KR101580554B1 - 웨이퍼 적재 간격 변경장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 웨이퍼 사이의 간격이 넓게 삽입되는 광폭 카세트에서 다수개의 기판을 순차적으로 기판 사이의 간격이 좁게 삽입되는 소폭 카세트에 정확하게 옮겨 삽입하거나, 반대로 소폭 카세트에 삽입되어 있는 다수개의 기판을 광폭 카세트에 옮겨 삽입하는 웨이퍼 간격 변경장치에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 웨이퍼 간격 변경장치는, 상하 방향으로 다수장의 웨이퍼가 일정한 제1 피치로 이격되어 적층되는 광폭 카세트가 상하 방향으로 이동가능하게 설치되는 광폭카세트 적재부; 상기 광폭 카세트 적재부에 일정 간격 이격되어 설치되며, 상하 방향으로 다수장의 웨이퍼가 일정한 제2 피치로 이격되어 적층되는 소폭 카세트가 상하 방향으로 이동가능하게 설치되는 소폭카세트 적재부; 상기 광폭카세트 적재부와 소폭카세트 적재부 사이에 설치되며, 상기 광폭 카세트에 적재되어 있는 웨이퍼를 상기 소폭 카세트로 순차적으로 이송하거나 상기 소폭 카세트에 적재되어 있는 웨이퍼들을 상기 광폭 카세트로 순차적으로 이송하는 웨이퍼 이송부;를 포함한다.

Description

웨이퍼 적재 간격 변경장치{THE APPARATUS FOR CHANGING THE PITCH BETWEEN THE WAFERS}
본 발명은 웨이퍼 사이의 간격 즉, 웨이퍼 피치를 변경하는 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 웨이퍼 사이의 간격이 넓게 삽입되는 광폭 카세트에서 다수개의 기판을 순차적으로 기판 사이의 간격이 좁게 삽입되는 소폭 카세트에 정확하게 옮겨 삽입하거나, 반대로 소폭 카세트에 삽입되어 있는 다수개의 기판을 광폭 카세트에 옮겨 삽입하는 웨이퍼 간격 변경장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 소자 제조, 엘시디 등 평판표시소자 제조, 태양전지 셀 제조 등의 공정에서는 반도체 웨이퍼 또는 유리 기판 등 다양한 기판에 대하여 다양한 공정을 처리하여 반도체 소자, 평판표시소자, 태양전지셀 등을 제조한다.
이러한 공정 중에는 다수장의 기판을 카세트에 적재한 상태에서 공정 사이를 이동하거나 실제 공정을 수행하는 경우가 많다. 그런데 일반적으로는 카세트 내에 적재된 상태의 기판 사이의 간격 즉, 기판 피치가 여유 있게 형성되는 광폭 카세트가 많이 사용되지만, 특정한 경우에는 기판 사이의 간격 즉, 기판 피치를 매우 좁게 하여 기판이 컴팩트하게 삽입되는 소폭 카세트가 사용되기도 한다.
이러한 경우에는 광폭 카세트에 삽입되어 있는 다수개의 기판을 소폭 카세트로 이동시키거나, 소폭 카세트에 삽입되어 있는 다수개의 기판을 광폭 카세트로 이동시키는 작업이 반드시 필요하다.
그런데 종래에는 이러한 광폭 카세트와 소폭 카세트 간의 기판 이동 투입에 대한 기술이 공개특허공보제10-2013-14406호 등에 개시되어 있으나, 기판 파손이나 손상의 염려가 있으며 간격 변경에 많은 시간이 요구되는 문제점이 있었다.
따라서 기판의 파손이나 손상없이 신속하게 기판이 삽입되는 카세트를 변경하여 기판 사이의 간격을 변경하는 기판 피치 변경 기술의 개발이 절실하게 요구되고 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는 웨이퍼 사이의 간격이 넓게 삽입되는 광폭 카세트에서 다수개의 기판을 순차적으로 기판 사이의 간격이 좁게 삽입되는 소폭 카세트에 정확하게 옮겨 삽입하거나, 반대로 소폭 카세트에 삽입되어 있는 다수개의 기판을 광폭 카세트에 옮겨 삽입하는 웨이퍼 간격 변경장치를 제공하는 것이다.
전술한 기술적 과제를 해결하기 위한 본 발명에 따른 웨이퍼 간격 변경장치는, 상하 방향으로 다수장의 웨이퍼가 일정한 제1 피치로 이격되어 적층되는 광폭 카세트가 상하 방향으로 이동가능하게 설치되는 광폭카세트 적재부; 상기 광폭 카세트 적재부에 일정 간격 이격되어 설치되며, 상하 방향으로 다수장의 웨이퍼가 일정한 제2 피치로 이격되어 적층되는 소폭 카세트가 상하 방향으로 이동가능하게 설치되는 소폭카세트 적재부; 상기 광폭카세트 적재부와 소폭카세트 적재부 사이에 설치되며, 상기 광폭 카세트에 적재되어 있는 웨이퍼를 상기 소폭 카세트로 순차적으로 이송하거나 상기 소폭 카세트에 적재되어 있는 웨이퍼들을 상기 광폭 카세트로 순차적으로 이송하는 웨이퍼 이송부;를 포함한다.
그리고 본 발명에서 상기 웨이퍼 이송부는, 일단이 상기 광폭카세트 적재부에 적재된 광폭 카세트 하측에 위치하며, 타단은 상기 소폭 카세트 적재부에 적재된 소폭 카세트 하측 전방에 위치하고, 웨이퍼를 일측 방향으로 이송하는 이송 컨베이어; 상기 이송 컨베이어에 설치되어 이송되는 웨이퍼의 초기 진입, 중앙 부분 통과 및 이송 말기를 감지하는 센서부; 상기 센서부에 의하여 감지되는 정보에 의하여 상기 이송 컨베이어의 구동속도 및 정지를 제어하는 제어부;를 포함하는 것이 바람직하다.
또한 본 발명에서 상기 센서부는, 상기 이송 컨베이어의 전단에 설치되며, 카세트에서 배출되어 이송 컨베이어로 이송되기 시작되는 웨이퍼를 감지하여 진입신호를 상기 제어부에 전달하는 제1 센서; 상기 이송 컨베이어의 중앙에 설치되며, 상기 이송 컨베이어에 의하여 이송되는 웨이퍼의 중앙 부분 이송을 감지하여 중앙 통과 신호를 상기 제어부에 전달하는 제2 센서; 상기 이송 컨베이어의 말단에 설치되며, 이송되는 웨이퍼의 말단 통과를 감지하여 말단 통과 신호를 상기 제어부에 전달하는 제3 센서;를 포함하며,
상기 제어부는, 상기 제1 센서의 진입신호에 의하여 상기 이송 컨베이어를 구동을 시작하고 가속하며, 상기 제2 센서의 중앙 통과 신호에 의하여 상기 이송 컨베이어의 구동 속도를 감속하며, 상기 제3 센서의 말단 통과 신호에 의하여 상기 광폭카세트 및 소폭 카세트의 피치를 변경하도록 상기 광폭카세트 적재부 및 소폭카세트 적재부를 제어하는 것이 바람직하다.
또한 본 발명에서 상기 광폭카세트 적재부는, 상기 광폭카세트가 적재되어 고정되는 제1 고정 클램프; 상기 제1 고정 클램프를 상하 방향으로 피치 별로 이동하는 제1 상하 이동부; 상기 제1 고정 클램프 및 제1 상하 이동부를 상기 이송 컨베이어 방향으로 수평 이동시키는 수평 이동부;를 포함하는 것이 바람직하다.
또한 상기 소폭카세트 적재부는, 상기 소폭카세트가 적재되어 고정되는 제2 고정 클램프; 상기 제2 고정 클램프를 상하 방향으로 피치 별로 이동하는 제2 상하 이동부; 상기 제2 고정 클램프에 고정된 상기 소폭 카세트의 후측면에 설치되며, 상기 소폭 카세트에 적재되어 있는 웨이퍼들을 상기 이송 컨베이어 방향으로 밀어주는 웨이퍼 전진부;를 포함하는 것이 바람직하다.
또한 본 발명의 웨이퍼 간격 변경장치에는 상기 광폭카세트 적재부, 소폭카세트 적재부 및 웨이퍼 이송부가 나란하게 2세트가 설치되고, 한 세트는 광폭카세트에서 소폭카세트로 웨이퍼를 옮겨 적재하고, 또 다른 세트는 소폭카세트에서 광폭카세트로 웨이퍼를 옮겨 적재하는 것이 바람직하다.
또한 본 발명의 웨이퍼 간격 변경장치에는, 상기 광폭카세트 적재부에 인접하게 설치되며, 외부로부터 광폭카세트를 수취하는 광폭카세트 공급 컨베이어; 상기 광폭카세트 공급 컨베이어에 인접하게 설치되며, 외부로 광폭카세트를 배출하는 광폭카세트 배출 컨베이어; 상기 광폭카세트 공급 컨베이어 및 광폭카세트 배출 컨베이어와 상기 광폭카세트 적재부 사이에 설치되며, 상기 광폭카세트 공급 컨베이어 상의 광폭 카세트를 상기 광폭카세트 적재부에 이송하거나 상기 광폭카세트 적재부 상의 광폭 카세트를 상기 광폭카세트 배출 컨베이어로 이송하는 카세트 이송부;가 더 구비되는 것이 바람직하다.
또한 본 발명에서 상기 광폭카세트 투입 컨베이어와 상기 광폭카세트 배출 컨베이어 사이에 설치되며, 상기 광폭카세트의 중간 계류 공간을 제공하는 버퍼(buffer)부가 더 구비되는 것이 바람직하다.
본 발명에 따르면 광폭 카세트에서 소폭 카세트로 또는 소폭 카세트에서 광폭 카세트로 많은 수의 웨이퍼를 신속하고 정확하게 옮겨 삽입할 수 있는 장점이 있다. 특히, 웨이퍼의 이동 과정에서 웨이퍼 이송부 속도를 매우 정밀하게 제어하여 웨이퍼가 신속하게 이동되면서도 카세트 내에 정확하게 안착되어 이동 과정에서 웨이퍼 파손 등의 현상이 전혀 발생하지 않는 장점이 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 간격 변경장치의 레이아웃을 도시하는 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 간격 변경장치의 구요 구성을 도시하는 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 이송부의 구성을 도시하는 평면도이다.
도 4 내지 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 광폭 카세트 적재부의 구성 및 구동 과정을 도시하는 도면들이다.
도 7 내지 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 소폭 카세트 적재부의 구성 및 구동 과정을 도시하는 도면들이다.
이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 실시예를 상세하게 설명한다.
본 실시예에 따른 웨이퍼 간격 변경장치(100)는 도 1에 도시된 바와 같이, 광폭카세트 적재부(110), 소폭카세트 적재부(120), 웨이퍼 이송부(130)를 포함하여 구성된다.
먼저 상기 광폭카세트 적재부(110)는 상하 방향으로 다수장의 웨이퍼(W)가 일정한 제1 피치로 이격되어 적층되는 광폭 카세트(C1)가 상하 방향으로 이동가능하게 설치되는 구성요소이다. 여기에서 '광폭카세트'라 함은 일반적으로 반도체, 태양전지 등의 제조과정에서 사용되는 간격을 가지는 카세트를 말한다.
상기 광폭카세트 적재부(110)는 이러한 구조를 가지며, 외부에서 공급되는 광폭 카세트(C1)를 수직으로 기립한 상태에서 적재하고, 웨이퍼(W)의 순차적인 이송을 위하여 상기 광폭 카세트(C1)를 피치별로 승강시키는 것이다. 이를 위하여 본 실시예에서 상기 광폭카세트 적재부(110)는 구체적으로 도 2에 도시된 바와 같이, 제1 고정 클램프(111), 제1 상하 이동부(112) 및 수평 이동부(113)를 포함하여 구성될 수 있다.
먼저 상기 제1 고정 클램프(111)는 외부에서 공급되는 광폭 카세트(C1)가 그 상면에 적재되고, 적재된 광폭 카세트(C1)가 웨이퍼(W) 이송 과정에서 움직이지 않도록 상기 광폭 카세트(C1)의 하측 양 측면을 견고하게 클램핑(clamping)하는 구성요소이다. 상기 제1 고정 클램프(111)는 상기 광폭 카세트(C1)의 하측을 클램핑할 수 있는 다양한 구조를 가질 수 있으며, 상기 웨이퍼 이송부(130)에 의하여 웨이퍼가 이송되는 면은 개방된 상태로 유지하면서 상기 광폭 카세트(C1)를 고정시킨다.
다음으로 상기 제1 상하 이동부(112)는 상기 제1 고정 클램프(111)를 상하 방향으로 피치 별로 이동하는 구성요소이다. 즉, 상기 제1 상하 이동부(112)는 상기 제1 고정 클램프(111)를 피치별로 승강시킴으로써, 상기 제1 고정 클램프(111)에 고정되어 있는 광폭 카세트(C1)를 상하 방향으로 피치별로 승강시키는 것이다. 이러한 피치별 승강 동작은 후술하는 웨이퍼 이송부(130)와 연동되어 카세트에 적재되어 있는 다수장의 웨이퍼(W)를 순차적으로 이송할 수 있는 메커니즘을 이룬다.
다음으로 상기 수평 이동부(1130)는 상기 제1 고정 클램프(111) 및 제1 상하 이동부(112)를 후술하는 이송 컨베이어(131) 방향으로 수평 이동시키는 구성요소이다. 상기 웨이퍼 이송부(130)의 세부 구성요소인 이송 컨베이어(131)는 웨이퍼(W)의 하면과 직접 접촉하여 마찰력으로 상기 웨이퍼를 수평 이동시킬 수 있는 구조를 가진다.
따라서 수평 이동부(113)는 카세트의 적재 과정에서 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 제1 고정 클램프(111) 및 제1 상하 이동부(112)가 상기 이송 컨베이어(131)와 이격된 상태를 유지하는 위치에서, 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 이송 컨베이어(131)의 말단 상측으로 상기 광폭 카세트(C1)에 적재되어 있는 웨이퍼(W)의 하면이 위치하도록 상기 제1 고정 클램프(111) 및 제1 상하 이동부(112)를 상기 이송 컨베어이어(131) 방향으로 수평 이동시키는 것이다.
다음으로 상기 웨이퍼 이송부(130)는, 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 광폭카세트 적재부(110)와 소폭카세트 적재부(120) 사이에 설치되며, 상기 광폭 카세트(C1)에 적재되어 있는 웨이퍼를 상기 소폭 카세트(C2)로 순차적으로 옮겨 삽입하거나 상기 소폭 카세트(C1)에 적재되어 있는 웨이퍼들을 상기 광폭 카세트(C2)로 순차적으로 옮겨 삽입하는 구성요소이다. 즉, 상기 웨이퍼 이송부(130)는 서로 마주보는 상태로 웨이퍼가 적재되어 있는 피치가 서로 다른 광폭 카세트(C1)와 소폭 카세트(C2)에 대하여 각각 적재되어 있는 다수장의 웨이퍼를 순차적으로 수평 이동시킴으로써, 웨이퍼 적재 간격을 변경시키는 것이다.
이를 위하여 본 실시예에서 상기 웨이퍼 이송부(130)는 구체적으로 도 2에 도시된 바와 같이, 이송 컨베이어(131), 센서부(132) 및 제어부(도면에 미도시)를 포함하여 구성될 수 있다.
먼저 상기 이송 컨베이어(131)는 도 1에 도시된 바와 같이, 일단이 상기 광폭카세트 적재부(110)에 적재된 광폭 카세트(C1) 하측에 위치하며, 타단은 상기 소폭 카세트 적재부(120)에 적재된 소폭 카세트(C2) 하측 전방에 위치하고, 웨이퍼를 일측 방향으로 이송하는 구성요소이다. 구체적으로 상기 이송 컨베이어(131)는 도 1에 도시된 바와 같이, 웨이퍼(W)의 양 측단을 각각 지지한 상태에서 수평이동시킬 수 있도록 중앙 부분이 비어있는 상태를 가질 수 있으며, 상기 웨이퍼와 직접 접촉하는 벨트 부분은 웨이퍼와의 마찰력이 큰 재질로 이루어지는 것이 바람직하다.
본 실시예에서 상기 이송 컨베이어(131) 중 상기 광폭 카세트 적재부(110) 측 말단은 도 2, 4에 도시된 바와 같이, 상기 광폭카세트(C1) 하측으로 진입할 수 있도록 얇은 두께로 이루어지는 것이 바람직하다.
한편 본 실시예에서 상기 이송 컨베이어(131)를 구동시키는 구동모터(134)는 상기 이송 벨트의 회전 속도를 자유롭고 정확하게 제어할 수 있도록 서보 모터(SERVO MOTOR)로 구성되는 것이 바람직하다.
다음으로 상기 센서부(132)는 도 1, 2에 도시된 바와 같이, 상기 이송 컨베이어(131)에 설치되어 이송되는 웨이퍼(W)의 초기 진입, 중앙 부분 통과 및 이송 말기를 감지하는 구성요소이다. 즉, 상기 센서부(132)에 의하여 상기 이송 컨베이어(131)에 의하여 이송되는 웨이퍼(W)의 위치가 감지되어, 그 위치 정보가 후술하는 제어부에 의한 상기 이송 컨베이어(131) 및 광폭카세트 적재부(110)와 소폭카세트 적재부(120)의 구동 제어에 사용되는 것이다.
본 실시예에서 상기 센서부(132)는 구체적으로 도 1에 도시된 바와 같이, 제1, 2, 3 센서(132a, 132b, 132c) 3개로 구성되는 것이 바람직하다. 상기 제1 센서(132a)는 상기 이송 컨베이어(131)의 전단에 설치되며, 카세트에서 배출되어 이송 컨베이어(131)로 이송되기 시작되는 웨이퍼(W)를 감지하여 진입신호를 상기 제어부에 전달하는 구성요소이다. 이 진입 신호에 의하여 상기 이송 컨베이어(131)의 이송 동작이 시작되는 것이다.
다음으로 상기 제2 센서(132b)는 도 1, 2에 도시된 바와 같이, 상기 이송 컨베이어(131)의 중앙에 설치되며, 상기 이송 컨베이어(131)에 의하여 이송되는 웨이퍼(W)가 상기 이송 컨베이어(131)의 중앙 부분을 통과하는 것을 감지하여 중앙 통과 신호를 상기 제어부에 전달하는 구성요소이다. 상기 중앙 통과 신호에 의하여 상기 이송 컨베이어(131)의 이송 속도에 대한 감속 제어가 시작되는 것이다.
다음으로 상기 제3 센서(132c)는 도 1, 2에 도시된 바와 같이, 상기 이송 컨베이어(131)의 말단에 설치되며, 이송되는 웨이퍼(W)의 말단 통과를 감지하여 말단 통과 신호를 상기 제어부에 전달하는 구성요소이다. 상기 말단 통과 신호에 의하여 상기 이송 컨베이어(131)의 구동이 정지되고 상기 이송 컨베이어(131)에 의하여 이송되는 웨이퍼(W)는 정확하게 카세트 내의 삽입 위치에 진입하여 적재된다. 이때 상기 웨이퍼는 정확한 위치에 정확한 속도로 멈추도록 제어되므로, 웨이퍼가 카세트와 충돌하는 현상등은 발생하지 않는다.
다음으로 상기 제어부는 상기 센서부(132)에 의하여 감지되는 정보에 의하여 상기 이송 컨베이어(131)의 구동속도 및 정지를 제어하는 구성요소이다. 구체적으로 본 실시예에서 상기 제어부는 상기 제1 센서(132a)의 진입신호에 의하여 상기 이송 컨베이어(131)를 구동을 시작하고 가속하며, 상기 제2 센서(132b)의 중앙 통과 신호에 의하여 상기 이송 컨베이어(131_의 구동 속도를 감속하며, 상기 제3 센서(132c)의 말단 통과 신호에 의하여 상기 광폭카세트(C1) 및 소폭 카세트(C2)의 피치를 변경하도록 상기 광폭카세트 적재부(110) 및 소폭카세트 적재부(120)를 제어한다.
다음으로 상기 소폭카세트 적재부(120)는 상기 광폭 카세트 적재부(110)에 일정 간격 이격되어 설치되며, 상하 방향으로 다수장의 웨이퍼가 일정한 제2 피치로 이격되어 적층되는 소폭 카세트(C2)가 상하 방향으로 이동가능하게 설치되는 구성요소이다. 상기 소폭카세트 적재부(120)는 상기 광폭카세트 적재부(110)와 마찬가지로 카세트가 적재되는 구성요소이며, 여기에서 소폭 카세트(C2)는 다수장의 웨이퍼가 상하 방향으로 적재되는 구성요소이되, 상기 광폭카세트(C1)에 적재되는 웨이퍼 피치보다 좁은 간격으로 웨이퍼가 적재된다.
본 실시예에서 상기 소폭카세트 적재부(120)는, 구체적으로 도 2에 도시된 바와 같이, 제2 고정 클램프(121), 제2 상하 이동부(122) 및 웨이퍼 전진부(123)를 포함하여 구성될 수 있다. 여기에서 상기 제2 고정 클램프(121)와 제2 상하 이동부(122)는 전술한 제1 고정 클램프(111)와 제1 상하 이동부(112)와 그 구조 및 기능이 실질적으로 동일하므로 이에 대한 반복 설명은 생략한다.
다음으로 상기 웨이퍼 전진부(123)는 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 제2 고정 클램프(121)에 고정된 상기 소폭 카세트(C2)의 후측면에 설치되며, 상기 소폭 카세트(C2)에 적재되어 있는 웨이퍼(W)들을 상기 이송 컨베이어(131) 방향으로 밀어주는 구성요소이다.
전술한 바와 같이, 상기 소폭 카세트(C2)에는 다수장의 웨이퍼가 매우 좁은 간격으로 적재되어 있다. 따라서 광폭 카세트(C1)와 달리 상기 이송 컨베이어(131)의 말단이 도 7에 도시된 바와 같이, 카세트 하측으로 진입하여 웨이퍼를 배출할 수 없는 구조이다. 따라서 소폭 카세트(C2)에서 웨이퍼를 배출하는 경우에는, 도 8에 도시된 바와 같이, 상기 웨이퍼 전진부(123)를 이용하여 상기 소폭 카세트(C2) 내에 적재되어 있는 웨이퍼(W)들의 전단을 상기 카세트 외측으로 밀어서 노출시킨 후에 상기 이송 컨베이어(131)를 이용하여 웨이퍼(W)들을 배출하게 된다.
따라서 본 실시예에서 상기 웨이퍼 전진부(123)는 상기 소폭 카세트(C2)에 상하 방향으로 다수장이 적재되어 있는 웨이퍼들은 동일한 이동폭으로 수평 이동시킬 수 있는 기립 판넬(123a)과 상기 기립 판넬(123a)을 수평 방향으로 구동시키는 구동수단(123b)을 포함하여 구성될 수 있다. 따라서 상기 구동수단(123b)의 구동에 의하여 상기 기립 판넬(123a)이 수평 이동하면서 상기 소폭 카세트(C2)에 적재되어 있는 모든 웨이퍼들을 상기 이송 컨베이어(131) 방향으로 일정 간격 밀어서 이송 컨베이어(131)에 의한 수평 이동이 가능한 상태를 만드는 것이다.
한편 본 실시예에 따른 웨이퍼 간격 변경장치(100)에는, 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 광폭카세트 적재부(110), 소폭카세트 적재부(120) 및 웨이퍼 이송부(130)가 나란하게 2세트가 설치되고, 한 세트는 광폭 카세트(C1)에서 소폭 카세트(C2)로 웨이퍼를 옮겨 적재하고, 또 다른 세트는 소폭 카세트(C2)에서 광폭 카세트(C1)로 웨이퍼를 옮겨 적재하는 구조를 가질 수 있다. 이렇게 2개의 세트가 서로 다른 방향으로 웨이퍼를 이동시킬 수 있는 구조를 가지면, 웨이퍼의 로딩(loading)과 언로딩(unloading)이 동시에 이루어져서 공정 시간을 대폭 줄일 수 있는 장점이 있다.
또한 본 실시예에 따른 웨이퍼 간격 변경장치(100)에는 도 1에 도시된 바와 같이, 광폭 카세트 공급 컨베이어(140), 광폭 카세트 배출 컨베이어(150) 및 카세트 이송부(도면에 미도시)가 더 구비될 수 있다. 상기 광폭 카세트 공급 컨베이어(140)는 상 광폭카세트 적재부(110)에 인접하게 설치되며, 외부로부터 광폭 카세트(C2)를 공급하는 구성요소이며, 상기 광폭카세트 배출 컨베이어(150)는, 상기 광폭카세트 공급 컨베이어(140)에 인접하여 나란하게 설치되며, 외부로 광폭 카세트(C1)를 배출하는 구성요소이다. 또한 상기 카세트 이송부는, 상기 광폭카세트 공급 컨베이어(140) 및 광폭카세트 배출 컨베이어(150)와 상기 광폭카세트 적재부(110) 사이에 설치되며, 상기 광폭카세트 공급 컨베이어(140) 상의 광폭 카세트(C1)를 상기 광폭카세트 적재부(110)에 이송하거나 상기 광폭카세트 적재부(110) 상의 광폭 카세트(C1)를 상기 광폭카세트 배출 컨베이어(150)로 이송하는 구성요소이다.
이러한 광폭카세트 공급 컨베이어(140), 광폭카세트 배출 컨베이어(150) 및 카세트 이송부에 의하여 본 실시예에 따른 웨이퍼 간격 변경장치(100)에 광폭 카세트(C1)가 자동으로 공급 및 배출되고, 웨이퍼 배출이 마무리된 빈 광폭 카세트(C1)를 배출 공간으로 이동시켜 웨이퍼 배출에 그대로 사용할 수 있어서 공정의 자동화가 가능한 장점이 있다.
또한 본 실시예에 따른 웨이퍼 간격 변경장치(100)에는 상기 광폭카세트 투입 컨베이어(140)와 상기 광폭카세트 배출 컨베이어(150) 사이에 설치되며, 상기 광폭카세트의 중간 계류 공간을 제공하는 버퍼(buffer)부(도면에 미도시)가 더 구비될 수도 있다. 상기 웨이퍼 이송부에 의하여 웨이퍼가 모두 소폭 카세트 방향으로 배출된 광폭 카세트(C1)는 상기 카세트 이송부에 의하여 버퍼부로 이동된 후, 배출측 카세트 이송부에 의하여 배출측 광폭카세트 적재부(110)로 이동되어 공정이 완료된 웨이퍼를 채워서 광폭 카세트 배출 컨베이어(150)로 이동되어 배출된다.
한편 상기 소폭 카세트 적재부(120)에 인접한 공간에는 상기 웨이퍼가 채워진 소폭 카세트(C2)를 공정 장치에 공급하고, 공정이 완료된 소폭 카세트(C2)를 다시 소폭 카세트 적재부(120)에 배출하는 소폭 카세트 이송부(160)가 더 구비될 수 있다. 따라서 상기 소폭 카세트 이송부(160)는 본 실시예에 따른 웨이퍼 간격 변경장치(100)와 공정 장치(도면에 미도시)를 연결하는 역할을 하는 것이다.
100 : 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 간격 변경장치
110 : 광폭카세트 적재부 120 : 소폭카세트 적재부
130 : 웨이퍼 이송부 140 : 광폭 카세트 공급 컨베이어
150 : 광폭 카세트 배출 컨베이어
W : 웨이퍼 C1 : 광폭 카세트
C2 : 소폭 카세트

Claims (8)

  1. 상하 방향으로 다수장의 웨이퍼가 일정한 제1 피치로 이격되어 적층되는 광폭 카세트가 상하 방향으로 이동가능하게 설치되는 광폭카세트 적재부;
    상기 광폭 카세트 적재부에 일정 간격 이격되어 설치되며, 상하 방향으로 다수장의 웨이퍼가 일정한 제2 피치로 이격되어 적층되는 소폭 카세트가 상하 방향으로 이동가능하게 설치되는 소폭카세트 적재부;
    상기 광폭카세트 적재부와 소폭카세트 적재부 사이에 설치되며, 상기 광폭 카세트에 적재되어 있는 웨이퍼를 상기 소폭 카세트로 순차적으로 이송하거나 상기 소폭 카세트에 적재되어 있는 웨이퍼들을 상기 광폭 카세트로 순차적으로 이송하는 웨이퍼 이송부;를 포함하며,
    상기 웨이퍼 이송부는,
    일단이 상기 광폭카세트 적재부에 적재된 광폭 카세트 하측에 위치하며, 타단은 상기 소폭 카세트 적재부에 적재된 소폭 카세트 하측 전방에 위치하고, 웨이퍼를 일측 방향으로 이송하는 이송 컨베이어;
    상기 이송 컨베이어에 설치되어 이송되는 웨이퍼의 초기 진입, 중앙 부분 통과 및 이송 말기를 감지하는 센서부;
    상기 센서부에 의하여 감지되는 정보에 의하여 상기 이송 컨베이어의 구동속도 및 정지를 제어하는 제어부;를 포함하는 웨이퍼 간격 변경장치.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서, 상기 센서부는,
    상기 이송 컨베이어의 전단에 설치되며, 카세트에서 배출되어 이송 컨베이어로 이송되기 시작되는 웨이퍼를 감지하여 진입신호를 상기 제어부에 전달하는 제1 센서;
    상기 이송 컨베이어의 중앙에 설치되며, 상기 이송 컨베이어에 의하여 이송되는 웨이퍼의 중앙 부분 이송을 감지하여 중앙 통과 신호를 상기 제어부에 전달하는 제2 센서;
    상기 이송 컨베이어의 말단에 설치되며, 이송되는 웨이퍼의 말단 통과를 감지하여 말단 통과 신호를 상기 제어부에 전달하는 제3 센서;를 포함하며,
    상기 제어부는,
    상기 제1 센서의 진입신호에 의하여 상기 이송 컨베이어를 구동을 시작하고 가속하며,
    상기 제2 센서의 중앙 통과 신호에 의하여 상기 이송 컨베이어의 구동 속도를 감속하며,
    상기 제3 센서의 말단 통과 신호에 의하여 상기 광폭카세트 및 소폭 카세트의 피치를 변경하도록 상기 광폭카세트 적재부 및 소폭카세트 적재부를 제어하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 간격 변경장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 광폭카세트 적재부는,
    상기 광폭카세트가 적재되어 고정되는 제1 고정 클램프;
    상기 제1 고정 클램프를 상하 방향으로 피치 별로 이동하는 제1 상하 이동부;
    상기 제1 고정 클램프 및 제1 상하 이동부를 상기 이송 컨베이어 방향으로 수평 이동시키는 수평 이동부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 간격 변경장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 소폭카세트 적재부는,
    상기 소폭카세트가 적재되어 고정되는 제2 고정 클램프;
    상기 제2 고정 클램프를 상하 방향으로 피치 별로 이동하는 제2 상하 이동부;
    상기 제2 고정 클램프에 고정된 상기 소폭 카세트의 후측면에 설치되며, 상기 소폭 카세트에 적재되어 있는 웨이퍼들을 상기 이송 컨베이어 방향으로 밀어주는 웨이퍼 전진부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 간격 변경장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 광폭카세트 적재부, 소폭카세트 적재부 및 웨이퍼 이송부가 나란하게 2세트가 설치되고,
    한 세트는 광폭카세트에서 소폭카세트로 웨이퍼를 옮겨 적재하고,
    또 다른 세트는 소폭카세트에서 광폭카세트로 웨이퍼를 옮겨 적재하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 간격 변경장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 광폭카세트 적재부에 인접하게 설치되며, 외부로부터 광폭카세트를 수취하는 광폭카세트 공급 컨베이어;
    상기 광폭카세트 공급 컨베이어에 인접하게 설치되며, 외부로 광폭카세트를 배출하는 광폭카세트 배출 컨베이어;
    상기 광폭카세트 공급 컨베이어 및 광폭카세트 배출 컨베이어와 상기 광폭카세트 적재부 사이에 설치되며, 상기 광폭카세트 공급 컨베이어 상의 광폭 카세트를 상기 광폭카세트 적재부에 이송하거나 상기 광폭카세트 적재부 상의 광폭 카세트를 상기 광폭카세트 배출 컨베이어로 이송하는 카세트 이송부;가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 간격 변경장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 광폭카세트 공급 컨베이어와 상기 광폭카세트 배출 컨베이어 사이에 설치되며, 상기 광폭카세트의 중간 계류 공간을 제공하는 버퍼(buffer)부가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 간격 변경장치.
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