JP2003109997A - 基板処理装置 - Google Patents
基板処理装置Info
- Publication number
- JP2003109997A JP2003109997A JP2001301081A JP2001301081A JP2003109997A JP 2003109997 A JP2003109997 A JP 2003109997A JP 2001301081 A JP2001301081 A JP 2001301081A JP 2001301081 A JP2001301081 A JP 2001301081A JP 2003109997 A JP2003109997 A JP 2003109997A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- storage container
- substrate storage
- substrate
- container
- base plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】外部との間で基板を収納する基板収納容器を授
受する授受部と、該授受部に基板収納容器が載置された
際に該基板収納容器に設けられた識別穴に挿入可能なピ
ンを有する基板処理装置に於いて、基板収納容器識別用
ピンを設けることによって生ずる制約を解消し、簡潔な
構造とすると共に調整作業の簡略化を図る。 【解決手段】外部との間で基板を収納する基板収納容器
３を授受する授受部２４を有し、授受部２４に基板収納
容器３が載置された際に基板収納容器３に設けられた識
別穴に挿入可能なピン１６ａ、１６ｂを上下動可能に設
けた。
受する授受部と、該授受部に基板収納容器が載置された
際に該基板収納容器に設けられた識別穴に挿入可能なピ
ンを有する基板処理装置に於いて、基板収納容器識別用
ピンを設けることによって生ずる制約を解消し、簡潔な
構造とすると共に調整作業の簡略化を図る。 【解決手段】外部との間で基板を収納する基板収納容器
３を授受する授受部２４を有し、授受部２４に基板収納
容器３が載置された際に基板収納容器３に設けられた識
別穴に挿入可能なピン１６ａ、１６ｂを上下動可能に設
けた。
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、シリコンウェーハ
等の基板にＣＶＤ、ドライエッチング、スパッタリング
等の処理を行い半導体装置を製造する基板処理装置に関
するものである。 【０００２】 【従来の技術】先ず、図７により基板処理装置の概略に
ついて説明する。 【０００３】基板処理装置を構成する主要な装置は筐体
１内に収納される。 【０００４】該筐体１の前面には基板収納容器の授受部
であるＩ／Ｏポート２が外部に露出して設けられ、該Ｉ
／Ｏポート２には外部搬送装置（図示せず）により搬送
された搬送用の基板収納容器３が載置される。図示で
は、該基板収納容器３は防塵用の密閉式の基板収納容器
であるＦＯＵＰが用いられ、該ＦＯＵＰには２５枚のウ
ェーハが収納可能である。前記Ｉ／Ｏポート２は前記基
板収納容器３を２個受載可能であると共に水平移動機構
を具備しており、該基板収納容器３を前記筐体１内に取
込み可能となっている。 【０００５】前記筐体１の内部には前面側から搬送ロボ
ット４、該搬送ロボット４を挾んで前記基板収納容器３
の蓋を開閉する開閉装置５が設けられている。 【０００６】該開閉装置５の上方には複数の基板収納容
器３を収納可能な棚６を複数有し、該棚６を回転可能な
容器収納装置７が配設されている。前記開閉装置５に対
向して基板移載装置８が設けられ、該基板移載装置８の
後方にはボートエレベータ９が設けられ、該ボートエレ
ベータ９には被処理基板を水平姿勢で多段に保持するボ
ート１１が載置される。該ボート１１の上方には反応炉
１２が設けられ、前記ボートエレベータ９の昇降により
前記ボート１１が前記反応炉１２に装入、引出しされ
る。 【０００７】基板処理について、略述する。 【０００８】図示しない外部搬送装置により、前記Ｉ／
Ｏポート２に前記基板収納容器３が載置され、前記Ｉ／
Ｏポート２が前記基板収納容器３を前記筐体１内に取込
む。前記搬送ロボット４が、前記容器収納装置７又は前
記開閉装置５等所定位置に前記基板収納容器３を搬送す
る。 【０００９】前記基板移載装置８は前記開閉装置５の基
板収納容器３から基板を前記ボート１１に移載する。所
定枚数移載されると、該ボート１１が前記反応炉１２内
に装入され、所要の処理がなされる。 【００１０】処理が完了すると、前記ボート１１が降下
され、前記基板移載装置８により処理済の基板が前記ボ
ート１１から前記開閉装置５上の基板収納容器３に払戻
される。処理済の基板を収納した基板収納容器３は前記
搬送ロボット４により前記Ｉ／Ｏポート２に搬送され、
外部搬送装置により基板処理装置から搬出される。 【００１１】上記した基板処理装置に於いて、前記基板
収納容器３は基板処理の内容に応じて区別でき、対象外
の基板が処理されることが防止される様になっている。 【００１２】図８は前記基板収納容器３の底面を示して
いる。 【００１３】該基板収納容器３の底面には４箇所に識別
用の穴１５ａ，１５ｂ，１５ｃ，１５ｄが図形中心Ｏよ
り偏心した位置に形成されている。該穴１５ａ，１５
ｂ，１５ｃ，１５ｄを所要箇所残してパッド１７（後
述）により閉塞し、閉塞していない穴の位置で基板収納
容器３の区別化をしている。又、後述する様に、前記Ｉ
／Ｏポート２には閉塞していない穴にロックアウトピン
１６が立設されている。 【００１４】図９、図１０に示される様に、前記Ｉ／Ｏ
ポート２の前記基板収納容器３の載置面には、前記穴１
５ａ，１５ｂ，１５ｃ，１５ｄの閉塞されていない穴に
対応する位置にロックアウトピン１６が立設されてい
る。 【００１５】又、前記Ｉ／Ｏポート２の載置面には前記
基板収納容器３の有無、傾斜を検出する接触式、或は光
反射式等の非接触式の収納容器検出センサ（図示せず）
が複数箇所に設けられている。 【００１６】図示しない外部搬送装置により前記基板収
納容器３が前記Ｉ／Ｏポート２に載置される。前記ロッ
クアウトピン１６と閉塞されていない穴１５との位置が
合致している場合には、図９（Ａ）、図９（Ｂ）に示さ
れる様に、前記ロックアウトピン１６が前記穴１５に挿
入され、前記基板収納容器３が正しい姿勢で載置され
る。即ち、処理対象となる基板が装填された基板収納容
器３が搬送されたと識別できる。 【００１７】次に、前記ロックアウトピン１６に対応す
る穴が前記パッド１７により閉塞された基板収納容器３
が搬送され、前記Ｉ／Ｏポート２に載置された場合は、
図１０（Ａ）、図１０（Ｂ）に示される様に、前記ロッ
クアウトピン１６と前記パッド１７が干渉して、前記ロ
ックアウトピン１６の高さだけ、前記Ｉ／Ｏポート２が
浮上がり、前記基板収納容器３が傾斜する。該基板収納
容器３の傾斜は前記収納容器検出センサにより検出さ
れ、前記基板収納容器３が処理対象のものでないことが
識別される。対象外の基板収納容器３を検出すると該基
板収納容器３の搬送等搬送関係の機構は全て停止され
る。又、正しい基板収納容器３が載置されることで搬送
が開始される。 【００１８】従って、前記ロックアウトピン１６と穴１
５ａ，１５ｂ，１５ｃ，１５ｄの閉塞位置を組合わせる
ことで、前記基板収納容器３の識別が可能となる。 【００１９】図１１〜図１５により従来の基板処理装置
に於けるＩ／Ｏポート２を説明する。 【００２０】Ｉ／Ｏポートフレーム２０の上に左右方向
に横行可能に横行スライド台板２１が設けられ、該横行
スライド台板２１に前後方向に進退可能に進退スライド
台板２２が設けられている。該進退スライド台板２２に
支柱２３を介して容器載置台板２４を設ける。該容器載
置台板２４は後述する上受載板２５と干渉しない様に、
後側から段階的に幅が狭くなる様周辺部を残し逆階段状
の切欠部２９が形成されている。 【００２１】前記容器載置台板２４の上面には座２６
ａ，２６ｂ，２６ｃが３箇所に固着され、該座２６には
前記基板収納容器３が載置される。前記座２６が設けら
れている位置に該座２６の上面より突出する位置決めピ
ン２７が設けられている。 【００２２】又、前記基板収納容器３の穴１５ａ，１５
ｂ，１５ｃ，１５ｄと対応する位置に、前記ロックアウ
トピン１６が配設される。前記穴１５ｄに対応するロッ
クアウトピン１６ｄは前記容器載置台板２４に直接立設
され、前記穴１５ｃに対応するロックアウトピン１６ｃ
は前記座２６ｂに立設され、更に前記穴１５ａ，１５ｂ
に対応するロックアウトピン１６ａ，１６ｂは前記容器
載置台板２４の切欠部分に位置するので、該切欠部分に
張出したＬ字状のピン支持部材２８に立設されている。 【００２３】前記上受載板２５は、前記容器載置台板２
４及び前記ピン支持部材２８と干渉しない様前記切欠部
２９に間隙を残し嵌まる様な凸類似形となっている。前
記上受載板２５は、図１４、図１５に見られる様に搬送
ロボット４のロボットハンド３１の先端に受載板３２と
共に設け、該受載板３２が前記ロボットハンド３１の先
端に回転可能に設けられ、前記受載板３２にカラー３３
を介して設けられている。前記受載板３２は前記容器載
置台板２４と干渉しない様な形状となっている。尚、前
記ロボットハンド３１のストローク等の制約等、構造上
前記ロボットハンド３１の先端部は前記基板収納容器３
の授受位置で、前記ロックアウトピン１６ａ，１６ｂの
下方、即ち前記ピン支持部材２８の直下に位置する。 【００２４】従って、前記ロボットハンド３１、受載板
３２と前記ピン支持部材２８との干渉を避ける為、前記
基板収納容器３の授受部は前記上受載板２５と前記受載
板３２の２段構造となっている。 【００２５】前記上受載板２５には３箇所に位置決めピ
ン３４が突設され、前記上受載板２５上に前記基板収納
容器３が載置され、前記位置決めピン３４によって、前
記上受載板２５に対する基板収納容器３が位置決めされ
る。 【００２６】尚、図１２、図１３では全てのロックアウ
トピン１６を示しているが、実際には識別する基板収納
容器３の穴１５ａ，１５ｂ，１５ｃ，１５ｄのいずれか
に対応した位置に立設される。 【００２７】外部搬送装置（図示せず）により前記容器
載置台板２４に前記基板収納容器３が載置されると、前
記横行スライド台板２１、進退スライド台板２２の水平
２方向の移動により、前記基板収納容器３が前記ロボッ
トハンド３１との授受位置に移動され、前記基板収納容
器３が前記上受載板２５に移載される。 【００２８】上記した様に、前記基板収納容器３が前記
容器載置台板２４に載置された時点で、前記ロックアウ
トピン１６と穴１５との嵌合、干渉により対象でない基
板収納容器３は傾斜し、傾斜が検知された時点で前記ロ
ボットハンド３１の搬送動作が停止される。 【００２９】 【発明が解決しようとする課題】上記した様に、前記Ｉ
／Ｏポート２では対象の基板収納容器３であるかどうか
を判別する為のロックアウトピン１６を設ける必要があ
る。この為、前記容器載置台板２４は前記ロックアウト
ピン１６を設けると共に前記上受載板２５との干渉を避
ける為複雑な形状となっており、又前記切欠部２９に張
出すピン支持部材２８を介してロックアウトピン１６を
設けなければならない。又、前記ロボットハンド３１側
についても、前記容器載置台板２４、前記ピン支持部材
２８を避ける為、前記上受載板２５が複雑な形状とな
り、又上受載板２５と受載板３２との２段構造となって
いる。 【００３０】次に、前記ロボットハンド３１は前記容器
載置台板２４、ピン支持部材２８との干渉を避けるとい
う制約から、水平方向の規制のみでなく、上下方向の規
制も受ける複雑な動きとなっており、制御系が複雑なも
のとなっていた。更に、前記ロボットハンド３１に所定
の動作をさせる為には、先ずオペレータが手動により該
ロボットハンド３１の動きを制御系に記憶させるティー
チング作業が必要であるが、上記した種々の制約がある
為、作業は繁雑で而も細かな注意を必要とし、作業者に
は負担の大きい作業となっていた。 【００３１】本発明は斯かる実情に鑑み、基板収納容器
識別用ピンを設けることによって生ずる制約を解消し、
簡潔な構造とすると共に調整作業の簡略化を図るもので
ある。 【００３２】 【課題を解決するための手段】本発明は、外部との間で
基板を収納する基板収納容器を授受する授受部を有し、
該授受部に基板収納容器が載置された際に該基板収納容
器に設けられた識別穴に挿入可能なピンを上下動可能に
設けた基板処理装置に係るものである。 【００３３】 【発明の実施の形態】以下、図面を参照しつつ本発明の
実施の形態を説明する。 【００３４】図１〜図６は本実施の形態に係る基板処理
装置のＩ／Ｏポート２を示しており、図１〜図６中、図
１１〜図１５中で示したものと同等のものには同符号を
付し、その説明の詳細を省略する。 【００３５】Ｉ／Ｏポートフレーム２０の上に左右方向
に横行可能に横行スライド台板２１が設けられ、該横行
スライド台板２１に前後方向に進退可能に進退スライド
台板２２が設けられている。該進退スライド台板２２に
支柱２３を介して容器載置台板２４が設けられる。該容
器載置台板２４は後述する受載板３２と干渉しない様に
切欠部２９が形成されている。 【００３６】前記容器載置台板２４の上面には座２６
ａ，２６ｂ，２６ｃが３箇所に固着され、該座２６には
基板収納容器３が載置される。該座２６が設けられてい
る位置に該座２６の上面より突出する位置決めピン２７
が設けられている。 【００３７】前記容器載置台板２４の両側には前記座２
６の上面と同レベルの上面を有する台板３５が設けら
れ、前記基板収納容器３は前記座２６と台板３５に掛渡
されて載置される。 【００３８】又、前記容器載置台板２４の基板収納容器
３の穴１５ａ，１５ｂ，１５ｃ，１５ｄ（図８参照）の
内、穴１５ｃ，１５ｄと対応する位置に、ロックアウト
ピン１６ｃ，１６ｄが立設される。前記基板収納容器３
の穴１５ａ，１５ｂは前記基板収納容器３が容器載置台
板２４に載置された状態では、その平面位置は前記切欠
部２９内にある。 【００３９】前記横行スライド台板２１に鉛直方向の軸
心を有する空気圧によって作動するロックアウトシリン
ダ３６を垂設する。該ロックアウトシリンダ３６のロッ
ド３７の上端にピン支持部材３８を固着する。該ピン支
持部材３８は水平方向に長い棒材であり、その上面より
ロックアウトピン１６ａ，１６ｂを突設する。該ロック
アウトピン１６ａ，１６ｂの平面位置は前記容器載置台
板２４に載置された状態の基板収納容器３の穴１５ａ，
１５ｂと合致する。又、前記ロックアウトシリンダ３６
が降下した状態では、前記ロックアウトピン１６ａ，１
６ｂの上端は前記進退スライド台板２２の更に下方に位
置し、前記ロッド３７が突出した状態では、前記ロック
アウトピン１６ａ，１６ｂの上端は前記ロックアウトピ
ン１６ｃ，１６ｄの上端と同じ高さとなる。 【００４０】前記受載板３２は、前記容器載置台板２４
と干渉しない様、逆階段状の前記切欠部２９に間隙を残
し嵌まる様な該切欠部２９に略類似した形状となってお
り、前記受載板３２の前端部（最細幅部）にロボットハ
ンド３１の先端が回転可能に連結されている。前記受載
板３２には位置決めピン３４が突設されている。前記基
板収納容器３は前記位置決めピン３４で位置決めされ、
前記受載板３２に載置される。 【００４１】外部搬送装置（図示せず）により前記容器
載置台板２４に前記基板収納容器３が載置される。外部
搬送装置が前記容器載置台板２４に前記基板収納容器３
を載置する過程では、前記ロボットハンド３１は後退し
ている。 【００４２】前記ロックアウトシリンダ３６が動作し、
前記ロッド３７が突出し、前記ロックアウトピン１６
ａ，１６ｂが前記ロックアウトピン１６ｃ，１６ｄと同
位置となる。 【００４３】前記基板収納容器３が適正で対象のもので
ある場合は、前記穴１５ａ，１５ｂにロックアウトピン
１６ａ，１６ｂが挿入し、前記基板収納容器３の姿勢に
特に変化は生じない。一方該基板収納容器３が対象外の
ものである場合には、前記穴１５ａ，１５ｂがパッドで
閉塞されており、前記ロックアウトピン１６ａ，１６ｂ
が上昇することで、前記基板収納容器３が傾く。該基板
収納容器３の傾きは収納容器検出センサ（図示せず）に
より検知され、搬送動作は直ちに停止される。正しい基
板収納容器３が置直されると搬送動作が開始される。
尚、前記ロックアウトシリンダ３６は前記基板収納容器
３が前記Ｉ／Ｏポート２に搬送される前に予めロックア
ウトピン１６を突出させておいてもよい。 【００４４】前記基板収納容器３の識別が完了すると、
前記ロックアウトシリンダ３６が動作して前記ロッド３
７が降下し、前記ピン支持部材３８は図４で示す前記進
退スライド台板２２の下方に退避する。前記横行スライ
ド台板２１、進退スライド台板２２の水平２方向の移動
により、前記基板収納容器３が前記ロボットハンド３１
との授受位置に移動され、前記基板収納容器３が前記受
載板３２に移載される。 【００４５】前記ロボットハンド３１が搬送動作を開始
し、前記受載板３２が前記切欠部２９に侵入する。前記
受載板３２の基板収納容器３授受位置は図３で示すとお
りである。 【００４６】前記受載板３２の基板収納容器３授受位置
では、前記ロボットハンド３１と前記ピン支持部材３
８、ロックアウトピン１６ａ，１６ｂは平面位置では干
渉している。然し乍ら、前記ロボットハンド３１は前記
進退スライド台板２２の上方に位置しており、前記ピン
支持部材３８、ロックアウトピン１６ａ，１６ｂは前記
基板収納容器３の授受動作には何等影響ない。 【００４７】前記受載板３２は前記ピン支持部材３８、
ロックアウトピン１６ａ，１６ｂとの干渉を避ける必要
がないので、従来例の様に２段構造とする必要がなく、
前記ロボットハンド３１に取付けた受載板３２で前記基
板収納容器３を直接授受できる。 【００４８】尚、上記実施の形態ではロックアウトシリ
ンダ３６としてエアシリンダを用いているが、他の流体
を作動流体とする流体圧シリンダとしてもよく、或は駆
動源として、電気シリンダ、ソレノイド、モータ等種々
選択可能であることは言う迄もない。 【００４９】 【発明の効果】以上述べた如く本発明によれば、外部と
の間で基板を収納する基板収納容器を授受する授受部を
有し、該授受部に基板収納容器が載置された際に該基板
収納容器に設けられた識別穴に挿入可能なピンを上下動
可能に設けたので、ピンの挿入状態で基板収納容器の識
別が可能となると共に基板収納容器を搬送する為の基板
収納容器の授受動作中はピンを降下させるので、搬送装
置とピンとの干渉が避けられ、搬送装置に対する制約が
緩和され、装置が簡略されると共に搬送装置の制御系も
簡略化されるという優れた効果を発揮する。
等の基板にＣＶＤ、ドライエッチング、スパッタリング
等の処理を行い半導体装置を製造する基板処理装置に関
するものである。 【０００２】 【従来の技術】先ず、図７により基板処理装置の概略に
ついて説明する。 【０００３】基板処理装置を構成する主要な装置は筐体
１内に収納される。 【０００４】該筐体１の前面には基板収納容器の授受部
であるＩ／Ｏポート２が外部に露出して設けられ、該Ｉ
／Ｏポート２には外部搬送装置（図示せず）により搬送
された搬送用の基板収納容器３が載置される。図示で
は、該基板収納容器３は防塵用の密閉式の基板収納容器
であるＦＯＵＰが用いられ、該ＦＯＵＰには２５枚のウ
ェーハが収納可能である。前記Ｉ／Ｏポート２は前記基
板収納容器３を２個受載可能であると共に水平移動機構
を具備しており、該基板収納容器３を前記筐体１内に取
込み可能となっている。 【０００５】前記筐体１の内部には前面側から搬送ロボ
ット４、該搬送ロボット４を挾んで前記基板収納容器３
の蓋を開閉する開閉装置５が設けられている。 【０００６】該開閉装置５の上方には複数の基板収納容
器３を収納可能な棚６を複数有し、該棚６を回転可能な
容器収納装置７が配設されている。前記開閉装置５に対
向して基板移載装置８が設けられ、該基板移載装置８の
後方にはボートエレベータ９が設けられ、該ボートエレ
ベータ９には被処理基板を水平姿勢で多段に保持するボ
ート１１が載置される。該ボート１１の上方には反応炉
１２が設けられ、前記ボートエレベータ９の昇降により
前記ボート１１が前記反応炉１２に装入、引出しされ
る。 【０００７】基板処理について、略述する。 【０００８】図示しない外部搬送装置により、前記Ｉ／
Ｏポート２に前記基板収納容器３が載置され、前記Ｉ／
Ｏポート２が前記基板収納容器３を前記筐体１内に取込
む。前記搬送ロボット４が、前記容器収納装置７又は前
記開閉装置５等所定位置に前記基板収納容器３を搬送す
る。 【０００９】前記基板移載装置８は前記開閉装置５の基
板収納容器３から基板を前記ボート１１に移載する。所
定枚数移載されると、該ボート１１が前記反応炉１２内
に装入され、所要の処理がなされる。 【００１０】処理が完了すると、前記ボート１１が降下
され、前記基板移載装置８により処理済の基板が前記ボ
ート１１から前記開閉装置５上の基板収納容器３に払戻
される。処理済の基板を収納した基板収納容器３は前記
搬送ロボット４により前記Ｉ／Ｏポート２に搬送され、
外部搬送装置により基板処理装置から搬出される。 【００１１】上記した基板処理装置に於いて、前記基板
収納容器３は基板処理の内容に応じて区別でき、対象外
の基板が処理されることが防止される様になっている。 【００１２】図８は前記基板収納容器３の底面を示して
いる。 【００１３】該基板収納容器３の底面には４箇所に識別
用の穴１５ａ，１５ｂ，１５ｃ，１５ｄが図形中心Ｏよ
り偏心した位置に形成されている。該穴１５ａ，１５
ｂ，１５ｃ，１５ｄを所要箇所残してパッド１７（後
述）により閉塞し、閉塞していない穴の位置で基板収納
容器３の区別化をしている。又、後述する様に、前記Ｉ
／Ｏポート２には閉塞していない穴にロックアウトピン
１６が立設されている。 【００１４】図９、図１０に示される様に、前記Ｉ／Ｏ
ポート２の前記基板収納容器３の載置面には、前記穴１
５ａ，１５ｂ，１５ｃ，１５ｄの閉塞されていない穴に
対応する位置にロックアウトピン１６が立設されてい
る。 【００１５】又、前記Ｉ／Ｏポート２の載置面には前記
基板収納容器３の有無、傾斜を検出する接触式、或は光
反射式等の非接触式の収納容器検出センサ（図示せず）
が複数箇所に設けられている。 【００１６】図示しない外部搬送装置により前記基板収
納容器３が前記Ｉ／Ｏポート２に載置される。前記ロッ
クアウトピン１６と閉塞されていない穴１５との位置が
合致している場合には、図９（Ａ）、図９（Ｂ）に示さ
れる様に、前記ロックアウトピン１６が前記穴１５に挿
入され、前記基板収納容器３が正しい姿勢で載置され
る。即ち、処理対象となる基板が装填された基板収納容
器３が搬送されたと識別できる。 【００１７】次に、前記ロックアウトピン１６に対応す
る穴が前記パッド１７により閉塞された基板収納容器３
が搬送され、前記Ｉ／Ｏポート２に載置された場合は、
図１０（Ａ）、図１０（Ｂ）に示される様に、前記ロッ
クアウトピン１６と前記パッド１７が干渉して、前記ロ
ックアウトピン１６の高さだけ、前記Ｉ／Ｏポート２が
浮上がり、前記基板収納容器３が傾斜する。該基板収納
容器３の傾斜は前記収納容器検出センサにより検出さ
れ、前記基板収納容器３が処理対象のものでないことが
識別される。対象外の基板収納容器３を検出すると該基
板収納容器３の搬送等搬送関係の機構は全て停止され
る。又、正しい基板収納容器３が載置されることで搬送
が開始される。 【００１８】従って、前記ロックアウトピン１６と穴１
５ａ，１５ｂ，１５ｃ，１５ｄの閉塞位置を組合わせる
ことで、前記基板収納容器３の識別が可能となる。 【００１９】図１１〜図１５により従来の基板処理装置
に於けるＩ／Ｏポート２を説明する。 【００２０】Ｉ／Ｏポートフレーム２０の上に左右方向
に横行可能に横行スライド台板２１が設けられ、該横行
スライド台板２１に前後方向に進退可能に進退スライド
台板２２が設けられている。該進退スライド台板２２に
支柱２３を介して容器載置台板２４を設ける。該容器載
置台板２４は後述する上受載板２５と干渉しない様に、
後側から段階的に幅が狭くなる様周辺部を残し逆階段状
の切欠部２９が形成されている。 【００２１】前記容器載置台板２４の上面には座２６
ａ，２６ｂ，２６ｃが３箇所に固着され、該座２６には
前記基板収納容器３が載置される。前記座２６が設けら
れている位置に該座２６の上面より突出する位置決めピ
ン２７が設けられている。 【００２２】又、前記基板収納容器３の穴１５ａ，１５
ｂ，１５ｃ，１５ｄと対応する位置に、前記ロックアウ
トピン１６が配設される。前記穴１５ｄに対応するロッ
クアウトピン１６ｄは前記容器載置台板２４に直接立設
され、前記穴１５ｃに対応するロックアウトピン１６ｃ
は前記座２６ｂに立設され、更に前記穴１５ａ，１５ｂ
に対応するロックアウトピン１６ａ，１６ｂは前記容器
載置台板２４の切欠部分に位置するので、該切欠部分に
張出したＬ字状のピン支持部材２８に立設されている。 【００２３】前記上受載板２５は、前記容器載置台板２
４及び前記ピン支持部材２８と干渉しない様前記切欠部
２９に間隙を残し嵌まる様な凸類似形となっている。前
記上受載板２５は、図１４、図１５に見られる様に搬送
ロボット４のロボットハンド３１の先端に受載板３２と
共に設け、該受載板３２が前記ロボットハンド３１の先
端に回転可能に設けられ、前記受載板３２にカラー３３
を介して設けられている。前記受載板３２は前記容器載
置台板２４と干渉しない様な形状となっている。尚、前
記ロボットハンド３１のストローク等の制約等、構造上
前記ロボットハンド３１の先端部は前記基板収納容器３
の授受位置で、前記ロックアウトピン１６ａ，１６ｂの
下方、即ち前記ピン支持部材２８の直下に位置する。 【００２４】従って、前記ロボットハンド３１、受載板
３２と前記ピン支持部材２８との干渉を避ける為、前記
基板収納容器３の授受部は前記上受載板２５と前記受載
板３２の２段構造となっている。 【００２５】前記上受載板２５には３箇所に位置決めピ
ン３４が突設され、前記上受載板２５上に前記基板収納
容器３が載置され、前記位置決めピン３４によって、前
記上受載板２５に対する基板収納容器３が位置決めされ
る。 【００２６】尚、図１２、図１３では全てのロックアウ
トピン１６を示しているが、実際には識別する基板収納
容器３の穴１５ａ，１５ｂ，１５ｃ，１５ｄのいずれか
に対応した位置に立設される。 【００２７】外部搬送装置（図示せず）により前記容器
載置台板２４に前記基板収納容器３が載置されると、前
記横行スライド台板２１、進退スライド台板２２の水平
２方向の移動により、前記基板収納容器３が前記ロボッ
トハンド３１との授受位置に移動され、前記基板収納容
器３が前記上受載板２５に移載される。 【００２８】上記した様に、前記基板収納容器３が前記
容器載置台板２４に載置された時点で、前記ロックアウ
トピン１６と穴１５との嵌合、干渉により対象でない基
板収納容器３は傾斜し、傾斜が検知された時点で前記ロ
ボットハンド３１の搬送動作が停止される。 【００２９】 【発明が解決しようとする課題】上記した様に、前記Ｉ
／Ｏポート２では対象の基板収納容器３であるかどうか
を判別する為のロックアウトピン１６を設ける必要があ
る。この為、前記容器載置台板２４は前記ロックアウト
ピン１６を設けると共に前記上受載板２５との干渉を避
ける為複雑な形状となっており、又前記切欠部２９に張
出すピン支持部材２８を介してロックアウトピン１６を
設けなければならない。又、前記ロボットハンド３１側
についても、前記容器載置台板２４、前記ピン支持部材
２８を避ける為、前記上受載板２５が複雑な形状とな
り、又上受載板２５と受載板３２との２段構造となって
いる。 【００３０】次に、前記ロボットハンド３１は前記容器
載置台板２４、ピン支持部材２８との干渉を避けるとい
う制約から、水平方向の規制のみでなく、上下方向の規
制も受ける複雑な動きとなっており、制御系が複雑なも
のとなっていた。更に、前記ロボットハンド３１に所定
の動作をさせる為には、先ずオペレータが手動により該
ロボットハンド３１の動きを制御系に記憶させるティー
チング作業が必要であるが、上記した種々の制約がある
為、作業は繁雑で而も細かな注意を必要とし、作業者に
は負担の大きい作業となっていた。 【００３１】本発明は斯かる実情に鑑み、基板収納容器
識別用ピンを設けることによって生ずる制約を解消し、
簡潔な構造とすると共に調整作業の簡略化を図るもので
ある。 【００３２】 【課題を解決するための手段】本発明は、外部との間で
基板を収納する基板収納容器を授受する授受部を有し、
該授受部に基板収納容器が載置された際に該基板収納容
器に設けられた識別穴に挿入可能なピンを上下動可能に
設けた基板処理装置に係るものである。 【００３３】 【発明の実施の形態】以下、図面を参照しつつ本発明の
実施の形態を説明する。 【００３４】図１〜図６は本実施の形態に係る基板処理
装置のＩ／Ｏポート２を示しており、図１〜図６中、図
１１〜図１５中で示したものと同等のものには同符号を
付し、その説明の詳細を省略する。 【００３５】Ｉ／Ｏポートフレーム２０の上に左右方向
に横行可能に横行スライド台板２１が設けられ、該横行
スライド台板２１に前後方向に進退可能に進退スライド
台板２２が設けられている。該進退スライド台板２２に
支柱２３を介して容器載置台板２４が設けられる。該容
器載置台板２４は後述する受載板３２と干渉しない様に
切欠部２９が形成されている。 【００３６】前記容器載置台板２４の上面には座２６
ａ，２６ｂ，２６ｃが３箇所に固着され、該座２６には
基板収納容器３が載置される。該座２６が設けられてい
る位置に該座２６の上面より突出する位置決めピン２７
が設けられている。 【００３７】前記容器載置台板２４の両側には前記座２
６の上面と同レベルの上面を有する台板３５が設けら
れ、前記基板収納容器３は前記座２６と台板３５に掛渡
されて載置される。 【００３８】又、前記容器載置台板２４の基板収納容器
３の穴１５ａ，１５ｂ，１５ｃ，１５ｄ（図８参照）の
内、穴１５ｃ，１５ｄと対応する位置に、ロックアウト
ピン１６ｃ，１６ｄが立設される。前記基板収納容器３
の穴１５ａ，１５ｂは前記基板収納容器３が容器載置台
板２４に載置された状態では、その平面位置は前記切欠
部２９内にある。 【００３９】前記横行スライド台板２１に鉛直方向の軸
心を有する空気圧によって作動するロックアウトシリン
ダ３６を垂設する。該ロックアウトシリンダ３６のロッ
ド３７の上端にピン支持部材３８を固着する。該ピン支
持部材３８は水平方向に長い棒材であり、その上面より
ロックアウトピン１６ａ，１６ｂを突設する。該ロック
アウトピン１６ａ，１６ｂの平面位置は前記容器載置台
板２４に載置された状態の基板収納容器３の穴１５ａ，
１５ｂと合致する。又、前記ロックアウトシリンダ３６
が降下した状態では、前記ロックアウトピン１６ａ，１
６ｂの上端は前記進退スライド台板２２の更に下方に位
置し、前記ロッド３７が突出した状態では、前記ロック
アウトピン１６ａ，１６ｂの上端は前記ロックアウトピ
ン１６ｃ，１６ｄの上端と同じ高さとなる。 【００４０】前記受載板３２は、前記容器載置台板２４
と干渉しない様、逆階段状の前記切欠部２９に間隙を残
し嵌まる様な該切欠部２９に略類似した形状となってお
り、前記受載板３２の前端部（最細幅部）にロボットハ
ンド３１の先端が回転可能に連結されている。前記受載
板３２には位置決めピン３４が突設されている。前記基
板収納容器３は前記位置決めピン３４で位置決めされ、
前記受載板３２に載置される。 【００４１】外部搬送装置（図示せず）により前記容器
載置台板２４に前記基板収納容器３が載置される。外部
搬送装置が前記容器載置台板２４に前記基板収納容器３
を載置する過程では、前記ロボットハンド３１は後退し
ている。 【００４２】前記ロックアウトシリンダ３６が動作し、
前記ロッド３７が突出し、前記ロックアウトピン１６
ａ，１６ｂが前記ロックアウトピン１６ｃ，１６ｄと同
位置となる。 【００４３】前記基板収納容器３が適正で対象のもので
ある場合は、前記穴１５ａ，１５ｂにロックアウトピン
１６ａ，１６ｂが挿入し、前記基板収納容器３の姿勢に
特に変化は生じない。一方該基板収納容器３が対象外の
ものである場合には、前記穴１５ａ，１５ｂがパッドで
閉塞されており、前記ロックアウトピン１６ａ，１６ｂ
が上昇することで、前記基板収納容器３が傾く。該基板
収納容器３の傾きは収納容器検出センサ（図示せず）に
より検知され、搬送動作は直ちに停止される。正しい基
板収納容器３が置直されると搬送動作が開始される。
尚、前記ロックアウトシリンダ３６は前記基板収納容器
３が前記Ｉ／Ｏポート２に搬送される前に予めロックア
ウトピン１６を突出させておいてもよい。 【００４４】前記基板収納容器３の識別が完了すると、
前記ロックアウトシリンダ３６が動作して前記ロッド３
７が降下し、前記ピン支持部材３８は図４で示す前記進
退スライド台板２２の下方に退避する。前記横行スライ
ド台板２１、進退スライド台板２２の水平２方向の移動
により、前記基板収納容器３が前記ロボットハンド３１
との授受位置に移動され、前記基板収納容器３が前記受
載板３２に移載される。 【００４５】前記ロボットハンド３１が搬送動作を開始
し、前記受載板３２が前記切欠部２９に侵入する。前記
受載板３２の基板収納容器３授受位置は図３で示すとお
りである。 【００４６】前記受載板３２の基板収納容器３授受位置
では、前記ロボットハンド３１と前記ピン支持部材３
８、ロックアウトピン１６ａ，１６ｂは平面位置では干
渉している。然し乍ら、前記ロボットハンド３１は前記
進退スライド台板２２の上方に位置しており、前記ピン
支持部材３８、ロックアウトピン１６ａ，１６ｂは前記
基板収納容器３の授受動作には何等影響ない。 【００４７】前記受載板３２は前記ピン支持部材３８、
ロックアウトピン１６ａ，１６ｂとの干渉を避ける必要
がないので、従来例の様に２段構造とする必要がなく、
前記ロボットハンド３１に取付けた受載板３２で前記基
板収納容器３を直接授受できる。 【００４８】尚、上記実施の形態ではロックアウトシリ
ンダ３６としてエアシリンダを用いているが、他の流体
を作動流体とする流体圧シリンダとしてもよく、或は駆
動源として、電気シリンダ、ソレノイド、モータ等種々
選択可能であることは言う迄もない。 【００４９】 【発明の効果】以上述べた如く本発明によれば、外部と
の間で基板を収納する基板収納容器を授受する授受部を
有し、該授受部に基板収納容器が載置された際に該基板
収納容器に設けられた識別穴に挿入可能なピンを上下動
可能に設けたので、ピンの挿入状態で基板収納容器の識
別が可能となると共に基板収納容器を搬送する為の基板
収納容器の授受動作中はピンを降下させるので、搬送装
置とピンとの干渉が避けられ、搬送装置に対する制約が
緩和され、装置が簡略されると共に搬送装置の制御系も
簡略化されるという優れた効果を発揮する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態の要部を示す正面図であ
る。 【図２】同前実施の形態の要部を示す側面図である。 【図３】同前実施の形態の要部を示す平面図である。 【図４】図３のＡ矢視図である。 【図５】本発明の実施の形態に用いられるロボットハン
ドの部分平面図である。 【図６】本発明の実施の形態に用いられるロボットハン
ドの部分側面図である。 【図７】基板処理装置の概略全体図である。 【図８】基板収納容器の底面図である。 【図９】（Ａ）（Ｂ）は適正な基板収納容器が載置され
た状態の説明図である。 【図１０】（Ａ）（Ｂ）は不適正な基板収納容器が載置
された状態の説明図である。 【図１１】従来例の要部側面図である。 【図１２】従来例の要部平面図である。 【図１３】従来例の要部正面図である。 【図１４】従来例のロボットハンドの部分平面図であ
る。 【図１５】従来例のロボットハンドの部分側面図であ
る。 【符号の説明】 １ 筐体 ２ Ｉ／Ｏポート ３ 基板収納容器 ４ 搬送ロボット ５ 開閉装置 ６ 棚 ８ 基板移載装置 １１ ボート １２ 反応炉 １６ ロックアウトピン ２１ 横行スライド台板 ２２ 進退スライド台板 ２６ 座 ３１ ロボットハンド ３２ 受載板
る。 【図２】同前実施の形態の要部を示す側面図である。 【図３】同前実施の形態の要部を示す平面図である。 【図４】図３のＡ矢視図である。 【図５】本発明の実施の形態に用いられるロボットハン
ドの部分平面図である。 【図６】本発明の実施の形態に用いられるロボットハン
ドの部分側面図である。 【図７】基板処理装置の概略全体図である。 【図８】基板収納容器の底面図である。 【図９】（Ａ）（Ｂ）は適正な基板収納容器が載置され
た状態の説明図である。 【図１０】（Ａ）（Ｂ）は不適正な基板収納容器が載置
された状態の説明図である。 【図１１】従来例の要部側面図である。 【図１２】従来例の要部平面図である。 【図１３】従来例の要部正面図である。 【図１４】従来例のロボットハンドの部分平面図であ
る。 【図１５】従来例のロボットハンドの部分側面図であ
る。 【符号の説明】 １ 筐体 ２ Ｉ／Ｏポート ３ 基板収納容器 ４ 搬送ロボット ５ 開閉装置 ６ 棚 ８ 基板移載装置 １１ ボート １２ 反応炉 １６ ロックアウトピン ２１ 横行スライド台板 ２２ 進退スライド台板 ２６ 座 ３１ ロボットハンド ３２ 受載板
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項１】 外部との間で基板を収納する基板収納容
器を授受する授受部を有し、該授受部に基板収納容器が
載置された際に該基板収納容器に設けられた識別穴に挿
入可能なピンを上下動可能に設けたことを特徴とする基
板処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001301081A JP2003109997A (ja) | 2001-09-28 | 2001-09-28 | 基板処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001301081A JP2003109997A (ja) | 2001-09-28 | 2001-09-28 | 基板処理装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003109997A true JP2003109997A (ja) | 2003-04-11 |
Family
ID=19121550
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001301081A Pending JP2003109997A (ja) | 2001-09-28 | 2001-09-28 | 基板処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003109997A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013219159A (ja) * | 2012-04-07 | 2013-10-24 | Hirata Corp | 基板収納用の容器の搬入出装置及び搬入出方法 |
| CN107579029A (zh) * | 2016-07-05 | 2018-01-12 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 片盒定位装置、片盒装卸载系统及半导体加工设备 |
-
2001
- 2001-09-28 JP JP2001301081A patent/JP2003109997A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013219159A (ja) * | 2012-04-07 | 2013-10-24 | Hirata Corp | 基板収納用の容器の搬入出装置及び搬入出方法 |
| CN107579029A (zh) * | 2016-07-05 | 2018-01-12 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 片盒定位装置、片盒装卸载系统及半导体加工设备 |
| CN107579029B (zh) * | 2016-07-05 | 2021-04-09 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 片盒定位装置、片盒装卸载系统及半导体加工设备 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4253365B2 (ja) | ウェハ搬送装置 | |
| JP5506979B2 (ja) | ロットサイズ減少のためのバッファ付きローダ | |
| JPH0372649A (ja) | 処理装置 | |
| WO2005093821A1 (ja) | 縦型熱処理装置及び移載機構の自動教示方法 | |
| KR100316820B1 (ko) | 카세트챔버 | |
| JP7390142B2 (ja) | 基板処理装置および基板搬送方法 | |
| CN107591352B (zh) | 加载端口及包括加载端口的基板输送系统 | |
| US20230089805A1 (en) | Substrate treating apparatus | |
| US6190118B1 (en) | Tilt mechanism for wafer cassette | |
| JP2022002255A (ja) | 収納モジュール、基板処理システムおよび消耗部材の搬送方法 | |
| US20040043513A1 (en) | Method of transferring processed body and processing system for processed body | |
| JP2000294616A (ja) | 仮置台付位置合わせ機構及びポリッシング装置 | |
| JP2003109997A (ja) | 基板処理装置 | |
| JP4048074B2 (ja) | 処理装置 | |
| JP7386026B2 (ja) | 基板処理方法および基板処理装置 | |
| JP3165947B2 (ja) | 真空室のドア装置 | |
| JP2005285799A (ja) | カセット内基板位置検出装置、ならびにそれを用いた基板搬出装置および基板処理装置 | |
| JP2021048360A (ja) | 基板処理装置 | |
| JPH10335420A (ja) | ワークのアライメント装置 | |
| JPH1131729A (ja) | 基板収納容器供給装置 | |
| JP7495265B2 (ja) | ロボットシステムおよびロボットシステムの制御方法 | |
| JP4495825B2 (ja) | 半導体製造装置及び半導体製造方法 | |
| JPH11238767A (ja) | ウエハと接触子の位置合わせ装置 | |
| JP2515325Y2 (ja) | 基板の搬出・搬入装置 | |
| JPH05286526A (ja) | ウエハ移載装置 |