JPS61217415A - カセツトストツカ− - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、カセットを収納するカセットストッカーに関
する。この種のものは、例えば半導体製造工程において
、半導体ウェハを担持したウェハカセットを収納して、
該ウェハカセットを搬送するためなどに利用される６本
発明のストッカーは、その他、各種のものを支持する筐
体等の収納などに適用でき、本発明のカセットストッカ
ーはこれらを含む。

〔発明の概要〕

本発明は、カセットストッカーにおいて、カセットを載
置するベースと、該ベースをガイドするガイド部と、ベ
ースをガイド部に沿って移動させる駆動機構とを備える
構成にすると共に、該駆動機構は、ベースに取付けた回
転自在の軸を前記ガイド溝に係合させて該ベースをガイ
ド部に沿って搬送する構成としたことによって、内容物
の方向をかえずにカセットを移動させ、かつカセットの
収納密度を大きくして省スペース化を可能としたもので
ある。

〔従来の技術〕

従来より半導体製造工程においては、半導体ウェハをカ
セット化して、このカセットにより搬送することが行わ
れている。しかし従来は、このようなウェハカセットは
、Ｃｔｏ　Ｃ化された（つまりカセットからカセットの
方式にされた）製造装置本体に、手作業で毎回これを供
給するようにしている。

このため、カセットの供給が繁雑で手間のかかるものと
なっている。かつ、カセットの供給時期が製造装置本体
の処理時間に左右されることになる。また、上記の供給
方法は、ラインの自動化を阻むものとなっている。

カセットの取扱いの自動化の試みもなされているが、従
来の装置は、第５図の如くカセット２２を回転盤２１上
で回転させて移動するので、移動によりカセット２２が
１８０＠回転することになり、図に矢印で示す如く内容
物の方向２３が逆になる。また傾斜をつけて保管してい
ても、傾斜の方向が逆になってしまう、更にこの構成で
は、回転盤２１が円状であるため、多くのカセットはス
トックしておけない。

そこで、これらの問題を解決するため、複数の送り爪を
使用した収納器スト７カー（特開昭５６−１６４５２２
号）が本出願人により提案されている。

第６図に示すようにこの収納器ストッカーは、複数の送
り爪３１が収納器３３を順次送り出すことにより移動す
るものである。この構成では、両端の左右の移動は別の
モーターを用い、送り出しアーム３２で、収納器３３を
押し出す構成をとる必要がある。

さらにこの構成によって収納器をなめらかに移動させる
ためには各モーターが連携して作動しなければならない
、また、収納器のストック数を増加させるには、送り爪
を増やさなければならず、コストアップの要因となる。

収納スペースも、一層の有効利用が望まれる。

〔本発明が解決しようとする問題点〕

上記のように従来技術は、機械化・自動化が困難であっ
たり、あるいは内容物の方向が変わってしまったり、あ
るいは収納スペースが充分に有効利用されず、省スペー
スという点で必ずしも充分ではなかったのである。

本発明の目的は、カセット内容物の方向をかえずに移動
でき、しかも、複数のカセットをできるだけ少ない面積
で収納する（設置スペースを小さくすると共に、収納密
度を上げる）ことが可能で、かつ簡単な駆動機構により
カセットを任意の位置に移動することのできる、有利な
カセットストッカーを提供することにある。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明のカセットストッカーは、カセットを載置するベ
ースと、該ベースをガイドするガイド部と、ベースをガ
イド部に沿って移動させる駆動機構とを備え、該駆動機
構は、ベースに取付けた回転自在の軸を前記ガイド溝に
係合させて該ベースをガイド部に沿って搬送する構成と
したものである。

〔発明の作用〕

本発明のカセットストッカーは、上記構成の結果、所期
の目的を達成できる０本発明の作用について、第１図及
び第２図の例示を用いて説明すると、次の通りである。

まず、本発明のカセットストッカーは、カセット１を載
置するベース２と、このベース２をガイドするガイド部
３を有する。

このためカセット１はガイド部３に沿って、常に一定方
向を向くようにできる。さらに本発明のカセットストッ
カーは、ベース２をガイド部３に沿って移動させる駆動
機構を有する。このため、駆動部（駆動源が作用する最
初の部分）において１つのカセットを移動させることに
より、次のカセットを押し出す構成にでき、よって１個
の駆動源でカセットの搬送が可能となる。

本発明のこの駆動機構は、ベース２に取り付けた回転自
在の軸４をガイド溝５に係合させることによりベース２
をガイド溝５に沿って搬送を可能にするものである。こ
の結果、カセットをストックする際に、カセットの方向
をかえずに移動できる。従って、どの位置からも一定方
向のカセットが取り出せる。

また、上記したように駆動機構を簡略化し得、また第１
図の如くカセット１を密に載置する構成にすることが可
能なので、カセットを高密度に収納できる。

〔発明の実施例〕

以下、本発明の一実施例について説明する。

但し、当然のことであるが、本発明は以下の実施例にの
み限定されるものではない。

この実施例は、本発明を半導体製造工程のウェハカセッ
トについて適用したものである。

本実施例のカセットストッカーは、第１図、第２図に示
すように、カセット１を載置したベース２とベースをガ
イドするガイド部３及び該ベースをガイド部３に沿って
移動させる駆動機構（第２図）を有する。駆動機構は、
ベース２に取り付けた回転自在の軸４をガイド溝５に係
合させることにより、ベース２がガイド溝５に沿う構成
にする。

より具体的には、カセット１を支えるベース２は、リン
ク°２′色介して台６の上に支持されており、ベース２
から下に伸びた軸４がガイド溝５にはまり、これにより
ベース２がガイド溝５に沿って台６の上を動き得る構成
になっている。

すなわち本実施例においては、第３図に部分断面を示す
如く、カセット１を支えるベース２の中央に軸４を設置
する。軸４の途中にガイド溝用ベアリング１５を取り付
ける。台６にあけたガイド溝５・ｌこ、ユのガイド溝用
ベアリングをはめこむ、これによりベース２は台６の上
に支持されｒ、ａｊｙ：、１でガイド溝５に沿って台６
の上を動き得る構成となる。なおベース２の下面には環
杖のスラスト受はリング２′　（テフロンまたはグイフ
ロンにより成る）が取り付けられ、ベース２はこのリン
グ２′において台Ｇ上に載置されている。

第４１ｆｆｌに上面略示図で示すように、ベース２の４
ずみの下にはガイド部用ベアリング１６を設置するが、
このガイド部用ベアリング１６はガイド部３に沿って動
くため、ベース２は平行移動する。これによりベース２
（その上のカセット１も同様）は常に一定方向を保ちな
がら移動することができる。

次に、駆動機構の構造を説明する。駆動機構は本実施例
では、モーターの回転力を利用して、カセット１を載置
するベース２を駆動させるもので、カセットストッカー
の両端の回転部分（例えば第１図のＡの位置）に設置し
た。駆動機構は第１図で示す（ａ）の位置に来たカセッ
ト１を伽）の位置まで平行移動させる。これをくり返す
ことにより、順次カセットを押し進める。

またこの駆動機構においては、第２図の如く、モーター
９の回転が回転腕１０に伝えられる０回転腕１０から突
き出た２本のシャフト１１は、回転腕１０にあけた穴を
摺動自在に貫通すると共に、一端に該回転腕を付勢する
スプリング１２が介装されているので、伸縮自在である
。シャフト１１の他の一端に取り付けられた板カム用ベ
アリング１４と駆動板８は、伸縮しながら板カム１３の
形状（第４図に示す）をトレースして回転する。この板
カム１３の形状は「コ」の字型のガイド溝５に合わせで
あるので、駆動板８によってベースの軸４を押し「コ」
の字に回転させるのに好適である。ガイド溝５の角部で
軸４が方向を９０°変換する際に、仮カム用ベアリング
１４も仮カム１３の角部を過ぎるためスプリング１２の
もどる力によって駆動板８を変換後のガイド溝方向へ押
し出し、軸４を回転させるためである。角部以外の直線
部分では、駆動板８の回転運動が直線運動に変換されて
駆動する。

このような機構によって軸４を「コ」の字型のガイド溝
に沿って回転させることにより、ベース２の４個のガイ
ド部用ベアリング１６は忠実にガイド部３をトレースす
る。このためベース２は方向を変えることなり（ａ）か
ら（ｂ）位置への平行移動が可能となる。すなわちベー
ス２の上に載置されるカセットは常に一定の方向を向く
。

以上のように、本実施例のカセットストッカーは、カセ
ットの方向を一方向に向けたまま回転できるため、作業
工程において常に一定の方向からの作業が可能である５
晴ｌばロボットハンド等を使用する自動化ラインで必要
となる。また、工程上ウェハ等に傾斜をつけて収納する
必要のある場合には傾斜面を一定方向に保たせることが
できる。

本実施例で、カセットの回転部分に駆動機構を取り付け
て回転させると、次のカセットを押すことにより順次カ
セットが移動するため、一駆動源でストフカ−の駆動を
済ませることも可能である。

例えば、第１図のＡ位置に第２図に示すモーター９を備
える駆動機構を設置した場合、反対側のＢ位置にも同じ
機構を設け、但しモーター９に当たる所にプーリーを設
置して、このプーリーをＡ位置のモーター９によりベル
トやチェーンなど適宜手段により駆動することによって
、一駆動源とすることができる。これによってメンテナ
ンスが容易になると共に、駆動機構部を小さくする′こ
とかできるため、これによっても装置自体を小型化でき
、カセット収納部分を大きくとることができる。

また必要に応じて第１図で示すＡ位置とＢ位置に駆動源
を設置し、２モーターとすることも可能である。

ベース２にマークを付し、カセットストッカ一本体に読
み取りセンサーを取りつけることで必要なカセットを機
械が選択して取り出すことができる。製造工程の自動化
等で必要となる。

本発明のカセットストッカーは半導体の製造装置として
利用する他、物を収納するためのストッカーとしての利
用も可能である。

〔発明の効果〕

上述の如く、本発明のカセットストッカーはカセットの
方向を一方向に向けたまま回転することができるため、
一定方向からの操作ができる。しかも、複数のカセット
を並べてストックできるので、少ない面積で多くのカセ
ットを収容できる。

かつ駆動機構によってカセットを移動させることができ
るため、任意の位置での出し入れも可能である。また、
一駆動源での搬送が可能であるので、駆動機構が小規模
ですみ、装置を小型化することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例に係るカセットストッカーの
斜視図、第２図はそのカセットストフカ−の駆動機構部
分の斜視図である。第３図はカセットを載置するベース
部分の断面図である。第４図は板カムとガイド溝とガイ
ド部との位置関係を示した説明図である。第５図は従来
のカセットストッカーを上から見た説明図、第６図は他
の従来のカセットストフカ−の斜視図である。 ｌ・・・カセット、２・・・ベース、３・・・ガイド部
、４・・・軸、５・・・ガイド溝。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、カセットを載置するベースと、該ベースをガイドす
   るガイド部と、ベースをガイド部に沿って移動させる駆
   動機構とを備え、該駆動機構は、ベースに取付けた回転
   自在の軸を前記ガイド溝に係合させて該ベースをガイド
   部に沿って搬送する構成とした、カセットストッカー。