JPH0969549A - ロ−デイング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 この発明はカセットと処理部との間でのワ−
クの受け渡しを効率よく行えるようにしたロ−デング装
置を提供することにある。 【解決手段】 ロ−ダ１１あるいはアンロ−ダ１２の少
なくともいずれか一方のセッタ７１を、処理装置１にお
けるガラス基板Ｐの移動方向と同方向である前後方向、
この前後方向と交差する左右方向およびこれらの前後方
向と左右方向がなす平面に対して交差する上下方向に駆
動できるようにするとともに、上記セッタと一体的に、
このセッタに受け渡されたガラス基板Ｐを整列する整列
部材７６を設け、さらには上記セッタ上で整列されたガ
ラス基板あるいは処理装置で処理されたガラス基板が受
け渡される搬送機構９１を上記セッタの左右方向の動き
と一体的に連動するように設けたことを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明はカセットに積層さ
れたワ−クを処理部へ供給するロ−ダおよび処理部で処
理されたワ−クをカセットに積層収容するアンロ−ダと
を有するロ−デング装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】たとえば、液晶表示装置の製造工程にお
いては、ガラス基板にリソグラフィ−技術によって回路
パタ−ンを形成する工程がある。この回路パタ−ンの形
成工程においては、レジストの塗布、露光、現像処理が
行われたガラス基板を前洗浄してからエッチング処理
し、ついでさらにエッチング処理されたガラス基板を後
洗浄するという工程がある。

【０００３】上記前洗浄、エッチングおよび後洗浄を連
続して行うことができるようにした処理装置が開発され
ている。その場合、上記処理装置の入口側には上記ガラ
ス基板を上記処理装置に供給するロ−ダが設けられ、出
口側には上記処理装置で処理されたガラス基板を取り込
むアンロ−ダが設けられている。上記ロ−ダとアンロ−
ダとでロ−デイング装置を構成している。

【０００４】上記ガラス基板はカセットに積層収容され
る。上記ロ−ダおよびアンロ−ダはセッタを有し、上記
ロ−ダのセッタは上記カセットからガラス基板を取り出
す。取り出されたガラス基板は搬送機構に受け渡され、
この搬送機構によって上記処理装置に搬入される。上記
処理装置で処理されたガラス基板は搬送機構によって搬
出される。搬出されたガラス基板は上記アンロ−ダのセ
ッタで受け取られ、カセットに積層収容されるようにな
っている。

【０００５】このような構成において、上記ロ−ダから
処理装置へ供給されるガラス基板は整列して供給され
る。従来、上記ガラス基板の整列は上記カセットを上記
ロ−ダあるいはアンロ−ダのベ−スに固定して設置する
ことで、一括して行われていた。

【０００６】しかしながら、カセットを所定の位置に固
定して設置するためには固定作業が必要となるから、生
産性を低下させる原因になる。また、整列されたガラス
基板をセッタで搬送機構へ受け渡す際、上記セッタが移
動すると、セッタ上のガラス基板がずれ動いてしまうと
いうことがあるから、そのガラス基板の整列状態が損な
われるということがある。このことは、ロ−ダだけでな
く、アンロ−ダにおいても同じである。

【０００７】また、上記ガラス基板は生産する液晶表示
装置の大きさに応じてサイズが異なる。その場合、サイ
ズの異なるガラス基板が必要となる度毎に、そのサイズ
用のカセットを設置しなければならない。しかしなが
ら、ガラス基板のサイズが異なる度毎にカセットを交換
していたのでは、そのカセットを固定設置しなければな
らないことと相俟って生産性の低下を招く原因となる。

【０００８】さらに、同じサイズのガラス基板を連続し
て処理する場合であっても、複数のカセットを予めセッ
トしておき、１つのカセットのガラス基板を処理し終え
たならば、ほかのカセットのガラス基板を処理するよう
にすれば、処理作業を中断しなくてすむから、生産性の
向上を計ることが可能となる。

【０００９】しかしながら、従来はカセットを処理装置
のセンタに一致させて設置し、その間に設けられたロ−
ダあるいはアンロ−ダのセッタを前後方向および上下方
向に駆動してガラス基板の受け渡しを行うようにしてい
るから、複数のカセットを配置した場合、上記セッタに
よってそれぞれのカセットに対しガラス基板を受け渡す
ことができないということがあった。

【００１０】上記セッタを前後方向だけでなく、左右方
向にも駆動できる構成とすれば、複数のカセットに対し
てガラス基板を受け渡すことが可能となる。しかしなが
ら、上記セッタを単に左右方向に駆動できるようにした
だけでは、セッタを左右方向に移動させたときにガラス
基板がその移動方向に大きくずれ動いてしまうから、そ
の基板の整列状態が損なわれることになる。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】このように、従来のロ
−デイング装置のロ−ダでは、カセット内のワ−クの整
列を、カセットを固定設置することで行うようにしてい
たので、その固定作業に手間が掛かるということがあ
り、またカセットと処理部との間でロ−ダあるいはアン
ロ−ダのセッタによってワ−クを受け渡す際、そのセッ
タ上でワ−クがずれ動き、ワ−クの整列状態が損なわれ
るということもある。

【００１２】さらに、サイズの異なるガラス基板に対応
するためなどに複数のカセットを設置する場合、上記セ
ッタを左右方向に移動させなければならないから、その
際にワ−クがセッタ上で左右方向に大きくずれ動き易い
ということがあるばかりか、タクトタイムが長くなると
いうことがあった。

【００１３】この発明は上記事情に基づきなされたもの
で、その目的とするところは、複数のカセットを設置す
ることで、上記セッタを左右方向に移動させた場合で
も、ワ−クが左右方向にずれ動くことがないようにする
とともに、タクトタイムを短縮させることができるよう
にしたロ−デイング装置を提供することにある。

【００１４】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に請求項１に記載されたこの発明は、処理部に対して未
処理のワ−クを供給するためのロ−ダあるいは上記処理
部で処理されたワ−クを回収するアンロ−ダを有するロ
−デイング装置において、上記ロ−ダあるいはアンロ−
ダの少なくとも一方は、上記ワ−クを積層収容する複数
のカセットが上記処理部における上記ワ−クの移動方向
に対して交差する方向に沿って設置されるベ−スと、こ
のベ−スの上記処理部と上記カセットとの間に上記ワ−
クの移動方向と交差する水平方向に沿って駆動可能に設
けられた第１の水平移動体と、この第１の水平移動体に
上記ワ−クの移動方向に沿って駆動可能に設けられた第
２の水平移動体と、この第２の水平移動体に上下方向に
沿って駆動可能に設けられた上下移動体と、この上下移
動体に設けられ上記第１の水平移動体が駆動されること
で上記複数のカセットのうちの所定のカセットに対向し
たときに上記第２の水平移動体と連動することでそのカ
セット内へ進入するセッタと、上記上下移動体に設けら
れ上記セッタの両側に位置するとともに接離する方向に
駆動され上記セッタが上記ロ−ダ部あるいは上記処理部
からワ−クを受けると接近する方向に駆動されて上記ワ
−クの両側に当接しこのワ−クを上記セッタ上で位置決
めする一対の整列部材と、上記第１の水平移動体に設け
られ上記セッタ上で上記一対の整列部材によって位置決
めされたワ−クあるいは上記処理部で処理されたワ−ク
が受け渡される搬送手段とを具備したことを特徴とす
る。

【００１５】請求項１の構成によれば、セッタは前後、
左右および上下方向に駆動されるとともに、上記セッタ
上のワ−クは一対の整列部材によってずれ動くのが阻止
される。そのため、上記セッタが前後、左右方向に駆動
されても、ワ−クの整列状態が損なわれるのことがなく
なる。しかも、搬送手段がセッタと一体的に設けられて
いるから、第１の水平移動体が移動中に上記セッタから
搬送手段あるいは搬送手段からセッタへワ−クを受け渡
すことで、タクトタイムを短縮できる。

【００１６】

【発明の実施形態】以下、この発明の一実施形態を図面
を参照して説明する。図７において１は処理装置を示
す。この処理装置１はワ−クである液晶基板Ｐを洗浄す
る前洗浄部２、洗浄されたガラス基板Ｐをエッチング処
理するエッチング処理部３、エッチング処理されたガラ
ス基板Ｐを再度洗浄する後洗浄部４および後洗浄部４で
洗浄されたガラス基板Ｐを乾燥処理する乾燥処理部５が
順次配置されてなる。

【００１７】上記処理装置１の前洗浄部２側にはロ−ダ
１１が配置され、乾燥処理部５側にはアンロ−ダ１２が
配置されている。上記ロ−ダ１１とアンロ−ダ１２とは
この発明のロ−デイング装置を構成しており、これらは
同じ構成であるので、以下、一方についてのみ説明す
る。

【００１８】すなわち、上記ロ−デイング装置は図１に
示すように架台からなるベ−ス１５を有する。このベ−
ス１５の上面の前後方向一端側には、図４と図７に示す
ようにその前後方向と交差する左右方向に所定間隔で離
間して一対の載置板１６が支柱１７に支持されて所定の
高さで設けられている。各載置板１６上にはカセット１
８が位置決め載置されるようになっている。

【００１９】上記ロ−ダ１１の載置板１６上に載置され
るカセット１８には未処理のガラス基板Ｐが上下方向に
所定間隔で積層収容されている。上記アンロ−ダ１２の
載置板１６上に載置されるカセット１８には上記処理装
置１で処理されたガラス基板Ｐが回収されて積層収容さ
れるようになっている。

【００２０】上記ロ−ダ１１は上記処理装置１の前洗浄
部２と上記載置板１６との間に設置され、上記アンロ−
ダ１２は上記乾燥処理部５と上記載置板１６との間に設
置されている。つまり、上記ベ−ス１５の前端側と後端
側の上面には左右方向に沿って一対の左右ガイドレ−ル
２１が設けられている。この左右ガイドレ−ル２１には
第１の水平移動体２２の下面の前端側と後端側とに設け
られたガイド２３がそれぞれスライド自在に係合してい
る。

【００２１】つまり、第１の水平移動体２２は上記処理
装置１のセンタラインに直交する左右方向に沿って移動
自在となっている。なお、上記第１の移動体２２は、図
１に示すように中心部が開口した矩形枠状に形成されて
いる。

【００２２】上記ベ−ス１５の後端上面には左右送りね
じ２４が支持体２５によって回転自在に支持されてい
る。この送りねじ２４にはナット体２６が螺合されてい
る。このナット体２６は上記第１の水平移動体２２の後
端部に連結部材２７によって取り付けられている。

【００２３】上記左右送りねじ２４の一端には従動プ−
リ２８が嵌着されている。上記ベ−ス１５上には上記左
右送りねじ２４の一端部の近傍に左右駆動モ−タ２９が
設置されている。この左右駆動モ−タ２９回転軸には駆
動プ−リ３１が嵌着されている。この駆動プ−リ３１と
上記従動プ−リ２８とにはタイミングベルト３２が張設
されている。

【００２４】したがって、上記左右駆動モ−タ２９が作
動すれば、一対のプ−リ３１、２８およびタイミングベ
ルト３２を介して左右送りねじ２４が回転駆動されるか
ら、この送りねじ２４に螺合されたナット体２６が上記
送りねじ２４の軸線方向に移動する。それによって、上
記第１の水平移動体２２が左右方向に駆動されるように
なっている。

【００２５】上記第１の水平移動体２２の上面には左右
方向の両端にそれぞれ前後ガイドレ−ル３５が上記左右
方向と直交する前後方向に沿って設けられている。この
前後ガイドレ−ル３５には図２と図３に示すように第２
の水平移動体３６の下面の上記左右方向に沿う両端部の
下面に設けられたスライダ３７がスライド自在に係合し
ている。それによって、上記第２の水平移動体３６は上
記前後ガイドレ−ル３５に沿って前後方向に移動自在と
なっている。

【００２６】上記第１の水平移動体３６の左右方向一端
部の上面には前後送りねじ３８が支持体３９によって回
転自在に支持されて設けられている。この前後送りねじ
３８にはナット体４１が螺合されている。このナット体
４１は連結部材４２によって上記第２の水平移動体３６
に取り付けられている。

【００２７】上記前後送りねじ３８の一端部には従動プ
−リ４３が嵌着されている。上記第１の水平移動体３６
の上記従動プ−リ４３の近傍には前後駆動モ−タ４４が
配設されている。この前後駆動モ−タ４４の回転軸には
駆動プ−リ４５が嵌着されている。この駆動プ−リ４５
と上記従動プ−リ４３とにはタイミングベルト４６が張
設されている。したがって、上記前後駆動モ−タ４４が
作動して上記前後送りねじ３８が回転駆動されれば、上
記第２の水平移動体３６が前後方向に駆動されるように
なっている。

【００２８】上記第２の水平移動体３６の前端側（処理
装置１側）には図１乃至図３に示すように垂直板５１が
後面の高さ方向中途部を連結して設けられている。この
垂直板５１の前面の幅方向両端部には一対の上下ガイド
５２が上下方向に沿って平行に設けられている。この上
下ガイド５２には同じく板状の上下移動体５３の幅方向
の両端部に設けられたスライダ５４がスライド自在に係
合している。

【００２９】上記上下移動体５３の下端部後面には連結
部材５５が取り付けられている。この連結部材５５は上
記垂直板５１に上下方向に沿って形成された長孔５１ａ
に挿通され、この長孔５１ａから突出した端部にはナッ
ト体５６が固着されている。このナット体５６は上記垂
直板５１の後面側に配置された上下送りねじ５７に螺合
されている。この上下送りねじ５７は上端部と下端部と
がそれぞれ軸受５８によって回転自在に支持されてい
る。

【００３０】上記垂直板５１の後面の下端部には図３に
示すように上下駆動モ−タ６１が設けられている。この
上下駆動モ−タ６１の回転軸に嵌着された駆動プ−リ６
２と、上記上下送りねじ５７の下端に嵌着された従動プ
−リ６３とにはタイミングベルト６４が張設されてい
る。

【００３１】したがって、上記上下駆動モ−タ６１が作
動して上記上下送りねじ５７が回転駆動されれば、この
ねじ５７に沿ってナット体５６が上下動するから、その
上下動に上記上下移動体５３が連動するようになってい
る。つまり、上記上下移動体５３が上下駆動されるよう
になっている。

【００３２】上記上下駆動体５３の上端には図２に示す
ようにセッタ７１の前後方向一端が固着されている。こ
のセッタ７１は図５に示すように平面形状がほぼコ字状
をなしていて、その幅寸法は上記カセット１８に入り込
む大きさに設定されている。さらに、セッタ７１の上面
には上記ガラス基板Ｐの下面を点接触によって支持する
ための複数の錐状の突起７２ａおよびセッタ７１上のガ
ラス基板Ｐの前端と後端とに係合してそのガラス基板Ｐ
が前後方向にずれ動くのを規制する規制部材７２ｂとが
設けられている。

【００３３】上記上下駆動体５３の前面上部には一対の
整列用レ−ル７５が上下方向に所定間隔で離間して水平
に設けられている。この整列用レ−ル７５には図２と図
６に示すように一対の整列部材７６がスライド自在に設
けられている。この整列部材７６は帯板状の可動板７７
と、この可動板７７の上端に基端側が固着された同じく
帯板状の整列ガイド７８とからなり、上記可動板７７に
は上記整列用レ−ル７５にスライド自在に係合するスラ
イダ７９が設けられている。一対の整列ガイド７８は上
記セッタ７１の両側に沿って平行に離間対向して設けら
れるとともに、上記セッタ７１の上面よりもわずかに上
方に位置している。

【００３４】上記上下移動体５３の前面の幅方向両端部
には図６に示すようにそれぞれ整列用シリンダ８１が設
けられている。この整列用シリンダ８１のロッドは上記
整列部材７６の可動板７７に連結されている。したがっ
て、上記整列用シリンダ８１が作動することで、上記一
対の整列部材７６は上記整列用レ−ル７５に沿って接離
する方向にスライド駆動されるようになっている。つま
り、一対の鮮烈ガイド７８は、上下移動体５３の幅方向
中心に対して対称に左右方向に開閉駆動されるようにな
っている。

【００３５】上記一対の整列部材７６の整列ガイド７８
には、それぞれ複数の位置決めロ−ラ８２が軸線を垂直
にして回転自在かつ上記整列ガイド７８の幅方向内方に
突出して設けられている。

【００３６】上記一対の整列ガイド７８は、上記ガラス
基板Ｐの幅寸法よりも大きな間隔で離間しており、上記
接近用シリンダ８１によって接近方向に駆動されること
で、上記位置決めロ−ラ８２が上記セッタ７１上に載置
されたガラス基板Ｐの幅方向両側に当接してこの基板Ｐ
を上記セッタ７１上で位置決めする。つまり、ガラス基
板Ｐは幅方向中心が上記セッタ７１（上下移動体５３）
の幅方向中心に一致させられる。

【００３７】上記第１の水平移動体２２上には図４と図
５に示すように上記セッタ７１と対向する部位に搬送機
構９１が設けられている。この搬送機構９１は上記第１
の水平移動体２２の移動方向（左右方向）両側にそれぞ
れ一対ずつ立設された４本の支柱９２を有する。支柱９
２の上端にはカセット１８側の前後方向一端が開放した
コ字状の上端板９３が取り付けられている。

【００３８】上記上端板９３の両側上面の幅方向内方に
は、この上端板９３の長手方向全長に沿う取付板９４が
板面を垂直にして立設されている。各取付板９４の互い
に対向する内面側には長手方向に沿って所定間隔で複数
の搬送ロ−ラ９５が軸線を水平にして回転自在に設けら
れ、外面側には従動プ−リ９６が同軸に設けられてい
る。左右の搬送ロ−ラ９５は、上記セッタ７１の幅寸法
よりも大きな間隔に設定されている。

【００３９】一対の取付板９４の前後方向一端側におけ
る対向する一対の搬送ロ−ラ９５は１本の駆動軸９７に
設けられている。この駆動軸９７の一端側は一方の上端
板９３上に設けられた搬送モ−タ９８の回転軸に連結さ
れている。上記駆動軸９７の上記取付板９４の外面側に
位置する部分にはそれぞれ駆動プ−リ９９が設けられて
いる。

【００４０】各取付板９４の外面において、上記駆動プ
−リ９９と従動プ−リ９６とにはテンションロ−ラ１０
１を介してベルト１０２が張設されている。したがっ
て、上記搬送モ−タ９８が作動することで、上記搬送ロ
−ラ９５が回転駆動されるから、この搬送ロ−ラ９５上
に後述するごとく載置されたガラス基板Ｐは、搬送ロ−
ラ９５が回転駆動されることにより、その回転に応じて
所定方向へ搬送されるようになっている。

【００４１】上記搬送ロ−ラ９５によって搬送されるガ
ラス基板Ｐの高さ位置は、図４に示すように上下駆動モ
−タ６１によって上下移動体５３とともに上下駆動され
る上記セッタ７１の最も下降した位置よりもわずかに高
く設定されている。それによって、上記セッタ７１が下
降駆動されることで、、このセッタ７１に保持されたガ
ラス基板Ｐが上記搬送ロ−ラ９５に受け渡されるように
なっている。

【００４２】上記上端板９３の上面の幅方向外方には、
図５に示すように軸線を垂直した複数のガイドロ−ラ１
０３が長手方向に対して所定間隔で設けられている。こ
のガイドロ−ラ１０３は上記搬送ロ−ラ９５によって搬
送されるガラス基板Ｐの幅方向両側に当接し、このガラ
ス基板Ｐの搬送をガイドする。つまり、搬送されるガラ
ス基板Ｐは幅方向にずれ動くのが阻止されている。

【００４３】つぎに、上記構成のロ−デイング装置の動
作について説明する。ロ−ダ１から未処理のガラス基板
Ｐを処理装置１に供給する場合には、まず、左右駆動モ
−タ２９によって第１の水平移動体２２を左右方向に駆
動し、セッタ７１を一対のカセット１８のどちらか一方
に対向位置決めする。ついで、上記セッタ７１の高さ
を、上下駆動モ−タ６１によってカセット１８に収容さ
れた最下段のガラス基板Ｐよりもわずかに低い位置に位
置決めする。

【００４４】セッタ７１の位置決めが終了したならば、
前後駆動モ−タ４４を作動させて第２の水平移動体３６
を前後方向のうち、上記カセット１８の方向へ前進駆動
する。それによって、上記セッタ７１はカセット１８の
最下段のガラス基板Ｐの下方へ入り込む。ついで、上記
セッタ７１は上下駆動モ−タ６１によってわずかに上昇
させられ、上記カセット１８に保持されたガラス基板Ｐ
をセッタ７１の上面に移載する。

【００４５】ガラス基板Ｐが移載されたセッタ７１は後
退方向へ駆動されたのち下降方向へ駆動される。それに
よって、上記セッタ７１上に保持されたガラス基板Ｐは
搬送機構９１の搬送ロ−ラ９５上に受け渡される。

【００４６】上記セッタ７１の後退時には、一対の整列
用シリンダ８１が作動して一対の整列部材７６を接近方
向へ駆動し、その一対の整列ガイド７８によってセッタ
７１上のガラス基板Ｐのセンタをセッタ７１のセンタに
一致させる。つまりガラス基板Ｐをセッタ７１上で位置
決め整列する。

【００４７】さらに、上記セッタ７１が後退し終わる
と、左右駆動モ−タ２９が作動して第１の水平移動体２
２が左右方向に駆動され、上記セッタ７１のセンタを上
記処理装置１のセンタに一致させる。このとき同時に、
上記セッタ７１は上下駆動モ−タ６１によって下降方向
へ駆動され、セッタ７１上のガラス基板Ｐが搬送機構９
１の搬送ロ−ラ９５に受け渡される。

【００４８】つまり、第１の水平移動体２２に搬送機構
９１を一体的に設けたので、上記第１の水平移動体２２
を左右方向に駆動しながらセッタ７１を下降させ、この
セッタ７１に保持されたガラス基板Ｐを搬送ロ−ラ９５
に受け渡すことができるから、これらの動作を別々に行
う場合に比べてタクトタイムを短縮することができる。

【００４９】上記セッタ７１のセンタ、つまり搬送ロ−
ラ９５に受け渡されたガラス基板Ｐの幅方向のセンタが
処理装置１のセンタに一致するよう位置決めされ終わる
と、上記搬送機構９１の搬送モ−タ９８が作動して搬送
ロ−ラ９５が回転させられる。それによって、ガラス基
板Ｐは上記搬送機構９１から処理装置１へ供給されるこ
とになる。

【００５０】上記ロ−ダ１１には複数のカセット１８を
設置する一方、セッタ７を前後方向だけでなく、左右方
向に駆動できるようにした。それによって、上記カセッ
ト１８のセンタが処理装置１１のセンタと一致していな
くとも、第１の水平移動体２２を左右方向に駆動してセ
ッタ７１のセンタをカセット１８のセンタに一致させた
り、処理装置１のセンタに一致させることができるか
ら、それぞれのカセット１８のガラス基板Ｐを処理装置
１へ供給することができる。

【００５１】このように、複数のカセット１８のガラス
基板Ｐを供給できることで、一方のカセット１８が空と
なっても、他方のカセット１８のガラス基板Ｐを供給で
き、その間に空となったカセット１８を交換すればよい
から、カセット１８を交換するために装置全体を休止さ
せずにすみ、生産性を向上させることができる。

【００５２】上記セッタ７１のセンタを搬送機構９１の
センタに一致させるために第１の水平移動体２２を左右
方向に移動させている間、セッタ７１に受け渡されたガ
ラス基板Ｐは整列部材７６の整列ガイド７８によって幅
方向両側が保持されている。そのため、セッタ７１が左
右方向に駆動されても、このセッタ７１上でガラス基板
Ｐがずれ動くのが阻止される。つまり、セッタ７１と、
このセッタ７１によってカセット１８から取り出したガ
ラス基板Ｐとの相対位置がずれることがない。

【００５３】また、ガラス基板Ｐはカセット１８から取
り出された後で整列部材７６によって整列される。その
ため、ロ−ダ１１に設置されるカセット１８内の基板Ｐ
を一括で整列させる必要がないから、上記カセット１８
をロ−ダ１１に位置決め固定せずにすむ。つまり、上記
カセット１８のセットが容易となるから、生産性を向上
させることができる。

【００５４】上述したごとく、上記ロ−ダ１１から処理
装置１に供給されたガラス基板Ｐはこの処理装置１で所
定の処理が行われたのち、その出口側に待機したアンロ
−ダ１２の搬送機構９１の搬送ロ−ラ９５上に受け渡さ
れる。

【００５５】搬送ロ−ラ９５に受け渡されたガラス基板
Ｐは、セッタ７１がロ−ダ１１側での動作と逆に動作す
ることで、カセット１８に積層収容されることになる。
つまり、アンロ−ダ１２においては、ガラス基板Ｐが搬
送ロ−ラ９５に受け渡されると、セッタ７１が上昇方向
に駆動されて上記搬送ロ−ラ９５からガラス基板Ｐを受
けて一対の整列ガイド７８によってセッタ７１上で整列
されると同時に、第１の水平移動体２２が左右駆動モ−
タ２９によって左右方向に駆動されてそのセンタがカセ
ット１８のセンタと一致するよう位置決めされる。

【００５６】ついで、セッタ７１は前後駆動モ−タ４４
によってカセット１８内に進入する方向へ駆動されたの
ち、上下駆動モ−タ６１によって所定寸法下降させられ
る。それによって、セッタ７１に保持されたガラス基板
Ｐは上記カセット１８に受け渡されることになる。

【００５７】ガラス基板Ｐをカセット１８に受け渡した
セッタ７１は、そのセンタが処理装置１のセンタに一致
するよう左右方向に駆動されるとともに、搬送ロ−ラ９
５よりもわずかに低い位置となるよう下降方向に駆動さ
れて待機することになる。

【００５８】したがって、アンロ−ダ１２においても、
上記ロ−ダ１１と同様、左右方向に駆動されるガラス基
板Ｐは整列ガイド７８によって左右方向にずれ動くのが
阻止されるばかりか、処理装置１からセッタ７１に受け
渡されたガラス基板Ｐは左右方向に駆動されて位置決め
されるから、アンロ−ダ１２にセットされた２つのカセ
ット１８に順次収容することができる。

【００５９】さらに、上記セッタ７１の高さ方向の位置
決めと、左右方向の位置決めとを同時に行うことができ
るから、別々に行う場合に比べてタクトタイムを短縮す
ることができる。

【００６０】なお、この発明は上記一実施形態に限定さ
れず、種々変形可能である。例えば、ロ−ダあるいはア
ンロ−ダに設置されるカセットの数は２つに限定され
ず、３つ以上であってもよく、要は複数であればよい。
さらに、ワ−クとしては液晶用のガラス基板以外のもの
であってもよく、その点も限定されるものでない。

【００６１】

【発明の効果】以上述べたように請求項１の発明によれ
ば、ロ−ダあるいはアンロ−ダの少なくともいずれか一
方のセッタを、処理部のセンタに対して同方向である前
後方向、この前後方向と交差する左右方向およびこれら
の前後方向と左右方向がなす平面に対して交差する上下
方向に駆動できるようにするとともに、上記セッタと一
体的に、このセッタに受け渡されたワ−クを整列する整
列部材を設け、さらには上記セッタ上で整列されたワ−
クあるいは処理部で処理されたワ−クが受け渡される搬
送手段を上記セッタの左右方向の動きと一体的に連動す
るように設けた。

【００６２】そのため、セッタ上でワ−クを整列させる
ことができるから、カセットを固定的にセットしてその
カセット内のワ−クを一括して整列させるということを
せずにすむから、上記カセットのセットや交換作業が容
易となる。

【００６３】また、搬送手段に対してワ−クを受け渡し
ながら上記セッタを左右方向に駆動させることができる
から、それらの動作を順次行う場合に比べてタクトタイ
ムを短縮させることができる。

【００６４】さらに、セッタが左右方向に駆動されるこ
とで、ロ−ダやアンロ−ダに複数のカセットを設置でき
る。そのため、１つのカセットに対するワ−クの出し入
れが終了したならば、他のカセットに対してワ−クの出
し入れを行い、その間に空あるいは満杯になったカセッ
トを交換することができるため、カセットを交換するた
めに装置を休止させなくてすむということもある。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施形態を示すセッタおよび搬送
機構を除去した装置全体の平面図。

【図２】同じくセッタおよび整列部材の取付け構造を示
す断面図。

【図３】同じく図２のＡ−Ａ線に沿う側面図。

【図４】同じく搬送機構を示す側面図。

【図５】同じく搬送機構を示す平面図。

【図６】同じく図４のＢ−Ｂ線に沿う上下移動体の正面
図。

【図７】同じくロ−ダとアンロ−ダが設けられた処理装
置の概略的構成図。

【符号の説明】

１…処理装置、１１…ロ−ダ、１２…アンロ−ダ、１５
…ベ−ス、１８…カセット、２３…第１の水平移動体、
３６…第２の水平移動体、５３…上下移動体、７１…セ
ッタ、７６…整列部材、９１…搬送機構（搬送手段）。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/027 Ｈ０１Ｌ 21/30 ５０２Ｊ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 処理部に対して未処理のワ−クを供給す
   るためのロ−ダあるいは上記処理部で処理されたワ−ク
   を回収するアンロ−ダを有するロ−デイング装置におい
   て、 上記ロ−ダあるいはアンロ−ダの少なくとも一方は、 上記ワ−クを積層収容する複数のカセットが上記処理部
   における上記ワ−クの移動方向に対して交差する方向に
   沿って設置されるベ−スと、 このベ−スの上記処理部と上記カセットとの間に上記ワ
   −クの移動方向と交差する水平方向に沿って駆動可能に
   設けられた第１の水平移動体と、 この第１の水平移動体に上記ワ−クの移動方向に沿って
   駆動可能に設けられた第２の水平移動体と、 この第２の水平移動体に上下方向に沿って駆動可能に設
   けられた上下移動体と、 この上下移動体に設けられ上記第１の水平移動体が駆動
   されることで上記複数のカセットのうちの所定のカセッ
   トに対向したときに上記第２の水平移動体と連動するこ
   とでそのカセット内へ進入するセッタと、 上記上下移動体に設けられ上記セッタの両側に位置する
   とともに接離する方向に駆動され上記セッタが上記ロ−
   ダ部あるいは上記処理部からワ−クを受けると接近する
   方向に駆動されて上記ワ−クの両側に当接しこのワ−ク
   を上記セッタ上で位置決めする一対の整列部材と、 上記第１の水平移動体に設けられ上記セッタ上で上記一
   対の整列部材によって位置決めされたワ−クあるいは上
   記処理部で処理されたワ−クが受け渡される搬送手段と
   を具備したことを特徴とするロ−デイング装置。