JPS6452240U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6452240U JPS6452240U JP14721987U JP14721987U JPS6452240U JP S6452240 U JPS6452240 U JP S6452240U JP 14721987 U JP14721987 U JP 14721987U JP 14721987 U JP14721987 U JP 14721987U JP S6452240 U JPS6452240 U JP S6452240U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- arm
- semiconductor substrate
- horizontally rotatable
- drive motor
- explanatory diagram
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
Description
第１図は本考案装置の一例での一部断面の正面
図、第２図はアーム部分の他例を示す断面図、第
３図は同上―線に沿つた断面図、第４図は本
案装置をプラズマ処理装置に用いた場合の説明図
、第５図は本案装置を測定器により基板の検査を
一度に多数枚を処理する場合に用いた説明図、第
６図は現在の半導体製造装置のブロツク図、第７
図は従来の半導体製造装置のブロツク図である。 １０……ハウジング、１１……ボデイー、１２
……アーム、１３……ハンド、１８……ベース、
２０……ボールネジ、２３……エレベーター駆動
モーター、３２……アーム駆動モーター、３４…
…ハンド駆動モーター、Ｐ……半導体基板。
図、第２図はアーム部分の他例を示す断面図、第
３図は同上―線に沿つた断面図、第４図は本
案装置をプラズマ処理装置に用いた場合の説明図
、第５図は本案装置を測定器により基板の検査を
一度に多数枚を処理する場合に用いた説明図、第
６図は現在の半導体製造装置のブロツク図、第７
図は従来の半導体製造装置のブロツク図である。 １０……ハウジング、１１……ボデイー、１２
……アーム、１３……ハンド、１８……ベース、
２０……ボールネジ、２３……エレベーター駆動
モーター、３２……アーム駆動モーター、３４…
…ハンド駆動モーター、Ｐ……半導体基板。
Claims (1)
- 昇降および水平回転可能に設けられたアームと
、該アームに、該アームとは独立して水平回転可
能に連結された半導体基板保持用ハンドとを備え
て成る半導体基板の搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14721987U JPS6452240U (ja) | 1987-09-26 | 1987-09-26 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14721987U JPS6452240U (ja) | 1987-09-26 | 1987-09-26 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6452240U true JPS6452240U (ja) | 1989-03-31 |
Family
ID=31417419
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14721987U Pending JPS6452240U (ja) | 1987-09-26 | 1987-09-26 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6452240U (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0969549A (ja) * | 1995-08-31 | 1997-03-11 | Shibaura Eng Works Co Ltd | ロ−デイング装置 |
| JP2001009765A (ja) * | 1999-06-28 | 2001-01-16 | Hirata Corp | 昇降ユニット及びロボット装置 |
| JP2009028847A (ja) * | 2007-07-27 | 2009-02-12 | Daihen Corp | 搬送装置 |
| JP2013254985A (ja) * | 2013-09-09 | 2013-12-19 | Yaskawa Electric Corp | 基板処理装置 |
-
1987
- 1987-09-26 JP JP14721987U patent/JPS6452240U/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0969549A (ja) * | 1995-08-31 | 1997-03-11 | Shibaura Eng Works Co Ltd | ロ−デイング装置 |
| JP2001009765A (ja) * | 1999-06-28 | 2001-01-16 | Hirata Corp | 昇降ユニット及びロボット装置 |
| JP2009028847A (ja) * | 2007-07-27 | 2009-02-12 | Daihen Corp | 搬送装置 |
| JP2013254985A (ja) * | 2013-09-09 | 2013-12-19 | Yaskawa Electric Corp | 基板処理装置 |