TW201351549A - 基板收納用容器之搬出入裝置及搬出入方法 - Google Patents

Abstract

本發明提供一種能以穩定的狀態確實地保持已搬入之傳送盒，且進一步實現小型化的裝載埠等所使用的基板收納用容器之搬出入裝置。基板收納用容器之搬出入裝置，其特徵在於，具備：載置台10，其載置基板收納用容器；滑動機構20，其具有滑塊22，該滑塊22係將載置台10可進退移動地支承於該載置台10上載置有容器5的容器搬出入位置、及自載置台10上的容器5進行基板之搬出入的基板搬出入位置；及旋轉機構30，其具有可旋轉地支承滑動機構20的旋轉體32；載置台10可於容器搬出入位置與基板搬出入位置之間的旋轉位置旋轉。

Description

基板收納用容器之搬出入裝置及搬出入方法

本發明係關於一種使用於裝載埠(load port)等的基板收納用容器之搬出入裝置及容器之搬出入方法。

習知以來，於裝載埠具備：旋轉升降手段20，其使已搬入至裝載埠之基板收納用容器(以下，稱作FOUP(傳送盒))旋轉；及移動設備38，其接受已被該旋轉升降手段20旋轉的容器30且使其進退移動(參照專利文獻1的圖1、圖2)。

又，作為其他裝載埠，具備：平台12，其載置FOUP；旋轉機構31~35，其使平台旋轉；及升降機構39，其使平台升降；具備使該等構件12、31~35、39進退移動的移動機構(參照專利文獻2的圖1、圖3)。

[先行技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本專利第4168724號公報

[專利文獻2]日本專利第4816637號公報

然而，專利文獻1之裝載埠中，作為使FOUP進退移動之移 動手段38之外的構造體，設置有使FOUP旋轉之旋轉升降手段20。又，該裝載埠並不具備保持已搬入之FOUP的夾具(clamp)。若在不夾持的狀態下進行使FOUP上下活動、旋轉的動作，則存在上下活動時或旋轉時FOUP之保持狀態變得不穩定的問題。又，需要於移動手段38與旋轉升降手段20之間進行FOUP的交付，該動作時，FOUP之保持狀態亦變得不穩定。

又，專利文獻2之裝載埠之構造，係使FOUP之平台12、平台之旋轉機構31~35以及平台之升降機構39等多個構造體進退移動，因此裝載埠容易大型化。又，旋轉時係偏離平台12的中心而進行偏心旋轉，因此，實際上，難說旋轉動作所需之空間為最少。又，與專利文獻1之裝載埠同樣，夾持機構係設於停靠台(dock stage)38上，因此，於FOUP下降期間不進行夾持，從而FOUP以不穩定的狀態進行下降動作。

本申請案發明係鑒於上述問題而完成，其提供一種能以穩定的狀態確實地保持已搬入之FOUP而且進一步實現小型化的、裝載埠等的基板收納用容器之搬出入裝置。

本申請案之發明係一種基板收納用容器之搬出入裝置，其特徵在於，具備載置基板收納用容器之載置台，並且具備：滑動機構，其具備滑塊，該滑塊係將該載置台可進退移動地支承於載置台上載置有容器的容器搬出入位置、及於載置台上之容器與對基板進行搬出入之裝置之間進行基板搬出入的基板搬出入位置；及旋轉機構，其具備可旋轉地支承該滑動機構的旋轉體；載置台可於容器搬出入位置與基板搬出入位置之間的旋轉位置旋轉。

本申請案之另一發明係一種基板收納用容器之基板搬出入方法，其特徵在於具有如下步驟：夾持步驟，其係將已搬入至載置台之基板收納用容器固定於載置台；第1移動步驟，其係於維持該夾持步驟中之夾持的狀態下，使載置台自容器搬出入的位置移動，且停止於旋轉位置；旋轉步驟，其係於維持夾持步驟中之夾持的狀態下，使載置台於上述旋轉位置旋轉，而使載置台朝著基板搬出入時方向，該基板搬出入時方向係指成為所載置之容器之基板搬出入部朝著基板搬出入時之方向的狀態；及第2移動步驟，其係於維持夾持步驟中之夾持且使載置台朝著基板搬出入時方向的狀態下，使該載置台進而自旋轉位置移動至對基板進行搬出入的位置。

根據本申請案發明之基板收納用容器之搬出入裝置，旋轉機構係固定於裝置本體，且於旋轉機構的中心與載置台的中心一致之旋轉位置旋轉，因此，旋轉動作所需的空間變為最小。又，因已固定之旋轉機構保持載置台，且進退移動的部分僅為載置台，因此儘管添加了旋轉機構，但是裝置整體亦緊密，且能實現穩定的動作。

又，上述旋轉機構係藉由在上述旋轉位置之旋轉而使滑動機構的進退移動的方向反轉，因此，僅藉由使上述滑動機構向一定方向進退，便可使載置台多點停止於自另一移載機進行接受之容器搬入時位置、使容器旋轉之旋轉位置、進而是使容器內之基板進出之基板搬出入位置。可利用廉價的兩點停止氣缸等來擴大載置台的進退移動範圍，從而使得自移載機側進行的存取(access)亦變得容易。

又，於固定有上述旋轉基部之上述裝置基礎部，進一步設置有以使上 述載置台可於上述旋轉位置旋轉之方式進行導引的導引部。藉此，容器旋轉之位置係僅於上述旋轉基部的中心與載置台的中心一致之位置旋轉，從而旋轉動作所需的空間變為最小。

進而，被上述導引部引導之被導引部係設置於上述載置台的導銷(guide pin)，因此，旋轉位置以外的旋轉動作限制變得容易。

又，設置於上述載置台之定位銷之自載置台上表面的長度，係於該定位銷上所載置之上述容器之底面與上述載置台之上表面之間可形成作業空間的長度，該作業空間係可供具備載置移載對象之容器的叉架部的移載機的該叉架部插入的空間。亦即，叉架係於將容器裝載於上述定位銷上之後，下降至離開容器的位置且後退，藉此實現向載置台的交付。因此，無需載置台之升降機構，能使裝置變得緊密。

又，進而具備噴嘴單元，該噴嘴單元具備用於對載置於上述載置台上之容器內填充淨化用氣體的供排氣噴嘴，該噴嘴單元具備升降機構，該升降機構可升降至使載置於上述基板搬出入位置之載置台的上述容器之底面上所形成的噴嘴埠與上述供氣噴嘴連通的通氣位置、及使該供氣噴嘴離開上述噴嘴埠的下降位置。因此，如本發明所述，當上述噴嘴埠與載置台之間有距離時，供排氣噴嘴亦升降，因此可於載置台上進行淨化。

根據本申請案之另一發明之基板收納用容器之搬出入方法，可由如下步驟進行：夾持步驟，其係將已搬入至載置台之基板收納用容器固定於上述載置台；第1移動步驟，其係於維持該夾持步驟中之夾持的狀態下，使上述載置台自容器搬出入的位置移動，且停止於旋轉位置；旋轉步驟，其係於維持上述夾持步驟中之夾持的狀態下，使上述載置台於上述旋轉位置 旋轉，而使上述載置台朝著基板搬出入時方向，該基板搬出入時方向係指成為所載置之上述容器之基板搬出入部朝著基板搬出入時之方向的狀態；及第2移動步驟，其係於維持上述夾持步驟中之夾持且使上述載置台朝著上述基板搬出入時方向的狀態下，使該載置台進而自旋轉位置移動至對基板進行搬出入的位置。因此，容器剛被交付至載置台後便受到夾持，因此旋轉動作以及載置台之進退移動時不會變得不穩定，從而能迅速地進行該等動作。

進而，上述夾持步驟係於上述載置台的高度位置以及載置於該載置台上之上述容器的高度位置為一定的狀態下進行的步驟，上述第1移動步驟係使上述載置台自上述搬出入的位置水平移動至上述旋轉位置的步驟，上述第2移動步驟係使上述載置台自上述旋轉位置水平移動至進行上述搬出入的位置的步驟。當容器夾持於載置台之後不會上下活動，而一直維持相同的高度，因此，能牢固地維持夾持狀態且能迅速地進行滑動．旋轉動作。

又，上述基板收納用容器之搬出入方法中進而具備搬入步驟，其係使用具有載置移載對象之容器的叉架部的搬送機器，將上述容器移載至以向上方突出的狀態設置於上述載置台上的定位銷之上；上述搬入步驟包含如下動作：移載動作，其係使上述叉架部移動而將移載對象之上述容器移載至上述定位銷上；叉架部下降動作，其係使該移載動作後之叉架部，下降至形成於已移載至上述定位銷上的容器之底面與上述載置台之上表面之間的作業空間；及退避動作，其係將上述叉架部自上述作業空間抽出。因此，可無需使上述載置台上下活動，而於叉架部將容器交付至定位銷、下降至該作業空間且經過退避動作之後，立即開始載置台側的夾持動作。

1‧‧‧FOUP(容器)之搬出入裝置

1a‧‧‧搬出入裝置本體(裝置基礎部)

5‧‧‧FOUP(傳送盒、容器)

10‧‧‧載置台

10a‧‧‧載置台之前端

11、11a、11b‧‧‧定位銷

11g‧‧‧前側入口部

12‧‧‧夾持構件

12a‧‧‧爪部

13‧‧‧探測銷

20‧‧‧滑動機構

21‧‧‧滑動機構本體

21a‧‧‧導軌

2.2‧‧‧滑塊

23‧‧‧致動器

23a‧‧‧氣缸

23b‧‧‧連桿

23c‧‧‧盤簧

23d‧‧‧連結構件

30‧‧‧旋轉機構

31‧‧‧旋轉基部

32‧‧‧旋轉體

40‧‧‧導引機構

41‧‧‧第1線性運動導引部

42‧‧‧旋轉導引部

43‧‧‧第2線性運動導引部

44‧‧‧導銷(從動件)

50‧‧‧噴嘴單元

51‧‧‧供氣噴嘴(供排氣噴嘴之一)

51a‧‧‧噴嘴埠

52‧‧‧排氣噴嘴(供排氣噴嘴之一)

52a‧‧‧噴嘴埠

53‧‧‧噴嘴支承體

54‧‧‧升降機構

55‧‧‧噴嘴支承體

D1‧‧‧FOUP搬出入之方向(傳送盒搬出入之方向)

D2‧‧‧裝載埠門之方向

D3‧‧‧進退移動方向

DB‧‧‧後退移動

P1~P4、P9‧‧‧導銷的位置

S1‧‧‧作業空間

T‧‧‧叉架部

圖1係表示本發明之實施形態之基板收納用容器之搬出入裝置的立體圖。

圖2係表示圖1之A-A面之剖面的剖面圖。

圖3係表示圖1之搬出入裝置的分解立體圖。

圖4係表示圖1之搬出入裝置之裝置本體的俯視圖。

圖5(A)~(E)係用於說明圖1所示之搬出入裝置之動作的說明圖。

以下，參照圖式對本發明之基板收納用FOUP(容器)之搬出入裝置進行說明。

如圖1所示，搬出入裝置1具備：載置台10，其載置有FOUP5(參照圖2)；滑動機構20，其可進退移動地支承載置台10；旋轉機構30(圖2)，其可旋轉地支承滑動機構20；導引機構41~43(參照圖4)，其對載置台10之活動進行導引；及噴嘴單元50，其用於對載置於載置台10上之FOUP5內進行淨化。

載置台10具備：定位銷11(11a、11b)，其係以自載置台10之上表面突出於上方的狀態設置；及夾持構件12，其用於夾持FOUP5。

本實施形態中使用之載置台10具備3根定位銷11。已移載至載置台10之FOUP5係以載置於3根定位銷11之上的狀態而得到支承。FOUP5之底面具有供定位銷之頂端插進的V槽(未圖示)。因此，FOUP5藉由3根定位銷11而確實地定位於載置台10上的特定的FOUP載置位置(參 照圖2之傳送盒F的位置)。3根定位銷11之頂端位置為相同高度，FOUP5以水平狀態支承於載置台10上之特定的FOUP載置位置。另外，FOUP載置位置的高度係與載置於基板搬出入位置之載置台10上的FOUP5的高度位置相同。

3根定位銷11之配置，係於載置台10之前側(基板的搬出入側)為2根，於後側(FOUP的搬出入側)為1根。配置於前側之2根前側定位銷11a、11a係相隔地配置於載置台10前部的左右兩側，於兩定位銷11a、11a之間形成有入口寬度較寬的前側入口部11g。

又，自載置台10之上表面至3根定位銷11之頂端的長度(高度)，係於定位銷上所載置之FOUP5之底面與載置台10之上表面之間可形成作業空間S1(圖2)的長度。又，上述前側入口部11g係位於作業空間S1之載置台10的前方側。

作業空間S1例如如下文所述，係當使用具備叉架部T(參照圖5(A))的移載機(移載機，未圖示)而將FOUP5移載至定位銷11上時利用的空間。若有該作業空間S1，則能使用叉架部T容易地將FOUP5相對於特定的傳送盒載置位置進行搬出入，並且，於FOUP5之移載之後，可不使FOUP5升降。

夾持構件12係用於將所載置之FOUP5相對於載置台10進行固定的部件，且可轉動至將FOUP5夾持於載置台10上之鎖定位置(參照圖3的兩點劃線的位置)、及解除夾持之解鎖位置(參照圖3的位置)。又，夾持構件12之頂端具備夾持用爪部12a。因此，若將夾持構件12轉動至鎖定位置則使FOUP5固定於載置台10上，而若將其轉動至解鎖位置則成為可自載置台10搬出FOUP5的狀態。

另外，符號「13」所示者係探測銷，其係作為對FOUP5向載置台10之搬入進行探測的手段。

如圖3所示，滑動機構20具備：滑動機構本體21，其可旋轉地設置於旋轉機構30上；滑塊22，其可相對於滑動機構本體21滑動地設置；及致動器23，其設置於滑動機構本體21上。

滑動機構本體21具備呈直線狀延伸之導軌21a，且滑塊22可滑動地設置於導軌21a上。滑動機構本體21係以導軌21a為水平之方式設置。因此，滑塊22、及固定於滑塊22上之載置台10均係於水平方向移動。亦即，滑動機構20係使載置於載置台10上之FOUP5水平移動的部件。

致動器23具備氣缸23a。該氣缸23a係用於使滑塊22滑動的驅動源，且具備相對於氣缸本體而出沒之連桿23b、外插於連桿23b上之盤簧23c、及設置於連桿23b之頂端的連結構件23d。該連結構件23d係固定於載置台10之底面。又，連桿23b之延伸方向(出沒方向)係與導軌21a的延伸方向一致。

因此，若使氣缸23a的連桿23b出沒，則滑塊22及載置台10會與該動作連動地於導軌21a的延伸方向移動。

更具體而言，於連桿23b最大限度縮進時(沒入時，參照圖3)，載置台10位於旋轉位置(參照圖5(B)及(C))。此時，滑塊22處於旋轉時位置。

又，若連桿23b以朝著FOUP搬出入之方向D1的狀態(參照圖5(A)、(B))伸長(突出)，則載置台10位於特定的傳送盒搬出入位置(參照圖5(A))。又，若連桿23b以朝著裝載埠門之方向D2的狀態(參照圖5(D)) 伸長，則載置台10位於特定的基板搬出入位置(參照圖5(D))。

盤簧23c係藉由向連桿23b之突出方向施力而將載置台10抵壓於連桿側之構件而進行定位。因此，當連桿23b之頂端部向D2方向突出時，在載置台前端10b與噴嘴單元50之間隔著異物的情況下，藉由盤簧23c的彈力(施力)，可避免過度的擠壓。又，因係使滑動機構20旋轉而使用，因此使載置台10移動至FOUP搬出入位置的動作、及使其移動至基板搬出入位置的動作均係藉由使連桿23b突出而進行。如此，可利用連桿23b的單向活動而執行兩個動作，且可利用廉價的機器在較長的範圍內實現多點停止。

另外，當載置台10處於FOUP搬出入位置時，滑塊22係處於FOUP搬出入時位置；當載置台10處於基板搬出入位置時，滑塊22係處於基板搬出入時位置。

旋轉機構30具備：旋轉基部31，其設置於搬出入裝置本體1a(以下，稱作裝置本體)上；旋轉體32，其可相對於旋轉基部31旋轉地得到支承；及驅動源(未圖示)，其使旋轉體32旋轉。亦即，旋轉基部31係固定於裝置本體1a上。換而言之，旋轉基部31相對於載置台10之FOUP搬出入位置或基板搬出入位置的相對位置為一定的。如此，若將旋轉基部31固定於裝置本體1a上，則旋轉機構30之旋轉體32的旋轉動作變得穩定。又，旋轉機構30得到固定，滑動移動之部分僅為載置台10，因此儘管添加了旋轉機構30，裝置整體亦緊密。

又，旋轉體32支承滑動機構20。因此，若旋轉體32旋轉，則滑動機構20及設置於滑動機構20上之載置台10會旋轉。

更具體地說明，滑動機構20及載置台10可藉由旋轉機構30而向第1 旋轉方向(面向FOUP搬出入側之狀態)及第2旋轉方向(面向FOUP門之狀態)旋轉，該第1旋轉方向係指成為載置台10之前端10a(參照圖1)朝著FOUP搬出入之方向D1的狀態(參照圖5(A)及(B)，FOUP搬出入時之方向)，該第2旋轉方向係指成為載置台10之前端10a朝著埠門之方向D2的狀態(參照圖1，基板搬出入時之方向)。

又，旋轉體32係以使導軌21a成為水平的方式支承滑動機構20。因此，滑塊22、及固定於滑塊22上之載置台10均係於水平方向進退移動。亦即，滑動機構20係使載置台10水平移動的部件。

如圖4所示，導引機構40具備：導引部41、42、43，其設置於裝置本體1a上；及從動件(被導引部)44，其設置於載置台10上。

從動件44係以自載置台的下表面向下方延伸的狀態設置的導銷，且與載置台10一體地滑動且旋轉。

又，導引部41~43係藉由對導銷44之活動進行導引而對載置台10之活動進行導引的部件，且具備第1線性運動導引部41、旋轉導引部42、及第2線性運動導引部43。

第1線性運動導引部41係由在載置台10之進退移動方向D3(圖4)上延伸的第1導引階差部構成。該第1線性運動導引部41係以使位於FOUP搬出入位置(參照圖5(A))與旋轉位置(參照圖5(B))之間的載置台10僅於進退移動方向D3移動且不旋轉的方式，對導銷44進行導引。

旋轉導引部42係由圓弧形狀的圓弧導引階差部構成。該旋轉導引部42係以於成為使位於旋轉位置之載置台10之前端10a朝著埠門之方向D2的狀態(參照圖1、圖5(C))的基板搬出入時旋轉位置、與成為使載置台10 之前端10a朝著FOUP搬出入之方向D1的狀態(參照圖5(A)及(B))的FOUP搬出入時旋轉位置之間旋轉，且不於進退移動方向D3移動的方式，對導銷44進行導引。亦即，旋轉導引部42係對進行180°反轉之載置台10之旋轉動作進行導引的部件。又，當載置台10位於旋轉位置時，載置台10的中心與旋轉機構30之旋轉體32的中心一致，因此，載置台10之旋轉動作所需的空間變為最小。

第2線性運動導引部43係由在載置台10之進退移動方向D3上延伸的第2導引階差部構成。該第2線性運動導引部43係以位於旋轉位置與基板搬出入位置(參照圖5(D))之間的載置台10僅於進退移動方向D3移動且不旋轉的方式，對導銷44進行導引。

由此種導引部41~43所導引的導銷44係位於如下位置。亦即，當載置台10位於FOUP搬出入位置(參照圖5(A))時，導銷44處於FOUP搬出入時位置P1(參照圖4)。又，當載置台10位於旋轉位置時，導銷44係與載置台10之旋轉狀態連動地，位於一個旋轉終端位置(FOUP搬出入側旋轉終端位置)P2與另一個旋轉終端位置(基板搬出入側旋轉終端位置)P3之間的轉動位置(例如位置P9)。又，當載置台10位於基板搬出入位置(參照圖5(D)及(E))時，導銷44處於基板搬出入時位置P4。

另外，各導引部41~43於本實施形態中為階差部，但並不限於此。例如，亦可為對導銷進行導向的槽構造。

噴嘴單元50具備：供氣噴嘴51，其用於向載置於載置台10上之FOUP5內填充惰性氣體(淨化用氣體)；排氣噴嘴52，其用於排出FOUP5內之氣體；噴嘴支承體53，其支承該等噴嘴51、52；及升降機構54，其使 噴嘴支承體53升降。另外，噴嘴單元50係當例如相對於FOUP5內而供給排出以氮氣或氬氣為首的惰性氣體等淨化用氣體時使用。又，各噴嘴51、52為周知的構造，因此，此處省略其詳細說明。

噴嘴支承體53可上升至高於載置台10的位置。更具體而言，噴嘴支承體53可於載置台10與載置於載置台10上之FOUP5之底面之間升降。因成為此種配置，故能使載置台10後退移動至噴嘴支承體53的下側(圖5(D)的狀態)。又，能在載置台10向基板搬出入位置之移動已結束的狀態下，使噴嘴支承體53上升(圖5(E)的狀態)而進行淨化動作。

升降機構54係設置於裝置本體1a上，且使噴嘴支承體53升降至通氣位置(參照圖5(E))及下降位置(參照圖5(D))。噴嘴支承體53係例如於載置有FOUP5之載置台10位於基板搬出入位置(參照圖5(D))時，上升至通氣位置。若噴嘴支承體53上升至通氣位置，則供氣噴嘴51及排氣噴嘴52連接於載置台10之FOUP5之底面上所形成的對應的噴嘴埠(未圖示)。又，若噴嘴支承體53下降至下降位置，則解除連接，且使供氣噴嘴51及排氣噴嘴52離開噴嘴埠。

另外，根據容器製造商，有時將供氣用噴嘴埠設於FOUP之後方側的底面(與FOUP門為相反側的底面)，而將排氣用噴嘴埠設於FOUP的前方側的靠近中央的底面(FOUP門側的底面)。本實施形態之搬出入裝置1係如圖3所示，於載置台10之定位銷11b的兩側設有噴嘴支承體55、55，於該噴嘴支承體55、55上設有供氣用噴嘴51a、51a，又，於噴嘴支承體53之較噴嘴51、52更靠內側的位置設有另外的噴嘴52a、52a。

藉此，本實施形態之搬出入裝置1中的升降機構54內之供氣配管係與 各容器之噴嘴埠的位置一致，能以變更供排氣口之方式進行切換，又，供氣．排氣之路徑亦可藉由連接而容易地變更。又，噴嘴支承體55係為了在載置台10之滑動、旋轉動作時不干涉另一噴嘴支承體53，而由L字形框架形成，但並不限於此，亦可成為與上述升降機構54同樣上下活動的構造。

參照圖5，對此種搬出入裝置之動作進行說明。

此處，自搬入步驟開始進行動作說明。搬入步驟係將FOUP5移載至搬出入裝置1之載置台10的定位銷11上的步驟。又，此處，作為移載FOUP5之手段，使用具備將移載對象之FOUP5搬送且移載至載置台10的叉架部T的移載機(未圖示)。

另外，開始執行搬入步驟之時，移載對象之FOUP5係載置於移載機的叉架部T之上，搬出入裝置1之載置台10係位於傳送盒搬出入位置(參照圖5(A))。因此，滑動機構20之氣缸23a的連桿23b係處於使載置台10成為位於傳送盒搬出入位置的狀態的突出狀態。此時，滑塊22係處於FOUP搬出入時位置，導銷44係處於傳送盒搬出入時位置P1(參照圖4)。

搬入步驟中，首先，使移載機之叉架部T動作，使叉架部T上之FOUP5位於載置台10上，之後，使叉架部T下降，從而將FOUP5載置於定位銷11上(移載動作，參照圖5(A))。於是，探測銷13探測到載置有FOUP5。然而，藉此，FOUP5藉由定位銷11而以定位於特定的FOUP載置位置之狀態得到支承。

另外，搬入步驟中，載置台10成為其前端10a(參照圖1)朝著FOUP搬出入之方向D1的狀態(參照圖5(A))，且入口寬度較寬的前側入口部11g朝著FOUP搬出入之方向D1。因此，能將叉架部T自前側入口部11g 插入至形成於已移載之FOUP5之底面與載置台10之上表面之間的作業空間S1內。又，FOUP5係以被蓋體封閉的開口朝著載置台10之前端10a側的狀態而移載至載置台10上。

之後，使叉架部T進一步下降，而使叉架部T離開已移載之FOUP5的底面之後(叉架部下降動作)，使叉架部T以自作業空間S1抽出的方式移動(退避動作)。藉此，搬入步驟結束。此處，作業空間S1係可進行上述移載動作、叉架部下降動作、以及退避動作的空間。定位銷11之高度係以能充分實施該等3個動作的方式設定。

接著，執行夾持步驟。夾持步驟係使已移載至載置台10上之FOUP5固定於載置台10的步驟。

於夾持步驟中，使位於解鎖位置之夾持構件12以朝著鎖定位置立起的方式轉動。於是，夾持構件20之頂端的爪部卡合於FOUP5之底面的卡合部，FOUP5被固定於載置台10上。若將FOUP5固定於載置台10上，則當使載置台10朝著裝載埠門側移動時，能確實地防止FOUP5的脫落等。本夾持步驟僅為夾持構件12的動作，而不需要使載置台10升降的動作。因此，若搬入步驟結束，則能迅速地執行夾持步驟而成為夾持狀態。

接著，執行第1移動步驟。第1移動步驟係於維持夾持步驟中之夾持的狀態下，使載置有FOUP5之載置台10自FOUP搬出入位置(參照圖5(A))移動至旋轉位置(參照圖5(B))且停止的步驟。

第1移動步驟開始時，滑動機構20之氣缸23a的連桿23b係處於朝著傳送盒搬出入之方向D1而進入的狀態，滑塊22亦處於進入的狀態(參照圖5(A))。第1移動步驟中，使該狀態下的連桿23b以縮進之方式進行沒 入動作。藉此，載置台10於水平方向向傳送盒門側進行後退移動DB，成為位於旋轉位置的狀態(參照圖5(B))。

此時，載置台10之導銷44係沿著第1線性運動導引部41移動。因設有第1線性運動導引部41，故載置台10以旋轉受到防止的狀態進行後退移動DB。

接著，執行旋轉步驟。旋轉步驟係於維持夾持步驟中之夾持的狀態下，使旋轉位置之載置台10旋轉的步驟。

旋轉步驟開始前之載置台10係成為其前端10a朝著傳送盒搬出入之方向D1的狀態，且處於導銷44位於位置P2(參照圖1)的狀態。

此狀態下，使旋轉機構運作，而使載置台10旋轉直至成為載置台10之前端10a朝著裝載埠門之方向(基板搬出入時之方向)D2的狀態(參照圖5(C))。藉此，氣缸23a之連桿23b的方向變為相反，成為朝著裝載埠門側的狀態。亦即，藉由旋轉步驟，使載置台10之方向反轉180°。

此時，導銷44沿著旋轉導引部42移動而到達位置P3(參照圖1)的位置。因設有旋轉導引部42，故對於載置台10一方面能防止其進退移動一方面能使其以穩定的狀態旋轉。

若於旋轉位置以外的位置旋轉，則可能會產生載置台10或載置台上之FOUP5撞擊周邊構件等不良狀況，而本實施形態之裝置中，因設有上述導引部41~43，故可確實地防止如此之不良狀況。

接著，執行第2移動步驟。第2移動步驟係於維持夾持步驟中之夾持且維持使載置台10之前端10a朝著裝載埠門之方向D2的狀態的狀態下，使載置有FOUP5之載置台10自旋轉位置移動至基板搬出入位置(參 照圖5(D))的步驟。

第2移動步驟中，使滑動機構20之氣缸23a運作，而使連桿23b突出移動。藉此，載置台10於水平方向進行後退移動DB(向裝載埠門側移動)，而成為位於基板搬出入位置的狀態(參照圖5(B))。

此時，載置台10之導銷44係沿著第2線性運動導引部43移動。因設有該第2線性運動導引部43，因此對於載置台10一方面能防止其旋轉一方面能使其進行後退移動DB。

藉此，若使FOUP5移動至基板搬出入位置，則成為能執行基板搬出入步驟的狀態。另外，基板搬出入步驟為周知的動作，故此處省略其詳細說明。

第2移動步驟結束後，根據需要，亦可執行吸排氣步驟。吸排氣步驟係向FOUP5內填充淨化用氣體、或將FOUP5內之氣體排出的步驟。

吸排氣步驟中，首先，使噴嘴單元之升降機構運作，而使噴嘴支承體上升至供氣位置。藉此，吸氣噴嘴及排氣噴嘴連接於FOUP5之底部的對應的埠(未圖示)。之後，經由吸氣噴嘴而向FOUP5內填充淨化用氣體，並且經由排氣噴嘴而排出FOUP5內之氣體。

又，若基板搬出入步驟結束，則使基板搬出入位置之FOUP5移動至FOUP搬出入位置，且自搬出入裝置1搬出。然而，將已完成基板搬出入步驟之FOUP5自搬出入裝置1搬出之前的動作係以相反的順序進行上述步驟的動作，因此，此處省略其詳細說明。

如上所述，本實施形態之搬出入裝置1中，已移載至載置台10上之FOUP5在移動至基板搬出入位置、且自載置台10搬出之前，一直 處於夾持於載置台10上的狀態，因此能使FOUP5以穩定的狀態移動。

又，載置台10於進退移動時不會上下活動，因此，能迅速地將載置於載置台10上之FOUP5以穩定的狀態搬送。

另外，本發明之基板收納用容器之搬出入裝置及基板收納用容器之搬出入方法並不限於上述實施形態，本發明包含在不脫離本發明之主旨的範圍內改變後的各種態樣的裝置及方法。

1a‧‧‧搬出入裝置本體

10‧‧‧載置台

10a‧‧‧載置台之前端

11a、11b‧‧‧定位銷

12‧‧‧夾持構件

12a‧‧‧爪部

13‧‧‧探測銷

20‧‧‧滑動機構

21‧‧‧滑動機構本體

21a‧‧‧導軌

22‧‧‧滑塊

23‧‧‧致動器

23a‧‧‧氣缸

23b‧‧‧連桿

23c‧‧‧盤簧

23d‧‧‧連結構件

30‧‧‧旋轉機構

31‧‧‧旋轉基部

32‧‧‧旋轉體

42‧‧‧旋轉導引部

43‧‧‧第2線性運動導引部

44‧‧‧導銷(從動件)

50‧‧‧噴嘴單元

51‧‧‧供氣噴嘴(供排氣噴嘴之一)

51a‧‧‧噴嘴埠

52‧‧‧排氣噴嘴(供排氣噴嘴之一)

52a‧‧‧噴嘴埠

53‧‧‧噴嘴支承體

54‧‧‧升降機構

55‧‧‧噴嘴支承體

Claims (9)

1. 一種基板收納用容器之搬出入裝置，其特徵在於，具備：載置台，其載置基板收納用容器；滑動機構，其具有滑塊，該滑塊係將載置台可進退移動地支承於該載置台上載置有該容器的容器搬出入位置、及於該載置台上之該容器與對基板進行搬出入之裝置之間進行基板搬出入的基板搬出入位置；及旋轉機構，其具有可旋轉地支承該滑動機構的旋轉體；該載置台可於該容器搬出入位置與該基板搬出入位置之間的旋轉位置旋轉。
2. 如申請專利範圍第1項之基板收納用容器之搬出入裝置，其中，該旋轉機構係藉由在該旋轉位置之旋轉而使該滑動機構的進退移動的方向反轉；該滑塊可移動至使該載置台位於該旋轉位置的旋轉時位置，且藉由自該旋轉時位置向進退移動方向移動，而移動至使該載置台位於該容器搬出入位置的容器搬入時位置、及使該載置台位於該基板搬出入位置的基板搬入時位置。
3. 如申請專利範圍第1或2項之基板收納用容器之搬出入裝置，其中，該旋轉機構具備固定於裝置基礎部的旋轉基部、及可旋轉地支承於該旋轉基部的該旋轉體；於固定有該旋轉基部之該裝置基礎部，進一步設置有以使該載置台可於該旋轉位置旋轉之方式進行導引的導引部。
4. 如申請專利範圍第3項之基板收納用容器之搬出入裝置，其中， 該導引部係固定於該裝置基礎部，且具備：線性運動導引部，其對該容器搬出入位置與該旋轉位置之間以及旋轉位置與該基板搬出入位置之間的該載置台之進退移動進行導引；及旋轉導引部，其對該旋轉位置的該載置台之旋轉進行導引；被該導引部導引之被導引部係設置於該載置台的導銷。
5. 如申請專利範圍第1項之基板收納用容器之搬出入裝置，其中，該載置台具備自該載置台之上表面突出於上方並且將所載置之容器以定位狀態進行支承的定位銷；該定位銷係將載置於該定位銷上之該容器支承於與基板搬出入時之容器的高度位置相同的高度位置；該定位銷之自該載置台上表面的長度，係於該定位銷上所載置之該容器之底面與該載置台之上表面之間可形成作業空間的長度；該作業空間係可供具備載置移載對象之容器之叉架部的移載機器的該叉架部插入的空間；該滑動機構係使載置於該載置台之該定位銷上的該容器水平移動。
6. 如申請專利範圍第1項之基板收納用容器之搬出入裝置，其進一步具備噴嘴單元，其具備用於對載置於該載置台之容器內利用淨化用氣體進行置換的供排氣噴嘴；該噴嘴單元具備升降機構，該升降機構可升降至使載置於該基板搬出入位置之載置台的該容器之底面所形成的噴嘴埠與該供氣噴嘴連通的通氣位置、及使該供排氣噴嘴離開該噴嘴埠的下降位置，該噴嘴單元設置於該裝置基礎部。
7. 一種基板收納用容器之基板搬出入方法，其特徵在於具有如下步驟：夾持步驟，其係將已搬入至載置台之基板收納用容器固定於該載置台；第1移動步驟，其係於維持該夾持步驟中之夾持的狀態下，使該載置台自容器搬出入的位置移動，且停止於旋轉位置；旋轉步驟，其係於維持該夾持步驟中之夾持的狀態下，使該載置台於該旋轉位置旋轉，而使該載置台朝著基板搬出入時方向，該基板搬出入時方向係指成為所載置之該容器之基板搬出入部朝著基板搬出入時之方向的狀態；及第2移動步驟，其係於維持該夾持步驟中之夾持且使該載置台朝著該基板搬出入時方向的狀態下，使該載置台進而自旋轉位置移動至對基板進行搬出入的位置。
8. 如申請專利範圍第7項之基板收納用容器之搬出入方法，其中，該夾持步驟係於該載置台的高度位置以及載置於該載置台之該容器的高度位置為一定的狀態下進行的步驟；該第1移動步驟係使該載置台自該搬出入之位置水平移動至該旋轉位置的步驟；該第2移動步驟係使該載置台自該旋轉位置水平移動至進行該搬出入的位置的步驟。
9. 如申請專利範圍第7或8項之基板收納用容器之搬出入方法，其進一步具備搬入步驟，其係使用具有載置移載對象之容器的叉架部的搬送機器，將該容器移載至以向上方突出的狀態設置於該載置台的定位銷之上；該搬入步驟包含如下動作：移載動作，其係使該叉架部移動而將移載 對象之該容器移載至該定位銷上；叉架部下降動作，其係使該移載動作後之叉架部，下降至形成於已移載至該定位銷上的容器之底面與該載置台之上表面之間的作業空間；及退避動作，其係將該叉架部自該作業空間抽出。