JPH09129705A - 基板搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 被処理基板の適切な取出し動作を確保しつ
つ、位置決めのための設備を不要として製造装置の簡略
化、省スペース化を達成する。 【解決手段】 カセット１４ａの内外に亘ってハンド部
材３４を進退させて収納された基板Ｂを取出すように搬
送ユニット１８を構成した。この際、カセット内壁３９
ａに対してハンド部材３８を水平面上で平行に進退させ
ることにより基板Ｂが内壁３９ａと非接触な状態で取出
され得るようにした。また、ハンド部材３４にセンサ３
６ａ，３６ｂを設けてハンド部材３４とカセット内壁３
９ａとの距離を検出し、その結果に基づき演算手段５６
においてハンド部材３４とカセット１４ａの内壁３９ａ
との相対的な傾きを求め、さらに内壁３９ａに対してハ
ンド部材３４が平行に進退するように搬送ユニット駆動
に対する補正量を求めるようにした。そして、主制御手
段５４によりこの補正量を加味して搬送ユニット１８を
作動させるようにした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造装置や
液晶表示基板製造装置等の基板処理装置において、カセ
ット内に収納された半導体ウエハや液晶用ガラス基板等
の基板をカセットから取出して搬送する基板搬送装置に
関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、液晶表示基板や半導体ウエハなど
の精密電子基板の製造装置においては、例えば、洗浄処
理部や熱処理部といった複数の処理部が配置され、各処
理部に亘って基板が搬送されつつ各処理部に対して出し
入れされることにより基板に所定の処理が施されるよう
になっている。

【０００３】この種の装置において、基板はカセット内
に上下複数段に収納されており、製造装置への基板の搬
入、搬出がカセット単位で行われるようになっている。
カセットの搬入、搬出は、ＡＧＶ（自動搬送装置）によ
って自動的に行われ、搬入されたカセットは製造装置の
所定の基板搬入出部にセットされるようになっている。
そして、この搬入出部の側方部に配置された搬送ユニッ
トによってカセットに対する各基板の出し入れが行わ
れ、例えば、搬送ユニットに設けられたハンド部材がカ
セット正面に形成された開口部分を介してカセット内外
に亘って進退することにより基板の出し入れが行われる
ようになっている。

【０００４】この種の装置では、カセット自体、あるい
はカセット内の基板が所定の方向に対して水平面上で傾
いている（カセットや基板が鉛直軸回りに傾いている）
と、取出しの際に基板がカセットの内壁に衝突する等し
て破損する虞がある。そのため、一般には、エアシリン
ダを駆動源とする可動プレートによってカセットを所定
のセット位置に押当てて位置決めするカセット位置決め
機構や、カセット側面に形成された開口部分を介して一
対の弾性プレートにより基板を両側から挟みつけてカセ
ット内の基板を整列させる基板位置決め機構等を設けて
上述のような傾きを修正し、これにより基板の取出しを
適切に行い得るようにしている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところが、機械的にカ
セットを移動させて位置決めを行う上記カセット位置決
め機構では、カセットと基板搬入出部の擦れによってパ
ーティクルが発生する虞があるため、これを防止すべく
カセットをスムーズに移動させる機構が要求されたり、
あるいは集塵設備の充実が要求される等、付帯的な設備
が必要となり、これが製造装置を大型化する原因となっ
ている。

【０００６】特に、近年では、小型液晶モニター等の需
要増大に伴い、小型基板を効率良く生産すべく小型基板
を複数枚採り得る大型の基板を処理することが要求され
ており、そのため各位置決め機構においても大型のカセ
ットや基板を移動させるための大きな作動力が要求さ
れ、その結果、各位置決め機構が大型化して製造装置を
より一層大型化させるに至っている。

【０００７】また、基板位置決め機構においては、弾性
プレートを直接基板に接触させるために、基板を損傷し
たり、あるいはパーティクルを発生する等の虞がある。
特に、上述のように大型の基板の場合には、弾性プレー
トによる作動力が大きく、そのため基板の損傷を招く虞
が高い。

【０００８】本発明は、上記問題を解決するためになさ
れたものであり、被処理基板のカセットからの適切な取
出し動作を確保しつつ、位置決めのための設備を不要と
して製造装置の簡略化、省スペース化を達成することが
できる基板搬送装置を提供することを目的としている。

【０００９】

【課題を解決するための手段】請求項１に係る基板搬送
装置は、上下方向に配設される複数段の基板収納部に被
処理基板を収納したカセットの開口部を介して、搭載さ
れたハンド部材をカセット内外に亘って進退させること
により被処理基板を取出す搬送ユニットを有してなる基
板搬送装置において、被処理基板を持上げた状態で所定
の基板取出し方向に移動させることにより、カセット内
壁に対して被処理基板を非接触状態で取出し可能にする
基板収納手段をカセットの各基板収納部に備えるととも
に、ハンド部材とカセットを相対的に進退及び上下動さ
せる作動手段と、カセットの上記所定の基板取出し方向
とハンド部材の進退方向のずれを検出する検出手段と、
このずれを是正するようにハンド部材の進退方向に対す
る補正量を求める演算手段と、求められた補正量を加味
してハンド部材を作動させるべく上記作動手段を制御す
る制御手段とを備えてなるものである。

【００１０】この装置によれば、所定の基板取出し方向
に被処理基板が移動させられることにより被処理基板が
カセット内壁と干渉することなく取出されるが、被処理
基板の取出し動作においては、所定の基板取出し方向と
ハンド部材の進退方向のずれの検知に基づいてハンド部
材の進退方向が修正されるため、これによって確実に被
処理基板とカセット内壁との干渉が回避される。

【００１１】請求項２に係る基板搬送装置は、請求項１
記載の基板搬送装置において、上記検出手段が、上記ハ
ンド部材に設けられてハンド部材とカセット内壁との距
離を検出するように構成されてなるものである。

【００１２】この装置によれば、複数のカセットから基
板を取出す必要がある場合であっても、共通の検出手段
を用いて上記のずれを検出することが可能となる。

【００１３】請求項３に係る基板搬送装置は、請求項２
記載の基板搬送装置において、上記制御手段が、カセッ
トの最上段及び最下段の基板収納部におけるハンド部材
とカセット内壁との距離を検出すべく上記作動手段を制
御して上記ハンド部材をカセットの最上段及び最下段の
基板収納部に対して進退させるとともに、上記演算手段
が、最上段及び最下段の基板収納部での各検出結果に基
づき、全ての基板収納部からの被処理基板の取出し動作
における上記補正量を求めるように構成されてなるもの
である。

【００１４】この装置によれば、全ての基板収納部での
被処理基板の取出し動作における上記補正量を効率良く
求めることが可能となる。

【００１５】

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態について図面
を用いて説明する。

【００１６】図１及び図２は、本発明にかかる基板搬送
装置の一例が適用される基板処理装置の全体を概略的に
示し、図１は正面図で、図２は平面図である。同図に示
す基板処理装置１０は、角型ガラス基板（以下、基板と
略す）に所定の処理を施す装置であって、基板の搬入出
部１２と、基板に一連の処理を施すための処理ユニット
部２０とを備えるとともに、これらの前方（図２では下
方）に、搬入出部１２と処理ユニット部２０との間で基
板を搬送する基板搬送部２２を備えている。

【００１７】上記処理ユニット２０には、基板に所定の
処理を施すための複数の処理部が設けられており、本実
施形態においては上下２段に処理部が配置されている。

【００１８】具体的には、基板を洗浄するためのスピン
スクラバーＳＳと、洗浄された基板にフォトレジスト液
を塗布するスピンコーターＳＣとが処理ユニット２０の
下段に配置される一方、スピンスクラバーＳＳで洗浄さ
れた基板を脱水ベークするホットプレートＨＰ１と、フ
ォトレジスト液が塗布された基板をプリベークするホッ
トプレートＨＰ２と、各ホットプレートＨＰ１，ＨＰ２
で加熱された基板を冷却するクールプレートＣＰ１，Ｃ
Ｐ２とが処理ユニット２０の上段に配置されている。

【００１９】上記基板搬送部２２には、基板搬送用の搬
送ヘッド２４が設けられ、これが上記搬入出部１２と処
理ユニット部２０との間及び処理ユニット部２０の各処
理部の間で移動可能に設けられている。

【００２０】すなわち、基板搬送部２２には、一軸方向
（Ｘ軸方向）に延びる固定レール２６と、モータ駆動に
よりこの固定レール２６に沿って移動する搬送ヘッド支
持部材２８（以下、支持部材２８と略す）とが設けら
れ、この支持部材２８に、モータ駆動により作動する垂
直多関節型のアーム２９を介して搬送ヘッド２４がＺ軸
方向（上下方向）に移動可能に支持されている。そし
て、上記支持部材２８がＸ軸方向に移動されつつ、上記
アーム２９が作動されることにより、上記搬送ヘッド２
４がＸ軸方向及びＺ軸方向に移動し、これによって搬送
ヘッド２４が搬入出部１２に対する所定の基板受渡し位
置と処理ユニット部２０との間及び処理ユニット部２０
の各処理部に対向する基板受渡し可能な位置に移動させ
られるようになっている。

【００２１】上記搬入出部１２には、カセット載置台１
６が設けられ、このカセット載置台１６上に多数の基板
Ｂを収納した２つのカセット１４ａ，１４ｂが設置され
るとともに、カセット１４ａ，１４ｂに対して基板Ｂの
出し入れを行いながら、カセット１４ａ，１４ｂと基板
搬送部２２の所定の基板受渡し位置との間で基板Ｂを搬
送する搬送ユニット１８が設けられ、これが上記カセッ
ト載置台１６に対向して配置されている。

【００２２】上記カセット１４ａ，１４ｂは、それぞれ
図外のＡＧＶ（自動搬送装置）により搬入及び搬出が行
われるようになっており、図３に示すように、固定ガイ
ド１６ａによって設定されたカセット載置台１６上の所
定のスペースにセットされるようになっている。各カセ
ット１４ａ，１４ｂは、いずれも搬送ユニット１８に向
かって側面が開口した同一形状の箱型を有しており、そ
の内部には、図４に示すように上下に複数の基板収納部
３９が形成され、これらの各基板収納部３９にそれぞれ
基板Ｂが収納されている。

【００２３】各基板収納部３９には、Ｙ軸方向両側（図
４では左右両側）の内壁からカセットの内側に向かって
斜め上方に突出する一対の支持片４０が設けられおり、
基板Ｂの両端縁部がこれらの支持片４０の先端で受けら
れることにより基板Ｂがカセット１４ａ，１４ｂ内で保
持されている。各基板収納部３９に対応する内壁３９ａ
は、上記各支持片４０の基端部からカセットの外側に向
かって斜め上方に傾斜しており、基板ＢがＺ軸上方に適
度に持上げられることによって基板Ｂの両端部と内壁３
９ａとの間に常に隙間が形成されるようになっている。
つまり、基板Ｂが鉛直軸回りに傾いてカセット内に収納
されている場合でも、基板Ｂが持上げられて水平面上で
内壁３９ａと平行な方向（すなわち、図４では紙面に直
交する方向）に移動させられることにより、基板Ｂが内
壁３９ａと干渉することなく取出されるようになってい
る。

【００２４】上記搬送ユニット１８は、図３に示すよう
に、Ｙ軸方向（上記固定レール２６と平面上で直交する
方向）に延びる固定レール１７上に装着されてＹ軸移動
モータ４５（図５参照）の駆動によりこの固定レール１
７に沿って移動するユニット本体３０を有している。こ
のユニット本体３０には、基板Ｂを支持するためのハン
ド部材３４が設けられており、このハンド部材３４がユ
ニット本体３０の上部に搭載されたアーム３２の先端に
水平面上で回動自在に連結されている。

【００２５】上記ハンド部材３４は、基板Ｂの出し入れ
に際し、図６に示すようにカセット１４ａの開口部１５
を介してカセット内に挿入されるようになっている。そ
の形状は、互いに平行で、かつ間隔が基板Ｂに対応した
杆状の支持片３５ａ，３５ｂを有するＵ字形とされ、各
支持片３５ａ，３５ｂで基板Ｂの両端縁部を受けること
により基板Ｂを水平姿勢で支持するようになっている。
なお、図６では、カセット１４ａとハンド本体３４との
関係のみ示しているが、カセット１４ｂとの関係もこれ
と同一の関係となっている。

【００２６】上記各支持片３５ａ，３５ｂには、その裏
面に、ハンド部材３４とカセット１４ａの内壁との距離
を検出するセンサが取付けられている。具体的には、同
図に示すように、片方の支持片３５ａのそれぞれ先端部
及び基端部にカセット１４ａのＹ軸方向片側の内壁３９
ａとの距離Ｌａを検出するセンサ３６ａ，３６ｂが取付
けられ、他方の支持片３５ｂの先端部にカセット１４ａ
のＸ軸方向の内壁３９ｂとの距離Ｌｂを検出するセンサ
３７が取付けられている。これらの各センサは、例え
ば、赤外光の照射部とライン状の受光部とを有した光線
式のセンサであって、照射部から照射されて内壁で反射
した反射光の受光位置に基づいて距離を検出するように
なっている。

【００２７】上記アーム３２は、単位アーム３８ａ，３
８ｂからなる水平関節型のアームで、アーム作動モータ
４９（図５参照）の駆動による各単位アーム３８ａ，３
８ｂの旋回動作により上記ハンド部材３４を平面上で移
動させるようになっている。また、アーム３２全体が上
記ユニット本体３０に対してＺ軸方向へ移動可能となっ
ていて、Ｚ軸移動モータ４７（図５参照）の駆動により
作動して上記ハンド部材３４をＺ軸方向に移動させ得る
ように構成されている。

【００２８】なお、上記搬送ユニット１８の各モータ４
５，４７，４９にはそれぞれエンコーダ等からなる位置
検出手段４６，４８，５０（図５参照）が一体に設けら
れており、これよりハンド部材３４の位置及び水平面上
での傾き角度が検出されるようになっている。

【００２９】上記の搬入出部１２においては、カセット
１４ａ又は１４ｂに対向する所定位置にユニット本体３
０が配置され、ハンド部材３４が上下動させられつつカ
セットの内外に亘って進退させられることにより基板Ｂ
の出し入れが行われる。具体的には、ハンド部材３４が
対象基板を収納した基板収納部３９の高さ位置に移動さ
せられた後、基板収納部３９において基板Ｂの下方に挿
入される。そして、ハンド部材３４が適度に上昇させら
れた後、カセット１４ａの外部に退避させられることに
より基板Ｂがハンド部材３４上に支持された状態でカセ
ット１４ａから取出される。一方、これと逆の動作が行
われることによりカセット内に基板Ｂが収納されるよう
になっている。

【００３０】次に、上記搬送ユニット１８を制御するた
めの制御系について図５のブロック図を用いて説明す
る。

【００３１】上記基板処理装置１０には、同図に示すよ
うなコントローラ５２が搭載されており、上記搬送ユニ
ット１８のＹ軸移動モータ４５、Ｚ軸移動モータ４７、
アーム作動モータ４９及びこれらの各モータに設けられ
た位置検出手段４６，４８，５０はすべてこのコントロ
ーラ５２に接続され、このコントローラ５２によって統
括制御されるようになっている。より詳しくは、基板処
理装置１０の動作を統括制御するための主制御手段５４
と、この主制御手段５４によって制御されるドライバ５
３とがコントローラ５２に設けられ、上記各モータ等は
ドライバ５３に接続されている。

【００３２】そして、基板処理装置１０の作動時には、
カセット１４ａ，１４ｂに対して基板Ｂを出し入れしな
がら各カセット１４ａ，１４ｂと基板搬送部２２との間
で基板Ｂを搬送すべく上記各モータがドライバ５３を介
して主制御手段５４によって制御される。

【００３３】上記コントローラ５２には、さらに、記憶
部５５及び演算手段５６が設けられており、これらが上
記主制御手段５４に接続されるとともに、搬送ユニット
１８の上記センサ３６ａ，３６ｂ及びセンサ３７が演算
手段５６に接続されている。

【００３４】演算手段５６は、カセット１４ａ，１４ｂ
の搬入後、後述の基準動作に基づいて行われる最初の基
板Ｂの取出し動作時に、上記センサ３６ａ，３６ｂによ
ってそれぞれ検出されるハンド部材３４とカセット内壁
３９ａとの距離Ｌａに基づいてハンド部材３４と内壁３
９ａの相対的な傾きを演算し、基板出し入れ時のカセッ
ト１４ａ，１４ｂに対するハンド部材３４の進退方向を
修正するためのＹ軸移動モータ４５及びアーム作動モー
タ４９の駆動に対する補正量、具体的には、ハンド部材
３４をカセット１４ａ，１４ｂの内壁３９ａに対して水
平面上で平行に進退させるための補正量を求めるように
なっている。また、この補正量に基づいてハンド部材３
４の進退方向を修正した後に、上記センサ３７よって検
出されるハンド部材３４とカセット内壁３９ｂとの距離
Ｌｂに基づいてこの距離の適正値との差を演算し、基板
出し入れ時の各カセット１４ａ，１４ｂに対するハンド
部材３４の進退移動量を修正するためのＹ軸移動モータ
４５及びアーム作動モータ４９の駆動に対する補正量を
求め、さらに、ハンド部材３４と内壁３９ａとの距離Ｌ
ａに基づき、ハンド部材３４をカセット１４ａの中央、
つまり各内壁３９ａ間の中央に配置するためのＹ軸移動
モータ４５及びアーム作動モータ４９の駆動に対する補
正量を求めるようになっている。

【００３５】上記記憶部５５は、上述のようにして求め
られた各補正量を記憶するものである。上述の各補正量
は、ＡＧＶにより新たなカセット１４ａ，１４ｂが搬入
される毎に求められるようになっており、記憶部５５で
は、求められた各補正量を更新的に記憶するようになっ
ている。そして、基板Ｂの出し入れが行われる際には、
対象となるカセット１４ａ，１４ｂにかかる補正量が読
みだされ、上記主制御手段５４により上記補正量を加味
して搬送ユニット１８が制御されるようになっている。

【００３６】次に、上述のように構成された基板搬送装
置の作用効果について説明する。

【００３７】以上のように構成された基板処理装置１０
において、上記カセット載置台１６にカセット１４ａ、
１４ｂがセットされて処理動作が開始されると、搬送ユ
ニット１８により一枚目の基板Ｂを取出すべく上記ユニ
ット本体３０がカセット１４ａ（又は、１４ｂ）に対向
する位置に移動させられ、アーム３２の作動によりハン
ド部材３４が対象基板を収納した基板収納部３９に挿入
される。

【００３８】この際、ハンド部材３４は予め設定された
基準動作によりカセット１４ａ内に挿入される。具体的
には、カセット１４ａの理論上の中心位置を通るＸ軸方
向の線上にハンド部材３４の中心（Ｙ軸方向中心）が配
置され、かつ各支持片３５ａ，３５ｂがＸ軸と平行とな
るようにハンド部材３４が保持された状態でハンド部材
３４がＸ軸方向に移動させられてカセット１４ａ内に挿
入される。

【００３９】ハンド部材３４がカセット１４ａ内に配置
されると、上記センサ３６ａ，３６ｂによる距離検出に
基づき上記演算手段５６においてハンド部材３４の進退
方向に関する補正量が求められ、例えば、図６に示すよ
うに、カセット１４ａの内壁３９ａとハンド部材３４が
平行でなく相対的に傾いている場合には、図７に示すよ
うにカセット１４ａの内壁３９ａとハンド部材３４が平
行となるようにハンド部材３４の傾きが修正される。そ
して、ハンド部材３４の傾きが修正された後、センサ３
７による距離検出に基づいてハンド部材３４の進退移動
量に関する補正量が求められ、この補正量に基づいてハ
ンド部材３４が進退させられ、さらに、ハンド部材３４
と内壁３９ａとの距離Ｌａに応じて、ハンド部材３４を
カセット中央に配置するための補正量が求められ、この
補正量に基づいてハンド部材３４が修正後の進退方向と
直交する方向に移動させられる。

【００４０】ハンド部材３４の傾き等が修正されると、
アーム３２の作動によりハンド部材３４が適度に持上げ
られ、その後カセット１４ａの外部に退避させられるこ
とにより基板Ｂがカセット１４ａから取出される。この
際、上記補正量を加味してアーム３２が作動されること
によりハンド部材３４がカセット１４ａの内壁３９ａに
平行に移動させられる。

【００４１】こうして基板Ｂが取出されると、ユニット
本体３０が移動させられて上記搬送ヘッド２４に基板Ｂ
が渡され、各処理部の間で搬送ヘッド２４による基板Ｂ
の搬送が行われながら、基板Ｂに対する各処理部での処
理が施される。

【００４２】そして、全ての処理が完了すると、搬送ヘ
ッド２４から搬送ユニット１８に基板Ｂが渡されて基板
Ｂがカセット１４ａに収納され、これによって基板処理
装置１０による当該基板Ｂの処理が完了する。このよう
なカセット１４ａに対する基板Ｂの収納動作において
も、上記補正量に基づいて搬送ユニット１８が作動する
ことによりハンド部材３４がカセット１４ａの内壁に対
して平行に進退させられる。そして、以後、このカセッ
ト１４ａに対する基板Ｂの出し入れ動作においては、上
記補正量を加味して搬送ユニット１８が制御される。

【００４３】以上説明したように、上記の基板搬送装置
によれば、基板Ｂを適度に持上げて内壁３９ａと平行な
方向に移動させることにより、基板Ｂと内壁３９ａとを
非接触な状態で取出すことができるようにカセット１４
ａ，１４ｂが構成され、しかも、カセット１４ａ，１４
ｂの内壁３９ａとハンド部材３４の相対的な傾きの検出
に基づき、ハンド部材３４を内壁３９ａに対して平行に
移動させるように搬送ユニット１８が制御されるように
なっているため、従来のこの種の装置のように、カセッ
トの搬入後、機械的な位置決めを行ってカセットや、こ
れに収納された基板の方向性を確保することをしなくて
も、カセット内に収納された基板を適切に取出すことが
できる。

【００４４】そのため、従来のこの種の装置に要求され
ていた、カセットや、これに収納された基板の位置決め
機構が不要となる。それ故に、カセットをスムーズに移
動させるための機構や、集塵設備の充実等、上記の位置
決め機構を設けるにあって要求されていた付帯的な設備
も不要となる。従って、カセットからの適切な基板の取
出し動作を確保しながらも、効果的に基板処理装置の簡
略化、省スペース化を達成することができる。特に、従
来装置では基板の大型化に伴うカセット等の位置決め機
構の大型化に起因した処理設備の大型化が問題視されて
いるが、上記実施形態の装置によれば、カセット等の位
置決め機構自体が不要であるため、そのような問題を効
果的に解決することができる。

【００４５】しかも、カセット内の基板が位置決めされ
ることなく取出されるため、従来装置のように基板と位
置決め機構とが接触して基板を損傷するといった虞がな
い。そのため、基板の品質をより良く保つことができる
という利点もある。

【００４６】なお、上記実施形態の基板処理装置１０
は、本発明の基板搬送装置が適用される基板処理装置の
一例であって、基板処理装置１０や基板搬送装置の具体
的な構成は、本発明の要旨を逸脱しない範囲で適宜変更
可能である。

【００４７】例えば、上記実施形態では、ハンド部材３
４にセンサ３６ａ，３６ｂを設け、内壁３９ａとハンド
部材３４との距離検出に基づいて内壁３９ａとハンド部
材３４との相対的な傾きを検出するようにしているが、
カセット載置台１６にセンサを配置してカセット１４
ａ，１４ｂの水平面上での傾きを直接検知し、その結果
に基づいて内壁３９ａとハンド部材３４との相対的な傾
きを求めるようにしても構わない。但し、カセット載置
台１６に多数のカセットをセットする必要がある装置で
は、カセットの数に応じた数のセンサが必要となるた
め、この場合には、上記実施形態のようにハンド部材３
４にセンサを設け、これにより各カセットに対してセン
サを共通使用する方が有利である。

【００４８】また、上記実施形態では、カセット１４
ａ，１４ｂの１つの基板収納部３９での距離検出に基づ
いてハンド部材３４の進退方向等を修正するための補正
量を求めるようにしているが、補正量をより精度あるも
のにするために複数の基板収納部３９を対象に距離検出
を行って補正量を求めるようにしてもよい。この場合、
例えば、カセット１４ａ，１４ｂの最下位の基板収納部
３９と、最上位の基板収納部３９を対象として検出を行
い、最上位と最下位の各基板収納部３９における内壁３
９ａとハンド部材３４との相対的な傾きの差を上下各段
に比例配分し、これによって各基板収納部３９からの基
板取出し時のハンド部材３４の進退方向についての補正
量を求め、各基板収納部３９からの基板取出し動作を、
対応する補正量を加味して制御するようにしてもよい。
このようにすれば、カセット１４ａ，１４ｂが鉛直軸に
対して傾いている場合や、あるいは捩じれている場合の
基板の取出しをより適切に行うことができる。なお、こ
の場合、各基板収納部３９からの基板Ｂの取出し時毎に
傾きを求めてハンド部材３４の進退方向を修正すること
も考えらえるが、上述のようにすれば、極めて多くの基
板収納部３９を有するカセットの場合であっても効率良
くハンド部材３４の進退方向を修正することができると
いう利点がある。

【００４９】さらに、上記実施形態の装置では、カセッ
ト１４ａ，１４ｂとハンド部材３４との距離を検出する
ためのセンサとして、赤外光を利用した光線式のセンサ
を用いるようにしているが、センサの種類等はこれに限
られることなく基板収納部３９のスペースやハンド部材
３４の形状等に応じて適切な距離検出が行われ得るよう
に適宜選定するようにすればよい。なお、非接触式のセ
ンサに限らず接触式のセンサであっても構わないが、パ
ーティクルの発生を抑えるといった観点からは非接触式
のセンサを用いるのが望ましい。また、スペースや強度
的に可能な場合には、センサの数をより多く設けて検出
精度を高めるようにしてもよい。

【００５０】

【発明の効果】以上説明したように、本発明において
は、所定の基板取出し方向に被処理基板を移動させるこ
とでカセット内壁との干渉を回避して被処理基板を取出
せ得るようにするとともに、被処理基板の取出し動作に
おいては、検出手段による上記所定の基板取出し方向と
ハンド部材の進退方向のずれの検知に基づいてハンド部
材の進退方向を修正し、これによってハンド部材を確実
に上記所定の基板取出し方向に進退させ得るようにした
ので、カセットの搬入後、機械的な位置決めを行ってカ
セットや被処理基板の方向性を確保することをしなくて
も、カセット内に収納された被処理基板を適切に取出す
ことができる。そのため、従来装置において要求されて
いたカセット等の位置決め機構や、これを設けるに当た
り必要とされていた集塵設備等の付帯的な設備が不要と
なり、従って、カセットからの被処理基板の適切な取出
し動作を確保しながらも、効果的に基板処理装置の簡略
化、省スペース化を達成することができる。しかも、カ
セット内の基板が位置決めされることなく取出されるた
め、従来装置のように基板と位置決め機構とが接触して
基板を損傷するといった虞がなく、基板の品質をより良
く保つことができる。

【００５１】特に、ハンド部材とカセット内壁との距離
を検出するように上記検出手段を構成し、これをハンド
部材に取付けるようにすれば、複数のカセットから被処
理基板を取出す必要がある場合であっても、共通の検出
手段を用いて上記のずれを検出することができ、設備や
スペース効率の面で有利となる。

【００５２】また、カセットの最上段及び最下段の基板
収納部におけるハンド部材とカセット内壁との距離検出
に基づいて全ての基板収納部での被処理基板の取出し動
作におけるハンド部材の進退方向に対する補正量を求め
るようにすれば、各基板収納部での被処理基板の取出し
動作における補正量を効率良く求めることができ、カセ
ットが鉛直軸に対して傾いていたり、あるいは捩じれが
生じている虞がある場合等に有効となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る基板搬送装置の一例が適用される
基板処理装置を示す正面概略図である。

【図２】上記基板処理装置を示す平面概略図である。

【図３】搬入出部を示す拡大平面図である。

【図４】カセットの構造を示す図１におけるＡ−Ａ断面
図である。

【図５】搬送ユニットを制御するための制御系の一例を
示すブロック図である。

【図６】カセット内にハンド部材が配置された一状態を
示す断面図である。

【図７】ハンド部材の進退方向の修正動作を説明する図
６に対応する図である。

【符号の説明】 １０ 基板処理装置 １２ 搬入出部 １４ａ，１４ｂ カセット １８ 搬送ユニット ２０ 処理ユニット部 ２２ 基板搬送部 ３２ アーム ３４ ハンド部材 ３５ａ，３５ｂ 支持片 ３６ａ，３６ｂ，３７ センサ ３９ａ，３９ｂ 内壁 ４５ Ｙ軸移動モータ ４７ Ｚ軸移動モータ ４９ アーム作動モータ ４６，４８，５０ 位置検出手段 ５２ コントローラ ５４ 主制御手段 ５５ 記憶部 ５６ 演算手段 Ｂ 基板

【手続補正書】

【提出日】平成７年１１月９日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】図４

【補正方法】変更

【補正内容】

【図４】カセットの構造を示す図３におけるＡ−Ａ断面
図である。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 上下方向に配設される複数段の基板収納
   部に被処理基板を収納したカセットの開口部を介して、
   搭載されたハンド部材をカセット内外に亘って進退させ
   ることにより被処理基板を取出す搬送ユニットを有して
   なる基板搬送装置において、被処理基板を持上げた状態
   で所定の基板取出し方向に移動させることにより、カセ
   ット内壁に対して被処理基板を非接触状態で取出し可能
   にする基板収納手段をカセットの各基板収納部に備える
   とともに、ハンド部材とカセットを相対的に進退及び上
   下動させる作動手段と、カセットの上記所定の基板取出
   し方向とハンド部材の進退方向のずれを検出する検出手
   段と、このずれを是正するようにハンド部材の進退方向
   に対する補正量を求める演算手段と、求められた補正量
   を加味してハンド部材を作動させるべく上記作動手段を
   制御する制御手段とを備えてなることを特徴とする基板
   搬送装置。
2. 【請求項２】 上記検出手段は、上記ハンド部材に設け
   られてハンド部材とカセット内壁との距離を検出するよ
   うに構成されてなることを特徴とする請求項１記載の基
   板搬送装置。
3. 【請求項３】 上記制御手段は、カセットの最上段及び
   最下段の基板収納部におけるハンド部材とカセット内壁
   との距離を検出すべく上記作動手段を制御して上記ハン
   ド部材をカセットの最上段及び最下段の基板収納部に対
   して進退させるとともに、上記演算手段は、最上段及び
   最下段の基板収納部での各検出結果に基づき、全ての基
   板収納部からの被処理基板の取出し動作における上記補
   正量を求めるように構成されてなることを特徴とする請
   求項２記載の基板搬送装置。