KR100556246B1 - 진공장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 개폐유닛을 통해 진공챔버의 상부에 마련되어 있는 리드(Lid)를 용이하게 개폐할 수 있도록 한 진공장치에 관한 것이다.

본 발명에 따르면, 진공챔버와; 상기 진공챔버의 상부에 마련되는 리드와; 상기 리드를 개폐하는 개폐유닛을 포함하는 진공장치에 있어서, 개폐유닛(30)은 베이스부(40)와; 베이스부(40)에 마련되는 승강가이드부(50)와; 승강가이드부(50)의 상측에 마련되는 회전가이드부(60)와; 승강가이드부(50)에 연결되며, 일단부는 회전가이드부(60)에 인접하게 위치하고 타단부는 리드(20)와 결합되어 승강가이드부(50)를 승강하여 상기 리드(20)를 일정거리 직동 및 회동 개폐하는 링크부(70)와; 베이스부(40)에 마련되며, 승강가이드부(50)를 승강시키는 구동부(80)를 포함하여 구성된다. 이에 따라, 직동형 및 회동형 개폐유닛의 장점을 동시에 구현할 수 있어, 진공장치의 기능성을 향상시킬 수 있다.

진공챔버, 리드, 베이스부, 회전가이드부, 승강가이드부, 링크부

Description

진공장치 {VACUUM APPARATUS}

도 1의 (a),(b)는 종래 진공장치의 작동상태를 개략적으로 도시한 측면도이고,

도 2는 본 발명에 따른 진공장치의 사시도이고,

도 3은 본 발명에 따른 진공장치의 개폐유닛을 도시한 사시도이고

도 4는 본 발명에 따른 진공장치의 개폐유닛을 도시한 단면도이고,

도 5의 (a),(b),(c),(d)는 본 발명에 따른 진공장치의 작동상태이다.

< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >

10 : 진공챔버 20 : 리드

30 : 개폐유닛 40 : 베이스부

50 : 승강가이드부 52 : 수직가이드

54 : 수직슬라이더 60 : 회전가이드부

62 : 수평가이드 64 : 수평슬라이더

70 : 링크부 72 : 제1링크

74 : 제2링크 76 : 회동샤프트

80 : 구동부 82 : 모터

84 : 볼스크류 86 : 풀리

88 : 핸들

본 발명은 진공장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 개폐유닛을 통해 진공챔버의 상부에 마련되어 있는 리드(Lid)를 용이하게 개폐할 수 있도록 한 진공장치에 관한 것이다.

일반적으로, 진공장치는 진공상태에서 프로세스(process)가 진행되는 반도체 설비에 주로 사용되며, LCD 기판 및 반도체 웨이퍼 등과 같은 피처리체를 처리하기 위한 것이다.

이러한 진공장치는 개방부가 형성되어 있는 진공챔버와, 진공챔버의 개방부에 개폐 가능하도록 설치되는 리드 및 리드를 선택적으로 개폐하는 개폐유닛을 포함하여 구성된다. 특히, 개폐유닛은 그 개폐방식에 따라 직동형 및 회동형 구조로 구분된다.

종래의 회동형 개폐유닛은 도 1a에 도시된 바와 같이, 개폐의 대상이 되는 리드(2)와; 회전운동을 하는 액츄에이터(4)와; 액츄에이터(4)와 연결되어, 액츄에이터(4)의 회전력을 리드(2)로 전달하여 리드(2)를 회동 개폐하는 링크(6)를 포함 하여 구성된다.

그러나 이러한 회동형 개폐유닛은 리드(2)를 닫을 때 진공챔버(미도시)의 기밀을 유지할 수 있도록 리드(2)와의 접촉부에 설치된 밀폐형 오링에 손상을 가져올 수 있으며, 조립시 오차발생율이 상대적으로 높아 진공챔버와의 수평상태가 틀어져 진공챔버의 내부가 완전히 밀폐되지 않는 경우가 발생될 가능성이 높다. 따라서, 작업의 효율성이 저하될 뿐 아니라 유지보수의 횟수 및 그에 따른 비용이 증가되는 문제점이 있다.

또한, 직동형 개폐유닛은 도 1b에 도시된 바와 같이, 개폐의 대상이 되는 리드(2)와; 회전운동을 하는 액츄에이터(4)와; 액츄에이터(4)와 연결되어, 액츄에이터(4)의 회전운동을 직선운동으로 변환하는 볼스크류(5)와; 볼스크류(5)와 연결되어, 볼스크류(5)의 직선운동을 리드(2)로 전달하여 리드(2)를 직동 개폐하는 링크(6)를 포함하여 구성된다.

그러나 이러한 직동형 개폐유닛은 리드(2)의 개방시 작업자의 작업공간을 충분히 확보하기 위해 큰 이동량이 요구되는 문제점이 있다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로, 개폐유닛의 개폐동작을 개선함으로써 진공챔버의 기능성 및 효율성을 향상시킬 수 있는 진공장치를 제공하고자 하는 데 그 목적이 있다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 진공챔버와; 상기 진공챔버의 상부에 마련되는 리드와; 상기 리드를 개폐하는 개폐유닛을 포함하는 진공장치에 있어서, 상기 개폐유닛은 베이스부와; 상기 베이스부 상에 마련되는 승강가이드부와; 상기 승강가이드부의 상측에 마련되는 회전가이드부와; 상기 승강가이드부에 연결되며, 일단부는 상기 회전가이드부에 인접하게 위치하고 타단부는 상기 리드와 결합되어 상기 승강가이드부를 따라 승강하여 상기 리드를 일정거리 직동 및 회동 개폐하는 링크부와; 상기 베이스부에 마련되며, 상기 승강가이드부를 승강시키는 구동부를 포함하여 구성되는 데 그 특징이 있다.

상기 링크부는 상기 승강가이드부의 양측에 연결되며, 일단부는 상기 회전가이드부에 인접하게 위치하고 타단부는 상기 리드와 결합되는 제1,2링크와; 상기 제1,2링크 각각의 일단부 사이에 연결되어 상기 승강가이드부에 지지되며, 상기 승강가이드부의 일정거리 승강에 의해 상기 회전가이드부에 지지 회동하는 회동샤프트를 포함하는 것이 바람직하다.

상기 승강가이드부는 상기 베이스부에 설치되는 수직가이드와; 상기 제1,2링크와 연결되어 상기 수직가이드에 승강 가능하도록 결합되며, 상기 제1,2링크를 상기 수직가이드를 따라 직선운동 가능하게 하는 수직슬라이더를 포함하는 것이 바람직하다.

상기 회전가이드부는 상기 수직가이드에 연결되어, 상기 회동샤프트의 상측에 위치하는 수평가이드와; 상기 수평가이드에 슬라이딩 가능하도록 결합되며, 상 기 수직슬라이더의 승강에 따른 상기 회동샤프트의 지지 회동에 의해 상기 수평가이드를 따라 슬라이딩 이동되는 수평슬라이더를 포함하는 것이 바람직하다.

상기 수평슬라이더는 상기 회동샤프트가 선택적으로 수용되는 수용홈을 갖는 것이 바람직하다.

상기 구동부는 모터와; 상기 수직슬라이더에 관통 설치되어, 회전에 의해 상기 수직슬라이더를 상기 수직가이드를 따라 직선운동시키는 볼스크류와; 상기 모터 및 상기 볼스크류와 연결되어, 상기 모터의 회전력을 상기 볼스크류에 전달하는 풀리를 포함하는 것이 바람직하다.

상기 구동부는 상기 볼스크류의 상부에 결합되어, 상기 볼스크류를 수동으로 회전시킬 수 있는 핸들을 더 포함하는 것이 바람직하다.

상기 구동부는 상기 수직슬라이더와 연결되어, 상기 수직슬라이더를 상기 수직가이드를 따라 직선운동시키는 실리더형 액츄에이터를 사용할 수 있음은 물론이다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하면 다음과 같다.

도 2는 본 발명에 따른 진공장치의 사시도이고, 도 3은 본 발명에 따른 진공장치의 개폐유닛을 도시한 사시도이고, 도 4는 본 발명에 따른 진공장치의 개폐유닛을 도시한 단면도이다.

도면에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 진공장치는 진공챔버(10)와; 진공 챔버(10)의 상부에 마련되는 리드(Lid)(20)와; 리드(20)와 연결되어, 리드(20)를 선택적으로 개폐하는 개폐유닛(30)을 포함하여 구성된다.

진공챔버(10)는 상부가 개방된 원통형 구조를 지니고 있으며, LCD 기판 및 반도체 웨이퍼 등과 같은 피처리체를 처리하기 위해 리드(10) 폐쇄시에는 진공상태를 유지할 수 있도록 설계되어 있다.

리드(20)는 진공챔버(10)에 개폐 가능하도록 결합되며, 리드(20) 자체가 상당한 중량을 가지므로 수동으로는 개폐하기가 어려워 대부분 별도의 개폐유닛(30)을 통해 자동 또는 반자동으로 개폐된다.

개폐유닛(30)은 베이스부(40)와; 베이스부(40)에 마련되는 승강가이드부(50)와; 승강가이드부(50)의 상측에 마련되는 회전가이드부(60)와; 승강가이드부(50)에 연결되며, 일단부는 회전가이드부(60)에 인접하게 위치하고 타단부는 리드(20)와 결합되어 승강가이드부(50)의 승강에 의해 연동됨으로써 리드(20)를 직동 및 회동 개폐하는 링크부(70)와; 베이스부(40)에 마련되며, 승강가이드부(50)를 승강시키는 구동부(80)를 포함하여 구성된다.

베이스부(40)는 플레이트 형상을 지니고 있으며, 진공챔버(10)의 상부에 마련되는 리드(20)와 인접하도록 설치되어 있다.

링크부(70)는 승강가이드부(50)의 양측에 연결되며, 일단부는 회전가이드부(60)에 인접하게 위치하고 타단부는 리드(20)와 결합되는 제1,2링크(72,74)와; 제1,2링크(72,74) 각각의 일단부 사이에 연결되어 승강가이드부(50) 배면에 지지되며, 승강가이드부(50)의 일정거리 승강에 의해 회전가이드부(60)에 지지 회동하는 회동샤프트(76)를 포함한다.

제1,2링크(72,74)는 승강가이드부(50)와 연동되도록 그 양측에 나란히 경사지게 고정 설치되며, 타단부는 제1,2링크(72,74)의 유동에 의해 리드(20)를 개폐할 수 있도록 스크류 등과 같은 결합수단을 통해 견고히 결합된다. 회동샤프트(76)의 구조는 회동 가능한 다양한 형태의 것을 선택적으로 적용할 수 있다. 그리고 제1,2링크(72,74)의 직선운동거리, 즉 회동샤프트(76)가 회전가이드부(60)와 접촉되기 전까지의 이동거리는 필요에 따라 적절히 조절 가능하다.

승강가이드부(50)는 베이스부(40)에 기립 설치되는 수직가이드(52)와; 제1,2링크(72,74)와 연결되어 수직가이드(52)에 승강 가능하도록 결합되며, 제1,2링크(72,74)를 수직가이드(52)를 따라 직선운동 가능하게 하는 수직슬라이더(54)를 포함한다.

수직가이부(52)의 양측에는 수직슬라이더(54)를 안내할 수 있도록 가이드레일(53)이 각각 장착되어 있으며, 제1,2링크(72,74)는 가이드레일(53)을 따라 이동된다.

회전가이드부(60)는 수직가이드(52)에 연결되어, 회동샤프트(76)의 상측에 위치하는 수평가이드(62)와; 수평가이드(62)에 슬라이딩 가능하도록 결합되며, 수직슬라이더(54)의 승강에 따른 회동샤프트(76)의 지지 회동에 의해 수평가이드(62)를 따라 슬라이딩 이동되는 수평슬라이더(64)를 포함한다.

수평슬라이더(64)는 회동샤프트(76)가 선택적으로 수용되는 수용홈(65)을 가지며, 이 수용홈(65)은 회동샤프트(76)가 수용된 상태에서 회전되더라도 이탈되지 않는 구조를 가진다.

구동부(80)는 모터(82)와; 수직슬라이더(52)에 관통 설치되어, 회전에 의해 수직슬라이더(54)를 수직가이드(52)를 따라 직선운동시키는 볼스크류(84)와; 모터 (82) 및 볼스크류(82)와 연결되어, 모터(82)의 회전력을 볼스크류(82)에 전달하는 풀리(86)를 포함한다. 이는 리드(20)를 자동으로 개폐하기 구동부(80)의 일 실시예이며, 필요에 따라 리드(20)의 개폐동작을 사용자가 수동으로 작동시킬 수 있도록 볼스크류(82)의 상부에는 핸들(88)이 장착되어 있다.

또한, 구동부(80)는 수직슬라이더(54)와 연결되어, 수직슬라이더(54)를 수직가이드(52)를 따라 직선운동시킬 수 있는키는 실리더형 액츄에이터를 비롯하여 수직슬라이더(54)를 승강시킬 수 있는 범위 내에서 다양하게 변경 가능하다. 필요에 따라 승강가이드부(50)를 통하지 않고 구동부(80)를 통해 제1,2링크(72,74)를 직접 승강시키는 구조를 채택할 수도 있다.

도 5의 (a),(b),(c),(d)는 본 발명에 따른 진공장치의 개폐유닛 작동상태도로서, 개폐유닛의 닫힘, 수직운동, 수평운동 및 개방에 따른 작동상태를 나타낸 것이다.

도면에 도시된 바와 같이, 개폐유닛(30)에 의해 닫힘 상태를 유지하고 있는 리드(20)를 개방하기 위해 모터(82)를 작동시키게 되면 그 회전력이 풀리(86)를 통해 볼스크류(84)에 전달된다. 이에 따라 제1,2링크(72,74)와 연결되어 있는 수직슬라이더(54)가 수직가이드(52)를 따라 승강됨으로써 제1,2링크(72,74)가 수직방향으 로 이동하게 된다. 이 때, 리드(20)는 제1,2링크(72,74)의 수직방향 이동에 의해 직동 개폐된다.

그리고 제1,2링크(72,74)가 수직슬라이더(52)의 승강에 의해 일정거리 수직방향으로 이동함에 따라 제1,2링크(72,74) 각각의 일단부에 연결되어 있는 회동샤프트(76)가 수평슬라이더(64)에 접촉 지지되고, 이 지점에서 제1,2링크(72,74)는 수평슬라이더(64)에 의해 직선운동에서 회전운동으로 변환된다. 이 때, 리드(20)는 제1,2링크(72,74)의 회전운동에 의해 리드(20)가 완전히 개방될 때까지 회동 개폐되며, 수평슬라이더(64)는 제1,2링크(72,74)가 회전운동으로 변환할 수 있도록 수평가이드(62)를 따라 슬라이딩 이동하게 된다.

한편, 리드(20)의 닫힘동작은 상기에서 설명한 개방동작의 역순으로 진행하면 된다.

이상에서 설명한 바와 같이 본 발명에 따르면, 직동형 및 회동형 유닛의 장점을 동시에 구현함으로써, 기능성을 향상시킬 수 있을 뿐 아니라 리드를 폐쇄할 때 수직운동구조를 적용하여 오링의 손상을 방지할 수 있다.

또한, 리드를 개방할 때에는 회전운동구조를 적용하여 공간활용도를 높일 수 있다는 장점이 있다.

Claims (8)

1. 진공챔버와; 상기 진공챔버의 상부에 마련되는 리드와; 상기 리드를 개폐하는 개폐유닛을 포함하는 진공장치에 있어서,

   상기 개폐유닛은,

   베이스부와;

   상기 베이스부 상에 마련되는 승강가이드부와;

   상기 승강가이드부의 상측에 마련되는 회전가이드부와;

   상기 승강가이드부에 연결되며, 일단부는 상기 회전가이드부에 인접하게 위치하고 타단부는 상기 리드와 결합되어 상기 승강가이드부를 따라 승강하여 상기 리드를 일정거리 직동 및 회동 개폐하는 링크부와;

   상기 베이스부에 마련되며, 상기 승강가이드부를 승강시키는 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공장치.
2. 제1항에 있어서,

   상기 링크부는 상기 승강가이드부의 양측에 연결되며, 일단부는 상기 회전가이드부에 인접하게 위치하고 타단부는 상기 리드와 결합되는 제1,2링크와; 상기 제1,2링크 각각의 일단부 사이에 연결되어 상기 승강가이드부에 지지되며, 상기 승강가이드부를 따라 일정거리 승강하여 상기 회전가이드부에 지지 회동하는 회동샤프트를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공장치.
3. 제2항에 있어서,

   상기 승강가이드부는 상기 베이스부에 설치되는 수직가이드와; 상기 제1,2링크와 연결되어 상기 수직가이드에 승강 가능하도록 결합되며, 상기 제1,2링크를 상기 수직가이드를 따라 직선운동 가능하게 하는 수직슬라이더를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공장치.
4. 제3항에 있어서,

   상기 회전가이드부는 상기 수직가이드에 연결되어, 상기 회동샤프트의 상측에 위치하는 수평가이드와; 상기 수평가이드에 슬라이딩 가능하도록 결합되며, 상기 수직슬라이더의 승강에 따른 상기 회동샤프트의 지지 회동에 의해 상기 수평가이드를 따라 슬라이딩 이동되는 수평슬라이더를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공장치.
5. 제4항에 있어서,

   상기 수평슬라이더는 상기 회동샤프트가 선택적으로 수용되는 수용홈을 갖는 것을 특징으로 하는 진공장치.
6. 제3항에 있어서,

   상기 구동부는 모터와; 상기 수직슬라이더에 관통 설치되어, 회전에 의해 상 기 수직슬라이더를 상기 수직가이드를 따라 직선운동시키는 볼스크류와; 상기 모터 및 상기 볼스크류와 연결되어, 상기 모터의 회전력을 상기 볼스크류에 전달하는 풀리를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공장치.
7. 제6항에 있어서,

   상기 구동부는 상기 볼스크류의 상부에 결합되어, 상기 볼스크류를 수동으로 회전시킬 수 있는 핸들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 장치.
8. 제3항에 있어서,

   상기 구동부는 상기 수직슬라이더와 연결되어, 상기 수직슬라이더를 상기 수직가이드를 따라 직선운동시키는 실리더형 액츄에이터인 것을 특징으로 하는 진공장치.

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