JPH09285982A - 薄型ワーク搬送装置 - Google Patents
薄型ワーク搬送装置Info
- Publication number
- JPH09285982A JPH09285982A JP9817396A JP9817396A JPH09285982A JP H09285982 A JPH09285982 A JP H09285982A JP 9817396 A JP9817396 A JP 9817396A JP 9817396 A JP9817396 A JP 9817396A JP H09285982 A JPH09285982 A JP H09285982A
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- hand
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ワークのトータル搬送時間が短縮できる薄型
ワーク搬送装置を提供すること。 【解決手段】 薄型ワーク搬送装置２０は、第１アーム
３、第２アーム４、ロボットハンド２０を備えて構成さ
れている。ロボットハンド２０には、カセットＣへの搬
送方向に対して、前後方向に各２個づつのハンドアーム
２１、２２、２３、２４が配設されている。そして、ロ
ボットハンド２０の中心部に軸部２５が形成されて、ロ
ボットハンド２０が軸部２５を中心に、第２アーム４に
対して所定角度回動可能に配設されている。そして、ハ
ンドアーム２１、２２、２３、２４にワークＷが載置さ
れ、薄型ワーク搬送装置２０の次工程カセットへの移動
時に、同時に４枚のワークを搬送する。
ワーク搬送装置を提供すること。 【解決手段】 薄型ワーク搬送装置２０は、第１アーム
３、第２アーム４、ロボットハンド２０を備えて構成さ
れている。ロボットハンド２０には、カセットＣへの搬
送方向に対して、前後方向に各２個づつのハンドアーム
２１、２２、２３、２４が配設されている。そして、ロ
ボットハンド２０の中心部に軸部２５が形成されて、ロ
ボットハンド２０が軸部２５を中心に、第２アーム４に
対して所定角度回動可能に配設されている。そして、ハ
ンドアーム２１、２２、２３、２４にワークＷが載置さ
れ、薄型ワーク搬送装置２０の次工程カセットへの移動
時に、同時に４枚のワークを搬送する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、薄型状のワーク
を直線的に搬送する薄型ワーク搬送装置に関する。
を直線的に搬送する薄型ワーク搬送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、薄型状のワークを直線的に搬送す
る搬送装置Ｍ１は、図４に示されるように駆動装置から
入力軸２を介して所定の角度で回動される第１アーム３
と、第１アーム３に駆動連結される第２アーム４と、ワ
ークＷを載置する１個のロボットハンド５が配設されて
いた。
る搬送装置Ｍ１は、図４に示されるように駆動装置から
入力軸２を介して所定の角度で回動される第１アーム３
と、第１アーム３に駆動連結される第２アーム４と、ワ
ークＷを載置する１個のロボットハンド５が配設されて
いた。
【０００３】第１アーム３には、駆動装置から連結され
る入力軸２が固定され、駆動装置機台１に支持される第
１プーリ７と、第２アーム４に支持され第１プーリ７に
第１ベルト８を介して齒合連結される第２プーリ９とが
配設されている。第２アーム４には、第１アーム３に支
持される軸１０に連結される第３プーリ１２と、ロボッ
トハンド５に支持され第３プーリ１２に第２ベルト１３
を介して齒合連結される第４プーリ１４が配設されてい
る。
る入力軸２が固定され、駆動装置機台１に支持される第
１プーリ７と、第２アーム４に支持され第１プーリ７に
第１ベルト８を介して齒合連結される第２プーリ９とが
配設されている。第２アーム４には、第１アーム３に支
持される軸１０に連結される第３プーリ１２と、ロボッ
トハンド５に支持され第３プーリ１２に第２ベルト１３
を介して齒合連結される第４プーリ１４が配設されてい
る。
【０００４】第１プーリ７と第２プーリ９とのプーリ比
は２：１に形成され、また第３プーリ１２と第４プーリ
とのプーリ比は１：２に形成されている。そのためロボ
ットハンド５の先端を直線的に移動することができる。
は２：１に形成され、また第３プーリ１２と第４プーリ
とのプーリ比は１：２に形成されている。そのためロボ
ットハンド５の先端を直線的に移動することができる。
【０００５】また、第１プーリ７は、第１アーム３及び
入力軸２に対して所定角度回動可能に配設され、第２プ
ーリ９は、第１アーム３及び軸１０に所定角度回動可能
に配設され、第３プーリ１２は、軸１０に取り付けられ
第２アーム４に所定角度回動可能に配設され、第４プー
リ１４は、ロボットハンド５に固定され第２アーム４に
固定された軸１５に所定角度回動可能に配設されてい
る。
入力軸２に対して所定角度回動可能に配設され、第２プ
ーリ９は、第１アーム３及び軸１０に所定角度回動可能
に配設され、第３プーリ１２は、軸１０に取り付けられ
第２アーム４に所定角度回動可能に配設され、第４プー
リ１４は、ロボットハンド５に固定され第２アーム４に
固定された軸１５に所定角度回動可能に配設されてい
る。
【０００６】そして、駆動装置からの駆動によって、入
力軸２が所定角度回転されると第１アーム３が回転し、
その位相差で第１プーリ７が回転する。第１プーリ７の
回転により第１ベルト８で齒合連結されている第２プー
リ９が回転する。第２プーリ９が回転すると第２アーム
４が回転し、その位相差で第３プーリ１２および第４プ
ーリ１４が回転する。そして第４プーリ１４の回転によ
りロボットハンド５が所定角度回転し、ロボットハンド
５に載置されたワークＷを直線的に搬送するように構成
されていた。
力軸２が所定角度回転されると第１アーム３が回転し、
その位相差で第１プーリ７が回転する。第１プーリ７の
回転により第１ベルト８で齒合連結されている第２プー
リ９が回転する。第２プーリ９が回転すると第２アーム
４が回転し、その位相差で第３プーリ１２および第４プ
ーリ１４が回転する。そして第４プーリ１４の回転によ
りロボットハンド５が所定角度回転し、ロボットハンド
５に載置されたワークＷを直線的に搬送するように構成
されていた。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかし、薄型ワークを
搬送する搬送装置は、その需要が増加するに伴い、ワー
クの搬送時間を短縮する要望がなされている。従来の搬
送装置ではロボットハンドのハンドアームが１枚である
のでカセットに収納されたワークを１枚ずつ載置しては
次工程カセットに搬送するため、トータルのワーク搬送
時間は比較的長い時間を要していた。
搬送する搬送装置は、その需要が増加するに伴い、ワー
クの搬送時間を短縮する要望がなされている。従来の搬
送装置ではロボットハンドのハンドアームが１枚である
のでカセットに収納されたワークを１枚ずつ載置しては
次工程カセットに搬送するため、トータルのワーク搬送
時間は比較的長い時間を要していた。
【０００８】この発明は、上述の課題を解決するもので
あり、ワークの搬送時間をより短縮できる薄型ワーク搬
送装置を提供することを目的とする。
あり、ワークの搬送時間をより短縮できる薄型ワーク搬
送装置を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】この発明にかかわる薄型
ワーク搬送装置では、薄型状のワークを直線的に搬送す
る薄型ワーク搬送装置であって、ワークを載置するロボ
ットハンドが少なくとも４個のハンドアームを備えてい
ることを特徴とするものである。
ワーク搬送装置では、薄型状のワークを直線的に搬送す
る薄型ワーク搬送装置であって、ワークを載置するロボ
ットハンドが少なくとも４個のハンドアームを備えてい
ることを特徴とするものである。
【００１０】また好ましくは、前記ロボットハンドが、
搬送方向に対して前後方向にそれぞれ少なくとも２個の
ハンドアームを有し、それぞれのハンドアームの中心で
所定の角度で回動可能に配設されることを特徴とするも
のであれば良い。
搬送方向に対して前後方向にそれぞれ少なくとも２個の
ハンドアームを有し、それぞれのハンドアームの中心で
所定の角度で回動可能に配設されることを特徴とするも
のであれば良い。
【００１１】第１アーム、第２アーム及びロボットハン
ドを備えて構成され、前記ロボットハンドにワークを載
置し、前記第１アーム、前記第２アーム、前記ロボット
ハンドを回動させることによって、前記ワークを直線的
に移動させる薄型ワーク搬送装置であって、前記ロボッ
トハンドに前記ワークを載置する少なくとも４個のハン
ドアームが配設され、前記４枚のハンドアームの内、搬
送方向に対して前後方向にそれぞれ少なくとも２個のハ
ンドアームが配置され、前記ロボットハンドが、それぞ
れの前記ハンドアームの中心で、前記第２アームに対し
て所定の角度で回動可能に配設されることを特徴とする
ものである。
ドを備えて構成され、前記ロボットハンドにワークを載
置し、前記第１アーム、前記第２アーム、前記ロボット
ハンドを回動させることによって、前記ワークを直線的
に移動させる薄型ワーク搬送装置であって、前記ロボッ
トハンドに前記ワークを載置する少なくとも４個のハン
ドアームが配設され、前記４枚のハンドアームの内、搬
送方向に対して前後方向にそれぞれ少なくとも２個のハ
ンドアームが配置され、前記ロボットハンドが、それぞ
れの前記ハンドアームの中心で、前記第２アームに対し
て所定の角度で回動可能に配設されることを特徴とする
ものである。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、この発明の一実施の形態を
図面に基づいて説明する。なお、以下の説明において、
従来装置と同様な部位については従来装置と同様な符号
をつけるものとする。特に、ロボットハンド以外は従来
装置と同一である。
図面に基づいて説明する。なお、以下の説明において、
従来装置と同様な部位については従来装置と同様な符号
をつけるものとする。特に、ロボットハンド以外は従来
装置と同一である。
【００１３】図１は、薄型ワーク搬送装置Ｍの平面図を
示すものであり、搬送装置Ｍに対向するように、ワーク
Ｗが収納されている２台のカセットＣ１、Ｃ２が配置さ
れている。
示すものであり、搬送装置Ｍに対向するように、ワーク
Ｗが収納されている２台のカセットＣ１、Ｃ２が配置さ
れている。
【００１４】搬送装置Ｍは、駆動装置機台１に連結され
る第１アーム３、第１アーム３に連結される第２アーム
４、第２アーム４に連結されるロボットハンド２０が配
設されている。第１アーム３及び第２アーム４内に配設
される構成は従来と同様であり、ロボットハンド２０は
図１乃至図３に示される通りである。
る第１アーム３、第１アーム３に連結される第２アーム
４、第２アーム４に連結されるロボットハンド２０が配
設されている。第１アーム３及び第２アーム４内に配設
される構成は従来と同様であり、ロボットハンド２０は
図１乃至図３に示される通りである。
【００１５】ロボットハンド２０は略Ｈ字型に形成さ
れ、カセットＣに向かう搬送方向に対して、前方向に２
個のハンドアーム２１、２２、後方向に２個のハンドア
ーム２３、２４が配設されている。ロボットハンド２０
の中心部に軸部２５が形成され、第２アーム４に対して
軸部２５を中心に回動できるように構成されている。
れ、カセットＣに向かう搬送方向に対して、前方向に２
個のハンドアーム２１、２２、後方向に２個のハンドア
ーム２３、２４が配設されている。ロボットハンド２０
の中心部に軸部２５が形成され、第２アーム４に対して
軸部２５を中心に回動できるように構成されている。
【００１６】軸部２５は第２アーム４内に配設される第
４プーリ１４に固定され、第４プーリ１４は第２アーム
４に固着される軸１５に回動可能に配設されている。
４プーリ１４に固定され、第４プーリ１４は第２アーム
４に固着される軸１５に回動可能に配設されている。
【００１７】このように構成された搬送装置Ｍのロボッ
トハンド２０は、図１に示されるように、カセットＣ
１、Ｃ２に対向する方向にハンドアーム２１、２２が配
置されている。そして第１アーム３、第２アーム４が図
示しない駆動装置によって駆動されると、ハンドアーム
２１、２２がカセットＣ１、Ｃ２に向かって直線的に移
動され、カセットＣ１、Ｃ２内に収納されているワーク
を載置してもとの位置に復帰する。
トハンド２０は、図１に示されるように、カセットＣ
１、Ｃ２に対向する方向にハンドアーム２１、２２が配
置されている。そして第１アーム３、第２アーム４が図
示しない駆動装置によって駆動されると、ハンドアーム
２１、２２がカセットＣ１、Ｃ２に向かって直線的に移
動され、カセットＣ１、Ｃ２内に収納されているワーク
を載置してもとの位置に復帰する。
【００１８】この場合のカセットＣ１、Ｃ２に収納され
たワークＷは、別に配置されたワーク位置決め装置で位
置決めされて搬送されたものでもよいし、また、この
後、ワーク位置決め装置に搬送されるものでもよい。い
ずれにしろ、カセットＣ１、Ｃ２のワークＷがハンドア
ーム２１、２２に載置された後は、ロボットハンド２０
が１８０°回転され、ハンドアーム２３、２４がカセッ
トＣ１、Ｃ２に対向するように配置される。そして、ハ
ンドアーム２３、２４が直線的に移動され、カセットＣ
１、Ｃ２に収納された次のワークＷを載置し、もとの位
置に復帰する。
たワークＷは、別に配置されたワーク位置決め装置で位
置決めされて搬送されたものでもよいし、また、この
後、ワーク位置決め装置に搬送されるものでもよい。い
ずれにしろ、カセットＣ１、Ｃ２のワークＷがハンドア
ーム２１、２２に載置された後は、ロボットハンド２０
が１８０°回転され、ハンドアーム２３、２４がカセッ
トＣ１、Ｃ２に対向するように配置される。そして、ハ
ンドアーム２３、２４が直線的に移動され、カセットＣ
１、Ｃ２に収納された次のワークＷを載置し、もとの位
置に復帰する。
【００１９】このように、ハンドアーム２１、２２、２
３、２４にワークＷが載置されている状態で、搬送装置
Ｍ自体が次工程カセットが配置されている位置まで移動
され、各ハンドアームを駆動してワークＷを次工程カセ
ット内へ収納する。
３、２４にワークＷが載置されている状態で、搬送装置
Ｍ自体が次工程カセットが配置されている位置まで移動
され、各ハンドアームを駆動してワークＷを次工程カセ
ット内へ収納する。
【００２０】従って、ワークＷの次工程への搬送は、１
回で４枚のワークを搬送できるので、搬送装置Ｍの移動
時間が省略され、従来の搬送装置に比べて、その搬送時
間を大幅に短縮することが可能になる。
回で４枚のワークを搬送できるので、搬送装置Ｍの移動
時間が省略され、従来の搬送装置に比べて、その搬送時
間を大幅に短縮することが可能になる。
【００２１】なお、ハンドアームは４個に限られるもの
ではなく、カセットへの搬送方向に対して、前後方向に
各３個づつ計６個配設されていてもよい。
ではなく、カセットへの搬送方向に対して、前後方向に
各３個づつ計６個配設されていてもよい。
【００２２】さらに、ロボットハンドに配設されるハン
ドアームは、ロボットハンド２０の軸部２５に対して、
４方面に各２個づづ計８個配設されれば、さらに搬送時
間の短縮をすることができる。
ドアームは、ロボットハンド２０の軸部２５に対して、
４方面に各２個づづ計８個配設されれば、さらに搬送時
間の短縮をすることができる。
【００２３】
【発明の効果】本発明の薄型ワーク搬送装置によれば、
搬送装置に配設されるロボットハンドには少なくとも４
個のハンドアームが配設されているため、ワークを収納
したカセットを２台並設すれば、同時に２枚のワークを
搬送することができ、さらに、ロボットハンドを反転し
て新たに２枚のワークを搬送することができる。そのた
め、トータルのワークの搬送時間が大幅に短縮すること
ができる。
搬送装置に配設されるロボットハンドには少なくとも４
個のハンドアームが配設されているため、ワークを収納
したカセットを２台並設すれば、同時に２枚のワークを
搬送することができ、さらに、ロボットハンドを反転し
て新たに２枚のワークを搬送することができる。そのた
め、トータルのワークの搬送時間が大幅に短縮すること
ができる。
【００２４】また、ワークがシリコンウェハ等の薄型基
板であれば、ロボットハンドを含め３つのアーム体を使
用して、薄型基板を直線的に短時間で搬送することがで
き、生産能力の大幅な向上につながる。
板であれば、ロボットハンドを含め３つのアーム体を使
用して、薄型基板を直線的に短時間で搬送することがで
き、生産能力の大幅な向上につながる。
【図１】本発明の一実施の形態による薄型ワーク搬送装
置の平面図
置の平面図
【図２】同正面図
【図３】同正面一部断面図
【図４】従来の搬送装置の正面断面図
３…第１アーム ４…第２アーム ２０…ロボットハンド ２１、２２、２３、２４…ハンドアーム ２５…軸部 Ｍ…搬送装置 Ｃ１、Ｃ２…カセット Ｗ…ワーク
Claims (3)
- 【請求項１】 薄型状のワークを直線的に搬送する薄型
ワーク搬送装置であって、ワークを載置するロボットハ
ンドが少なくとも４個のハンドアームを備えていること
を特徴とする薄型ワーク搬送装置。 - 【請求項２】 前記ロボットハンドが、搬送方向に対し
て前後方向にそれぞれ少なくとも２個のハンドアームを
有し、それぞれのハンドアームの中心で所定の角度で回
動可能に配設されることを特徴とする請求項１記載の薄
型ワーク搬送装置。 - 【請求項３】 第１アーム、第２アーム及びロボットハ
ンドを備えて構成され、前記ロボットハンドにワークを
載置し、前記第１アーム、前記第２アーム、前記ロボッ
トハンドを回動させることによって、前記ワークを直線
的に移動させる薄型ワーク搬送装置であって、 前記ロボットハンドに前記ワークを載置する少なくとも
４個のハンドアームが配設され、 前記４個のハンドアームの内、搬送方向に対して前後方
向にそれぞれ少なくとも２個のハンドアームが配置さ
れ、 前記ロボットハンドが、それぞれの前記ハンドアームの
中心で、前記第２アームに対して所定の角度で回動可能
に配設されることを特徴とする薄型ワーク搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9817396A JPH09285982A (ja) | 1996-04-19 | 1996-04-19 | 薄型ワーク搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9817396A JPH09285982A (ja) | 1996-04-19 | 1996-04-19 | 薄型ワーク搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09285982A true JPH09285982A (ja) | 1997-11-04 |
Family
ID=14212662
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9817396A Withdrawn JPH09285982A (ja) | 1996-04-19 | 1996-04-19 | 薄型ワーク搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09285982A (ja) |
Cited By (16)
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-
1996
- 1996-04-19 JP JP9817396A patent/JPH09285982A/ja not_active Withdrawn
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