JPH06115733A - 基板移載装置 - Google Patents
基板移載装置Info
- Publication number
- JPH06115733A JPH06115733A JP4265698A JP26569892A JPH06115733A JP H06115733 A JPH06115733 A JP H06115733A JP 4265698 A JP4265698 A JP 4265698A JP 26569892 A JP26569892 A JP 26569892A JP H06115733 A JPH06115733 A JP H06115733A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- shaft
- air cylinder
- sliding
- moving
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Abstract
(57)【要約】
【目的】基板移載装置において、基板積載テーブルの昇
降機構を不要とし、搬送台車などから昇降テーブルの移
載作業を不要とする。 【構成】圧縮コイツバネを有し上下に摺動出来る少なく
とも一個以上の摺動吸着パッド２と、摺動吸着パッド２
と配管を介して接続する真空発生部３と、摺動吸着パッ
ド２と並設し基板２３と垂直に接触する軸４と、軸４を
摺動させる摺動支持部６と、軸４を下方に位置させる圧
縮コイルバネ５と、軸４の上下動を制限する下止め輪７
及び上止め輪８と、軸４の上端位置を検出する少なくと
も２個以上の軸検出センサー９及び１０と、前記摺動吸
着パッド２を上下動させる昇降用エアシリンダー１１
と、昇降用方向制御弁１２と、前述の摺動吸着パッド２
を水平方向に移動させる移動用エアシリンダー１４と、
移動方向制御弁１５を有することを特徴とする。
降機構を不要とし、搬送台車などから昇降テーブルの移
載作業を不要とする。 【構成】圧縮コイツバネを有し上下に摺動出来る少なく
とも一個以上の摺動吸着パッド２と、摺動吸着パッド２
と配管を介して接続する真空発生部３と、摺動吸着パッ
ド２と並設し基板２３と垂直に接触する軸４と、軸４を
摺動させる摺動支持部６と、軸４を下方に位置させる圧
縮コイルバネ５と、軸４の上下動を制限する下止め輪７
及び上止め輪８と、軸４の上端位置を検出する少なくと
も２個以上の軸検出センサー９及び１０と、前記摺動吸
着パッド２を上下動させる昇降用エアシリンダー１１
と、昇降用方向制御弁１２と、前述の摺動吸着パッド２
を水平方向に移動させる移動用エアシリンダー１４と、
移動方向制御弁１５を有することを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は基板移載装置に間し、特
に積載された電子回路板の移載装置に関する。
に積載された電子回路板の移載装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の基板移載装置は図２に示すよう
に、昇降テーブル２２と基板検出センサー２１により基
板２３の上限を一定に保ち、積載された基板２３を真空
発生部３により作り出した真空状態によって吸着パッド
１９で保持し、昇降用摺動部１３により案内され昇降用
方向制御弁２０により制御される昇降用エアシリンダー
１１によって昇降し、移動用摺動部１６により案内され
移動用方向制御弁１５により制御される移動用シリンダ
ー１４により所定のコンベア１８上に移載していた。
に、昇降テーブル２２と基板検出センサー２１により基
板２３の上限を一定に保ち、積載された基板２３を真空
発生部３により作り出した真空状態によって吸着パッド
１９で保持し、昇降用摺動部１３により案内され昇降用
方向制御弁２０により制御される昇降用エアシリンダー
１１によって昇降し、移動用摺動部１６により案内され
移動用方向制御弁１５により制御される移動用シリンダ
ー１４により所定のコンベア１８上に移載していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来の基板移載機構で
は基板を積載するテーブルに昇降機構をもたせなければ
ならないので基板を他のテーブルから昇降テーブル上に
移載する作業が必要であった。
は基板を積載するテーブルに昇降機構をもたせなければ
ならないので基板を他のテーブルから昇降テーブル上に
移載する作業が必要であった。
【０００４】本発明の目的は、基板積載テーブルの昇降
機構を不要とし、搬送台車などから昇降テーブルへの移
載作業を不要とする移載装置を提供することにある。
機構を不要とし、搬送台車などから昇降テーブルへの移
載作業を不要とする移載装置を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の基板移載装置
は、圧縮コイルバネを有し上下に摺動出来る少なくとも
一個以上の摺動吸着パッドと、吸着摺動吸着パッドと配
管を介して接続する真空発生部と、パッドと並設し基板
と垂直に接触する軸と、軸を上下に摺動させる摺動支持
部と、軸を中心として摺動支持部の下方に配設した圧縮
コイルバネと、軸の上下動を制限する下止め輪及び上止
め輪と、軸の上端位置を検出する少なくとも２個以上の
軸検出センサーと、前記摺動吸着パッドを上下動させる
昇降用エアシリンダーと、中間停止が可能で昇降用エア
シリンダーを制御する昇降用方向制御弁および、摺動吸
着パッドを水平方向に移動させる移動用エアシリンダー
と、移動用エアシリンダーを制御する移動用方向制御弁
とを有している。
は、圧縮コイルバネを有し上下に摺動出来る少なくとも
一個以上の摺動吸着パッドと、吸着摺動吸着パッドと配
管を介して接続する真空発生部と、パッドと並設し基板
と垂直に接触する軸と、軸を上下に摺動させる摺動支持
部と、軸を中心として摺動支持部の下方に配設した圧縮
コイルバネと、軸の上下動を制限する下止め輪及び上止
め輪と、軸の上端位置を検出する少なくとも２個以上の
軸検出センサーと、前記摺動吸着パッドを上下動させる
昇降用エアシリンダーと、中間停止が可能で昇降用エア
シリンダーを制御する昇降用方向制御弁および、摺動吸
着パッドを水平方向に移動させる移動用エアシリンダー
と、移動用エアシリンダーを制御する移動用方向制御弁
とを有している。
【０００６】
【実施例】次に本発明について図面を参照して説明す
る。図１は、本発明の一実施例の正面図（ａ）及び部分
詳細図（ｂ）である。
る。図１は、本発明の一実施例の正面図（ａ）及び部分
詳細図（ｂ）である。
【０００７】図１に示すように、圧縮コイルバネを有し
上下に摺動出来る摺動吸着パッド２を吸着パッド取付フ
レーム１に垂下している。摺動吸着パッド２は、パイプ
又はチューブを介し真空発生部３と接続されている。軸
４は、吸着パッド取付フレームに固定された摺動支持部
６と嵌合し下止め輪７及び上止め輪８により上下動を制
限され、圧縮コイルバネ５により下方に位置し、下端が
摺動吸着パッド２の下端より、軸４上端とその上方に設
けた輪検出センサー９の間隙相当分下端が下方に位置す
る状態で摺動吸着パッド２に並設してある。軸検出セン
サー１０は軸検出センサー９の上方に配設してある。吸
着パッド取付フレーム１は上方で垂設した昇降用摺動部
１３と係設し、昇降用エアシリンダー１１で吊着されて
いる。この昇降用エアシリンダー１１は中間停止が可能
な昇降用方向制御弁１２とパイプ又はチューブを介して
接続されている。昇降用エアシリンダー１１及び昇降用
摺動部は、移動用摺動部１６と係設し保持され、移動用
エアシリンダー１４及び移動用方向制御弁１５により水
平方向に移動できる。特に図示してないが移動用摺動部
１６及び移動用エアシリンダー１４はフレームにより支
持されている。摺動吸着パッド２が昇降用エアシリンダ
ー１１及び移動用エアシリンダー１４で移動できる可動
範囲の下方にコンベア搬送部１８と基板２３を積載した
搬送台車１７を配設してある。
上下に摺動出来る摺動吸着パッド２を吸着パッド取付フ
レーム１に垂下している。摺動吸着パッド２は、パイプ
又はチューブを介し真空発生部３と接続されている。軸
４は、吸着パッド取付フレームに固定された摺動支持部
６と嵌合し下止め輪７及び上止め輪８により上下動を制
限され、圧縮コイルバネ５により下方に位置し、下端が
摺動吸着パッド２の下端より、軸４上端とその上方に設
けた輪検出センサー９の間隙相当分下端が下方に位置す
る状態で摺動吸着パッド２に並設してある。軸検出セン
サー１０は軸検出センサー９の上方に配設してある。吸
着パッド取付フレーム１は上方で垂設した昇降用摺動部
１３と係設し、昇降用エアシリンダー１１で吊着されて
いる。この昇降用エアシリンダー１１は中間停止が可能
な昇降用方向制御弁１２とパイプ又はチューブを介して
接続されている。昇降用エアシリンダー１１及び昇降用
摺動部は、移動用摺動部１６と係設し保持され、移動用
エアシリンダー１４及び移動用方向制御弁１５により水
平方向に移動できる。特に図示してないが移動用摺動部
１６及び移動用エアシリンダー１４はフレームにより支
持されている。摺動吸着パッド２が昇降用エアシリンダ
ー１１及び移動用エアシリンダー１４で移動できる可動
範囲の下方にコンベア搬送部１８と基板２３を積載した
搬送台車１７を配設してある。
【０００８】次に実施例の動作について説明する。テー
ブル１７に積載されている基板２３上方で昇降用エアシ
リンダー１１及び昇降用方向制御弁１２により摺動吸着
パッド２を下降させていくと、摺動吸着パッド２より先
に軸４が基板２３と接触する。更に下降動作を行うと、
摺動吸着パッド２が基板２３と接触し、軸検出センサー
９が軸４の上端を検出する。その時、昇降用エアシリン
ダー１１を昇降用方向制御弁１２により下降動作を停止
させ中間停止を行う。その後真空発生部３を作動させ、
それにより発生した真空状態によって摺動吸着パッド２
が基板２３を吸着保持する。次に昇降用エアシリダー１
１及び昇降用方向制御弁１２により基板２３を吸着保持
した摺動吸着パッド２を上昇させ、移動用エアシリンン
ダー１４及び移動用方向制御弁１５によりコンベア１８
の上部に移動する。次に昇降用エアシリンダー１１によ
り基板２３を吸着保持した摺動吸着パッド２を下降させ
る。基板２３がコンベア搬送部１８のローラーなどに到
達し、更に下降すると、摺動吸着パッド２及び軸４を下
方に位置させていた圧縮コイルバネ５及び２４がたわ
み、軸検出センサー１０が軸４の上端を検出する。この
時昇降用エアシリンダー１１を昇降用方向制御弁１２に
より下降を停止させる。その後真空発生部３を停止させ
常圧にすることにより、摺動吸着パッド２が基板２３の
吸着保持を解除する。その後、昇降用エアシリンダー１
１を昇降用方向制御弁１２により上昇させることにより
摺動吸着パッド２を上昇させた後、移動用エアシリンダ
ー１４及び移動用方向制御弁１５により基板２３上部へ
移動する。また、コンベア搬送部１８のローラー上など
に移載された基板２３は移載完了信号などを出力するこ
とにより、コンベア搬送部１８の駆動系の運転により搬
送される。以上の一連の動作を繰り返し行い順次基板２
３の移載を行う。
ブル１７に積載されている基板２３上方で昇降用エアシ
リンダー１１及び昇降用方向制御弁１２により摺動吸着
パッド２を下降させていくと、摺動吸着パッド２より先
に軸４が基板２３と接触する。更に下降動作を行うと、
摺動吸着パッド２が基板２３と接触し、軸検出センサー
９が軸４の上端を検出する。その時、昇降用エアシリン
ダー１１を昇降用方向制御弁１２により下降動作を停止
させ中間停止を行う。その後真空発生部３を作動させ、
それにより発生した真空状態によって摺動吸着パッド２
が基板２３を吸着保持する。次に昇降用エアシリダー１
１及び昇降用方向制御弁１２により基板２３を吸着保持
した摺動吸着パッド２を上昇させ、移動用エアシリンン
ダー１４及び移動用方向制御弁１５によりコンベア１８
の上部に移動する。次に昇降用エアシリンダー１１によ
り基板２３を吸着保持した摺動吸着パッド２を下降させ
る。基板２３がコンベア搬送部１８のローラーなどに到
達し、更に下降すると、摺動吸着パッド２及び軸４を下
方に位置させていた圧縮コイルバネ５及び２４がたわ
み、軸検出センサー１０が軸４の上端を検出する。この
時昇降用エアシリンダー１１を昇降用方向制御弁１２に
より下降を停止させる。その後真空発生部３を停止させ
常圧にすることにより、摺動吸着パッド２が基板２３の
吸着保持を解除する。その後、昇降用エアシリンダー１
１を昇降用方向制御弁１２により上昇させることにより
摺動吸着パッド２を上昇させた後、移動用エアシリンダ
ー１４及び移動用方向制御弁１５により基板２３上部へ
移動する。また、コンベア搬送部１８のローラー上など
に移載された基板２３は移載完了信号などを出力するこ
とにより、コンベア搬送部１８の駆動系の運転により搬
送される。以上の一連の動作を繰り返し行い順次基板２
３の移載を行う。
【０００９】尚、前述実施例は基板２３の供給動作であ
るが同様の原理で基板の受取動作も可能である。
るが同様の原理で基板の受取動作も可能である。
【００１０】
【発明の効果】以上説明したように本発明は基板移載装
置において基板高さの検出を移載機構で行うことによ
り、基板を積載する搬送台車から昇降機能を削除できる
ので、搬送台車などに基板を積載したまま移載装置に使
用でき、基板を搬送台車などから昇降テーブル上に移載
する作業を不要にできるという効果を有する。
置において基板高さの検出を移載機構で行うことによ
り、基板を積載する搬送台車から昇降機能を削除できる
ので、搬送台車などに基板を積載したまま移載装置に使
用でき、基板を搬送台車などから昇降テーブル上に移載
する作業を不要にできるという効果を有する。
【図１】本発明の一実施例の基板移載装置の正面図およ
びそのＡ部詳細図である。
びそのＡ部詳細図である。
【図２】従来の基板移載装置の一例の正面図である。
１ 吸着パッド取付フレーム ２ 摺動吸着パッド ３ 真空発生部 ４ 軸 ５ 圧縮コイルバネ ６ 摺動支持部 ７ 下止め輪 ８ 上止め輪 ９・１０ 軸検出センサー １１ 昇降用エアシリンダー １２・２０ 昇降用方向制御弁 １３ 昇降用摺動部 １４ 移動用エアシリンダー １５ 移動用方向制御弁 １６ 移動用摺動部 １７ 搬送台 １８ コンベア搬送部 １９ 吸着パッド ２１ 基板検出センサー ２２ 昇降テーブル ２３ 基板
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０５Ｋ 13/02 Ｔ 8509−4Ｅ
Claims (1)
- 【請求項１】 圧縮コイルバネを有し上下に摺動出来る
少なくとも一個以上の摺動吸着パッドと、吸着摺動吸着
パッドと配管を介して接続する真空発生部と、パッドと
並設し基板と垂直に接触する軸と、軸を上下に摺動させ
る摺動支持部と、軸を中心として摺動支持部の下方に配
設した圧縮コイルバネと、軸の上下動を制限する下止め
輪及び上止め輪と、軸の上端位置を検出する少なくとも
２個以上の軸検出センサーと、前記摺動吸着パッドを上
下動させる昇降用エアシリンダーと、中間停止が可能で
昇降用エアシリンダーを制御する昇降用方向制御弁およ
び、摺動吸着パッドを水平方向に移動させる移動用エア
シリンダーと、移動用エアシリンダーを制御する移動用
方向制御弁とを有することを特徴とする基板移載装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4265698A JPH06115733A (ja) | 1992-10-05 | 1992-10-05 | 基板移載装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4265698A JPH06115733A (ja) | 1992-10-05 | 1992-10-05 | 基板移載装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06115733A true JPH06115733A (ja) | 1994-04-26 |
Family
ID=17420771
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4265698A Withdrawn JPH06115733A (ja) | 1992-10-05 | 1992-10-05 | 基板移載装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06115733A (ja) |
Cited By (20)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009166003A (ja) * | 2008-01-18 | 2009-07-30 | Humo Laboratory Ltd | 部品分類装置および前記装置を用いた電子部品特性検査分類装置 |
| CN103057966A (zh) * | 2012-12-31 | 2013-04-24 | 福建海源自动化机械股份有限公司 | 码垛机气动机械锁 |
| CN103395641A (zh) * | 2013-07-31 | 2013-11-20 | 钜鼎（扬州）光电显示科技有限公司 | 膜片分片与抓取装置及膜片分片抓取方法 |
| CN104444473A (zh) * | 2014-12-09 | 2015-03-25 | 株洲盈定自动化设备科技有限公司 | 一种片式隔板自动送纸装置 |
| CN105269554A (zh) * | 2014-07-24 | 2016-01-27 | 上海日立电器有限公司 | 一种能够消除偏移程序累积误差的机器人手爪 |
| CN105817432A (zh) * | 2016-05-23 | 2016-08-03 | 上海美诺福科技股份有限公司 | 一种硅钢片分拣装置 |
| CN106814555A (zh) * | 2017-03-21 | 2017-06-09 | 浙江欧视达科技有限公司 | 一种自动曝光机 |
| CN107416553A (zh) * | 2017-04-20 | 2017-12-01 | 广东拓迪智能科技有限公司 | 薄片状材料供给装置及方法 |
| CN108161971A (zh) * | 2018-03-13 | 2018-06-15 | 山东镭鸣数控激光装备有限公司 | 一种高效板材拆垛吸盘机械手 |
| CN108545953A (zh) * | 2018-05-07 | 2018-09-18 | 陈玉丹 | 一种玻璃蚀刻工艺 |
| CN108840099A (zh) * | 2018-07-18 | 2018-11-20 | 汪继德 | 一种室内装修用地板砖搬运装置 |
| CN108974933A (zh) * | 2018-08-01 | 2018-12-11 | 浙江脉思科技有限公司 | 一种密封圈骨架智能摆放装置 |
| CN111302027A (zh) * | 2019-12-04 | 2020-06-19 | 杭州金浪机电有限公司 | 一种钢板输送装置 |
| CN111872654A (zh) * | 2020-08-05 | 2020-11-03 | 重庆翰博光电有限公司 | 一种背光模组自动组装设备 |
| CN112621156A (zh) * | 2020-12-17 | 2021-04-09 | 珠海格力智能装备有限公司 | 夹取设备 |
| CN113601490A (zh) * | 2021-07-30 | 2021-11-05 | 东风柳州汽车有限公司 | 一种用于天窗的取料机械手 |
| CN113798808A (zh) * | 2021-09-16 | 2021-12-17 | 深圳亿成光电科技有限公司 | 一种全自动显示屏组装机 |
| CN115626483A (zh) * | 2022-09-07 | 2023-01-20 | 靖江市卓越电子设备科技有限公司 | 一种具有夹具快拆结构的放板机 |
| CN116078683A (zh) * | 2022-11-21 | 2023-05-09 | 浙江柳市线路板有限公司 | 一种线路板检测设备 |
| CN117262763A (zh) * | 2023-11-23 | 2023-12-22 | 江苏烽禾升智能科技有限公司 | 一种叠片机叠片台补片系统及补片方法 |
-
1992
- 1992-10-05 JP JP4265698A patent/JPH06115733A/ja not_active Withdrawn
Cited By (27)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009166003A (ja) * | 2008-01-18 | 2009-07-30 | Humo Laboratory Ltd | 部品分類装置および前記装置を用いた電子部品特性検査分類装置 |
| CN103057966A (zh) * | 2012-12-31 | 2013-04-24 | 福建海源自动化机械股份有限公司 | 码垛机气动机械锁 |
| CN103395641A (zh) * | 2013-07-31 | 2013-11-20 | 钜鼎（扬州）光电显示科技有限公司 | 膜片分片与抓取装置及膜片分片抓取方法 |
| CN103395641B (zh) * | 2013-07-31 | 2015-10-28 | 许翔 | 膜片分片与抓取装置及膜片分片抓取方法 |
| CN105269554A (zh) * | 2014-07-24 | 2016-01-27 | 上海日立电器有限公司 | 一种能够消除偏移程序累积误差的机器人手爪 |
| CN104444473A (zh) * | 2014-12-09 | 2015-03-25 | 株洲盈定自动化设备科技有限公司 | 一种片式隔板自动送纸装置 |
| CN105817432A (zh) * | 2016-05-23 | 2016-08-03 | 上海美诺福科技股份有限公司 | 一种硅钢片分拣装置 |
| CN106814555A (zh) * | 2017-03-21 | 2017-06-09 | 浙江欧视达科技有限公司 | 一种自动曝光机 |
| CN106814555B (zh) * | 2017-03-21 | 2019-02-22 | 浙江欧视达科技有限公司 | 一种自动曝光机 |
| CN107416553A (zh) * | 2017-04-20 | 2017-12-01 | 广东拓迪智能科技有限公司 | 薄片状材料供给装置及方法 |
| CN108161971A (zh) * | 2018-03-13 | 2018-06-15 | 山东镭鸣数控激光装备有限公司 | 一种高效板材拆垛吸盘机械手 |
| CN108161971B (zh) * | 2018-03-13 | 2024-03-22 | 山东镭鸣数控激光装备有限公司 | 一种高效板材拆垛吸盘机械手 |
| CN108545953A (zh) * | 2018-05-07 | 2018-09-18 | 陈玉丹 | 一种玻璃蚀刻工艺 |
| CN108840099A (zh) * | 2018-07-18 | 2018-11-20 | 汪继德 | 一种室内装修用地板砖搬运装置 |
| CN108974933A (zh) * | 2018-08-01 | 2018-12-11 | 浙江脉思科技有限公司 | 一种密封圈骨架智能摆放装置 |
| CN111302027B (zh) * | 2019-12-04 | 2021-07-30 | 杭州金浪机电有限公司 | 一种钢板输送装置 |
| CN111302027A (zh) * | 2019-12-04 | 2020-06-19 | 杭州金浪机电有限公司 | 一种钢板输送装置 |
| CN111872654A (zh) * | 2020-08-05 | 2020-11-03 | 重庆翰博光电有限公司 | 一种背光模组自动组装设备 |
| CN112621156A (zh) * | 2020-12-17 | 2021-04-09 | 珠海格力智能装备有限公司 | 夹取设备 |
| CN113601490A (zh) * | 2021-07-30 | 2021-11-05 | 东风柳州汽车有限公司 | 一种用于天窗的取料机械手 |
| CN113798808A (zh) * | 2021-09-16 | 2021-12-17 | 深圳亿成光电科技有限公司 | 一种全自动显示屏组装机 |
| CN115626483A (zh) * | 2022-09-07 | 2023-01-20 | 靖江市卓越电子设备科技有限公司 | 一种具有夹具快拆结构的放板机 |
| CN115626483B (zh) * | 2022-09-07 | 2023-09-22 | 靖江市卓越电子设备科技有限公司 | 一种具有夹具快拆结构的放板机 |
| CN116078683A (zh) * | 2022-11-21 | 2023-05-09 | 浙江柳市线路板有限公司 | 一种线路板检测设备 |
| CN116078683B (zh) * | 2022-11-21 | 2023-11-07 | 浙江柳市线路板有限公司 | 一种线路板检测设备 |
| CN117262763A (zh) * | 2023-11-23 | 2023-12-22 | 江苏烽禾升智能科技有限公司 | 一种叠片机叠片台补片系统及补片方法 |
| CN117262763B (zh) * | 2023-11-23 | 2024-03-26 | 江苏烽禾升智能科技有限公司 | 一种叠片机叠片台补片系统及补片方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH06115733A (ja) | 基板移載装置 | |
| JP2013103807A (ja) | ワーク移載装置 | |
| CN111573224A (zh) | 电路板翻转机 | |
| KR930007778A (ko) | 반송 장치 | |
| JP4166077B2 (ja) | ガラス板の位置決め方法および装置 | |
| JPS63150186A (ja) | 部品装着装置 | |
| JPH0463690A (ja) | パネル保持装置 | |
| JP2518163B2 (ja) | 偏平ワ―ク等の吸着式移動装置における脱着装置 | |
| JPH0639768A (ja) | 真空吸着装置 | |
| JPH10167483A (ja) | シート供給装置 | |
| JPH04266331A (ja) | ロボットのハンド装置 | |
| CN220663976U (zh) | 物流线托盘放反纠正机构 | |
| JP2585756B2 (ja) | ロボット用ハンドリングツール | |
| JPH0462951A (ja) | ウエハ移し換え装置 | |
| KR100847294B1 (ko) | 백업플레이트의 상승 제어장치 | |
| JPH05138557A (ja) | 板状体移載用バキユームリフト | |
| JPH05286526A (ja) | ウエハ移載装置 | |
| KR100984641B1 (ko) | 필름 이송장치 | |
| JP5178050B2 (ja) | ワーク搬送方法及びワーク搬送装置。 | |
| JPH0739285B2 (ja) | タイル回転移送装置 | |
| JPH04130499U (ja) | 表面実装部品搭載装置 | |
| JPH04118235U (ja) | アンローダ | |
| JPH0641954Y2 (ja) | 板材分離搬送装置 | |
| JPH05169384A (ja) | ローダ装置 | |
| JP2535729B2 (ja) | ケ―スの移載方法及び移載装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20000104 |