JPS6293112A - 搬送装置 - Google Patents
搬送装置Info
- Publication number
- JPS6293112A JPS6293112A JP23404985A JP23404985A JPS6293112A JP S6293112 A JPS6293112 A JP S6293112A JP 23404985 A JP23404985 A JP 23404985A JP 23404985 A JP23404985 A JP 23404985A JP S6293112 A JPS6293112 A JP S6293112A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- arm
- motor
- carriage
- plate
- horizontally moving
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は、クリーンルーム内でシリコンウェーハ、ＬＣ
Ｄの表面ガラス、ＩＣのフォトマスク等の電子部品を各
蛙処理装置や測定器に搬入或は散出する搬送装置に関す
る。
Ｄの表面ガラス、ＩＣのフォトマスク等の電子部品を各
蛙処理装置や測定器に搬入或は散出する搬送装置に関す
る。
〈従来の技術〉
例えばシソコンウェーハに各種処理を施したり測定器に
かけてその性能を測定する場合、その処理やｉｆ！Ｉ＋
定はクリーンルーム内で塵埃などを遮断して行なわわる
。シソコンウェーハは通常棚式のカセット内に収納され
るか、そのウェーハをそれぞれ取り出して処理装置等の
ステージに搬送する装置には、微小な油滴や金属粉など
を出さないクリーンルーム専用の搬送装置か必要となる
。
かけてその性能を測定する場合、その処理やｉｆ！Ｉ＋
定はクリーンルーム内で塵埃などを遮断して行なわわる
。シソコンウェーハは通常棚式のカセット内に収納され
るか、そのウェーハをそれぞれ取り出して処理装置等の
ステージに搬送する装置には、微小な油滴や金属粉など
を出さないクリーンルーム専用の搬送装置か必要となる
。
〈発明が解決しようとする問題点〉
従来のこの種の搬送装置として、ベルトコンヘヤ式のも
のが実用化されているが、上下動や左Ｂの動きかできな
いため、ウェーハを収納したカセットに昇１命装置が必
要となり、またウェーへの出し入れを一方向のみしか行
なえず、カセットや処理装置などの配置か限定され、ク
リーンルーム内の設置スペースか制限されるｒｍ題があ
った。
のが実用化されているが、上下動や左Ｂの動きかできな
いため、ウェーハを収納したカセットに昇１命装置が必
要となり、またウェーへの出し入れを一方向のみしか行
なえず、カセットや処理装置などの配置か限定され、ク
リーンルーム内の設置スペースか制限されるｒｍ題があ
った。
〈問題点を解決するための手段〉
本発明は、上記の点にかんがみなさねたもので、シリコ
ンウェー八等の電子部品をクリーンルーム内で任意の場
所に効率良く自在に搬送することができる搬送装置を提
供するものであり、以下のように構成される。
ンウェー八等の電子部品をクリーンルーム内で任意の場
所に効率良く自在に搬送することができる搬送装置を提
供するものであり、以下のように構成される。
すなわち、本発明の搬送装置は、クリーンルーム内て電
子部品をアーム上に載せて任意の位置に搬送する搬送装
置であって、複数のガイド棒で上下に連結された上板と
底板の間にねじ付シャフトか回転駆動可能に立設され、
上板と底板の間に可動板がガイド棒により上下摺動可能
にガイドされ且つねじ付シャフトの回転により上下動す
るように配設され、該可動板上には上板を貫通して上方
に突出する筒体か回転駆動可能に立設され、水平移動部
がその筒体の上端に固定され、水平移動部上にはアーム
を設けたキャリッジが水平移動可能に配設され、水平移
動部内に軸支したプーリ間にかけ渡した駆動用のワイヤ
をキャリッジに係止してＪｉη成される。
子部品をアーム上に載せて任意の位置に搬送する搬送装
置であって、複数のガイド棒で上下に連結された上板と
底板の間にねじ付シャフトか回転駆動可能に立設され、
上板と底板の間に可動板がガイド棒により上下摺動可能
にガイドされ且つねじ付シャフトの回転により上下動す
るように配設され、該可動板上には上板を貫通して上方
に突出する筒体か回転駆動可能に立設され、水平移動部
がその筒体の上端に固定され、水平移動部上にはアーム
を設けたキャリッジが水平移動可能に配設され、水平移
動部内に軸支したプーリ間にかけ渡した駆動用のワイヤ
をキャリッジに係止してＪｉη成される。
〈実施例〉
以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
第１図はクリーンルーム内でシリコーンウェー八を搬送
する搬送装置の正面図を、第２図は同平面図を、第３図
は同右側面図を示している。第１図、第３図における装
置の本体１は外側カバーを外した状態を示し、本体１の
底板２と上板３は３本のガイド棒４により連結され、可
動板５が３本のガイド棒４にガイドされながら上下動可
能に配設される。可動板５はボールねじの作用により水
平に上下動し、その中央には筒体７が第５図に示すよう
にベアリング１５を介して回転可能に立設される。底板
２と上板３の間にはポールねしのねじ付シャフト８が回
転可能に立設され、可動板５の一部に取付けためねじ部
９と鋼球を介してねじ付シャフト８が螺合され、ねじ付
シャフト８が、底板２上に設置された上下動モータ１０
によりプーリ１１，１２とベルト！３を介して回転駆動
されることによって、可動板５は上下動を行なう。
する搬送装置の正面図を、第２図は同平面図を、第３図
は同右側面図を示している。第１図、第３図における装
置の本体１は外側カバーを外した状態を示し、本体１の
底板２と上板３は３本のガイド棒４により連結され、可
動板５が３本のガイド棒４にガイドされながら上下動可
能に配設される。可動板５はボールねじの作用により水
平に上下動し、その中央には筒体７が第５図に示すよう
にベアリング１５を介して回転可能に立設される。底板
２と上板３の間にはポールねしのねじ付シャフト８が回
転可能に立設され、可動板５の一部に取付けためねじ部
９と鋼球を介してねじ付シャフト８が螺合され、ねじ付
シャフト８が、底板２上に設置された上下動モータ１０
によりプーリ１１，１２とベルト！３を介して回転駆動
されることによって、可動板５は上下動を行なう。
可動板５上に立設された筒体７は上板３の中央に設けた
孔から上方に突出し、筒体７の上端には水平移動部１４
が水平に固定される。一方、筒体７の下端には大歯車１
６が取着され、第３図に示すように、可動板５の下面に
固定された旋回モータ１７に複数の歯車１日を介して大
歯車１６は連結され、旋回モータ１７の回転により筒体
７と水平移動部１４が約３６０度の範囲で回動される。
孔から上方に突出し、筒体７の上端には水平移動部１４
が水平に固定される。一方、筒体７の下端には大歯車１
６が取着され、第３図に示すように、可動板５の下面に
固定された旋回モータ１７に複数の歯車１日を介して大
歯車１６は連結され、旋回モータ１７の回転により筒体
７と水平移動部１４が約３６０度の範囲で回動される。
第５図に示すように、筒体７内にはシャフト１９がベア
リング２０．２１を介して配設され、シャフト１９の上
端は水平移動部１４内に入り、ここに駆動プーリ２２が
軸着され、その下端は大歯車１６内の四部入り、ここに
小歯車２３が軸着される。また、筒体７の下端の大歯車
１６の下面には水平移動モータ２４が固定され、この水
平移動モータ２４により小歯車２３を介してシャフト１
９が駆動され、水平移動部１４内の駆動プーリ２２が回
転駆動される。なお、筒体７内の空間は水平移動部１４
内と連通し、この中をセンサ等の配線が通る。
リング２０．２１を介して配設され、シャフト１９の上
端は水平移動部１４内に入り、ここに駆動プーリ２２が
軸着され、その下端は大歯車１６内の四部入り、ここに
小歯車２３が軸着される。また、筒体７の下端の大歯車
１６の下面には水平移動モータ２４が固定され、この水
平移動モータ２４により小歯車２３を介してシャフト１
９が駆動され、水平移動部１４内の駆動プーリ２２が回
転駆動される。なお、筒体７内の空間は水平移動部１４
内と連通し、この中をセンサ等の配線が通る。
水平移動部１４は、第６図と第７図に示すように、細長
い箱状に形成され、その上面には長手方向に沿ってスリ
ット状の開口部が形成される。また水平移動部１４内に
長子方向に沿って２本のガイドシャフト２６が一定の間
隔をおいて配設され、このガイドシャフト２６にキャリ
ッジ２７が水平移動可能に支持される。キャリッジ２７
の上板２８と下板２９とそれらの間には１４個のローラ
３０が縦横に軸支され、各ローラ３０がガイドシャフト
２６に当接しキャリッジ２７は水平移動部１４の長手方
向に沿って走行可能である。キャリッジ２７の上板２８
上にはアーム取付部３１か水平移動部１４上部の開口部
から上方に突出するように設けられ、上方に突出したア
ーム取付部３１には板状のアーム３２が水平に取着され
る。一方、水平移動部１４内の底部には両端にプーリ３
３が軸支され、中央に配設された前述の駆動プーリ２２
と両側のプーリ３３との間に合成樹脂で被覆されたワイ
ヤ３４が適度なテンションをもってかけ渡される。この
とき、駆動ブー９２２にはワイヤ３４が１回巻付けられ
、さらに、上方に位置するキャリッジ２７の下板２９か
ら下方に突設されたフック３５にも２つのプーリ３３間
のワイヤ３４が１回巻付けられ、ワイヤ３４の回転移動
によりキャリッジ２７が水平移動部１４内を走行するな
お、上記で使用した歯車類には合成樹脂製歯車が用いら
れ、金属の摩耗による金属粉の発生を防止している。
い箱状に形成され、その上面には長手方向に沿ってスリ
ット状の開口部が形成される。また水平移動部１４内に
長子方向に沿って２本のガイドシャフト２６が一定の間
隔をおいて配設され、このガイドシャフト２６にキャリ
ッジ２７が水平移動可能に支持される。キャリッジ２７
の上板２８と下板２９とそれらの間には１４個のローラ
３０が縦横に軸支され、各ローラ３０がガイドシャフト
２６に当接しキャリッジ２７は水平移動部１４の長手方
向に沿って走行可能である。キャリッジ２７の上板２８
上にはアーム取付部３１か水平移動部１４上部の開口部
から上方に突出するように設けられ、上方に突出したア
ーム取付部３１には板状のアーム３２が水平に取着され
る。一方、水平移動部１４内の底部には両端にプーリ３
３が軸支され、中央に配設された前述の駆動プーリ２２
と両側のプーリ３３との間に合成樹脂で被覆されたワイ
ヤ３４が適度なテンションをもってかけ渡される。この
とき、駆動ブー９２２にはワイヤ３４が１回巻付けられ
、さらに、上方に位置するキャリッジ２７の下板２９か
ら下方に突設されたフック３５にも２つのプーリ３３間
のワイヤ３４が１回巻付けられ、ワイヤ３４の回転移動
によりキャリッジ２７が水平移動部１４内を走行するな
お、上記で使用した歯車類には合成樹脂製歯車が用いら
れ、金属の摩耗による金属粉の発生を防止している。
上記のように構成された搬送装置はクリーンルーム内に
設置され、シリコンウェーハを棚状のカセットから処理
装置のステージに運び、再びこれをカセットの定位置に
戻すように使用される。シリコンウェーハをのせるアー
ム３２は上下動、旋回、１ＦＴ １＆水平移動を行なう
ことができるため、第８図、第９図に示すように、１台
の処理装置４゜の桶にこの搬送装置を設置し、反対側に
多段状の棚をもつ複数のカセット４１を並べて設置する
ことにより、クリーンルーム内のスペースを有効に利用
できる。
設置され、シリコンウェーハを棚状のカセットから処理
装置のステージに運び、再びこれをカセットの定位置に
戻すように使用される。シリコンウェーハをのせるアー
ム３２は上下動、旋回、１ＦＴ １＆水平移動を行なう
ことができるため、第８図、第９図に示すように、１台
の処理装置４゜の桶にこの搬送装置を設置し、反対側に
多段状の棚をもつ複数のカセット４１を並べて設置する
ことにより、クリーンルーム内のスペースを有効に利用
できる。
例えば、第８図、第９図の位置にアーム３２か位置し、
直ぐ後のカセット４１の上端からシリコンウェーハを取
り出す場合、旋回モータ１７を駆動して筒体７及び水平
移動部１４を約１８０度回動させ、アーム３２の方向を
カセット４１に向けさせると共に、上下動モータ１０を
駆動して可動板５、筒体７、及び水平移動部１４を目的
の棚の高さまで上昇させる。続いて、水平移動モータ２
４が駆動され、駆動プーリ２２、ワイヤ３４の回転移動
によりキャリッジ２７は水平移動部１４上をカセット４
１の方向に移動し、アーム３２が目標とする棚の下側に
挿入され、この状態で上下動モータ１０がわずかに作動
すると、アーム３２（水平移動部全体）か少し上昇し、
アーム３２上にシリコンウェーハを載せる。次に、水平
移動モータ２４が再び作動してキャリッジ２７つまりア
ーム３２がウェーハを載せた状態で中央に戻り、続いて
、上下動モータ２４、旋回モータエフが作動してアーム
３２は処理装置４０のステージと対向した最初の位置に
戻る。そして、水平移動モータ２４か再び作動してアー
ム３２が煎進し、ステージにウェーハを差し入れた状態
で、上下動モータ１０がわずかに作動してアーム３２を
少し下げ、ウェーハを処理装置４０のステージに置き、
その後、キャリッジ２７、アーム３２は最初の位置に戻
る。
直ぐ後のカセット４１の上端からシリコンウェーハを取
り出す場合、旋回モータ１７を駆動して筒体７及び水平
移動部１４を約１８０度回動させ、アーム３２の方向を
カセット４１に向けさせると共に、上下動モータ１０を
駆動して可動板５、筒体７、及び水平移動部１４を目的
の棚の高さまで上昇させる。続いて、水平移動モータ２
４が駆動され、駆動プーリ２２、ワイヤ３４の回転移動
によりキャリッジ２７は水平移動部１４上をカセット４
１の方向に移動し、アーム３２が目標とする棚の下側に
挿入され、この状態で上下動モータ１０がわずかに作動
すると、アーム３２（水平移動部全体）か少し上昇し、
アーム３２上にシリコンウェーハを載せる。次に、水平
移動モータ２４が再び作動してキャリッジ２７つまりア
ーム３２がウェーハを載せた状態で中央に戻り、続いて
、上下動モータ２４、旋回モータエフが作動してアーム
３２は処理装置４０のステージと対向した最初の位置に
戻る。そして、水平移動モータ２４か再び作動してアー
ム３２が煎進し、ステージにウェーハを差し入れた状態
で、上下動モータ１０がわずかに作動してアーム３２を
少し下げ、ウェーハを処理装置４０のステージに置き、
その後、キャリッジ２７、アーム３２は最初の位置に戻
る。
そして、処理装置における処理が終了すると、搬送装置
のアーム３２が上記とは逆の順序で作動することにより
ステージ上に進入してウェーハを持ち上げ、さらに、取
り出したカセット４１の棚まてこれを運び、この棚にウ
ェーハを戻す。このような動作が、各カセットの各々の
棚に載置されたウェーハについて繰り返し行なわれ、シ
リコンウェーハに必要な処理が施される。
のアーム３２が上記とは逆の順序で作動することにより
ステージ上に進入してウェーハを持ち上げ、さらに、取
り出したカセット４１の棚まてこれを運び、この棚にウ
ェーハを戻す。このような動作が、各カセットの各々の
棚に載置されたウェーハについて繰り返し行なわれ、シ
リコンウェーハに必要な処理が施される。
上記のような搬送装置の動作は、各々のスイッチを設け
た操作盤を使って手動操作により行なうこともできるが
、マイクロコンピュータを用いたシーケンスコントロー
ラなどにより全自動のプログラム制御を行なって実施す
ることもできる。この場合、コントローラにティーチン
グ機能を１．νたせ、各カセットの各欄の座標を記憶さ
せることにより、カセットの位置や棚の高さを自由に決
めて使用することができる。
た操作盤を使って手動操作により行なうこともできるが
、マイクロコンピュータを用いたシーケンスコントロー
ラなどにより全自動のプログラム制御を行なって実施す
ることもできる。この場合、コントローラにティーチン
グ機能を１．νたせ、各カセットの各欄の座標を記憶さ
せることにより、カセットの位置や棚の高さを自由に決
めて使用することができる。
なお、上記の実施例においてアーム３２はシリコンウェ
ーハ等をその上に載置しただけで搬送したが、アーム３
２の上面に吸着孔を設け、吸着孔から内部に吸気を行な
う構造とすることにより、ウェーハ等をアーム上に吸着
させ、より安全に搬送させることも、可能である。
ーハ等をその上に載置しただけで搬送したが、アーム３
２の上面に吸着孔を設け、吸着孔から内部に吸気を行な
う構造とすることにより、ウェーハ等をアーム上に吸着
させ、より安全に搬送させることも、可能である。
〈発明の効果〉
以上説明したように、本発明の搬送装置によれば、電子
部品を載せて搬送するアームを、水平移動、上下動、及
び旋回させ得るように構成したから、電子部品を立体的
に搬送することができ、従来必要とされていた電子部品
収納用のカセットの昇降装置は不要となり、また、カセ
ットをクリーンルーム内の任意の位置に設置することが
できるため、カセット等を含めた設置スペースが小さく
でき、狭いルーム内の空間をイｒ効に利用することがて
きる。
部品を載せて搬送するアームを、水平移動、上下動、及
び旋回させ得るように構成したから、電子部品を立体的
に搬送することができ、従来必要とされていた電子部品
収納用のカセットの昇降装置は不要となり、また、カセ
ットをクリーンルーム内の任意の位置に設置することが
できるため、カセット等を含めた設置スペースが小さく
でき、狭いルーム内の空間をイｒ効に利用することがて
きる。
図は本発明の〜実施例を示し、第１図は搬送装置の外側
カバーを外した状態の正面図、第２図は同平面図、第３
図は同右側面図、第４図は第１図のＡ−Ａ断面図、第５
図は第１図の中央部縦断面図、第６図は水平移動部の拡
大水手断面図、第７図は同水平移動部の拡大縦断面図、
第８図は搬送装置の平面配置図、第９図は同装置の正面
配置図である。 ２・・・底板、 ３・・・上板、 ４・・・ガイド棒、 ５・・・可動板、 ７・・・筒体、 ８・・・ねし付シャフト、 １４・・・水平移動部 、 ２７・・・キャリッジ、 ３２・・・アーム、 ３３・・・プーリ、 ３４・・・ワイヤ。 特 許 出 願 人 ブｅ理士 飯田堅太部じ−１ 弁理士 飯 １）昭 夫し ） １、 １ １Ｅ１ 図 第 ３ 図 第５図
カバーを外した状態の正面図、第２図は同平面図、第３
図は同右側面図、第４図は第１図のＡ−Ａ断面図、第５
図は第１図の中央部縦断面図、第６図は水平移動部の拡
大水手断面図、第７図は同水平移動部の拡大縦断面図、
第８図は搬送装置の平面配置図、第９図は同装置の正面
配置図である。 ２・・・底板、 ３・・・上板、 ４・・・ガイド棒、 ５・・・可動板、 ７・・・筒体、 ８・・・ねし付シャフト、 １４・・・水平移動部 、 ２７・・・キャリッジ、 ３２・・・アーム、 ３３・・・プーリ、 ３４・・・ワイヤ。 特 許 出 願 人 ブｅ理士 飯田堅太部じ−１ 弁理士 飯 １）昭 夫し ） １、 １ １Ｅ１ 図 第 ３ 図 第５図
Claims (1)
- クリーンルーム内で電子部品をアーム上に載せて任意の
位置に搬送する搬送装置であつて、複数のガイド棒で上
下に連結された上板と底板の間にねじ付シャフトが回転
駆動可能に立設され、該上板と底板の間に可動板が前記
ガイド棒により上下摺動可能にガイドされ且つ前記ねじ
付シャフトの回転により上下動するように配設され、該
可動板上には前記上板を貫通して上方に突出する筒体が
回転駆動可能に立設され、該筒体の上端に水平に移動部
が固定され、該水平移動部上には前記アームを設けたキ
ャリッジが水平移動可能に配設され、該水平移動部内に
軸支したプーリにかけ渡した駆動用のワイヤを該キャリ
ッジに係止させたことを特徴とする搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23404985A JPS6293112A (ja) | 1985-10-18 | 1985-10-18 | 搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23404985A JPS6293112A (ja) | 1985-10-18 | 1985-10-18 | 搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6293112A true JPS6293112A (ja) | 1987-04-28 |
| JPH0369809B2 JPH0369809B2 (ja) | 1991-11-05 |
Family
ID=16964768
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23404985A Granted JPS6293112A (ja) | 1985-10-18 | 1985-10-18 | 搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6293112A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63300006A (ja) * | 1987-05-29 | 1988-12-07 | Metsukusu:Kk | 搬送装置 |
| JPS6428912A (en) * | 1987-07-24 | 1989-01-31 | Hitachi Electr Eng | Wafer handling device |
| JPH01110747A (ja) * | 1987-10-23 | 1989-04-27 | Teru Kyushu Kk | 基板搬送機構 |
| JPH0331146U (ja) * | 1989-08-04 | 1991-03-26 | ||
| JPH06169003A (ja) * | 1992-11-27 | 1994-06-14 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板搬送装置 |
| JPH08227927A (ja) * | 1988-02-12 | 1996-09-03 | Tokyo Electron Ltd | 処理装置 |
| JPH0969549A (ja) * | 1995-08-31 | 1997-03-11 | Shibaura Eng Works Co Ltd | ロ−デイング装置 |
| CN108861370A (zh) * | 2018-05-28 | 2018-11-23 | 文立琴 | 一种适用于居民楼的物品输送装置 |
-
1985
- 1985-10-18 JP JP23404985A patent/JPS6293112A/ja active Granted
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63300006A (ja) * | 1987-05-29 | 1988-12-07 | Metsukusu:Kk | 搬送装置 |
| JPH054287B2 (ja) * | 1987-05-29 | 1993-01-19 | Mex Kk | |
| JPS6428912A (en) * | 1987-07-24 | 1989-01-31 | Hitachi Electr Eng | Wafer handling device |
| JPH01110747A (ja) * | 1987-10-23 | 1989-04-27 | Teru Kyushu Kk | 基板搬送機構 |
| JPH08227927A (ja) * | 1988-02-12 | 1996-09-03 | Tokyo Electron Ltd | 処理装置 |
| JPH0331146U (ja) * | 1989-08-04 | 1991-03-26 | ||
| JPH06169003A (ja) * | 1992-11-27 | 1994-06-14 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板搬送装置 |
| JPH0969549A (ja) * | 1995-08-31 | 1997-03-11 | Shibaura Eng Works Co Ltd | ロ−デイング装置 |
| CN108861370A (zh) * | 2018-05-28 | 2018-11-23 | 文立琴 | 一种适用于居民楼的物品输送装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0369809B2 (ja) | 1991-11-05 |
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