KR200241557Y1 - Ｓｍｉｆ 장치의 그리퍼 아암 - Google Patents

Abstract

본 고안은 SMIF 장치의 그리퍼 아암에 관한 것으로서, 가이드 레일(500)에 가이드되어 수평방향으로 이동하는 하우징(610)과; 하우징(610)의 양측에 각각 힌지 결합되어 힌지축(621)이 형성되며, 힌지축(621)에 하방향으로 연장되어 웨이퍼카세트(10)에 형성된 걸림편(11)을 지지하는 지지단(622)이 형성되는 한 쌍의 그립(620)과; 하우징(610)의 내측에 설치되며, 그립(620)을 힌지축(621)을 기준으로 일정 각도로 회전시키는 구동부(630)와; 하우징(630)의 하면에 설치되며, 웨이퍼카세트(10)의 상면이 접하는 것을 감지하여 카세트 감지신호를 출력하는 카세트 감지부(640)와; 하우징(640)의 내측에 설치되며, 그립(620)이 오픈 및 클로즈시 이를 각각 감지하여 오픈 및 클로즈 감지신호를 출력하는 그립 감지부(650)와; 카세트 감지부(640) 및 그립 감지부(650)로부터 각각 출력되는 카세트 감지신호, 오픈 및 클로즈 감지신호를 수신하여 구동부(630)를 제어하는 제어부(660)를 포함하는 것으로서, 웨이퍼카세트를 이송시 그리퍼 아암으로부터 웨이퍼카세트가 이탈되어 반도체웨이퍼가 파손되는 것을 방지하는 효과를 가지고 있다.

Description

ＳＭＩＦ 장치의 그리퍼 아암{GRIPPER ARM OF STANDARD MECHANICAL INTERFACE APPARATUS}

본 고안은 SMIF(Standard Mechanical Interface) 장치의 그리퍼 아암(gripper arm)에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 그리퍼 아암의 그립(grip)이 웨이퍼카세트를 안정되게 지지함으로써 그리퍼 아암이 웨이퍼카세트를 이송시 웨이퍼카세트가 이탈되는 것을 방지하는 SMIF 장치의 그리퍼 아암에 관한 것이다.

일반적으로 SMIF 장치는 좁은 공간의 청정실 등에서 대기 컨트롤 및 프로세스 처리시 인위적인 실수 등을 방지하기 위하여 사용되는 장치로서 반도체 소자를 제조하기 위한 공정을 수행하는 장비의 주변장치이며, 반도체웨이퍼가 저장된 웨이퍼카세트를 단위공정을 수행하기 위하여 반도체 장비에 로딩하거나 언로딩하는데 사용된다.

이와 같은 SMIF 장치를 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다. 도 1은 종래의 SMIF 장치의 개략 단면도이다. 도시된 바와 같이, SMIF 장치는 내측으로 웨이퍼카세트(10)를 수납하는 SMIF 파드(100)와, 웨이퍼카세트(10)를 로딩/언로딩하는 출입구가 형성된 SMIF 포트(200)와, SMIF 파드(100)로부터 SMIF 포트(200)로 또는 그 역으로 웨이퍼카세트(10)를 이송시키는 수직이송플레이트(300)와, 수직이송플레이트(300)에 의해 하방으로 이송된 웨이퍼카세트(10)를 단위공정장비로 로딩/언로딩시키는 그리퍼 아암(400)으로 구성된다.

SMIF 파드(100) 내에 수납된 웨이퍼카세트(10)는 미도시된 구동수단에 의해 구동하는 수직이송플레이트(300)에 의해 하방으로 이송되어 SMIF 포트(200)에 위치하면, SMIF 포트(200) 내에 설치된 가이드 레일(500)을 따라 수평방향으로 이동하는 그리퍼 아암(400)에 의해 SMIF 포트(200)의 출입구를 통해 단위공정장비로 로딩된다. 또한, 이와 반대되는 순서로 웨이퍼카세트(10)는 단위공정장비로부터 언로딩되어 SMIF 장치의 SMIF 파드(100)로 수납된다.

웨이퍼카세트(10)를 단위공정장비로 로딩/언로딩하는 그리퍼 아암(400)을 첨부된 도면을 이용하여 설명하면 다음과 같다. 도 2는 종래의 SMIF 장치의 그리퍼 아암의 정면도이고, 도 3은 종래의 SMIF 장치의 그리퍼 아암의 평단면도이다. 도시된 바와 같이, 그리퍼 아암(400)은 하우징(410)과, 한 쌍의 그립(grip;420)과, 구동부(430)와, 카세트 감지부(440)와, 그립 감지부(450)와, 제어부(미도시)로 구성된다.

하우징(410)은 내부가 공개될 수 있도록 상측에 커버(411)가 볼트 등으로 체결되고, 내부 일측에는 가이드 레일(500)에 슬라이딩 결합되는 연결부재(510)가 결합되며, 양측에는 그립(420)이 슬라이딩 결합된다.

한 쌍의 그립(420)은 서로 대향하도록 하우징(410)의 양측에 일단이 각각 슬라이딩 삽입되는 슬라이드부재(421)와, 슬라이드부재(421)의 타단에 결합되며 웨이퍼카세트(10)에 형성된 걸림편(11)을 지지하는 지지부재(422)로 구성된다.

구동부(430)는 한 쌍의 슬라이드부재(421)의 일단 상면에 각각 형성되는 슬라이드돌기(431)와, 슬라이드돌기(431)가 삽입되는 타원형의 슬라이드홈(432a) 및 원형의 래크(432b)를 각각 하면에 형성함과 아울러 하우징(410)의 내부 저면에 회전가능하도록 결합되는 회전체(432)와, 회전체(432)의 래크(432b)에 결합되는 피니언(433a)이 회전축(433b)에 결합됨과 아울러 하우징(410)의 내부 저면에 장착되는 모터(433)로 구성된다.

카세트 감지부(440)는 하우징(410)의 하면에 대각선 방향으로 두 개의 제 1 및 제 2 카세트 감지센서(441,442)가 설치되며, 제 1 및 제 2 카세트 감지센서(441,442)는 그 하측으로 웨이퍼카세트(10)의 상면이 접하는 경우에 카세트 감지신호를 각각 출력한다.

그립 감지부(450)는 한 쌍의 슬라이드부재(421) 일측에 각각 돌출되도록 접촉돌기(451,452)를 형성하며, 이 접촉돌기(451,452)가 접촉되는 위치에 감지센서(453,454)를 설치하되, 그립(420)이 오픈된 상태에서 하나의 접촉돌기(451)가 접촉하는 위치에 오픈 감지센서(453)를 설치하며, 그립(420)이 클로즈된 상태에서 나머지 접촉돌기(452)가 접촉되는 위치에 클로즈 감지센서(454)를 설치함으로써 오픈 감지센서(453) 및 클로즈 감지센서(454)는 그립(420)이 오픈 및 클로즈됨을 감지하여 오픈 및 클로즈 감지신호를 각각 출력한다.

한편, 제 1 및 제 2 카세트 감지센서(441,442)와 오픈 및 클로즈감지센서(453,454)는 마이크로 스위치(micro switch)가 사용된다.

제어부는 카세트 감지부(440) 및 그립 감지부(450)로부터 각각 출력되는 카세트 감지신호, 오픈 및 클로즈 감지신호를 수신하여 구동부(430)의 모터(433)를 제어한다.

이와 같은 구조로 이루어진 종래의 SMIF 장치의 그리퍼 아암(400)의 동작은 다음과 같이 이루어진다.

그리퍼 아암(400)이 수직이송플레이트(300)에 의해 SMIF 파드(100)로부터 SMIF 포트(200)로 이송된 웨이퍼카세트(10)를 단위공정장비로 이송하기 위해서 먼저, 가이드 레일(500)은 그립(420)이 오픈된 그리퍼 아암(400)과 함께 하강하고, 카세트 감지부(440)는 그리퍼 아암(400)의 하우징(410) 하면에 웨이퍼카세트(10) 상면이 접촉됨을 감지하여 카세트 감지신호를 출력한다.

카세트 감지부(440)로부터 출력된 카세트 감지신호는 제어부가 수신받는데, 제어부는 카세트 감지부(440)의 제 1 및 제 2 카세트 감지센서(441,442)로부터 각각 출력되는 카세트 감지신호를 모두 수신시 구동부(430)의 모터(433)를 구동시켜 회전체(432)를 회전시킴으로써 회전체(432)의 슬라이드홈(432a)에 삽입된 슬라이드돌기(431)에 의해 그립(420)이 하우징(410)의 내측으로 이동한다.

이 때, 슬라이드부재(421)에 형성된 접촉돌기(452)가 클로즈 감지센서(454)에 접촉되면 클로즈 감지센서(454)는 클로즈 감지신호를 출력하고, 출력된 클로즈 감지신호를 제어부가 수신하여 구동부(430)의 모터(433)를 정지시킨다.

따라서, 한 쌍의 슬라이드돌기(431)는 슬라이드홈(432a)의 최소 지름의 양단에 각각 위치되며, 슬라이드부재(421) 간의 간격은 최소가 됨으로써 한 쌍의 그립(420)은 클로즈되어 웨이퍼카세트(10)의 돌출편(11)을 지지하게 된다.

그리퍼 아암(400)의 그립(420)이 웨이퍼카세트(10)의 걸림편(11)을 지지하면 그리퍼 아암(400)은 가이드 레일(500)과 함께 일정 간격 상승한 후, 그리퍼 아암(400)은 가이드 레일(500)을 따라 단위공정장비로 웨이퍼카세트(10)를 이동시키게 된다.

단위공정장비에 웨이퍼카세트(10)를 로딩하기 위해 제어부는 구동부(430)의 모터(433)를 구동시켜 회전체(432)를 회전시킴으로써 회전체(432)의 슬라이드홈(432a)에 삽입된 슬라이드돌기(431)에 의해 한 쌍의 그립(420)은 하우징(410)의 외측으로 이동된다. 이 때, 슬라이드부재(421)에 형성된 접촉돌기(451)가 오픈 감지센서(453)에 접촉되면 오픈 감지센서(453)는 오픈 감지신호를 출력하고, 출력된 오픈 감지신호를 제어부가 수신하여 구동부(430)의 모터(433)를 정지시킨다.

따라서, 한 쌍의 슬라이드돌기(431)는 회전체(432)의 슬라이드홈(432a)의 최대 지름의 양단에 각각 위치되며, 슬라이드부재(421) 간의 간격은 최대가 됨으로써 그립(420)은 오픈되어 단위공정장비에 웨이퍼카세트(10)를 로딩하게 된다.

이와 같은 SMIF 장치의 그리퍼 아암(400)은 웨이퍼카세트(10)를 정확하게 지지하여 이동하여야 함에도 불구하고 다음과 같은 문제점이 있다.

첫째, 그립(420)의 수평이동거리, 즉 유격(d)이 작기 때문에 웨이퍼카세트(10)가 로딩/언로딩되는 장소에 얼라인(align)이 불량한 상태로 놓이게 되는 경우 그립(420)이 웨이퍼카세트(10)를 지지하기 위해 클로즈될 때 웨이퍼카세트(10)를 끌고 나옴으로써 제대로 지지하지 못하여 이송시 웨이퍼카세트(10)를 추락시키게 된다.

따라서, 이러한 문제를 해결하기 위해 회전체(432)의 장반경대 단반경의 비를 크게 하기 위하여 그립(420)의 유격(d)을 크게 할 경우 회전체(432)는 그 크기가 커져 하우징(410) 내에 장착되기 힘들며, 또한 회전체(432)의 장반경대 단반경의 비가 커짐으로써 슬라이드돌기(431)가 회전체(432)의 슬라이드홈(432a)내에서 제대로 슬라이딩되기 어려워 회전체(432)가 원활하게 회전하지 못하게 되어 회전체(432)의 슬라이드홈(432a) 또는 슬라이드돌기(431)가 파손될 우려가 있다.

둘째, 그립(420)의 이동이 수평방향으로만 한정되어 있어 가이드 레일(500)이 적정 높이까지 하강하지 못하는 경우 그립(420)의 지지부재(422)가 웨이퍼카세트(10)의 걸림편(11)을 제대로 지지하지 못하게 된다.

따라서, 이와 같은 문제를 해결하기 위하여 그립(420)의 수직높이를 크게 할 경우 웨이퍼카세트(10)의 운반중에 웨이퍼카세트(10)가 그립(420)으로부터 쉽게 이탈되는 문제가 발생된다.

본 고안은 상술한 종래의 문제점을 해결하기 위한 필요성에 의한 것으로서, 본 고안의 목적은 그립이 웨이퍼카세트를 안정되게 지지함으로써 그리퍼 아암이 웨이퍼카세트를 이송시 그리퍼 아암으로부터 웨이퍼카세트가 이탈되어 반도체웨이퍼가 파손되는 것을 방지하여 장비가동율의 향상 및 반도체 소자의 생산성을 증가시키는 SMIF 장치의 그리퍼 아암을 제공하는데 있다.

이와 같은 목적을 실현하기 위한 본 고안은, 가이드 레일에 가이드되어 수평방향으로 이동하는 하우징과; 하우징의 양측에 각각 힌지 결합되어 힌지축이 형성되며, 힌지축에 하방향으로 연장되어 웨이퍼카세트에 형성된 걸림편을 지지하는 지지단이 형성되는 한 쌍의 그립과; 하우징의 내측에 설치되며, 그립을 상기 힌지축을 기준으로 일정 각도로 회전시키는 구동부와; 하우징의 하면에 설치되며, 웨이퍼카세트의 상면이 접하는 것을 감지하여 카세트 감지신호를 출력하는 카세트 감지부와; 하우징의 내측에 설치되며, 그립이 오픈 및 클로즈시 이를 각각 감지하여 오픈 및 클로즈 감지신호를 출력하는 그립 감지부와; 카세트 감지부 및 그립 감지부로부터 각각 출력되는 카세트 감지신호, 오픈 및 클로즈 감지신호를 수신하여 구동부를 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 한다.

도 1은 종래의 SMIF 장치의 개략 단면도,

도 2는 종래의 SMIF 장치의 그리퍼 아암의 정면도,

도 3은 종래의 SMIF 장치의 그리퍼 아암의 평단면도,

도 4는 본 고안에 따른 SMIF 장치의 그리퍼 아암의 사시도,

도 5는 본 고안에 따른 SMIF 장치의 그리퍼 아암의 평단면도,

도 6은 도 5의 A-A'선에 따른 단면도,

도 7은 본 고안에 따른 SMIF 장치의 그리퍼 아암의 제어 블록도,

도 8은 본 고안에 따른 SMIF 장치의 그리퍼 아암의 그립 감지부를 나타낸 도면이다.

< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >

10 : 웨이퍼카세트 11 : 걸림편

600 : 그리퍼 아암 610 : 하우징

620 : 그립 621 : 힌지축

622 : 지지단 630 : 구동부

631 : 모터 632 : 벨트연결홈

633 : 벨트 640 : 카세트 감지부

650 : 그립 감지부 651 : 오픈 감지돌기

652 : 클로즈 감지돌기 653 : 센서장착부재

654 : 발광소자 655 : 수광소자

660 : 제어부

이하, 본 고안의 가장 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 본 고안의 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 더욱 상세히 설명하기로 한다.

도 1과 동일한 부분에 대해서는 동일부호를 부여하고 그 설명은 생략하기로 하겠다.

도 4는 본 고안에 따른 SMIF 장치의 그리퍼 아암의 사시도이며, 도 5는 본 고안에 따른 SMIF 장치의 그리퍼 아암의 평단면도이며, 도 6은 도 5의 A-A'선에 따른 단면도이며, 도 7은 본 고안에 따른 SMIF 장치의 그리퍼 아암의 제어 블록도이다. 도시된 바와 같이, SMIF 장치의 그리퍼 아암(600)은 하우징(610)과, 하우징(610)의 양측에 힌지 결합되는 한 쌍의 그립(620)과, 그립(620)을 일정각도로 회전시키는 구동부(630)와, 하우징(610)의 하면에 웨이퍼카세트(10)의 상면이 접촉됨을 감지하는 카세트 감지부(640)와, 그립(620)의 오픈 및 클로즈를 감지하는 그립 감지부(650)와, 구동부(630)를 제어하는 제어부(660)로 구성된다.

하우징(610)은 내부를 개방할 수 있도록 상측에 볼트 등으로 체결되는 커버(611)가 구비되는 육면체로 형성되며, 양측에는 그립(620)이 각각 대향되도록 힌지 결합된다.

그립(620)은 일단이 하우징(610)의 측면에 힌지 결합되어 힌지축(621)을 형성하며, 힌지축(621)에 연장되어 웨이퍼카세트(10)의 걸림편(11)을 지지하는 지지단(622)을 형성한다.

구동부(630)는 하우징(610)의 내측에 설치되며, 한 쌍의 그립(620)을 힌지축(621)을 기준으로 일정 각도로 회전시킨다. 이러한 구동부(630)는 하우징(610) 내측에 풀리(631a)를 결합한 회전축(631b)이 힌지축(621)에 평행하도록 한 쌍의 모터(631)가 장착되고, 그립(620)의 힌지축(621)에 벨트연결홈(632)이 형성되며, 모터(631)의 풀리(631a)와 힌지축(621)의 벨트연결홈(632)에 각각 벨트(633)가 연결된다.

한 쌍의 모터(631)는 도 5에서와 같이, 그 회전축(631b)의 설치방향이 서로 반대를 이루도록 설치될 수 있다. 따라서, 그립(620)을 회전시 한 쌍의 모터(631)의 회전방향은 서로 일치하게 된다.

벨트연결홈(632)에는 벨트(633)가 연결되기 위해서 그립(620)을 관통하는 관통홈(632a)이 형성되며, 벨트(633)는 이 관통홈(632a)을 통과하여 벨트연결홈(632)에 연결된다.

한편, 구동부(630)의 벨트(633)는 타이밍벨트이며, 이러한 타이밍벨트가 결합되는 모터(631)의 풀리(631a) 및 벨트연결홈(632)은 타이밍풀리로 형성되는 것이 바람직하다. 따라서, 모터(632)의 회전력이 타이밍벨트를 따라 그립(620)의 힌지축(621)에 정확하게 전달될 수 있다.

카세트 감지부(640)는 하우징(610)의 하면에 대각선 방향으로 두 개의 제 1 및 제 2 카세트 감지센서(641,642)가 설치되고, 제 1 및 제 2 카세트 감지센서(641,642)는 웨이퍼카세트(10)의 상면이 접촉되는 경우 카세트 감지신호를 각각 출력하며, 제 1 및 제 2 카세트 감지센서(641,642)는 마이크로 스위치(micro switch)가 사용된다.

그립 감지부(650)는 하우징(610)의 내측에 구비되며, 그립(620)이 오픈 및 클로즈시 이를 각각 감지하여 오픈 및 클로즈 감지신호를 출력한다.

이러한 그립 감지부(650)는 도 8a에서와 같이, 각각의 힌지축(621)의 외주면에 오픈 및 클로즈 감지돌기(651,652)가 각각 형성되고, 오픈 및 클로즈 감지돌기(651,652)가 힌지축(621)의 회전에 의하여 순차적으로 삽입되는 'ㄷ'자 형상을 가지는 센서장착부재(653)가 하우징(610) 내부 양측에 각각 설치되며, 센서장착부재(653)의 내측에 소장의 파장을 갖는 빛을 출력하는 발광소자(654)가 구비되며, 발광소자(654)에 대향하도록 센서장착부재(653)의 내측에 발광소자(654)로부터출력되는 빛을 수신함과 아울러 오픈 및 클로즈 감지돌기(651,652)를 각각 감지하여 오픈 및 클로즈 감지신호를 출력하는 수광소자(655)가 구비된다.

한편, 그립 감지부(650)는 도 8b에서와 같이, 센서장착부재(653)의 내측에 제 1 및 제 2 발광소자(656,657)가 상하로 서로 접하도록 구비되며, 제 1 및 제 2 발광소자(656,657)에 각각 대향하도록 그 반대편의 센서장착부재(653)의 내측에 제 1 및 제 2 수광소자(658,659)가 상하로 서로 접하도록 구비될 수 있다. 따라서, 제 1 및 제 2 수광소자(658,659)는 제 1 및 제 2 발광소자(656,657)로부터 출력되는 빛을 수신함과 아울러 오픈 및 클로즈 감지돌기(651,652)를 각각 감지하여 오픈 및 클로즈 감지신호를 각각 출력한다.

또한, 일예로, 발광소자(654,656,657)는 발광다이오드로, 수광소자(655,658,659)는 포토다이오드로 함이 바람직하다.

제어부(660)는 카세트 감지부(640) 및 그립 감지부(650)로부터 각각 출력되는 카세트 감지신호, 오픈 및 클로즈 감지신호를 수신하여 구동부(630)를 제어한다.

이와 같은 구조로 이루어진 SMIF 장치의 그리퍼 아암(600)의 동작은 다음과 같이 이루어진다.

수직이송플레이트(300)에 의해 SMIF 파드(100)로부터 SMIF 포트(200)로 이송된 웨이퍼카세트(10)를 그리퍼 아암(600)이 단위공정장비로 이송하기 위해서 먼저, 가이드 레일(500)은 그립(620)이 오픈된 그리퍼 아암(600)을 하강하되, 하우징(610)의 하면에 설치된 카세트 감지부(640)가 웨이퍼카세트(10)의 상면에 접촉되어 카세트 감지신호를 출력할 때까지 하강한다.

제어부(660)는 카세트 감지부(640)의 제 1 및 제 2 카세트 감지센서(641,642)로부터 각각 출력되는 카세트 감지신호를 모두 수신시 구동부(630)의 모터(631)를 구동시켜 그립(620)이 힌지축(621)을 중심으로 내측으로 회전되도록 하여 그립(620)의 지지단(622)이 웨이퍼카세트(10)의 걸림편(11)을 지지토록 한다.

이 때, 그립(620)이 힌지축(621)을 중심으로 내측으로 회전함으로써 클로즈 감지돌기(652)가 센서장착부재(653)에 구비된 발광소자(654)와 수광소자(655) 사이에 위치하게 되면, 이를 감지하여 수광소자(655)는 클로즈 감지신호를 출력하고, 출력된 클로즈 감지신호를 제어부(660)가 수신하여 구동부(630)의 모터(631)를 정지시킨다.

그리퍼 아암(600)의 그립(620)이 웨이퍼카세트(10)의 걸림편(11)을 지지하면 그리퍼 아암(600)은 가이드 레일(500)과 함께 일정 간격 상승한 후, 그리퍼 아암(600)은 가이드 레일(500)을 따라 단위공정장비로 웨이퍼카세트(10)를 이동시키게 된다.

단위공정장비에 웨이퍼카세트(10)를 로딩하기 위해 제어부(660)는 구동부(630)의 모터(631)를 회전시켜 그립(620)이 힌지축(621)의 중심으로 외측으로 회전되도록 하여 오픈시켜 그립(620)의 지지단(622)이 웨이퍼카세트(10)의 걸림편(11)으로부터 이탈되도록 한다.

이 때, 그립(620)이 힌지축(621)을 중심으로 외측으로 회전함으로써 오픈 감지돌기(651)가 센서장착부재(653)에 구비된 발광소자(654)와 수광소자(655) 사이에 위치하게 되면, 이를 감지하여 수광소자(655)는 오픈 감지신호를 출력하고, 출력된 오픈 감지신호를 제어부(660)가 수신하여 구동부(630)의 모터(631)를 정지시킨다.

한편, 하나의 센서장착부재(653)에 서로 대향되게 두 개씩의 제 1 및 제 2 발광소자(656,657)와, 제 1 및 제 2 수광소자(658,659)를 구비한 경우에는 오픈 감지돌기(651)가 제 1 및 제 2 발광소자(656,657)로부터 출력되는 빛을 동시에 차단함으로써 이를 각각 감지한 제 1 및 제 2 수광소자(658,659)로부터 출력되는 오픈 감지신호를 제어부(660)가 모두 수신한 경우에 제어부(660)는 그립(620)이 오픈된 것으로 인식하여 모터(631)를 정지시키게 된다.

또한, 클로즈 감지돌기(652)도 마찬가지로 제 1 및 제 2 발광소자(656,657)로부터 출력되는 빛을 동시에 차단한 경우에 제어부(660)는 그립(620)이 클로즈 된것으로 인식하여 모터(631)를 정지시키게 된다.

따라서, 그립(620)의 오픈 및 클로즈 상태를 정확하게 감지할 수 있다.

이상과 같이 본 고안의 바람직한 실시예에 따른면 하우징(610)의 외측으로 그립(620)을 오픈시 그립(620)이 힌지축(621)을 기준으로 회전함으로써 종래에 비해 그립(620)의 유격이 커지며, 하우징(610)의 내측으로 그립(620)을 클로즈시 그립(620)의 지지단(622)이 웨이퍼카세트(10)의 걸림편(11)을 아래로부터 감싸듯 지지하므로 웨이퍼카세트(10)를 안전하게 지지할 수 있다.

상술한 바와 같이, 본 고안에 따른 SMIF 장치의 그리퍼 아암은 그립이 웨이퍼카세트를 안정되게 지지함으로써 그리퍼 아암이 웨이퍼카세트를 이송시 그리퍼 아암으로부터 웨이퍼카세트가 이탈되어 반도체웨이퍼가 파손되는 것을 방지하여 장비가동율의 향상 및 반도체 소자의 생산성을 증가시키는 효과를 가지고 있다.

이상에서 설명한 것은 본 고안에 따른 SMIF 장치의 그리퍼 아암을 실시하기 위한 하나의 실시예에 불과한 것으로서, 본 고안은 상기한 실시예에 한정되지 않고, 이하의 실용신안등록청구범위에서 청구하는 바와 같이 본 고안의 요지를 벗어남이 없이 당해 고안이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변경 실시가 가능한 범위까지 본 고안의 기술적 정신이 있다고 할 것이다.

Claims (4)

1. SMIF 장치에 구비된 가이드 레일을 따라 웨이퍼카세트를 단위공정장비로 로딩/언로딩시키는 그리퍼 아암에 있어서,

   상기 가이드 레일에 가이드되어 수평방향으로 이동하는 하우징과;

   상기 하우징의 양측에 각각 힌지 결합되어 힌지축이 형성되며, 상기 힌지축에 하방향으로 연장되어 웨이퍼카세트에 형성된 걸림편을 지지하는 지지단이 형성되는 한 쌍의 그립과;

   상기 하우징의 내측에 설치되며, 상기 그립을 상기 힌지축을 기준으로 일정 각도로 회전시키는 구동부와;

   상기 하우징의 하면에 설치되며, 상기 웨이퍼카세트의 상면이 접하는 것을 감지하여 카세트 감지신호를 출력하는 카세트 감지부와;

   상기 하우징의 내측에 설치되며, 상기 그립이 오픈 및 클로즈시 이를 각각 감지하여 오픈 및 클로즈 감지신호를 출력하는 그립 감지부와;

   상기 카세트 감지부 및 상기 그립 감지부로부터 각각 출력되는 카세트 감지신호, 오픈 및 클로즈 감지신호를 수신하여 상기 구동부를 제어하는 제어부;

   를 포함하는 것을 특징으로 하는 SMIF 장치의 그리퍼 아암.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 구동부는,

   상기 하우징 내측에 풀리를 결합한 회전축이 상기 힌지축에 평행하도록 장착되는 한 쌍의 모터와;

   상기 그립의 힌지축에 형성되는 벨트연결홈과;

   상기 모터의 풀리와 상기 힌지축의 벨트연결홈에 각각 연결되는 한 쌍의 벨트;

   로 이루어지는 것을 특징으로 하는 SMIF 장치의 그리퍼 아암.
3. 제 1 항에 있어서, 상기 그립 감지부는,

   상기 힌지축의 외주면에 각각 형성되는 오픈 및 클로즈 감지돌기와;

   상기 오픈 및 클로즈 감지돌기가 상기 힌지축의 회전에 의하여 순차적으로 삽입되는 'ㄷ'자 형상을 가지는 센서장착부재와;

   상기 센서장착부재의 내측에 구비되며, 소정의 파장을 갖는 빛을 출력하는 발광소자와;

   상기 발광소자에 대향하도록 상기 센서장착부재의 내측에 구비되며, 상기 발광소자로부터 출력되는 빛을 수신함과 아울러 상기 오픈 및 클로즈 감지돌기를 각각 감지하여 오픈 및 클로즈 감지신호를 출력하는 수광소자;

   로 이루어지는 것을 특징으로 하는 SMIF 장치의 그리퍼 아암.
4. 제 3 항에 있어서, 상기 그립감지부는, 상기 센서장착부재의 내측에 제 1 및 제 2 발광소자가 상하로 서로 접하도록 구비되며, 상기 제 1 및 제 2 발광소자에 각각 대향하도록 그 반대편의 상기 센서장착부재의 내측에 제 1 및 제 2 수광소자가 상하로 서로 접하도록 구비되는 것을 특징으로 하는 SMIF 장치의 그리퍼 아암.