WO2006095569A1 - ロードポートおよびロードポートの制御方法 - Google Patents

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Shin Osaki
Mitsuaki Hagio
Takayuki Imanaka
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Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki
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Definitions

  • the present invention relates to a load port that opens and closes a lid of a substrate storage container that stores a semiconductor substrate, and in particular, a reversible load port that can be opened and closed regardless of the direction of the substrate storage container placed thereon and a control method therefor About.
  • FIG. 4 a reversible load port that can be opened and closed regardless of the direction of a mounted FOUP is as shown in FIG. 4 (see, for example, Patent Document 1).
  • reference numeral 41 denotes a mounting plate on which the FOUP is placed.
  • Reference numerals 42 and 43 denote rotating / lifting means for rotating the mounting plate 41.
  • 44 is a stage. After the FOUP is delivered from the mounting plate 41, it moves on the table 45 in the direction of arrow D.
  • 47 is a load port door that opens and closes the FOUP lid.
  • the mounting plate 41 is then rotated by the rotation / lifting means 42, 43, and the FOU P outlet on the mounting plate 41 is the load port door 47. To face up. When the FOUP outlet is made to face the load port door 47, the mounting plate is lowered by the rotating / lifting means 42, 43.
  • the mounting plate 41 descends, a part of the FOUP comes into contact with the stage 44, and when the mounting plate 41 continues to descend, the FOUP moves away from the mounting plate 41 and is completely placed on the stage 44. Placed. Thereafter, the stage 44 moves on the table 45 in the direction of arrow D, and the FOUP is docked to the load port door 47, the FOUP door is opened, and the substrate inside the FOUP is delivered to the semiconductor manufacturing apparatus.
  • the FOUP is moved to the stage by lowering the mounting plate 41, which does not require a separate installation means for transferring the FOUP from the mounting plate 41 to the stage 44. Can be handed over to 44.
  • Patent Document 1 Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 2004-140011 (Page 4-8, Fig. 1)
  • the conventional load port has a structure in which the support piece 46 that accommodates the control unit of the rotation and elevating means 42 and 43 protrudes to the front of the load port and is connected to the front of the load port.
  • force and the like were restricted by structure.
  • the mounting plate 41 on which the FOUP is first mounted and the stage 44 are independent, when transferring the FOUP from the mounting plate 41 to the stage 44, it is necessary to position the stage 44 at a predetermined position. There is a problem of cost and reliability because it is not a simple structure.
  • the present invention has been made in view of such problems, and an object of the present invention is to provide a compact reversible load port in which a support piece does not protrude despite being reversible. Furthermore, an inverting load port with high operating efficiency is provided.
  • the present invention is configured as follows.
  • the invention according to claim 1 is a stage for placing a substrate storage container, a moving mechanism for moving the stage, a rotating mechanism for rotating the stage, an elevating mechanism for moving the stage up and down, And opening and closing the lid of the substrate storage container described above.
  • the invention according to claim 2 is a stage having at least a first stage and a second stage for placing a substrate storage container, a moving mechanism for moving the stage, the first stage, and the first stage.
  • a rotating mechanism that rotates the two stages together, a lifting mechanism that is fixed to the rotating mechanism and lifts only the first stage, a clamp that fixes the substrate storage container provided on the second stage, And opening and closing the lid of the substrate storage container described above.
  • the invention described in claim 3 is characterized in that the first stage is provided with a clamp for fixing the substrate storage container.
  • the invention according to claim 4 includes a position sensor for detecting that a displacement of the moving mechanism, the rotating mechanism, the lifting mechanism or the clamp has reached a predetermined position. Is.
  • the invention according to claim 5 is the moving mechanism, the rotating mechanism, the lifting mechanism or the front One of the clamps is equipped with a timer that monitors the passage of time of the operation starting force.
  • the invention according to claim 6 is characterized in that the stage is eccentrically rotated by the rotation mechanism.
  • the invention according to claim 7 is characterized in that the rotating mechanism includes a rotary cylinder and a belt-pulley mechanism.
  • the invention described in claim 8 is characterized in that an electric motor is used instead of the rotary cylinder.
  • the invention according to claim 9 is characterized in that the elevating mechanism is an air cylinder.
  • the invention according to claim 10 includes a stage for placing the substrate storage container, and a moving mechanism for moving the stage, and is a load that opens and closes the lid of the substrate storage container placed previously.
  • the stage is composed of a first stage and a second stage, a rotation mechanism that rotates the first stage and the second stage together, and a fixed to the rotation mechanism, and only the first stage.
  • a load port comprising: a lifting mechanism that lifts and lowers; and a clamp that fixes the substrate storage container provided on the second stage; and the stage in which the substrate storage container is placed on the stage; A step in which the stage is lowered, a step in which the clamping force provided in the second stage is clamped, a step in which the stage rotates, and the stage is docked And a step for performing a scanning operation.
  • the invention according to claim 11 includes a stage for placing the substrate storage container and a moving mechanism for moving the stage, and is a load that opens and closes the lid of the substrate storage container placed previously.
  • the stage is composed of a first stage and a second stage, and includes a rotation mechanism that rotates the first stage and the second stage together, and is fixed to the rotation mechanism, and only the first stage.
  • a load port comprising: a lifting mechanism for lifting and lowering; and a clamp for fixing the substrate storage container provided on the second stage.
  • the stage includes a step of rotating the stage, and a step of docking the stage.
  • the invention according to claim 12 is characterized in that another step is executed after the operation in the arbitrary step satisfies a predetermined interface condition.
  • the invention according to claim 13 is characterized in that the predetermined interlock condition is a detection signal output of a position detection sensor for detecting that the operation has reached a predetermined position.
  • the invention according to claim 14 is characterized in that the predetermined interlock condition is a predetermined time elapsed by a timer.
  • FIG. 1 is a perspective view of a load port showing a first embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a side view showing the lifting operation of the load port of the present invention.
  • FIG. 3 is an explanatory view showing a lifting / lowering rotating mechanism of the load port of the present invention.
  • FIG. 4 Perspective view showing a conventional load port
  • FIG. 1 is a perspective view of the load port of the present invention.
  • 12 is a stage on which a substrate storage container such as FOUP is placed.
  • Reference numeral 13 denotes a clamp for fixing the placed substrate storage container.
  • Reference numerals 15a and 15b denote suction means for sucking the lid of the substrate storage container.
  • Reference numerals 16a and 16b denote latch keys for opening and closing the key of the lid of the substrate storage container.
  • 11 is a load port door for opening and closing the lid of the substrate container placed on the stage 12.
  • FIG. 2 is a side view of the load port of the present invention.
  • the stage 12 of this load port is provided with an elevating means (lift shaft) so that the stage 12 can be raised and lowered.
  • lift shaft elevating means
  • FIG. 2 shows the state where the lift shaft is lowered, and (b) shows the state where it is raised.
  • the stage 12 includes a rotation shaft, and the stage 12 is configured to be rotatable.
  • the interior of the stage 12 is composed of a lift stage 36 and a dock stage 38 which will be described later.
  • the present invention is different from Patent Document 1 in that the stage 12 itself moves up and down and does not require a support piece that houses the mounting plate and the control unit of the rotation / lifting means of the mounting plate.
  • FIG. 3 is an explanatory view showing an internal mechanism for moving the load port up and down and rotating according to the present invention.
  • a broken line indicates a cover.
  • reference numeral 36 denotes a first stage, which is a lift stage in this embodiment.
  • the lift stage 36 is fixed to the main body side of the air cylinder 39, and the lift stage 36 moves up and down as the air cylinder 39 is driven.
  • 37 is a kinematic pin and is fixed to the lift stage 36.
  • the kinematic pins 37a and 37c are for positioning the placed substrate storage container and are the same as the conventional ones.
  • Reference numeral 31 denotes a rotary cylinder, which is driven to rotate by compressed air.
  • the rotary cylinder 31 drives a belt-pulley mechanism composed of a pulley 32, a belt 33, and a pulley 34.
  • Reference numeral 35 denotes a member fixed to the pulley 34, and the shaft of the air cylinder 39 is fixed thereto.
  • Reference numeral 38 denotes a second stage, which is a dock stage in this embodiment.
  • the dock stage 38 is fixed to the member 35 via a frame (not shown).
  • the rotary cylinder 31 is attached to a linear guide (not shown), and the member 35 is attached to the same linear guide via a bearing. That is, the air cylinder 39, the member 35, the lift stage 36, and the dock stage 38 move integrally in the left-right direction on the paper surface.
  • a clamp (not shown) and a normal placement sensor are provided on the dock stage 38. Therefore, the clamp and the normal placement sensor are buried in the stage 12 when the lift stage 36 is raised, and are not visible from the outside.
  • a belt-pulley mechanism composed of a pulley 32, a belt 33, and a pulley 34 is driven to rotate a member 35 fixed to the pulley 34.
  • the lift stage 36 fixed to the air cylinder 39 rotates.
  • the stage 12 rotates eccentrically.
  • the stage 12 is rotated eccentrically so that the substrate storage containers placed on the adjacent load ports do not interfere with each other.
  • the stage 12 is placed on the stage 12.
  • the swivel (rotation) area of the placed substrate storage container itself is kept within a diameter of 505 mm.
  • the opening operation of the substrate storage container is performed according to the following procedure, with the stage 12 (lift stage 36) ascending.
  • the substrate storage container is placed on the stage 12.
  • the stage 12 rotates while the substrate storage container is placed, and faces the load port door at the outlet side of the substrate storage container (rotation operation).
  • the latch keys 16a and 16b turn the key of the substrate storage container to unlock the door. Since the subsequent operations are the same as those of the conventional load port, the description thereof is omitted. The above procedure (
  • the load port can be flexibly adapted according to the configuration of the apparatus to which the load port is connected with no restrictions on the mounting direction of the substrate storage container.
  • the stage itself moves up and down and rotates, making it compact and reducing the footprint.
  • the substrate storage container is placed on the stage 12.
  • the stage 12 rotates while the substrate storage container is placed, and faces the load port door at the outlet side of the substrate storage container (rotation operation).
  • the load port controller issues a rotation operation command to rotate the stage 12.
  • the detection stage outputs a signal (interlock signal) to the controller.
  • the controller receives the output signal and issues a docking command. Thereafter, the docking operation is performed simultaneously with the rotation operation.
  • the detection means may be a position sensor that detects that a predetermined position has been reached. Also, the time of the start command force for each of the above operations is monitored by a timer, and a predetermined time has elapsed. May be regarded as detection. In any case, any position may be used as long as it can detect a position where the docking is completed first during the rotation operation and the substrate container does not interfere with the load port.
  • the simultaneous operation is not limited to the rotation operation and the docking operation, but may be any other combination of axes. Furthermore, it is not limited to the simultaneous operation of two axes, and a plurality of axes may be operated simultaneously.
  • the load port in the present embodiment is provided with the clamp on the wrist stage, the operation can be performed simultaneously after the substrate storage container is clamped until docking. improves.
  • the load port of the present invention uses the air cylinder as the driving means, but an electric motor may be used as the driving means.
  • the mechanism for rotating the stage 12 is a belt-pulley mechanism, but it may be a direct drive using a rotary cylinder without using this mechanism.

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Abstract

　基板収納容器の載置方向に制約が無く、ロードポートが接続される装置の形態に応じて柔軟に対応できると共に、コンパクトなロードポートを提供する。さらに、動作効率の高いロードポートを提供する。 　基板収納容器を載置するためのステージ（１２）と、前記ステージを移動させる移動機構と、を備え、前記載置された基板収納容器の蓋を開閉するロードポートにおいて、前記ステージ（１２）を回転させる回転機構と、前記ステージを昇降させる昇降機構と、を備える。

Description

明 細 書
ロードポートおよびロードポートの制御方法
技術分野
[0001] 本発明は、半導体基板を収納した基板収納容器の蓋を開閉するロードポートに関 し、特に載置された基板収納容器の向きにかかわらず開閉可能な反転式ロードポー トおよびその制御方法に関する。
背景技術
[0002] 従来、載置された FOUPの向きにかかわらず開閉可能な反転式ロードポートは、図 4に示すようになつている（例えば、特許文献 1参照)。
図において、 41は、 FOUPを載置する搭載板である。 42および 43は、搭載板 41 を回転させる回転'昇降手段である。 44はステージであり、搭載板 41から FOUPが 受け渡された後、テーブル 45上を矢印 D方向へ移動する。 47は、 FOUPの蓋を開 閉するロードポートドアである。図において、 FOUPが搭載板 41に載置されると、そ の後、回転'昇降手段 42、 43により搭載板 41が回転させられ、搭載板 41上の FOU Pの取出口がロードポートドア 47に正対させられる。 FOUPの取出口がロードポート ドア 47〖こ正対させられると、回転'昇降手段 42、 43により搭載板が降される。搭載板 41が下降して 、くと FOUPの一部がステージ 44に接触し、 Iき続き搭載板 41が下 降していくと FOUPは搭載板 41上力 離れ、完全にステージ 44上に載置される。そ の後、ステージ 44がテーブル 45上を矢印 D方向へ移動すると共に、 FOUPがロード ポートドア 47にドッキングし、 FOUPドアが開かれ、 FOUP内部の基板が半導体製造 装置に引き渡される。
[0003] このように、従来のロードポートによれば、 FOUPを搭載板 41からステージ 44に引 き渡すための引渡手段を別途設置する必要がなぐ搭載板 41を下降させることで F OUPをステージ 44へ引き渡すことができる。
特許文献 1 :特開 2004— 140011号公報 (第 4— 8頁、図 1)
発明の開示
発明が解決しょうとする課題 [0004] 従来のロードポートは、回転'昇降手段 42、 43の制御部を収めた支持片 46が大き くロードポート前方に張り出す構造となっていて、ロードポート前方側に接続されるス トツ力等は構造上の制約を受けるという問題があった。また、ロードポート設置時や、メ ンテナンス時に障害になるという問題があった。さらに、 FOUPを最初に載置する搭 載板 41とステージ 44が独立しているため、搭載板 41からステージ 44に FOUPを受 け渡しする際には、ステージ 44を所定の位置に位置決めする必要があり、シンプル な構造ではないため、コストや信頼'性の問題があった。
本発明はこのような問題点に鑑みてなされたものであり、反転式であるにもかかわら ず、支持片が張り出すことの無いコンパクトな反転式ロードポートを提供することを目 的とする。さらに、動作効率の高い反転式ロードポートを提供する。
課題を解決するための手段
[0005] 上記問題を解決するため、本発明は、次のように構成したのである。
請求項 1に記載の発明は、基板収納容器を載置するためのステージと、前記ステ ージを移動させる移動機構と、前記ステージを回転させる回転機構と、前記ステージ を昇降させる昇降機構と、を備え、前記載置された基板収納容器の蓋を開閉すること を特徴とするものである。
請求項 2に記載の発明は、基板収納容器を載置するための、第 1ステージと第 2ス テージとを少なくとも有するステージと、前記ステージを移動させる移動機構と、前記 第 1ステージと前記第 2ステージとを共に回転させる回転機構と、前記回転機構に固 定され、前記第 1ステージのみを昇降させる昇降機構と、前記第 2ステージに設けら れた前記基板収納容器を固定するクランプと、を備え、前記載置された基板収納容 器の蓋を開閉することを特徴とするものである。
請求項 3に記載の発明は、前記第 1ステージに、前記基板収納容器を固定するクラ ンプを備えたことを特徴とするものである。
請求項 4に記載の発明は、前記移動機構、前記回転機構、前記昇降機構または前 記クランプの 、ずれかが、所定の位置に到達したことを検出する位置センサを備えた ことを特徴とするものである。
請求項 5に記載の発明は、前記移動機構、前記回転機構、前記昇降機構または前 記クランプいずれかの動作開始力もの時間経過を監視するタイマを備えたことを特徴 とするちのである。
請求項 6に記載の発明は、前記ステージは、前記回転機構によって偏心回転する ことを特徴とするものである。
請求項 7に記載の発明は、前記回転機構は、ロータリシリンダと、ベルト'プーリ機構 と、を備えることを特徴とするものである。
請求項 8に記載の発明は、前記ロータリシリンダに代えて、電気モータとしたことを 特徴とするものである。
請求項 9に記載の発明は、前記昇降機構は、エアシリンダであることを特徴とするも のである。
請求項 10に記載の発明は、基板収納容器を載置するためのステージと、前記ステ ージを移動させる移動機構と、を備え、前記載置された基板収納容器の蓋を開閉す るロードポートであって、前記ステージは第 1ステージと第 2ステージとからなり、前記 第 1ステージと前記第 2ステージとを共に回転させる回転機構と、前記回転機構に固 定され、前記第 1ステージのみを昇降させる昇降機構と、前記第 2ステージに設けら れた前記基板収納容器を固定するクランプと、を備えたロードポートにおいて、前記 基板収納容器が前記ステージに載置されるステップと、前記ステージが下降動作す るステップと、前記第 2ステージに設けられたクランプ力クランプ動作するステップと、 前記ステージが回転動作するステップと、前記ステージがドッキング動作するステツ プと、を含むことを特徴とするものである。
請求項 11に記載の発明は、基板収納容器を載置するためのステージと、前記ステ ージを移動させる移動機構と、を備え、前記載置された基板収納容器の蓋を開閉す るロードポートであって、前記ステージは第 1ステージと第 2ステージとからなり、前記 第 1ステージと前記第 2ステージとを共に回転させる回転機構と、前記回転機構に固 定され、前記第 1ステージのみを昇降させる昇降機構と、前記第 2ステージに設けら れた前記基板収納容器を固定するクランプと、を備えたロードポートにおいて、前記 基板収納容器が前記ステージに載置されるステップと、前記第 1ステージに設けられ たクランプ力クランプ動作するステップと、前記ステージが下降動作するステップと、 前記ステージが回転動作するステップと、前記ステージがドッキング動作するステツ プと、を含むことを特徴とするものである。
請求項 12に記載の発明は、前記任意のステップにおける動作が所定のインター口 ック条件を満たした後、他のステップが実行されることを特徴とするものである。
請求項 13に記載の発明は、前記所定のインターロック条件は、前記動作が所定の 位置に到達したことを検出する位置検出センサの検出信号出力であることを特徴と するものである。
請求項 14に記載の発明は、前記所定のインターロック条件は、タイマによる所定の 時間経過であることを特徴とするものである。
発明の効果
[0006] 請求項 1または 2に記載の発明によると、ステージが回転するため、基板収納容器 の載置方向に制約が無ぐロードポートが接続される装置の形態に応じて柔軟に対 応できる。また、ステージ自体が昇降、回転動作を行うためコンパクトである。
また、請求項 3、 4、 5、 9、 10、 11、 12、 13に記載の発明によると、ロードポート各軸 の動作を同時に行うことができるので、動作効率が高ぐスループットが向上する。 図面の簡単な説明
[0007] [図 1]本発明の第 1実施例を示すロードポートの斜視図
[図 2]本発明のロードポートの昇降動作を示す側面図
[図 3]本発明のロードポートの昇降回転機構を示す説明図
[図 4]従来のロードポートを示す斜視図
符号の説明
[0008] 11 ドア
12 ステージ
13 クランプ
15a、 15b 吸着手段
16a、 16b ラッチキー
31 ロータリシリンダ
32 プーリ 33 ベノレト
34 プーリ
35 部材
36 リフトステージ
37a, 37b、 37c キネマチックピン
38 ドックステージ
39 エアシリンダ
発明を実施するための最良の形態
[0009] 以下、本発明の実施の形態について図を参照して説明する。
実施例 1
[0010] 図 1は、本発明のロードポートの斜視図である。図において、 12は FOUP等の基板 収納容器を載置するステージである。 13は、載置された基板収納容器を固定するた めのクランプである。 15a, 15bは、基板収納容器の蓋を吸着するための吸着手段で ある。 16a, 16bは、基板収納容器の蓋のキーを開閉するためのラッチキーである。 1 1はステージ 12に載置された基板収納容器の蓋を開閉するためのロードポートドア である。
[0011] 図 2は、本発明のロードポートの側面図である。本ロードポートのステージ 12は昇降 手段 (リフト軸)を備えており、ステージ 12が昇降可能な構成となっている。図におい て、（a)はリフト軸が降下した状態を示し、（b)は上昇した状態を示している。また、図 示しないが、ステージ 12は、回転軸を備えており、ステージ 12が回転可能な構成と なっている。ステージ 12の内部は、後述するリフトステージ 36とドックステージ 38で構 成されている。
ここで、本発明が特許文献 1と異なる点は、ステージ 12自体が昇降と回転を行い、 搭載板と搭載板の回転 ·昇降手段の制御部を収めた支持片を不要とした点である。
[0012] 図 3は、本発明のロードポートの昇降 ·回転を行うための内部機構を示す説明図で ある。なお、破線はカバーを示している。図において、 36は第 1ステージであって、本 実施例においてはリフトステージである。リフトステージ 36は、エアシリンダ 39の本体 側に固定されており、エアシリンダ 39の駆動に伴って、リフトステージ 36は昇降する。 37はキネマチックピンであり、リフトステージ 36に固定されている。キネマチックピン 3 7a、 37cは、載置された基板収納容器の位置決めを行うためのもので、従来のものと 同一である。 31はロータリシリンダであり、圧空によって回転駆動される。一方、ロー タリシリンダ 31は、プーリ 32、ベルト 33およびプーリ 34で構成されるベルト'プーリ機 構を駆動する。 35は、プーリ 34に固定された部材であり、エアシリンダ 39のシャフト が固定されている。 38は第 2ステージであって、本実施例においてはドックステージ である。ドックステージ 38は、フレーム（図示しない）を介して部材 35に固定されてい る。ロータリシリンダ 31は、リニアガイド（図示しない）に取り付けられ、部材 35は軸受 けを介して同一のリニアガイドに取り付けられている。すなわち、エアシリンダ 39、部 材 35、リフトステージ 36およびドックステージ 38は、一体的に紙面左右方向に移動 する。また、クランプ（図示しない）および正常載置センサ（図示しない）は、ドックステ ージ 38に設けられている。したがって、クランプおよび正常載置センサは、リフトステ ージ 36が上昇した状態においては、ステージ 12の中に埋没した状態となり、外部か らは視認できない。
次に、ステージの昇降 ·回転動作について説明する。エアシリンダ 39が駆動されて シャフトが押し出されると、エアシリンダ 39の本体が上昇すると共に、エアシリンダ 39 の本体に固定されたリフトステージ 36が上昇する。反対にエアシリンダ 39が駆動され てシャフトを引き込むと、リフトステージ 36は降下する。すなわち、エアシリンダ 39の 駆動に伴い、リフトステージ 36は昇降する。
一方、ロータリシリンダ 31が回転駆動されると、プーリ 32、ベルト 33およびプーリ 34 で構成されるベルト'プーリ機構を駆動し、プーリ 34に固定された部材 35を回転させ る。部材 35の回転とともに、エアシリンダ 39に固定されたリフトステージ 36が回転す る。ここで、部材 35の回転中心は、ステージ 12の中心に対してオフセットしているた め、ステージ 12は、偏心して回転する。ステージ 12を偏心回転させるのは、隣接して 設置されたロードポートに載置された基板収納容器が互 ヽに干渉しな 、ようにするた めであり、本実施例においては、ステージ 12に載置された基板収納容器自体の旋回 (回転)領域を直径 505mm以内に抑えて 、る。
なお、ステージ 12の昇降 ·回転動作を別個に説明したが、昇降'回転動作は同時 に行うことも可能である。
[0014] 次に、基板収納容器の蓋がロードポートドア 11に対向せずに載置されたときのロー ドポート全体の動作、特に基板収納容器のオープン動作について説明する。基板収 納容器のオープン動作は、ステージ 12 (リフトステージ 36)が上昇した状態を初期状 態として、以下の手順で行われる。
(1)基板収納容器がステージ 12に載置される。
(2)ステージ 12 (リフトステージ 36)が下降する。
(3)クランプが基板収納容器をクランプする (クランプ動作)。
(4)基板収納容器を載置した状態でステージ 12が回転し、基板収納容器の取出口 側力 ロードポートドアェェに対向する（回転動作)。
(5)ステージ 12が図 3の紙面右方向に移動し、基板収納容器の蓋がロードポートドア 11にドッキングする（ドッキング動作)。
(6)吸着手段 15a、 15bが基板収納容器の蓋を吸着する。
(7)ラッチキー 16a、 16bが基板収納容器のキーを回してドアのロックを解除する。 以降の動作は、従来のロードポートと同一であるので、省略する。なお、上記手順（
4)および（5)は同時に行っても良い。
[0015] ここで、基板収納容器の蓋がロードポートドアに対向して載置される場合は、上記 手順 (4)の動作は不要である。また、オペレータがマニュアルで手順（1)を実行する 場合は、初期状態としてステージ 12 (リフトステージ 36)を上昇させること、および手 順 (2)も不要となる。すなわち、基板収納容器の載置方法に応じて上記手順を取捨 選択することで、柔軟に対応することができ、反転機能のない従来のロードポート同 様に取り扱うこともできる。
以上のように、本実施例におけるロードポートは、ステージが回転するため、基板収 納容器の載置方向に制約が無ぐロードポートが接続される装置の形態に応じて柔 軟に対応できる。また、ステージ自体が昇降、回転動作を行うためコンパクトであり、 フットプリントを小さくできる。
実施例 2
[0016] 次に、本発明の第 2実施例となるロードポートについて説明する。本実施例におけ るロードポートは、クランプがリフトステージに設けられている。それ以外の構成は、第
1実施例と同一であるので、詳細な説明は省略する。
そして、基板収納容器のオープン動作は以下の手順で行われる。
(1)基板収納容器がステージ 12に載置される。
(2)クランプが基板収納容器をクランプする (クランプ動作)。
(3)ステージ 12 (リフトステージ 36)が下降する。
(4)基板収納容器を載置した状態でステージ 12が回転し、基板収納容器の取出口 側力 ロードポートドアェェに対向する（回転動作)。
(5)ステージ 12が図 3の紙面右方向に移動し、基板収納容器の蓋がロードポートドア 11にドッキングする（ドッキング動作)。
[0017] 以降は第 1実施例と同様であるので省略する。なお、上記手順 (2)〜（5)の動作は 、同時に行ってもよい。また、手順（3)〜（5)の任意の動作を選択して同時に行って もよい。ただし、ドッキング動作が他の動作よりも短時間で完了する場合には、基板収 納容器がロードポート本体に干渉することを避けるために、手順（5)においてドッキン グ動作完了前に手順 (3)、（4)の全ての動作を完了しておく必要がある。
[0018] 上記手順の動作を同時に行う一例として、回転動作 (手順 (4) )とドッキング動作（ 手順（5) )のみを同時に行う場合について説明する。ここで、ドッキング動作は回転動 作よりも短時間で完了するものとし、インターロックとしてステージが所定の回転位置 に到達したことを検出する検出手段が設けられているものとする。
まず、手順 (3)実行完了後、ロードポートのコントローラは、回転動作指令を出して ステージ 12を回転させる。次に、ステージが所定の回転位置に到達すると、検出手 段はコントローラに対して信号 (インターロック信号)を出力する。次に、コントローラは 出力された信号を受け、ドッキング指令を出す。その後は、回転動作とともにドッキン グ動作が同時に行われる。
このように回転動作中にドッキング動作を開始することで、回転動作とドッキング動 作を個別に行うよりも動作時間が短くなり、動作効率が向上する。
[0019] なお、上記検出手段は、所定の位置に到達したことを検出する位置センサであって も良い。また、上記各動作の開始指令力 の時間をタイマ監視し、所定の時間経過 をもって、検出とみなしても良い。いずれにせよ、回転動作中にドッキングが先に完了 して基板収納容器がロードポートに干渉することが無いような位置を検出できるもの であれば、任意でよい。
また、同時動作は上記回転動作とドッキング動作に限られるものではなぐ任意の 他の軸の組合せであっても良い。さらには、 2軸の同時動作に限られるものではなぐ 複数の軸を同時動作させても良い。
[0020] 以上のように、本実施例におけるロードポートは、クランプがリストステージに設けら れているため、基板収納容器をクランプ後、ドッキングまで動作を同時に実行できる ので動作効率が良ぐスループットが向上する。
[0021] なお、上記 2つの実施例において、本発明のロードポートはエアシリンダを駆動手 段としているが、電気モータを駆動手段としても良い。
また、ステージ 12を回転させる機構は、ベルト'プーリ機構としているが、本機構に よらず、ロータリシリンダによるダイレクトドライブとしても良い。

Claims

請求の範囲
[1] 基板収納容器を載置するためのステージと、
前記ステージを移動させる移動機構と、
前記ステージを回転させる回転機構と、
前記ステージを昇降させる昇降機構と、を備え、
前記載置された基板収納容器の蓋を開閉することを特徴とするロードポート。
[2] 基板収納容器を載置するための、第 1ステージと第 2ステージとを少なくとも有するス テージと、
前記ステージを移動させる移動機構と、
前記第 1ステージと前記第 2ステージとを共に回転させる回転機構と、
前記回転機構に固定され、前記第 1ステージのみを昇降させる昇降機構と、 前記第 2ステージに設けられた前記基板収納容器を固定するクランプと、を備え、前 記載置された基板収納容器の蓋を開閉することを特徴とするロードポート。
[3] 前記第 1ステージに、前記基板収納容器を固定するクランプを備えたことを特徴とす る請求項 2記載のロードポート。
[4] 前記移動機構、前記回転機構、前記昇降機構または前記クランプの!/、ずれかが、所 定の位置に到達したことを検出する位置センサを備えたことを特徴とする請求項 2乃 至 3いずれかに記載のロードポート。
[5] 前記移動機構、前記回転機構、前記昇降機構または前記クランプ!/、ずれかの動作 開始力 の時間経過を監視するタイマを備えたことを特徴とする請求項 2乃至 3いず れかに記載のロードポート。
[6] 前記ステージは、前記回転機構によって偏心回転することを特徴とする請求項 1乃 至 3いずれかに記載のロードポート。
[7] 前記回転機構は、ロータリシリンダと、
ベルト'プーリ機構と、を備えることを特徴とする請求項 6記載のロードポート。
[8] 前記ロータリシリンダに代えて、電気モータとしたことを特徴とする請求項 7記載の口 ードポート。
[9] 前記昇降機構は、エアシリンダであることを特徴とする請求項 8記載のロードポート。
[10] 基板収納容器を載置するためのステージと、前記ステージを移動させる移動機構と、 を備え、前記載置された基板収納容器の蓋を開閉するロードポートであって、前記ス テージは第 1ステージと第 2ステージとからなり、前記第 1ステージと前記第 2ステージ とを共に回転させる回転機構と、前記回転機構に固定され、前記第 1ステージのみを 昇降させる昇降機構と、前記第 2ステージに設けられた前記基板収納容器を固定す るクランプと、を備えたロードポートにおいて、
前記基板収納容器が前記ステージに載置されるステップと、
前記ステージが下降動作するステップと、
前記第 2ステージに設けられたクランプがクランプ動作するステップと、
前記ステージが回転動作するステップと、
前記ステージがドッキング動作するステップと、を含むことを特徴とするロードポートの 制御方法。
[11] 基板収納容器を載置するためのステージと、前記ステージを移動させる移動機構と、 を備え、前記載置された基板収納容器の蓋を開閉するロードポートであって、前記ス テージは第 1ステージと第 2ステージとからなり、前記第 1ステージと前記第 2ステージ とを共に回転させる回転機構と、前記回転機構に固定され、前記第 1ステージのみを 昇降させる昇降機構と、前記第 2ステージに設けられた前記基板収納容器を固定す るクランプと、を備えたロードポートにおいて、
前記基板収納容器が前記ステージに載置されるステップと、
前記第 1ステージに設けられたクランプがクランプ動作するステップと、
前記ステージが下降動作するステップと、
前記ステージが回転動作するステップと、
前記ステージがドッキング動作するステップと、を含むことを特徴とするロードポートの 制御方法。
[12] 前記任意のステップにおける動作が所定のインターロック条件を満たした後、他のス テツプが実行されることを特徴とする請求項 10乃至 11いずれかに記載のロードポー トの制御方法。
[13] 前記所定のインターロック条件は、前記動作が所定の位置に到達したことを検出する 位置検出センサの検出信号出力であることを特徴とする請求項 12記載のロードポー トの制御方法。
前記所定のインターロック条件は、タイマによる所定の時間経過であることを特徴とす る請求項 12記載のロードポートの制御方法。
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