JPH09186216A

JPH09186216A - 搬送装置

Info

Publication number: JPH09186216A
Application number: JP35399695A
Authority: JP
Inventors: Kazuo Kikuchi; 一夫菊地
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 1995-12-27
Filing date: 1995-12-27
Publication date: 1997-07-15

Abstract

(57)【要約】【課題】搬送速度が早く、また、搬送による姿勢変更
がなく、さらに、２つのワークを相互に異なる方向へ同
時に搬送する搬送装置を提供することにある。【解決手段】ワークＷを移動させる一対の移送機構１
２、１４からなり、各移送機構が、第１平行リンク１
６、１８と、この第１平行リンクへ連結された第２平行
リンク２０、２２と、これらの平行リンクを揺動させる
駆動手段とを備えている。上記第２平行リンクの、第１
平行リンクとの連結部と反対側の端部には、上記ワーク
が載置されるワーク保持部材２４、２６、４２が連結さ
れおり、上記各平行リンク間に、上記ワーク保持部材を
直線状に平行移動させる回転伝達手段が設けられ、か
つ、上記各移送機構が、それぞれに設けられているワー
ク保持部材の移動軌跡が至近位置となるように相対的な
位置決めがなされている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、搬送装置に係わ
り、特に、半導体ウェーハ、液晶基盤、電子回路基板等
のワークの搬送に用いて好適な搬送装置に関するもので
ある。

【０００２】

【従来の技術】従来、半導体ウェーハ、液晶基盤、電子
回路基板等のワークを搬送するため搬送装置として、た
とえば、図６に示す構造のものが知られている。この図
に符号２で示す搬送装置は、回転台４と、この回転台４
に装着された一対の移送機構６・７とによって構成され
ており、これらの各移送機構６、７は、上記回転台４に
一端が回動自在に連結された第１アーム６０２、７０２
と、この第１アーム６０２、７０２の他端に回動自在に
連結された第２アーム６０４、７０４と、この第２アー
ム６０４、７０４の先端部に回動自在に連結されたワー
ク保持部材６０６、７０６と、上記回転台４から、第１
アーム６０２、７０２および第２アーム６０４、７０４
を経て上記ワーク保持部材６０６、７０６に至る間に設
けられて、上記第１アーム６０２、７０２の回動を上記
ワーク保持部材６０６、７０６へ伝達することにより、
このワーク保持部材６０６、７０６を、直線状に平行移
動させる回転伝達手段（図示略）と、上記回転台４を回
転させるステッピングモータ等の駆動手段（図示略）
と、上記各移送機構６、７を駆動する駆動手段（図示
略）とによって構成されている。

【０００３】そして、上記回転伝達手段は、上記回転台
４に固定されたプーリと、上記第２アーム６０４、７０
４に一体に取り付けられて、この第２アーム６０４、７
０４を上記第１アーム６０２、７０２に回動自在に連結
する枢軸に取り付けられたプーリと、上記ワーク保持部
材６０６、７０６に一体に取り付けられて、このワーク
保持部材６０６、７０６を上記第２アーム６０４、７０
４に回転自在に連結する枢軸に取り付けられたプーリ
と、これらの各プーリ間に巻回されたベルトによって構
成されている。

【０００４】そして、このように構成された従来の搬送
装置２は、たとえば、図７に示すように、この搬送装置
２を挟んで直線状に配置されているステーションＡ、Ｂ
間でワークを搬送する場合には、まず、回転台４が回転
させられることにより、両移送機構６、７のワーク保持
部材６０６、７０６が一方のステーションＡに対向させ
られた後に、上記各第１アーム６０２、７０２が回動さ
せられることにより、図７に鎖線で示すように、上記ワ
ーク保持部材６０６、７０６が上記ステーションＡへ送
り込まれて、このワーク保持部材６０６、７０６にワー
クＷが載置される。

【０００５】ついで、上記各第１アーム６０２、７０２
が逆方向に回動させられることにより、上記ワーク保持
部材６０６、７０６が上記一方のステーションＡからワ
ークＷとともに引き出され、ついで、回転台４が所定方
向に１８０度回転させられることにより、上記ワーク保
持部材６０６、７０６およびワークＷが他方のステーシ
ョンＢへ対向させられる。

【０００６】これより、再度、上記各第１アーム６０
２、７０２が回動させられることによって、ワーク保持
部材６０６、７０６およびワークＷが上記他方のステー
ションＢへ挿入されるとともに、上記ワークＷが他方の
ステーションＢへ送り込まれる。このような作動によっ
て、ワークＷの直線的な搬送が行われるようになってい
る。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】ところで、従来の搬送
装置２においては、ワークＷを直線上に位置する２位置
間で移動を行わせるために、ワーク保持部材６０６、７
０６の移動のための駆動系と回転台４の回転のための駆
動系との２系統の駆動系を設ける必要があることから、
構造が複雑化するばかりでなく、直線移動と回転移動と
の組み合わせであることから、搬送速度の高速化が制限
されてしまうといった不具合がある。

【０００８】また、搬送中に回転移動が加わるために、
ワークＷの受け取り側と引き渡し側とにおいて、ワーク
Ｗの向きが変わることとなるが、加工ラインにおいて、
ワークＷの向きが変更されると、処理装置や加工装置の
構造が煩雑になってしまうといった不具合もある。

【０００９】さらに、上述した従来の搬送装置２におい
ては、異なる位置にある上記ステーションＡ、Ｂにワー
クＷを出し入れする際に、ワーク保持部材６０６、７０
６を回転によって各ステーションＡ、Ｂに対向させる必
要があることから、２つのワークＷを２つのステーショ
ンＡ、Ｂ間で往復させる際に、移送機構６が一対装備さ
れているにも拘わらず、一方向づつの搬送しか行えな
い。

【００１０】一方、上記ステーションＡ、Ｂが回転台４
回りに９０度〜１８０度の範囲にある場合、ワークＷを
搬送するには、上記回転台４を、必ずこれらのステーシ
ョンＡ、Ｂ間の角度分だけ回転させなければならず、こ
の点も、搬送速度が長くなる原因となっている。本発明
は、前述した従来の問題点に鑑みてなされたもので、そ
の搬送速度が早く、また、搬送による姿勢変更がなく、
さらに、２つのワークを相互に異なる方向へ同時に搬送
することのできる搬送装置を提供することを解決すべき
課題とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明は前記課題を解決
するために、ワークが載置されてこのワークを移動させ
る一対の移送機構からなり、上記各移送機構が、上記回
転台を一つのリンク片とした第１平行リンクと、この第
１平行リンクの、上記回転台と対向させられたリンク片
を介して上記第１平行リンクへ連結された第２平行リン
クと、これらの平行リンクを揺動させる駆動手段とを備
え、上記第２平行リンクの、上記第１平行リンクとの連
結部と反対側の端部には、上記第２平行リンクのリンク
片を構成するとともに、上記ワークが載置されるワーク
保持部材が連結され、上記各平行リンクと上記回転台と
の間には、上記第１平行リンクの揺動を上記第２平行リ
ンクへ伝達して、この第２平行リンクに設けられている
上記ワーク保持部材を直線状に平行移動させる回転伝達
手段が設けられ、かつ、上記各移送機構が、それぞれに
設けられているワーク保持部材の移動軌跡が、至近位置
となるように上記回転台に取り付けられていることを特
徴としている。

【００１２】また、本発明は、上記回転伝達手段が、各
平行リンクのリンク片を回転自在に連結する枢軸に取り
付けられたプーリと、これらのプーリに巻回されたベル
トとによって構成されていることを特徴とする。また、
本発明は、上記両移送機構が、そのワーク保持部材の移
動軌跡が上下方向に重なり合うように取り付けられてい
るとともに、一方の移送機構の第２平行リンクおよびワ
ーク保持部材が、他方の移送機構の第２平行リンクおよ
びワーク保持部材よりも高く位置させられていることを
特徴としている。また、本発明は、上記各移送機構が独
立して駆動されるようになされていることを特徴とす
る。また、本発明は、上記各移送機構の第２平行リンク
が単一のワーク保持部材に連結されていることを特徴と
する。

【００１３】本発明によれば、平行リンクの組み合わせ
と回転伝達手段との相互作用によりワークを直線的にか
つ平行に移動でき、駆動系を１系統として構成の簡素化
を図り、搬送速度が早く、また、搬送による姿勢変更が
なく、さらに、２つのワークを相互に異なる方向へ同時
に搬送することが可能となる。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、本発明の第１の実施形態に
ついて、図１ないし図３に基づき説明する。これらの図
において符号８は、本実施形態に係わる搬送装置を示
し、この搬送装置８は、回転台１０と、この回転台１０
に装着されるとともに、ワークＷが載置されてこのワー
クＷを移動させる一対の移送機構１２、１４とからな
り、上記各移送機構１２、１４が、上記回転台１０を一
つのリンク片とした第１平行リンク１６、１８と、この
第１平行リンク１６、１８の、上記回転台１０と対向さ
せられたリンク片１６０２、１８０２を介して上記第１
平行リンク１６、１８へ連結された第２平行リンク２
０、２２と、これらの平行リンク１６、１８、２０、２
２を揺動させる駆動手段（図示略）とを備え、上記第２
平行リンク２０、２２の、上記第１平行リンク１６、１
８との連結部と反対側の端部には、上記第２平行リンク
２０、２２のリンク片を構成するとともに、上記ワーク
Ｗが載置されるワーク保持部材２４、２６が連結され、
上記各平行リンク１６、１８、２０、２２と上記回転台
１０との間には、上記第１平行リンク１６、１８の揺動
を上記第２平行リンク２０、２２へ伝達して、この第２
平行リンク２０、２２に設けられている上記ワーク保持
部材２４、２６を直線状に平行移動させる回転伝達手段
（図示略）が設けられ、かつ、上記各移送機構１２、１
４が、それぞれに設けられているワーク保持部材２４、
２６の移動軌跡が、上記回転台１０の回転中心近傍を通
るように上記回転台１０に取り付けられた概略構成とな
っている。

【００１５】ついでこれらの詳細について説明すれば、
上記各第１平行リンク１６、１８は、一端部が上記回転
台１０に回動自在に連結され、かつ、他端部が、前記リ
ンク片１６０２、１８０２に回動自在に連結された一対
の平行なリンク片１６０４、１８０４を備え、これらの
一対の平行なリンク片１６０４、１８０４は、図２に示
すように、これらの各リンク片１６０４、１８０４の両
端および上記リンク片１６０２、１８０２に回動自在に
嵌挿された枢軸２８、３０、３２、３４によって、上記
リンク片１６０２、１８０２へ回動自在に連結されてい
る。

【００１６】また、上記第２平行リンク２０、２２は、
一端部が、上記枢軸３０、３４に固定されることにより
上記リンク片１６０２、１８０２の端部に回動自在に連
結された一対の平行なリンク片２００２、２２０２を備
え、これらの一対の平行なリンク片２００２、２２０２
の他端部が、上記ワーク保持部材２４、２６に枢軸３
６、３８によって回動自在に連結されることにより、上
記リンク片１６０２、１８０２とともに平行リンクを構
成している。

【００１７】上記回転伝達手段は、本実施例では、上記
枢軸２８、３２と同軸状に設けられるとともに、上記回
転台１０に固定されたプーリと、上記枢軸３０、３４に
固定されたプーリと、これらのプーリ間に巻回されるベ
ルトによって構成される。

【００１８】一方、本実施形態においては、図２および
図３に示すように、上記両移送機構１２、１４のワーク
保持部材２４、２６の移動軌跡が、上記回転台１０の回
転軸線と直交する直線上に位置させられているととも
に、図１に示すように、一方の移送機構１６の第２平行
リンク２０およびワーク保持部材２４よりも、他方の移
送機構１８の第２平行リンク２２およびワーク保持部材
２６が上方に位置させられ、さらに、これらの両移送機
構１２、１４が独立して駆動されるようになっている。
したがって、両ワーク保持部材２４、２６が回転台１０
の軸線上に位置させられた状態においても両ワーク保持
部材２４、２６の間に隙間が形成されて、相互干渉が回
避されている。

【００１９】ついで、このように構成された本実施形態
に係わる搬送装置８の動作について説明する。まず、上
記回転台１０を挟んだ両側に、位置させられているステ
ーション間においてワークＷを受け渡すような場合に
は、上記回転台１０を回転させて、各移送機構１２、１
４のワーク保持部材２４、２６の移動方向を、上記各ス
テーションを最短距離で結ぶ直線に一致させておく。

【００２０】これより、各移送機構１２、１４の第１平
行リンク１６、１８が揺動させられることにより、それ
ぞれのワーク保持部材２４、２６が相互に離間する方向
に移動させられることにより、これらのワーク保持部材
２４、２６が各ステーションへ対向させられるととも
に、これらのステーションからワークＷが供給されて載
置される。

【００２１】このようにして各ワーク保持部材２４、２
６上にワークＷが載置されると、第１平行リンク１６、
１８が逆方向に揺動させられることにより、上記ワーク
保持部材２４、２６が、それぞれ上記回転台１０の回転
中心を通過して、他のステーションへ向けて移動させら
れる。

【００２２】このような移動に際して、上述のごとく、
各移送機構１２、１４の第２平行リンク２０、２２およ
びワーク保持部材２４、２６が相互に上下にずらされて
相互干渉が回避されていることにより、上述したワーク
保持部材２４の移動が円滑に行われて、ステーション間
のワークＷの双方向搬送が確実に行われる。そして、上
記搬送が、両ステーションを最短距離で結ぶ直線に沿っ
て行われることから、その搬送速度が短縮される。しか
も、予め搬送方向が固定されている状態であれば、上記
回転台１０は不要であり、これを省略することにより、
構成の簡素化が図られるとともに、コストの低減が図ら
れる。さらに、上記ワーク保持部材２４、２６が直線的
でかつ平行移動であることから、搬送されるワークＷの
姿勢が一定に保持されて、加工装置や処理装置の構成が
簡素化される。

【００２３】一方、本実施形態においては、回転伝達手
段がプーリとベルトによって構成されていることによ
り、ダストの発生が抑制され、かつ、オイルレスである
ので、真空雰囲気中での使用が可能となり、たとえば、
酸化しやすいワークＷの搬送に好適である。

【００２４】ついで、本発明の第２の実施形態について
図４および図５に基づき説明する。本実施形態における
搬送装置４０は、一対の移送機構１２、１４の第２平行
リンク２０、２２のそれぞれが、単一のワーク保持部材
４２に連結されている点において上記実施形態と異な
る。このような構成とすることにより、ワーク保持部材
４２の保持が強固になるとともに安定し、これによっ
て、重量が比較的大きなワークＷの搬送が可能となる。
そして、回転台１０の回転中心を通る直線に沿って配置
された２つのステーションＡ、Ｂ間におけるワークＷの
搬送は、上記実施形態と同様にして行われ、双方向搬送
以外の機能が同様に達成される。

【００２５】一方、上記ステーションＡ、Ｂが９０度〜
１８０度にある場合、従来の搬送装置２においてはその
角度分、移動機構６を回動させなければならなかった
が、本発明においては、直線搬送機能を備えていること
からその回動範囲が最小限度に抑えられる。

【００２６】ここで、本実施形態を利用して、上述した
回動範囲が狭められる理由について説明する。図５に示
すように、両ステーションＡ、Ｂが約１２０度の角度の
範囲で離間させられて設置させられているとすると、ま
ず、回転台１０によってワーク保持部材４２がステーシ
ョンＡへ対向させられるとともに、両移送機構１２、１
４によって上記ワーク保持部材４２が、矢印イで示すよ
うに、ステーションＡへ接近離間させられて、ワークＷ
の受け取りが行われる。

【００２７】ついで、上記回転台１０を回転させること
によって、上記ワーク保持部材４２が、矢印ロで示すよ
うに、上記ステーションＢから離間する方向へ移動させ
られて、上記ステーションＢに対して上記回転台１０の
回転軸線を通る直線上に位置させられる。これより、搬
送装置４０の直線搬送機能によって、上記ワーク保持部
材４２が、矢印ハで示すように、直線的にステーション
Ｂへ向けて移動させられるとともに、このステーション
ＢへのワークＷの供給が行われる。したがって、搬送に
要する回転角度が６０度に抑えられることとなるととも
に、ワークＷの姿勢変化もない。なお、このような機能
は、上述した実施例においても、回転台１０を併設する
場合においては同様に得られるものである。

【００２８】なお、上記各実施形態において示した各構
成部材の諸形状や寸法等は一例であって、設計要求等に
基づき種々変更可能である。たとえば、上記各実施形態
においては、第２平行リンク２０、２２のリンク片２０
０２、２２０２を直接ワーク保持部材２４、２６、４２
へ接続した例について示したが、ワーク保持部材２４、
２６、４２に代えて、別途リンク片を設けて上記リンク
片２００２、２２０２を連結し、この新たなリンク片に
上記ワーク保持部材２４、２６、４２を取り付けるよう
にしてもよいものである。

【００２９】

【発明の効果】以上説明したように、本発明に係わる搬
送装置によれば、平行リンクの組み合わせと回転伝達手
段との相互作用により、ワークが載置されるワーク保持
手段を直線的にかつ平行に移動させることにより、最短
の搬送経路を移動させて、搬送速度を高めることができ
るとともに、駆動系を１系統として構成の簡素化を図
り、製造コストの軽減を図ることができる。

【００３０】また、ワークを平行移動させてることによ
り、搬送によって姿勢が変更されてしまうことを防止し
て、処理装置や加工装置の構造を簡素化して、加工ライ
ンのコストの低減が図られる。

【００３１】さらに、２つのワーク保持部材によってワ
ークの相互搬送を可能にすることにより、ワークの入れ
替え作業の円滑かつ効率よく行うことができる。

【００３２】一方、直線的な搬送機能に回転機能を加え
ることにより、直線上からずれて配置された位置への搬
送時においても、回動操作を最小限度に止めつつ、姿勢
変更のない搬送を行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施形態を示す外観斜視図であ
る。

【図２】本発明の第１の実施形態を示す概略平面図であ
る。

【図３】本発明の第１の実施形態の動作説明するための
概略平面図である。

【図４】本発明の第２の実施形態を示す概略平面図であ
る。

【図５】本発明の第２の実施形態の動作説明するための
概略平面図である。

【図６】一従来例を示す概略平面図である。

【図７】一従来例の動作を説明するための概略平面図で
ある。

【符号の説明】

８、４０搬送装置１０回転台１２、１４移送機構１６、１８第１平行リンク２０、２２第２平行リンク２４、２６、４２ワーク保持部材Ｗワーク

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ワークが載置されてこのワークを移動さ
せる一対の移送機構からなり、上記各移送機構が、第１平行リンクと、この第１平行リンクのリンク片を介して上記第１平行リ
ンクへ連結された第２平行リンクと、これらの平行リンクを揺動させる駆動手段とを備え、上記第２平行リンクの、上記第１平行リンクとの連結部
と反対側の端部には、上記第２平行リンクのリンク片を
構成するとともに、上記ワークが載置されるワーク保持
部材が連結され、上記両平行リンクの間には、上記第１平行リンクの揺動
を上記第２平行リンクへ伝達して、この第２平行リンク
に設けられている上記ワーク保持部材を直線状に平行移
動させる回転伝達手段が設けられ、かつ、上記各移送機構が、それぞれに設けられているワ
ーク保持部材の移動軌跡が至近位置となるように取り付
けられている、ことを特徴とする搬送装置。
【請求項２】上記回転伝達手段が、各平行リンクのリ
ンク片を回転自在に連結する枢軸に取り付けられたプー
リと、これらのプーリに巻回されたベルトとによって構
成されていることを特徴とする請求項１に記載の搬送装
置。
【請求項３】上記両移送機構が、そのワーク保持部材
の移動軌跡が上下方向に重なり合うように取り付けられ
ているとともに、一方の移送機構の第２平行リンクおよ
びワーク保持部材が、他方の移送機構の第２平行リンク
およびワーク保持部材よりも高く位置させられているこ
とを特徴とする請求項１に記載の搬送装置。
【請求項４】上記各移送機構が独立して駆動されるよ
うになされていることを特徴とする請求項３に記載の搬
送装置。
【請求項５】上記各移送機構の第２平行リンクが単一
のワーク保持部材に連結されていることを特徴とする請
求項１に記載の搬送装置。