JPH09186216A - 搬送装置 - Google Patents
搬送装置Info
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- JPH09186216A JPH09186216A JP35399695A JP35399695A JPH09186216A JP H09186216 A JPH09186216 A JP H09186216A JP 35399695 A JP35399695 A JP 35399695A JP 35399695 A JP35399695 A JP 35399695A JP H09186216 A JPH09186216 A JP H09186216A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 搬送速度が早く、また、搬送による姿勢変更
がなく、さらに、2つのワークを相互に異なる方向へ同
時に搬送する搬送装置を提供することにある。 【解決手段】 ワークWを移動させる一対の移送機構1
2、14からなり、各移送機構が、第1平行リンク1
6、18と、この第1平行リンクへ連結された第2平行
リンク20、22と、これらの平行リンクを揺動させる
駆動手段とを備えている。上記第2平行リンクの、第1
平行リンクとの連結部と反対側の端部には、上記ワーク
が載置されるワーク保持部材24、26、42が連結さ
れおり、上記各平行リンク間に、上記ワーク保持部材を
直線状に平行移動させる回転伝達手段が設けられ、か
つ、上記各移送機構が、それぞれに設けられているワー
ク保持部材の移動軌跡が至近位置となるように相対的な
位置決めがなされている。
がなく、さらに、2つのワークを相互に異なる方向へ同
時に搬送する搬送装置を提供することにある。 【解決手段】 ワークWを移動させる一対の移送機構1
2、14からなり、各移送機構が、第1平行リンク1
6、18と、この第1平行リンクへ連結された第2平行
リンク20、22と、これらの平行リンクを揺動させる
駆動手段とを備えている。上記第2平行リンクの、第1
平行リンクとの連結部と反対側の端部には、上記ワーク
が載置されるワーク保持部材24、26、42が連結さ
れおり、上記各平行リンク間に、上記ワーク保持部材を
直線状に平行移動させる回転伝達手段が設けられ、か
つ、上記各移送機構が、それぞれに設けられているワー
ク保持部材の移動軌跡が至近位置となるように相対的な
位置決めがなされている。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、搬送装置に係わ
り、特に、半導体ウェーハ、液晶基盤、電子回路基板等
のワークの搬送に用いて好適な搬送装置に関するもので
ある。
り、特に、半導体ウェーハ、液晶基盤、電子回路基板等
のワークの搬送に用いて好適な搬送装置に関するもので
ある。
【0002】
【従来の技術】従来、半導体ウェーハ、液晶基盤、電子
回路基板等のワークを搬送するため搬送装置として、た
とえば、図6に示す構造のものが知られている。この図
に符号2で示す搬送装置は、回転台4と、この回転台4
に装着された一対の移送機構6・7とによって構成され
ており、これらの各移送機構6、7は、上記回転台4に
一端が回動自在に連結された第1アーム602、702
と、この第1アーム602、702の他端に回動自在に
連結された第2アーム604、704と、この第2アー
ム604、704の先端部に回動自在に連結されたワー
ク保持部材606、706と、上記回転台4から、第1
アーム602、702および第2アーム604、704
を経て上記ワーク保持部材606、706に至る間に設
けられて、上記第1アーム602、702の回動を上記
ワーク保持部材606、706へ伝達することにより、
このワーク保持部材606、706を、直線状に平行移
動させる回転伝達手段(図示略)と、上記回転台4を回
転させるステッピングモータ等の駆動手段(図示略)
と、上記各移送機構6、7を駆動する駆動手段(図示
略)とによって構成されている。
回路基板等のワークを搬送するため搬送装置として、た
とえば、図6に示す構造のものが知られている。この図
に符号2で示す搬送装置は、回転台4と、この回転台4
に装着された一対の移送機構6・7とによって構成され
ており、これらの各移送機構6、7は、上記回転台4に
一端が回動自在に連結された第1アーム602、702
と、この第1アーム602、702の他端に回動自在に
連結された第2アーム604、704と、この第2アー
ム604、704の先端部に回動自在に連結されたワー
ク保持部材606、706と、上記回転台4から、第1
アーム602、702および第2アーム604、704
を経て上記ワーク保持部材606、706に至る間に設
けられて、上記第1アーム602、702の回動を上記
ワーク保持部材606、706へ伝達することにより、
このワーク保持部材606、706を、直線状に平行移
動させる回転伝達手段(図示略)と、上記回転台4を回
転させるステッピングモータ等の駆動手段(図示略)
と、上記各移送機構6、7を駆動する駆動手段(図示
略)とによって構成されている。
【0003】そして、上記回転伝達手段は、上記回転台
4に固定されたプーリと、上記第2アーム604、70
4に一体に取り付けられて、この第2アーム604、7
04を上記第1アーム602、702に回動自在に連結
する枢軸に取り付けられたプーリと、上記ワーク保持部
材606、706に一体に取り付けられて、このワーク
保持部材606、706を上記第2アーム604、70
4に回転自在に連結する枢軸に取り付けられたプーリ
と、これらの各プーリ間に巻回されたベルトによって構
成されている。
4に固定されたプーリと、上記第2アーム604、70
4に一体に取り付けられて、この第2アーム604、7
04を上記第1アーム602、702に回動自在に連結
する枢軸に取り付けられたプーリと、上記ワーク保持部
材606、706に一体に取り付けられて、このワーク
保持部材606、706を上記第2アーム604、70
4に回転自在に連結する枢軸に取り付けられたプーリ
と、これらの各プーリ間に巻回されたベルトによって構
成されている。
【0004】そして、このように構成された従来の搬送
装置2は、たとえば、図7に示すように、この搬送装置
2を挟んで直線状に配置されているステーションA、B
間でワークを搬送する場合には、まず、回転台4が回転
させられることにより、両移送機構6、7のワーク保持
部材606、706が一方のステーションAに対向させ
られた後に、上記各第1アーム602、702が回動さ
せられることにより、図7に鎖線で示すように、上記ワ
ーク保持部材606、706が上記ステーションAへ送
り込まれて、このワーク保持部材606、706にワー
クWが載置される。
装置2は、たとえば、図7に示すように、この搬送装置
2を挟んで直線状に配置されているステーションA、B
間でワークを搬送する場合には、まず、回転台4が回転
させられることにより、両移送機構6、7のワーク保持
部材606、706が一方のステーションAに対向させ
られた後に、上記各第1アーム602、702が回動さ
せられることにより、図7に鎖線で示すように、上記ワ
ーク保持部材606、706が上記ステーションAへ送
り込まれて、このワーク保持部材606、706にワー
クWが載置される。
【0005】ついで、上記各第1アーム602、702
が逆方向に回動させられることにより、上記ワーク保持
部材606、706が上記一方のステーションAからワ
ークWとともに引き出され、ついで、回転台4が所定方
向に180度回転させられることにより、上記ワーク保
持部材606、706およびワークWが他方のステーシ
ョンBへ対向させられる。
が逆方向に回動させられることにより、上記ワーク保持
部材606、706が上記一方のステーションAからワ
ークWとともに引き出され、ついで、回転台4が所定方
向に180度回転させられることにより、上記ワーク保
持部材606、706およびワークWが他方のステーシ
ョンBへ対向させられる。
【0006】これより、再度、上記各第1アーム60
2、702が回動させられることによって、ワーク保持
部材606、706およびワークWが上記他方のステー
ションBへ挿入されるとともに、上記ワークWが他方の
ステーションBへ送り込まれる。このような作動によっ
て、ワークWの直線的な搬送が行われるようになってい
る。
2、702が回動させられることによって、ワーク保持
部材606、706およびワークWが上記他方のステー
ションBへ挿入されるとともに、上記ワークWが他方の
ステーションBへ送り込まれる。このような作動によっ
て、ワークWの直線的な搬送が行われるようになってい
る。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】ところで、従来の搬送
装置2においては、ワークWを直線上に位置する2位置
間で移動を行わせるために、ワーク保持部材606、7
06の移動のための駆動系と回転台4の回転のための駆
動系との2系統の駆動系を設ける必要があることから、
構造が複雑化するばかりでなく、直線移動と回転移動と
の組み合わせであることから、搬送速度の高速化が制限
されてしまうといった不具合がある。
装置2においては、ワークWを直線上に位置する2位置
間で移動を行わせるために、ワーク保持部材606、7
06の移動のための駆動系と回転台4の回転のための駆
動系との2系統の駆動系を設ける必要があることから、
構造が複雑化するばかりでなく、直線移動と回転移動と
の組み合わせであることから、搬送速度の高速化が制限
されてしまうといった不具合がある。
【0008】また、搬送中に回転移動が加わるために、
ワークWの受け取り側と引き渡し側とにおいて、ワーク
Wの向きが変わることとなるが、加工ラインにおいて、
ワークWの向きが変更されると、処理装置や加工装置の
構造が煩雑になってしまうといった不具合もある。
ワークWの受け取り側と引き渡し側とにおいて、ワーク
Wの向きが変わることとなるが、加工ラインにおいて、
ワークWの向きが変更されると、処理装置や加工装置の
構造が煩雑になってしまうといった不具合もある。
【0009】さらに、上述した従来の搬送装置2におい
ては、異なる位置にある上記ステーションA、Bにワー
クWを出し入れする際に、ワーク保持部材606、70
6を回転によって各ステーションA、Bに対向させる必
要があることから、2つのワークWを2つのステーショ
ンA、B間で往復させる際に、移送機構6が一対装備さ
れているにも拘わらず、一方向づつの搬送しか行えな
い。
ては、異なる位置にある上記ステーションA、Bにワー
クWを出し入れする際に、ワーク保持部材606、70
6を回転によって各ステーションA、Bに対向させる必
要があることから、2つのワークWを2つのステーショ
ンA、B間で往復させる際に、移送機構6が一対装備さ
れているにも拘わらず、一方向づつの搬送しか行えな
い。
【0010】一方、上記ステーションA、Bが回転台4
回りに90度〜180度の範囲にある場合、ワークWを
搬送するには、上記回転台4を、必ずこれらのステーシ
ョンA、B間の角度分だけ回転させなければならず、こ
の点も、搬送速度が長くなる原因となっている。本発明
は、前述した従来の問題点に鑑みてなされたもので、そ
の搬送速度が早く、また、搬送による姿勢変更がなく、
さらに、2つのワークを相互に異なる方向へ同時に搬送
することのできる搬送装置を提供することを解決すべき
課題とする。
回りに90度〜180度の範囲にある場合、ワークWを
搬送するには、上記回転台4を、必ずこれらのステーシ
ョンA、B間の角度分だけ回転させなければならず、こ
の点も、搬送速度が長くなる原因となっている。本発明
は、前述した従来の問題点に鑑みてなされたもので、そ
の搬送速度が早く、また、搬送による姿勢変更がなく、
さらに、2つのワークを相互に異なる方向へ同時に搬送
することのできる搬送装置を提供することを解決すべき
課題とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】本発明は前記課題を解決
するために、ワークが載置されてこのワークを移動させ
る一対の移送機構からなり、上記各移送機構が、上記回
転台を一つのリンク片とした第1平行リンクと、この第
1平行リンクの、上記回転台と対向させられたリンク片
を介して上記第1平行リンクへ連結された第2平行リン
クと、これらの平行リンクを揺動させる駆動手段とを備
え、上記第2平行リンクの、上記第1平行リンクとの連
結部と反対側の端部には、上記第2平行リンクのリンク
片を構成するとともに、上記ワークが載置されるワーク
保持部材が連結され、上記各平行リンクと上記回転台と
の間には、上記第1平行リンクの揺動を上記第2平行リ
ンクへ伝達して、この第2平行リンクに設けられている
上記ワーク保持部材を直線状に平行移動させる回転伝達
手段が設けられ、かつ、上記各移送機構が、それぞれに
設けられているワーク保持部材の移動軌跡が、至近位置
となるように上記回転台に取り付けられていることを特
徴としている。
するために、ワークが載置されてこのワークを移動させ
る一対の移送機構からなり、上記各移送機構が、上記回
転台を一つのリンク片とした第1平行リンクと、この第
1平行リンクの、上記回転台と対向させられたリンク片
を介して上記第1平行リンクへ連結された第2平行リン
クと、これらの平行リンクを揺動させる駆動手段とを備
え、上記第2平行リンクの、上記第1平行リンクとの連
結部と反対側の端部には、上記第2平行リンクのリンク
片を構成するとともに、上記ワークが載置されるワーク
保持部材が連結され、上記各平行リンクと上記回転台と
の間には、上記第1平行リンクの揺動を上記第2平行リ
ンクへ伝達して、この第2平行リンクに設けられている
上記ワーク保持部材を直線状に平行移動させる回転伝達
手段が設けられ、かつ、上記各移送機構が、それぞれに
設けられているワーク保持部材の移動軌跡が、至近位置
となるように上記回転台に取り付けられていることを特
徴としている。
【0012】また、本発明は、上記回転伝達手段が、各
平行リンクのリンク片を回転自在に連結する枢軸に取り
付けられたプーリと、これらのプーリに巻回されたベル
トとによって構成されていることを特徴とする。また、
本発明は、上記両移送機構が、そのワーク保持部材の移
動軌跡が上下方向に重なり合うように取り付けられてい
るとともに、一方の移送機構の第2平行リンクおよびワ
ーク保持部材が、他方の移送機構の第2平行リンクおよ
びワーク保持部材よりも高く位置させられていることを
特徴としている。また、本発明は、上記各移送機構が独
立して駆動されるようになされていることを特徴とす
る。また、本発明は、上記各移送機構の第2平行リンク
が単一のワーク保持部材に連結されていることを特徴と
する。
平行リンクのリンク片を回転自在に連結する枢軸に取り
付けられたプーリと、これらのプーリに巻回されたベル
トとによって構成されていることを特徴とする。また、
本発明は、上記両移送機構が、そのワーク保持部材の移
動軌跡が上下方向に重なり合うように取り付けられてい
るとともに、一方の移送機構の第2平行リンクおよびワ
ーク保持部材が、他方の移送機構の第2平行リンクおよ
びワーク保持部材よりも高く位置させられていることを
特徴としている。また、本発明は、上記各移送機構が独
立して駆動されるようになされていることを特徴とす
る。また、本発明は、上記各移送機構の第2平行リンク
が単一のワーク保持部材に連結されていることを特徴と
する。
【0013】本発明によれば、平行リンクの組み合わせ
と回転伝達手段との相互作用によりワークを直線的にか
つ平行に移動でき、駆動系を1系統として構成の簡素化
を図り、搬送速度が早く、また、搬送による姿勢変更が
なく、さらに、2つのワークを相互に異なる方向へ同時
に搬送することが可能となる。
と回転伝達手段との相互作用によりワークを直線的にか
つ平行に移動でき、駆動系を1系統として構成の簡素化
を図り、搬送速度が早く、また、搬送による姿勢変更が
なく、さらに、2つのワークを相互に異なる方向へ同時
に搬送することが可能となる。
【0014】
【発明の実施の形態】以下、本発明の第1の実施形態に
ついて、図1ないし図3に基づき説明する。これらの図
において符号8は、本実施形態に係わる搬送装置を示
し、この搬送装置8は、回転台10と、この回転台10
に装着されるとともに、ワークWが載置されてこのワー
クWを移動させる一対の移送機構12、14とからな
り、上記各移送機構12、14が、上記回転台10を一
つのリンク片とした第1平行リンク16、18と、この
第1平行リンク16、18の、上記回転台10と対向さ
せられたリンク片1602、1802を介して上記第1
平行リンク16、18へ連結された第2平行リンク2
0、22と、これらの平行リンク16、18、20、2
2を揺動させる駆動手段(図示略)とを備え、上記第2
平行リンク20、22の、上記第1平行リンク16、1
8との連結部と反対側の端部には、上記第2平行リンク
20、22のリンク片を構成するとともに、上記ワーク
Wが載置されるワーク保持部材24、26が連結され、
上記各平行リンク16、18、20、22と上記回転台
10との間には、上記第1平行リンク16、18の揺動
を上記第2平行リンク20、22へ伝達して、この第2
平行リンク20、22に設けられている上記ワーク保持
部材24、26を直線状に平行移動させる回転伝達手段
(図示略)が設けられ、かつ、上記各移送機構12、1
4が、それぞれに設けられているワーク保持部材24、
26の移動軌跡が、上記回転台10の回転中心近傍を通
るように上記回転台10に取り付けられた概略構成とな
っている。
ついて、図1ないし図3に基づき説明する。これらの図
において符号8は、本実施形態に係わる搬送装置を示
し、この搬送装置8は、回転台10と、この回転台10
に装着されるとともに、ワークWが載置されてこのワー
クWを移動させる一対の移送機構12、14とからな
り、上記各移送機構12、14が、上記回転台10を一
つのリンク片とした第1平行リンク16、18と、この
第1平行リンク16、18の、上記回転台10と対向さ
せられたリンク片1602、1802を介して上記第1
平行リンク16、18へ連結された第2平行リンク2
0、22と、これらの平行リンク16、18、20、2
2を揺動させる駆動手段(図示略)とを備え、上記第2
平行リンク20、22の、上記第1平行リンク16、1
8との連結部と反対側の端部には、上記第2平行リンク
20、22のリンク片を構成するとともに、上記ワーク
Wが載置されるワーク保持部材24、26が連結され、
上記各平行リンク16、18、20、22と上記回転台
10との間には、上記第1平行リンク16、18の揺動
を上記第2平行リンク20、22へ伝達して、この第2
平行リンク20、22に設けられている上記ワーク保持
部材24、26を直線状に平行移動させる回転伝達手段
(図示略)が設けられ、かつ、上記各移送機構12、1
4が、それぞれに設けられているワーク保持部材24、
26の移動軌跡が、上記回転台10の回転中心近傍を通
るように上記回転台10に取り付けられた概略構成とな
っている。
【0015】ついでこれらの詳細について説明すれば、
上記各第1平行リンク16、18は、一端部が上記回転
台10に回動自在に連結され、かつ、他端部が、前記リ
ンク片1602、1802に回動自在に連結された一対
の平行なリンク片1604、1804を備え、これらの
一対の平行なリンク片1604、1804は、図2に示
すように、これらの各リンク片1604、1804の両
端および上記リンク片1602、1802に回動自在に
嵌挿された枢軸28、30、32、34によって、上記
リンク片1602、1802へ回動自在に連結されてい
る。
上記各第1平行リンク16、18は、一端部が上記回転
台10に回動自在に連結され、かつ、他端部が、前記リ
ンク片1602、1802に回動自在に連結された一対
の平行なリンク片1604、1804を備え、これらの
一対の平行なリンク片1604、1804は、図2に示
すように、これらの各リンク片1604、1804の両
端および上記リンク片1602、1802に回動自在に
嵌挿された枢軸28、30、32、34によって、上記
リンク片1602、1802へ回動自在に連結されてい
る。
【0016】また、上記第2平行リンク20、22は、
一端部が、上記枢軸30、34に固定されることにより
上記リンク片1602、1802の端部に回動自在に連
結された一対の平行なリンク片2002、2202を備
え、これらの一対の平行なリンク片2002、2202
の他端部が、上記ワーク保持部材24、26に枢軸3
6、38によって回動自在に連結されることにより、上
記リンク片1602、1802とともに平行リンクを構
成している。
一端部が、上記枢軸30、34に固定されることにより
上記リンク片1602、1802の端部に回動自在に連
結された一対の平行なリンク片2002、2202を備
え、これらの一対の平行なリンク片2002、2202
の他端部が、上記ワーク保持部材24、26に枢軸3
6、38によって回動自在に連結されることにより、上
記リンク片1602、1802とともに平行リンクを構
成している。
【0017】上記回転伝達手段は、本実施例では、上記
枢軸28、32と同軸状に設けられるとともに、上記回
転台10に固定されたプーリと、上記枢軸30、34に
固定されたプーリと、これらのプーリ間に巻回されるベ
ルトによって構成される。
枢軸28、32と同軸状に設けられるとともに、上記回
転台10に固定されたプーリと、上記枢軸30、34に
固定されたプーリと、これらのプーリ間に巻回されるベ
ルトによって構成される。
【0018】一方、本実施形態においては、図2および
図3に示すように、上記両移送機構12、14のワーク
保持部材24、26の移動軌跡が、上記回転台10の回
転軸線と直交する直線上に位置させられているととも
に、図1に示すように、一方の移送機構16の第2平行
リンク20およびワーク保持部材24よりも、他方の移
送機構18の第2平行リンク22およびワーク保持部材
26が上方に位置させられ、さらに、これらの両移送機
構12、14が独立して駆動されるようになっている。
したがって、両ワーク保持部材24、26が回転台10
の軸線上に位置させられた状態においても両ワーク保持
部材24、26の間に隙間が形成されて、相互干渉が回
避されている。
図3に示すように、上記両移送機構12、14のワーク
保持部材24、26の移動軌跡が、上記回転台10の回
転軸線と直交する直線上に位置させられているととも
に、図1に示すように、一方の移送機構16の第2平行
リンク20およびワーク保持部材24よりも、他方の移
送機構18の第2平行リンク22およびワーク保持部材
26が上方に位置させられ、さらに、これらの両移送機
構12、14が独立して駆動されるようになっている。
したがって、両ワーク保持部材24、26が回転台10
の軸線上に位置させられた状態においても両ワーク保持
部材24、26の間に隙間が形成されて、相互干渉が回
避されている。
【0019】ついで、このように構成された本実施形態
に係わる搬送装置8の動作について説明する。まず、上
記回転台10を挟んだ両側に、位置させられているステ
ーション間においてワークWを受け渡すような場合に
は、上記回転台10を回転させて、各移送機構12、1
4のワーク保持部材24、26の移動方向を、上記各ス
テーションを最短距離で結ぶ直線に一致させておく。
に係わる搬送装置8の動作について説明する。まず、上
記回転台10を挟んだ両側に、位置させられているステ
ーション間においてワークWを受け渡すような場合に
は、上記回転台10を回転させて、各移送機構12、1
4のワーク保持部材24、26の移動方向を、上記各ス
テーションを最短距離で結ぶ直線に一致させておく。
【0020】これより、各移送機構12、14の第1平
行リンク16、18が揺動させられることにより、それ
ぞれのワーク保持部材24、26が相互に離間する方向
に移動させられることにより、これらのワーク保持部材
24、26が各ステーションへ対向させられるととも
に、これらのステーションからワークWが供給されて載
置される。
行リンク16、18が揺動させられることにより、それ
ぞれのワーク保持部材24、26が相互に離間する方向
に移動させられることにより、これらのワーク保持部材
24、26が各ステーションへ対向させられるととも
に、これらのステーションからワークWが供給されて載
置される。
【0021】このようにして各ワーク保持部材24、2
6上にワークWが載置されると、第1平行リンク16、
18が逆方向に揺動させられることにより、上記ワーク
保持部材24、26が、それぞれ上記回転台10の回転
中心を通過して、他のステーションへ向けて移動させら
れる。
6上にワークWが載置されると、第1平行リンク16、
18が逆方向に揺動させられることにより、上記ワーク
保持部材24、26が、それぞれ上記回転台10の回転
中心を通過して、他のステーションへ向けて移動させら
れる。
【0022】このような移動に際して、上述のごとく、
各移送機構12、14の第2平行リンク20、22およ
びワーク保持部材24、26が相互に上下にずらされて
相互干渉が回避されていることにより、上述したワーク
保持部材24の移動が円滑に行われて、ステーション間
のワークWの双方向搬送が確実に行われる。そして、上
記搬送が、両ステーションを最短距離で結ぶ直線に沿っ
て行われることから、その搬送速度が短縮される。しか
も、予め搬送方向が固定されている状態であれば、上記
回転台10は不要であり、これを省略することにより、
構成の簡素化が図られるとともに、コストの低減が図ら
れる。さらに、上記ワーク保持部材24、26が直線的
でかつ平行移動であることから、搬送されるワークWの
姿勢が一定に保持されて、加工装置や処理装置の構成が
簡素化される。
各移送機構12、14の第2平行リンク20、22およ
びワーク保持部材24、26が相互に上下にずらされて
相互干渉が回避されていることにより、上述したワーク
保持部材24の移動が円滑に行われて、ステーション間
のワークWの双方向搬送が確実に行われる。そして、上
記搬送が、両ステーションを最短距離で結ぶ直線に沿っ
て行われることから、その搬送速度が短縮される。しか
も、予め搬送方向が固定されている状態であれば、上記
回転台10は不要であり、これを省略することにより、
構成の簡素化が図られるとともに、コストの低減が図ら
れる。さらに、上記ワーク保持部材24、26が直線的
でかつ平行移動であることから、搬送されるワークWの
姿勢が一定に保持されて、加工装置や処理装置の構成が
簡素化される。
【0023】一方、本実施形態においては、回転伝達手
段がプーリとベルトによって構成されていることによ
り、ダストの発生が抑制され、かつ、オイルレスである
ので、真空雰囲気中での使用が可能となり、たとえば、
酸化しやすいワークWの搬送に好適である。
段がプーリとベルトによって構成されていることによ
り、ダストの発生が抑制され、かつ、オイルレスである
ので、真空雰囲気中での使用が可能となり、たとえば、
酸化しやすいワークWの搬送に好適である。
【0024】ついで、本発明の第2の実施形態について
図4および図5に基づき説明する。本実施形態における
搬送装置40は、一対の移送機構12、14の第2平行
リンク20、22のそれぞれが、単一のワーク保持部材
42に連結されている点において上記実施形態と異な
る。このような構成とすることにより、ワーク保持部材
42の保持が強固になるとともに安定し、これによっ
て、重量が比較的大きなワークWの搬送が可能となる。
そして、回転台10の回転中心を通る直線に沿って配置
された2つのステーションA、B間におけるワークWの
搬送は、上記実施形態と同様にして行われ、双方向搬送
以外の機能が同様に達成される。
図4および図5に基づき説明する。本実施形態における
搬送装置40は、一対の移送機構12、14の第2平行
リンク20、22のそれぞれが、単一のワーク保持部材
42に連結されている点において上記実施形態と異な
る。このような構成とすることにより、ワーク保持部材
42の保持が強固になるとともに安定し、これによっ
て、重量が比較的大きなワークWの搬送が可能となる。
そして、回転台10の回転中心を通る直線に沿って配置
された2つのステーションA、B間におけるワークWの
搬送は、上記実施形態と同様にして行われ、双方向搬送
以外の機能が同様に達成される。
【0025】一方、上記ステーションA、Bが90度〜
180度にある場合、従来の搬送装置2においてはその
角度分、移動機構6を回動させなければならなかった
が、本発明においては、直線搬送機能を備えていること
からその回動範囲が最小限度に抑えられる。
180度にある場合、従来の搬送装置2においてはその
角度分、移動機構6を回動させなければならなかった
が、本発明においては、直線搬送機能を備えていること
からその回動範囲が最小限度に抑えられる。
【0026】ここで、本実施形態を利用して、上述した
回動範囲が狭められる理由について説明する。図5に示
すように、両ステーションA、Bが約120度の角度の
範囲で離間させられて設置させられているとすると、ま
ず、回転台10によってワーク保持部材42がステーシ
ョンAへ対向させられるとともに、両移送機構12、1
4によって上記ワーク保持部材42が、矢印イで示すよ
うに、ステーションAへ接近離間させられて、ワークW
の受け取りが行われる。
回動範囲が狭められる理由について説明する。図5に示
すように、両ステーションA、Bが約120度の角度の
範囲で離間させられて設置させられているとすると、ま
ず、回転台10によってワーク保持部材42がステーシ
ョンAへ対向させられるとともに、両移送機構12、1
4によって上記ワーク保持部材42が、矢印イで示すよ
うに、ステーションAへ接近離間させられて、ワークW
の受け取りが行われる。
【0027】ついで、上記回転台10を回転させること
によって、上記ワーク保持部材42が、矢印ロで示すよ
うに、上記ステーションBから離間する方向へ移動させ
られて、上記ステーションBに対して上記回転台10の
回転軸線を通る直線上に位置させられる。これより、搬
送装置40の直線搬送機能によって、上記ワーク保持部
材42が、矢印ハで示すように、直線的にステーション
Bへ向けて移動させられるとともに、このステーション
BへのワークWの供給が行われる。したがって、搬送に
要する回転角度が60度に抑えられることとなるととも
に、ワークWの姿勢変化もない。なお、このような機能
は、上述した実施例においても、回転台10を併設する
場合においては同様に得られるものである。
によって、上記ワーク保持部材42が、矢印ロで示すよ
うに、上記ステーションBから離間する方向へ移動させ
られて、上記ステーションBに対して上記回転台10の
回転軸線を通る直線上に位置させられる。これより、搬
送装置40の直線搬送機能によって、上記ワーク保持部
材42が、矢印ハで示すように、直線的にステーション
Bへ向けて移動させられるとともに、このステーション
BへのワークWの供給が行われる。したがって、搬送に
要する回転角度が60度に抑えられることとなるととも
に、ワークWの姿勢変化もない。なお、このような機能
は、上述した実施例においても、回転台10を併設する
場合においては同様に得られるものである。
【0028】なお、上記各実施形態において示した各構
成部材の諸形状や寸法等は一例であって、設計要求等に
基づき種々変更可能である。たとえば、上記各実施形態
においては、第2平行リンク20、22のリンク片20
02、2202を直接ワーク保持部材24、26、42
へ接続した例について示したが、ワーク保持部材24、
26、42に代えて、別途リンク片を設けて上記リンク
片2002、2202を連結し、この新たなリンク片に
上記ワーク保持部材24、26、42を取り付けるよう
にしてもよいものである。
成部材の諸形状や寸法等は一例であって、設計要求等に
基づき種々変更可能である。たとえば、上記各実施形態
においては、第2平行リンク20、22のリンク片20
02、2202を直接ワーク保持部材24、26、42
へ接続した例について示したが、ワーク保持部材24、
26、42に代えて、別途リンク片を設けて上記リンク
片2002、2202を連結し、この新たなリンク片に
上記ワーク保持部材24、26、42を取り付けるよう
にしてもよいものである。
【0029】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係わる搬
送装置によれば、平行リンクの組み合わせと回転伝達手
段との相互作用により、ワークが載置されるワーク保持
手段を直線的にかつ平行に移動させることにより、最短
の搬送経路を移動させて、搬送速度を高めることができ
るとともに、駆動系を1系統として構成の簡素化を図
り、製造コストの軽減を図ることができる。
送装置によれば、平行リンクの組み合わせと回転伝達手
段との相互作用により、ワークが載置されるワーク保持
手段を直線的にかつ平行に移動させることにより、最短
の搬送経路を移動させて、搬送速度を高めることができ
るとともに、駆動系を1系統として構成の簡素化を図
り、製造コストの軽減を図ることができる。
【0030】また、ワークを平行移動させてることによ
り、搬送によって姿勢が変更されてしまうことを防止し
て、処理装置や加工装置の構造を簡素化して、加工ライ
ンのコストの低減が図られる。
り、搬送によって姿勢が変更されてしまうことを防止し
て、処理装置や加工装置の構造を簡素化して、加工ライ
ンのコストの低減が図られる。
【0031】さらに、2つのワーク保持部材によってワ
ークの相互搬送を可能にすることにより、ワークの入れ
替え作業の円滑かつ効率よく行うことができる。
ークの相互搬送を可能にすることにより、ワークの入れ
替え作業の円滑かつ効率よく行うことができる。
【0032】一方、直線的な搬送機能に回転機能を加え
ることにより、直線上からずれて配置された位置への搬
送時においても、回動操作を最小限度に止めつつ、姿勢
変更のない搬送を行うことができる。
ることにより、直線上からずれて配置された位置への搬
送時においても、回動操作を最小限度に止めつつ、姿勢
変更のない搬送を行うことができる。
【図1】本発明の第1の実施形態を示す外観斜視図であ
る。
る。
【図2】本発明の第1の実施形態を示す概略平面図であ
る。
る。
【図3】本発明の第1の実施形態の動作説明するための
概略平面図である。
概略平面図である。
【図4】本発明の第2の実施形態を示す概略平面図であ
る。
る。
【図5】本発明の第2の実施形態の動作説明するための
概略平面図である。
概略平面図である。
【図6】一従来例を示す概略平面図である。
【図7】一従来例の動作を説明するための概略平面図で
ある。
ある。
8、40 搬送装置 10 回転台 12、14 移送機構 16、18 第1平行リンク 20、22 第2平行リンク 24、26、42 ワーク保持部材 W ワーク
Claims (5)
- 【請求項1】 ワークが載置されてこのワークを移動さ
せる一対の移送機構からなり、 上記各移送機構が、第1平行リンクと、 この第1平行リンクのリンク片を介して上記第1平行リ
ンクへ連結された第2平行リンクと、 これらの平行リンクを揺動させる駆動手段とを備え、 上記第2平行リンクの、上記第1平行リンクとの連結部
と反対側の端部には、上記第2平行リンクのリンク片を
構成するとともに、上記ワークが載置されるワーク保持
部材が連結され、 上記両平行リンクの間には、上記第1平行リンクの揺動
を上記第2平行リンクへ伝達して、この第2平行リンク
に設けられている上記ワーク保持部材を直線状に平行移
動させる回転伝達手段が設けられ、 かつ、上記各移送機構が、それぞれに設けられているワ
ーク保持部材の移動軌跡が至近位置となるように取り付
けられている、 ことを特徴とする搬送装置。 - 【請求項2】 上記回転伝達手段が、各平行リンクのリ
ンク片を回転自在に連結する枢軸に取り付けられたプー
リと、これらのプーリに巻回されたベルトとによって構
成されていることを特徴とする請求項1に記載の搬送装
置。 - 【請求項3】 上記両移送機構が、そのワーク保持部材
の移動軌跡が上下方向に重なり合うように取り付けられ
ているとともに、一方の移送機構の第2平行リンクおよ
びワーク保持部材が、他方の移送機構の第2平行リンク
およびワーク保持部材よりも高く位置させられているこ
とを特徴とする請求項1に記載の搬送装置。 - 【請求項4】 上記各移送機構が独立して駆動されるよ
うになされていることを特徴とする請求項3に記載の搬
送装置。 - 【請求項5】 上記各移送機構の第2平行リンクが単一
のワーク保持部材に連結されていることを特徴とする請
求項1に記載の搬送装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP35399695A JPH09186216A (ja) | 1995-12-27 | 1995-12-27 | 搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP35399695A JPH09186216A (ja) | 1995-12-27 | 1995-12-27 | 搬送装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09186216A true JPH09186216A (ja) | 1997-07-15 |
Family
ID=18434619
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP35399695A Pending JPH09186216A (ja) | 1995-12-27 | 1995-12-27 | 搬送装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH09186216A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2002058895A1 (en) * | 2001-01-15 | 2002-08-01 | Abb Ab | Industrial robot |
WO2003059581A1 (en) * | 2002-01-16 | 2003-07-24 | Abb Ab | Industrial robot |
KR100451412B1 (ko) * | 2001-11-09 | 2004-10-06 | 한국과학기술연구원 | 다지 로봇 핸드 |
CN108127650A (zh) * | 2017-12-26 | 2018-06-08 | 汕头市东方科技有限公司 | 一种真空柔性抓取机械手 |
CN113555305A (zh) * | 2021-09-22 | 2021-10-26 | 沈阳芯达科技有限公司 | 平行旋转传送机构 |
-
1995
- 1995-12-27 JP JP35399695A patent/JPH09186216A/ja active Pending
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2002058895A1 (en) * | 2001-01-15 | 2002-08-01 | Abb Ab | Industrial robot |
US7011489B2 (en) | 2001-01-15 | 2006-03-14 | Abb Ab | Industrial robot |
KR100451412B1 (ko) * | 2001-11-09 | 2004-10-06 | 한국과학기술연구원 | 다지 로봇 핸드 |
WO2003059581A1 (en) * | 2002-01-16 | 2003-07-24 | Abb Ab | Industrial robot |
US7637710B2 (en) | 2002-01-16 | 2009-12-29 | Abb Ab | Industrial robot |
CN108127650A (zh) * | 2017-12-26 | 2018-06-08 | 汕头市东方科技有限公司 | 一种真空柔性抓取机械手 |
CN113555305A (zh) * | 2021-09-22 | 2021-10-26 | 沈阳芯达科技有限公司 | 平行旋转传送机构 |
CN113555305B (zh) * | 2021-09-22 | 2021-11-19 | 沈阳芯达科技有限公司 | 平行旋转传送机构 |
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