KR102350865B1 - 기판처리시스템 및 그에 사용되는 기판교환모듈 - Google Patents

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Abstract

본 발명은, 기판처리시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 트레이 상에 다수의 기판들을 안착시킨 후 기판처리를 수행하는 기판처리시스템 및 그에 사용되는 기판교환모듈에 관한 것이다.
본 발명은 상기 Y축방향으로 간격을 두고 설치되는 한 쌍의 풀리부(810, 820)들과; 상기 한 쌍의 풀리부(810, 820)들과 결합되어 회전되며 기판(10)을 지지한 상태로 상기 Y축방향을 따라서 상기 트레이(20) 상의 기판(10) 적재위치에 대응되어 m개의 기판(10)을 위치시키는 하나 이상의 벨트(830)를 포함하며, 상기 기판로딩부(800) 및 상기 기판언로딩부(900) 중 적어도 하나에 대응되어 설치되며, 상기 Y축방향을 따라서 m개의 기판(10)들이 상기 복수의 구획돌기(831)들 사이에 각각 위치된 상태에서 상기 트레이(20) 상의 기판(10) 적재위치에 대응되어 위치될 수 있도록, 상기 벨트(830)의 회전위치의 감지를 위한 벨트회전위치감지부를 포함하는 특징으로 하는 기판처리시스템의 기판교환모듈을 개시한다.

Description

기판처리시스템 및 그에 사용되는 기판교환모듈 {Substrate processing system, and substrate exchanging module}
본 발명은, 기판처리시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 트레이 상에 다수의 기판들을 안착시킨 후 기판처리를 수행하는 기판처리시스템 및 그에 사용되는 기판교환모듈에 관한 것이다.
기판처리시스템은, 특허문헌 1 및 2와 같이, 밀폐된 처리공간에서 기판지지대에 안착된 기판의 표면을 증착, 식각하는 등 기판처리 공정을 수행하는 등 기판처리를 위한 기판처리모듈 등을 포함하는 시스템을 말한다.
기판처리시스템은, 특허문헌 2와 같이 처리대상인 기판의 종류, 기판처리의 종류 등에 따라서 다양한 구성이 가능하며, 기판을 로딩/언로딩하는 기판교환모듈과, 기판교환모듈로부터 기판을 전달받아 기판처리 등 소정의 공정을 수행하는 기판처리모듈과, 기판교환모듈과 기판처리모듈 사이에서 기판을 이송하는 이송로봇이 구비된 반송모듈 등을 포함하는 등 그 배치방식에 따라서 다양한 구성이 가능하다.
이때 기판처리의 대상인 기판은, 한 장씩 이송되는 경우가 일반적이지만 태양전지용 기판과 같이 소형 기판의 경우 공정효율을 고려하여 복수의 기판들이 트레이에 안착된 후 한 번에 이송될 수 있다.
또한 기판처리시스템은, 특허문헌 3과 같이 복수의 기판들이 로딩되는 트레이의 상측에 진공처리의 효율을 증대하기 위하여 다수개의 개구부가 형성된 커버부재를 복개한 후 진공처리를 수행할 수 있다.
상기 커버부재는, 공정가스 등을 분사하는 샤워헤드와는 달리 식각 등의 경우 식각에 의하여 발생하는 부유물들을 가두거나 플라즈마가 기판에 직접 타격하는 것을 방지하는 등 여러 가지 목적으로 사용될 수 있다.
한편 상기와 같은 기판처리시스템에 있어서, 기판의 로딩, 기판처리를 마친 기판의 언로딩까지 소요되는 시간으로 정의되는 TACT(Turn Around Cycle Time)는 기판처리시스템의 성능을 결정하는 중요한 요소 중 하나이다.
따라서, 기판처리시스템은, 트레이에서의 기판교환(로딩/언로딩)시 기판의 원활한 도입 및 배출을 위하여 다수의 기판들이 적재되는 카세트를 로딩위치 및 언로딩위치에 순차적으로 위치시켜 로딩위치 및 언로딩위치에 위치된 카세트 및 기판교환모듈 사이에서의 기판의 도입 및 배출을 수행하는 카세트이송모듈을 포함함이 일반적이다.
그리고 상기 카세트이송모듈에 위치된 카세트 및 트레이 사이에서의 기판교환은, 트레이를 중심으로 양측에 각각 설치되어 기판을 이송하는 벨트를 포함하는 기판로딩부 및 기판언로딩부에 의하여 수행된다.
이때 기판로딩부 및 기판언로딩부와 트레이 사이의 기판교환시 신속한 기판교환의 수행을 위하여 각 벨트 상에서 기판이 정확하게 위치될 필요가 있다.
(특허문헌 1) KR10-2013-0074145 A
(특허문헌 2) KR10-1624982 B
(특허문헌 3) KR10-2012-0047414 A
본 발명의 목적은 상기와 같은 문제점 및 필요성을 인식하여 기판교환모듈에서 기판로딩부 및 기판언로딩부와 트레이 사이의 기판교환시 신속한 기판교환의 수행을 위하여 각 벨트 상에서 기판이 정확하게 위치시킬 수 있는 기판처리시스템 및 그에 사용되는 기판교환모듈을 제공하는데 있다
본 발명은 상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여 창출된 것으로서, 본 발명은, 다수의 기판(10)들이 n×m의 기판배열(n, m은 2 이상의 자연수)로 직사각형 트레이(20)에 안착된 상태로 기판처리를 수행하는 하나 이상의 기판처리모듈과; 상기 기판처리모듈에서 기판처리된 다수의 기판(10)들을 트레이(20)로부터 언로딩하는 동시에 기판처리될 다수의 기판(10)들을 트레이(20)에 로딩하는 기판교환모듈(300)을 포함하는 기판처리시스템의 기판교환모듈로서, 상기 기판배열방향인 Y축방향으로 트레이(20)가 안착되는 트레이안착부(310)와; 상기 트레이안착부(310)의 일측에 설치되어, 로딩위치(P1)에 위치된 카세트(30)로부터 기판처리될 다수의 기판(10)들을 인출하여 기판처리될 m개의 기판(10)들이 상기 Y축방향을 따라서 위치되도록 하는 기판로딩부(800)와; 상기 트레이안착부(310)에 안착된 트레이(20)를 중심으로 상기 기판로딩부(800)에 대향되는 위치에 설치되어, 상기 트레이(20)로부터 전달받은 기판처리된 m개의 기판(10)들이 안착된 후 언로딩위치(P2)에 위치된 카세트(30)로 기판(10)을 적재하는 기판언로딩부(900)와; 상기 기판로딩부(800)로부터 상기 트레이(20)로 m개의 기판(10)들을 이송하는 제1기판이송툴(320)과; 상기 트레이(20)로부터 상기 기판언로딩부(900)로 m개의 기판(10)들을 이송하는 제2기판이송툴(330)을 포함하며; 상기 기판로딩부(800) 및 상기 기판언로딩부(900)는, 상기 Y축방향으로 간격을 두고 설치되는 한 쌍의 풀리부(810, 820)들과; 상기 한 쌍의 풀리부(810, 820)들과 결합되어 회전되며 기판(10)을 지지한 상태로 상기 Y축방향을 따라서 상기 트레이(20) 상의 기판(10) 적재위치에 대응되어 m개의 기판(10)을 위치시키는 하나 이상의 벨트(830)를 포함하며, 상기 기판로딩부(800) 및 상기 기판언로딩부(900) 중 적어도 하나에 대응되어 설치되며, 상기 기판로딩부(800) 및 상기 기판언로딩부(900) 중 적어도 하나에 대응되어 설치되며, 상기 Y축방향을 따라서 m개의 기판(10)들이 상기 벨트(830)에 상기 트레이(20) 상의 기판(10) 적재위치에 대응되어 위치될 수 있도록, 상기 벨트(830)의 회전위치의 감지를 위한 벨트회전위치감지부를 포함하는 특징으로 하는 기판처리시스템의 기판교환모듈을 개시한다.
상기 벨트회전위치감지부는, 상기 벨트(830) 부근에 미리 설정된 위치에 설치되는 하나 이상의 위치감지센서(850)와, 상기 위치감지센서(850)에 감지되어 상기 벨트(830)의 회전위치가 감지될 수 있도록 상기 벨트(830)에 돌출형성된 하나 이상의 기준돌기(832)를 포함할 수 있다.
상기 하나 이상의 벨트(830)는, 상기 Y축방향을 따라서 m개의 기판(10)이 순차적으로 위치되도록 m개의 기판(10)들에 대응되어 복수의 구획돌기(831)들이 상기 벨트(830)의 표면으로부터 돌출되어 형성되며, 상기 구획돌기(831)의 상기 Y축방향 단면은, 돌출되는 방향으로 가면서 폭이 감소하도록 형성될 수 있다.
상기 기준돌기(832)는, 상기 복수의 구획돌기(831)들 중 어느 하나와 함께 일체로 형성될 수 있다.
상기 기판로딩부(800)에 설치된 상기 벨트회전위치감지부는, 상기 로딩위치(P1)에 위치된 카세트(30)로부터 상기 벨트(830)의 표면으로 기판(10)의 안착이 시작되는 기판로딩위치, 및 상기 벨트(830)의 표면에 기판(10) 안착이 완료된 후 상기 제1기판이송툴(320)에 의하여 트레이(20)로 기판(10)들이 전달되는 제1기판전달위치 중 적어도 하나의 위치로 위치되도록 상기 벨트(830)의 회전을 제어하기 위하여 하나 이상의 상기 위치감지센서(850) 및 하나 이상의 상기 기준돌기(832)를 이용하여 상기 벨트(830)의 회전을 감지할 수 있다.
상기 기준돌기(832)는, 상기 벨트(830)에 m개의 기판(10)이 안착된 상태를 기준으로 상기 벨트(830)의 상측부분 및 하측부분에 상하구분선을 기준으로 점대칭 또는 선대칭으로 하나 이상의 쌍을 이루어 형성되며, 상기 위치감지센서(850)는, 상기 벨트(830)가 상기 기판로딩위치의 회전상태에 있을 때 해당 기준돌기(832)의 위치를 감지하고, 상기 벨트(830)가 상기 제1기판전달위치의 회전상태에 있을 때 해당 기준돌기(832)의 위치를 감지하도록 하나 이상으로 설치될 수 있다.
상기 기판언로딩부(900)에 설치된 상기 벨트회전위치감지부는, 상기 트레이(20)로부터 상기 제2기판이송툴(330)에 의하여 상기 벨트(830)의 표면에 기판(10) 안착되는 제2기판전달위치, 및 상기 벨트(830)의 표면에 안착된 후 상기 언로딩위치(P2)에 위치된 카세트(30)로 기판(10)들의 전달이 시작되는 기판언로딩위치 중 적어도 어느 하나의 위치로 위치되도록 상기 벨트(830)의 회전을 제어하기 위하여 하나 이상의 상기 위치감지센서(850) 및 하나 이상의 상기 기준돌기(832)를 이용하여 상기 벨트(830)의 회전을 감지할 수 있다.
상기 기준돌기(832)는, 상기 벨트(830)에 m개의 기판(10)이 안착된 상태를 기준으로 상기 벨트(830)의 상측부분 및 하측부분에 상하구분선을 기준으로 점대칭 또는 선대칭으로 하나 이상의 쌍을 이루어 형성되며, 상기 위치감지센서(850)는, 상기 벨트(830)가 상기 기판언로딩위치의 회전상태에 있을 때 해당 기준돌기(832)의 위치를 감지하고, 상기 벨트(830)가 상기 제2기판전달위치의 회전상태에 있을 때 해당 기준돌기(832)의 위치를 감지하도록 하나 이상으로 설치될 수 있다.
상기 기판로딩부(800) 및 상기 기판언로딩부(900) 중 적어도 하나는, 상기 한 쌍의 풀리부(810, 420)의 상기 Y축방향의 간격을 조절하여 상기 벨트(830)의 텐션을 조절하는 텐션조절부를 포함할 수 있다.
상기 기판교환모듈(300)은, 상기 카세트(30)에 대하여 상기 다수의 기판(10)들을 도입 또는 배출하는 기판보조이송부(840)가 설치될 수 있다.
상기 기판로딩부(800) 및 상기 기판언로딩부(900) 중 적어도 하나는, 상기 한 쌍의 풀리부(810, 820)들 사이에서 상기 벨트(830)의 상측부분의 저면 쪽을 지지하는 하나 이상의 가이드블록을 추가로 포함할 수 있다.
본 발명은 또한 다수의 기판(10)들이 n×m의 기판배열(n, m은 2 이상의 자연수)로 직사각형 트레이(20)에 안착된 상태로 기판처리를 수행하는 하나 이상의 기판처리모듈과; 상기 기판처리모듈에서 기판처리된 다수의 기판(10)들을 트레이(20)로부터 언로딩하는 동시에 기판처리될 다수의 기판(10)들을 트레이(20)에 로딩하는 기판교환모듈(300)을 포함하며, 상기 기판교환모듈(300)은, 상기와 같은 구성을 가지는 기판교환모듈인 것을 특징으로 하는 기판처리시스템을 개시한다.
본 발명에 따른 기판처리시스템 및 그에 사용되는 기판교환모듈은, 벨트의 위치를 식별하는 하나 이상의 기준돌기가 형성되어 m개의 기판이 안착되기 위한 벨트의 정위치를 감지하도록 하여 공정효율을 극대화 하는 이점이 있다.
또한 본 발명에 따른 기판처리시스템 및 그에 사용되는 기판교환모듈은, 트레이 상에 기판처리될 기판을 전달하는 기판로딩부와, 트레이로부터 기판처리가 완료된 기판을 인출하는 기판언로딩부의 구성에 있어서, 기판의 이송을 위한 하나 이상의 벨트가 Y축방향, 즉 길이방향을 따라서 m개의 기판이 순차적으로 위치되도록 m개의 기판들에 대응되어 복수의 구획돌기들이 벨트의 표면으로부터 돌출되어 형성됨으로써, 기판교환모듈에서 기판로딩부 및 기판언로딩부와 트레이 사이의 기판교환시 신속한 기판교환의 수행을 위하여 각 벨트 상에서 기판이 정확하게 위치시킬 수 있는 이점이 있다.
한편, 복수의 구획돌기들은, 기판의 가격에 의하여 Y축방향으로 홈(Y축 방향의 홈)이 생기게 되며, 그 홈이 깊어지는 경우 기판의 가장자리 일부가 삽입되는 경우도 있어 기판로딩부에서 제1기판이송툴에 의하여 기판을 들어 올릴 때 기판이 걸려 심하게는 기판이 파손되는 문제점이 있을 수 있다.
이에 본 발명에 따른 기판처리시스템 및 그에 사용되는 기판교환모듈은, 구획돌기의 Y축방향 단면이 돌출되는 방향으로 가면서 폭이 감소하도록 형성됨으로써, 복수의 구획돌기에 홈의 형성에도 불구하고 제1기판이송툴에 의하여 기판을 들어 올릴 때 기판이 홈에 걸리는 것을 방지할 수 있어 기판의 안정적인 픽업이 가능하다.
또한 본 발명에 따른 기판처리시스템 및 그에 사용되는 기판교환모듈은, 구획돌기의 기판배열 행방향 단면이 돌출방향으로 가면서 폭이 감소하도록 형성되어 벨트에 공급된 기판의 위치정밀도를 상승시키는 이점이 있다.
한편 본 발명에 따른 기판처리시스템 및 그에 사용되는 기판교환모듈은, Y축방향을 따라서 복수의 구획돌기들이 돌출되어 다수의 기판들이 일정한 간격으로 위치되도록 함으로써 기판의 슬립현상을 최소화할 수 있는 이점이 있다.
뿐만아니라 본 발명에 따른 기판처리시스템 및 그에 사용되는 기판교환모듈은, 구획돌기의 단면이 돌출방향으로 가면서 폭이 감소하도록 형성되어 지속적인 기판의 공급에 의하여 구획돌기가 손상될 경우에도 기판의 파손을 최소화할 수 있는 이점이 있다.
뿐만아니라 본 발명에 따른 기판처리시스템 및 그에 사용되는 기판교환모듈은, 기판이송툴에 의하여 가압되는 벨트의 하측에 가이드블록을 설치하여 벨트의 눌림현상을 최소화 하여 공정정밀도를 극대화하는 이점이 있다.
뿐만아니라 본 발명에 따른 기판처리시스템 및 그에 사용되는 기판교환모듈은, 벨트의 구동풀리 및 종동풀리 중 적어도 하나가 Y축방향으로 이동 가능하도록 설치하여 벨트의 텐션을 일정하게 유지시킬 수 있다.
도 1은, 본 발명에 따른 기판처리시스템 중 기판교환모듈 및 카세트이송모듈을 보여주는 평면도이다.
도 2a는, 본 발명에 따른 기판처리시스템에서 다수의 기판이 적재되는 카세트로부터 기판을 인출하는 기판보조이송부의 작동을 보여주는 측면도이다.
도 2b는, 도 2a에서 카세트에 적재되는 다수의 기판들이 모두 인출되어 상기 기판보조이송부가 벨트 방향으로 복귀되는 것을 보여주는 측면도이다.
도 3은, 도 1의 기판처리시스템 중 기판로딩부 및 기판언로딩부의 구성을 보여주는 평면도이다.
도 4는, 도 3에 도시된 기판로딩부 및 기판언로딩부의 벨트에 형성된 구획돌기 및 기준돌기를 보여주는 확대 측면도이다.
도 5는, 도 4의 변형례로서 구획돌기 및 기준돌기가 일체로 형성된 변형례를 보여주는 확대 측면도이다.
도 6a 및 도 6b은, 도 1의 기판처리시스템 중 기판로딩부 및 기판언로딩부에서 위치감지수단에 의하여 벨트의 회전위치를 감지하는 과정을 보여주는 측면도들이다.
도 7a 및 도 7b는, 도 6a 및 도 6b의 변형례로서, 하나의 기준돌기가 형성된 벨트의 회전위치를 2개 이상의 위치감지센서에 의하여 벨트의 회전위치를 감지하는 과정을 보여주는 측면도들이다.
이하 본 발명에 따른 기판처리시스템 및 그에 사용되는 기판교환모듈에 관하여 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.
본 발명에 따른 기판처리시스템은, 다수의 기판(10)들이 직사각형 트레이(20)에 안착된 상태로 기판처리를 수행하는 하나 이상의 기판처리모듈(미도시)과; 기판처리모듈에서 기판처리된 다수의 기판(10)들을 트레이(20)로부터 언로딩하는 동시에 기판처리될 다수의 기판(10)들을 트레이(20)에 로딩하는 기판교환모듈(300)을 포함한다.
여기서 본 발명에 따른 기판처리시스템의 기판처리대상인 기판은, 트레이(20)에 다수개로 안착된 상태로 기판처리모듈에 의하여 식각, 증착 등의 기판처리를 요하는 기판으로서, 태양전지용 기판, OLED용 기판, LCD용 기판 등 식각, 증착 등의 기판처리를 요하는 기판이면 어떠한 대상도 가능하다.
한편 상기 다수의 기판(10)들이 안착되는 트레이(20)는, 다수의 기판(10)들이 안착된 상태로 기판교환모듈(300), 기판처리모듈 등으로 이송되는 구성으로 다양한 구성이 가능하다.
예로서, 상기 트레이(20)는, 특허문헌 1 내지 3 이외에, 한국 공개특허공보 제1020130141740호, 한국 공개특허공보 제1020120122783호 등에 개시된 트레이 등이 사용될 수 있다.
한편 상기 트레이(20)는, 다수의 기판(10)들이 안착됨에 있어서, n×m의 기판배열(n, m은 2 이상의 자연수)로 배치되어 안착될 수 있다.
즉, 상기 트레이(20)는, X-Y 평면 상에 평면 형상이 직사각형 형상을 가지며, X축방향 및 Y축방향으로 다수의 기판(10)들이 행렬을 이루어 배치될 수 있다.
상기 기판처리모듈은, 다수의 기판(10)들이 직사각형 트레이(20)에 안착된 상태로 기판처리를 수행하는 구성으로서, 식각, 증착 등 기판처리의 종류, 기판처리방식에 따라서 다양한 구성이 가능하다.
예로서, 상기 기판처리모듈은, 특허문헌 1 내지 3 이외에, 한국 공개특허공보 제1020130141740호, 한국 공개특허공보 제1020120122783호 등에 개시된 공정모듈, 기판처리모듈 등이 될 수 있다.
한편 상기 기판처리모듈은, 하나 이상으로 설치될 수 있으며 기판교환모듈(300)과 함께 기판처리시스템을 구성할 수 있으며, 기판처리시스템은, 기판교환모듈(300) 및 기판처리모듈이 순차적으로 배치된 인라인 타입, 반송로봇(미도시)이 설치된 반송모듈을 중심으로 복수의 기판처리모듈들 및 기판교환모듈(300)이 결합된 클러스터 타입 등 다양한 배치 구조를 가질 수 있다.
상기 기판교환모듈(300)은, 도 1에 도시된 바와 같이, 기판처리모듈에서 기판처리된 다수의 기판(10)들을 트레이(20)로부터 언로딩하는 동시에 기판처리될 다수의 기판(10)들을 트레이(20)에 로딩하는 구성으로서, 기판처리모듈과의 결합방식, 기판교환방식에 따라서 다양한 구성이 가능하다.
예로서, 상기 기판교환모듈(300)은, 도 1에 도시된 바와 같이, 트레이(20) 상의 기판배열방향인 Y축방향으로 트레이(20)가 안착되는 트레이안착부(310)와; 트레이안착부(310)의 일측에 설치되어, 로딩위치(P1)에 위치된 카세트(30)로부터 기판처리될 다수의 기판(10)들을 인출하여 기판처리될 m개의 기판(10)들이 Y축방향을 따라서 위치되도록 하는 기판로딩부(800)와; 트레이안착부(310)에 안착된 트레이(20)를 중심으로 기판로딩부(800)에 대향되는 위치에 설치되어, 트레이(20)로부터 전달받은 기판처리된 m개의 기판(10)들이 안착된 후 언로딩위치(P2)에 위치된 카세트(30)로 기판(10)을 적재하는 기판언로딩부(900)와; 상기 기판로딩부(800)로부터 상기 트레이(20)로 m개의 기판(10)들을 이송하는 제1기판이송툴(320)과; 상기 트레이(20)로부터 상기 기판언로딩부(900)로 m개의 기판(10)들을 이송하는 제2기판이송툴(330)을 포함할 수 있다.
상기 트레이안착부(310)는, 트레이(20) 상의 기판배열방향인 Y축방향으로 트레이(20)가 안착되는 구성으로서 트레이(20)의 안착방식, 교환방식에 따라서 다양한 구성이 가능하다.
상기 기판로딩부(800)는, 트레이안착부(310)의 일측에 설치되어, 로딩위치(P1)에 위치된 카세트(30)로부터 기판처리될 다수의 기판(10)들을 인출하여 기판처리될 m개의 기판(10)들이 Y축방향을 따라서 위치되도록 하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.
예로서, 상기 기판로딩부(800)는, 도 2a 내지 도 7b에 도시된 바와 같이, Y축방향으로 간격을 두고 설치되는 한 쌍의 풀리부(810, 820)들과; 한 쌍의 풀리부(810, 820)들과 결합되어 회전되며 기판(10)을 지지한 상태로 Y축방향을 따라서 트레이(20) 상의 기판(10) 적재위치에 대응되어 m개의 기판(10)을 위치시키는 하나 이상의 벨트(830)를 포함할 수 있다.
상기 한 쌍의 풀리부(810, 820)들은, Y축방향으로 간격을 두고 설치되어 후술하는 벨트(830)를 회전구동하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.
상기 한 쌍의 풀리부(810, 820)들은, 회전모터의 회전구동에 의하여 회전되어 후술하는 벨트(830)를 회전구동하기 위한 구성으로서 벨트(830)와의 결합방식에 따라서 타이밍 풀리(구동풀리, 종동풀리 등) 등 다양한 구성이 가능하다.
여기서 상기 한 쌍의 풀리부(810, 820)들은, 어느 하나에 회전모터가 결합되어 회전구동되거나, 모두에 회전모터가 결합되어 회전구동되는 등 다양한 구성이 가능하다.
상기 하나 이상의 벨트(830)는, 한 쌍의 풀리부(810, 820)들과 결합되어 회전되며 기판(10)을 지지한 상태로 Y축방향을 따라서 트레이(20) 상의 기판(10) 적재위치에 대응되어 m개의 기판(10)을 위치시키는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.
상기 벨트(830)는, 하나로 설치되거나, 도 3에 도시된 바와 같이, 서로 평행하게 2개로 설치되는 등 다양한 구성이 가능하다.
한편 상기 하나 이상의 벨트(830)는, Y축방향을 따라서 m개의 기판(10)이 순차적으로 위치되도록 m개의 기판(10)들에 대응되어 복수의 구획돌기(831)들이 벨트(830)의 표면으로부터 돌출되어 형성됨이 바람직하다.
상기 복수의 구획돌기(831)들은, Y축방향을 따라서 m개의 기판(10)이 순차적으로 위치되도록 m개의 기판(10)들에 대응되어 벨트(830)의 표면에서 돌출 형성되는 구성으로서 각 기판(10)에 대응되어 구간을 구획할 수 있는 구조이면 어떠한 구조도 가능하다.
그리고 상기 복수의 구획돌기(831)들은, 벨트(830)와 일체로 형성되거나, 접착물질에 의하여 벨트(830)의 표면에 부착되는 등 다양한 방식에 의하여 벨트(830)의 표면에 형성될 수 있다.
한편 상기 복수의 구획돌기(831)들은, 벨트(830)의 표면에 m개의 기판(10)이 안착될 수 있도록 기판(10)의 Y축방향 길이보다 같거나 큰 간격을 이루어 m+1개 이상으로 형성될 수 있다.
특히, 상기 기판(10)들은 벨트(830) 중 상측부분에 안착되며, 벨트(830)가 무한궤도를 이룸을 고려하여, 복수의 구획돌기(831)들은, m개의 기판(10)이 안착된 상태를 기준으로 벨트(830)의 상측부분에 기판(10)의 Y축방향 길이보다 같거나 큰 간격을 이루어 m+1개 이상, 하측부분에 기판(10)의 Y축방향 길이보다 같거나 큰 간격을 이루어 m+1개 이상이 형성될 수 있다.
여기서 후술하는 기준돌기(832)는, m개의 기판(10)이 안착된 상태 및 벨트(830)의 회전방향을 기준으로 가장 맨 첫번째 구획돌기(831)의 전방 또는 첫번째 구획돌기(831)와 일체로 형성됨이 바람직하다.
한편 상기 복수의 구획돌기(831)은, 도 2a 및 도 2b, 도 6a 내지 도 7b에 도시된 바와 같이, 카세트(30)로부터 인출된 기판(10)의 이동관성에 의하여 지속적으로 가격된다.
이에 상기 복수의 구획돌기(831)은, 기판(10)의 가격에 의하여 Y축방향으로 홈(미도시, 도 4 및 도 5에서 Y축 방향의 홈)이 생기게 되며, 그 홈이 깊어지는 경우 기판(10)의 가장자리 일부가 삽입되는 경우도 있어 후술하는 제1기판이송툴(320)에 의하여 기판(10)을 들어 올릴 때 기판(10)이 걸려 심하게는 기판(10)이 파손되는 문제점이 있다.
이에 상기 복수의 구획돌기(831)은, 홈의 형성에도 불구하고 제1기판이송툴(320)에 의하여 기판(10)을 들어 올릴 때 기판(10)이 홈에 걸리는 것을 방지할 수 있도록, Y축방향 단면이 돌출되는 방향(Z축 방향)으로 가면서 폭이 감소하도록 형성됨이 바람직하다.
그 구체적인 형태로서, 상기 복수의 구획돌기(831)의 Y축방향 단면은, 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 사다리꼴, 삼각형 등 다양한 형상을 가질 수 있다.
이때 상기 복수의 구획돌기(831)의 Y축방향 단면은, 측면이 직선이외에 곡선 등으로 형성될 수도 있다.
한편 Y축방향을 따라서 m개의 기판(10)들이 벨트(830)에 트레이(20) 상의 기판(10) 적재위치에 대응되어 위치될 수 있도록, 벨트(830)의 회전위치의 감지를 위한 벨트회전위치감지부가 기판로딩부(800) 및 기판언로딩부(900) 중 적어도 하나에 대응되어 설치됨이 바람직하다.
상기 벨트회전위치감지부는, 기판로딩부(800) 및 기판언로딩부(900) 중 적어도 하나에 대응되어 설치되어, Y축방향을 따라서 m개의 기판(10)들이 벨트(830)에 트레이(20) 상의 기판(10) 적재위치에 대응되어 위치될 수 있도록, 벨트(830)의 회전위치의 감지를 위한 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.
예로서, 상기 기판로딩부(800)에 설치된 벨트회전위치감지부는, 로딩위치(P1)에 위치된 카세트(30)로부터 벨트(830)의 표면으로 기판(10)의 안착이 시작되는 기판로딩위치, 및 벨트(830)의 표면에 기판(10) 안착이 완료된 후 제1기판이송툴(320)에 의하여 트레이(20)로 기판(10)들이 전달되는 제1기판전달위치 중 적어도 하나의 위치로 위치되도록 벨트(830)의 회전을 제어하기 위하여 하나 이상의 위치감지센서(850) 및 하나 이상의 기준돌기(832)를 이용하여 벨트(830)의 회전을 감지하도록 구성될 수 있다.
이를 위하여, 상기 벨트회전위치감지부는, 벨트(830) 부근에 미리 설정된 위치에 설치되는 위치감지센서(850)와, 위치감지센서(850)에 감지되어 벨트(830)의 회전위치의 감지할 수 있도록 벨트(830)에 돌출형성된 하나 이상의 기준돌기(832)를 포함할 수 있다.
상기 위치감지센서(850)는, 벨트(830) 부근에 미리 설정된 위치에 설치되는 구성으로서 기준돌기(832)를 감지할 수 있는 센서이면 어떠한 구성도 가능하다.
예로서, 상기 위치감지센서(850)는, 초음파에 의하여 기준돌기(832)의 유무를 감지하는 초음파센서를 포함할 수 있다.
또한 상기 위치감지센서(850)는, 기준돌기(832)를 중심으로 일측에 광을 조사하는 발광부와 발광부에 대향되는 위치에 설치되어 발광부에 의하여 조사되는 광을 수광하는 수광부를 포함할 수 있다.
상기 위치감지센서(850)는, 기준돌기(832)의 위치를 감지하여 벨트(830)의 회전위치를 감지하기 위한 구성으로서 다양한 구성 및 배치가 가능하다.
상기 하나 이상의 기준돌기(832)는, 위치감지센서(850)에 감지되어 벨트(830)의 회전위치의 감지할 수 있도록 벨트(830)에 돌출형성되는 등 벨트(830)의 회전위치의 감지할 수 있는 구조이면 어떠한 구조도 가능하다.
예로서, 상기 하나 이상의 기준돌기(832)는, 앞서 설명한 위치감지센서(850)에 감지되도록 벨트(830)로부터 돌출되어 형성될 수 있다.
여기서 상기 기준돌기(832)는, 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 앞서 설명한 구획돌기(831)들에 의한 간섭을 배제하기 위하여 구획돌기(831)들보다 더 높게 형성됨이 바람직하다.
또한 상기 기준돌기(832)는, 도 5에 도시된 바와 같이, 복수의 구획돌기(831)들 중 어느 하나와 함께 일체로 형성될 수 있다.
또한 상기 기준돌기(832)는, 상기 벨트(830)에 m개의 기판(10)이 안착된 상태를 기준으로 벨트(830)의 상측부분 및 하측부분 중 적어도 하나에 형성될 수 있다.
한편 상기 기준돌기(832) 및 위치감지센서(850)로 구성되는 벨트회전위치감지부는, 기준돌기(832) 및 위치감지센서(850)의 설치 숫자, 설치 위치 등 그 배치에 따라서 다양한 구성이 가능하다.
예를 들면, 상기 기준돌기(832)는, 벨트(830)에 m개의 기판(10)이 안착된 상태를 기준으로 벨트(830)의 상측부분 및 하측부분에 상하구분선을 기준으로 점대칭 또는 선대칭으로 하나 이상의 쌍을 이루어 형성될 수 있다.
그리고, 상기 위치감지센서(850)는, 벨트(830)가 기판로딩위치의 회전상태에 있을 때 해당 기준돌기(832)의 위치를 감지하고, 벨트(830)가 제1기판전달위치의 회전상태에 있을 때 해당 기준돌기(832)의 위치를 감지하도록 하나 이상으로 설치될 수 있다.
예로서, 상기 기준돌기(832)는, 도 6a 및 도 6b에 도시된 바와 같이, 벨트(830)에 m개의 기판(10)이 안착된 상태를 기준으로 벨트(830)의 상측부분 및 하측부분 모두에서, 벨트(830)가 기판로딩위치의 회전상태에 있을 때 대응되는 제1기준위치, 및 벨트(830)가 제1기판전달위치의 회전상태에 있을 때 대응되는 제2기준위치 모두에 형성될 수 있다.
이때 상기 위치감지센서(850)는, 벨트(830)의 상측부분 및 하측부분에서 제1기준위치, 및 제2기준위치 중 적어도 어느 하나에 대응되어 설치될 수 있다.
다른 예로서, 상기 기준돌기(832)는, 도 7a 및 도 7b에 도시된 바와 같이, 벨트(830)에 m개의 기판(10)이 안착된 상태를 기준으로 벨트(830)의 상측부분 및 하측부분 중 어느 하나에서, 벨트(830)가 기판로딩위치의 회전상태에 있을 때 대응되는 제1기준위치, 및 벨트(830)가 제1기판전달위치의 회전상태에 있을 때 대응되는 제2기준위치 중 어느 하나의 위치에 형성될 수 있다.
이때, 상기 위치감지센서(850)는, 벨트(830)의 상측부분 및 하측부분에서 제1기준위치, 및 제2기준위치 중 어느 하나에 한 쌍으로 설치될 수 있다.
상기와 같은 구성을 가지는 벨트회전위치감지부가 설치된 벨트(830) 상에 기판(10)이 안착되는 과정을 설명하면 다음과 같다.
먼저 상기 회전 중인 벨트(830)에 대하여 위치감지센서(850) 및 기준돌기(832)에 의하여 구성되는 벨트회전위치감지부에 의하여 m개의 기판(10) 중 첫번째 기판(10)이 안착될 수 있는 위치(제1기준위치)에 도달하였음을 감지하게 된다.
상기 벨트회전위치감지부에 의하여 회전 중인 벨트(830)가 m개의 기판(10) 중 첫번째 기판(10)이 안착될 수 있는 위치(제1기준위치)에 도달하였음이 감지되면, 벨트(830)의 회전과 함께 후술하는 기판보조이송부(840)에 의하여 카세트(30)로부터 m개의 기판(10)들이 순차적으로 인출되어 구획돌기(831)들 사이에 각 기판(10)이 안착된다.
여기서 상기 m개의 기판(10)들이 순차적으로 인출되어 구획돌기(831)들 사이에 각 기판(10)이 안착되는 것은, 벨트(830)의 회전속도, 별도의 센서 등을 통하여 감지할 수 있다.
한편 상기 카세트(30)로부터 m개의 기판(10)들이 순차적으로 벨트(830)의 상면에 안착이 완료되면, 후술하는 제1기판이송툴(320)에 의하여 픽업되어 트레이(20) 상에 안착된다.
여기서 상기 제1기판이송툴(320)에 의하여 안정적으로 픽업될 수 있도록, 앞서 설명한 벨트회전위치감지부에 의하여 벨트(830)가 제2기준위치에 있는지 여부를 확인할 수 있다.
만약 상기 벨트(830)가 제2기준위치에 있지 않는 경우 앞서 설명한 벨트회전위치감지부를 이용하여 벨트(830)가 제2기준위치에 있도록 벨트(830)의 회전위치를 정력하게 된다.
또한 상기 벨트(830)가 제2기준위치에 있는지 여부는, 제1기준위치로부터 벨트(830)의 회전량을 계산하여 벨트(830)가 제2기준위치에 도달하였음을 감지하여 확인할 수도 있다.
한편 상기 기판언로딩부(900)에 설치된 벨트회전위치감지부는, 기판로딩부(800)에 설치된 벨트회전위치감지부와 그 구성이 동일하거나 유사하다.
단, 상기 기판로딩부(800)의 경우 카세트(30)→벨트(830)→트레이(20) 순으로 이송되나, 기판언로딩부(900)의 경우 그 반대인 트레이(20)→벨트(830)→카세트(30) 순으로 이송된다는 점에서 기판의 이송흐름에서 차이가 있다.
구체적으로, 상기 기판언로딩부(900)에 설치된 벨트회전위치감지부는, 트레이(20)로부터 제2기판이송툴(330)에 의하여 벨트(830)의 표면에 기판(10) 안착되는 제2기판전달위치, 및 벨트(830)의 표면에 안착된 후 언로딩위치(P2)에 위치된 카세트(30)로 기판(10)들의 전달이 시작되는 기판언로딩위치 중 적어도 어느 하나의 위치로 위치되도록 벨트(830)의 회전을 제어하기 위하여 하나 이상의 위치감지센서(850) 및 하나 이상의 기준돌기(832)를 이용하여 벨트(830)의 회전을 감지할 수 있다.
예로서, 상기 기준돌기(832)는, 벨트(830)에 m개의 기판(10)이 안착된 상태를 기준으로 상기 벨트(830)의 상측부분 및 하측부분에 상하구분선을 기준으로 점대칭 또는 선대칭으로 하나 이상의 쌍을 이루어 형성될 수 있다.
그리고 상기 위치감지센서(850)는, 벨트(830)가 기판언로딩위치의 회전상태에 있을 때 해당 기준돌기(832)의 위치를 감지하고, 벨트(830)가 제2기판전달위치의 회전상태에 있을 때 해당 기준돌기(832)의 위치를 감지하도록 하나 이상으로 설치될 수 있다.
한편 상기 기판언로딩부(900)에 설치된 벨트회전위치감지부의 구체적 구성은, 기판의 이송흐름을 제외한 나머지 구성은, 기판로딩부(800)에 설치된 벨트회전위치감지부의 구성과 동일하거나 유사하게 구성될 수 있다.
한편 상기 기판(10)을 지지하는 벨트(830)의 텐션이 저하되는 경우 처짐이 발생되어 기판(10)의 픽업위치가 변화되거나, 제1기판이송툴(320)에 의하여 기판(10)의 픽업이 원활하지 못하는 문제점이 발생될 수 있다.
이에 상기 벨트(830)의 처짐을 방지하기 위하여 한 쌍의 풀리부(810, 820)들 사이에서 벨트(830) 중 상측에 위치된 벨트(830)의 저면 쪽을 지지하는 하나 이상의 가이드부재(미도시)가 설치될 수 있다.
상기 가이드부재는, 한 쌍의 풀리부(810, 820)들 사이에서 벨트(830) 중 상측에 위치된 벨트(830)의 저면 쪽을 지지하는 구성이면 어떠한 구성도 가능하며, 벨트(830) 중 상측에 위치된 부분과 평행하게 형성된 가이드홈이 형성된 가이드블록으로 구성될 수 있다.
또한 상기 벨트(830)의 처짐을 방지하기 위한 별도의 구성으로서, 한 쌍의 풀리부(810, 820)들의 Y축방향의 간격을 조절하여 벨트(830)의 텐션을 조절하는 텐션조절부가 추가로 설치될 수 있다.
상기 텐션조절부는, 한 쌍의 풀리부(810, 820)들의 Y축방향의 간격을 조절하여 벨트(830)의 텐션을 조절하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.
일 예로서, 상기 텐션조절부는, 한 쌍의 풀리부(810, 820)들 중 어느 하나를 Y축방향으로 선형이동시키도록 구성될 수 있다.
상기 기판언로딩부(900)는, 트레이안착부(310)에 안착된 트레이(20)를 중심으로 기판로딩부(800)에 대향되는 위치에 설치되어, 트레이(20)로부터 전달받은 기판처리된 m개의 기판(10)들이 안착된 후 언로딩위치(P2)에 위치된 카세트(30)로 기판(10)을 적재하는 구성으로서, 기판로딩부(800)과 동일하거나 유사한 구성을 가지는 등 다양한 구성이 가능하다.
예로서, 상기 기판언로딩부(900)는, 도 2a 내지 도 7b에 도시된 기판로딩부(800)의 구성과 실질적으로 동일하거나 유사한바 자세한 설명은 생략한다.
다만, 상기 기판언로딩부(900)는, 카세트(30)로부터 기판(10)을 인출하는 기판로딩부(800)과는 달리, 제2기판이송툴(330)에 의하여 기판(10)을 전달받고, 트레이(20)로부터 기판(10)을 카세트(30)에 적재하는바 벨트(830)의 회전방향이 다른 것에 기본적인 차이가 있다.
상기 제1기판이송툴(320)은, 기판로딩부(800)로부터 트레이(20)로 m개의 기판(10)들을 이송하는 구성으로서, 진공압에 의하여 기판(10)을 흡착하여 픽업하여 트레이(20)로 이동하여 플레이스하는 등 다양한 구성이 가능하다.
상기 제2기판이송툴(330)은, 트레이(20)로부터 기판언로딩부(900)로 m개의 기판(10)들을 이송하는 구성으로서, 진공압에 의하여 기판(10)을 흡착하여 픽업하여 트레이(20)로부터 기판언로딩부(900)의 벨트로 이동하여 플레이스하는 등 다양한 구성이 가능하다.
한편 상기 기판교환모듈(300)은, 카세트(30)에 대하여 다수의 기판(10)들을 도입 또는 배출하는 기판보조이송부(840)가 설치될 수 있다.
상기 기판로딩부(800)에 설치된 예로서, 기판보조이송부(840)는, 카세트(30)로부터 인출하여 기판로딩부(800)의 벨트(830)에 안착시키기 위한 구성으로서 카세트(30)에서의 기판인출방식에 따라 다양한 구성이 가능하다.
보다 구체적으로 상기 기판보조이송부(840)는, 카세트(30)에 대하여 전진 및 후퇴하도록 설치되며, 카세트(30)로부터 기판인출시 카세트(30) 쪽으로 전진하여 기판(10)의 저면을 지지하여 회전에 의하여 기판(10)을 인출하는 인출벨트와, 인출벨트를 회전시키는 하나 이상의 구동풀리 및 종동풀리로 구성될 수 있다.
여기서 상기 카세트(30)는, 기판보조이송부(840)에 의하여 기판(10)의 순차적 인출을 위하여 카세트핸들링부(500)에 의하여 고정된 상태에서 상하로 이동된다.
상기 기판언로딩부(900)에 설치된 예로서, 기판보조이송부(840)는, 기판언로딩부(900)의 벨트에 안착된 기판(10)을 카세트(30)로 도입하여 카세트(30)에 적재하기 위한 구성으로서 카세트(30)로의 기판적재방식에 따라 다양한 구성이 가능하다.
보다 구체적으로, 상기 기판보조이송부(840)는, 카세트(30)에 대하여 전진 및 후퇴하도록 설치되며, 카세트(30)로의 기판적재시 카세트(30) 쪽으로 전진하여 기판(10)의 저면을 지지하여 회전에 의하여 기판(10)을 인출하는 인출벨트와, 인출벨트를 회전시키는 하나 이상의 구동풀리 및 종동풀리로 구성될 수 있다.
여기서 상기 카세트(30)는, 기판보조이송부(840)에 의하여 기판(10)의 순차적 적재를 위하여 카세트핸들링부(600)에 의하여 고정된 상태에서 상하로 이동된다.
한편 본 발명에 따른 기판처리장치는, 기판교환모듈(300)에 대하여 로딩위치(P1)에서의 카세트(30)의 로딩 및 언로딩, 언로딩위치(P2)에서의 카세트(30)의 로딩 및 언로딩을 위한 카세트이송모듈(400)을 추가로 포함할 수 있다.
여기서 상기 로딩위치(P1)은, 카세트(30)로부터 기판처리될 기판(10)들이 순차적으로 기판로딩부(800)의 벨트(830)로 전달되도록 카세트(30)가 위치되는 설정된 위치로서, 후술하는 카세트핸들링부(500)가 설치된다.
그리고 상기 언로딩위치(P2)는, 기판언로딩부(900)의 벨트로부터 기판처리된 기판(10)들이 카세트(30)로 순차적으로 적층되어 적재되도록 카세트(30)가 위치되는 설정된 위치로서, 후술하는 카세트핸들링부(600)가 설치된다.
상기 카세트이송모듈(400)은, 기판교환모듈(300)에 대하여 로딩위치(P1)에서의 카세트(30)의 로딩 및 언로딩, 언로딩위치(P2)에서의 카세트(30)의 로딩 및 언로딩을 위한 구성으로서 카세트(30)의 로딩 및 언로딩방식에 따라서 다양한 구성이 가능하다.
상기 카세트이송모듈(400)은, 로딩위치(P1) 및 언로딩위치(P2)에서의 개별적인 카세트(30) 로딩 및 언로딩을 하도록 구성되는 예로서, 기판교환모듈(300)에 대하여 로딩위치(P1)에서의 카세트(30)의 로딩 및 언로딩을 위한 제1카세트이송부와, 언로딩위치(P2)에서의 카세트(30)의 로딩 및 언로딩을 위한 제2카세트이송부를 포함할 수 있다.
또한 상기 카세트이송모듈(400)은, 다른 예로서, 로딩위치(P1)에 위치된 카세트(30)로부터 기판처리될 다수의 기판(10)들이 인출되며, 기판처리된 다수의 기판(10)들이 언로딩위치(P2)에 위치된 카세트(30)에 적재되도록 카세트(30)를 로딩위치(P1) 및 언로딩위치(P2)로 순차적으로 이송하도록 구성될 수 있다.
구체적으로, 상기 카세트이송모듈(400)은, 도 1에 도시된 바와 같이, 기판교환모듈(300)의 일측에 설치되어 카세트(30)가 로딩위치(P1) 및 언로딩위치(P2)를 순차적으로 거치도록 구성될 수 있다.
이때 상기 카세트이송모듈(400)은, 카세트(30)의 이송방식에 따라서 컨베이어벨트 등 다양한 구성이 가능하며, 카세트(30)의 이송방향에 따라서 로딩위치(P1) 및 언로딩위치(P2)를 기준으로 순차적으로 설치된 제1카세트이송부(710), 제2카세트이송부(720) 및 제3카세트이송부(730)를 포함할 수 있다.
상기 제1카세트이송부(710), 제2카세트이송부(720) 및 제3카세트이송부(730)는, 카세트(30)의 이송을 위한 구성으로서 카세트(30)의 이송방식에 따라서 컨베이어벨트 등 다양한 구성이 가능하다.
이상은 본 발명에 의해 구현될 수 있는 바람직한 실시예의 일부에 관하여 설명한 것에 불과하므로, 주지된 바와 같이 본 발명의 범위는 위의 실시예에 한정되어 해석되어서는 안 될 것이며, 위에서 설명된 본 발명의 기술적 사상과 그 근본을 함께하는 기술적 사상은 모두 본 발명의 범위에 포함된다고 할 것이다.
10: 기판 20: 트레이
30: 카세트 300: 기판교환모듈
400: 카세트이송모듈

Claims (12)

  1. 다수의 기판(10)들이 n×m의 기판배열(n, m은 2 이상의 자연수)로 직사각형 트레이(20)에 안착된 상태로 기판처리를 수행하는 하나 이상의 기판처리모듈과;
    상기 기판처리모듈에서 기판처리된 다수의 기판(10)들을 트레이(20)로부터 언로딩하는 동시에 기판처리될 다수의 기판(10)들을 트레이(20)에 로딩하는 기판교환모듈(300)을 포함하는 기판처리시스템의 기판교환모듈로서,
    상기 트레이(20)가 안착되는 트레이안착부(310)와;
    상기 트레이안착부(310)의 일측에 설치되어, 로딩위치(P1)에 위치된 카세트(30)로부터 기판처리될 다수의 기판(10)들을 인출하여 기판처리될 m개의 기판(10)들이 Y축방향을 따라서 위치되도록 하는 기판로딩부(800)와;
    상기 트레이안착부(310)에 안착된 트레이(20)를 중심으로 상기 기판로딩부(800)에 대향되는 위치에 설치되어, 상기 트레이(20)로부터 전달받은 기판처리된 m개의 기판(10)들이 안착된 후 언로딩위치(P2)에 위치된 카세트(30)로 기판(10)을 적재하는 기판언로딩부(900)와;
    상기 기판로딩부(800)로부터 상기 트레이(20)로 m개의 기판(10)들을 이송하는 제1기판이송툴(320)과;
    상기 트레이(20)로부터 상기 기판언로딩부(900)로 m개의 기판(10)들을 이송하는 제2기판이송툴(330)을 포함하며;
    상기 기판로딩부(800) 및 상기 기판언로딩부(900)는,
    상기 Y축방향으로 간격을 두고 설치되는 한 쌍의 풀리부(810, 820)들과;
    상기 한 쌍의 풀리부(810, 820)들과 결합되어 회전되며 기판(10)을 지지한 상태로 상기 Y축방향을 따라서 상기 트레이(20) 상의 기판(10) 적재위치에 대응되어 m개의 기판(10)을 위치시키는 하나 이상의 벨트(830)를 포함하며,
    상기 기판로딩부(800) 및 상기 기판언로딩부(900) 중 적어도 하나에 대응되어 설치되며, 상기 Y축방향을 따라서 m개의 기판(10)들이 상기 벨트(830)에 상기 트레이(20) 상의 기판(10) 적재위치에 대응되어 위치될 수 있도록, 상기 벨트(830)의 회전위치의 감지를 위한 벨트회전위치감지부를 포함하며,
    상기 벨트회전위치감지부는,
    상기 벨트(830) 부근에 미리 설정된 위치에 설치되는 하나 이상의 위치감지센서(850)와,
    상기 위치감지센서(850)에 감지되어 상기 벨트(830)의 회전위치가 감지될 수 있도록 상기 벨트(830)에 돌출형성된 하나 이상의 기준돌기(832)를 포함하며,
    상기 위치감지센서(850)는,
    상기 벨트(830)가 상기 로딩위치(P1)에 위치된 카세트(30)로부터 상기 벨트(830)의 표면으로 기판(10)의 안착이 시작되는 기판로딩위치의 회전상태에 있을 때 해당 기준돌기(832)의 위치를 감지하고, 상기 벨트(830)가 기판로딩위치와, 상기 벨트(830)의 표면에 기판(10) 안착이 완료된 후 상기 제1기판이송툴(320)에 의하여 트레이(20)로 기판(10)들이 전달되는 제1기판전달위치의 회전상태에 있을 때 해당 기준돌기(832)의 위치를 감지하도록 복수개로 설치되며,
    상기 하나 이상의 벨트(830)는,
    상기 Y축방향을 따라서 m개의 기판(10)이 순차적으로 위치되도록 m개의 기판(10)들에 대응되어 복수의 구획돌기(831)들이 상기 벨트(830)의 표면으로부터 돌출되어 형성되며,
    상기 기준돌기(832)는,
    상기 복수의 구획돌기(831)들 중 어느 하나와 함께 일체로 형성된 것을 특징으로 하는 기판처리시스템의 기판교환모듈.
  2. 삭제
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 구획돌기(831)의 상기 Y축방향 단면은, 돌출되는 방향으로 가면서 폭이 감소하도록 형성된 것을 특징으로 하는 기판처리시스템의 기판교환모듈.
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 청구항 1에 있어서,
    상기 기준돌기(832)는, 상기 벨트(830)에 m개의 기판(10)이 안착된 상태를 기준으로 상기 벨트(830)의 상측부분 및 하측부분에 상하구분선을 기준으로 점대칭 또는 선대칭으로 하나 이상의 쌍을 이루어 형성되는 것을 특징으로 하는 기판처리시스템의 기판교환모듈.
  7. 다수의 기판(10)들이 n×m의 기판배열(n, m은 2 이상의 자연수)로 직사각형 트레이(20)에 안착된 상태로 기판처리를 수행하는 하나 이상의 기판처리모듈과;
    상기 기판처리모듈에서 기판처리된 다수의 기판(10)들을 트레이(20)로부터 언로딩하는 동시에 기판처리될 다수의 기판(10)들을 트레이(20)에 로딩하는 기판교환모듈(300)을 포함하는 기판처리시스템의 기판교환모듈로서,
    상기 트레이(20)가 안착되는 트레이안착부(310)와;
    상기 트레이안착부(310)의 일측에 설치되어, 로딩위치(P1)에 위치된 카세트(30)로부터 기판처리될 다수의 기판(10)들을 인출하여 기판처리될 m개의 기판(10)들이 Y축방향을 따라서 위치되도록 하는 기판로딩부(800)와;
    상기 트레이안착부(310)에 안착된 트레이(20)를 중심으로 상기 기판로딩부(800)에 대향되는 위치에 설치되어, 상기 트레이(20)로부터 전달받은 기판처리된 m개의 기판(10)들이 안착된 후 언로딩위치(P2)에 위치된 카세트(30)로 기판(10)을 적재하는 기판언로딩부(900)와;
    상기 기판로딩부(800)로부터 상기 트레이(20)로 m개의 기판(10)들을 이송하는 제1기판이송툴(320)과;
    상기 트레이(20)로부터 상기 기판언로딩부(900)로 m개의 기판(10)들을 이송하는 제2기판이송툴(330)을 포함하며;
    상기 기판로딩부(800) 및 상기 기판언로딩부(900)는,
    상기 Y축방향으로 간격을 두고 설치되는 한 쌍의 풀리부(810, 820)들과;
    상기 한 쌍의 풀리부(810, 820)들과 결합되어 회전되며 기판(10)을 지지한 상태로 상기 Y축방향을 따라서 상기 트레이(20) 상의 기판(10) 적재위치에 대응되어 m개의 기판(10)을 위치시키는 하나 이상의 벨트(830)를 포함하며,
    상기 기판로딩부(800) 및 상기 기판언로딩부(900) 중 적어도 하나에 대응되어 설치되며, 상기 Y축방향을 따라서 m개의 기판(10)들이 상기 벨트(830)에 상기 트레이(20) 상의 기판(10) 적재위치에 대응되어 위치될 수 있도록, 상기 벨트(830)의 회전위치의 감지를 위한 벨트회전위치감지부를 포함하며,
    상기 벨트회전위치감지부는,
    상기 벨트(830) 부근에 미리 설정된 위치에 설치되는 하나 이상의 위치감지센서(850)와,
    상기 위치감지센서(850)에 감지되어 상기 벨트(830)의 회전위치가 감지될 수 있도록 상기 벨트(830)에 돌출형성된 하나 이상의 기준돌기(832)를 포함하며,
    상기 위치감지센서(850)는,
    상기 벨트(830)가 상기 벨트(830)의 표면에 안착된 후 상기 언로딩위치(P2)에 위치된 카세트(30)로 기판(10)들의 전달이 시작되는 기판언로딩위치의 회전상태에 있을 때 해당 기준돌기(832)의 위치를 감지하고, 상기 벨트(830)가 상기 트레이(20)로부터 상기 제2기판이송툴(330)에 의하여 상기 벨트(830)의 표면에 기판(10) 안착되는 제2기판전달위치의 회전상태에 있을 때 해당 기준돌기(832)의 위치를 감지하도록 복수개로 설치되며,
    상기 하나 이상의 벨트(830)는,
    상기 Y축방향을 따라서 m개의 기판(10)이 순차적으로 위치되도록 m개의 기판(10)들에 대응되어 복수의 구획돌기(831)들이 상기 벨트(830)의 표면으로부터 돌출되어 형성되며,
    상기 기준돌기(832)는,
    상기 복수의 구획돌기(831)들 중 어느 하나와 함께 일체로 형성된 것을 특징으로 하는 기판처리시스템의 기판교환모듈.
  8. 청구항 7에 있어서,
    상기 기준돌기(832)는, 상기 벨트(830)에 m개의 기판(10)이 안착된 상태를 기준으로 상기 벨트(830)의 상측부분 및 하측부분에 상하구분선을 기준으로 점대칭 또는 선대칭으로 하나 이상의 쌍을 이루어 형성되는 것을 특징으로 하는 기판처리시스템의 기판교환모듈.
  9. 청구항 1에 있어서,
    상기 기판로딩부(800) 및 상기 기판언로딩부(900) 중 적어도 하나는,
    상기 한 쌍의 풀리부(810, 420)의 상기 Y축방향의 간격을 조절하여 상기 벨트(830)의 텐션을 조절하는 텐션조절부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리시스템의 기판교환모듈.
  10. 청구항 1에 있어서,
    상기 기판교환모듈(300)은,
    상기 카세트(30)에 대하여 상기 다수의 기판(10)들을 도입 또는 배출하는 기판보조이송부(840)가 설치된 것을 특징으로 하는 기판처리시스템의 기판교환모듈.
  11. 청구항 1에 있어서,
    상기 기판로딩부(800) 및 상기 기판언로딩부(900) 중 적어도 하나는,
    상기 한 쌍의 풀리부(810, 820)들 사이에서 상기 벨트(830)의 상측부분의 저면 쪽을 지지하는 하나 이상의 가이드블록을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리시스템의 기판교환모듈.
  12. 다수의 기판(10)들이 n×m의 기판배열(n, m은 2 이상의 자연수)로 직사각형 트레이(20)에 안착된 상태로 기판처리를 수행하는 하나 이상의 기판처리모듈과;
    상기 기판처리모듈에서 기판처리된 다수의 기판(10)들을 트레이(20)로부터 언로딩하는 동시에 기판처리될 다수의 기판(10)들을 트레이(20)에 로딩하는 기판교환모듈(300)을 포함하며,
    상기 기판교환모듈(300)은, 청구항 1, 청구항 3, 청구항 6 내지 청구항 11 중 어느 하나의 항에 따른 기판교환모듈인 것을 특징으로 하는 기판처리시스템.
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