解決しようとする課題】
上記の通り、従来のクリーン装置1は、以下の課題があった。
従来のクリーン装置1におけるロードポート部10では、ポートドア3の下側の面とバッファーチャンバ6の底部との間のバッファーチャンバ6内にベローズ31が取り付けられている。ポートドア3が下降した際にバッファーチャンバ6は真空引きがなされるが、ベローズ31の伸縮動作にともなうベローズ31の磨耗により塵を発生しバッファーチャンバ6内のクリーン度を低下させる問題があった。
【0011】
【課題を解決するための手段】
本発明では、本体と、基板が載置され該本体に嵌合する蓋とを含むクリーンボックスが載置され、その内部から該基板を取り出すための基板処理装置用ロードポートであって、該基板処理装置用ロードポートは外面に該蓋が載置されるポートドアと、該ポートドアの外周を囲むように配置される壁面と該ポートドアの内面に対向して配置される底面とで区画されるバッファーチャンバと、該ポートドアの内面に接合され該ポートドアの面と垂直な方向にそって該ポートドアを昇降させる昇降手段と、該昇降手段の外周に配置されるベローズとを備え、該ベローズの一端は該バッファーチャンバの底面と連結し、該ベローズの他端は該バッファーチャンバの外側において該昇降手段に対して固定されていることを特徴とする基板処理装置用ロードポートにより上記問題を解決する。即ち、塵を発生させること無くポートドアの昇降動作を行うことが可能となる。
【0012】
【発明の実施の形態】
図1乃至図6を参照して、本願発明のクリーン装置1のロードポート部10の実施の形態について説明する。図1aは本願発明のロードポート部10を拡大した図である。クリーン装置1におけるロードポート部10の全体的な構成は図9の前記従来の技術で説明した構成と同じである。クリーン装置1は処理室60と搬送室50とロードポート部10とを備え、ロードポート部10は基板9を半導体装置に搬入するためにクリーンボックス2を載置する部位であって、クリーンボックス2の本体2aから蓋2bを取り外す機能を備えている点で共通する。すなわち、ロードポート部10は従来のクリーン装置1と同様に搬送用開口51を介して搬送室50に接続され、搬送用開口51は開閉扉53により仕切られている。ロードポート部10の内部にはほぼ水平に保たれたポートドア3が配置されている。
ロードポート部10はポートドア3を四方から囲む壁面と、ポートドア3の下面とほぼ平行に位置する底部とにより囲まれるバッファーチャンバ6を有している。バッファーチャンバ6がポートドアの上面側でインターフェース空間6aとして、ポートドア3の下面側をバッファーチャンバ6として便宜的に区別される点は従来の装置と同様である。
ポートドア3の下面はその下方に配置されたラッチ開閉軸4aに接続されている。ラッチ開閉軸4aはバッファーチャンバ6の底面に配置された孔から外側下方に向かって貫通するように配置されている。ラッチ開閉軸4aはフレーム4bを介して昇降手段たる電動アクチュエータ7に接続されている。フレーム4bは電動アクチュエータに接続されていて鉛直方向にラッチ開閉軸4aを昇降させる。ラッチ開閉軸4aの内部には貫通するように回転シャフト33が配置されている。従来の装置と異なり回転シャフト33は回転のみならず昇降も行う。この昇降および回転の動作を行うために、フレーム4bの内部には回転シャフト33を回転させるためのロータリアクチュエータ8aと、回転シャフト33をラッチ開閉軸4a内で昇降させるための昇降シリンダー8bとが配置されている。ロードポート部10において、ポートドア3を四方から囲む壁面には対向するように基板検知センサー77が配置されている。基板検知センサ77は対向する壁面にそれぞれ配置される小窓から赤外線を発するエミッタ77aと、エミッタから発せられた赤外線を受光するディテクタ77bとからなる。図1bは図1aに示したロードポート部10を鉛直方向上方から見た図であって、エミッタ77aとディテクタ77bとの位置関係を示した図である。なお、基板検知センサ77は赤外線センサには限られない。図1bに示すように、エミッタ77aとディテクタ77bは、基板9が上昇下降する際に基板9がエミッタ77aから発せられた光線がディテクタ77bに到達するまでの光軸を横断するように配置されている。従って、ポートドア3が昇降して基板9がその光軸を横断することが予定されている位置でその光軸が遮られていれば基板9が蓋2b上に載置されていることとなる。
【0013】
続いて、以下、本願発明のロードポート部10と従来のロードポート部との異なる箇所を特に中心に説明する。本願発明のロードポート部10が有する従来のクリーン装置1が有する特徴は主に二点である。
第一の特徴は、ポートドア3とクリーンボックス2の蓋2bとを連結して蓋2bの開閉を行うための開閉機構として連結手段を有している点である。この特徴により、自重によらずに強制的に蓋2bをクリーンボックス2の本体2aから取り外すことが可能となる。
また第二の特徴は、従来はポートドア3の下側の面とバッファーチャンバ6の底部との間のバッファーチャンバ6内においてベローズ31が取り付けられていたのに対し、本願ではベローズ31の一端31aはバッファーチャンバ6の底面部と連結し、ベローズ31の他端31bは昇降手段4に対して固定されバッファーチャンバ6の外側に取り付けられている点である。これにより、バッファーチャンバ6における塵の発生を低減化することができる。
なお、本明細書中、「連結」とは単に結合するのみならず、ポートドアを昇降移動させることにより蓋2bがそれに伴って移動するように結合されていることを意味するものとする。以下、これらについて説明する。
【0014】
(連結手段)
ポートドア3は本願の開閉機構を備えている。開閉機構はクリーンボックス2の蓋2bは互いに連結するための連結手段を有する。まず、図2を参照してクリーンボックス2、特にクリーンボックス2の蓋2bについて説明する。図2はクリーンボックス2の上方から見たクリーンボックスの蓋2bの内部の構造を示したものである。クリーンボックス2の蓋2bには、従来の回転カム板21と同様にラッチ機構が取り付けられている。ラッチ機構は、蓋2bの中央に配置されたほぼ円の形状の回転カム板21とラッチ部材26とを含んでいる。回転カム板21は従来のクリーンボックス2の蓋2bのほぼ中心に該中心周りに回転可能に配置されている。回転カム板21の中央には回転カム板21の中心を同心とする円周上に配置されたラッチ穴21aが穿設されている。
【0015】
回転カム板21のラッチ穴21aの外側には、回転カム板21の中心に対し点対称の関係にある2本のカム溝23が配置されている。カム溝23のそれぞれの一端を始点23aとして他端を終点23bとすると、カム溝23の始点23aと回転カム板21の中心との距離が最も短く、一方カム溝23の終点23b側でカム溝23の中心と回転カム板21の中心からの距離が最も長い状態となる。カム溝23は始点23aから終点23bまでカム板21の中心からの距離が徐々に変化するようななめらかな円弧形状を有している。一方、蓋2bには蓋2bの面に平行にそって可動なラッチ部材26を有している。ラッチ部材26の回転カム板21側の端部26bには従動ピン24が配置されている。この従動ピン24はカム溝23と係合している。また、ラッチ部材26は蓋2aの側面から突出する先端部26aを含んでいる。ラッチ部材26はラッチ部材26の断面形状とほぼ同程度のガイド孔を有するガイド部材28aとガイド部材28bと間を該ガイド孔を貫通するように摺動可能に保持されている。ガイド部材28aとガイド部材28bとの間にはバネ27が嵌め込まれていてラッチ部材26が蓋2bの外部に伸びる方向に付勢している。なお、付勢の方向は外部に伸びる方向であっても内部に縮む方向であっても要求に応じて設定の変更が可能である。回転カム板21が回転するとカム溝23もそれに従って回転しラッチ部材26が蓋2bの内部に収納され、または蓋2bの内部から外側に向かって突出する。クリーンボックス2の本体2aの蓋2bと当接する縁にはラッチ部材26の先端部26aと対応する位置にラッチ孔30が配置されていて、ラッチ部材26が突出し先端部26aが蓋2bから外に向かって突出している際にはラッチ部材26の先端部26がラッチ孔30内に受容され係合して蓋2bがクリーンボックス2に固定され、一方ラッチ部材26が回転カム板21の回転により蓋2bの内部に最も引き込まれている状態ではラッチ部材26の先端部26aは蓋2bの中に収納され蓋2bはクリーンボックス2とは結合しない。なお、ラッチ孔30の径はラッチ孔30内に受容されるラッチ部材26の径より十分に大きくなっていて、ラッチ孔30とラッチ部材26とが摺擦することにより発生する塵を防止するようになっている。このようにしても、クリーンボックス2真空の場合には蓋がクリーンボックス2に引き付けられるように吸着するため蓋2bがクリーンボックス2の本体2aから脱落することも無い。
【0016】
本願の蓋2bとポートドア3は互いに連結するため、いわば雄側連結手段と雌側連結手段からなる連結手段をそなえている。雄側連結手段と雌側連結手段のいずれを蓋2b側に配置するかは制限がない。本実施例では代表的な例として、蓋2bに雌側の連結手段が、ポートドア3側に雄側の連結手段が配置されていている前提で説明を行う。
まず蓋2b側の雌側連結手段について説明する。蓋2bの中央部には雌側連結手段たる座ぐり孔42と受容孔41とが配置されている。受容孔41はポートドア3と当接する側の蓋2bの面から座ぐり孔42の底部まで貫通するように配置されている。受容孔41の形状は代表的には非円形である。たとえば、長方形でもよいし、または楕円形でもよい。座ぐり孔42の大きさが受容孔41の大きさより大きく、座ぐり孔42の座面が受容孔41の座部41aとして残ればよい。
つづいて、図3a,図3b,図4aおよび図4bを参照してポートドア3側の連結手段について説明する。すなわち、この状態では前記従来の技術で説明した通り、ラッチ開閉軸4aが上昇してポートドア3が蓋2bに当接した状態となっている。また、図3aおよび図4aはポートドア3が蓋2bに当接した状態における回転カム板21部分を拡大した図であり、一方図3bおよび図4bはそれぞれ図3aおよび図4aの3b断面と4b断面を示している。
【0017】
回転シャフト33の蓋2b側の端部の回転円盤21の中心にあたる位置には雄側連結手段が配置されている。雄側連結手段たる突起45は回転シャフト33の端部の面から円柱形状である根元部45bと、根元部45bの先端側に配置される鍔部45aとを備えている。鍔部45aは根元部45bの断面形状より大きければその効果を奏する。回転シャフト33の中心軸に沿って蓋2bの側からポートドア3の面の方向に鍔部45aの投影面を見た際の鍔部45aの形状は受容孔41内に挿入可能な程度に貫通孔42より若干小さいほぼ相似形状である。そして、さらに鍔部45aを回転した際にその方向から見た場合の鍔部45aの形状は受容孔41の形状とずれて重なる領域が出来るようになっている。この重なった領域により座ぐり孔42の座面である受容孔41の座部41aと係合することが可能となる。本実施の形態では、受容孔41はほぼ長方形の長孔であって、鍔部45aは受容孔41に挿入可能なそれより若干小さい略長方形の形状である。
ラッチ開閉軸4aの内部に配置される回転シャフト33はラッチ開閉軸4aの内部を昇降シャフト3の中心軸に沿って摺動するように昇降可能である。一方、ラッチ開閉軸4aの先端にはラッチピン32がポートドア3から鉛直方向に突出するように配置されている。ラッチピン32は回転カム板21の中心の位置をほぼ中心とする同心の円の円周上であって回転カム板21のラッチ穴21aに対応した位置に回転カム板21の中心に対して点対称となるように配置されている。
この場合、たとえば、図3bに示すようにラッチ開閉軸4aの内部を回転シャフト33が上昇すると、鍔部45aが受容孔41の内部に、またラッチピン32がラッチ穴21a内に挿入される。この段階で鍔部45aの形状と受容孔41の回転カム板21の面への投影形状はほぼ同じである。ここで、回転シャフト33を回転させると、図4aのように鍔部45aの形状と受容孔41の形状との回転カム板21の面へのそれぞれの投影形状は異なっていて、それぞれの投影形状には重なる領域がでる。この重なる領域が受容孔41の座部41aにあたり、この領域が互いに接触することでポートドア3と蓋2bとが連結することができる。
【0018】
なお、蓋2bの上には脆い基板9が載置されているので蓋2bに大きな振動を与えると基板9が損傷する可能性が有る。そのため、鍔部45aと受容孔41の座部41aは回転シャフト33を回転させた際には係合せず、回転させて鍔部45aの形状と受容孔41の形状との回転カム板21への投影形状は異なり投影面に重なる領域が生じたのちに回転シャフト33を下降させてその領域を接触させるようにすると基板9への影響を小さくすることができる。具体的には、座ぐり孔42の座面である受容孔41の座部41aの面と該座部41aと接触可能な鍔部45aの面(本実施の形態では下面)との高さをバックラッシとして所定の高さ(t)だけ余裕をあけておく。この所定の高さ(t)だけ確保した段階で回転シャフト33を回転する動作をおこなって、その後に回転シャフト33を下降させる移動をすれば回転シャフト33が所定の高さ(t)だけ下降した段階で座ぐり孔42の座面である受容孔41の座部41aと該座部41aと接触可能な鍔部45aの面とが接触して係合して連結が完了する。
【0019】
なお、回転シャフト33が最も上昇した際に蓋2bの面と同じ高さになるように設定しておけば、回転シャフト33の端部の面33aとポートドア3の面3bの面高さがほぼ同一となって蓋2bの面に当接可能となる。なお、回転シャフト33を回転することにより、ラッチピン32がラッチ穴21aに嵌入され回動することによりラッチ部材26が蓋2bに対して移動し、クリーンボックス2の本体2aに対しての蓋2bの開放とポートドア3と蓋2bの固定とを同時に行うことができる。
前記従来の技術で説明したクリーンボックス2に上記の連結手段を組み合わせることにより、ポートドア3に対する蓋2bの固定または解放する動作と上記ポートドア3への蓋2bの連結動作を同時に実行するような効率的な工程を実現することができる。図2,図3a,図3b,図4aおよび図4bを参照してこれについて説明する。
【0020】
この場合、代表的に、クリーンボックス2の本体2aに固定されている蓋2bを本体2aから解放する例で説明する。クリーンボックス2の本体2aに固定されている蓋2bを本体2bに固定する場合は以下の手順の逆を行えばよい。初期状態では、ポートドア3が最上部に位置しており、ラッチ開閉軸4aの端面とポートドア3の端面の位置を同一にした状態となっている。ここで、ロードポート10部にクリーンボックス2が載置する。この際に、クリーンボックス2は、蓋2bに突起45が、ラッチピン32がラッチ穴21a内に嵌入されるように載置される。このとき、突起45が受容孔41内に、ラッチピン32がラッチ穴21a内に嵌入される。この状態では図2に示すようにラッチ部材26は蓋2bから突出してクリーンボックス2の側面に配置されているラッチ孔30に受容され蓋2bがクリーンボックス2に固定されている状態である。ここで、回転シャフト33を回転させるとラッチピン32がラッチ穴21aの縁を押して回転カム板21が回転する。回転カム板21の回転に伴って、従動ピン24がカム溝23に沿って移動する。この従動ピン24の動作にともなってラッチ部材26aが蓋2bの内部に収納されるように移動してクリーンボックス2のラッチ孔30から抜ける。このラッチピン32に押されることによる回転カム板21の回転応じて突起45の鍔部45aも回転し、鍔部45aが受容孔41の座部41aと係合可能なように、回転シャフト33の中心軸に沿って蓋2bの側からポートドア3の面の方向から見た場合の鍔部45aの形状は受容孔41の形状とが重なる領域が出来る位置になって連結の準備が完了(アンロック準備完了状態とよぶ)する。ここで、回転シャフト33をバックラッシとしての高さt分だけ下降させると、鍔部45aの形状と受容孔41の形状とが重なる領域が当接し係合して蓋2bとポートドア3と連結し、クリーンボックス3も蓋2bに固定されている状態となる(ホールドダウン準備完了状態とよぶ)。
【0021】
(ベローズの配置)
続いて、図1a,図5aおよび図5bを参照して本願のベローズ31について説明する。
ベローズ31の一端31aはバッファーチャンバ6の外側の底面と密閉するように連結し、ベローズ31の他端31bはバッファーチャンバ6の外側において電動アクチュエータにより昇降動作を行うラッチ開閉軸4aおよびフレーム4bに対して密閉するように固定されている。これにより常にバッファーチャンバ6の外側にベローズ31が配置される状態となる。このように配置すれば、図5aに示すようにポートドア3を下降させた場合であっても、また図5bに示すようにポートドア3を上昇させた場合であってもベローズ31は常にバッファーチャンバ6の外側で伸縮運動をおこない、またこのように配置することにより排気口58よりバッファーチャンバ6の真空引きを実行しても、バッファーチャンバ6はもとよりベローズ31の内部であるラッチ開閉軸4aとベローズ31との間の隙間も真空に保つことができる。この配置とすることにより、ベローズ31は従来バッファーチャンバ6内において塵を発生させていたが、本願の配置とすることにより、(i)ベローズ31の内側とバッファーチャンバ6との間の隙間31cからバッファーチャンバ6内に流れ込む塵の量だけに制限できる、(ii)さらに重力により通常はベローズ31下方に落ちて上昇することを避けることができるという従来の装置には無い効果を奏する。
【0022】
続いて図6,図7および図8a乃至図8dを参照して、本願のクリーン装置1におけるロードポート部1の動作について説明する。
まず、図6を参照してローディング動作について説明する。
初期状態としてロードポート部10においてポートドア3はロードポートの最も上昇した位置になっている。ここで、クリーン装置1の外部に配置されているロボットまたは搬送車(いずれも不図示)がクリーンボックス2をクリーン装置1のロードポート部10のポートドア3上に載置する。その際にラッチピン23とをラッチ穴21a内に、また突起45を受容孔41内に嵌合させる(S601)。続いてポートドア3上のクリーンボックス有無検出センサーによりクリーンボックス2の有無を確認する(S602)。インターフェース空間6aを真空ポンプにより吸引排気する(S603)なお、インターフェース空間6aとはポートドア3が上昇した状態において、理論上はポートドア3と蓋2bとの間の界面、実際にはポートドア3と蓋2bとの間に生じる僅かな隙間である。続いてインターフェース用圧力センサ71によりインターフェース空間6aの真空圧力を検出して所定の圧力となっているかを確認する。所定の圧力に満たない場合にはさらに真空ポンプ72で真空引きを行う(S604)インターフェース空間6a自体を真空とすることでポートドア3と蓋2bとが吸着する。次に、バッファーチャンバー6内の真空圧力をバッファーチャンバ用圧力センサー74により検出し、所定の圧力となっているかを確認する。所定の圧力に満たない場合にはさらに真空ポンプ72で真空引きを行う(S605)。ロータリアクチュエータ8aを駆動して回転シャフト33を回転する。これにより前記のとおりアンロック準備完了状態となる(S606)。ここまでが図8aに示した状態となる。
これに続いて、昇降シリンダー8bで回転シャフト33を下降させると前記のとおりホールドダウン準備状態となる(S607)。駆動手段でポートドア3を下降させて蓋2bがクリーンボックス2の本体2aから離れ所定の位置となるまで下降させ停止する(S608)。ここでバッファーチャンバ6の基板検知センサー77が蓋2bに載置されている基板9の有無を検出する(S609)。搬送室50のロボットアーム55が基板9を処理室60まで搬送する(S610)。ここまでが図8bに示した状態となる。
【0023】
まず、図7を参照してアンローディング動作について説明する。基本的にはローディング作業の逆の工程を実施する。
搬送室50のロボットアーム55が処理室60から処理済の基板9をロードポート部10のバッファーチャンバ6に待機しているポートドア3上の蓋2bの所定の位置に載置する(S701)。基板検知センサー77がポートドア上に適正に基板9が載置されているか確認する(S702)。バッファーチャンバ6内の真空圧力をバッファーチャンバ用圧力センサー74により検出し、所定の圧力となっているかを確認する。所定の圧力に満たない場合にはさらに真空ポンプ72で真空引きを行う(S703)。ロータリアクチュエータ8aがアンロック準備完了状態にあるか、また昇降シリンダー8bがホールドダウン準備状態にあるかを確認する(S704)。電動アクチュエータ7がポートドア3を上昇させバッファーチャンバ6を閉鎖する。この状態で蓋2bがクリーンボックス2の本体2aを閉めた状態となる。続いて、昇降シリンダー8bで回転シャフト33を上昇させると鍔部45aの形状と受容孔41との係合が解除される。ここでロータリアクチュエータ8aを駆動して回転シャフト33を回転すると、回転カム板21の回転により蓋2bのラッチ部材26がラッチ孔30の中に挿入される。鍔部45aが受容孔41から抜き取り可能な状態となる(S705)。続いて、真空状態にあるインターフェース空間6aにN2ボンベ73から高純度窒素ガスを充填およびパージして大気圧に戻し、それをインターフェース空間用圧力センサ71により確認する。(S706)。この工程はインターフェース空間6aが真空になっていると、ポートドア3と蓋2bとは依然として吸着した状態となるためこれを防ぐ目的である。ロボットまたは搬送車(いずれも不図示)がクリーンボックス2をクリーン装置1のロードポート部10から搬出する(S707)。
【0024】
【発明の効果】
本発明により、以下の効果がある。
ロードポート部のポートドアをクリーンボックスの蓋に連結することでクリーンボックスの蓋の着脱を高清浄度を保った状態で容易に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1a】本発明のクリーン装置のロードポート部を側面からみた図である。
【図1b】本発明のクリーン装置のロードポート部を上方からみた図である。
【図2】本発明のクリーンボックスの蓋を示した図である。
【図3a】本発明のクリーンボックスの蓋の回転カム板を示した図である。
【図3b】本発明のクリーンボックスの蓋の回転カム板とロードポート部のポートドアとの位置関係の詳細を示した図であって図3aにおける3b−3b断面を示した図である。
【図4a】本発明のクリーンボックスの蓋の回転カム板を示した図である。
【図4b】本発明のクリーンボックスの蓋の回転カム板とロードポート部のポートドアとの位置関係の詳細を示した図であって図3aにおける4b−4b断面を示した図である。
【図5a】本発明のロードポート部を示した図であって、ポートドアが下降している状態を示した図である。
【図5b】本発明のロードポート部を示した図であって、ポートドアが上昇している状態を示した図である。
【図6】本発明のロードポート部におけるローディング動作を示した図である。
【図7】本発明のロードポート部におけるアンローディング動作を示した図である。
【図8a】本発明のロードポート部におけるローディング動作およびアンローディング動作の流れにおけるポートドアの位置関係を示した図である。
【図8b】本発明のロードポート部におけるローディング動作およびアンローディング動作の流れにおけるポートドアの位置関係を示した図である。
【図8c】本発明のロードポート部におけるローディング動作およびアンローディング動作の流れにおけるポートドアの位置関係を示した図である。
【図8d】本発明のロードポート部におけるローディング動作およびアンローディング動作の流れにおけるポートドアの位置関係を示した図である。
【図9】従来および本発明のロードポート部とクリーン装置全体の関係を示した図である。
【図10】従来のロードポート部を示した図である。
【図11】従来のクリーンボックスの蓋の例を示した図である。
【符号の説明】
1 クリーン装置
2 クリーンボックス
3 ポートドア
4 昇降手段
7 電動アクチュエータ
8a ロータリーアクチュエータ
8b 昇降シリンダ
32 ラッチピン
33 回転シャフト
45 突起
【発明の属する技術分野】
この発明は、半導体製品等の基板など高清浄度が要求される処理の対象物たる基板を内部に収納し蓋と本体で密閉して内部を高清浄度に保ったクリーンボックスから基板の出し入れを実行する基板処理装置において、基板の出し入れの際に該蓋を鉛直方向に移動させて蓋の開閉をおこなうSMIF方式クリーンボックスの蓋の開閉のための開閉機構とそれを有するクリーンボックスのロードポート部に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体製品等の基板の処理工程は高清浄度が保証された環境下で行うことが必要であり、部屋全体が高清浄度に保たれたクリーンルーム内で行われることが一般的であった。しかし、大きな体積を占める部屋全体を高清浄度に保つには大きな設備投資と維持費を必要とし、また、一旦設備投資を行うと製造工程の変更に伴う部屋レイアウト変更の際に再度の大きな設備投資が必要となり不経済である。そこで近年では、部屋全体を高清浄度に保つことなく半導体基板処理装置の内部を微少環境空間(以下、ミニエンバイロンメント部と呼ぶ)として高清浄度に保つことで、部屋全体を高清浄度に保った時と同じ効果を得る手法が知られている(以下、このような基板処理装置をクリーン装置と呼ぶ)。
すなわち、基板の製造が行われる部屋に前記基板処理装置をレイアウトして、内部を高清浄度に保った基板の保管容器(以下、クリーンボックスと呼ぶ)で当該クリーン装置間の搬送を行う。そして、外部から塵が侵入しないようにクリーンボックスを基板処理装置に設けた基板のための所定の出し入れ口に連結させて、この所定の出し入れ口を介して基板の受け渡しを行えば、製造が行われる部屋の清浄度を高くせずとも基板が曝される環境をすべて高清浄度に保つことができるというものである。これにより部屋全体をクリーンルーム化した場合と同じ効果を得ることが可能となり、設備投資や維持費を削減して効率的な生産工程を実現できる。なお、この明細書中において、基板とはたとえば露光用マスク(レチクル)、半導体ウェハー等を含む意味として用いる。従って、基板処理装置はレチクル処理装置、半導体ウェハー処理装置を含む意味として用いる。
【0003】
図9を参照してクリーン装置1について説明する。図9はクリーン装置1の全体の断面を示した図である。クリーン装置1は処理室60と搬送室50とロードポート部10とを備えている。
処理室60はクリーン装置1において実行される各種の基板処理を実行する部分である。
搬送室50は外部と遮断された密閉の空間を内部に有する室であってその内部には基板を搬送するためのロボットアーム55が配置されている。
ロードポート部10は基板をクリーン装置1の処理室60へ搬入するためにクリーンボックス2を載置する部位であって、クリーンボックス2の本体2aから蓋2bを取り外す機能を備えている。
ロードポート部10の内部にはほぼ水平に保たれたポートドア3が配置されている。ポートドア3は鉛直方向に昇降する(たとえば、特許文献1参照)。図9の状態ではポートドア3は下降した状態となっている。ポートドア3はポートドア3を四方から囲む壁面とポートドア3の下面とほぼ平行に位置する底部とにより囲まれていて、この壁面と底部とによりロードポート部10の内部にバッファーチャンバ6を構成する。バッファーチャンバ6の上方は開放され、ポートドア3の大きさとほぼ同じアクセス開口5を構成する。従って、アクセス開口5からみれば所定の深さを有するバッファーチャンバ6となっている。アクセス開口5の大きさはクリーンボックス2の開口が包絡する領域とほぼ同じまたはそれ以下の大きさであって、ポートドア3はバッファーチャンバ6の壁面にそって上昇または下降をおこなう。クリーンボックス2をロードポート部10に載置した際にアクセス開口5は図9に示したようにクリーンボックス2の本体2aで覆われていて、蓋2bをはずしてもロードポート部10のバッファーチャンバ6の密閉状態が保たれる。
ロードポート部10の内部のバッファーチャンバ6と搬送室50の内部50aとは搬送用開口51により、搬送室50の内部50aと処理室60の内部60aは搬送用開口52により連通している。ロードポート部10の内部と搬送室50の内部50aと処理室60の内部は密閉されて外部環境から遮断された状態にあってミニエンバイロンメント部を形成する。
また、搬送用開口51は開閉用ゲートバルブ53aにより駆動される開閉扉53で開閉され、一方搬送用開口52は開閉用ゲートバルブ54aにより駆動される開閉扉54で開閉される。
【0004】
続いて図10を参照して、ロードポート部10について詳細に説明する。図10は図9のうちロードポート部10を特に拡大して示した図である。図10では、図9と異なりポートドア3は上昇した状態を示している。また、図10は蓋2bがポートドア3上に載置されている状態である。なお、図10において二点鎖線により示した状態が下降状態のポートドア3の位置である。ポートドア3には昇降手段4が接続されている。昇降手段4はラッチ開閉軸4aとラッチ開閉軸内にアクチュエータを保持するためのフレーム4bと昇降シャフト4cと電動アクチュエータ7とを備えている。ラッチ開閉軸4aは鉛直方向に延在する棒状の部材でポートドア3の内面たる下方の面にその一端が接合されていて昇降手段4の昇降動作を直接ポートドア3に伝達する役目を果たしている。ラッチ開閉軸4aのポートドア3と反対側の端部はフレーム4bに接合され、またフレーム4bは昇降シャフト4cに接続されている。昇降シャフト4cは電動アクチュエータ7に接続されていて、これにより昇降手段4としてポートドア3の昇降動作を喚起せしめる。バッファーチャンバ6の下方中央にはラッチ開閉軸4aが貫通する貫通孔が配置されている。貫通孔はラッチ開閉軸4aの大きさとほぼ同じであるか、またはそれ以下である。
ラッチ開閉軸4aの内部にはラッチ開閉軸4aの中心周りに回動可能な回転シャフト33が取り付けられている。回転シャフト33の先端にはポートドア3の面から鉛直方向に突出するように配置された棒状のラッチピン32が配置されている。ラッチピン32は回転シャフト33の回転軸を中心とする円周上の任意の位置に配置されている。なおラッチピン32は円周上に点対象に配置された円形の孔とするのが好ましい。
【0005】
ポートドア3はアクセス開口5の形状とほぼ対応する形状の矩形の平板形状であって、上昇した際にポートドア3がアクセス開口5に嵌入されて図10に示したようにアクセス開口5を閉じてバッファーチャンバ6を外界から遮断して密閉するようになっている。ロードポート部10の外面側にあたるポートドア3の上面側にはクリーンボックス2の蓋2bの位置を合わせるため、ポートドア3の上面からほぼ垂直に突出した突起たる位置決めピン3cが配置されている。クリーンボックス2の蓋2bには位置決めピン3cに対応した孔が配置されている。クリーンボックス2がロードポート部10に載置され、ポートドア3が上昇してクリーンボックス2の蓋2bに当接した際にはこの位置決めピン3cが孔に嵌入してポートドア3の正しい位置に蓋2bが位置するようになっている。
【0006】
ポートドア3の下方はアクセス開口5の大きさよりも大きいフランジ状の鍔3aを構成している。鍔3aにはシール部材3bがはめ込まれている。電動アクチュエータ7を駆動しラッチ開閉軸4aを上昇させてポートドア3をアクセス開口5に嵌入するとアクセス開口5の縁部5aに鍔3aが当接してバッファーチャンバ6が密閉状態となる。一方、逆に電動アクチュエータ7を駆動しラッチ開閉軸4aを下降しポートドア3を下降させるとアクセス開口5が大きく開いた状態となる。
ポートドア3の下側の面からバッファーチャンバ6内部における少なくともラッチ開閉軸4aの外周にはベローズ31が取り付けられている(たとえば、特許文献1または特許文献2参照)。電動アクチュエータ7を駆動してラッチ開閉軸4aが上昇した場合にはポートドア3が底面から離れるためベローズ31は伸び、電動アクチュエータ7を駆動してラッチ開閉軸4aが下降した場合にはポートドア3に近づくためベローズ31が縮む。
【0007】
クリーンボックス2の本体2aと蓋2bは、ラッチ機構により運搬時における蓋2bの脱落の防止が講じられている。図11は蓋2bの内部のラッチ機構を示した図である。
従来のラッチ機構は代表的には下記の構造となっている。蓋2bのほぼ中心の位置には回動可能に配置された円形の回転カム板21を有している。回転カム板21には回転カム板21の中心とする円周上の任意の位置に配置されたラッチ穴21aが穿設されている。なお、ラッチ穴21aは円周上に点対象に配置された円形の孔とするのが好ましい。ラッチ穴21aはラッチピン32と係合する孔であり、ラッチピン32を受容可能な形状の孔であると共にその位置もラッチピン32の位置と対応するように配置されている。
回転カム板21のラッチ穴21aの外側には、回転カム板21の中心に対し点対称の関係にある2本のカム溝23が配置されている。カム溝23のそれぞれの一端を始点23aとして他端を終点23bとすると、カム溝23の始点23aと回転カム板21の中心との距離が最も短く、一方カム溝23の終点23b側でカム溝23の中心と回転カム板21の中心からの距離が最も長い状態となる。一方、蓋2bには蓋2bの面にそって平行に可動なラッチ部材26を有している。ラッチ部材26の回転カム板21側には従動ピン24が配置されている。この従動ピン24はカム溝23と係合している。また、ラッチ部材26は蓋2aの側面から突出する先端部を含んでいる。
今、蓋2bが載置されるポートドア3のラッチ開閉軸4内の回転シャフト33の先端に配置されたラッチピン32がラッチ穴21aに嵌入され、回転シャフト33を回転することにより回転カム板21を回転するとラッチ部材26の従動ピン24がカム溝23bの始点23aから終点23bに向かってカム溝23にそって移動する。それに従って、従動ピン24の位置は回転カム板21の中心から回転カム板21の外側に向かって移動する。その移動距離に従ってラッチ部材26の先端部22aが蓋2bの外側に向かって移動する。従動ピン24が始点23aに位置する際にはラッチ部材26aが蓋2b内に収まり、従動ピン24が終点23bに位置する際には蓋2bから突出するように設定する。一方、クリーンボックス2の本体2aの蓋2bと当接する位置にラッチ部材26aと係合するラッチ孔30が配置されていので、回転カム板21を回転させることにより蓋2bをクリーンボックス2に固定することができる。
ポートドア3の上面には開閉機構として回転カム板21のカム溝23に係合し回転可能なラッチピン32が配置されている。ラッチピン32はラッチ開閉軸4aの内部に配置される回転シャフト33と結合している。回転シャフト33は回動手段たるロータリーアクチュエータ34と連結している。
【0008】
続いて、クリーン装置1において、ロードポート部10と搬送室50と処理室60との間でどのように基板9をいかに交換するかについて説明する。
クリーンボックス2はまず、図9のようにロードポート部に載置されて、固定される。このとき、基板9は蓋2b上に載せられている。電動アクチュエータ7を駆動してラッチ開閉軸4aを上昇させると、ベローズ31が伸びながらポートドア3が上昇し、ポートドア3の上面から突出するラッチピン32はラッチ穴21aに挿入される。そしてポートドア3はクリーンボックス2の蓋2bに当接する。この段階でロータリーアクチュエータ34を回転させると回転シャフト33が回転し、それに対応してラッチピン32がラッチ穴21aの縁を押して回転カム板21を回転させる。回転カム板21が回転すると従動ピン24が回転してラッチ部材26が扉2bの内部に収まる。この状態で蓋2bはクリーンボックス2の本体2aに対しての固定が解かれる。
ここで電動アクチュエータ7を駆動してラッチ開閉軸4aを下降させると、ポートドア3もベローズ31が縮みながら下降し、それに伴って蓋2bは自重によりポートドア3の下降に従ってクリーンボックス2の本体2aから離れる。ポートドア3が完全に下降した段階でバッファーチャンバ6の底部に基板9を載置した蓋2bが位置する状態となる。この状態でロボットアーム55による搬送動作が可能となる。
【0009】
搬送用開口51をロードポート部10の内部のバッファーチャンバ6と搬送室50の内部50aとは搬送用開口51により、搬送室50の内部50aと処理室60の内部60aは搬送用開口52により連通している。ロードポート部10の内部と搬送室50の内部50aと処理室60の内部は密閉されて外部環境から遮断された状態にあってミニエンバイロンメント部を形成する。
また、開閉用ゲートバルブ53aを駆動して開閉扉53をあけるとロードポート部10の内部のバッファーチャンバ6と搬送室50の内部50aが連通する。ロボットアーム55を操作してロードポート部10の内部のバッファーチャンバ6から基板9を運び出す。さらに、開閉用ゲートバルブ54aを駆動して開閉扉54を開けて搬送室50の内部50aと処理室60の内部60aとが連通する。ロボットアーム55を操作して搬送室50から処理室60に基板9を運び入れる。
なお、これに関する関連する先行技術文献情報としては次のものが有る。
【特許文献1】
特開2001−203253号公報
【特許文献2】
特開平6−268046号公報
【特許文献3】
特許第3084827号明細書
【0010】
【発明が解決しようとする課題】
上記の通り、従来のクリーン装置1は、以下の課題があった。
従来のクリーン装置1におけるロードポート部10では、ポートドア3の下側の面とバッファーチャンバ6の底部との間のバッファーチャンバ6内にベローズ31が取り付けられている。ポートドア3が下降した際にバッファーチャンバ6は真空引きがなされるが、ベローズ31の伸縮動作にともなうベローズ31の磨耗により塵を発生しバッファーチャンバ6内のクリーン度を低下させる問題があった。
【0011】
【課題を解決するための手段】
本発明では、本体と、基板が載置され該本体に嵌合する蓋とを含むクリーンボックスが載置され、その内部から該基板を取り出すための基板処理装置用ロードポートであって、該基板処理装置用ロードポートは外面に該蓋が載置されるポートドアと、該ポートドアの外周を囲むように配置される壁面と該ポートドアの内面に対向して配置される底面とで区画されるバッファーチャンバと、該ポートドアの内面に接合され該ポートドアの面と垂直な方向にそって該ポートドアを昇降させる昇降手段と、該昇降手段の外周に配置されるベローズとを備え、該ベローズの一端は該バッファーチャンバの底面と連結し、該ベローズの他端は該バッファーチャンバの外側において該昇降手段に対して固定されていることを特徴とする基板処理装置用ロードポートにより上記問題を解決する。即ち、塵を発生させること無くポートドアの昇降動作を行うことが可能となる。
【0012】
【発明の実施の形態】
図1乃至図6を参照して、本願発明のクリーン装置1のロードポート部10の実施の形態について説明する。図1aは本願発明のロードポート部10を拡大した図である。クリーン装置1におけるロードポート部10の全体的な構成は図9の前記従来の技術で説明した構成と同じである。クリーン装置1は処理室60と搬送室50とロードポート部10とを備え、ロードポート部10は基板9を半導体装置に搬入するためにクリーンボックス2を載置する部位であって、クリーンボックス2の本体2aから蓋2bを取り外す機能を備えている点で共通する。すなわち、ロードポート部10は従来のクリーン装置1と同様に搬送用開口51を介して搬送室50に接続され、搬送用開口51は開閉扉53により仕切られている。ロードポート部10の内部にはほぼ水平に保たれたポートドア3が配置されている。
ロードポート部10はポートドア3を四方から囲む壁面と、ポートドア3の下面とほぼ平行に位置する底部とにより囲まれるバッファーチャンバ6を有している。バッファーチャンバ6がポートドアの上面側でインターフェース空間6aとして、ポートドア3の下面側をバッファーチャンバ6として便宜的に区別される点は従来の装置と同様である。
ポートドア3の下面はその下方に配置されたラッチ開閉軸4aに接続されている。ラッチ開閉軸4aはバッファーチャンバ6の底面に配置された孔から外側下方に向かって貫通するように配置されている。ラッチ開閉軸4aはフレーム4bを介して昇降手段たる電動アクチュエータ7に接続されている。フレーム4bは電動アクチュエータに接続されていて鉛直方向にラッチ開閉軸4aを昇降させる。ラッチ開閉軸4aの内部には貫通するように回転シャフト33が配置されている。従来の装置と異なり回転シャフト33は回転のみならず昇降も行う。この昇降および回転の動作を行うために、フレーム4bの内部には回転シャフト33を回転させるためのロータリアクチュエータ8aと、回転シャフト33をラッチ開閉軸4a内で昇降させるための昇降シリンダー8bとが配置されている。ロードポート部10において、ポートドア3を四方から囲む壁面には対向するように基板検知センサー77が配置されている。基板検知センサ77は対向する壁面にそれぞれ配置される小窓から赤外線を発するエミッタ77aと、エミッタから発せられた赤外線を受光するディテクタ77bとからなる。図1bは図1aに示したロードポート部10を鉛直方向上方から見た図であって、エミッタ77aとディテクタ77bとの位置関係を示した図である。なお、基板検知センサ77は赤外線センサには限られない。図1bに示すように、エミッタ77aとディテクタ77bは、基板9が上昇下降する際に基板9がエミッタ77aから発せられた光線がディテクタ77bに到達するまでの光軸を横断するように配置されている。従って、ポートドア3が昇降して基板9がその光軸を横断することが予定されている位置でその光軸が遮られていれば基板9が蓋2b上に載置されていることとなる。
【0013】
続いて、以下、本願発明のロードポート部10と従来のロードポート部との異なる箇所を特に中心に説明する。本願発明のロードポート部10が有する従来のクリーン装置1が有する特徴は主に二点である。
第一の特徴は、ポートドア3とクリーンボックス2の蓋2bとを連結して蓋2bの開閉を行うための開閉機構として連結手段を有している点である。この特徴により、自重によらずに強制的に蓋2bをクリーンボックス2の本体2aから取り外すことが可能となる。
また第二の特徴は、従来はポートドア3の下側の面とバッファーチャンバ6の底部との間のバッファーチャンバ6内においてベローズ31が取り付けられていたのに対し、本願ではベローズ31の一端31aはバッファーチャンバ6の底面部と連結し、ベローズ31の他端31bは昇降手段4に対して固定されバッファーチャンバ6の外側に取り付けられている点である。これにより、バッファーチャンバ6における塵の発生を低減化することができる。
なお、本明細書中、「連結」とは単に結合するのみならず、ポートドアを昇降移動させることにより蓋2bがそれに伴って移動するように結合されていることを意味するものとする。以下、これらについて説明する。
【0014】
(連結手段)
ポートドア3は本願の開閉機構を備えている。開閉機構はクリーンボックス2の蓋2bは互いに連結するための連結手段を有する。まず、図2を参照してクリーンボックス2、特にクリーンボックス2の蓋2bについて説明する。図2はクリーンボックス2の上方から見たクリーンボックスの蓋2bの内部の構造を示したものである。クリーンボックス2の蓋2bには、従来の回転カム板21と同様にラッチ機構が取り付けられている。ラッチ機構は、蓋2bの中央に配置されたほぼ円の形状の回転カム板21とラッチ部材26とを含んでいる。回転カム板21は従来のクリーンボックス2の蓋2bのほぼ中心に該中心周りに回転可能に配置されている。回転カム板21の中央には回転カム板21の中心を同心とする円周上に配置されたラッチ穴21aが穿設されている。
【0015】
回転カム板21のラッチ穴21aの外側には、回転カム板21の中心に対し点対称の関係にある2本のカム溝23が配置されている。カム溝23のそれぞれの一端を始点23aとして他端を終点23bとすると、カム溝23の始点23aと回転カム板21の中心との距離が最も短く、一方カム溝23の終点23b側でカム溝23の中心と回転カム板21の中心からの距離が最も長い状態となる。カム溝23は始点23aから終点23bまでカム板21の中心からの距離が徐々に変化するようななめらかな円弧形状を有している。一方、蓋2bには蓋2bの面に平行にそって可動なラッチ部材26を有している。ラッチ部材26の回転カム板21側の端部26bには従動ピン24が配置されている。この従動ピン24はカム溝23と係合している。また、ラッチ部材26は蓋2aの側面から突出する先端部26aを含んでいる。ラッチ部材26はラッチ部材26の断面形状とほぼ同程度のガイド孔を有するガイド部材28aとガイド部材28bと間を該ガイド孔を貫通するように摺動可能に保持されている。ガイド部材28aとガイド部材28bとの間にはバネ27が嵌め込まれていてラッチ部材26が蓋2bの外部に伸びる方向に付勢している。なお、付勢の方向は外部に伸びる方向であっても内部に縮む方向であっても要求に応じて設定の変更が可能である。回転カム板21が回転するとカム溝23もそれに従って回転しラッチ部材26が蓋2bの内部に収納され、または蓋2bの内部から外側に向かって突出する。クリーンボックス2の本体2aの蓋2bと当接する縁にはラッチ部材26の先端部26aと対応する位置にラッチ孔30が配置されていて、ラッチ部材26が突出し先端部26aが蓋2bから外に向かって突出している際にはラッチ部材26の先端部26がラッチ孔30内に受容され係合して蓋2bがクリーンボックス2に固定され、一方ラッチ部材26が回転カム板21の回転により蓋2bの内部に最も引き込まれている状態ではラッチ部材26の先端部26aは蓋2bの中に収納され蓋2bはクリーンボックス2とは結合しない。なお、ラッチ孔30の径はラッチ孔30内に受容されるラッチ部材26の径より十分に大きくなっていて、ラッチ孔30とラッチ部材26とが摺擦することにより発生する塵を防止するようになっている。このようにしても、クリーンボックス2真空の場合には蓋がクリーンボックス2に引き付けられるように吸着するため蓋2bがクリーンボックス2の本体2aから脱落することも無い。
【0016】
本願の蓋2bとポートドア3は互いに連結するため、いわば雄側連結手段と雌側連結手段からなる連結手段をそなえている。雄側連結手段と雌側連結手段のいずれを蓋2b側に配置するかは制限がない。本実施例では代表的な例として、蓋2bに雌側の連結手段が、ポートドア3側に雄側の連結手段が配置されていている前提で説明を行う。
まず蓋2b側の雌側連結手段について説明する。蓋2bの中央部には雌側連結手段たる座ぐり孔42と受容孔41とが配置されている。受容孔41はポートドア3と当接する側の蓋2bの面から座ぐり孔42の底部まで貫通するように配置されている。受容孔41の形状は代表的には非円形である。たとえば、長方形でもよいし、または楕円形でもよい。座ぐり孔42の大きさが受容孔41の大きさより大きく、座ぐり孔42の座面が受容孔41の座部41aとして残ればよい。
つづいて、図3a,図3b,図4aおよび図4bを参照してポートドア3側の連結手段について説明する。すなわち、この状態では前記従来の技術で説明した通り、ラッチ開閉軸4aが上昇してポートドア3が蓋2bに当接した状態となっている。また、図3aおよび図4aはポートドア3が蓋2bに当接した状態における回転カム板21部分を拡大した図であり、一方図3bおよび図4bはそれぞれ図3aおよび図4aの3b断面と4b断面を示している。
【0017】
回転シャフト33の蓋2b側の端部の回転円盤21の中心にあたる位置には雄側連結手段が配置されている。雄側連結手段たる突起45は回転シャフト33の端部の面から円柱形状である根元部45bと、根元部45bの先端側に配置される鍔部45aとを備えている。鍔部45aは根元部45bの断面形状より大きければその効果を奏する。回転シャフト33の中心軸に沿って蓋2bの側からポートドア3の面の方向に鍔部45aの投影面を見た際の鍔部45aの形状は受容孔41内に挿入可能な程度に貫通孔42より若干小さいほぼ相似形状である。そして、さらに鍔部45aを回転した際にその方向から見た場合の鍔部45aの形状は受容孔41の形状とずれて重なる領域が出来るようになっている。この重なった領域により座ぐり孔42の座面である受容孔41の座部41aと係合することが可能となる。本実施の形態では、受容孔41はほぼ長方形の長孔であって、鍔部45aは受容孔41に挿入可能なそれより若干小さい略長方形の形状である。
ラッチ開閉軸4aの内部に配置される回転シャフト33はラッチ開閉軸4aの内部を昇降シャフト3の中心軸に沿って摺動するように昇降可能である。一方、ラッチ開閉軸4aの先端にはラッチピン32がポートドア3から鉛直方向に突出するように配置されている。ラッチピン32は回転カム板21の中心の位置をほぼ中心とする同心の円の円周上であって回転カム板21のラッチ穴21aに対応した位置に回転カム板21の中心に対して点対称となるように配置されている。
この場合、たとえば、図3bに示すようにラッチ開閉軸4aの内部を回転シャフト33が上昇すると、鍔部45aが受容孔41の内部に、またラッチピン32がラッチ穴21a内に挿入される。この段階で鍔部45aの形状と受容孔41の回転カム板21の面への投影形状はほぼ同じである。ここで、回転シャフト33を回転させると、図4aのように鍔部45aの形状と受容孔41の形状との回転カム板21の面へのそれぞれの投影形状は異なっていて、それぞれの投影形状には重なる領域がでる。この重なる領域が受容孔41の座部41aにあたり、この領域が互いに接触することでポートドア3と蓋2bとが連結することができる。
【0018】
なお、蓋2bの上には脆い基板9が載置されているので蓋2bに大きな振動を与えると基板9が損傷する可能性が有る。そのため、鍔部45aと受容孔41の座部41aは回転シャフト33を回転させた際には係合せず、回転させて鍔部45aの形状と受容孔41の形状との回転カム板21への投影形状は異なり投影面に重なる領域が生じたのちに回転シャフト33を下降させてその領域を接触させるようにすると基板9への影響を小さくすることができる。具体的には、座ぐり孔42の座面である受容孔41の座部41aの面と該座部41aと接触可能な鍔部45aの面(本実施の形態では下面)との高さをバックラッシとして所定の高さ(t)だけ余裕をあけておく。この所定の高さ(t)だけ確保した段階で回転シャフト33を回転する動作をおこなって、その後に回転シャフト33を下降させる移動をすれば回転シャフト33が所定の高さ(t)だけ下降した段階で座ぐり孔42の座面である受容孔41の座部41aと該座部41aと接触可能な鍔部45aの面とが接触して係合して連結が完了する。
【0019】
なお、回転シャフト33が最も上昇した際に蓋2bの面と同じ高さになるように設定しておけば、回転シャフト33の端部の面33aとポートドア3の面3bの面高さがほぼ同一となって蓋2bの面に当接可能となる。なお、回転シャフト33を回転することにより、ラッチピン32がラッチ穴21aに嵌入され回動することによりラッチ部材26が蓋2bに対して移動し、クリーンボックス2の本体2aに対しての蓋2bの開放とポートドア3と蓋2bの固定とを同時に行うことができる。
前記従来の技術で説明したクリーンボックス2に上記の連結手段を組み合わせることにより、ポートドア3に対する蓋2bの固定または解放する動作と上記ポートドア3への蓋2bの連結動作を同時に実行するような効率的な工程を実現することができる。図2,図3a,図3b,図4aおよび図4bを参照してこれについて説明する。
【0020】
この場合、代表的に、クリーンボックス2の本体2aに固定されている蓋2bを本体2aから解放する例で説明する。クリーンボックス2の本体2aに固定されている蓋2bを本体2bに固定する場合は以下の手順の逆を行えばよい。初期状態では、ポートドア3が最上部に位置しており、ラッチ開閉軸4aの端面とポートドア3の端面の位置を同一にした状態となっている。ここで、ロードポート10部にクリーンボックス2が載置する。この際に、クリーンボックス2は、蓋2bに突起45が、ラッチピン32がラッチ穴21a内に嵌入されるように載置される。このとき、突起45が受容孔41内に、ラッチピン32がラッチ穴21a内に嵌入される。この状態では図2に示すようにラッチ部材26は蓋2bから突出してクリーンボックス2の側面に配置されているラッチ孔30に受容され蓋2bがクリーンボックス2に固定されている状態である。ここで、回転シャフト33を回転させるとラッチピン32がラッチ穴21aの縁を押して回転カム板21が回転する。回転カム板21の回転に伴って、従動ピン24がカム溝23に沿って移動する。この従動ピン24の動作にともなってラッチ部材26aが蓋2bの内部に収納されるように移動してクリーンボックス2のラッチ孔30から抜ける。このラッチピン32に押されることによる回転カム板21の回転応じて突起45の鍔部45aも回転し、鍔部45aが受容孔41の座部41aと係合可能なように、回転シャフト33の中心軸に沿って蓋2bの側からポートドア3の面の方向から見た場合の鍔部45aの形状は受容孔41の形状とが重なる領域が出来る位置になって連結の準備が完了(アンロック準備完了状態とよぶ)する。ここで、回転シャフト33をバックラッシとしての高さt分だけ下降させると、鍔部45aの形状と受容孔41の形状とが重なる領域が当接し係合して蓋2bとポートドア3と連結し、クリーンボックス3も蓋2bに固定されている状態となる(ホールドダウン準備完了状態とよぶ)。
【0021】
(ベローズの配置)
続いて、図1a,図5aおよび図5bを参照して本願のベローズ31について説明する。
ベローズ31の一端31aはバッファーチャンバ6の外側の底面と密閉するように連結し、ベローズ31の他端31bはバッファーチャンバ6の外側において電動アクチュエータにより昇降動作を行うラッチ開閉軸4aおよびフレーム4bに対して密閉するように固定されている。これにより常にバッファーチャンバ6の外側にベローズ31が配置される状態となる。このように配置すれば、図5aに示すようにポートドア3を下降させた場合であっても、また図5bに示すようにポートドア3を上昇させた場合であってもベローズ31は常にバッファーチャンバ6の外側で伸縮運動をおこない、またこのように配置することにより排気口58よりバッファーチャンバ6の真空引きを実行しても、バッファーチャンバ6はもとよりベローズ31の内部であるラッチ開閉軸4aとベローズ31との間の隙間も真空に保つことができる。この配置とすることにより、ベローズ31は従来バッファーチャンバ6内において塵を発生させていたが、本願の配置とすることにより、(i)ベローズ31の内側とバッファーチャンバ6との間の隙間31cからバッファーチャンバ6内に流れ込む塵の量だけに制限できる、(ii)さらに重力により通常はベローズ31下方に落ちて上昇することを避けることができるという従来の装置には無い効果を奏する。
【0022】
続いて図6,図7および図8a乃至図8dを参照して、本願のクリーン装置1におけるロードポート部1の動作について説明する。
まず、図6を参照してローディング動作について説明する。
初期状態としてロードポート部10においてポートドア3はロードポートの最も上昇した位置になっている。ここで、クリーン装置1の外部に配置されているロボットまたは搬送車(いずれも不図示)がクリーンボックス2をクリーン装置1のロードポート部10のポートドア3上に載置する。その際にラッチピン23とをラッチ穴21a内に、また突起45を受容孔41内に嵌合させる(S601)。続いてポートドア3上のクリーンボックス有無検出センサーによりクリーンボックス2の有無を確認する(S602)。インターフェース空間6aを真空ポンプにより吸引排気する(S603)なお、インターフェース空間6aとはポートドア3が上昇した状態において、理論上はポートドア3と蓋2bとの間の界面、実際にはポートドア3と蓋2bとの間に生じる僅かな隙間である。続いてインターフェース用圧力センサ71によりインターフェース空間6aの真空圧力を検出して所定の圧力となっているかを確認する。所定の圧力に満たない場合にはさらに真空ポンプ72で真空引きを行う(S604)インターフェース空間6a自体を真空とすることでポートドア3と蓋2bとが吸着する。次に、バッファーチャンバー6内の真空圧力をバッファーチャンバ用圧力センサー74により検出し、所定の圧力となっているかを確認する。所定の圧力に満たない場合にはさらに真空ポンプ72で真空引きを行う(S605)。ロータリアクチュエータ8aを駆動して回転シャフト33を回転する。これにより前記のとおりアンロック準備完了状態となる(S606)。ここまでが図8aに示した状態となる。
これに続いて、昇降シリンダー8bで回転シャフト33を下降させると前記のとおりホールドダウン準備状態となる(S607)。駆動手段でポートドア3を下降させて蓋2bがクリーンボックス2の本体2aから離れ所定の位置となるまで下降させ停止する(S608)。ここでバッファーチャンバ6の基板検知センサー77が蓋2bに載置されている基板9の有無を検出する(S609)。搬送室50のロボットアーム55が基板9を処理室60まで搬送する(S610)。ここまでが図8bに示した状態となる。
【0023】
まず、図7を参照してアンローディング動作について説明する。基本的にはローディング作業の逆の工程を実施する。
搬送室50のロボットアーム55が処理室60から処理済の基板9をロードポート部10のバッファーチャンバ6に待機しているポートドア3上の蓋2bの所定の位置に載置する(S701)。基板検知センサー77がポートドア上に適正に基板9が載置されているか確認する(S702)。バッファーチャンバ6内の真空圧力をバッファーチャンバ用圧力センサー74により検出し、所定の圧力となっているかを確認する。所定の圧力に満たない場合にはさらに真空ポンプ72で真空引きを行う(S703)。ロータリアクチュエータ8aがアンロック準備完了状態にあるか、また昇降シリンダー8bがホールドダウン準備状態にあるかを確認する(S704)。電動アクチュエータ7がポートドア3を上昇させバッファーチャンバ6を閉鎖する。この状態で蓋2bがクリーンボックス2の本体2aを閉めた状態となる。続いて、昇降シリンダー8bで回転シャフト33を上昇させると鍔部45aの形状と受容孔41との係合が解除される。ここでロータリアクチュエータ8aを駆動して回転シャフト33を回転すると、回転カム板21の回転により蓋2bのラッチ部材26がラッチ孔30の中に挿入される。鍔部45aが受容孔41から抜き取り可能な状態となる(S705)。続いて、真空状態にあるインターフェース空間6aにN2ボンベ73から高純度窒素ガスを充填およびパージして大気圧に戻し、それをインターフェース空間用圧力センサ71により確認する。(S706)。この工程はインターフェース空間6aが真空になっていると、ポートドア3と蓋2bとは依然として吸着した状態となるためこれを防ぐ目的である。ロボットまたは搬送車(いずれも不図示)がクリーンボックス2をクリーン装置1のロードポート部10から搬出する(S707)。
【0024】
【発明の効果】
本発明により、以下の効果がある。
ロードポート部のポートドアをクリーンボックスの蓋に連結することでクリーンボックスの蓋の着脱を高清浄度を保った状態で容易に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1a】本発明のクリーン装置のロードポート部を側面からみた図である。
【図1b】本発明のクリーン装置のロードポート部を上方からみた図である。
【図2】本発明のクリーンボックスの蓋を示した図である。
【図3a】本発明のクリーンボックスの蓋の回転カム板を示した図である。
【図3b】本発明のクリーンボックスの蓋の回転カム板とロードポート部のポートドアとの位置関係の詳細を示した図であって図3aにおける3b−3b断面を示した図である。
【図4a】本発明のクリーンボックスの蓋の回転カム板を示した図である。
【図4b】本発明のクリーンボックスの蓋の回転カム板とロードポート部のポートドアとの位置関係の詳細を示した図であって図3aにおける4b−4b断面を示した図である。
【図5a】本発明のロードポート部を示した図であって、ポートドアが下降している状態を示した図である。
【図5b】本発明のロードポート部を示した図であって、ポートドアが上昇している状態を示した図である。
【図6】本発明のロードポート部におけるローディング動作を示した図である。
【図7】本発明のロードポート部におけるアンローディング動作を示した図である。
【図8a】本発明のロードポート部におけるローディング動作およびアンローディング動作の流れにおけるポートドアの位置関係を示した図である。
【図8b】本発明のロードポート部におけるローディング動作およびアンローディング動作の流れにおけるポートドアの位置関係を示した図である。
【図8c】本発明のロードポート部におけるローディング動作およびアンローディング動作の流れにおけるポートドアの位置関係を示した図である。
【図8d】本発明のロードポート部におけるローディング動作およびアンローディング動作の流れにおけるポートドアの位置関係を示した図である。
【図9】従来および本発明のロードポート部とクリーン装置全体の関係を示した図である。
【図10】従来のロードポート部を示した図である。
【図11】従来のクリーンボックスの蓋の例を示した図である。
【符号の説明】
1 クリーン装置
2 クリーンボックス
3 ポートドア
4 昇降手段
7 電動アクチュエータ
8a ロータリーアクチュエータ
8b 昇降シリンダ
32 ラッチピン
33 回転シャフト
45 突起
Claims (1)
- 本体と、基板が載置され該本体に嵌合する蓋とを含むクリーンボックスが載置され、その内部から該基板を取り出すための基板処理装置用ロードポートであって、該基板処理装置用ロードポートは
外面に該蓋が載置されるポートドアと、
該ポートドアの外周を囲むように配置される壁面と該ポートドアの内面に対向して配置される底面とで区画されるバッファーチャンバと、
該ポートドアの内面に接合され該ポートドアの面と垂直な方向にそって該ポートドアを昇降させる昇降手段と、
該昇降手段の外周に配置されるベローズとを備え、
該ベローズの一端は該バッファーチャンバの底面と連結し、該ベローズの他端は該バッファーチャンバの外側において該昇降手段に対して固定されていることを特徴とする基板処理装置用ロードポート。
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