JPH05286526A

JPH05286526A - ウエハ移載装置

Info

Publication number: JPH05286526A
Application number: JP8849992A
Authority: JP
Inventors: Takashi Yamashita; 隆士山下
Original assignee: Shinko Electric Co Ltd
Current assignee: Shinko Electric Co Ltd
Priority date: 1992-04-09
Filing date: 1992-04-09
Publication date: 1993-11-02

Abstract

(57)【要約】（修正有）【目的】ウエハカセットの棚とボートの棚の間を自在に
移載するロボット機構を具備した装置の提供。【構成】移動可能なブラケットに支持されたウエハ吸着
のできるペンシルを備え、ブラケットとカセットの棚の
位置を検知するセンサ３７及びこれを駆動する機構３
２，３３を備え、検知センサが検出する信号を入力し
て、駆動機構の移動を制御することを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、半導体ウエハの表面処
理を行なう反応炉を備えた表面処理装置におけるウエハ
移載装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】以下、従来の技術を図面を参照して説明
する。

【０００３】図９は、半導体ウエハの表面処理をおこな
うシステムを示したもので、１０は縦型の反応炉、１１
は炉のシャッタ−、１２はボ−トエレベ−タであって、
反応炉１０は、図１０に示す如く、炉体１３、ヒ−タ−
１４、石英管１５、支持フランジ１６を備え、この石英
管１５内に処理流体（水素ガスと窒素ガスの混合）が供
給される。１７は表面処理される半導体ウエハＷ_Pとダ
ミ−ウエハＷ_D及びフィラ−ウエハＷ_Fの多段枚を段々に
保持するボ−トであって、移載装置１８によりボ−トエ
レベ−タ１２の昇降台１２Ａ上のボ−ト支持台１２Ｂに
載置される。

【０００４】半導体ウエハＷ_Pは、図６に示す如き、ウ
エハカセット２３のに収納されてステ−ジ２２上へ搬送
され、このステ−ジ２２上のウエハカセット２３から１
枚ずつ取り出されて、ボ−ト１７に移載される。耐用期
間が経過すると交換されるダミ−ウエハＷ_D及びフィラ
−ウエハＷ_Fも同様である。以下、半導体ウエハＷ_Pとダ
ミ−ウエハＷ_D及びフィラ−ウエハＷ_Fを総称してウエハ
Ｗという。

【０００５】このボ−ト１７は、図７および図８に示す
如く、上板１７Ａと下板１７Ｂとの間に、４本の棚柱２
４〜２７を立てた構成を有し、各棚柱２４〜２７にはウ
エハＷの周部を載せる凹部２８が上下方向に一定間隔を
隔てて形成されている。この凹部２８は、図５に示す如
く、ウエハ載置面２８Ａと垂直の棚壁面２８Ｂを備えて
いる。

【０００６】ウエハＷは、移載ロボット１９のア−ム１
９Ａ端部に片持ち支持されたペンシル２０の吸着部２０
Ａでカセット２３から１枚ずつ取り出されて、図８の矢
印の方向（ウエハ搬入・搬出方向）からボ−ト１７に搬
入されて同一高さにある４個の凹部（１枚のウエハＷに
対して１つのウエハ載置棚となる）２８上へ移載され
る。

【０００７】この移載動作、即ち、ウエハカセット２２
からペンシル２０で取出されたウエハＷのボ−ト１７の
凹部２８への載置手順を図５を参照して説明する。

【０００８】移載ロボット１９は、このロボット制御装
置２１がシステム全体を制御する図示しないシ−ケンス
からの指令を受け取って作動する。

【０００９】ウエハカセット２３からウエハＷを取り出
した移載ロボット１９は、 (1)ペンシル２０で吸着しているウエハＷをボ−ト１７
の指定された棚番号のウエハ載置棚の上下方向の中間位
置Ｏ₁（ロボット制御装置２１に予め入力されているボ
−ト１７の各棚の間隔情報に基づいて計算される位置）
へ向けて搬送し、図５(A)の如く、ペンシル２０がこの
ウエハ載置棚の最奥部の凹部（棚支柱２６、２７の凹部
２８）２８の棚壁面２８Ｂまである一定距離を残す位置
Ｒに来ると、ペンシル２０の吸引作動を停止させるとと
もに移動速度を落として、図５(B)の如く、非吸引状態
でウエハＷの周端が棚壁面２８Ｂの中間位置に当接する
まで移動する。

【００１０】(2)このウエハＷの搬入ステップが終わる
と、ペンシル２０が、図５(C)の如く、所定距離だけ垂
直に下降して、その間にウエハＷが上記ウエハ載置棚の
各凹部２８の載置面２８Ａに着床する。この状態で、ウ
エハＷの中心をボ−ト１７の中心とが一致する。

【００１１】(3)このウエハＷの載置ステップが終わる
と、次のウエハＷを移載するためにペンシル２０はステ
−ジ２２側へ戻される。

【００１２】このようにして、各ウエハ載置棚にウエハ
Ｗが移載されたボ−ト１７は、移載装置１８によりボ−
トエレベ−タ１２の昇降台１２Ａのボ−ト支持台１２Ｂ
上にセットされた後、ボ−トエレベ−タ１２により持ち
上げられ、石英管１５の開口部から、この石英管１５内
の所定位置まで送りこまれ、半導体ウエハＷ_Pとダミ−
ウエハＷ_D及びフィラ−ウエハＷ_Fはシャッタ−１１で密
閉された高温の処理雰囲気中に曝されることになり、半
導体ウエハＷ_Pの表面処理が行われる。

【００１３】半導体ウエハＷ_Pの表面処理が終了する
と、ボ−トエレベ−タ１２が元の位置へ下降し始めるの
で、移載装置１８がボ−ト支持台１２Ｂからボ−ト１７
を授受して所定位置まで搬送し、ボ−ト１７の各棚から
移載ロボット１９のペンシル２０によりウエハＷが１枚
ずつ取り出されて、ステ−ジ２２上にあるウエハカセッ
ト２３の各棚に、上述の如く、ステップで移載される。

【００１４】

【発明が解決しようとする課題】この従来のウエハ移載
装置において、ペンシルで吸着して持ち上げたウエハを
ボ−トまたはウエハカセットの棚に載置する時には、予
めロボット制御装置に入力・計算されたボ−ト（ウエハ
カセット）の各棚の中心位置にペンシルを位置決めし
て、ウエハを載置している。しかしながら、ボ−ト（ウ
エハカセット）は製品誤差を含んでおり、また、ボ−ト
（ウエハカセット）を所定位置に搬送するステ−ジ、移
載装置等には機械構成上の誤差が存在しているので、ロ
ボット制御装置に入力・計算されているボ−ト（ウエハ
カセット）の中間位置と実際のボ−ト（ウエハカセッ
ト）の各棚の中間位置とはかならずしも一致せず、この
相互の中間位置には、ずれ、即ち、誤差が生じることに
なり、正確にボ−ト（ウエハカセット）にウエハを載置
することができず、例えば、ウエハをボ−ト（ウエハカ
セット）に搬入する際に、ウエハがボ−トの支柱等に接
触して、ウエハが破損するという問題があった。

【００１５】本発明は、この問題を解決するためになさ
れたもので、ペンシルで取出したウエハをボ−トまたは
ウエハカセットの棚に載置する前に、ウエハを載置する
棚の間隔を測定して、ペンシルを測定したボ−トまたは
ウエハカセットの棚の間隔の中間位置に調整することが
できるウエハ移載装置を提供することを目的とする。

【００１６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明のウエハ移載装置は、所定枚数のウエハを一
定間隔を隔てて段々に収納可能であって所定位置にある
ステ−ジに対して搬入・搬出されるウエハカセットと、
一定枚数のウエハを一定間隔を隔てて段々に収納可能で
あって所定位置から表面処理炉内へまたはその逆に移送
されるボ−トと、上記ウエハ吸着可能なペンシルと、こ
のペンシルの一端側をア−ム端部で片持ち支持する移載
ロボットを備え、この移載ロボットが上記ウエハカセッ
トの棚から上記ボ−トの棚へまたはその逆に上記ウエハ
を移載するウエハ移載装置において、上記ペンシルは、
上記棚列方向の移動可能なブラケットに一端が片持ち支
持された昇降ペンシルであり、上記ア−ム端部には、上
記ブラケットと上記棚列方向の位置を検出する検知セン
サを駆動する駆動機構、および上記駆動機構と上記検知
センサとに連絡されている制御装置を収納する枠体を有
し、上記制御装置は上記検知センサが検出する検知信号
を入力して上記駆動機構の移動を制御することを特徴と
する。

【００１７】また、制御装置は、演算器と制御器からな
り、この演算器は上記検知センサの検出信号を入力する
と所定の計算を行ない計算信号を上記制御器に送出する
ことを特徴とする。

【００１８】また、駆動機構は、上記検知センサと上記
昇降ペンシルとをペンシル長手方向に直交する方向に往
復移動する昇降駆動機構であることを特徴とする。

【００１９】更に、昇降駆動機構は、上記検知センサを
保持する移動部を所定ストロ−ク昇降移動する第１の昇
降駆動機構と、この第１の昇降駆動機構と上記ブラケッ
トを同方向に所定ストロ−ク昇降移動可能な第２の昇降
駆動機構からなることを特徴とする。

【００２０】更に、また、制御器は、上記演算器の計算
信号を入力すると上記第１の昇降駆動機構の昇降駆動を
制御し、上記検知センサの検出信号を入力すると上記第
２の昇降駆動機構の昇降駆動を制御することを特徴とす
る。

【００２１】

【作用】上述した本発明のウエハ移載装置では、検知セ
ンサでウエハを載置するボ−トおよびウエハカセットの
棚の位置を検出し、この検知信号に基づいて制御装置が
駆動機構の移動を制御しているので、昇降ペンシルを所
定位置に調整することができる。

【００２２】

【実施例】以下、本発明の一実施例を図面を参照して説
明する。

【００２３】図１および図２は、前記示した従来技術の
図９における移載ロボット１９のア−ム１９Ａ先端部に
取付けられた昇降ペンシル３０の取付け構造を示すもの
である。

【００２４】図１および図２において、３０は昇降ペン
シルであって、ペンシル２０と同じ構成を有している。

【００２５】３１は矩形状の枠体であって、移載ロボッ
ト１９のア−ム１９Ａ端部に回転可能に取付けられてい
る。

【００２６】３２、３３は所定ストロ−クの昇降駆動機
構であって、本体３４の図示しない駆動手段で移動され
る移動部３５を有する。昇降駆動機構３２は、この移動
部３５がペンシルの長手方向に直交する方向に昇降移動
可能に枠体３１の長手方向の一方の側壁３１ａにこの本
体３４が固定されている。昇降駆動機構３３は、この移
動部３５がペンシルの長手方向に直交する方向に昇降移
動可能に、昇降駆動機構３２の移動部３５にこの本体３
４が固定されている。

【００２７】昇降ペンシル３０は、その反吸着部側の端
部をブラケット３６の水平板部３６Ａで片持ち支持さ
れ、この吸着部２０Ａは枠体３１の側壁３１ａから前方
へ伸びている。ブラケット３６は、水平板部３６Ａから
折曲がった鉛直板部３６Ｂを昇降駆動機構３２の移動部
３５に昇降駆動機構３３と枠体３１の巾方向に並んで取
付けられている。

【００２８】３７は反射式の検知センサであって、この
検知センサ３７からの検出光の光軸がペンシルの長手方
向に並行して吸着部２０Ａ側に伸びている。検知センサ
３７は、昇降ペンシル３０がボ−ト１７（ウエハカセッ
ト２３）からウエハＷを取出すためボ−ト１７（ウエハ
カセット２３）の搬入・搬出方向からボ−ト１７の直前
に対向したときに、この検知センサ３７の検出光がボ−
ト１７の支柱２５（ボ−ト１７の搬入・搬出方向に対し
て最前部に位置する支柱、この場合支柱２４であっても
よい）にこの支柱２５の軸線方向に直交して投射される
ように昇降駆動機構３３の移動部３５に取付けらてい
る。検知センサ３７は、ボ−ト１７の支柱２５に投射さ
れる検出光がこの支柱２５の周面２５ａで反射される反
射光を受光して、これを検出信号としてペンシル制御装
置３８に送出する。尚、昇降駆動機構３２、３３の各移
動部３５は、ボ−ト１７に設けられている凹部２８の上
下方向の高さより長いストロ−クを移動する。

【００２９】ペンシル制御装置３８は、演算器３９と制
御器４０からなり、この演算器３９は、検知センサ３７
と接続されており、検知センサ３７から送出される検出
信号を入力すると所定の演算をし、この演算の結果を計
算信号として制御器４０に送出する。制御器４０は検知
センサ３７、演算器３９および昇降駆動機構３２、３３
にそれぞれ接続されており、検知センサ３７の検出信
号、演算器３９の計算信号を各々入力すると、これら検
出信号および計算信号に基づいて昇降駆動機構３２、３
３の昇降移動を制御する。また、ペンシル制御装置３８
はロボット制御装置２１と接続されており、相互に指令
（信号）を送出・入力している。その他は従来の技術に
示す構成と同一である。

【００３０】このような構成において、ウエハカセット
２３から昇降ペンシル３０で取出されたウエハＷをボ−
ト１７の凹部２８の実測された中心位置Ｏ₀へ調整する
手順を図３および図４を参照して説明する。尚、説明の
便宜上、昇降ペンシル３０の中間位置Ｏ₀への調整は、
ボ−ト１７の棚列方向の調整手順について説明する。

【００３１】図示しないシ−ケンスからロボット制御装
置２１にウエハＷの移載開始指令（信号）が発せられる
と、昇降ペンシル３０はウエハカセット２３の所定の棚
にアプロ−チしてウエハＷを取出す。

【００３２】ウエハカセット２３からウエハＷを取り出
した移載ロボット１９は、 (1)昇降ペンシル３０で吸着しているウエハＷを、図３
(A)の如く、ボ−ト１７の指定された棚番号のウエハ載
置棚の上下方向の中間位置Ｏ₁（ロボット制御装置２１
に予め入力されているボ−ト１７の各棚の間隔情報に基
づいて計算される位置）へ向けて搬送し、昇降ペンシル
３０がこのウエハ載置棚の最奥部の凹部（棚支柱２６、
２７の凹部２８）２８の棚壁面２８Ｂまである一定距離
を残す位置Ｒに来ると、昇降ペンシル３０はその位置で
停止するとともに、ロボット制御装置２１はペンシル制
御装置３８に対して調整指令（調整信号）を与える。

【００３３】(2)この調整信号を入力したペンシル制御
装置３８は昇降駆動機構３３に対して昇降指令（昇降信
号）を与え、この昇降信号を受け取った昇降駆動機構３
３の移動部３５が、図３(B)に示す如く、ボ−ト１７の
棚列方向に昇降移動して、この移動部３５にある検知セ
ンサ３７で支柱２５の凹部２８の上下方向の距離Ｈ（検
出センサ３７が支柱２５の周面２５ａによる反射光を受
光するか否かにより検出する。）を検出する。検知セン
サ３７で検出された距離Ｈは、検出信号として演算器３
９の送出され、この検出信号を入力した演算器３９は中
心点Ｐ（ウエハＷが凹部２８の上下方向の中間に位値す
る距離）を計算する。このとき、ウエハＷの板厚をｔと
すると、

【００３４】

【数式１】

【００３５】が計算され、この計算の結果を計算信号と
して制御器４０に送出し、この計算信号を入力した制御
器４０はこの計算信号に基づいて昇降駆動機構３３に昇
降指令（昇降信号）を与える。これにより、昇降駆動機
構３３の移動部３５は昇降ペンシル３０と検知センサ３
７の検出光の光軸とが上下方向にＰの間隔を隔てる位置
まで昇降移動する。

【００３６】(3)このとき、例えば、昇降駆動機構３３
の移動部３５を上昇移動させて、昇降ペンシル３０と検
知センサ３７の検出光の光軸とがＰの間隔に位置した際
に、検知センサ３７からの検出光が、図４(A)の如く、ボ
−ト１７の支柱２５の周面２５ａに投射される状態、即
ち、検知センサ３７が支柱２５の周面２５ａにより反射
される反射光を受光し続ける状態になると、この反射光
を検出信号としてペンシル制御装置３８の制御器４０に
送出され、この検出信号を入力したペンシル制御装置３
８の制御器４０は、昇降駆動機構３２に対して下降指令
（下降信号）を与え、この下降信号を入力した昇降駆動
機構３２の移動部３５は検知センサ３７と昇降ペンシル
３０とともに、下降移動する。次いで、この下降移動中
に検知センサ３７が支柱２５の周面２５ａで反射される
反射光を受光しない位置（検知センサ３７からの検出光
が支柱２５の周面２５ａに投射されない位置）まで移動
すると、ペンシル制御装置３８の制御器４０は昇降駆動
機構３２に対して停止指令（停止信号）を与え、この停
止信号を受け取った昇降駆動機構３２の移動部３５はそ
の位置で停止する。これにより、昇降ペンシル３０（ウ
エハＷ）は凹部２８の上下方向に対する中間位置Ｏ
₀（実測中間位置）に調整される。

【００３７】また、検知センサ３７からの検出光が、
図４(B)の如く、ボ−ト１７の支柱２５の周面２５ａに
投射されない位置、即ち、検知センサ３７が支柱２５の
周面２５ａで反射される反射光を受光しない状態になる
と、ペンシル制御装置３８の制御器４０は検知センサ３
６から送出される検出信号を入力しないことになるの
で、昇降駆動機構３２に対して上昇指令（上昇信号）を
与え、この上昇信号を入力した昇降駆動機構３２の移動
部３５は検知センサ３７と昇降ペンシル３０とともに、
上昇移動する。次いで、この上昇移動中に検知センサ３
７が支柱２５の周面２５ａで反射される反射光を受光す
る位置（検知センサ３６からの検出光が支柱２５の周面
２５ａに投射される位置）になると、ペンシル制御装置
３８の制御器４０は、昇降駆動機構３２に対して停止指
令（停止信号）を与え、この停止信号を受け取った昇降
駆動機構３２の移動部３５はその位置で停止する。これ
により、昇降ペンシル３０（ウエハＷ）は凹部２８の上
下方向に対する中間位置Ｏ₀（実測中間位置）に調整さ
れる。この昇降ペンシル３０の中間位置Ｏ₀の調整が終
了すると、ペンシル制御装置３７はロボット制御装置２
１に対して昇降ペンシル３０の調整が終了した指令（終
了信号）を与える。

【００３８】(4)この終了信号を入力したロボット制御
装置２１は、再び移載ロボット１９を作動させるととも
に、昇降ペンシル３０の吸着部２０Ａの吸引作動を停止
させ、従来技術の図５(B)の如く、非吸引状態でウエハ
Ｗの周端がボ−ト１７の各支柱２４〜２７の棚壁面２８
Ｂに当接するまで移動する。

【００３９】(5)このウエハＷの搬入ステップが終わる
と、従来技術の図５(C)に示す如く、昇降ペンシル３０
が移載ロボットにより、所定距離だけ垂直に下降して、
その間にウエハＷが上記ウエハ載置棚の各凹部２８の載
置面２８Ａに着床する。

【００４０】(6)このウエハＷ載置ステップが終わる
と、次のウエハＷを移載するために昇降ペンシル３０は
ステ−ジ２２側へ戻される。

【００４１】このようにして、ウエハカセット２３から
昇降ペンシルで取出された各ウエハＷは、各ウエハ載置
棚に移載される。

【００４２】また、半導体ウエハＷ_Pの表面処理が終了
すると、ボ−ト１７の各棚から移載ロボット１９の昇降
ペンシル３０によりウエハＷが１枚ずつ取り出されて、
ステ−ジ２２上にあるウエハカセット２３の各棚に、上
述の如く、ステップで昇降ペンシル３０のウエハカセッ
ト２３の棚列方向の中心位置を調整しながら移載され
る。

【００４３】このように、本実施例によれば、昇降ペン
シル３０がウエハカセット２３からウエハＷを取出し
て、ボ−ト１７の所定の凹部２８に載置する前に、検知
センサ３７で載置する凹部２８の棚列方向の距離Ｈを検
出して、この検出された検出信号に基づいてペンシル制
御装置３８により昇降ペンシル３０（ウエハＷ）が、ボ
−ト１７の棚列方向に対する中間位置Ｏ₀に調整するこ
とができる。

【００４４】尚、本実施例は、ボ−ト１７（ウエハカセ
ット２３）の棚列方向（上下方向）に対する昇降ペンシ
ル３０の実測された中間位置Ｏ₀への調整を示したが、
これに限定されるものではなく、ボ−ト１７（ウエハカ
セット２３）の棚列方向に直交する方向に移動する駆動
機構を介して検知センサ３７を移載ロボット１９の枠体
３０に設けることにより、例えば、ボ−ト１７の支柱２
４に設けられた凹部２８とこの支柱２４の凹部２８と同
一高さにある支柱２５の凹部２８との距離（棚列方向に
直交する方向）を検出して、上述実施例に示す如く、演
算器３９で中間位置を計算して、制御器４０で棚列方向
に直交する方向に移動する上記駆動機構の移動を制御す
ることにより、移載ロボット１９のペンシルをボ−ト１
７の棚列方向に直交する方向に対する実測された中間位
置に調整することができるとともに、本実施例に示した
ものと組合わせることにより、移載ロボット１９のペン
シルをボ−ト１７の棚列方向および棚列方向に直交する
方向の実測された中間位置に調整することが可能とな
る。

【００４５】

【発明の効果】以上詳述したように、本発明のウエハ移
載装置によれば、昇降ペンシルでウエハカセットから取
り出されたウエハをボ−トに載置する際、またはその逆
の載置の際において、検知センサでウエハを載置する棚
の間隔を検出して、昇降ペンシルをその間隔の中間位置
に調整することができるので、ボ−トおよびウエハカセ
ットの製品誤差、ステ−ジ等の機械構成上の誤差が生じ
ても、正確にボ−トまたはウエハカセットの棚にウエハ
を載置することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例としての移載ロボットのア−
ム端部に取付けられたペンシル等の構成を示す要部拡大
上面図である。

【図２】本発明の一実施例としての移載ロボットのア−
ム端部に取付けられたペンシル等の構成を示す要部拡大
側面図である。

【図３】図１、図２におけるウエハを移載する手順を説
明するためのボ−ト内のウエハ載置棚とウエハの位置関
係を示す図である。

【図４】図１、図２におけるウエハを移載する手順を説
明するためのボ−ト内のウエハ載置棚とペンシルおよび
検知センサの位置関係を示す図である。

【図５】従来技術のウエハを移載する手順を説明するた
めのボ−ト内のウエハ載置棚とウエハの位置関係を示す
図である。

【図６】ウエハカセットの構成を示す縦断面図である。

【図７】ボ−トの構成を示す縦断面図である。

【図８】ボ−トの構成を示す上面図である。

【図９】表面処理装置のシステムを示す矢視図である。

【図１０】図９における表面処理装置の細部を示す縦断
面図である。

【符号の説明】

１０反応炉１７ボ−ト２０ペンシル１９移載ロボット１９Ａア−ム２２ステ−ジ２３ウエハカセット３０昇降ペンシル３１枠体３２、３３昇降駆動機構３５移動部３６ブラケット３７検知センサ３８ペンシル制御装置（制御装置）３９演算器４０制御器

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁵ 識別記号庁内整理番号ＦＩ技術表示箇所Ｈ０１Ｌ 21/68 Ｌ 8418−4Ｍ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】所定枚数のウエハを一定間隔を隔てて段々
に収納可能であって所定位置にあるステ−ジに対して搬
入・搬出されるウエハカセットと、一定枚数のウエハを
一定間隔を隔てて段々に収納可能であって所定位置から
表面処理炉内へまたはその逆に移送されるボ−トと、上
記ウエハ吸着可能なペンシルと、このペンシルの一端側
をア−ム端部で片持ち支持する移載ロボットを備え、こ
の移載ロボットが上記ウエハカセットの棚から上記ボ−
トの棚へまたはその逆に上記ウエハを移載するウエハ移
載装置において、上記ペンシルは、移動可能なブラケットに一端が片持ち
支持された昇降ペンシルであり、上記ア−ム端部には、
上記ブラケットと上記棚の位置を検出する検知センサを
駆動する駆動機構、および上記駆動機構と上記検知セン
サとに連絡されている制御装置を収納する枠体を有し、
上記制御装置は上記検知センサが検出する検知信号を入
力して上記駆動機構の移動を制御することを特徴とする
ウエハ移載装置。
【請求項２】制御装置は、演算器と制御器からなり、こ
の演算器は上記検知センサの検出信号を入力すると所定
の計算を行ない計算信号として上記制御器に送出するこ
とを特徴とする請求項１記載のウエハ移載装置。
【請求項３】駆動機構は、上記検知センサと上記昇降ペ
ンシルとをペンシル長手方向に直交する方向に往復移動
する昇降駆動機構であることを特徴とする請求項１記載
のウエハ移載装置。
【請求項４】昇降駆動機構は、上記検知センサを保持す
る移動部を所定ストロ−ク昇降移動する第１の昇降駆動
機構と、この第１の昇降駆動機構と上記ブラケットを同
方向に所定ストロ−ク昇降移動可能な第２の昇降駆動機
構からなることを特徴とする請求項１および請求項３記
載のウエハ移載装置。
【請求項５】制御器は、上記演算器の計算信号を入力す
ると上記第１の昇降駆動機構の昇降駆動を制御し、上記
検知センサの検出信号を入力すると上記第２の昇降駆動
機構の昇降駆動を制御することを特徴とする請求項１〜
請求項４記載のウエハ移載装置。