KR20070018174A - 반도체 제조 설비의 로드락 챔버 - Google Patents

반도체 제조 설비의 로드락 챔버 Download PDF

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KR20070018174A
KR20070018174A KR1020050072584A KR20050072584A KR20070018174A KR 20070018174 A KR20070018174 A KR 20070018174A KR 1020050072584 A KR1020050072584 A KR 1020050072584A KR 20050072584 A KR20050072584 A KR 20050072584A KR 20070018174 A KR20070018174 A KR 20070018174A
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오정석
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Abstract

본 발명은 반도체 제조 설비의 로드락 챔버에 관한 것으로서, 이를 위하여 본 발명은 아우터 도어와 인너 도어를 구비하는 챔버 바디와, 반도체 기판을 다수 적재한 카세트가 안치되도록 하는 "ㄴ"자 형상의 카세트 안치부재와, 소정의 높이를 승강 가능하게 구비되는 엘리베이터와, 상기 엘리베이터의 상부면 일단부에 회전 가능하게 구비되는 상기 카세트 안치부재를 90°각도로 회전시키는 회전 수단을 구비한 반도체 제조 설비의 로드락 챔버에 있어서, 상기 챔버 바디의 아우터 도어로 인출 가능하게 구비되는 상기 카세트 안치부재의 가이드 플레이트에 구비되어 상기 가이드 플레이트에 안치되는 카세트 내의 복수의 반도체 기판들을 동시에 회전시키면서 플랫존 얼라인이 이루어지도록 하는 반도체 기판 플랫존 얼라이너를 구비하며, 상기 반도체 기판 플랫존 얼라이너는 카세트 내에 다수 적재되어 있는 반도체 기판에 접촉되면서 소정의 속도로 회전하여 반도체 기판의 플랫존 얼라인을 수행하는 얼라인 롤러와; 상기 얼라인 롤러의 일단부에서 구동력 전달 수단을 이용하여 연결되게 하여 상기 얼라인 롤러가 소정의 속도로 회전하도록 하는 구동 모터; 및 상기 얼라인 롤러를 소정의 높이로 승강시키도록 하는 승강 부재로서 이루어지도록 하는 구성이다.
반도체 제조 설비, 로드락 챔버, 플랫존 얼라인, 카세트 안치부재

Description

반도체 제조 설비의 로드락 챔버{Loadlock chamber of semiconductor manufacturing equipment}
도 1은 일반적인 멀티 챔버형 반도체 제조 설비를 도시한 평면도,
도 2는 본 발명에 따른 로드락 챔버의 개략적인 구성을 도시한 측단면도,
도 3은 본 발명에 따른 반도체 기판 플랫존 얼라이너의 주요 구성을 도시한 사시도,
도 4는 본 발명에 따른 카세트 안치부재의 가이드 플레이트를 경사지게 형성한 예시도,
도 5는 본 발명에 따라 카세트 안치부재에서의 카세트 이탈을 방지하기 위한 구성을 도시한 예시도,
도 6은 본 발명에 따라 반도체 기판의 플랫존 얼라인이 종료된 이후 반도체 기판을 공정 챔버로 로딩시키거나 공정 챔버로부터 언로딩되도록 카세트를 위치시킨 측단면도.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
10 : 챔버 바디
20 : 엘리베이터
30 : 카세트 안치부재
31 : 가이드 플레이트
32 : 베이스 플레이트
40 : 반도체 기판 플랫존 얼라이너
41 : 얼라인 롤러
42 : 구동 모터
43 : 승강 부재
본 발명은 반도체 제조 설비의 로드락 챔버에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 카세트를 로딩/언로딩 하게 되는 회전 가능하게 구비되는 카세트 안치부재에서 웨이퍼의 플랫존 얼라인이 이루어질 수 있도록 함으로써 반도체 제조에 따른 작업 공수를 대폭적으로 줄이는 동시에 생산성이 한층 향상되도록 하는 반도체 제조 장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 장치는 다양한 공정 양태 즉 포토, 증착, 식각, 이온 주입 등을 통해서 제조된다.
이들 공정들을 순차적으로 거치면서 동시에 반복 수행함에 의해 반도체 장치를 제조하게 되는 것이다.
다양한 공정 양태들 중 식각 공정에 사용되는 식각 설비는 최근 작업의 효율성을 증대시키고자 동시에 복수의 공정 챔버에서 공정을 수행할 수 있도록 하는 멀티 챔버형으로 구비되도록 하고 있다.
도 1은 이러한 반도체 식각 설비 중 멀티 챔버형의 설비 구조를 도시한 것으로서, 멀티 챔버형의 식각 설비에는 통상 중앙에 반도체 기판을 이동시키도록 이송 로봇(1a)을 구비한 트랜스퍼 챔버(1)가 위치하며, 트랜스퍼 챔버(1)로부터 일측에는 실질적인 공정을 수행하는 공정 챔버(2)가 구비되고, 공정 챔버(2)와 대응되는 타측으로는 웨이퍼 대기 구간인 로드락 챔버(3)가 구비된다.
즉 트랜스퍼 챔버(1)의 이송 로봇(1a)은 로드락 챔버(3)에 유도되어 대기하고 있는 웨이퍼를 한 매씩 공정 챔버(2)로 이송시키고, 다시 공정 챔버(2)에서 공정 수행이 완료되면 로드락 챔버(3)로 이송시키게 된다.
이때 로드락 챔버(3)로부터 공정 챔버(2)로 이송되는 과정에 반도체 기판은 반드시 프리 얼라인 챔버(4)를 경유하여 이송되는 반도체 기판의 플랫존이나 노치를 일정한 방향으로 맞추어주는 얼라인이 수행되도록 한다.
다시 말해 공정 챔버(2)에서 반도체 기판에 동일한 패턴을 형성되도록 하기 위해서는 반도체 기판의 기준 위치인 플랫존이나 노치를 기준으로 공정 챔버(2)의 내부로 공급되는 상태가 동일하여야 하므로 이를 위해서 로드락 챔버(3)로부터 공정 챔버(2)로 반도체 기판을 이송하기 전에 수행하도록 하는 것이 플랫존 얼라인이다.
하지만 로드락 챔버(3)로부터 공정 챔버(2)로 반도체 기판을 이송하면서 프 리 얼라인 챔버(4)를 반드시 거치도록 하면 그만큼의 공정 수행 시간이 지체되므로 생산성을 저하시키는 요인으로 작용하는 문제가 있다.
따라서 본 발명은 상술한 종래 기술의 문제점들을 해결하기 위하여 발명된 것으로서, 본 발명의 목적은 엘리베이터에 안치되면서 반도체 기판의 플랫존 얼라인이 우선적으로 수행되도록 하여 반도체 제조를 위한 공정 수행 시간이 최대한 단축되도록 하면서 생산성을 극대화할 수 있도록 반도체 제조 설비의 로드락 챔버를 제공하는데 있다.
이와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 아우터 도어와 인너 도어를 구비하는 챔버 바디와, 반도체 기판을 다수 적재한 카세트가 안치되도록 하는 "ㄴ"자 형상의 카세트 안치부재와, 소정의 높이를 승강 가능하게 구비되는 엘리베이터와, 상기 엘리베이터의 상부면 일단부에 회전 가능하게 구비되는 상기 카세트 안치부재를 90°각도로 회전시키는 회전 수단을 구비한 반도체 제조 설비의 로드락 챔버에 있어서, 상기 챔버 바디의 아우터 도어로 인출 가능하게 구비되는 상기 카세트 안치부재의 가이드 플레이트에 구비되어 상기 가이드 플레이트에 안치되는 카세트 내의 복수의 반도체 기판들을 동시에 회전시키면서 플랫존 얼라인이 이루어지도록 하는 반도체 기판 플랫존 얼라이너를 구비하며, 상기 반도체 기판 플랫존 얼라이너는 카세트 내에 다수 적재되어 있는 반도체 기판에 접촉되면서 소정의 속도로 회전하여 반도체 기판의 플랫존 얼라인을 수행하는 얼라인 롤러와; 상기 얼라인 롤러의 일단부에서 구동력 전달 수단을 이용하여 연결되게 하여 상기 얼라인 롤러가 소정의 속도로 회전하도록 하는 구동 모터; 및 상기 얼라인 롤러를 소정의 높이로 승강시키도록 하는 승강 부재로서 이루어지도록 하는 구성이다.
상기의 구성에서 플랫존 얼라이너는 구동 스위치의 수동 조작에 의해서 수행되게 할 수도 있고, 상기 가이드 플레이트에 카세트 감지 센서를 구비하여 카세트가 안치되면서 상기 카세트 감지 센서의 신호에 의해 자동으로 플랫존 얼라인이 수행되게 할 수도 있다.
또한 가이드 플레이트에서 반도체 기판 플랫존 얼라이너에 의한 플랫존 얼라인이 종료되면 컨트롤러에 의해서 상기 카세트 안치부재를 90°회전시켜 반도체 기판이 수직으로 세워지는 상태로 상기 가이드 플레이트에 안치되어 있던 카세트가 반도체 기판을 수평으로 뉘어지는 상태로서 되게 하면서 상기 카세트 안치부재의 베이스 플레이트에 일측면이 안치되는 상태가 되도록 한다.
이하 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면에 의하여 더욱 상세히 설명하면 다음과 같다.
본 발명은 다중 챔버형 반도체 제조 설비의 로드락 챔버에서 반도체 기판의 플랫존 얼라인이 먼저 수행되도록 하여 트랜스퍼 챔버의 이송 로봇에 의해서 반도체 기판을 로드락 챔버와 공정 챔버간으로만 이송하도록 하는 것이다.
다시 말해 다중 챔버형 반도체 제조 설비에는 중앙에 이송 로봇을 구비하는 트랜스퍼 챔버가 있고, 이 트랜스퍼 챔버를 중심으로 일측에는 실질적인 웨이퍼 가공이 이루어지는 복수의 반응 챔버가 구비되며, 반응 챔버와 대응되는 타측에는 가공할 반도체 기판의 대기 구간인 로드락 챔버가 구비되도록 한다.
이와 같이 트랜스퍼 챔버를 중심으로 해서 서로 대응되는 방향에 복수의 반응 챔버와 로드락 챔버가 구비되도록 하는 반도체 제조 설비에서 특히 로드락 챔버는 챔버 바디의 내부에 승강 가능하게 엘리베이터를 구비하고, 이 엘리베이터의 상부면에는 일단부를 축으로 90°회전이 가능하게 카세트 안치부재가 구비되도록 하고 있는 바 이러한 구성을 종전의 로드락 챔버와 대동소이하다.
다만 본 발명은 카세트 안치부재에 반도체 기판 플랫존 얼라이너가 일체로 구비되도록 하는데 특징이 있는 것이다.
도 2는 본 발명에 따른 로드락 챔버의 구성을 개략적으로 도시한 것으로서, 본 발명의 로드락 챔버는 챔버 바디(10)의 내부에서 승강 가능하게 구비되는 엘리베이터(20)의 상부에서 일단을 축으로 90°회전이 가능하게 구비되는 카세트 안치부재(30)의 가이드 플레이트(31)에 반도체 기판 플랫존 얼라이너(40)가 일체로 구비되게 하여 가이드 플레이트(31)에서 반도체 기판이 수직으로 세워져 적재되도록 한 카세트의 각 반도체 기판을 동시에 회전시켜 플랫존 얼라인이 이루어질 수 있도록 하는 것이다.
로드락 챔버에서 챔버 바디(10)에는 통상 서로 대응되는 면으로 아우터 도어(11)와 인너 도어(12)가 구비되어 아우터 도어(11)에 의해서는 카세트가 로딩/언로딩되도록 하고, 인너 도어(12)를 통해서는 반도체 기판을 한 매씩 공정 챔버로 로 딩/언로딩하도록 한다.
엘리베이터(20)는 수직의 구동 샤프트와 그 상단부에 구비되는 평판의 플레이트로서 이루어지는 구성으로서, 트랜스퍼 챔버에서 이송 로봇에 의해 로딩할 반도체 기판의 높이 또는 언로딩할 카세트측 슬롯 위치에 따라 소정의 높이로 승강하도록 한다.
카세트 안치부재(30)는 카세트의 크기보다는 큰 면적을 갖는 가이드 플레이트(31)와 베이스 플레이트(32)를 "ㄴ"자로 절곡되게 하여 일체로 이루어지도록 한 형상이다.
이때 카세트 안치부재(30)는 절곡되는 단부가 엘리베이터(20)의 아우터 도어(11)측 일단부에서 회전 가능하게 축지지되도록 하며, 이를 별도의 회전 수단(미도시)에 의해서 90°각도로 회전되게 한다.
따라서 카세트 안치부재(30)는 엘리베이터(20)의 일단을 축으로 하여 가이드 플레이트(31)는 엘리베이터(20)의 상단부측 플레이트와 90°~ 180°로 회전하면서 챔버 바디(10)의 아우터 도어(11)를 통해 인출되거나 내부로 다시 삽입될 수 있도록 하는 구성이며, 가이드 플레이트(31)에 대해 90°각도로 구비되는 베이스 플레이트(32)는 엘리베이터(20)의 상단부측 플레이트와 0°~ 90°로서 형성된다.
한편 이와 같은 구성에서 본 발명은 카세트 안치부재(30)에서 가이드 플레이트(31)에 반도체 기판 플랫존 얼라이너(40)가 일체로 구비되도록 하는 것이 가장 두드러진 특징이다.
이때의 반도체 기판 플랫존 얼라이너(40)는 다시 도 3에서와 같이 크게 얼라 인 롤러(41)와 구동 모터(42) 및 승강 부재(43)로서 이루어지는 구성이다.
얼라인 롤러(41)는 카세트 내에 다수 적재되어 있는 반도체 기판들이 접촉되도록 하면서 소정의 속도로 회전하도록 하여 반도체 기판들의 플랫존 얼라인을 수행하도록 하는 구성이다.
따라서 얼라인 롤러(41)는 카세트 안치부재(30)의 가이드 플레이트(31)에서 축회전이 가능하게 구비되며, 이때의 얼라인 롤러(41)는 통상 소정의 간격을 이격시켜 한 쌍으로 구비되도록 하는 것이 가장 바람직하다.
구동 모터(42)는 얼라인 롤러(41)의 일단부에서 구동력 전달 수단을 이용하여 얼라인 롤러(41)가 소정의 속도로 회전하도록 하는 구동 수단이다. 이때의 구동력 전달 수단으로는 얼라인 롤러(41)의 일단부측 타이밍 기어 또는 스프로킷과 구동 모터(42)측 타이밍 기어(44) 또는 스프로킷간을 벨트(45) 또는 체인 등에 의해서 연결시킨 구성이다.
그리고 승강 부재(43)는 얼라인 롤러(41)가 소정의 높이를 승강할 수 있도록 하는 구성으로서, 최초 가이드 플레이트(31)에 카세트가 얹혀지게 될 때 얼라인 롤러(41)와 카세트 내의 반도체 기판과는 소정의 높이로 이격되어 있게 되며, 따라서 얼라인 롤러(41)를 소정의 높이로 상승시킴으로써 카세트 내의 반도체 기판들과 얼라인 롤러(41)가 접촉될 수 있도록 하는 것이다.
또한 승강 부재(43)는 얼라인 롤러(41) 뿐만 아니라 얼라인 롤러(41)를 구동시키기 위해 일체로 구비되는 구성들 즉 위에서 언급한 구동 모터(42)나 얼라인 롤러(41)를 회전 가능하게 축지지하는 브라켓(41a) 등을 동시에 승강시키도록 한다.
이때 구동 모터(42) 및 승강 부재(43)는 설비 관리자에 의한 구동 스위치의 수동 조작에 의해서 구동되게 할 수도 있고, 가이드 플레이트(31)의 카세트가 안치되는 부위에 카세트 감지 센서를 구비하여 카세트가 가이드 플레이트(31)에 안치될 때 이를 감지하여 컨트롤러에 의해서 자동으로 구동되게 할 수도 있다.
한편 반도체 기판의 플랫존 얼라인이나 그 직후 이루어지는 카세트 안치부재(30)의 회전 및 반도체 기판의 로딩/언로딩 작용은 설비측 콘트롤러에 의해서 자동으로 공정이 수행될 수 있도록 한다.
특히 카세트 안치부재(30)의 가이드 플레이트(31)는 도 4에서와 같이 카세트(C)가 안치되는 면이 아우터 도어(11)측 단부로부터 베이스 플레이트(32) 측으로 점차 하향 경사지도록 하여 가이드 플레이트(31)에 안치되는 카세트(C)가 미세한 각도로 경사지면서 카세트(C) 내에 적재되어 있는 반도체 기판들이 베이스 플레이트(32)측으로 미세하게 경사지도록 하는 것이 가장 바람직하다.
또한 카세트 안치부재(30)의 가이드 플레이트(31)와 베이스 플레이트(32)에는 도 5에서와 같이 카세트(C)의 유동이 방지되도록 안내하는 가이드 돌기(50)가 형성되도록 하는 것이 보다 바람직하다.
이와 같이 구성된 본 발명에 따른 작용에 대해 설명하면 다음과 같다.
본 발명은 다수의 반도체 기판이 적재된 카세트(C)를 로드락 챔버에 공급하면서 자동 또는 수동에 의해 구동된다.
기존의 반도체 설비에서는 로드락 챔버의 엘리베이터에 카세트를 안착시키는 행위 조차 작업자의 인력에 의해서 수행되었으나 최근에는 카세트(C)의 로딩 동작 조차 외부에서 로봇에 의해서 수행되도록 하고 있다.
따라서 본 발명에서의 카세트(C) 로딩은 수동으로도 또는 자동으로도 모두 가능하다.
한편 카세트(C)의 로딩 시 챔버 바디(10)의 아우터 도어(11)가 개방되고, 카세트 안치부재(30)를 회전시켜 가이드 플레이트(31)가 아우터 도어를 통해 외부로 인출되는 상태가 되도록 한다.
즉 아우터 도어(11)가 개방되기 전에는 카세트 안치부재(30)는 도 2에서와 같이 가이드 플레이트(31)가 수직의 상태이면서 베이스 플레이트(32)는 엘리베이터에 밀착되어 있는 상태가 되고, 아우터 도어(11)의 개방과 함께 카세트 안치부재(30)를 90°회전시키게 되면 도 4에서와 같이 엘리베이터(20)에 밀착되어 있던 베이스 플레이트(32)는 수직으로 세워지면서 가이드 플레이트(31)는 챔버 바디(10)의 개방된 부위를 통해 일부가 인출되는 상태가 된다.
이때 가이드 플레이트(31)에는 반도체 기판 플랫존 얼라이너(40)가 구비되어 있으므로 이 반도체 기판 플랫존 얼라이너(40)의 상부로 다수의 반도체 기판이 적재되어 있는 카세트(C)를 인력 또는 이송 로봇에 의해서 안치되도록 한다.
카세트(C)를 가이드 플레이트(31)에 안치 시 카세트(C)는 반도체 기판이 수직으로 세워진 상태를 유지하게 된다.
가이드 플레이트(31)에 카세트(C)가 안치되면 구동 스위치를 수동으로 조작하거나 카세트(C)가 안치되면서 카세트 감지 센서의 감지 신호에 의해 반도체 기판 플랫존 얼라이너(40)를 가동시키게 되면 우선 승강 부재(43)에 의해서 소정의 높이 를 얼라인 롤러(41)가 상승하면서 카세트(C)에 적재되어 있는 반도체 기판들과 접촉하도록 하고, 얼라인 롤러(41)를 회전시키면서 카세트(C) 내의 반도체 기판들을 동시에 정렬시키게 된다.
반도체 기판의 플랫존 얼라인이 완료되면 이때 카세트 안치부재(30)를 회전시키고, 챔버 바디(10)의 개방된 아우터 도어(11)를 폐쇄시키게 된다.
카세트 안치부재(30)가 도 6에서와 같이 회전하게 되면 가이드 플레이트(31)가 수직의 상태로 되면서 가이드 플레이트(31)에 안치되어 있던 카세트(C)가 세워지게 된다.
이때 카세트(C)내에 적재되어 있던 플랫존 얼라인이 완료된 반도체 기판들은 수직의 상태에서 수평의 상태가 된다.
한편 카세트 안치부재(30)의 회전 시 가이드 플레이트(31)에 안치되는 카세트(C)의 일측면은 베이스 플레이트(32)에 이미 밀착되어 있는 상태이므로 카세트(C)는 안전하게 수평의 상태에서 수직의 상태로 전환될 수가 있다.
이와 같이 카세트(C)를 수직의 상태가 되게 하면 이후 트랜스퍼 챔버의 이송 로봇에 의해 로드락 챔버로부터 반도체 기판을 한 매씩 로딩/언로딩할 수가 있으며, 더 이상 로드락 챔버로부터 인출한 반도체 기판을 다른 어느 위치에도 경유하지 않고 곧바로 공정 챔버로 공급할 수가 있으므로 신속한 공정 수행을 할 수가 있도록 한다.
특히 카세트(C)가 안치되는 가이드 플레이트(31)를 베이스 플레이트(32)측으로 미세하게 하향 경사지도록 하면 카세트(C) 내의 반도체 기판들의 상단부가 베이 스 플레이트(32)측으로 경사지는 상태가 되므로 반도체 기판의 플랫존 얼라인이 완료된 직후 카세트 안치부재(30)를 회전 시 반도체 기판들의 유동을 최대한 방지할 수가 있게 되어 플랫존 얼라인 상태를 안전하게 유지시킬 수가 있다.
이렇게 반도체 기판의 대기 구간인 로드락 챔버에서 카세트(C) 내에 적재된 복수의 반도체 기판들의 플랫존 얼라인을 공정 수행 전에 미리 수행되게 한 다음 로드락 챔버로부터 공정 챔버로 공급할 수 있도록 함으로써 보다 신속한 공정 수행을 제공할 수가 있도록 하는 동시에 플랫존 얼라인의 가시적인 관리가 용이해지게 되어 설비 관리의 편의를 제공하게 된다.
한편 상기한 설명에서 많은 사항이 구체적으로 기재되어 있으나, 그들은 발명의 범위를 한정하는 것이라기보다는 바람직한 실시예의 예시로서 해석되어야 한다.
따라서 본 발명의 범위는 설명된 실시예에 의하여 정하여 질 것이 아니고 특허 청구범위에 기재된 기술적 사상에 의해 정하여져야 한다.
상술한 바와 같이 본 발명에 의하면 로드락 챔버에서 대기하는 시간 동안 미리 반도체 기판들의 플랫존 얼라인이 안전하게 수행되도록 함으로써 이후 트랜스퍼 챔버의 이송 로봇에 의해서는 로드락 챔버와 공정 챔버간으로 반도체 기판을 이송시키면서 공정을 수행할 수 있도록 하여 보다 빠른 공정 진행에 따라 공정 진행 효율과 생산성이 더욱 향상되도록 하고, 플랫존 얼라인 관리가 용이한 편의를 제공할 수가 있는 매우 유용한 효과가 있다.

Claims (6)

  1. 아우터 도어와 인너 도어를 구비하는 챔버 바디와, 반도체 기판을 다수 적재한 카세트가 안치되도록 하는 "ㄴ"자 형상의 카세트 안치부재와, 소정의 높이를 승강 가능하게 구비되는 엘리베이터와, 상기 엘리베이터의 상부면 일단부에 회전 가능하게 구비되는 상기 카세트 안치부재를 90°각도로 회전시키는 회전 수단을 구비한 반도체 제조 설비의 로드락 챔버에 있어서,
    상기 챔버 바디의 아우터 도어로 인출 가능하게 구비되는 상기 카세트 안치부재의 가이드 플레이트에 구비되어 상기 가이드 플레이트에 안치되는 카세트 내의 복수의 반도체 기판들을 동시에 회전시키면서 플랫존 얼라인이 이루어지도록 하는 반도체 기판 플랫존 얼라이너를 구비하며,
    상기 반도체 기판 플랫존 얼라이너는
    카세트 내에 다수 적재되어 있는 반도체 기판에 접촉되면서 소정의 속도로 회전하여 반도체 기판의 플랫존 얼라인을 수행하는 얼라인 롤러와;
    상기 얼라인 롤러의 일단부에서 구동력 전달 수단을 이용하여 연결되게 하여 상기 얼라인 롤러가 소정의 속도로 회전하도록 하는 구동 모터; 및
    상기 얼라인 롤러를 소정의 높이로 승강시키도록 하는 승강 부재;
    로서 구비되는 반도체 제조 설비의 로드락 챔버.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 반도체 기판 플랫존 얼라이너는 구동 스위치의 수동 조작에 의해서 수행되는 반도체 제조 설비의 로드락 챔버.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 반도체 기판 플랫존 얼라이너는 카세트가 안치되는 상기 가이드 플레이트에 카세트 감지 센서를 구비하여 카세트가 안치되면서 상기 카세트 감지 신호에 의해 자동으로 수행되는 반도체 제조 설비의 로드락 챔버.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 카세트 안치부재는 상기 반도체 기판 플랫존 얼라이너에 의한 플랫존 얼라인이 종료되면 컨트롤러에 의해서 상기 카세트 안치부재를 90°회전시켜 상기 가이드 플레이트에서 반도체 기판이 수직으로 세워져 있던 상태에서 반도체 기판들이 수평으로 뉘어지는 상태가 되게 되도록 하는 반도체 제조 설비의 로드락 챔버.
  5. 제 1 항에 있어서, 상기 카세트 안치부재의 가이드 플레이트와 베이스 플레이트에는 카세트의 유동이 방지되도록 안내하는 가이드 돌기가 형성되도록 하는 반도체 제조 설비의 로드락 챔버.
  6. 제 1 항에 있어서, 상기 카세트 안치부재의 가이드 플레이트는 카세트가 안치되는 판면이 아우터 도어측 단부로부터 베이스 플레이트측으로 미세하게 하향 경사지도록 하는 반도체 제조 설비의 로드락 챔버.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN103811397A (zh) * 2012-11-13 2014-05-21 沈阳芯源微电子设备有限公司 一种基板翻转对中装置
KR20190112405A (ko) * 2018-03-26 2019-10-07 주식회사 나인벨 정렬부가 포함된 카세트모듈 로드락 장치

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