KR100624571B1 - 얼라이닝 퍽 및 이를 이용한 반도체용 웨이퍼의 정렬장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 반도체용 웨이퍼의 정렬장치에 관한 것으로, 카세트에 장착된 웨이퍼가 카세트 내에서 진공으로 퍽에 흡ㆍ착탈되면서 회전되어 정렬되도록 얼라이닝 퍽이 개발되고, 이 얼라이닝 퍽이 다수개 장착되어 다수의 웨이퍼가 동시에 정렬될 수 있도록 반도체용 웨이퍼의 정렬장치가 이루어짐으로 인해, 카세트 내의 웨이퍼 뒷면이 퍽에 의해 진공으로 흡착되어 회전되면서 얼라이닝 퍽에 설치된 플랫존 감지센서에 의해 웨이퍼 플랫면이 단시간에 정렬되므로써, 웨이퍼 엣지 접촉 정렬방식에서 문제시 되었던 미세입자 오염이 최소화되며, 다수의 웨이퍼가 단시간에 정렬되며, 얼라이닝 퍽이 회동되어 정렬도중 부재와의 간섭으로 인한 파손이 방지되며, 또한 다수개의 얼라이닝 퍽이 동시에 여러 장의 웨이퍼를 정렬할 수 있도록 이루어진 정렬장치에 의해 하나의 카세트에 장착된 웨이퍼들의 정렬시간이 혁기적으로 단축되고, 연이어 위치된 카세트의 웨이퍼들에 대해 연속적으로 정렬되며, 다수개의 카세트에 대해 웨이퍼의 정렬시간이 최소화되도록 된 것이다.

웨이퍼, 정렬장치, 얼라이닝 퍽

Description

얼라이닝 퍽 및 이를 이용한 반도체용 웨이퍼의 정렬장치 {Aligning puck and aligning apparatus of wafer for semi-conductor using thereof}

도 1은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 얼라이닝 퍽이 개략적으로 도시된 측면도,

도 1a는 도 1에 도시된 얼라이닝 퍽의 내부가 개략적으로 도시된 내부도,

도 2는 도 1에 도시된 얼라이닝 퍽의 다른 실시 예가 개략적으로 도시된 측면도,

도 3은 본 발명에 따라 도 1의 얼라이닝 퍽이 장착된 반도체용 웨이퍼의 정렬장치가 개략적으로 도시된 정면도,

도 3a 및 도 3b는 도 3에 도시된 정렬장치의 내부가 개략적으로 도시된 정면 및 측면 내부도.

< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >

10...얼라이닝 퍽 14...퍽,

16...동력장치 18...진공장치,

19...웨이퍼 플랫존 감지센서 20...카세트,

22...웨이퍼 24...웨이퍼 유무 감지센서,

26...웨이퍼 푸셔(Pusher) 30...이송부,

32...이송 테이블 40...하우징,

100...웨이퍼 정렬장치.

본 발명은 반도체용 웨이퍼의 정렬장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 카세트에 안착된 웨이퍼를 정렬하기 위한 얼라이닝 퍽(Aligning Puck)이 개발되고, 이 얼라이닝 퍽이 이용되어 단시간에 다수의 웨이퍼가 정렬될 수 있도록 된 반도체용 웨이퍼의 정렬장치에 관한 것이다.

일반적으로, 웨이퍼 정렬장치는 카세트에 안착된 다수의 웨이퍼에 대해 플랫존을 감지하면서 동일한 각도로 가지런히 정렬하고자 개발된 장치이다.

종래의 정렬장치 중에는 카세트에 장착된 웨이퍼가 로봇아암에 의해 인출되어 척(chuck)에 흡착되고, 이 척이 회전되면서 웨이퍼의 플랫존이 센서에 의해 감지되어 정렬되도록 된 정렬장치가 있었다.

그러나, 이 정렬장치는 정확한 웨이퍼 정렬이 이루어지는 반면, 그 구조가 복잡고 낱장으로 웨이퍼가 정렬됨으로 인해, 한 장의 웨이퍼 정렬은 물론 선택된 카세트 내의 모든 웨이퍼의 정렬에 장시간의 작업시간이 소요되는 문제점이 있었다.

이러한 문제점을 감안하여 다른 정렬장치를 살펴보면, 회전롤러에 의해 웨이퍼가 정렬되도록 단순하면서도 신속한 웨이퍼 정렬을 이루는 정렬장치가 있는데, 이 정렬장치는 구동모터에 의해 회전되는 회전롤러에 웨이퍼의 테두리가 직접 접촉되도록 구성되었다.

상기 정렬장치는 계속적으로 회전되는 회전롤러에 접촉된 상태에서 웨이퍼가 회전되다가 웨이퍼의 플랫존에서 회전롤러와의 접촉이 단락됨으로 인해 카세트에 안착된 다수의 웨이퍼가 일괄적으로 정렬되도록 되어 있었다.

그러나, 회전롤러에 의한 웨이퍼의 정렬장치는 웨이퍼의 외표면에 필요 이상의 미진(微塵) 등에 의한 과다 오염이 발생되었음은 물론 회전롤러와 직접적으로 접촉되는 웨이퍼의 테두리 부위에 대한 파손의 위험이 상시 내재되어 있다.

또한, 웨이퍼의 플랫존에서 회전롤러와의 접촉 단절로 정렬되는 웨이퍼에 대해 그 정렬의 정확도 및 신뢰도는 센서에 의해 웨이퍼가 낱장으로 정렬되도록 된 다른 정렬장치보다 낮다는 문제점이 있었다.

상기와 같은 문제점을 감안하여 안출된 본 발명은, 카세트에 장착된 웨이퍼가 카세트 내에서 흡ㆍ착탈 되면서 회전되어 정렬되도록 개발된 얼라이닝 퍽을 제공함에 그 목적이 있다.

또한, 이 얼라이닝 퍽이 다수개 장착되어 동시에 다수의 웨이퍼가 정렬되도록 된 반도체용 웨이퍼의 정렬장치를 제공함에 다른 목적이 있다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위해 본 발명에 따라 제작된 얼라이닝 퍽은, 카세트에 안착된 반도체 웨이퍼를 정렬하기 위해, 상기 카세트내에서 웨이퍼의 일면과 흡ㆍ탈착되면서 회전되게 이루어진 퍽; 이 퍽에 흡착되어 회전되는 웨이퍼의 회전위치를 감지하기 위한 감지센서;가 부착되어 이루어지고, 상기 퍽의 회전이 감지센서에 의해 조정되도록 이루어진다.

상기 퍽은 웨이퍼와 진공에 의해 흡ㆍ착탈되도록 진공장치가 연계 설치되고, 상기 감지센서로부터 수신된 데이터에 의해 퍽의 회전 및 회전을 제어하는 동력장치와 연계 설치된다.

상기 퍽이 장착된 일측부위는 회동되도록 이루어진다.

이러한 얼라이닝 퍽이 이용되는 반도체 웨이퍼용 정렬장치는, 상기 얼라이닝 퍽이 장착된 이송부; 상기 이송부가 장착되고, 이 이송부와 인접되게 카세트가 안착된 하우징; 상기 얼라이닝 퍽 및 이송부의 작동을 제어하는 제어부;가 포함되어 이루어진다.

상기 이송부는 동시에 작동되는 다수의 얼라이닝 퍽이 선택된 카세트 내의 웨이퍼들의 정렬을 위해 순차적으로 이동되고, 다음 순차의 카세트로 이동되도록 이루어진다.

상기 이송부에는 카세트에 안착된 웨이퍼의 유무를 감지하도록 왕복이동되게 설치된 감지센서가 더 포함된다.

상기 얼라이닝 퍽은 웨이퍼가 미지정되면 퍽이 장착된 일부위가 회동되도록 이루어진다.

상기 이송부에는 얼라이닝 퍽과의 작동이 용이하게 웨이퍼를 위치 이동시킬 수 있도록 왕복이동되게 설치된 푸셔가 더 포함되어 이루어진다.

상기 푸셔는 웨이퍼가 미지정되면 웨이퍼측 일부위가 회동되도록 이루어진다.

이하, 본 발명에 따른 얼라이닝 퍽 및 이를 이용한 반도체용 웨이퍼의 정렬장치를 첨부된 도면에 의거하여 상세히 설명한다.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 얼라이닝 퍽이 개략적으로 도시된 측면도이고, 도 1a는 도 1에 도시된 얼라이닝 퍽의 내부가 개략적으로 도시된 내부도이다.

본 발명에 따른 얼라이닝 퍽(10)은 중공의 몸체(12)와, 이 몸체(12)의 일단부에 회전가능하게 장착된 퍽(14) 및, 상기 퍽(14)의 회전 및 회전을 제어하기 위해 퍽(14)과 대응되는 위치의 몸체(12)에 장착된 동력장치(16)가 포함되어 이루어진다.

또한, 상기 퍽(14)에 웨이퍼가 흡ㆍ탈착되도록 퍽(14)과 연계 설치되면서 몸체(12)에 내장된 진공장치(18)와, 퍽(14)에 흡착되어 회전되는 웨이퍼(도 3의 22)의 플랫존을 감지하기 위해 몸체(12)의 외면에 장착된 감지센서(19)가 더 구비되어 이루어진다.

상기 퍽(14)은 몸체(12)의 일단부에 내장되면서 일부위가 외부로 표출되도록 장착되고, 상기 웨이퍼(22)를 흡착 및 탈착하면서 회전되도록 설치되어야 하므로 몸체(12)에 회전 가능하게 장착되고, 상기 동력장치(16)에 의해 회전되도록 동력장치(16)와 벨트(16a)로 연결 설치되며, 상기 진공장치(18)에 의해 퍽(14)의 표출 부위의 일면과 웨이퍼가 흡착 및 탈착되도록 연계 설치된다.

여기서, 상기 동력장치(16)는 퍽(14)을 회전시키고 퍽(14)의 회전을 제어하기 위한 것으로, 다양한 장치가 많이 있지만 소형이면서 정확한 회전속도 및 회전량이 제공될 수 있는 조건의 장치가 사용됨이 바람직하고, 이에 적합한 디씨 서보모터(DC SERVO MOTOR, 이하 서보모터로 칭함)가 선택되어 이용됨이 특히 바람직하며, 이하에서는 동력장치에 대해서 서보모터로 통칭함과 아울러 동력장치에 대해 서보모터로 한정하고자 함이 아님을 인지하여야 한다. 또한, 상기 서보모터(16)와 퍽(14)과는 서보모터(16)의 구동력이 퍽(14)의 정확한 회전으로 동작되도록 긴밀하게 연계 설치됨이 바람직하고, 이를 위해 체인, 타이밍벨트 및 이 외의 다양한 부재가 이용되어 연계작동되도록 설치될 수 있다.

한편, 상기 감지센서(19)는 퍽(14)에 흡착되어 회전되는 웨이퍼(22)의 테두리에 형성된 플랫존을 감지하여 서보모터(16)에 그 감지여부를 전송하게 된다.

상기 서보모터(16)는 퍽(14)에 웨이퍼가 흡착되면, 감지센서(19)로부터 전송된 데이터를 토대로 퍽(14)을 회전시키면서 제어하여 웨이퍼(22)의 플랫존이 희망하는 각도에 정확하게 위치되도록 한다.

상기 진공장치(18)는 카세트에 장착된 웨이퍼(22)와 퍽(14)이 흡착되도록 하 고, 퍽(14)이 서보모터(16)에 의해 회전되어 웨이퍼(22)가 정렬되면 웨이퍼(22)가 카세트(20)에 재 장착되게 퍽(14)과 탈리되도록 한다.

한편, 도 2에 도시된 얼라이닝 퍽의 다른 실시 예를 보면, 상기 얼라이닝 퍽(10)의 몸체(12)가 회동 가능한 구조이고, 상기 몸체(12)의 양 단부에 각각 설치된 퍽(14)과 서보모터(16)와의 연동관계는 지속적으로 유지되어야 함은 당연하다.

이하, 본 발명에 따른 얼라이닝 퍽의 작동에 대해 간략히 설명한다.

먼저, 카세트(20)에 장착된 웨이퍼(22)의 일면에 얼라이닝 퍽(10)의 퍽(14)이 연접되면 진공장치(18)가 작동하여 퍽(14)에 웨이퍼(22)가 흡착되고, 서보모터(16)에 의해 퍽(14)이 회전되면서 웨이퍼(22)가 회전된다. 이 때, 감지센서(19)에 의해 웨이퍼(22)의 플랫존이 감지되면 서보모터(16)에 의해 퍽(14)의 회전이 정지되고, 진공장치(18)에 의해 퍽(14)으로부터 탈리된 웨이퍼(22)는 카세트(20)에 재 장착된다.

한편, 상기 감지센서(19)에 의해 플랫존이 감지되면 이 때의 회전각도로부터 서보모터(16)에 의해 미리 설정된 회전각 만큼 더 회전된 다음, 웨이퍼(22)의 회전이 완전 멈출수도 있다. 이는 플랫존이 인지된 각도로부터 웨이퍼(22)의 정렬각도를 이용자가 임의로 전환할 수 있음을 뜻하다.

이하, 상술된 얼라이닝 퍽이 다수개 장착되어 동시에 여러 장의 웨이퍼가 정렬되도록 이루어진 정렬장치에 대해 첨부된 참조도면에 의거 상세히 설명한다.

도 3은 본 발명에 따라 도 1의 얼라이닝 퍽이 장착된 반도체용 웨이퍼의 정렬장치가 개략적으로 도시된 정면도이고, 도 3a 및 도 3b는 도 3에 도시된 정렬장치의 내부가 개략적으로 도시된 정면 및 측면 내부도이다.

본 발명에 따른 반도체용 웨이퍼의 정렬장치(100)는 상기 얼라이닝 퍽(10)이 장착된 이송부(30)와, 이송부(30)가 장착되면서 카세트(20)가 안착되는 하우징(40)과, 상기 얼라이닝 퍽(10) 및 이송부(30)의 작동을 제어하는 제어부(50)가 포함되어 이루어진다.

또한, 상기 정렬장치(100)는 카세트(20)에 장착된 웨이퍼(22)의 유무를 감지하기 위한 감지센서(24)와, 카세트(20)의 웨이퍼(22)가 얼라이닝 퍽(10)과 용이하게 흡착될 수 있도록 들어올려주는 웨이퍼 푸셔(26)가 더 포함되어 이루어진다.

상기 하우징(40)에는 카세트(20)가 안착되도록 턴테이블(42)이 설치되고, 이 턴테이블(42)은 웨이퍼(22) 정렬을 위해, 카세트(20)가 선택되면 얼라이닝 퍽(10)과 웨이퍼(22)가 흡착가능하도록 카세트(20)의 각도가 조정될 수 있도록 하기 위함이다.

상기 이송부(30)에는 다수의 얼라이닝 퍽(10)이 가이드 레일을 통해 웨이퍼(22) 측으로 근접 및 이격되도록 상면에 고정되면서, 상기 하우징(40)에 설치된 이송레일(34)을 따라 이동가능하게 이송 테이블(32)이 장착된다.

이 이송 테이블(32)은 하우징(40)에 안착된 다수의 카세트(20) 중 정렬을 요하는 카세트(20)에 얼라이닝 퍽(10)이 위치될 수 있도록 장거리 이동 및, 선택된 카세트(20)에서 다수의 얼라이닝 퍽(10) 중 하나의 얼라이닝 퍽(10)에게 할당된 다 수의 웨이퍼(22)를 정렬할 수 있도록 얼라이닝 퍽(10)에 의해 하나의 웨이퍼가 정렬되면, 다음 웨이퍼로 이동되도록 단거리 이동이 가능하다.

상기 이송 테이블(32)에 고정되는 얼라이닝 퍽(10)은 상호 간에 간섭되지 않는 범위 내에서 다수개가 장착되고, 이 얼라이닝 퍽(10)의 상호 이격된 범위에 따라 하나의 얼라이닝 퍽(10)이 정렬하여야 하는 웨이퍼(22)의 수가 결정된다. 또한, 얼라이닝 퍽(10)의 수가 웨이퍼(22)의 수와 동일하여 동시에 모든 웨이퍼(22)가 정렬됨이 바람직하다.

상기 웨이퍼 유무 감지센서(24)는 카세트(20)의 개방된 하면으로 입출되도록 설치되어 카세트(20)의 각 슬롯에 웨이퍼(22)가 장착되었는지를 감지하게 된다. 이 센서(24)의 입출동작은 이송부(30)가 선택된 카세트(20)에 초기 위치로 설정되면 그 때 작동하게 된다. 그리고, 감지센서(24)가 이송부(30)와 연동되게 설치될 수 있다.

상기 웨이퍼 푸셔(26)는 카세트(20)에 장착된 웨이퍼(22)가 퍽(14)과 흡착이 용이하도록 카세트(20)의 슬롯으로부터 약간 들어올려주고, 정렬되어 퍽(14)으로부터 탈리된 웨이퍼(22)가 슬롯에 재 장착될 수 있도록 왕복이동 가능하게 설치된다. 또한, 웨이퍼 푸셔(26)는 회동되는 구조로 제작될 수 있다.

이 때, 웨이퍼 푸셔(26)에 의한 웨이퍼(22)의 이동범위는 카세트(20)의 슬롯으로부터 완전히 벗어나지 않으면서 퍽(14)과 웨이퍼(22)가 동일 중심선상에 위치될 정도의 범위면 좋다. 또한, 웨이퍼(22)의 이동범위를 최소화하기 위해 퍽(14)이 장착된 일단부측이 카세트(20) 측으로 하향 경사져 위치될 수 있도록 얼라이닝 퍽(10)이 이송부(30)에 장착됨이 좋다. 그리고, 상기 웨이퍼 푸셔(26)는 웨이퍼(22)가 퍽(14)과 흡착되어 회전되는 동안, 웨이퍼(22)와 이격됨이 바람직하다.

한편, 상기 웨이퍼 유무 감지센서(24)에 의해 카세트(20)의 슬롯에 웨이퍼(22)의 유무가 판단되면, 웨이퍼(22)가 존재하지 않는 슬롯에 해당된 웨이퍼 푸셔(26) 및 얼라이닝 퍽(10)은 회동되어 혹시 있을지도 모르는 타 부위 및 다른 물체와의 간섭이 회피되도록 함이 좋다.

상기 제어부(50)는 터치 패널(52)을 포함하여, 상기 이송 테이블(32), 턴테이블(42), 웨이퍼 유무 감지센서(24), 웨이퍼 푸셔(26), 얼라이닝 퍽(10) 등에 대해 작동시점, 동작범위 등이 포함된 모든 사항이 설정되면서 작동 및 제어를 하게 된다.

이하, 본 발명에 따른 정렬장치에 대한 작동을 간략히 설명한다.

먼저, 제어부(50)를 통해 모든 구성요소에 대해 모든 사항이 미리 설정되고, 이송 테이블(32)이 정렬을 요하는 카세트(20)로 이동되어 정위치되면, 웨이퍼 유무 감지센서(24)가 왕복이동되어 웨이퍼(22)의 유무를 감지하며, 웨이퍼 푸셔(26)가 상향 이동되어 카세트(20)의 슬롯으로부터 들어 올려진 웨이퍼(22)가 얼라이닝 퍽(10)의 퍽(14)과 동일 중심선상에서 흡착되면, 웨이퍼 플랫존 감지센서(19)가 웨이퍼(22)를 감지하고, 서보모터(16)가 구동되어 퍽(14)이 회전되면서 플랫존 감지센서(19)에 의해 웨이퍼(22)의 플랫존이 감지되면 서보모터(16)에 의해 퍽(14)이 정지되고, 정지된 퍽(14)으로부터 웨이퍼(22)가 탈리되면 웨이퍼 푸셔(26)가 하향 이동되어 웨이퍼가 카세트(20)의 슬롯에 재 장착된다.

이 때, 퍽(14)과 웨이퍼(22)의 흡ㆍ탈착은 퍽(14)과 연계 설치된 진공장치(18)에 의해 이루어진다.

또한, 상기 웨이퍼(22)가 얼라이닝 퍽(10)에 의해 정렬되는 동안 웨이퍼 푸셔(26)가 웨이퍼(22)와의 접촉이 회피되고, 웨이퍼(22)가 정렬되면 웨이퍼 푸셔(26)에 웨이퍼(22)가 안착되도록 웨이퍼 푸셔(26)는 미세하게 이동된다.

또한, 상기 웨이퍼 유무 감지센서(24)로부터 얻어진 데이터를 근거로 웨이퍼(22)가 미지정된 웨이퍼 푸셔(26) 및 얼라이닝 퍽(10)은 타 물체 및 부위와의 간섭으로부터 보호되도록 회동된 상태로 전환된다.

이로써, 얼라이닝 퍽(10)의 한번의 동작에 의한 웨이퍼(22)의 정렬을 마치게 된다.

이러한 웨이퍼(22)의 정렬동작이 얼라이닝 퍽(10)과 웨이퍼(22)의 수가 비교되어 한 카세트(20)에 대한 반복 횟수가 정해진다. 이것 역시 제어부(50)에서 미리 설정된다.

구체적으로 예를 들면, 대체적으로 하나의 카세트(20)에 25개 내지 26개의 웨이퍼(22)가 장착되고, 상호 간섭이 회피되도록 7개의 얼라이닝 퍽(10)이 장착되었다고 가정하면, 먼저 이를 웨이퍼 유무 감지센서(24)가 감지하여 하나의 얼라이닝 퍽(10)에 할당된 웨이퍼(22)의 수 및 범위가 정해진다. 즉 하나의 얼라이닝 퍽(10)이 4개의 웨이퍼(22)를 정렬하도록 하고, 1 또는 2개의 웨이퍼(22)를 담당하 는 마지막 얼라이닝 퍽(10)은 할당된 웨이퍼(22)의 정렬이 마감되면 다른 얼라이닝 퍽(10)이 작업을 마칠 동안 회동된 상태로 전환되어 타 물체 등과의 간섭으로부터 보호된다.

또한, 상기 웨이퍼 유무 감지센서(24)에 의한 카세트(20)의 웨이퍼(22) 유무가 감지되면 이 정보를 근거로 얼라이닝 퍽(10) 및 웨이퍼 푸셔(26)의 회동이 제어된다.

상기와 같이 구성된 본 발명에 따르면, 카세트 내에서 감지 센서를 통해 웨이퍼가 정렬되도록 이루어진 얼라이닝 퍽에 의해 웨이퍼의 이동에 따른 미진의 부착이 최소화되고, 한장의 웨이퍼에 소요되는 시간이 단축되며, 얼라이닝 퍽의 회동 구조로 인해 타 부재와의 간섭으로 인한 파손이 방지된다.

또한, 다수개의 얼라이닝 퍽이 동시에 여러 장의 웨이퍼를 정렬할 수 있도록 이루어진 정렬장치에 의해 하나의 카세트에 장착된 웨이퍼들의 정렬시간이 단축되고, 연이어 위치된 카세트의 웨이퍼들에 대해 연속적으로 정렬되며, 다수개의 카세트에 대해 웨이퍼의 정렬시간이 최소화되는 효과가 있다.

Claims (9)

1. 카세트에 안착된 반도체 웨이퍼를 정렬하기 위해,

   상기 카세트내에서 웨이퍼의 일면과 흡ㆍ탈착되면서 회전되게 이루어진 퍽;

   이 퍽에 흡착되어 회전되는 웨이퍼의 회전위치를 감지하기 위한 감지센서;

   가 구비되고,

   상기 퍽의 회전이 감지센서에 의해 조정되도록 이루어진 얼라이닝 퍽.
2. 제1항에 있어서,

   상기 퍽은 웨이퍼와 진공에 의해 흡ㆍ착탈되도록 진공장치와 연계 설치되고, 상기 감지센서로부터 수신된 데이터에 의해 퍽의 회전 및 회전을 제어하는 동력장치와 연계 설치되는 것을 특징으로 하는 얼라이닝 퍽.
3. 제1항에 있어서,

   상기 퍽이 장착된 일측부위는 회동되게 이루어지는 것을 특징으로 하는 얼라이닝 퍽.
4. 제1항의 얼라이닝 퍽이 장착된 이송부;

   상기 이송부가 장착되고, 이 이송부와 인접되게 카세트가 안착된 하우징;

   상기 얼라이닝 퍽 및 이송부의 작동을 제어하는 제어부;

   가 포함되어 이루어지는 반도체 웨이퍼용 정렬장치.
5. 제4항에 있어서,

   상기 이송부는 동시에 작동되는 다수의 얼라이닝 퍽이 선택된 카세트 내의 웨이퍼들의 정렬을 위해 순차적으로 이동되고, 다음 순차의 카세트로 이동되도록 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼용 정렬장치.
6. 제4항에 있어서,

   상기 이송부에는 카세트에 안착된 웨이퍼의 유무를 감지하도록 왕복이동되게 설치된 감지센서가 더 포함되는 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼용 정렬장치.
7. 제4항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,

   상기 얼라이닝 퍽은 웨이퍼가 미지정되면 퍽이 장착된 일부위가 회동되도록 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼용 정렬장치.
8. 제4항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,

   상기 이송부에는 얼라이닝 퍽과의 작동이 용이하게 웨이퍼를 위치 이동시킬 수 있도록 왕복이동되게 설치된 푸셔가 더 포함되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼용 정렬장치.
9. 제8항에 있어서,

   상기 푸셔는 웨이퍼가 미지정되면 웨이퍼측 일부위가 회동되도록 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼용 정렬장치.

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