JPS6454331U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6454331U JPS6454331U JP14910787U JP14910787U JPS6454331U JP S6454331 U JPS6454331 U JP S6454331U JP 14910787 U JP14910787 U JP 14910787U JP 14910787 U JP14910787 U JP 14910787U JP S6454331 U JPS6454331 U JP S6454331U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- core tube
- furnace core
- view
- wheel
- boat
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 3
- 239000000428 dust Substances 0.000 claims 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims 1
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 claims 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
第１図ａは本考案の第１の実施例を示す平面図
、ｂは同側面図、ｃは同正面図、ｄは第１図ａの
Ａ部拡大平面図、ｅは同正面図、ｆは同斜視図、
第２図ａは本考案の第２の実施例を示す平面図、
ｂは同側面図、ｃは同正面図、ｄは第２図ａのＡ
部拡大平面図、ｅは同正面図、ｆは同斜視図、第
３図は技術的効果を実験する装置を示す構成図、
第４図は第３図に基づく実験結果を示す図である
。 １ａ……吸気孔、２……機枠、３……車輪、５
……ボート、７……半導体ウエハース、８……炉
芯管。
、ｂは同側面図、ｃは同正面図、ｄは第１図ａの
Ａ部拡大平面図、ｅは同正面図、ｆは同斜視図、
第２図ａは本考案の第２の実施例を示す平面図、
ｂは同側面図、ｃは同正面図、ｄは第２図ａのＡ
部拡大平面図、ｅは同正面図、ｆは同斜視図、第
３図は技術的効果を実験する装置を示す構成図、
第４図は第３図に基づく実験結果を示す図である
。 １ａ……吸気孔、２……機枠、３……車輪、５
……ボート、７……半導体ウエハース、８……炉
芯管。
Claims (1)
- 炉芯管内での半導体ウエハースの熱処理に使用
するボートにおいて、ボート本体に設けられた車
輪の近傍に、前記炉芯管内での車輪の転動に基づ
いて生ずる発塵物を吸引排出する吸気孔を設けた
ことを特徴とする半導体製造用治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14910787U JPS6454331U (ja) | 1987-09-29 | 1987-09-29 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14910787U JPS6454331U (ja) | 1987-09-29 | 1987-09-29 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6454331U true JPS6454331U (ja) | 1989-04-04 |
Family
ID=31421035
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14910787U Pending JPS6454331U (ja) | 1987-09-29 | 1987-09-29 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6454331U (ja) |
-
1987
- 1987-09-29 JP JP14910787U patent/JPS6454331U/ja active Pending