JP2003051525A6 - 基板搬送装置及び基板搬送方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 搬送カセット内に撓みある状態で狭ピッチに収納された基板を扱うことができて、装置の大型化が回避される搬送装置及び搬送方法を提供する。
【解決手段】 ３本のハンドアーム８ａ，８ｂ，８ｃの位置及び角度を、基板の種類（材質，大きさ、厚さ）に応じて変化させ、搬送カセット内に撓んだ状態で収納された基板７を、撓んだ状態のまま取り出す。その後、ハンドアーム８ａ，８ｂ，８ｃを移動させて基板７を平坦にし、他の装置に搬送する。
【選択図】図３

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶表示パネルや半導体装置の製造に用いられる大型又は薄型の基板を搬送する基板搬送装置及び基板搬送方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
液晶表示パネルや半導体装置の製造工程では、複数枚の基板を搬送カセットに収納した状態で装置間を搬送している。例えば、液晶表示装置の場合、ＴＦＴ（Thin Film Transistor：薄膜トランジスタ）及び配線等が形成された基板（ガラス基板）は、搬送カセット内に収納され、ＡＧＶ（Automatic Guided Vehicle：無人搬送車）により検査装置の近傍のカセットステーションまで搬送される。そして、搬送装置（搬送ロボット）により搬送カセットから基板が１枚づつ取り出されて、検査装置に供給される。検査終了後の基板は、搬送装置で搬送されて再び搬送カセット内に収納される。
【０００３】
図１２は、液晶パネル用基板を収納する搬送カセットを示す斜視図である。この図１２に示すように、カセット３１の側板の内面には複数の突起（リブ）３２が設けられており、基板３０はこれらの突起３２に両端部を支持された状態でカセット３１の高さ方向に一定のピッチで並べて収納される。基板３０は、搬送装置（搬送ロボット）の平板状又はフォーク状のハンドアームによってカセット３１から１枚ずつ取り出された後、検査装置に搬送され、検査装置で基板の検査がなされる。検査終了後の基板は、搬送装置により再び逆方向に搬送され、搬送カセット３１内に収納される。
【０００４】
搬送装置のハンドアームの上面には複数のパッド（基板受けパッド）が設けられており、搬送装置は、これらのパッドで基板と接触するようになっている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
液晶表示パネルの製造工程では、一般的に１枚の大型基板を用いて複数の液晶表示パネルを途中の工程まで同時に製造し、最終工程近くで基板を切断し各液晶表示パネルに分割している。近年、液晶表示パネルの大型化が促進されており、それに伴って基板のサイズも大きくなっている。
【０００６】
このような大型基板を従来構造の搬送カセットに収納すると、図１３に示すように、基板３０に大きな撓みが生じる。例えば、サイズが７３０×９２０×０．６ｍｍの基板では、撓み量は約３４ｍｍにもなる。カセット３１の基板収納ピッチＰは、基板３０の撓み量に搬送装置のハンドアームの厚さを加えた値以上であることが必要であるので、搬送カセット３１内に２０〜２５枚の基板３０を収納する場合、搬送カセット３１の高さは、おおよそ８００ｍｍ〜１, ０００ｍｍにもなる。
【０００７】
このように、搬送カセット３１が大型になると、搬送装置、ＡＧＶ及びクリーンストッカ等の設備も大型化する必要があり、設備コストが著しく上昇する。また、大型基板を平坦に保ったまま搬送するためには、搬送装置のハンドアーム上のパッドの数を多くする必要がある。しかし、パッドの数を多くすると、基板の裏面に汚れやパーティクルが付着する可能性が高くなり、好ましくない。
【０００８】
基板の撓みによる搬送カセットの大型化を回避するために、基板を縦にして搬送する垂直ハンドリングも考えられる。しかし、垂直ハンドリングでは、基板が極めて薄いため、搬送カセットに基板を収納したり取り出す際にチッピング（欠け）が発生する虞がある。また、搬送カセットと搬送装置との間の基板受け渡しが複雑になるため、搬送装置のコストが増加するという難点もある。
【０００９】
本発明の目的は、搬送カセット内に撓みある状態で狭ピッチに収納された基板を扱うことができて、装置の大型化が回避される搬送装置及び搬送方法を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明の基板搬送装置は、基板の両端部をそれぞれ支持する第１及び第２のハンドアームと、前記第１のハンドアームをその長手方向に平行な回転軸に対し回転させる第１の回転機構と、前記第２のハンドアームをその長手方向に平行な回転軸に対し回転させる第２の回転機構とを有することを特徴とする。
【００１１】
本発明の基板搬送装置は、基板の両端部を支持する第１及び第２のハンドアームと、これらの第１及び第２のハンドアームを回転させる第１及び第２の回転機構を有している。例えば、搬送カセット内に収納された基板の撓みの状態に応じて第１及び第２のハンドアームの角度を調整することにより、搬送カセットから基板を撓んだ状態のまま取り出すことができる。従って、従来の搬送装置では、搬送カセット内の基板の配列ピッチが基板の撓み量にハンドアームの厚さを加えた値以上必要であるのに対し、本発明では、搬送カセット内の基板の配列ピッチをハンドアームの厚さ分よりも若干大きくする程度でよい。これにより、搬送カセットの高さを抑えることができ、基板搬送装置だけでなく、ＡＧＶやクリーンストッカ等の設備の大型化を抑制できる。
【００１２】
第１及び第２のハンドアームに加えて、基板の中央部を支持する第３のハンドアームを設けることにより、基板をより安全に支持することができる。この場合、第３のハンドアームには回転機構を設ける必要はないが、垂直方向に移動できるように、垂直スライド機構を設ける必要がある。基板の撓み量は、基板の種類（材質、大きさ及び厚さ）により決まる。従って、第１及び第２のハンドアームを水平方向に移動させる第１及び第２の水平スライド機構を設け、基板の種類に応じて第１及び第２の回転機構、第１及び第２の水平スライド機構並びに垂直スライド機構を駆動制御することにより、各種基板に対応できるようになる。
【００１３】
本発明の基板搬送方法は、搬送カセット内に撓んだ状態で収納された基板を取り出して搬送する基板搬送装置であって、前記基板の撓み状態に応じて複数本のハンドアームの位置及び角度を変化させ、前記ハンドアームを前記搬送カセット内に挿入し、前記搬送カセットから前記基板を撓んだ状態のまま取り出すことを特徴とする。
【００１４】
本発明によれば、複数本のハンドアームの位置及び角度を基板の状態に合わせて変化させるので、搬送カセットから基板を撓んだ状態のまま取り出すことができる。この場合、従来の基板搬送方法では、搬送カセット内の基板の配列ピッチが基板の撓み量にハンドアームの厚さを加えた値以上必要であるのに対し、本発明では、搬送カセット内の基板の配列ピッチをハンドアームの厚さ分よりも若干大きくする程度でよい。これにより、搬送カセットの高さを抑えることができ、基板搬送装置だけでなく、ＡＧＶやクリーンストッカ等の設備の大型化を抑制できる。
【００１５】
基板検査装置やその他の装置に基板を渡す際には、前記ハンドアームを駆動して基板を平坦な状態してからに渡すことが好ましい。これにより、検査装置等の設備は従来のものをそのまま使用することができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。図１は本発明の実施の形態の搬送装置（搬送ロボット）を含む搬送システムの構成図、図２は同じくその平面図である。本実施の形態では、搬送カセットから基板を取り出して検査装置に供給し、検査終了後の基板を再び搬送カセットに収納する搬送装置について説明する。
【００１７】
本実施の形態の搬送装置５は、カセットステーション１と基板検査装置２との間に設置される。カセットステーション１の上には、ＡＧＶにより搬送された２個の搬送カセット４が載置される。これらの搬送カセット４には、ＴＦＴ及び配線等が形成された複数の基板（ガラス基板）が収納されている。搬送装置５は、搬送カセット４から１枚の基板を取り出して検査装置２の基板検査ステージ６上に載置する。この検査ステージ６は水平方向（Ｘ−Ｙ方向）に移動し、欠陥の有無を検査する。搬送装置５は、検査装置２による検査が終了した後、基板を検査ステージ６から取り出して搬送カセット４内に収納する。そして、次の基板を搬送カセット４から取り出して、検査装置２の検査ステージ６上に載置する。このようにして、搬送カセット４内の基板が搬送装置５により１枚づつ順番に検査装置２に送られて、検査される。
【００１８】
図３は搬送装置５の外観を示す斜視図、図４は同じくその搬送装置５の上面図、図５は同じくその搬送装置５の正面図である。但し、図３は、図４，図５に示す位置からハンドアーム駆動機構部９が移動した状態を示している。台１２上には軸１１が垂直に配置されている。この軸１１は、台１２内に設けられた駆動装置により、回転及び上下方向への移動が可能になっている。軸１１の上部には水平駆動アーム１０ａが固定されている。この水平駆動アーム１０ａは連結部１０ｃを介して水平駆動アーム１０ｂに連結され、水平駆動アーム１０ｂは連結部１０ｄを介してハンドアーム駆動機構部９に連結されている。連結部１０ｃ内に設けられた駆動装置により水平駆動アーム１０ｂが水平方向に回転し、連結部１０ｄ内に設けられた駆動装置によりハンドアーム駆動機構部９が水平方向に回転する。
【００１９】
ハンドアーム８ａ，８ｂは基板７の両端部を支持するアームである。これらのハンドアーム８ａ，８ｂは、細長い板状の部材であり、ハンドアーム駆動機構部９内の水平スライド機構（リニアアクチュエータ）１４ａ，１４ｂによって水平方向に移動可能であり、且つ回転機構１３ａ，１３ｂによって長手方向に平行な軸を中心にして回転可能である。
【００２０】
ハンドアーム８ｃは、基板７の中央部を支持するアームである。このハンドアーム８ｃも細長い板状の部材であり、ハンドアーム駆動機構部９内の垂直スライド機構（リニアアクチュエータ）１４ｃによって、垂直方向に移動する。なお、ハンドアーム８ｃには、ハンドアーム８ａ，８ｂと異なり回転機構は設けられていない。
【００２１】
ハンドアーム８ａ，８ｂ，８ｃの上面には、それぞれ複数（図では３個）のパッド１５が設けられており、ハンドアーム８ａ，８ｂ，８ｃは、これらのパッド１５の先端で搬送対象である基板７の下面と接触するようになっている。なお、本実施の形態ではパッド１５として突起物を用いているが、減圧装置に接続された吸着パッドを使用し、基板７をパッドに吸着するようにしてもよい。
【００２２】
図６はハンドアーム駆動機構部９の構成をより詳細に示す上面図、図７は同じくその正面図である。ハンドアーム８ａの水平スライド機構１４ａは、水平に配置されて軸受けで支持されたリードスクリュー１６ａと、このリードスクリュー１６ａに連結されたモータ１７ａと、リードスクリュー１６ａの回転によって水平方向に移動する移動ステージ１８ａとにより構成されている。また、ハンドアーム８ａの回転機構１３ａは、回転モータ（ギアモータ）１９ａと、このモータ１９ａとハンドアーム８ａとを連結する動力伝達ブッシュ２０ａとにより構成され、スライド機構１４ａの移動ステージ１８ａの上に取り付けられている。
【００２３】
これと同様に、ハンドアーム８ｂの水平スライド機構１４ｂは、水平に配置されて軸受けで支持されたリードスクリュー１６ｂと、このリードスクリュー１６ｂに連結されたモータ１７ｂと、リードスクリュー１６ｂの回転によって水平方向に移動する移動ステージ１８ｂとにより構成されている。また、ハンドアーム８ｂの回転機構１３ｂは、回転モータ（ギアモータ）１９ｂと、このモータ１９ｂとハンドアーム８ｂとを連結する動力伝達ブッシュ２０ｂとにより構成され、スライド機構１４ｂの移動ステージ１８ｂの上に取り付けられている。
【００２４】
ハンドアーム８ｃの垂直スライド機構１４ｃは、垂直に配置されて軸受けで支持されたリードスクリュー１６ｃと、このリードスクリュー１６ｃに連結されたモータ１７ｃと、リードスクリュー１６ｃの回転によって垂直方向に移動する移動ステージ１８ｃとにより構成されている。基板の撓み量は基板の種類により決まるので、基板の種類に応じてこれらの回転機構１３ａ，１３ｂ及びスライド機構１４ａ，１４ｂ，１４ｃを適切に制御することにより、撓んだ状態の基板の面に沿って各ハンドアーム８ａ，８ｂ，８ｃを配置することができる。
【００２５】
図８は、ハンドアーム駆動機構部９内のモータ１７ａ，１７ｂ，１７ｃ，１９ａ，１９ｂを駆動制御するハンドアーム駆動制御部を示すブロック図である。このハンドアーム駆動制御部は、水平スライド機構１４ａのモータ１７ａを駆動する駆動ユニット２１と、水平スライド機構１４ｂのモータ１７ｂを駆動する駆動ユニット２２と、垂直スライド機構１４ｃのモータ１７ｃを駆動する駆動ユニット２３と、回転機構１３ａのモータ１９ａを駆動する駆動ユニット２４と、回転機構１３ｂのモータ１９ｂを駆動する駆動ユニット２５と、これらの駆動ユニット２１〜２５を制御するコントローラ２６と、コントローラ２６にデータを設定するデータ設定部２７と、基板の種類（材質、サイズ及び厚さ）に応じたハンドアーム８ａ，８ｂ，８ｃの適切な位置を示すデータを記憶する記憶部２８とにより構成されている。
【００２６】
以下、上述した構成の本実施の形態の基板搬送装置を用いた基板搬送方法について説明する。本実施の形態では、図９に示すように搬送カセット４内に収納された基板７を取り出して、検査装置２に搬送する。この場合、搬送カセット４には複数の基板７が撓んだ状態で高さ方向に並べて収納されている。搬送カセット４の基板支持用突起（リブ）３１のピッチＰは搬送装置５のハンドアーム８ａ〜８ｃの厚さよりも若干大きい程度でよく、基板７の撓み量よりも小さくてもよい。従って、大型の基板を収納するにもかかわらず、搬送カセット４の高さを比較的低くすることができる。また、予め、記憶部２８には、ハンドアーム８ａ，８ｂ，８ｃの最適な位置を示すデータを、基板７の種類（材質、大きさ及び厚さ）毎に記憶しておく。
【００２７】
まず、搬送すべき基板７の種類（材質、サイズ及び厚さ等）を示すデータを、データ設定部２７を介してコントローラ２６に入力する。データ入力はオペレータにより手動で行ってもよいし、他の装置（システムコントローラ等）から基板の種類を示すデータがデータ設定部２７に信号線を介して自動的に送られてくるようにしてもよい。データ設定部２７を介して基板７の種類を示すデータが送られてくると、コントローラ２６は、記憶部２８に記憶されているデータを参照し、ハンドアーム８ａ，８ｂ，８ｃが基板の種類に応じた位置となるように、駆動ユニット２１〜２５を介してモータ１７ａ，１７ｂ，１７ｃ，１９ａ，１９ｂを駆動する。
【００２８】
これにより、搬送装置５のハンドアーム８ａ，８ｂ，８ｃは、基板７の撓み量に応じた位置に移動する。すなわち、図３〜図５に示すように、ハンドアーム８ａ，８ｂは基板７の種類に応じて水平方向に移動し、且つ、支持する位置の基板７の傾きに応じた角度に回転する。また、ハンドアーム８ｃは、基板７の撓み量に応じて垂直方向に移動する。そして、これらのハンドアーム８ａ，８ｂ，８ｃは、それぞれ搬送カセット４内に収納された基板７の面に沿った位置に配置される。
【００２９】
その後、軸１１が上下方向に移動し、水平駆動アーム１０ａ，１０ｂが駆動されて、ハンドアーム８ａ，８ｂ，８ｃが、搬送カセット４内の所定の基板７の下に挿入される。このとき、ハンドアーム８ａ，８ｂ，８ｃが基板７に接触しないように、各駆動部は同期がとられた状態で駆動される。次に、軸１１が若干上昇する。これにより、ハンドアーム８ａ，８ｂ，８ｃのパッド１５が基板７の下面に接触し、ハンドアーム８ａ，８ｂ，８ｃにより基板７が支持される。その後、ハンドアーム８ａ，８ｂ，８ｃが後退し、搬送カセット４から１枚の基板７が取り出される。このときも、ハンドアーム８ａ，８ｂ，８ｃ及びハンドアーム８ａ，８ｂ，８ｃ上の基板が他の基板に接触しないように、各駆動部は同期がとられた状態で駆動される。
【００３０】
次に、図１０（ａ），（ｂ）に示す状態から図１１（ａ），（ｂ）に示す状態になるまで、コントローラ２６により回転機構１３ａ，１３ｂ及び垂直スライド機構１４ｃのモータ１９ａ，１９ｂ，１７ｃが駆動され、基板７が平坦な状態に矯正される。このときも、基板７に大きな応力がかからないように、回転機構１３ａ，１３ｂ及び垂直スライド機構１４ｃは同期した状態で駆動される。
【００３１】
次いで、軸１１が上下方向に移動し、水平駆動アーム１０ａ，１０ｂが駆動されて、基板７が検査装置２の検査ステージ６の上方に移動する。そして、検査ステージ６上に基板７が載置される。検査装置２により基板７の検査が終了した後は、逆方向に動作して検査済みの基板７を搬送カセット４内に収納する。その後、同様にして次の基板７を搬送カセット４から取り出し、検査装置２に搬送する。
【００３２】
このようにして、本実施の形態の搬送装置５は、搬送カセット４内から基板７を１枚ずつ取り出して検査装置２に搬送し、検査済みの基板７を搬送カセット４内に収納する。上述した実施の形態の搬送装置５は、コントローラ２６により、３本のハンドアーム８ａ，８ｂ，８ｃが基板の撓みに応じた位置に配置され、搬送カセット４内に撓んだ状態で収納された基板７を、撓んだ状態のまま取り出すことができる。従って、搬送カセット４内に収納する基板７のピッチを従来に比べて小さくすることができる。これにより、大型基板を収納する搬送カセット４であっても、高さを低くできる。その結果、搬送装置５だけでなく、クリーンストッカやＡＧＶ等の装置も小型のものを使用することが可能になり、設備コストを低く抑えることができる。
【００３３】
また、本実施の形態の基板搬送装置５においては、記憶部２８に、ハンドアーム８ａ，８ｂ，８ｃの適切な位置を示すデータが基板の種類毎に記憶されているので、各種基板に対応することができる。また、搬送カセット４から基板７を取り出した後、ハンドアーム８ａ，８ｂ，８ｃを同期した状態で駆動させ、基板７の撓みを修正して平坦にするので、検査装置２は従来のものをそのまま使用することができる。
【００３４】
なお、上記実施の形態においては、本発明を液晶表示パネルの検査装置に基板を搬送する搬送装置及び搬送方法に適用した場合について説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、本発明は、液晶表示パネルの他の製造工程や、半導体装置の製造工程における半導体基板の搬送装置及び搬送方法に適用することもできる。
【００３５】
また、上記実施の形態においては３本のハンドアーム８ａ，８ｂ，８ｃにより基板７を支持するものとしたが、本発明はこれに限定されるものでなく、２本又は４本以上のハンドアームで基板を支持するようにしてもよい。
（付記１）基板を搬送カセットに出し入れする搬送装置において、前記基板の両端部をそれぞれ支持する第１及び第２のハンドアームと、前記第１のハンドアームをその長手方向に平行な回転軸に対し回転させる第１の回転機構と、前記第２のハンドアームをその長手方向に平行な回転軸に対し回転させる第２の回転機構とを有することを特徴とする基板搬送装置。
【００３６】
（付記２）前記第１及び第２のハンドアームをそれぞれ水平方向に移動させる第１及び第２の水平スライド機構を有することを特徴とする付記１に記載の基板搬送装置。
（付記３）前記基板の種類毎に前記第１及び第２のハンドアームの位置及び角度を示すデータを記憶した記憶部と、前記記憶部に記憶されたデータに基づいて前記第１及び第２の回転機構並びに前記第１及び前記第２の水平スライド機構を駆動制御する駆動制御部とを有することを特徴とする付記２に記載の基板搬送装置。
【００３７】
（付記４）前記第１及び第２のハンドアームの間に配置された第３のハンドアームと、前記第３のハンドアームを垂直方向に移動させる垂直スライド機構と、前記基板の種類毎に、前記第１及び第２のハンドアームの角度と前記第１、第２及び第３のハンドアームの位置とを記憶した記憶部と、前記記憶部に記憶されたデータに基づいて前記第１及び第２の回転機構、前記第１及び第２の水平スライド機構並びに前記垂直スライド機構を駆動制御する駆動制御部とを有することを特徴とする付記２に記載の基板搬送装置。
【００３８】
（付記５）前記第１及び第２のハンドアームの間に配置された第３のハンドアームと、前記第３のハンドアームを垂直方向に移動させる垂直スライド機構とを有することを特徴とする付記１に記載の基板搬送装置。
（付記６）搬送カセット内に撓んだ状態で収納された基板を取り出して搬送する基板搬送装置であって、前記基板の撓み状態に応じて複数本のハンドアームの位置及び角度を変化させ、前記ハンドアームを前記搬送カセット内に挿入し、前記搬送カセットから前記基板を撓んだ状態のまま取り出すことを特徴とする基板搬送方法。
【００３９】
（付記７）前記基板を前記搬送カセットから取り出した後、前記複数のハンドアームを駆動して前記基板を平坦な状態にすることを特徴とする付記６に記載の基板搬送方法。
（付記８）３本のハンドアームを使用し、これらのハンドアームの位置及び角度を、前記基板のサイズに応じて変化させることを特徴とする付記６に記載の基板搬送方法。
【００４０】
（付記９）前記基板の種類に応じて前記ハンドアームの位置及び角度を変化させることを特徴とする付記６に記載の基板搬送方法。
【００４１】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明の基板搬送装置によれば、基板の両端部を支持する第１及び第２のハンドアームと、これらのハンドアームを回転させる第１及び第２の回転機構を有しているので、搬送カセット内に撓んだ状態で収納された基板の面に対向するように第１及び第２のハンドアームを回転させて、基板を撓んだ状態のまま搬送カセットから取り出すことができる。これにより、搬送カセットの高さを抑えることができ、基板搬送装置だけでなく、ＡＧＶやクリーンストッカ等の設備の大型化を抑制できる。
【００４２】
また、本発明の基板搬送方法によれば、複数本のハンドアームの位置及び角度を基板の状態に合わせてそれぞれ変化させるので、搬送カセットから基板を撓んだ状態のまま取り出すことができる。これにより、搬送カセットの高さを抑えることができ、基板搬送装置だけでなく、ＡＧＶやクリーンストッカ等の設備の大型化を抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は本発明の実施の形態の基板搬送装置（搬送ロボット）を含む搬送システムの構成図である。
【図２】図２は同じくその搬送システムの平面図である。
【図３】図３は実施の形態の基板搬送装置の外観を示す斜視図である。
【図４】図４は同じくその基板搬送装置の上面図である。
【図５】図５は同じくその基板搬送装置の正面図である。
【図６】図６はハンドアーム駆動機構部の構成を示す上面図である。
【図７】図７は同じくそのハンドアーム駆動機構部の正面図である。
【図８】図８はハンドアーム駆動機構部内のモータを駆動制御するハンドアーム駆動制御部の構成を示すブロック図である。
【図９】図９は実施の形態で使用する搬送カセットを示す斜視図ある。
【図１０】図１０（ａ），（ｂ）は撓んだままの基板が実施の形態の基板搬送装置のハンドアームに支持された状態を示す正面図及び側面図である。
【図１１】図１１（ａ），（ｂ）はハンドアームの移動により平坦に矯正された基板を示す正面図及び側面図である。
【図１２】図１２は液晶パネル用基板を収納する搬送カセットを示す斜視図である。
【図１３】図１３は大型基板を収納した搬送カセットの例を示す斜視図である。
【符号の説明】
１…カセットステーション、
２…基板検査装置、
４，３１…搬送カセット、
５…搬送装置（搬送ロボット）、
６…検査ステージ、
７…基板、
８ａ，８ｂ，８ｃ…ハンドアーム、
９…ハンドアーム駆動機構部、
１３ａ，１３ｂ…回転機構、
１４ａ，１４ｂ…水平スライド機構、
１４ｃ…垂直スライド機構、
１７ａ，１７ｂ，１７ｃ，１９ａ，１９ｂ…モータ、
１８ａ，１８ｂ，１８ｃ…移動ステージ
２１，２２…水平スライド機構駆動ユニット、
２３…垂直スライド機構駆動ユニット、
２４，２５…回転機構駆動ユニット、
２６…コントローラ、
２７…データ設定部、
２８…記憶部。

Claims (5)

1. 基板を搬送カセットに出し入れする搬送装置において、
   前記基板の両端部をそれぞれ支持する第１及び第２のハンドアームと、
   前記第１のハンドアームをその長手方向に平行な回転軸に対し回転させる第１の回転機構と、
   前記第２のハンドアームをその長手方向に平行な回転軸に対し回転させる第２の回転機構とを有することを特徴とする基板搬送装置。
2. 前記第１及び第２のハンドアームをそれぞれ水平方向に移動させる第１及び第２の水平スライド機構を有することを特徴とする請求項１に記載の基板搬送装置。
3. 前記第１及び第２のハンドアームの間に配置された第３のハンドアームと、
   前記第３のハンドアームを垂直方向に移動させる垂直スライド機構と、
   前記基板の種類毎に、前記第１及び第２のハンドアームの角度と前記第１、第２及び第３のハンドアームの位置とを記憶した記憶部と、
   前記記憶部に記憶されたデータに基づいて前記第１及び第２の回転機構、前記第１及び第２の水平スライド機構並びに前記垂直スライド機構を駆動制御する駆動制御部とを有することを特徴とする請求項２に記載の基板搬送装置。
4. 搬送カセット内に撓んだ状態で収納された基板を取り出して搬送する基板搬送装置であって、
   前記基板の撓み状態に応じて複数本のハンドアームの位置及び角度を変化させ、前記ハンドアームを前記搬送カセット内に挿入し、前記搬送カセットから前記基板を撓んだ状態のまま取り出すことを特徴とする基板搬送方法。
5. 前記基板を前記搬送カセットから取り出した後、前記複数のハンドアームを駆動して前記基板を平坦な状態にすることを特徴とする請求項４に記載の基板搬送方法。

Images