JPS63170949U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS63170949U JPS63170949U JP6228487U JP6228487U JPS63170949U JP S63170949 U JPS63170949 U JP S63170949U JP 6228487 U JP6228487 U JP 6228487U JP 6228487 U JP6228487 U JP 6228487U JP S63170949 U JPS63170949 U JP S63170949U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor wafer
- chuck stage
- manufacturing device
- semiconductor
- semiconductor manufacturing
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 9
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Description
第１図乃至第３図は本考案に係る第１乃至第３
の実施例の正面図である。第４図は横型エピタキ
シヤル層成長装置の断面図、第５図は従来のチヤ
ツクステージを具備する半導体製造装置の断面図
、第６図は下面周辺部に厚肉部が形成された半導
体ウエーハの断面図、第７図は、下面周辺部に厚
肉部が形成された半導体ウエーハとチヤツクステ
ージと露光マスクとの接触状態を示す説明図であ
る。 ４……半導体ウエーハ、６，１１，１２，１４
……チヤツクステージ。
の実施例の正面図である。第４図は横型エピタキ
シヤル層成長装置の断面図、第５図は従来のチヤ
ツクステージを具備する半導体製造装置の断面図
、第６図は下面周辺部に厚肉部が形成された半導
体ウエーハの断面図、第７図は、下面周辺部に厚
肉部が形成された半導体ウエーハとチヤツクステ
ージと露光マスクとの接触状態を示す説明図であ
る。 ４……半導体ウエーハ、６，１１，１２，１４
……チヤツクステージ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 半導体ウエーハを真空吸着するチヤツクステー
ジを備える半導体製造装置において、 上記チヤツクステージの吸着面を半導体ウエー
ハより小径にし、半導体ウエーハの下面周辺部を
除く中央部を吸着するようにしたことを特徴とす
る半導体製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6228487U JPS63170949U (ja) | 1987-04-23 | 1987-04-23 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6228487U JPS63170949U (ja) | 1987-04-23 | 1987-04-23 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63170949U true JPS63170949U (ja) | 1988-11-07 |
Family
ID=30896410
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6228487U Pending JPS63170949U (ja) | 1987-04-23 | 1987-04-23 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63170949U (ja) |
-
1987
- 1987-04-23 JP JP6228487U patent/JPS63170949U/ja active Pending