JP2010135381A5 - - Google Patents

Claims (18)

1. 基板が載置される基板載置面を有する一対のアーム部と、
   前記アーム部をそれぞれ回転自在に支持する支持部材と、
   前記アーム部をそれぞれの基板載置面が互いに向き合う方向に傾斜させる傾斜手段と、 を備えることを特徴とする基板搬送装置。
   
2. 前記傾斜手段は、前記各アーム部の重心位置から回動軸を前記アーム部の外側にずらす ことであることを特徴とする請求項1に記載の基板搬送装置。
   
3. 前記傾斜手段は、スプリングであることを特徴とする請求項1に記載の基板搬送装置。
   
4. 前記傾斜手段は、モータであることを特徴とする請求項1に記載の基板搬送装置。
   
5. 前記傾斜手段は、バラスト(ballast)であることを特徴とする請求項1に記載の基板搬 送装置。
   
6. 前記アーム部は、前記基板載置面が傾斜した状態で、前記基板が載置される位置に移動 することを特徴とする請求項１に記載の基板搬送装置。
   
7. 前記基板載置面は、該基板載置面上に位置する回動軸を中心に回動することを特徴とす る請求項１に記載の基板搬送装置。
   
8. 前記アーム部に接続された吸引用チューブを更に備え、
   前記アーム部は、前記吸引用チューブからエアを吸引されることで前記基板を吸着保持 し、
   前記吸引用チューブは、前記基板載置面の回動軸と異なる方向に前記アーム部に接続さ れる、
   ことを特徴とする請求項１に記載の基板搬送装置。
   
9. 前記吸引用チューブは、前記基板載置面の前記回動軸と直交する方向に前記アーム部に 接続されることを特徴とする請求項８に記載の基板搬送装置。
   
10. 前記アーム部に接続された吸引用チューブを更に備え、
    前記アーム部は、前記吸引用チューブからエアを吸引されることで前記基板を吸着保持 し、
    前記吸引用チューブは、前記基板載置面の回動軸からオフセットされた位置において前 記アーム部に接続される、
    ことを特徴とする請求項１に記載の基板搬送装置。
    
11. 前記アーム部を支持するアーム支持部を更に備え、
    前記吸引用チューブは、前記アーム支持部と前記アーム部とを接続する、
    ことを特徴とする請求項８に記載の基板搬送装置。
    
12. 前記基板載置面の傾きを検出する傾き検出手段を更に備えることを特徴とする請求項１ に記載の基板搬送装置。
    
13. 前記基板載置面の回動角度を規制する回動規制手段を更に備えることを特徴とする請求 項１に記載の基板搬送装置。
    
14. 前記支持部は、移動する手段を備え、前記アーム部が所定の角度に傾いていない場合は、前記移動する手段の移動を中止することを特徴とする請求項１３に記載の基板搬送装置。
    
15. 前記回動規制手段は、前記基板載置面の回動可能範囲を調整可能であることを特徴とす る請求項１３に記載の基板搬送装置。
    
16. 基板が載置される基板載置面を有する一対のアーム部と、
    前記アーム部をそれぞれ回転自在に支持する支持部材と、
    前記アーム部をそれぞれの基板載置面が互いに向き合う方向に傾斜させる傾斜手段とを 備え、
    前記基板載置面は、該基板載置面上に位置する回動軸を中心に回動することを特徴とす る基板搬送装置。
    
17. 前記支持部材に対して左右に前記一対のアーム部を設けたことを特徴とする請求項１に 記載の基板搬送装置。
    
18. 基板をアーム部に載置して搬送する基板搬送方法において、
    基板載置面を水平面に対し傾斜させた状態の前記アーム部を、前記基板が載置される位 置に移動させ、
    前記傾斜させた状態のアーム部に前記基板を載置する、
    ことを特徴とする基板搬送方法。