JP4660586B2 - 基板搬送装置、及び、基板搬送方法 - Google Patents
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Description
て、基板としてウエハを例にして、図面を参照しながら説明する。
<ウエハ搬送装置及びウエハ搬送方法について>
図1〜図5は、本発明の一実施の形態に係るウエハ搬送装置1を示す平面図、正面図、背面図、部分断面右側面図及び斜視図である。
ウエハ搬送装置1は、ウエハWが載置されるウエハ載置面2a,3aを有し互いに平行に設置された2本のアーム部2,3と、ウエハ載置面2a,3a(アーム部2,3)をアーム部2,3の長手方向を回動軸A2,A3として水平面に対し傾斜させる傾斜手段としてのバランサ(錘)4,5と、アーム支持部6と、吸引用チューブとしてのアーム側吸引用チューブ7,8と、支持部側吸引用チューブ9と、傾き検出手段としての透過型センサ10,11(図1及び図2に図示)と、を備える。
レート6aと、この支持プレート6aの両端下部に固定され上記貫通孔6dが形成された軸支部6b,6cとを有する。但し、軸支部6b,6cは、支持プレート6aの両端下部に限らず、例えば、支持プレート6aの上部や側面部等に固定してもよい。
ここで、図7Aに示すように、本実施の形態の載置プレート2b,3b(アーム部2,3)の回動軸A2,A3は、載置プレート2b,3bのウエハ載置面2a,3a上に位置する。そのため、載置プレート2b,3bがウエハWと接触した状態で回動しても、ウエハ載置面2a,3aは、水平方向への移動量が少なく、載置プレート2b,3bがウエハWと接触した状態で水平方向に滑ることが少ない。したがって、載置プレート2b,3bにより目的の位置でウエハWを保持することができ、ウエハWの位置ズレを防ぐことや、ウエハWの裏面とのスレによるキズの発生を防ぐことができる。
図8A及び図8Bは、ウエハカセット22からのウエハWの搬出を説明するための説明図である。
周縁を支持された状態で高さ方向に積層されている。積層された複数のウエハWは、中央から周縁に向かって上方に反り上がっている。
ここで、例えば肉厚のウエハWなど、図8Bに示すように水平状態の例外的なウエハWをウエハカセット22から搬出する場合にも、傾斜した状態で挿入される載置プレート2b−1,3b−1が載置時にウエハWに当接しながら水平状態に回動するため(載置プレート2b−2,3b−2)、ウエハWを確実に保持することができる。
<ウエハ検査装置及びウエハ検査方法について>
図16及び図17は、本発明の一実施の形態に係るウエハ検査装置21を示す平面図及び正面図である。
線対称軸としてアーム部2,3の反対側にアーム部2´,3´が設置され、アーム部2,3,2´,3´及びアーム支持部6´からなる部分がH字の形状となっている。
駆動部26は、図示しないレールに沿ってX軸方向へ移動する。また、アーム部2,3とアーム部2´,3´とを回転対称に回転させるアーム支持部6´の回転軸(Z軸)の位置は、ウエハカセット22に収容されるウエハWの中心位置とY軸座標が同一となっている。すなわち、各アーム部2,3,2´,3´の長手方向がX軸方向に延びる状態にあるとき、駆動部26のX軸方向の移動とアーム支持部6´の上下方向の移動だけでウエハWの搬出入ができるようになっている。
以下、ウエハ検査装置21を用いたウエハWの検査について説明する。
まず、マクロ検査部24側のウエハ搬送装置1´により上述のようにウエハカセット22内のウエハWを搬出する(S1)。
載置台23bのそれぞれの回転中心の中点と駆動部26がアーム支持部6´を回転させる回転軸(Z軸)が一致する位置でアーム支持部6´を下方に移動させ待機している。マクロ検査(S4)が終わると、アーム支持部6´を上昇させ、ウエハ搬送装置1´がアーム支持部6´を180度回転させることにより(図16では半時計回り)、ウエハ搬送装置1´のアーム部2,3とアーム部2´,3´の位置とが互いに入れ替わる。
以上説明したウエハ検査装置21は、ウエハ搬送装置1の説明で述べたように、ウエハ搬送装置1が、ウエハ載置面2a,3aを水平面に対し傾斜させた状態のアーム部2,3をウエハカセット22内に挿入するため、ウエハカセット22に積層されたウエハWに反りや撓みが発生していても、アーム部2,3とウエハWとの不要な接触を防ぐことができる。よって、ウエハWの破損のリスクを低減することができる。
また、ウエハ検査装置21は、マクロ検査部24のウエハ載置台24b上のウエハWの中心とウエハ載置台24bの回転中心とのズレを図示しないセンサにより検出し、ウエハWを回転させることで、ウエハWのズレ方向を駆動部26の移動方向(収納方向と同一方向のX軸方向)に一致させる(S8)。そのため、アーム部2,3及びアーム部2´,3´の長手方向を駆動部26の移動方向(X軸方向)に一致させた状態で駆動部26を移動させるだけで、ウエハとウエハ載置台24bとの中心合わせ(S10)或いはウエハカセット22へのウエハの搬送(S13)時の位置合わせを行うことができる。
2,3 アーム部
2a,3a ウエハ載置面
2b,3b 載置プレート
2c,3c プレート固定部
2d,3d 吸引孔
2e,3e 吸引路
2f,3f アーム側ピン
3h 角度検出用フラグ
4,5 バランサ
6 アーム支持部
6a 支持プレート
6b,6c 軸支部
6d 貫通孔
6e,6f ベアリング
6g 吸引路
6h,6i 回動規制用ピン
7,8 アーム側吸引用チューブ
9 支持部側吸引用チューブ
10,11 透過型センサ
13 コイルスプリング
14 透過型センサ
15,16 反射型センサ
21 ウエハ検査装置
22 ウエハカセット
22a 周縁支持部
23 ミクロ検査部
23a 顕微鏡
23b ウエハ載置台
23c XYステージ
24 マクロ検査部
24a 揺動機構
24b ウエハ載置台
25 操作部
26 駆動部
W ウエハ
Claims (7)
- 基板が載置される基板載置面を有する互いに平行な一対のアーム部と、
前記アーム部をその長手方向を回動軸としてそれぞれ回動自在に支持する支持部材と、
前記アーム部の内側にバランサとして配置されることで、前記各アーム部の重心位置から前記回動軸を前記アーム部の外側にずらし、前記アーム部をそれぞれの前記基板載置面が互いに向き合う方向に傾斜させる傾斜手段と、を備え、
前記基板載置面は、該基板載置面上に位置する回動軸を中心に回動する、
ことを特徴とする基板搬送装置。 - 前記アーム部は、前記基板載置面が傾斜した状態で、前記基板が載置される位置に移動し、前記基板の自重により、前記アーム部の前記基板載置面が前記基板と面接触する方向に回動可能であることを特徴とする請求項1に記載の基板搬送装置。
- 前記アーム部に接続された吸引用チューブを更に備え、
前記アーム部は、前記吸引用チューブからエアを吸引されることで前記基板を吸着保持し、
前記吸引用チューブは、前記基板載置面の回動軸と直交する方向に前記アーム部に接続される、
ことを特徴とする請求項1に記載の基板搬送装置。 - 前記アーム部を支持するアーム支持部を更に備え、
前記吸引用チューブは、前記アーム支持部と前記アーム部とを接続する、
ことを特徴とする請求項3に記載の基板搬送装置。 - 前記基板載置面の回動角度を規制する回動規制手段を更に備え、
前記回動規制手段は、前記基板載置面の回動可能範囲を調整可能である、
ことを特徴とする請求項1に記載の基板搬送装置。 - 基板を互いに平行な一対のアーム部の基板載置面に載置して搬送する基板搬送方法において、
それぞれの前記基板載置面が互いに向き合う方向に傾斜させた状態の前記アーム部を、前記基板が載置される位置に移動させる工程と、
前記傾斜させた状態のアーム部に前記基板を載置する工程と、を含み、
前記アーム部を移動させる工程では、前記基板載置面上に位置する回動軸を中心に前記基板載置面が回動するように、前記アーム部の長手方向を回動軸としてそれぞれ回動自在に支持部材により支持される前記アーム部を、該アーム部の内側に配置されたバランサによって前記各アーム部の重心位置から前記回動軸が前記アーム部の外側にずれることで傾斜させる、 ことを特徴とする基板搬送方法。 - 前記基板を載置する工程では、前記アーム部は、前記基板の自重により、前記アーム部の前記基板載置面が前記基板と面接触する方向に回動することを特徴とすることを特徴とする請求項6に記載の基板搬送方法。
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