JPS61140148A - 物品の移載装置 - Google Patents
物品の移載装置Info
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- JPS61140148A JPS61140148A JP59263400A JP26340084A JPS61140148A JP S61140148 A JPS61140148 A JP S61140148A JP 59263400 A JP59263400 A JP 59263400A JP 26340084 A JP26340084 A JP 26340084A JP S61140148 A JPS61140148 A JP S61140148A
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
- H01L21/67778—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading involving loading and unloading of wafers
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- H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（イ）産業上の利用分野
本発明は物品の移載装置、特に多数の半導体薄片を収容
容器から他の異なる容器へ移し替える装置に関する。
容器から他の異なる容器へ移し替える装置に関する。
（ロ）従来の技術
ＩＣ製造においてウェハーは種々の工程を通過させられ
るが、各工程間を移送するための多数のウェハーを一つ
の収容容器ないしカセットから他のカセットに移し替え
ることが行なわれている。
るが、各工程間を移送するための多数のウェハーを一つ
の収容容器ないしカセットから他のカセットに移し替え
ることが行なわれている。
この種のカセットとして、ウェハーの周縁部を受は入れ
て直立並列保持するための多数の溝を設けたものがある
。溝の間隔は極めて狭いので（通常２〜３ｍｍ程度）ウ
ェハーの一枚一枚を溝にはめ込む作業を人手で行なって
いたが、時間と手間がかかり、また極めて高い熟練度が
要求される作業であった。また、周知のようにウェハー
の処理はいわゆるクリーンルーム内で行なわれるので、
この種の装置をクリーンルーム内に配置するときは、粉
塵等の発生を防止する必要がある。
て直立並列保持するための多数の溝を設けたものがある
。溝の間隔は極めて狭いので（通常２〜３ｍｍ程度）ウ
ェハーの一枚一枚を溝にはめ込む作業を人手で行なって
いたが、時間と手間がかかり、また極めて高い熟練度が
要求される作業であった。また、周知のようにウェハー
の処理はいわゆるクリーンルーム内で行なわれるので、
この種の装置をクリーンルーム内に配置するときは、粉
塵等の発生を防止する必要がある。
従来、ウェハーを一つの収容容器から他の容器に移し替
える自動装置としては、同一ピッチの溝を有する被収容
容器（空、の容器）をウェハーを収容した容器に覆いか
ぶせるようにして一体的に緩かにやかに上下反転させて
ウェハーの移し替えを行なうものや、ウェハー一枚づつ
をコンベヤのような移送路に載置して水平移送し、被収
容容器の受取り溝を移送されるウェハーの到来位置で上
下に移動させて収容するものが用いられている。
える自動装置としては、同一ピッチの溝を有する被収容
容器（空、の容器）をウェハーを収容した容器に覆いか
ぶせるようにして一体的に緩かにやかに上下反転させて
ウェハーの移し替えを行なうものや、ウェハー一枚づつ
をコンベヤのような移送路に載置して水平移送し、被収
容容器の受取り溝を移送されるウェハーの到来位置で上
下に移動させて収容するものが用いられている。
（ハ）発明が解決しようとする問題点
近年ＩＣ集積密度が極度に大きくなり従来より一層清浄
な空気環境の中で製造されるようになっている。従って
、ホコリ、ゴミ等の発生を最小限に抑えなければならな
い、従来、装置自体から発生するホコリと共にウェハー
の移し替え時の摩擦、衝撃によって微細な破片の発生を
もたらしていることが判明した。それとともに、各工程
に於て多くの種類の容器が必要なため、その材質や収容
間隔を一定に出来ないため異なる容器間におけるウェー
ハの移し替えの自動化が難しかった。
な空気環境の中で製造されるようになっている。従って
、ホコリ、ゴミ等の発生を最小限に抑えなければならな
い、従来、装置自体から発生するホコリと共にウェハー
の移し替え時の摩擦、衝撃によって微細な破片の発生を
もたらしていることが判明した。それとともに、各工程
に於て多くの種類の容器が必要なため、その材質や収容
間隔を一定に出来ないため異なる容器間におけるウェー
ハの移し替えの自動化が難しかった。
（ニ）問題点を解決するための手段および作用上記問題
点を解決するために、本願第１の発明は、水平方向に直
線的に変位可能な水平可動支持手段と、前記水平可動支
持手段に支持され垂直方向に変位可能な昇降シャフトと
このシャフトに固定されたアームとを含む垂直可動手段
と、前記アームに装備された物品吸着手段と、前記昇降
シャフトの上部および前記アームを除く前記垂直可動手
段と前記水平可動支持手段とを包囲するケースと、この
ケース内の雰囲気をケース外の雰囲気に対して減圧する
手段と、前記水平可動支持手段の水平移動範囲内におい
て前記ケース上面の所定位置に載置された容器（空容器
）の物品が移載収容されるべき位置を検出する物品収容
位置検出手段と、前記水平可動支持手段の水平移動範囲
において前記ケース上面に載置された容器（既収容容器
）に収容されている物品を検出する物品検出手段と、前
記物品収容位置検出手段および物品検出手段からの検出
信号に基づき、予め定めたシーケンスに従って前記水平
可動支持手段、垂直可動支持手段および物品吸着手段を
関連動作させる制御手段とから構成される。
点を解決するために、本願第１の発明は、水平方向に直
線的に変位可能な水平可動支持手段と、前記水平可動支
持手段に支持され垂直方向に変位可能な昇降シャフトと
このシャフトに固定されたアームとを含む垂直可動手段
と、前記アームに装備された物品吸着手段と、前記昇降
シャフトの上部および前記アームを除く前記垂直可動手
段と前記水平可動支持手段とを包囲するケースと、この
ケース内の雰囲気をケース外の雰囲気に対して減圧する
手段と、前記水平可動支持手段の水平移動範囲内におい
て前記ケース上面の所定位置に載置された容器（空容器
）の物品が移載収容されるべき位置を検出する物品収容
位置検出手段と、前記水平可動支持手段の水平移動範囲
において前記ケース上面に載置された容器（既収容容器
）に収容されている物品を検出する物品検出手段と、前
記物品収容位置検出手段および物品検出手段からの検出
信号に基づき、予め定めたシーケンスに従って前記水平
可動支持手段、垂直可動支持手段および物品吸着手段を
関連動作させる制御手段とから構成される。
前記水平可動支持手段が直線的に移動させられるとき、
この支持手段に支持された垂直可動手段の昇降シャフト
も直線的に水平移動し、従って水平アームの物品吸着手
段も前記ケース上面上方で水平方向に直線的に移動する
。そこで物品吸着手段の直線移動路直下の対応するケー
ス上面上の直線路に沿う二つの予め定めた位置に物品例
えばウェハーを直立状態で並列収容した容器（既収容容
器）と空容器とを設置し、水平可動支持手段の水平直線
移動と昇降シャフトの昇降動作と物品吸着手段の吸着動
作とを予め定めたシーケンスに従って制御することによ
り、物品吸着手段によって既収容容器のウェハーを一枚
ずつ吸着して持ち上げ直線的に移動させて空容器の収容
位置（溝）へ順次移載することができる。この場合、物
品吸着手段の近傍に配備した物品検出手段による物品の
検出信号が前記シーケンスに優先して物品吸着手段の吸
着動作を制御し、また物品移載作業に先立って物品収容
位置検出手段によって前記所定位置に設置された空容器
のすべての物品収容位置（溝）を予め走査してその位置
を記憶しておき、この記憶に基づいて移載動作が制御さ
れる。
この支持手段に支持された垂直可動手段の昇降シャフト
も直線的に水平移動し、従って水平アームの物品吸着手
段も前記ケース上面上方で水平方向に直線的に移動する
。そこで物品吸着手段の直線移動路直下の対応するケー
ス上面上の直線路に沿う二つの予め定めた位置に物品例
えばウェハーを直立状態で並列収容した容器（既収容容
器）と空容器とを設置し、水平可動支持手段の水平直線
移動と昇降シャフトの昇降動作と物品吸着手段の吸着動
作とを予め定めたシーケンスに従って制御することによ
り、物品吸着手段によって既収容容器のウェハーを一枚
ずつ吸着して持ち上げ直線的に移動させて空容器の収容
位置（溝）へ順次移載することができる。この場合、物
品吸着手段の近傍に配備した物品検出手段による物品の
検出信号が前記シーケンスに優先して物品吸着手段の吸
着動作を制御し、また物品移載作業に先立って物品収容
位置検出手段によって前記所定位置に設置された空容器
のすべての物品収容位置（溝）を予め走査してその位置
を記憶しておき、この記憶に基づいて移載動作が制御さ
れる。
本願第２の発明は上記第１の発明において、移載される
べき物品を収容した容器（既収容容器）および物品が移
載収容されるべき容器（空容器）をケース上面に直接設
置することなく、複数個の既収容容器および複数個の空
容器がそれぞれ載置されるターンテーブルを含む二つの
割出し手段を備え、前記収容容器および空容器を、前記
ケース上面において前記水平可動手段の水平移動範囲内
のそれぞれの所定位置に順次択一的に配置するようにし
たものである。
べき物品を収容した容器（既収容容器）および物品が移
載収容されるべき容器（空容器）をケース上面に直接設
置することなく、複数個の既収容容器および複数個の空
容器がそれぞれ載置されるターンテーブルを含む二つの
割出し手段を備え、前記収容容器および空容器を、前記
ケース上面において前記水平可動手段の水平移動範囲内
のそれぞれの所定位置に順次択一的に配置するようにし
たものである。
（ホ）実施例
以下図示実施例を詳細に説明する。
図において、ｌはウェハー、２ａ、３ａはウェハーを立
てて並列収容する樋状容器ないしカセットで、ウェハー
１を収容する多数の溝４が内面に微小な（例えば２ ａ
ｍ）間隔をおいて設けられている。図示を簡単にするた
めに溝およびその間隔は大きく描いである。
てて並列収容する樋状容器ないしカセットで、ウェハー
１を収容する多数の溝４が内面に微小な（例えば２ ａ
ｍ）間隔をおいて設けられている。図示を簡単にするた
めに溝およびその間隔は大きく描いである。
４０は本発明による移載機構で一方のカセット２ａから
ウェハーを順次取り上げて他方のカセッ）３ａへ移載す
るものである。第１図は移載機構の一例の詳細を示し、
５ａ、５ｂは所定の間隔をおいて配置された移載機構の
固定板、６ａ、６ｂは再固定板５ａ、５ｂに架設された
互いに平行な固定案内シヤフト、７は案内シャフト６ａ
、６ｂの中間においてこれらのシャフトに平行に固定板
５ａ、５ｂ間に回転可能に架設されたねじ棒、８はねじ
棒を回転させるパルスモータ、９は案内シャフトｓａ、
ｓｂに滑動自在に支持されるとともにねじ棒７に螺合さ
れねじ棒７の回転によって案内シャフト６ａ、６ｂの長
さ方向に変位せしめられる水平可動支持部材（以下、単
に可動部材という）である。
ウェハーを順次取り上げて他方のカセッ）３ａへ移載す
るものである。第１図は移載機構の一例の詳細を示し、
５ａ、５ｂは所定の間隔をおいて配置された移載機構の
固定板、６ａ、６ｂは再固定板５ａ、５ｂに架設された
互いに平行な固定案内シヤフト、７は案内シャフト６ａ
、６ｂの中間においてこれらのシャフトに平行に固定板
５ａ、５ｂ間に回転可能に架設されたねじ棒、８はねじ
棒を回転させるパルスモータ、９は案内シャフトｓａ、
ｓｂに滑動自在に支持されるとともにねじ棒７に螺合さ
れねじ棒７の回転によって案内シャフト６ａ、６ｂの長
さ方向に変位せしめられる水平可動支持部材（以下、単
に可動部材という）である。
１０は可動部材９に固定された支持板で垂直延長部１０
ａとその下端の水平延長部１０ｂとからなる。１１は可
動部材９に上下移動可能に支持された昇降シャフト、１
２はシャフト１１の案内リング、１３は昇降シャフト１
１を昇降駆動するシリンダで、そのピストンロッド１３
ａにシャフト１１が連結される。１４ａ、１４ｂはシリ
ンダ１３内のピストン（図では見えない）の両側に択一
的に圧縮空気を供給または排出するパイプで、１４ａ、
１４ｂの一方が圧縮空気を供給するとき他方は排気を行
なう、１５は圧縮空気供給源で例えば空気コンプレッサ
、１５ａは供給管である。
ａとその下端の水平延長部１０ｂとからなる。１１は可
動部材９に上下移動可能に支持された昇降シャフト、１
２はシャフト１１の案内リング、１３は昇降シャフト１
１を昇降駆動するシリンダで、そのピストンロッド１３
ａにシャフト１１が連結される。１４ａ、１４ｂはシリ
ンダ１３内のピストン（図では見えない）の両側に択一
的に圧縮空気を供給または排出するパイプで、１４ａ、
１４ｂの一方が圧縮空気を供給するとき他方は排気を行
なう、１５は圧縮空気供給源で例えば空気コンプレッサ
、１５ａは供給管である。
１６は電磁弁、１７ａ、１７ｂは流量調整弁である。シ
リンダ１３および電磁弁１６は支持板１゜のそれぞれ水
平延長部分ｌＯｂおよび垂下延長部分１０ａに固定支持
され可動部材９とともに移動可能である。
リンダ１３および電磁弁１６は支持板１゜のそれぞれ水
平延長部分ｌＯｂおよび垂下延長部分１０ａに固定支持
され可動部材９とともに移動可能である。
１９は昇降シャフト１１の上端にこれと直角に連結また
は一体に形成された水平アームで、昇降シャフトｌｌと
共に垂直可動手段を構成する。
は一体に形成された水平アームで、昇降シャフトｌｌと
共に垂直可動手段を構成する。
２０は水平アーム１９の先端に付設された吸着器で、ウ
ェハー１の側面（裏面）を吸着する。
ェハー１の側面（裏面）を吸着する。
２０ａは物品゛検出器で、後述のように吸着器２０のウ
ェハーに対する接近および吸着動作の制御において安全
機部を行なう、２２は真空ポンプ、２１は吸着器２０に
真空を供給する管で、水平アーム１９内を延長している
。
ェハーに対する接近および吸着動作の制御において安全
機部を行なう、２２は真空ポンプ、２１は吸着器２０に
真空を供給する管で、水平アーム１９内を延長している
。
２３は水平アーム１９の下方においてシャフト１１に取
り付けた第２のアーム、２４はこのアーム２３の先端に
下向きに付設された溝センサで後述のように容器３ａの
溝４を検出する。
り付けた第２のアーム、２４はこのアーム２３の先端に
下向きに付設された溝センサで後述のように容器３ａの
溝４を検出する。
２５は昇降シャフト１１の上部、アーム１９．２３、吸
着器２０、センサ２０ａ、２４を除いた移載機構４０の
全体を収容するケース、２６はケース２５内の空気を吸
引して移載機構４０の各部から発生する粉塵がケース２
５外へ出ないようにするための吸引パイプで、このパイ
プ２６は適当な吸引ポンプ（図示省略）に連結される。
着器２０、センサ２０ａ、２４を除いた移載機構４０の
全体を収容するケース、２６はケース２５内の空気を吸
引して移載機構４０の各部から発生する粉塵がケース２
５外へ出ないようにするための吸引パイプで、このパイ
プ２６は適当な吸引ポンプ（図示省略）に連結される。
ケース２５内から吸引された空気はクリーンルーム内に
排出されないこともちろんである。なお、２５ａはケー
ス２５の上面に設けたスロットで、昇降シャフトｌｌの
上部がケース２５外へ突出するとともにこのシャツ）１
１の水平移動を許容する。
排出されないこともちろんである。なお、２５ａはケー
ス２５の上面に設けたスロットで、昇降シャフトｌｌの
上部がケース２５外へ突出するとともにこのシャツ）１
１の水平移動を許容する。
ケース２５内は若干減圧されているので内部の粉塵がス
ロット２５ａからケース２５の外へ出ることはないが、
シャッター機構２７を設けて防塵効果を高めるようにし
てもよい。
ロット２５ａからケース２５の外へ出ることはないが、
シャッター機構２７を設けて防塵効果を高めるようにし
てもよい。
２８は制御部で、マイクロコンピュータを含み以下に述
べる本発明装置の動作を予め定められたプログラムに従
って制御する。
べる本発明装置の動作を予め定められたプログラムに従
って制御する。
次に動作を説明する。先ず、制御部２８からの指令によ
り電磁弁１６、パイプ１４ａを介してコンプレッサ１５
より圧縮空気をシリンダ１３のピストンの下側に圧入し
てシャフト１１従ってアーム１９を上昇位置に保持し、
パルスモータ８を駆動して可動部材９従ってアーム１９
．２３を図で右へ移動させる。アーム１９．２３が容器
２ａに収容されているウェハーのうち一番右端のウェハ
ー１ａを少し越えた位置で可動部材９の移動を停止させ
る。この停止制御はパルスモータ８への駆動パルスの供
給数を予め定めておくことによって行なわれる。可動部
材９の移動が停止されると、制御部ｚ８からの信号によ
り電磁弁１６が切換えられ、圧縮空気がシリンダ１３の
ピストンの上側に送入されシャフト１１．従ってアーム
１９が下降され吸着器２０および物品検出器２０ａが一
番右端のウェハー１ａの右側で停止される。そこでパル
スモータ８が逆転駆動され可動部材９゜従ってアーム１
９を左方へ予め定めた短路ｆａ（例えばパルスモニタ８
の駆動パルス１０個分）だけ戻して吸着器２０をウェハ
ー１ａの右側面に接近させる。アーム１９が上記１０個
のパルスプラスマイナス例えば３個の位置まで戻ったと
き、物品検出器２０ａがウェハーを検出すると、その検
出信号に応答して真空ポンプ２２が真空を供給し吸着器
２０がウェハー１ａを吸着する。
り電磁弁１６、パイプ１４ａを介してコンプレッサ１５
より圧縮空気をシリンダ１３のピストンの下側に圧入し
てシャフト１１従ってアーム１９を上昇位置に保持し、
パルスモータ８を駆動して可動部材９従ってアーム１９
．２３を図で右へ移動させる。アーム１９．２３が容器
２ａに収容されているウェハーのうち一番右端のウェハ
ー１ａを少し越えた位置で可動部材９の移動を停止させ
る。この停止制御はパルスモータ８への駆動パルスの供
給数を予め定めておくことによって行なわれる。可動部
材９の移動が停止されると、制御部ｚ８からの信号によ
り電磁弁１６が切換えられ、圧縮空気がシリンダ１３の
ピストンの上側に送入されシャフト１１．従ってアーム
１９が下降され吸着器２０および物品検出器２０ａが一
番右端のウェハー１ａの右側で停止される。そこでパル
スモータ８が逆転駆動され可動部材９゜従ってアーム１
９を左方へ予め定めた短路ｆａ（例えばパルスモニタ８
の駆動パルス１０個分）だけ戻して吸着器２０をウェハ
ー１ａの右側面に接近させる。アーム１９が上記１０個
のパルスプラスマイナス例えば３個の位置まで戻ったと
き、物品検出器２０ａがウェハーを検出すると、その検
出信号に応答して真空ポンプ２２が真空を供給し吸着器
２０がウェハー１ａを吸着する。
吸着器２０がウェハー１ａを吸着したことを例えば真空
ポンプ２２に付設した真空検出器（図示省略）が検出し
てその検出信号により電磁弁１６を切換え、シャフト１
１従ってウェハー１ａを吸着保持したアーム１９を上昇
させ、最上昇位置においてパルスモータ８を逆転駆動さ
せ可動部材９を左方へ復動させウェハー１ａを容器３ａ
の上方へ移動させる。
ポンプ２２に付設した真空検出器（図示省略）が検出し
てその検出信号により電磁弁１６を切換え、シャフト１
１従ってウェハー１ａを吸着保持したアーム１９を上昇
させ、最上昇位置においてパルスモータ８を逆転駆動さ
せ可動部材９を左方へ復動させウェハー１ａを容器３ａ
の上方へ移動させる。
これより先に、溝センサ２４によって空の容器３ａの溝
４を走査して巻溝の位置に対応するパルスモータ８の駆
動パルス数を制御部２８の記憶装置に記憶しておき、ウ
ェハー１ａが容器３ａの一番左端の溝４ａの直上に達し
たときパルスモータ８を停止させ、電磁弁１６を切り換
えてチューブ１４ｂを介してシリンダ１３のピストンの
上側に圧縮空気を送入してシャフトｌｌを下降させウェ
ハーを溝４ａ内に挿入する。なお、シャフト１１の昇降
位置はシリンダ１３内のピストンのストロークにより予
め設定しておく、ピストンが最下位置に達し、ウェハー
が溝４ａ内に収ると真空ポンプ２２が吸着器２０への真
空の供給を停止し、吸着器２０はウェハーを離す、そこ
で電磁弁１６が切換えられシャフト１１が上昇され、パ
ルスモータ８が正転駆動され次のウェハーの移載工程に
移る。これらの動作は予め定められたプログラムに従っ
て制御ｓ２８により行なわれる。
４を走査して巻溝の位置に対応するパルスモータ８の駆
動パルス数を制御部２８の記憶装置に記憶しておき、ウ
ェハー１ａが容器３ａの一番左端の溝４ａの直上に達し
たときパルスモータ８を停止させ、電磁弁１６を切り換
えてチューブ１４ｂを介してシリンダ１３のピストンの
上側に圧縮空気を送入してシャフトｌｌを下降させウェ
ハーを溝４ａ内に挿入する。なお、シャフト１１の昇降
位置はシリンダ１３内のピストンのストロークにより予
め設定しておく、ピストンが最下位置に達し、ウェハー
が溝４ａ内に収ると真空ポンプ２２が吸着器２０への真
空の供給を停止し、吸着器２０はウェハーを離す、そこ
で電磁弁１６が切換えられシャフト１１が上昇され、パ
ルスモータ８が正転駆動され次のウェハーの移載工程に
移る。これらの動作は予め定められたプログラムに従っ
て制御ｓ２８により行なわれる。
上記実施例では、容器２ａのすべてのウエノ＼−が容器
３ａに移し換えられると、空になった容器２ａをウェハ
ーを収容した新しい容器と、またウェハーが移載された
容器３ａを空の容器と、それぞれ人手によって取り換え
る必要がある。
３ａに移し換えられると、空になった容器２ａをウェハ
ーを収容した新しい容器と、またウェハーが移載された
容器３ａを空の容器と、それぞれ人手によって取り換え
る必要がある。
第３図の構成では上記のような容器の取り換えを自動的
に行なうことができる。
に行なうことができる。
３０ａ、３０ｂはターンテーブルで、ノ＼ウジング２５
の土壁に配備されそれぞれ軸３１ａ、３１ｂのまわりに
回転可能である。第３図の構成はターンテーブル３０°
ａ、３０ｂおよびこれに関連する機構を除いて第１図、
第２図に示すものと同じであり、同一の参照記号は対応
する構成部材を示す。
の土壁に配備されそれぞれ軸３１ａ、３１ｂのまわりに
回転可能である。第３図の構成はターンテーブル３０°
ａ、３０ｂおよびこれに関連する機構を除いて第１図、
第２図に示すものと同じであり、同一の参照記号は対応
する構成部材を示す。
各ターンテーブル３０ａ、３０ｂの上面にはそれぞれ４
個の凹所３２が設けられそれぞれの凹所に容器２ａ〜２
ｄ、３＆〜３ｄが離脱可能に設置される。
個の凹所３２が設けられそれぞれの凹所に容器２ａ〜２
ｄ、３＆〜３ｄが離脱可能に設置される。
３３ａ、３３ｂはそれぞれターンテーブル３０ａ、３０
ｂの回転駆動用モータで、それぞれ割り出し駆動機構（
インデックスドライブ）３５ａ。
ｂの回転駆動用モータで、それぞれ割り出し駆動機構（
インデックスドライブ）３５ａ。
３５ｂを介してターンテーブル３０ａ、３０ｂを互いに
反対方向に予め定めた角度（図示では９０度）だけ回動
して停止させる。
反対方向に予め定めた角度（図示では９０度）だけ回動
して停止させる。
前述のようにして容器？＆上のすべてのウェハーが容器
３ｂに移し替えられたとき、すなわち制御部２８内で移
し替えられたウェハーの数を計数してその計数値が容器
２ａに収容されていたウェハーの数と一致したとき、容
器センサ３４ａが一方のターンテーブル３０ａ上の次の
容器２ｂを検出し、かつ容器センサー３４ｂが他方のタ
ーンテーブル３０ｂ上の次の容器３ｂを検出していれば
、制御部２８はモータ３３ａ、３３ｂに駆動信号を与え
てそれぞれターンテーブル３０ａを反時計方向に、また
、ターンテーブル３０ｂを時計方向に９０度回動させて
停止させる。従って容器２ｂ、３ｂはそれぞれそれまで
の容器２ａ、３ａのあった位置に設置され前述したと同
じようにして容器？ｂから３ｂへウェハーの移し替え作
業が行なわれる。容器２ａ、３ａはそれぞれターンテー
ブル３０ａ、３０ｂから取り除かれ新しい容器が補充さ
れる。このようにすれば、ウニ／＼−の移し替え動作は
、容器の交換作業を待つことなく連続的に行なうことが
できる。なお、第２図第３図で３６は操作盤である。
３ｂに移し替えられたとき、すなわち制御部２８内で移
し替えられたウェハーの数を計数してその計数値が容器
２ａに収容されていたウェハーの数と一致したとき、容
器センサ３４ａが一方のターンテーブル３０ａ上の次の
容器２ｂを検出し、かつ容器センサー３４ｂが他方のタ
ーンテーブル３０ｂ上の次の容器３ｂを検出していれば
、制御部２８はモータ３３ａ、３３ｂに駆動信号を与え
てそれぞれターンテーブル３０ａを反時計方向に、また
、ターンテーブル３０ｂを時計方向に９０度回動させて
停止させる。従って容器２ｂ、３ｂはそれぞれそれまで
の容器２ａ、３ａのあった位置に設置され前述したと同
じようにして容器？ｂから３ｂへウェハーの移し替え作
業が行なわれる。容器２ａ、３ａはそれぞれターンテー
ブル３０ａ、３０ｂから取り除かれ新しい容器が補充さ
れる。このようにすれば、ウニ／＼−の移し替え動作は
、容器の交換作業を待つことなく連続的に行なうことが
できる。なお、第２図第３図で３６は操作盤である。
本発明は図示実施例に限らず、種々の変形例が可能であ
る０例えば可動部材９の水平移動はねじ棒７によらずベ
ルト駆動方式としてもよいし、昇降駆動シリンダ１３を
使用しないでモータとボールねじの組合わせでもよい。
る０例えば可動部材９の水平移動はねじ棒７によらずベ
ルト駆動方式としてもよいし、昇降駆動シリンダ１３を
使用しないでモータとボールねじの組合わせでもよい。
アーム２３は、センサ２４が検知動作を行なわないとき
は、シャフト１１のまわりに図示の位置からいずれかの
方向へ所定角度回動させて保持できるようにしてもよい
。
は、シャフト１１のまわりに図示の位置からいずれかの
方向へ所定角度回動させて保持できるようにしてもよい
。
容器の溝４を予め全部走査して位置を記憶せずに、一つ
の溝を検出する毎に検出信号を発生し、この信号に基づ
いてシャフト１１を下降させるべくシリンダ１３を制御
するようにしてもよい。
の溝を検出する毎に検出信号を発生し、この信号に基づ
いてシャフト１１を下降させるべくシリンダ１３を制御
するようにしてもよい。
物品位置および物品収容位置の検出には図示例の光電検
出器２０ａ、２４による方法以外にも、例えば容器２．
３の上方に画像認識手段を配備し画像処理により、物品
および物品収容位置を一括検出して物品の位置信号およ
び物品収容位置信号を得るようにすることもできる。
出器２０ａ、２４による方法以外にも、例えば容器２．
３の上方に画像認識手段を配備し画像処理により、物品
および物品収容位置を一括検出して物品の位置信号およ
び物品収容位置信号を得るようにすることもできる。
ターンテーブル３０ａ、３０ｂの形状も図示の形状に限
らず多角形、円形でもよく、設置される容器の数も４個
に限らない。
らず多角形、円形でもよく、設置される容器の数も４個
に限らない。
（へ）効果
以上のように本発明によれば物品の移載作業時における
衝撃、摩耗による微細な粉塵の発生を実質上皆無とする
ことができ、しかも作業に高度の熟練を要せず作業能率
の向上を達成することかでさる。
衝撃、摩耗による微細な粉塵の発生を実質上皆無とする
ことができ、しかも作業に高度の熟練を要せず作業能率
の向上を達成することかでさる。
第１図は第一と第二の発明に共通な内部構成を示す概略
斜視図、 第２図は第一の発明の一実施例の外観斜視図第３図は第
二の発明の一実施例の斜視図で一部を切欠いて内部構成
の一部を示す図である。 ９・拳・水平可動支持部材、 １１・・Φ昇降シャフト、 ２０・・・吸着器、 ２０ａ・・・物品検出器、 ２４・・・物品収容位置検出器。
斜視図、 第２図は第一の発明の一実施例の外観斜視図第３図は第
二の発明の一実施例の斜視図で一部を切欠いて内部構成
の一部を示す図である。 ９・拳・水平可動支持部材、 １１・・Φ昇降シャフト、 ２０・・・吸着器、 ２０ａ・・・物品検出器、 ２４・・・物品収容位置検出器。
Claims (2)
- （１）ａ）水平方向に直線的に変位可能な水平可動支持
手段と、 ｂ）前記水平可動支持手段に支持され垂直方向に変位可
能な昇降シャフトとこのシャフトに固定されたアームと
を含む垂直可動手段と、 ｃ）前記アームに装備された物品吸着手段と、 ｄ）前記昇降シャフトの上部および前記アームを除く前
記垂直可動手段と前記水平可動支持手段とを包囲するケ
ースと、 ｅ）前記ケース内の雰囲気を前記ケース外の雰囲気に対
して減圧する手段と、 ｆ）前記水平可動支持手段の水平移動範囲内において前
記ケース上面の所定位置に載置された容器の物品が移載
収容されるべき位置を検出する物品収容位置検出手段と
、 ｇ）前記水平可動支持手段の水平移動範囲において前記
ケース上面に載置された容器に収容されている物品を検
出する物品検出手段と、 ｈ）前記物品収容位置検出手段および物品検出手段から
の検出信号に基づき、予め定めたシーケンスに従って前
記水平可動支持手段、垂直可動支持手段および物品吸着
手段を関連動作させる制御手段と、 からなることを特徴とする物品の移載装置。 - （２）ａ）水平方向に直線的に変位可能な水平可動支持
手段と、 ｂ）前記水平可動支持手段に支持され垂直方向に変位可
能な昇降シャフトとこのシャフトに固定されたアームと
を含む垂直可動手段と、 ｃ）前記アームに装備された物品吸着手段と、 ｄ）前記ケース上面において前記水平可動手段の水平移
動範囲内の第１の所定位置に対して物品を収容した複数
の容器を順次択一的に配置する第１のターンテーブルを
含む第１の割り出し手段と、 ｅ）前記ケース上面において前記水平可動支持手段の水
平移動範囲内の第２の所定位置に対して物品が収容され
るべき複数の空容器を順次択一的に配置する第２のター
ンテーブルを含む第２の割り出し手段と、 ｆ）前記昇降シャフトの上部、前記アーム、前記第１お
よび第２のターンテーブルを除く前記各手段を包囲する
ケースと、 ｇ）前記ケース内の雰囲気を前記ケース外の雰囲気に対
して減圧する手段と、 ｈ）前記第２の所定位置に置かれた空容器の物品が収容
されるべき位置を検出する物品収容位置検出手段と、 ｉ）前記第１の所定位置に置かれた容器に収容されてい
る物品の位置を検出する物品検出手段と、 ｊ）前記物品収容位置検出手段および物品検出手段から
の検出信号に基づき、予め定めたシーケンスに従って前
記水平可動支持手段、垂直可動手段および物品吸着手段
を関連動作させる制御手段と、 からなることを特徴とする物品の移載装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59263400A JPS61140148A (ja) | 1984-12-12 | 1984-12-12 | 物品の移載装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59263400A JPS61140148A (ja) | 1984-12-12 | 1984-12-12 | 物品の移載装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61140148A true JPS61140148A (ja) | 1986-06-27 |
Family
ID=17388968
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59263400A Pending JPS61140148A (ja) | 1984-12-12 | 1984-12-12 | 物品の移載装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61140148A (ja) |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6327305A (ja) * | 1986-07-21 | 1988-02-05 | Nippon Filing Co Ltd | 物品移し替え装置 |
| JPH036038A (ja) * | 1989-06-02 | 1991-01-11 | Nec Yamagata Ltd | 半導体ウェーハ搬送装置 |
| JPH0414792U (ja) * | 1990-05-25 | 1992-02-06 | ||
| JPH04247638A (ja) * | 1991-02-04 | 1992-09-03 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 着脱移送装置 |
| JPH07106214A (ja) * | 1993-10-07 | 1995-04-21 | Nec Kyushu Ltd | 半導体ウェーハ用ソータ |
| JPH07321176A (ja) * | 1994-05-20 | 1995-12-08 | Hitachi Ltd | 基板搬送方法 |
| JPH08227929A (ja) * | 1988-02-12 | 1996-09-03 | Tokyo Electron Ltd | 処理装置 |
| JPH08227930A (ja) * | 1988-02-12 | 1996-09-03 | Tokyo Electron Ltd | 製造装置及び製造方法 |
| KR100375866B1 (ko) * | 1997-02-17 | 2003-03-10 | 매트슨 웨트 프로덕츠 게엠베하 | 유체 컨테이너에서 기판을 처리하기 위한 방법 및 장치 |
| CN103926544A (zh) * | 2014-03-17 | 2014-07-16 | 上海美诺福科技股份有限公司 | 方圈插片装置、应用方圈插片装置检测硅钢片的方法 |
-
1984
- 1984-12-12 JP JP59263400A patent/JPS61140148A/ja active Pending
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0369805B2 (ja) * | 1986-07-21 | 1991-11-05 | Nippon Filing Co Ltd | |
| JPS6327305A (ja) * | 1986-07-21 | 1988-02-05 | Nippon Filing Co Ltd | 物品移し替え装置 |
| JPH08227930A (ja) * | 1988-02-12 | 1996-09-03 | Tokyo Electron Ltd | 製造装置及び製造方法 |
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| JPH07321176A (ja) * | 1994-05-20 | 1995-12-08 | Hitachi Ltd | 基板搬送方法 |
| KR100375866B1 (ko) * | 1997-02-17 | 2003-03-10 | 매트슨 웨트 프로덕츠 게엠베하 | 유체 컨테이너에서 기판을 처리하기 위한 방법 및 장치 |
| US6647641B1 (en) | 1997-02-17 | 2003-11-18 | Steag Microtech Gmbh | Device and method for the treatment of substrates in a fluid container |
| CN103926544A (zh) * | 2014-03-17 | 2014-07-16 | 上海美诺福科技股份有限公司 | 方圈插片装置、应用方圈插片装置检测硅钢片的方法 |
| CN103926544B (zh) * | 2014-03-17 | 2017-06-27 | 上海美诺福科技股份有限公司 | 应用方圈插片装置检测硅钢片的方法 |
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