JP2003051525A - 基板搬送装置及び基板搬送方法 - Google Patents

基板搬送装置及び基板搬送方法

Info

Publication number
JP2003051525A
JP2003051525A JP2001236722A JP2001236722A JP2003051525A JP 2003051525 A JP2003051525 A JP 2003051525A JP 2001236722 A JP2001236722 A JP 2001236722A JP 2001236722 A JP2001236722 A JP 2001236722A JP 2003051525 A JP2003051525 A JP 2003051525A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
substrate
hand
cassette
transfer
arms
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2001236722A
Other languages
English (en)
Other versions
JP4298188B2 (ja
JP2003051525A6 (ja
Inventor
Yuichiro Ota
雄一郎 太田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Display Technologies Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujitsu Display Technologies Corp filed Critical Fujitsu Display Technologies Corp
Priority to JP2001236722A priority Critical patent/JP4298188B2/ja
Publication of JP2003051525A publication Critical patent/JP2003051525A/ja
Publication of JP2003051525A6 publication Critical patent/JP2003051525A6/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4298188B2 publication Critical patent/JP4298188B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Manipulator (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 搬送カセット内に撓みある状態で狭ピッチに
収納された基板を扱うことができて、装置の大型化が回
避される搬送装置及び搬送方法を提供する。 【解決手段】 3本のハンドアーム8a,8b,8cの
位置及び角度を、基板の種類(材質,大きさ、厚さ)に
応じて変化させ、搬送カセット内に撓んだ状態で収納さ
れた基板7を、撓んだ状態のまま取り出す。その後、ハ
ンドアーム8a,8b,8cを移動させて基板7を平坦
にし、他の装置に搬送する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示パネルや
半導体装置の製造に用いられる大型又は薄型の基板を搬
送する基板搬送装置及び基板搬送方法に関する。
【0002】
【従来の技術】液晶表示パネルや半導体装置の製造工程
では、複数枚の基板を搬送カセットに収納した状態で装
置間を搬送している。例えば、液晶表示装置の場合、T
FT(Thin Film Transistor:薄膜トランジスタ)及び
配線等が形成された基板(ガラス基板)は、搬送カセッ
ト内に収納され、AGV(Automatic Guided Vehicle:
無人搬送車)により検査装置の近傍のカセットステーシ
ョンまで搬送される。そして、搬送装置(搬送ロボッ
ト)により搬送カセットから基板が1枚づつ取り出され
て、検査装置に供給される。検査終了後の基板は、搬送
装置で搬送されて再び搬送カセット内に収納される。
【0003】図12は、液晶パネル用基板を収納する搬
送カセットを示す斜視図である。この図12に示すよう
に、カセット31の側板の内面には複数の突起(リブ)
32が設けられており、基板30はこれらの突起32に
両端部を支持された状態でカセット31の高さ方向に一
定のピッチで並べて収納される。基板30は、搬送装置
(搬送ロボット)の平板状又はフォーク状のハンドアー
ムによってカセット31から1枚ずつ取り出された後、
検査装置に搬送され、検査装置で基板の検査がなされ
る。検査終了後の基板は、搬送装置により再び逆方向に
搬送され、搬送カセット31内に収納される。
【0004】搬送装置のハンドアームの上面には複数の
パッド(基板受けパッド)が設けられており、搬送装置
は、これらのパッドで基板と接触するようになってい
る。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】液晶表示パネルの製造
工程では、一般的に1枚の大型基板を用いて複数の液晶
表示パネルを途中の工程まで同時に製造し、最終工程近
くで基板を切断し各液晶表示パネルに分割している。近
年、液晶表示パネルの大型化が促進されており、それに
伴って基板のサイズも大きくなっている。
【0006】このような大型基板を従来構造の搬送カセ
ットに収納すると、図13に示すように、基板30に大
きな撓みが生じる。例えば、サイズが730×920×
0.6mmの基板では、撓み量は約34mmにもなる。
カセット31の基板収納ピッチPは、基板30の撓み量
に搬送装置のハンドアームの厚さを加えた値以上である
ことが必要であるので、搬送カセット31内に20〜2
5枚の基板30を収納する場合、搬送カセット31の高
さは、おおよそ800mm〜1, 000mmにもなる。
【0007】このように、搬送カセット31が大型にな
ると、搬送装置、AGV及びクリーンストッカ等の設備
も大型化する必要があり、設備コストが著しく上昇す
る。また、大型基板を平坦に保ったまま搬送するために
は、搬送装置のハンドアーム上のパッドの数を多くする
必要がある。しかし、パッドの数を多くすると、基板の
裏面に汚れやパーティクルが付着する可能性が高くな
り、好ましくない。
【0008】基板の撓みによる搬送カセットの大型化を
回避するために、基板を縦にして搬送する垂直ハンドリ
ングも考えられる。しかし、垂直ハンドリングでは、基
板が極めて薄いため、搬送カセットに基板を収納したり
取り出す際にチッピング(欠け)が発生する虞がある。
また、搬送カセットと搬送装置との間の基板受け渡しが
複雑になるため、搬送装置のコストが増加するという難
点もある。
【0009】本発明の目的は、搬送カセット内に撓みあ
る状態で狭ピッチに収納された基板を扱うことができ
て、装置の大型化が回避される搬送装置及び搬送方法を
提供することにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】本発明の基板搬送装置
は、基板の両端部をそれぞれ支持する第1及び第2のハ
ンドアームと、前記第1のハンドアームをその長手方向
に平行な回転軸に対し回転させる第1の回転機構と、前
記第2のハンドアームをその長手方向に平行な回転軸に
対し回転させる第2の回転機構とを有することを特徴と
する。
【0011】本発明の基板搬送装置は、基板の両端部を
支持する第1及び第2のハンドアームと、これらの第1
及び第2のハンドアームを回転させる第1及び第2の回
転機構を有している。例えば、搬送カセット内に収納さ
れた基板の撓みの状態に応じて第1及び第2のハンドア
ームの角度を調整することにより、搬送カセットから基
板を撓んだ状態のまま取り出すことができる。従って、
従来の搬送装置では、搬送カセット内の基板の配列ピッ
チが基板の撓み量にハンドアームの厚さを加えた値以上
必要であるのに対し、本発明では、搬送カセット内の基
板の配列ピッチをハンドアームの厚さ分よりも若干大き
くする程度でよい。これにより、搬送カセットの高さを
抑えることができ、基板搬送装置だけでなく、AGVや
クリーンストッカ等の設備の大型化を抑制できる。
【0012】第1及び第2のハンドアームに加えて、基
板の中央部を支持する第3のハンドアームを設けること
により、基板をより安全に支持することができる。この
場合、第3のハンドアームには回転機構を設ける必要は
ないが、垂直方向に移動できるように、垂直スライド機
構を設ける必要がある。基板の撓み量は、基板の種類
(材質、大きさ及び厚さ)により決まる。従って、第1
及び第2のハンドアームを水平方向に移動させる第1及
び第2の水平スライド機構を設け、基板の種類に応じて
第1及び第2の回転機構、第1及び第2の水平スライド
機構並びに垂直スライド機構を駆動制御することによ
り、各種基板に対応できるようになる。
【0013】本発明の基板搬送方法は、搬送カセット内
に撓んだ状態で収納された基板を取り出して搬送する基
板搬送装置であって、前記基板の撓み状態に応じて複数
本のハンドアームの位置及び角度を変化させ、前記ハン
ドアームを前記搬送カセット内に挿入し、前記搬送カセ
ットから前記基板を撓んだ状態のまま取り出すことを特
徴とする。
【0014】本発明によれば、複数本のハンドアームの
位置及び角度を基板の状態に合わせて変化させるので、
搬送カセットから基板を撓んだ状態のまま取り出すこと
ができる。この場合、従来の基板搬送方法では、搬送カ
セット内の基板の配列ピッチが基板の撓み量にハンドア
ームの厚さを加えた値以上必要であるのに対し、本発明
では、搬送カセット内の基板の配列ピッチをハンドアー
ムの厚さ分よりも若干大きくする程度でよい。これによ
り、搬送カセットの高さを抑えることができ、基板搬送
装置だけでなく、AGVやクリーンストッカ等の設備の
大型化を抑制できる。
【0015】基板検査装置やその他の装置に基板を渡す
際には、前記ハンドアームを駆動して基板を平坦な状態
してからに渡すことが好ましい。これにより、検査装置
等の設備は従来のものをそのまま使用することができ
る。
【0016】
【発明の実施の形態】以下本発明の実施の形態について
図面を参照して説明する。図1は本発明の実施の形態の
搬送装置(搬送ロボット)を含む搬送システムの構成
図、図2は同じくその平面図である。本実施の形態で
は、搬送カセットから基板を取り出して検査装置に供給
し、検査終了後の基板を再び搬送カセットに収納する搬
送装置について説明する。
【0017】本実施の形態の搬送装置5は、カセットス
テーション1と基板検査装置2との間に設置される。カ
セットステーション1の上には、AGVにより搬送され
た2個の搬送カセット4が載置される。これらの搬送カ
セット4には、TFT及び配線等が形成された複数の基
板(ガラス基板)が収納されている。搬送装置5は、搬
送カセット4から1枚の基板を取り出して検査装置2の
基板検査ステージ6上に載置する。この検査ステージ6
は水平方向(X−Y方向)に移動し、欠陥の有無を検査
する。搬送装置5は、検査装置2による検査が終了した
後、基板を検査ステージ6から取り出して搬送カセット
4内に収納する。そして、次の基板を搬送カセット4か
ら取り出して、検査装置2の検査ステージ6上に載置す
る。このようにして、搬送カセット4内の基板が搬送装
置5により1枚づつ順番に検査装置2に送られて、検査
される。
【0018】図3は搬送装置5の外観を示す斜視図、図
4は同じくその搬送装置5の上面図、図5は同じくその
搬送装置5の正面図である。但し、図3は、図4,図5
に示す位置からハンドアーム駆動機構部9が移動した状
態を示している。台12上には軸11が垂直に配置され
ている。この軸11は、台12内に設けられた駆動装置
により、回転及び上下方向への移動が可能になってい
る。軸11の上部には水平駆動アーム10aが固定され
ている。この水平駆動アーム10aは連結部10cを介
して水平駆動アーム10bに連結され、水平駆動アーム
10bは連結部10dを介してハンドアーム駆動機構部
9に連結されている。連結部10c内に設けられた駆動
装置により水平駆動アーム10bが水平方向に回転し、
連結部10d内に設けられた駆動装置によりハンドアー
ム駆動機構部9が水平方向に回転する。
【0019】ハンドアーム8a,8bは基板7の両端部
を支持するアームである。これらのハンドアーム8a,
8bは、細長い板状の部材であり、ハンドアーム駆動機
構部9内の水平スライド機構(リニアアクチュエータ)
14a,14bによって水平方向に移動可能であり、且
つ回転機構13a,13bによって長手方向に平行な軸
を中心にして回転可能である。
【0020】ハンドアーム8cは、基板7の中央部を支
持するアームである。このハンドアーム8cも細長い板
状の部材であり、ハンドアーム駆動機構部9内の垂直ス
ライド機構(リニアアクチュエータ)14cによって、
垂直方向に移動する。なお、ハンドアーム8cには、ハ
ンドアーム8a,8bと異なり回転機構は設けられてい
ない。
【0021】ハンドアーム8a,8b,8cの上面に
は、それぞれ複数(図では3個)のパッド15が設けら
れており、ハンドアーム8a,8b,8cは、これらの
パッド15の先端で搬送対象である基板7の下面と接触
するようになっている。なお、本実施の形態ではパッド
15として突起物を用いているが、減圧装置に接続され
た吸着パッドを使用し、基板7をパッドに吸着するよう
にしてもよい。
【0022】図6はハンドアーム駆動機構部9の構成を
より詳細に示す上面図、図7は同じくその正面図であ
る。ハンドアーム8aの水平スライド機構14aは、水
平に配置されて軸受けで支持されたリードスクリュー1
6aと、このリードスクリュー16aに連結されたモー
タ17aと、リードスクリュー16aの回転によって水
平方向に移動する移動ステージ18aとにより構成され
ている。また、ハンドアーム8aの回転機構13aは、
回転モータ(ギアモータ)19aと、このモータ19a
とハンドアーム8aとを連結する動力伝達ブッシュ20
aとにより構成され、スライド機構14aの移動ステー
ジ18aの上に取り付けられている。
【0023】これと同様に、ハンドアーム8bの水平ス
ライド機構14bは、水平に配置されて軸受けで支持さ
れたリードスクリュー16bと、このリードスクリュー
16bに連結されたモータ17bと、リードスクリュー
16bの回転によって水平方向に移動する移動ステージ
18bとにより構成されている。また、ハンドアーム8
bの回転機構13bは、回転モータ(ギアモータ)19
bと、このモータ19bとハンドアーム8bとを連結す
る動力伝達ブッシュ20bとにより構成され、スライド
機構14bの移動ステージ18bの上に取り付けられて
いる。
【0024】ハンドアーム8cの垂直スライド機構14
cは、垂直に配置されて軸受けで支持されたリードスク
リュー16cと、このリードスクリュー16cに連結さ
れたモータ17cと、リードスクリュー16cの回転に
よって垂直方向に移動する移動ステージ18cとにより
構成されている。基板の撓み量は基板の種類により決ま
るので、基板の種類に応じてこれらの回転機構13a,
13b及びスライド機構14a,14b,14cを適切
に制御することにより、撓んだ状態の基板の面に沿って
各ハンドアーム8a,8b,8cを配置することができ
る。
【0025】図8は、ハンドアーム駆動機構部9内のモ
ータ17a,17b,17c,19a,19bを駆動制
御するハンドアーム駆動制御部を示すブロック図であ
る。このハンドアーム駆動制御部は、水平スライド機構
14aのモータ17aを駆動する駆動ユニット21と、
水平スライド機構14bのモータ17bを駆動する駆動
ユニット22と、垂直スライド機構14cのモータ17
cを駆動する駆動ユニット23と、回転機構13aのモ
ータ19aを駆動する駆動ユニット24と、回転機構1
3bのモータ19bを駆動する駆動ユニット25と、こ
れらの駆動ユニット21〜25を制御するコントローラ
26と、コントローラ26にデータを設定するデータ設
定部27と、基板の種類(材質、サイズ及び厚さ)に応
じたハンドアーム8a,8b,8cの適切な位置を示す
データを記憶する記憶部28とにより構成されている。
【0026】以下、上述した構成の本実施の形態の基板
搬送装置を用いた基板搬送方法について説明する。本実
施の形態では、図9に示すように搬送カセット4内に収
納された基板7を取り出して、検査装置2に搬送する。
この場合、搬送カセット4には複数の基板7が撓んだ状
態で高さ方向に並べて収納されている。搬送カセット4
の基板支持用突起(リブ)31のピッチPは搬送装置5
のハンドアーム8a〜8cの厚さよりも若干大きい程度
でよく、基板7の撓み量よりも小さくてもよい。従っ
て、大型の基板を収納するにもかかわらず、搬送カセッ
ト4の高さを比較的低くすることができる。また、予
め、記憶部28には、ハンドアーム8a,8b,8cの
最適な位置を示すデータを、基板7の種類(材質、大き
さ及び厚さ)毎に記憶しておく。
【0027】まず、搬送すべき基板7の種類(材質、サ
イズ及び厚さ等)を示すデータを、データ設定部27を
介してコントローラ26に入力する。データ入力はオペ
レータにより手動で行ってもよいし、他の装置(システ
ムコントローラ等)から基板の種類を示すデータがデー
タ設定部27に信号線を介して自動的に送られてくるよ
うにしてもよい。データ設定部27を介して基板7の種
類を示すデータが送られてくると、コントローラ26
は、記憶部28に記憶されているデータを参照し、ハン
ドアーム8a,8b,8cが基板の種類に応じた位置と
なるように、駆動ユニット21〜25を介してモータ1
7a,17b,17c,19a,19bを駆動する。
【0028】これにより、搬送装置5のハンドアーム8
a,8b,8cは、基板7の撓み量に応じた位置に移動
する。すなわち、図3〜図5に示すように、ハンドアー
ム8a,8bは基板7の種類に応じて水平方向に移動
し、且つ、支持する位置の基板7の傾きに応じた角度に
回転する。また、ハンドアーム8cは、基板7の撓み量
に応じて垂直方向に移動する。そして、これらのハンド
アーム8a,8b,8cは、それぞれ搬送カセット4内
に収納された基板7の面に沿った位置に配置される。
【0029】その後、軸11が上下方向に移動し、水平
駆動アーム10a,10bが駆動されて、ハンドアーム
8a,8b,8cが、搬送カセット4内の所定の基板7
の下に挿入される。このとき、ハンドアーム8a,8
b,8cが基板7に接触しないように、各駆動部は同期
がとられた状態で駆動される。次に、軸11が若干上昇
する。これにより、ハンドアーム8a,8b,8cのパ
ッド15が基板7の下面に接触し、ハンドアーム8a,
8b,8cにより基板7が支持される。その後、ハンド
アーム8a,8b,8cが後退し、搬送カセット4から
1枚の基板7が取り出される。このときも、ハンドアー
ム8a,8b,8c及びハンドアーム8a,8b,8c
上の基板が他の基板に接触しないように、各駆動部は同
期がとられた状態で駆動される。
【0030】次に、図10(a),(b)に示す状態か
ら図11(a),(b)に示す状態になるまで、コント
ローラ26により回転機構13a,13b及び垂直スラ
イド機構14cのモータ19a,19b,17cが駆動
され、基板7が平坦な状態に矯正される。このときも、
基板7に大きな応力がかからないように、回転機構13
a,13b及び垂直スライド機構14cは同期した状態
で駆動される。
【0031】次いで、軸11が上下方向に移動し、水平
駆動アーム10a,10bが駆動されて、基板7が検査
装置2の検査ステージ6の上方に移動する。そして、検
査ステージ6上に基板7が載置される。検査装置2によ
り基板7の検査が終了した後は、逆方向に動作して検査
済みの基板7を搬送カセット4内に収納する。その後、
同様にして次の基板7を搬送カセット4から取り出し、
検査装置2に搬送する。
【0032】このようにして、本実施の形態の搬送装置
5は、搬送カセット4内から基板7を1枚ずつ取り出し
て検査装置2に搬送し、検査済みの基板7を搬送カセッ
ト4内に収納する。上述した実施の形態の搬送装置5
は、コントローラ26により、3本のハンドアーム8
a,8b,8cが基板の撓みに応じた位置に配置され、
搬送カセット4内に撓んだ状態で収納された基板7を、
撓んだ状態のまま取り出すことができる。従って、搬送
カセット4内に収納する基板7のピッチを従来に比べて
小さくすることができる。これにより、大型基板を収納
する搬送カセット4であっても、高さを低くできる。そ
の結果、搬送装置5だけでなく、クリーンストッカやA
GV等の装置も小型のものを使用することが可能にな
り、設備コストを低く抑えることができる。
【0033】また、本実施の形態の基板搬送装置5にお
いては、記憶部28に、ハンドアーム8a,8b,8c
の適切な位置を示すデータが基板の種類毎に記憶されて
いるので、各種基板に対応することができる。また、搬
送カセット4から基板7を取り出した後、ハンドアーム
8a,8b,8cを同期した状態で駆動させ、基板7の
撓みを修正して平坦にするので、検査装置2は従来のも
のをそのまま使用することができる。
【0034】なお、上記実施の形態においては、本発明
を液晶表示パネルの検査装置に基板を搬送する搬送装置
及び搬送方法に適用した場合について説明したが、本発
明はこれに限定されるものではない。例えば、本発明
は、液晶表示パネルの他の製造工程や、半導体装置の製
造工程における半導体基板の搬送装置及び搬送方法に適
用することもできる。
【0035】また、上記実施の形態においては3本のハ
ンドアーム8a,8b,8cにより基板7を支持するも
のとしたが、本発明はこれに限定されるものでなく、2
本又は4本以上のハンドアームで基板を支持するように
してもよい。 (付記1)基板を搬送カセットに出し入れする搬送装置
において、前記基板の両端部をそれぞれ支持する第1及
び第2のハンドアームと、前記第1のハンドアームをそ
の長手方向に平行な回転軸に対し回転させる第1の回転
機構と、前記第2のハンドアームをその長手方向に平行
な回転軸に対し回転させる第2の回転機構とを有するこ
とを特徴とする基板搬送装置。
【0036】(付記2)前記第1及び第2のハンドアー
ムをそれぞれ水平方向に移動させる第1及び第2の水平
スライド機構を有することを特徴とする付記1に記載の
基板搬送装置。 (付記3)前記基板の種類毎に前記第1及び第2のハン
ドアームの位置及び角度を示すデータを記憶した記憶部
と、前記記憶部に記憶されたデータに基づいて前記第1
及び第2の回転機構並びに前記第1及び前記第2の水平
スライド機構を駆動制御する駆動制御部とを有すること
を特徴とする付記2に記載の基板搬送装置。
【0037】(付記4)前記第1及び第2のハンドアー
ムの間に配置された第3のハンドアームと、前記第3の
ハンドアームを垂直方向に移動させる垂直スライド機構
と、前記基板の種類毎に、前記第1及び第2のハンドア
ームの角度と前記第1、第2及び第3のハンドアームの
位置とを記憶した記憶部と、前記記憶部に記憶されたデ
ータに基づいて前記第1及び第2の回転機構、前記第1
及び第2の水平スライド機構並びに前記垂直スライド機
構を駆動制御する駆動制御部とを有することを特徴とす
る付記2に記載の基板搬送装置。
【0038】(付記5)前記第1及び第2のハンドアー
ムの間に配置された第3のハンドアームと、前記第3の
ハンドアームを垂直方向に移動させる垂直スライド機構
とを有することを特徴とする付記1に記載の基板搬送装
置。 (付記6)搬送カセット内に撓んだ状態で収納された基
板を取り出して搬送する基板搬送装置であって、前記基
板の撓み状態に応じて複数本のハンドアームの位置及び
角度を変化させ、前記ハンドアームを前記搬送カセット
内に挿入し、前記搬送カセットから前記基板を撓んだ状
態のまま取り出すことを特徴とする基板搬送方法。
【0039】(付記7)前記基板を前記搬送カセットか
ら取り出した後、前記複数のハンドアームを駆動して前
記基板を平坦な状態にすることを特徴とする付記6に記
載の基板搬送方法。 (付記8)3本のハンドアームを使用し、これらのハン
ドアームの位置及び角度を、前記基板のサイズに応じて
変化させることを特徴とする付記6に記載の基板搬送方
法。
【0040】(付記9)前記基板の種類に応じて前記ハ
ンドアームの位置及び角度を変化させることを特徴とす
る付記6に記載の基板搬送方法。
【0041】
【発明の効果】以上述べたように、本発明の基板搬送装
置によれば、基板の両端部を支持する第1及び第2のハ
ンドアームと、これらのハンドアームを回転させる第1
及び第2の回転機構を有しているので、搬送カセット内
に撓んだ状態で収納された基板の面に対向するように第
1及び第2のハンドアームを回転させて、基板を撓んだ
状態のまま搬送カセットから取り出すことができる。こ
れにより、搬送カセットの高さを抑えることができ、基
板搬送装置だけでなく、AGVやクリーンストッカ等の
設備の大型化を抑制できる。
【0042】また、本発明の基板搬送方法によれば、複
数本のハンドアームの位置及び角度を基板の状態に合わ
せてそれぞれ変化させるので、搬送カセットから基板を
撓んだ状態のまま取り出すことができる。これにより、
搬送カセットの高さを抑えることができ、基板搬送装置
だけでなく、AGVやクリーンストッカ等の設備の大型
化を抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1は本発明の実施の形態の基板搬送装置(搬
送ロボット)を含む搬送システムの構成図である。
【図2】図2は同じくその搬送システムの平面図であ
る。
【図3】図3は実施の形態の基板搬送装置の外観を示す
斜視図である。
【図4】図4は同じくその基板搬送装置の上面図であ
る。
【図5】図5は同じくその基板搬送装置の正面図であ
る。
【図6】図6はハンドアーム駆動機構部の構成を示す上
面図である。
【図7】図7は同じくそのハンドアーム駆動機構部の正
面図である。
【図8】図8はハンドアーム駆動機構部内のモータを駆
動制御するハンドアーム駆動制御部の構成を示すブロッ
ク図である。
【図9】図9は実施の形態で使用する搬送カセットを示
す斜視図ある。
【図10】図10(a),(b)は撓んだままの基板が
実施の形態の基板搬送装置のハンドアームに支持された
状態を示す正面図及び側面図である。
【図11】図11(a),(b)はハンドアームの移動
により平坦に矯正された基板を示す正面図及び側面図で
ある。
【図12】図12は液晶パネル用基板を収納する搬送カ
セットを示す斜視図である。
【図13】図13は大型基板を収納した搬送カセットの
例を示す斜視図である。
【符号の説明】
1…カセットステーション、 2…基板検査装置、 4,31…搬送カセット、 5…搬送装置(搬送ロボット)、 6…検査ステージ、 7…基板、 8a,8b,8c…ハンドアーム、 9…ハンドアーム駆動機構部、 13a,13b…回転機構、 14a,14b…水平スライド機構、 14c…垂直スライド機構、 17a,17b,17c,19a,19b…モータ、 18a,18b,18c…移動ステージ 21,22…水平スライド機構駆動ユニット、 23…垂直スライド機構駆動ユニット、 24,25…回転機構駆動ユニット、 26…コントローラ、 27…データ設定部、 28…記憶部。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 3C007 AS01 AS14 AS24 BS15 CT04 CT05 CV07 CW07 DS02 ES04 EV05 HS26 HS27 HT11 LS11 LV03 LV06 LV14 NS12 5F031 CA02 CA05 DA01 FA01 FA02 FA07 FA11 FA12 FA17 GA05 GA06 GA08 GA24 GA35 GA43 GA47 GA49 LA12 MA13 MA33 PA13 PA16 PA18

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 基板を搬送カセットに出し入れする搬送
    装置において、 前記基板の両端部をそれぞれ支持する第1及び第2のハ
    ンドアームと、 前記第1のハンドアームをその長手方向に平行な回転軸
    に対し回転させる第1の回転機構と、 前記第2のハンドアームをその長手方向に平行な回転軸
    に対し回転させる第2の回転機構とを有することを特徴
    とする基板搬送装置。
  2. 【請求項2】 前記第1及び第2のハンドアームをそれ
    ぞれ水平方向に移動させる第1及び第2の水平スライド
    機構を有することを特徴とする請求項1に記載の基板搬
    送装置。
  3. 【請求項3】 前記第1及び第2のハンドアームの間に
    配置された第3のハンドアームと、 前記第3のハンドアームを垂直方向に移動させる垂直ス
    ライド機構と、 前記基板の種類毎に、前記第1及び第2のハンドアーム
    の角度と前記第1、第2及び第3のハンドアームの位置
    とを記憶した記憶部と、 前記記憶部に記憶されたデータに基づいて前記第1及び
    第2の回転機構、前記第1及び第2の水平スライド機構
    並びに前記垂直スライド機構を駆動制御する駆動制御部
    とを有することを特徴とする請求項2に記載の基板搬送
    装置。
  4. 【請求項4】 搬送カセット内に撓んだ状態で収納され
    た基板を取り出して搬送する基板搬送装置であって、 前記基板の撓み状態に応じて複数本のハンドアームの位
    置及び角度を変化させ、前記ハンドアームを前記搬送カ
    セット内に挿入し、前記搬送カセットから前記基板を撓
    んだ状態のまま取り出すことを特徴とする基板搬送方
    法。
  5. 【請求項5】 前記基板を前記搬送カセットから取り出
    した後、前記複数のハンドアームを駆動して前記基板を
    平坦な状態にすることを特徴とする請求項4に記載の基
    板搬送方法。
JP2001236722A 2001-08-03 2001-08-03 基板搬送装置及び基板搬送方法 Expired - Fee Related JP4298188B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001236722A JP4298188B2 (ja) 2001-08-03 2001-08-03 基板搬送装置及び基板搬送方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001236722A JP4298188B2 (ja) 2001-08-03 2001-08-03 基板搬送装置及び基板搬送方法

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2003051525A true JP2003051525A (ja) 2003-02-21
JP2003051525A6 JP2003051525A6 (ja) 2009-06-11
JP4298188B2 JP4298188B2 (ja) 2009-07-15

Family

ID=19067940

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2001236722A Expired - Fee Related JP4298188B2 (ja) 2001-08-03 2001-08-03 基板搬送装置及び基板搬送方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4298188B2 (ja)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2007119613A1 (ja) * 2006-04-11 2007-10-25 Nikon Corporation 搬送装置、搬送方法、およびデバイス製造方法
KR100914527B1 (ko) * 2007-09-18 2009-09-02 세메스 주식회사 기판 이송 로봇의 기판 처짐 방지 장치 및 방법
JP2010095320A (ja) * 2008-10-14 2010-04-30 Sinfonia Technology Co Ltd 搬送装置
JP2010135381A (ja) * 2008-12-02 2010-06-17 Olympus Corp 基板搬送装置、基板検査装置、及び、基板搬送方法
JP2013013944A (ja) * 2011-06-30 2013-01-24 Lintec Corp 板状部材の支持装置および支持方法、ならびに板状部材の搬送装置
JP2013013945A (ja) * 2011-06-30 2013-01-24 Lintec Corp 板状部材の支持装置および支持方法、ならびに板状部材の搬送装置
CN112542411A (zh) * 2019-09-20 2021-03-23 株式会社斯库林集团 基板处理装置

Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2007119613A1 (ja) * 2006-04-11 2007-10-25 Nikon Corporation 搬送装置、搬送方法、およびデバイス製造方法
KR100914527B1 (ko) * 2007-09-18 2009-09-02 세메스 주식회사 기판 이송 로봇의 기판 처짐 방지 장치 및 방법
JP2010095320A (ja) * 2008-10-14 2010-04-30 Sinfonia Technology Co Ltd 搬送装置
JP2010135381A (ja) * 2008-12-02 2010-06-17 Olympus Corp 基板搬送装置、基板検査装置、及び、基板搬送方法
JP4660586B2 (ja) * 2008-12-02 2011-03-30 オリンパス株式会社 基板搬送装置、及び、基板搬送方法
KR101135557B1 (ko) * 2008-12-02 2012-04-17 올림푸스 가부시키가이샤 기판 반송 장치 및 기판 반송 방법
US8172291B2 (en) 2008-12-02 2012-05-08 Olympus Corporation Substrate transport apparatus and substrate transport method
JP2013013944A (ja) * 2011-06-30 2013-01-24 Lintec Corp 板状部材の支持装置および支持方法、ならびに板状部材の搬送装置
JP2013013945A (ja) * 2011-06-30 2013-01-24 Lintec Corp 板状部材の支持装置および支持方法、ならびに板状部材の搬送装置
CN112542411A (zh) * 2019-09-20 2021-03-23 株式会社斯库林集团 基板处理装置
JP2021048359A (ja) * 2019-09-20 2021-03-25 株式会社Screenホールディングス 基板処理装置
JP7324667B2 (ja) 2019-09-20 2023-08-10 株式会社Screenホールディングス 基板処理装置
US11948823B2 (en) 2019-09-20 2024-04-02 SCREEN Holdings Co., Ltd. Substrate treating apparatus

Also Published As

Publication number Publication date
JP4298188B2 (ja) 2009-07-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2599571B2 (ja) 基板搬送ロボット
TWI364070B (en) Substrate processing apparatus
JP5102717B2 (ja) 基板搬送装置およびこれを備えた基板処理装置
JP4950297B2 (ja) 基板搬送システム
JP4933625B2 (ja) 基板搬送システム
JP2003051525A (ja) 基板搬送装置及び基板搬送方法
WO2008044340A1 (fr) Dispositif de transfert de substrat
JP2003051525A6 (ja) 基板搬送装置及び基板搬送方法
JP3365781B2 (ja) 基板外観検査装置
JP3927758B2 (ja) 基板搬送装置及び処理装置
JPH1022364A (ja) 搬送装置における吸着ハンド
KR101274657B1 (ko) 로봇
JPH07297256A (ja) 基板搬送装置
JPWO2008129603A1 (ja) 基板搬送システム
JPH09246352A (ja) 基板搬送方法
JP3609889B2 (ja) 基板搬送装置
JP3375223B2 (ja) 液晶板の検査装置
JPH11274270A (ja) 基板移載装置および基板処理装置
JP2007266033A (ja) 基板搬送ロボットの基準位置教示方法
JPH10256340A (ja) 基板搬送装置、基板処理装置および基板処理方法
JPH0855894A (ja) 搬送機構および搬送方法
JP2021115848A (ja) 基板反転装置および分断システム
JP2020128289A (ja) 基板搬送システムおよび基板搬送システムの制御方法
JPH11150170A (ja) 基板搬送装置
JPH10256208A (ja) 基板処理装置および基板処理方法

Legal Events

Date Code Title Description
A711 Notification of change in applicant

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711

Effective date: 20050712

A711 Notification of change in applicant

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711

Effective date: 20050713

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20050721

RD02 Notification of acceptance of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422

Effective date: 20050721

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20050818

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20061011

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20081225

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20090127

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20090305

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20090414

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20090415

R150 Certificate of patent (=grant) or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120424

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120424

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130424

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130424

Year of fee payment: 4

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees