CN213415524U - 晶圆自动排序机工作台防护装置 - Google Patents

Abstract

本申请涉及一种晶圆自动排序机工作台防护装置，包括工作台、机柜以及机箱，所述工作台内设有空腔，所述工作台的上表面边缘处竖直开设有安装槽，所述工作台上设有防护罩，所述防护罩竖直滑动设置在安装槽内，所述防护罩朝向机箱的一侧与所述机箱贴合，所述防护罩的顶端设有顶盖，所述顶盖可拆卸连接在防护罩上，所述工作台上设有用于带动防护罩竖直方向移动的升降组件。本申请具有减少晶圆粉尘污染，提高晶圆加工质量的效果。

Description

晶圆自动排序机工作台防护装置

技术领域

本申请涉及晶圆生产设备的技术领域，尤其是涉及一种晶圆自动排序机工作台防护装置。

背景技术

晶圆是一种利用硅原料经过研磨、切片、检测等过程最终加工成硅晶片的产品，在晶圆表面可以蚀刻精密的晶体管线路，晶圆广泛应用于半导体电路、电子科技以及信息技术等领域。

晶圆在加工过后，需要经过排序分片，以便后续功能检测。由于晶圆本身极为薄，为了减少晶圆的损毁和污染，目前基本上都是利用晶圆盒进行盛装晶圆。

参照图1，现有一种晶圆自动排序机，其包括机柜1、竖直设置在机柜上表面的机箱2以及设置在机柜1长度方向一侧的工作台3，在工作台3上表面设有若干用于盛装晶圆的晶圆盒4，在机箱2内设有用于对晶圆进行搬运以及检测的机构，工作台3的高度等于机柜1的高度，机箱2朝向工作台3的竖直侧面开设有用于晶圆拿取的拿取口5，从而将晶圆按照顺序进行排序分片并放置在晶圆盒4内。

针对上述中的相关技术，晶圆盒直接放置在工作台上，空气中的灰尘很容易进入到晶圆盒内或者机箱内并沾附在晶圆表面，从而对晶圆盒内或者机箱内的晶圆表面造成尘灰污染，晶圆属于精密级电子器件，受到尘灰污染极大可能造成报废，因此，发明人认为上述方案中存在有对于晶圆盒的保护较差，影响晶圆加工质量的缺陷。

实用新型内容

为了提高晶圆盛装转移晶圆过程中的整洁性，提高晶圆加工过程中的质量，本申请提供一种晶圆自动排序机工作台防护装置。

本申请提供的一种晶圆自动排序机工作台防护装置采用如下的技术方案：

一种晶圆自动排序机工作台防护装置，包括工作台，所述工作台内设有空腔，所述工作台的上表面边缘处竖直开设有安装槽，所述工作台上设有防护罩，所述防护罩竖直滑动设置在安装槽内，所述防护罩朝向机箱的一侧与所述机箱贴合，所述防护罩的顶端设有顶盖，所述顶盖可拆卸连接在防护罩上，所述工作台上设有用于带动防护罩竖直方向移动的升降组件。

通过采用上述技术方案，通过升降组件带动防护罩竖直方向移动，当需要人工拿取晶圆盒时，将顶盖从防护罩上拆卸，然后操控升降组件带动防护罩竖直向下运动，从而将防护罩内的晶圆盒露出来，进而工作人员进行拿取等操作；当只需要机箱内的检测机构以及转移机构进行转移晶圆操作时，启动升降组件，带动防护罩竖直向上运动，直到防护罩将晶圆盒围起来，然后将顶盖安装即可。防护罩有效保证晶圆盒内以及机箱内的晶圆的整洁度，从而减少晶圆的污染，并且可以较方便的控制防护罩的封闭以及开启，使用过程较为方便，防尘效果好。

优选的，所述升降组件包括竖直设置在空腔内的伺服电机、与伺服电机输出轴固定连接的丝杆、螺纹连接在丝杆外侧壁的升降块以及竖直设置在丝杆一侧的滑轨，所述升降块竖直滑动设置在滑轨上，所述伺服电机的输出轴竖直向上设置，所述丝杆长度方向的另一端转动连接在工作台的顶面，所述防护罩底部与升降块固定连接。

通过采用上述技术方案，启动伺服电机，带动丝杆转动，继而带动升降块沿着滑轨进行竖直方向的运动，进一步带动与升降块连接的防护罩进行竖直方向的移动，继而完成防护罩的封闭以及打开功能，丝杆结构使得防护罩竖直方向运行的更加稳定。

优选的，所述防护罩底部内侧壁固定连接有中间框架，所述中间框架朝向升降块的竖直侧壁与升降块固定连接。

通过采用上述技术方案，提供一种升降块与防护罩之间的连接结构，升降块通过中间框架与防护罩连接，中间框架的外侧壁与防护罩的内侧壁固定连接，从而有效增大了升降块与防护罩之间的接触面积，提高了升降块与防护罩之间连接的稳固性，进而使得升降块带动防护罩进行竖直方向的运动时更加平稳。

优选的，所述中间框架与升降块之间可拆卸连接。

通过采用上述技术方案，当防护罩使用一段时间后，其外侧面会积攒一定尘灰，将中间框架与升降块之间设为可拆卸连接，使得防护罩可以较方便的与升降块拆卸，进而进行后续的清洗，维护等工作，保证防护罩的防尘功能。

优选的，所述空腔内竖直设有多根导向杆，所述中间框架上设有多个导向块，所述导向杆竖直贯通导向块设置。

通过采用上述技术方案，导向杆给予中间框架竖直方向的导向作用，使得中间框架竖直方向运行时更加稳定，减少防护罩与安装槽的摩擦，进而避免了安装槽因磨损造成的防尘功能下降的情况。

优选的，拿取口长度方向两端的竖直侧壁上设有密封槽，所述防护罩朝向拿取口的侧面滑动设置在密封槽内。

通过采用上述技术方案，一方面防护罩滑动设置在密封槽内，密封槽对防护罩竖直方向起到一定的导向作用，进而使得防护罩运行的更加稳定以及精确；另一方面，防护罩在封闭状态下，防护罩朝向拿取口的竖直侧边卡接在密封槽内，避免飞尘从两者接触处进入到防尘罩中，进一步提高了防尘罩的密封性能，进一步减少晶圆的污染，提高晶圆生产的质量。

优选的，所述升降组件包括竖直设置在空腔内的电缸以及设置在电缸顶端的顶升板，所述电缸位于空腔中心位置，所述电缸的活塞杆竖直向上设置，所述顶升板与防护罩底部固定连接。

通过采用上述技术方案，提供了另一种升降组件的具体结构，电缸位于顶升板的中心位置，提高了防护罩竖直方向运动的稳定性，利用升降板有效增加防护罩的升降行程。

优选的，拿取口长度方向两竖直侧壁顶端之间转动设有铰接轴，所述顶盖靠近机箱的一侧固定连接在铰接轴上，所述机箱上设有用于带动顶盖绕着铰接轴翻转的翻转组件。

通过采用上述技术方案，顶盖铰接在机箱上，省去了多次拆装顶盖的过程，在封闭状态时，防护罩的顶端抵接在顶盖的底面即可，提高了使用的方便性，翻转组件可以将顶盖翻转，当仅需要部分操作时，只需要将防护罩下降部分高度，然后将顶盖向上翻转部分即可，不用整体下降防护罩，减少飞尘的侵入。

优选的，所述翻转组件包括竖直设置在机箱内的伸缩气缸以及铰接设置在伸缩气缸活塞杆端部的拨动块，所述伸缩气缸的活塞杆竖直向下运动，所述伸缩气缸的缸体铰接设置在机箱内，所述拨动块固定连接在铰接轴的外侧壁。

通过采用上述技术方案，提供了一种翻转组件的具体结构，使用时，启动伸缩气缸，带动拨动块进行竖直方向的运动，进而带动铰接轴绕着自身轴线转动，进一步带动顶盖翻转。利用气缸自动实现翻转的功能，使用更加自动化，更加方便。

优选的，所述防护罩设为透明。

通过采用上述技术方案，方便工作人员时刻了解防护罩内的具体情况，进而使得加工过程被有效监控，保证加工质量。

综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：

1.通过设置安装槽、竖直滑动设置在安装槽内的防护罩、与防护罩拆卸连接的顶盖以及用于带动防护罩竖直方向运动的升降组件，使得升降组件能够带动防护罩较为方便的实现对晶圆盒的封闭以及开启状态，减少灰尘对于晶圆的污染，提高了晶圆加工的质量；

2.通过设置密封槽，进一步提高了防护罩的封闭状态下的密封性能，从而更好的实现防尘功能；

3.通过升降组件与防护罩之间通过中间框架连接，以及设为导向杆以及导向块，使得防尘罩竖直方向的运动更加准确稳定，减少对安装槽的磨损，从而减少尘灰从安装槽中进入到机箱内，提高了防护装置的使用寿命。

附图说明

图1是背景技术中提到的自动排序机的整体结构示意图；

图2是实施例一中的自动排序机的整体结构示意图；

图3是实施例一中主要用于表示工作台内部结构的示意图；

图4是实施例一中主要用于表示升降组件的示意图；

图5是图3中A部分的局部放大图；

图6是实施例一种主要用于表示顶盖翻转组件的结构示意图；

图7是图6中B部分的局部放大图；

图8是实施例二中主要用于表示升降组件的结构示意图。

附图标记说明：1、机柜；2、机箱；3、工作台；4、晶圆盒；5、拿取口；6、安装槽；7、防护罩；8、顶盖；81、连接板；9、升降组件；91、伺服电机；92、丝杆；93、升降块；94、滑轨；96、电缸；97、顶升板；10、中间框架；11、导向杆；12、导向块；13、密封板；131、密封槽；14、铰接轴；15、翻转组件；151、伸缩气缸；152、拨动块；16、稳固块；17、中间板。

具体实施方式

以下结合附图1-8对本申请作进一步详细说明。

实施例一

参照图2，为本申请实施例一中公开的一种晶圆自动排序机工作台防护装置。防护装置包括工作台3，工作台3的高度等于机柜1的高度，工作台3的长度方向平行机柜1的长度方向。

参照图2和图3，在工作台3内设有空腔，在工作台3上表面长度方向远离机箱2的一侧以及长度方向的两端竖直开设有安装槽6，安装槽6之间相互连通，在工作台3上设有防护罩7，防护罩7竖直滑动在安装槽6内。

参照图3和图4，在空腔内设有用于带动防护罩7进行竖直方向运动的升降组件9。升降组件9包括竖直设置在空腔底面的伺服电机91、与伺服电机91的输出轴固定连接的丝杆92、螺纹连接在丝杆92上的升降块93以及竖直设置在丝杆92一侧的滑轨94。滑轨94以及丝杆92均竖直设置，升降块93竖直滑动连接在滑轨94上，滑轨94对升降块93起到限位导向的作用；在滑轨94底部朝向伺服电机91的竖直侧面水平一体连接有稳固块16，丝杆92的底端转动连接在稳固块16中，丝杆92的顶端转动连接在工作台3顶面，防护罩7底部与升降块93固定连接。

参照图4，防护罩7与升降块93之间的具体固定连接的方式为：在防护罩7底部内侧壁螺栓连接有中间框架10，中间框架10朝向升降块93的竖直侧壁与升降块93同样为螺栓连接。为了进一步提高中间框架10竖直方向运动的稳定性，在丝杆92的两侧各竖直设有一根导向杆11，导向杆11顶端固定连接在工作台3的顶面，导向杆11的底端固定连接在工作台3的底面，导向杆11的中点与丝杆92中点之间的连线平行防护罩7的长度方向，在中间框架10朝向丝杆92的竖直侧面螺栓连接有导向块12，导向杆11竖直贯穿导向块12并滑动设置在导向块12内。

参照图3和图5，在机箱2位于拿取口5长度方向两端的竖直侧壁上竖直固定连接有密封板13，在密封板13朝向防护罩7的一面竖直开设有密封槽131，防护罩7朝向机箱2的一面竖直滑动设置在密封槽131内。

参照图6，在拿取口5顶端之间转动设有铰接轴14，铰接轴14的长度方向平行拿取口5的长度方向，顶盖8靠近机箱2的一侧固定连接在铰接轴14上，具体为在铰接轴14上螺栓连接有中间板17，中间板17设为L形，中间板17其中的一个侧边与铰接轴14固定连接，顶盖8长度方向朝向铰接轴14的一侧设有连接板81，中间板17另一侧边与连接板81螺栓连接。

参照图6和图7，机箱2上设有用于带动顶盖8绕着铰接轴14翻转的翻转组件15。翻转组件15包括竖直设置的伸缩气缸151以及铰接设置在伸缩气缸151活塞杆端部的拨动块152，伸缩气缸151的活塞杆竖直向下运动，伸缩气缸151缸体铰接设置在机箱2内，拨动块152固定连接在铰接轴14的外侧壁。当需要翻转顶盖8时，启动伸缩气缸151，带动拨动块152运动，进而带动铰接轴14转动，最终带动顶盖8旋转。

本申请实施例一种晶圆自动排序机工作台防护装置的实施原理为：当需要人工拿取晶圆盒4时，启动伺服电机91，带动丝杆92转动，进而带动升降块93竖直方向向下运动，进一步带动中间框架10竖直向下运动，进一步带动防护罩7下移，即可露出晶圆盒4，工作人员进行拿取等操作；当只需要机箱2内的检测机构以及转移机构进行转移晶圆操作时，启动升降组件9，带动防护罩7竖直向上运动，直到防护罩7将晶圆盒4围起来，然后将顶盖8安装即可。

也可以将防护罩7下移部分高度，将顶盖8翻转从而进行晶圆盒4的局部操作，可以有效减少尘灰进入到晶圆盒4内，具体为：启动伸缩气缸151，带动拨动块152向下运动，进而带动铰接轴14朝向顶盖8的方向转动，最终带动顶盖8向上旋转，从而将顶盖8翻转。

实施例二

参照图8，与实施例一的不同之处在于，升降组件9包括竖直设置在空腔内的电缸96以及固定连接在电缸96顶端的顶升板97，电缸96位于空腔的中心位置，电缸96的活塞杆竖直向上设置，电缸96的缸体底端固定连接在空腔的底面，顶升板97的四周侧壁与防护罩7底部固定连接。

该种结构更为简单，但是稳定性相较于实施例一中较为一般。

以上均为本申请的较佳实施例，并非依此限制本申请的保护范围，故：凡依本申请的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本申请的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种晶圆自动排序机工作台防护装置，包括工作台(3)，其特征在于：所述工作台(3)内设有空腔，所述工作台(3)的上表面边缘处竖直开设有安装槽(6)，所述工作台(3)上设有防护罩(7)，所述防护罩(7)竖直滑动设置在安装槽(6)内，所述防护罩(7)朝向机箱(2)的一侧与所述机箱(2)贴合，所述防护罩(7)的顶端设有顶盖(8)，所述顶盖(8)可拆卸连接在防护罩(7)上，所述工作台(3)上设有用于带动防护罩(7)竖直方向移动的升降组件(9)。

2.根据权利要求1所述的晶圆自动排序机工作台防护装置，其特征在于：所述升降组件(9)包括竖直设置在空腔内的伺服电机(91)、与伺服电机(91)输出轴固定连接的丝杆(92)、螺纹连接在丝杆(92)上的升降块(93)以及竖直设置在丝杆(92)一侧的滑轨(94)，所述升降块(93)竖直滑动设置在滑轨(94)上，所述伺服电机(91)的输出轴竖直向上设置，所述丝杆(92)长度方向另一端转动连接在工作台(3)顶面，所述防护罩(7)底部与升降块(93)固定连接。

3.根据权利要求2所述的晶圆自动排序机工作台防护装置，其特征在于：所述防护罩(7)底部内侧壁固定连接有中间框架(10)，所述中间框架(10)朝向升降块(93)的竖直侧壁与升降块(93)固定连接。

4.根据权利要求3所述的晶圆自动排序机工作台防护装置，其特征在于：所述中间框架(10)与升降块(93)之间可拆卸连接。

5.根据权利要求4所述的晶圆自动排序机工作台防护装置，其特征在于：所述空腔内竖直设有多根导向杆(11)，所述中间框架(10)上设有多个导向块(12)，所述导向杆(11)竖直贯通导向块(12)设置。

6.根据权利要求5所述的晶圆自动排序机工作台防护装置，其特征在于：拿取口(5)长度方向两端的竖直侧壁上设有密封槽(131)，所述防护罩(7)朝向拿取口(5)的侧面滑动设置在密封槽(131)内。

7.根据权利要求1所述的晶圆自动排序机工作台防护装置，其特征在于：所述升降组件(9)包括竖直设置在空腔内的电缸(96)以及设置在电缸(96)顶端的顶升板(97)，所述电缸(96)位于空腔中心位置，所述电缸(96)的活塞杆竖直向上设置，所述顶升板(97)与防护罩(7)底部固定连接。

8.根据权利要求1所述的晶圆自动排序机工作台防护装置，其特征在于：拿取口(5)长度方向两竖直侧壁顶端之间转动设有铰接轴(14)，所述顶盖(8)靠近机箱(2)的一侧固定连接在铰接轴(14)上，所述机箱(2)上设有用于带动顶盖(8)绕着铰接轴(14)翻转的翻转组件(15)。

9.根据权利要求8所述的晶圆自动排序机工作台防护装置，其特征在于：所述翻转组件(15)包括竖直设置在机箱(2)内的伸缩气缸(151)以及铰接设置在伸缩气缸(151)活塞杆端部的拨动块(152)，所述伸缩气缸(151)的活塞杆竖直向下运动，所述伸缩气缸(151)的缸体铰接设置在机箱(2)内，所述拨动块(152)固定连接在铰接轴(14)的外侧壁。

10.根据权利要求1所述的晶圆自动排序机工作台防护装置，其特征在于：所述防护罩(7)设为透明。

Images