JP3971526B2 - 基板搬入搬出装置及び搬送システム - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、搬送ロボットが半導体ウエハや液晶表示用ガラス基板などの薄板状精密基板(以下、単に「基板」という。)を所定の部位に対して搬入搬出する基板搬入搬出装置に関するもので、特に、そのような装置における基板搬送技術の改良に関する。
【0002】
また、この発明は、このような基板搬入搬出装置を実現するために好適であるだけでなく、基板以外の搬送対象物の搬送にも利用することが可能な新規な搬送システムにも関連している。
【0003】
【従来の技術】
従来より、基板に対して所定の処理を施す種々の基板処理装置が知られている。このような基板処理装置の内部には搬送ロボットが設けられており、この搬送ロボットが基板を搬送することにより、装置内部において基板の処理が進行していく。
【0004】
ところで、近年の基板処理装置はクリーンルーム内の環境維持コスト等の観点から省スペース化が図られているため、省スペース中に処理ユニットや各種部材が配置される。従って、搬送ロボットが基板を搬送する際に処理ユニットや各種部材等の干渉部に干渉(接触)することがある。
【0005】
図12は、従来の装置における基板の搬送形態を示す図である。図12において、搬送ロボットが現在位置P10から目標位置P20に対して基板を搬送する場合について説明する。時間的又は距離的に最短となる移動方向は現在位置P10と目標位置P20とを直線で結ぶ図示の実線矢印のようになる。しかし、この直線方向で移動すると干渉物B10に干渉することとなる。
【0006】
このため従来においては、まずY軸についての駆動部を駆動して現在位置P10から中間位置P15(目標位置P20のY軸座標位置と現在位置P10のZ軸座標で指される位置)に搬送ロボットを移動させてそこでいったん停止させる。そして、その後、Z軸についての駆動部を駆動して搬送ロボットをZ軸に平行に移動させることにより、目標位置P20に移動させるようにようにしている。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、上記のように干渉物B10を回避するために一軸ごとの駆動を行うと、搬送ロボットを現在位置P10から目標位置P20まで移動させる際の移動時間が長くなるという問題がある。
【0008】
一方、例えば基板に対する露光処理が行われる場合は、露光後の基板を露光後ベーク処理部(PEB)に搬送する際の時間を短く、かつ、一定時間で管理する必要がある。このため、搬送ロボットの移動時間を短くすることが特に必要になる。また、このように搬送ロボットの移動時間を短くすることは、基板の露光処理を含む装置に限らず、各種の基板処理装置においてもスループットの改善などにおいて必要な事項となっている。
【0009】
この発明は、上記課題に鑑みてなされたものであって、従来に比べて短時間で干渉物を回避しつつ基板の搬送を行うことができる基板搬入搬出装置を提供することを第1の目的とする。
【0010】
また、このような基板搬入搬出装置において特に好適であるだけでなく、基板以外の搬送対象物を搬送する場合にも適用可能な新規な搬送システムを提供することを第2の目的とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】
上記第1の目的を達成するために、請求項1に記載の発明は、搬送ロボットを使用して基板を搬入搬出する基板搬入搬出装置であって、(a) 前記搬送ロボットの複数の自由度についての可動範囲を座標空間として規定した可動空間において、前記搬送ロボットの出発位置に対応する第1の位置から目標位置に対応する第2の位置までを結ぶ仮想的な直線軌跡を求める直線軌跡導出手段と、(b) 前記直線軌跡が前記可動空間内に予め設定された干渉領域を通過するか否かを判定する判定手段と、(c) 前記判定手段において前記干渉領域を通過すると判定された場合には、前記干渉領域を迂回する搬送軌跡を設定し、前記干渉領域を通過しないと判定された場合には、前記直線軌跡を搬送軌跡として設定する搬送軌跡設定手段と、(d) 前記搬送軌跡に沿って各自由度に対応する各駆動軸を同時駆動制御することにより前記搬送ロボットの動作を制御する制御手段とを備え、前記判定手段は、前記干渉領域の前記非干渉領域に対して突出する点である領域臨界点の座標値により前記可動空間を複数のゾーンに分割するゾーン分割手段と、前記領域臨界点のうちで、前記第1の位置が属する第1のゾーンと前記第2の位置が属する第2のゾーンとの間に位置する領域臨界点を、検査対象領域臨界点として抽出する検査対象領域臨界点抽出手段と、を備え、前記判定手段は、前記検査対象領域臨界点の座標値と前記直線軌跡上の座標値との比較を行うことにより前記干渉領域を通過するか否かの判定を行うことを特徴としている。
【0013】
請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の基板搬入搬出装置において、前記搬送軌跡設定手段は、前記領域臨界点の近傍の非干渉領域中に搬送経由点を設定し、前記直線軌跡が前記干渉領域を通過すると判定された場合には、前記搬送経由点を経由するように前記搬送軌跡を設定することを特徴としている。
【0014】
請求項3に記載の発明は、請求項2に記載の基板搬入搬出装置において、前記制御手段は、前記搬送経由点において前記複数の駆動軸のそれぞれを停止させることなく同時駆動制御することを特徴としている。
【0015】
また、上記第2の目的を達成するために、請求項4に記載の発明は、搬送ロボットを使用して所定の搬送対象物を搬送する搬送システムであって、(a) 前記搬送ロボットの複数の自由度についての可動範囲を座標空間として規定した可動空間において、前記搬送ロボットの出発位置に対応する第1の位置から目標位置に対応する第2の位置までを結ぶ仮想的な直線軌跡を求める直線軌跡導出手段と、(b) 前記直線軌跡が前記可動空間内に予め設定された干渉領域を通過するか否かを判定する判定手段と、(c) 前記判定手段において前記干渉領域を通過すると判定された場合には、前記干渉領域を迂回する搬送軌跡を設定し、前記干渉領域を通過しないと判定された場合には、前記直線軌跡を搬送軌跡として設定する搬送軌跡設定手段と、(d) 前記搬送軌跡に沿って各自由度に対応する各駆動軸を同時駆動制御することにより前記搬送ロボットの動作を制御する制御手段とを備え、前記判定手段は、前記干渉領域の前記非干渉領域に対して突出する点である領域臨界点の座標値により前記可動空間を複数のゾーンに分割するゾーン分割手段と、前記領域臨界点のうちで、前記第1の位置が属する第1のゾーンと前記第2の位置が属する第2のゾーンとの間に位置する領域臨界点を、検査対象領域臨界点として抽出する検査対象領域臨界点抽出手段と、を備え、前記判定手段は、前記検査対象領域臨界点の座標値と前記直線軌跡上の座標値との比較を行うことにより前記干渉領域を通過するか否かの判定を行うことを特徴としている。
【0017】
請求項5に記載の発明は、請求項4に記載の搬送システムにおいて、前記搬送軌跡設定手段は、前記領域臨界点の近傍の非干渉領域中に搬送経由点を設定し、前記直線軌跡が前記干渉領域を通過すると判定された場合には、前記搬送経由点を経由するように前記搬送軌跡を設定することを特徴としている。
【0018】
請求項6に記載の発明は、請求項5に記載の搬送システムにおいて、前記制御手段は、前記搬送経由点において前記複数の駆動軸のそれぞれを停止させることなく同時駆動制御することを特徴としている。
【0019】
なお、この発明の「出発位置」、「第1の位置」、「目標位置」、「第2の位置」などの「位置」は、その搬送ロボットが有している並進、回転などの自由度に具体的な値を持たせたときの状態を指しており、狭義の位置(XYZ実空間で規定される直交座標位置)に限定されるものではない。
【0020】
【発明の実施の形態】
図1は、この発明の一実施形態における基板処理装置100を示す平面図である。基板処理装置100は、図に示すX方向に沿ってインデクサIDとユニット配置部MPとインターフェイスIFと露光部EXPとを備えている。
【0021】
図2は、基板処理装置100のインデクサIDとユニット配置部MPとの概略を示す平面図であり、また、図3は、インターフェイスIFのY−Z面における断面を露光部EXP側から見た概略図である。
【0022】
インデクサIDには、基板Wを搬送する搬送ロボットTR1とキャリアCAを載置するテーブル10とが設けられており、テーブル10には複数枚の基板Wが収納される容器であるキャリアCAが複数個設置される。搬送ロボットTR1は、後述するようにY軸方向に沿って移動可能であるとともに、Z軸に沿って伸縮昇降が可能なように構成されている。また、基板Wを保持するアームを有しており、このアームを屈伸動作させることにより、基板Wを直線的に搬送することができるように構成されている。さらに、搬送ロボットTR1はアームを各キャリアCAおよびユニット配置部MP側に対向させるようにX−Y平面内において回転可能なように構成されている。
【0023】
そして、搬送ロボットTR1が基板Wの収納容器であるキャリアCAから基板Wを取り出してユニット配置部MPの受け渡し位置11に搬出したり、所定の処理が終了した基板Wをユニット配置部MPの受け渡し位置11から受け取ってキャリアCAに収納する。このようにインデクサIDは、ユニット配置部MPとの関係において基板搬入搬出装置として機能する。
【0024】
なお、インデクサIDにおいて受け渡し位置11に対応する部分以外のユニット配置部MPとの境界部分は、内壁12が搬送ロボットTR1の軌道側に張り出している。このため、搬送ロボットTR1が内壁12の存在する部分に位置している場合には、一定の角度以上の回転動作を行うとアームが内壁12に干渉(接触)することとなり、搬送ロボットTR1のY軸上の位置によって回転可能な角度が定まることとなる。すなわち、インデクサIDにおいては、内壁12が干渉物となり、搬送ロボットTR1の動作においてはこの干渉物を回避しつつ効率よく基板Wを搬送することが必要となるが、そのための搬送ロボットTR1の動作制御については後述する。
【0025】
ユニット配置部MPには、その4隅に基板Wに処理液による処理を施す液処理ユニットとして、基板Wを回転させつつレジストの塗布を行う塗布処理ユニットSC1、SC2(スピンコータ)と、露光後の基板Wの現像処理を行う現像処理ユニットSD1、SD2(スピンデベロッパ)とが設けられており、塗布処理ユニットSC1、SC2の間に基板Wに純水等の洗浄液を供給して基板Wを回転洗浄する洗浄処理ユニットSS(スピンスクラバ)が配置されている。さらに、これらの液処理ユニットの上側には、図示しない露光後ベーク処理部(PEB)、クールプレート部、ホットプレート部等の熱処理を行う複数の熱処理ユニットが配置されている。
【0026】
そして、ユニット配置部MPの中央部には搬送ロボットTR2が設けられており、当該搬送ロボットTR2が基板Wを液処理ユニットや熱処理ユニットなどの処理ユニット間で順次に搬送することによって基板Wに対する所定の処理を施すことができる。また、搬送ロボットTR2は、露光前の基板WをインターフェイスIFの受け渡し部21に搬送するとともに、露光部EXPにおける露光処理が終了した基板を受け渡し部21から受け取り、露光後の処理を行うべく所定の処理ユニットに対して搬送する。
【0027】
インターフェイスIFは、ユニット配置部MPから露光前の基板Wを受け渡し部21において受け取って露光部EXP側に渡すとともに、露光後の基板Wを露光部EXPから受け取ってユニット配置部MP側に渡す機能を有する。インターフェイスIFには、図3に示すように、上述した受け渡し部21と2台の搬送ロボットTR3,TR4とバッファカセット22と搬入ロボット23と搬出ロボット24とカセット26a,26bをセットしておくための2個のカセット台27a,27bとが設けられている。
【0028】
搬送ロボットTR3は、受け渡し部21に対する基板Wの載置/取り出しと、バッファカセット22の任意の収納棚に対して基板Wの収納/取り出しを行うものである。
【0029】
バッファカセット22は、受け渡し部21の下方の搬送ロボットTR3とTR4との間に配置されており、搬送ロボットTR3に対向する側(+Y方向側)と搬送ロボットTR4に対向する側(−Y方向側)とが開口している。このため搬送ロボットTR3とTR4とは、いずれもバッファカセット22に収納された基板Wに対してアクセスすることができ、搬送ロボットTR3とTR4との間における基板Wの受け渡しは、当該バッファカセット22を介して行われる。
【0030】
搬送ロボットTR4は、バッファカセット22の任意の収納棚に対する基板Wの収納/取り出し、搬入ロボット23への基板Wの載置、搬出ロボット24からの基板Wの取り出し、カセット26a,26bに対する基板Wの収納/取り出しなどを行うものである。
【0031】
カセット26a,26bは試験的に露光処理を行いたい場合や露光処理前後にユニット配置部MPで行われる以外の特殊な処理を行いたい場合などに、そのような基板を収納するカセットである。
【0032】
搬入ロボット23は露光部EXP内の搬入部4aに対して露光対象の基板Wを搬入するロボットであり、また、搬出ロボット24は露光部EXP内の搬出部4bから露光処理の終了した基板Wを搬出するロボットである。
【0033】
ここで、搬送ロボットTR4は、Y軸方向に沿って移動可能であるとともに、Z軸に沿って伸縮昇降が可能なように構成されている。また、基板Wを保持するアームを有しており、このアームを屈伸動作させることにより、基板Wを直線的に搬送することができるように構成されている。さらに、搬送ロボットTR4はアームをバッファカセット22、カセット26a,26b、搬入ロボット23および搬出ロボット24に対向させるようにX−Y平面内において回転可能なように構成されている。
【0034】
なお、カセット台27a,27bとは搬送ロボットTR4のY軸上の軌道内に設けられているため、搬送ロボットTR4が搬入ロボット23若しくは搬出ロボット24に対してアクセスするためには、搬送ロボットTR4の高さ寸法を小さくするために−Z方向に収縮させることが必要である。すなわち、搬送ロボットTR4に関しては、Y軸に沿った移動を行う際に、カセット台27a,27bが干渉物となる。従って、搬送ロボットTR4に関しては、このような干渉物となるカセット台27a,27bを回避しつつ、かつ、露光後の基板Wを効率よく搬送することが必要となるが、そのための搬送ロボットTR4の動作制御については後述する。
【0035】
このようなインターフェイスIFにおいて露光対象の基板Wを露光部EXPに搬送する際には、受け渡し部21、搬送ロボットTR3、バッファカセット22、搬送ロボットTR4、搬入ロボット23という順序で通常行われる。また、露光部EXPにおける露光処理が終了した基板Wは、搬出ロボット24、搬送ロボットTR4、バッファカセット22、搬送ロボットTR3、受け渡し部21という順序で通常搬送される。以上のように、インターフェイスIFは、ユニット配置部MPとの関係において、また、露光部EXPとの関係において基板搬入搬出装置として機能する。
【0036】
このように構成された基板処理装置100においては、▲1▼搬送ロボットTR1〜TR4、搬入ロボット23および搬出ロボット24を含む搬送ロボット群と、▲2▼これらの搬送ロボット群を制御する各制御系、とによって全体の搬送システムが構成されている。これらのうち、基板Wの搬送の際に干渉物の回避動作が必要となるのは、基板搬入搬出装置として機能するインデクサIDとインターフェイスIFとにおける搬送ロボットTR1およびTR4の2台であり、これらの搬送ロボットTR1,TR4の制御がこの発明の主たる特徴に関係する。このため、以下では、この搬送システムのうち、搬送ロボットTR1、TR4、およびそれらの制御系に関連する部分を中心にして説明する。
【0037】
そこでまず、インデクサIDに設けられた搬送ロボットTR1およびインターフェイスIFに設けられた搬送ロボットTR4について説明する。図4は、インデクサIDにおける搬送ロボットTR1の概要およびインターフェイスIFにおける搬送ロボットTR4の概要を示す斜視図である。なお、搬送ロボットTR1およびTR4は同様の構成である。図4に示すように、搬送ロボットTR1,TR4は、雄ねじ77,ガイドレール76等からなるY軸方向の駆動機構であるY軸駆動部によって±Y方向に移動することが可能となっている。
【0038】
また、基台74に設けられたZ軸方向の駆動機構である図示しない伸縮昇降機構により、±Z方向に昇降可能になっている。この伸縮昇降機構は、いわゆるテレスコピック型の伸縮機構であり、カバー71aがカバー71bを収納し、カバー71bがカバー71cを収納するように構成されている。
【0039】
そして、搬送ロボットTR1,TR4を下降させる際には、カバー71cの内部側に設けられた図示しないサーボモータなどを所定方向に駆動させることにより、各カバー71b〜71cが順次に収納されていくようになり、その結果、搬送ロボットTR1,TR4は収縮しつつ下降を行う。
【0040】
逆に、搬送ロボットTR1,TR4を上昇させる際には、収納した状態の各カバー71b〜71cが順次に引き出されるような構成となっている。すなわち、サーボモータなどを上記とは逆の方向に駆動させることにより、各カバー71b〜71cが順次にカバー71a〜71bから引き出されるようになり、その結果、搬送ロボットTR1,TR4は伸長しつつ上昇を行う。
【0041】
搬送ロボットTR1,TR4は、アーム75が設けられたステージ78を含むそれより上部側がステージ78内部に設けられた回転駆動機構(サーボモータなどによって構成される)により鉛直方向(Z方向)の回転軸θを中心として回転することが可能なように実現されている。
【0042】
さらに、アーム75は、屈伸動作を行うことによって基板Wの姿勢を保ったまま直線的に基板Wを搬送することが可能な構成となっている。なお、アーム75が屈伸動作を行うのは、搬送の際の収納、取り出し、受け渡し又は載置の対象となるキャリアCAや受け渡し位置11又はバッファカセット22などに対してアーム75が対向する位置に位置したときのみであるので、アーム75の屈伸動作に伴って搬送ロボットTR1,TR4の干渉は生じない。
【0043】
以上のように搬送ロボットTR1,TR4のそれぞれは構成されており、インデクサID又はインターフェイスIFの基板搬入搬出装置としての搬送ロボットTR1,TR4の機能を有効に果たすよう実現されている。
【0044】
次に、図5は、上記のような構成の搬送ロボットTR1,TR4のそれぞれの動作制御を行うための制御系を示すブロック図である。なお、図5に示す制御系は、搬送ロボットTR1,TR4のそれぞれに対して個別に設けられるものである。
【0045】
図5に示すように、搬送ロボットTR1の動作の統括的な制御を行うためにロボット制御部30が設けられており、ロボット制御部30にはY軸駆動制御部31とZ軸駆動制御部34とθ軸駆動制御部37とが接続されている。なお、図5においては、搬送ロボットTR1のアーム75に関する駆動の制御系については図示を省略している。
【0046】
そして、Y軸駆動制御部31はY軸に沿って搬送ロボットTR1を移動させるためにサーボモータ32に対して駆動指令を与える。この結果、サーボモータ32が動作することにより、搬送ロボットTR1はY軸に沿って移動する。また、サーボモータ32による搬送ロボットTR1の動作量はエンコーダ33によって検出されるように構成されており、エンコーダ33によって検出された搬送ロボットTR1のY軸上の位置はY軸駆動制御部31にフィードバックされるように構成されている。すなわち、Y軸駆動制御部31は、搬送ロボットTR1の位置を検出しつつサーボモータ32を駆動することにより、ロボット制御部30からのY軸についての駆動制御信号に応じて搬送ロボットTR1をY軸に沿って移動させるように構成されている。
【0047】
また、Z軸駆動制御部34は、Z軸に沿って搬送ロボットTR1を昇降させるためにサーボモータ35に対して駆動指令を与える。この結果、サーボモータ35が動作することにより、搬送ロボットTR1はZ軸に沿って昇降動作を行う。また、サーボモータ35による搬送ロボットTR1の昇降量はエンコーダ36によって検出されるように構成されており、エンコーダ36によって検出された搬送ロボットTR1のZ軸上の位置はZ軸駆動制御部34にフィードバックされるように構成されている。この場合も、Z軸駆動制御部34は、搬送ロボットTR1の位置を検出しつつサーボモータ35を駆動することにより、ロボット制御部30からのZ軸についての駆動制御信号に応じて搬送ロボットTR1をZ軸に沿って昇降移動させるように構成されている。
【0048】
さらに、θ軸駆動制御部37は、回転軸θを中心に搬送ロボットTR1のステージ78より上部側部分を回転させるためのサーボモータ38に対して駆動指令を与える。この結果、サーボモータ38が動作し、搬送ロボットTR1は回転軸θを中心に回転動作を行う。また、サーボモータ38による搬送ロボットTR1の回転量はエンコーダ39によって検出されるように構成されており、エンコーダ39によって検出された搬送ロボットTR1の回転軸θ周りについての回転角はθ軸駆動制御部37にフィードバックされるように構成されている。この場合も、θ軸駆動制御部37は、搬送ロボットTR1のθ軸についての位置(回転角、すなわちアーム75の向き)を検出しつつサーボモータ38を駆動することにより、ロボット制御部30からのθ軸についての駆動制御信号に応じて搬送ロボットTR1をθ軸を中心に回転動作させるように構成されている。
【0049】
ここで、ロボット制御部30のさらに上位には、基板処理装置100全体の統括的な制御を行う図示しないコントローラが存在し、当該コントローラがロボット制御部30に対して搬送対象となる基板Wが存在する位置とその基板Wを搬送する搬送先の指示を行う。
【0050】
なお、搬送ロボットTR4についても上記と同様の制御系となっている。
【0051】
このような制御系によって搬送ロボットTR1,TR4は動作制御が行われるため、インデクサID又はインターフェイスIFにおいて干渉物を回避する動作も、この制御系による。以下においては、具体的に干渉物を回避する際の動作に関する実施形態について説明する。
【0052】
図6は、この実施の形態における搬送ロボットTR1又はTR4の干渉物回避動作の原理を示す図である。
【0053】
まず、搬送ロボットTR4について考える。搬送ロボットTR4については図3からも明らかなようにY軸上の位置とZ軸上の位置との関係により動作の際の干渉の有無が判定される。
【0054】
そこでまず、搬送ロボットTR4のYZθの3自由度のうち、2つの自由度YZに対応してY軸とZ軸の2つの直交軸で規定される仮想的な可動空間(自由度空間)SPを、図6に示すように定義する。この可動空間SPは、搬送ロボットTR4のそれぞれの自由度YZθにおける可動範囲を定義した3次元直交座標空間のうち、干渉の問題を考慮しなければいけない2つの自由度YZについての部分空間となっている。そして、この可動空間SP内の任意の点が、搬送ロボットTR4のYZ自由度の組のひとつの状態を表現している。
【0055】
搬送ロボットTR4がYZθの3自由度を持つことに対応して、3つの自由度YZθについての3次元空間で以下の判定を行ってもよいが、この搬送ロボットTR4においてはθ軸の干渉の問題はないために、2つの自由度YZに対応して定義した可動空間SPだけで判定した結果と同じになる(図6および後述する図7において縦軸をθ軸をカッコ書きで付記しているのは他方の搬送ロボットTR1についてのものであり、搬送ロボットTR4についての縦軸はZ軸である)。そこで、以下では、この2つの自由度YZについての可動空間SPに基づいて議論を進めることにする。
【0056】
まず、このような可動空間SP内においては、干渉物のYZ平面上の位置によって干渉領域(図の斜線部分)と非干渉領域とが定まる。
【0057】
このため、予め干渉領域の頂点(非干渉領域に対して突出する点)である領域臨界点H1,H2,H3,H4のYZ平面における座標値を設定しておく。この領域臨界点H1〜H4の座標値の設定に伴い、領域臨界点H1〜H4のY軸座標値により、可動空間内を複数のゾーンA,B,C,D,Eに分割する。ゾーンAとBとの境界は領域臨界点H1のY軸座標値であるY=y1であり、ゾーンBとCとの境界は領域臨界点H2のY軸座標値であるY=y2である。また、以下のゾーンCとDとの境界およびゾーンDとEとの境界についても同様である。
【0058】
そして、搬送ロボットTR4の現在位置(この現在位置が出発位置となる)がP1の位置であるとし、移動先である目標位置がP2の位置であるとする。ロボット制御部30は、現在位置P1から目標位置P2までを図6の一点鎖線で示すように直線で結び、仮想的な直線軌跡L1を求める。この直線軌跡L1は、YとZとについての1次方程式で表現される。
【0059】
そして、ロボット制御部30は、その1次式を1次方程式としてのYの値に「Y=y1」と「Y=y2」とを代入して演算を行うことにより、ゾーンA,B間の境界とゾーンB,C間の境界とのそれぞれにおけるZ軸上の値を取得する。この結果、図6に示すように仮想的な直線軌跡L1と各ゾーン間の境界線との交点M1,M2の座標値を取得することができる。
【0060】
そして、干渉領域の領域臨界点H1のZ軸の座標値と直線軌跡L1上の点M1のZ軸の座標値との比較および領域臨界点H2のZ軸の座標値と直線軌跡L1上の点M2のZ軸の座標値との比較を行うことにより、搬送ロボットTR4が直線的に目標位置P2に移動した場合には干渉領域を通過するか否かの判定を行うことができる。
【0061】
すなわち、
▲1▼「(点M1のZ軸の座標値)>(領域臨界点H1のZ軸の座標値)」又は、
▲2▼「(点M2のZ軸の座標値)>(領域臨界点H2のZ軸の座標値)」
であれば、仮想的な直線軌跡L1は図示のように干渉領域(斜線部分)を通ることとなる。
【0062】
一方、
▲3▼「(点M1のZ軸の座標値)≦(領域臨界点H1のZ軸の座標値)」かつ、
▲4▼「(点M2のZ軸の座標値)≦(領域臨界点H2のZ軸の座標値)」
であれば、仮想的な直線軌跡L1は図示のように干渉領域(斜線部分)を通ることなく、移動可能である。このように座標値の大小比較によって判定を行うようにすれば、効率よく干渉領域を通過するか否かの判定を行うことができる。
【0063】
なお、この比較を行う際には、現在位置P1の属するゾーンと目標位置P2の属するゾーンとを認識し、これらのゾーン間に位置する領域臨界点についてのみZ軸の座標値比較を行えばよい。換言すれば、可動空間SPをゾーン分割することにより、現在位置P1の属するゾーンと目標位置P2の属するゾーンとの間に位置しない領域臨界点については比較対象外とすることができるので、効率的に干渉領域を通過するか否かの判定を行うことが可能となっている。
【0064】
図6においては、現在位置P1と目標位置P2とを結ぶ仮想的な直線軌跡L1が干渉領域を通過するため、この干渉領域を回避するために領域臨界点H1,H2を経由する搬送軌跡SLを設定する。すなわち、図6に示す搬送軌跡SLは、現在位置P1から領域臨界点H1とを結び、領域臨界点H1とH2とを結ぶとともに、領域臨界点H2と目標位置P2とを結ぶことにより導かれる。
【0065】
従って、搬送ロボットTR4は領域臨界点H1,H2を経由して現在位置P1から目標位置P2に移動するように動作制御が行われる。ロボット制御部30がY軸駆動制御部31とZ軸駆動制御部34とに対して略同時に動作制御信号を送出することにより、Y軸駆動制御部31とZ軸駆動制御部34とは独立して各軸について指定された位置に搬送ロボットTR4を移動させる。このため、ロボット制御部30は、現在位置P1に位置するときに可動空間SP内の領域臨界点H1に移動させるようY軸駆動制御部31とZ軸駆動制御部34とに対して動作制御信号を送出し、次に、領域臨界点H2に移動させるようY軸駆動制御部31とZ軸駆動制御部34とに対して動作制御信号を送出する。そして、最後に目標位置P2に移動させるようY軸駆動制御部31とZ軸駆動制御部34とに対して動作制御信号を送出する。このようにすれば、Y軸とZ軸について同時駆動制御を行うことができ、図6に示したような搬送軌跡SLに沿って搬送ロボットTR4を移動させることができる。
【0066】
ここで、搬送ロボットTR4が領域臨界点H1,H2を経由した移動を行うということは、干渉領域と非干渉領域との境界部分を通過することとなる。換言すれば、干渉領域内の干渉物と干渉せず、かつ、移動距離が最短となる搬送軌跡に沿って移動することとなる。このため、搬送ロボットTR4は、移動時間と移動距離との双方において最短で効率よく基板を搬送することが可能となる。
【0067】
次に、図7は、図6と同様の干渉領域を有する可動空間SPにおいて、搬送ロボットTR4の出発位置がP1の位置であるとし、移動先である目標位置がP3の位置であるとした場合を示している。この場合は、現在位置P1はゾーンAに属し、目標位置P3がゾーンEに属しているため、ゾーンAとEとの間に位置する領域臨界点H1〜H4と点M1〜M4を比較することとなる。そして、上記と同様の比較判定が行われると、図7に示す場合は、現在位置P1と目標位置P3とを結ぶ仮想的な直線軌跡は干渉領域を通過しないという判定結果が得られる。このため、図7においては、現在位置P1と目標位置P2とを結ぶ直線軌跡が搬送軌跡SLとして設定される。そして、搬送ロボットTR4は現在位置P1から目標位置P3まで上述したようなY軸とZ軸との同時駆動制御が行われることによって直線的に移動するように動作制御が行われる。
【0068】
このように本実施形態においては、基板搬送の際の出発位置と目標位置とを結ぶ仮想的な直線軌跡を求め、直線軌跡が搬送ロボットの可動空間SP内に予め設定された干渉領域を通過するか否かを判定し、干渉領域を通過すると判定された場合には、干渉領域を迂回するように搬送軌跡を設定し、干渉領域を通過しないと判定された場合には、仮想的な直線軌跡を搬送軌跡として設定するように構成されている。
【0069】
なお、上記においては主として搬送ロボットTR4について説明したが、搬送ロボットTR1が干渉物となる内壁12を回避する際にも同様の原理が適用可能である。すなわち、搬送ロボットTR1についてはY軸上の位置と回転軸θについての回転角との関係により動作の際の干渉の有無が判定される。このため、図6および図7において可動空間SPを示す縦軸をθ軸についての搬送ロボットTR1の回転角に設定すれば上記と同様の理論が適用可能であることは明らかである。
【0070】
以上は、この実施の形態における搬送ロボットTR1又はTR4の干渉物回避動作の原理であるが、実際に上記原理をインデクサIDやインターフェイスIFの搬送ロボットTR1,TR4に適用しようとすると、領域臨界点H1,H2を経由しようとするときに搬送ロボットTR1,TR4は干渉物に接触する可能性がある。すなわち、上記原理においては、搬送ロボットの各位置を点として考えたが、実際には搬送ロボットはある一定の大きさを有するため、座標値に基づいた演算を行うと搬送ロボット自体の大きさが反映されないので実際の動作の際には干渉する可能性があるのである。
【0071】
このため、上記原理を実際の装置に適用する際には、以下のように搬送経由点を設定することが好ましい。図8は、搬送軌跡を設定する際の搬送経由点を説明する図である。例えば、インターフェイスIFの搬送ロボットTR4について考えると、領域臨界点H1,H2は、カセット台27a,27bの左下の点となる。この場合は、図8のように領域臨界点H1に対応する搬送経由点としてK1を設定し、領域臨界点H2に対応する搬送経由点としてK2を設定する。すなわち、搬送経由点K1,K2のそれぞれを搬送ロボットTR4の大きさを考慮して領域臨界点H1,H2の近傍の非干渉領域中に設定する。より具体的には、搬送ロボットのうち干渉が問題となる機構部分の最大幅Dだけ、領域臨界点H1,H2から非干渉領域寄りに搬送経由点K1,K2を設定する。このようにすれば、干渉領域に搬送ロボットTR4が干渉する場合であって迂回経路となる搬送軌跡を搬送経由点K1,K2を経由して設定すれば、搬送ロボットTR4が干渉物に干渉することを回避することができる。
【0072】
また、予め領域臨界点H1,H2を設定する際に、上記の搬送経由点K1,K2を領域臨界点として設定しておくことも考えられる。すなわち、領域臨界点として設定する座標値をカセット台27a,27bなどの実際の干渉物上の座標値とせず、若干の余裕(搬送ロボットが干渉しない程度の余裕、具体的には上記幅D以上)を含ませた座標値を設定しておけばよい。このようにすれば、上記のように搬送経由点を別途設定しておく必要はなくなるが、概念的には同一の形態であるといえる。
【0073】
なお、インデクサIDの搬送ロボットTR1についても同様であることは言うまでもない。
【0074】
次に、上述した制御系によって搬送ロボットTR1,TR4を動作制御する手順について説明する。図9は、この実施形態における搬送ロボットTR1,TR4の動作制御手順を示すフローチャートである。
【0075】
まず、ステップS1において、干渉領域と非干渉領域との領域臨界点の座標値を設定する。なお、領域臨界点の座標値は、内壁12やカセット台27a,27bの設計上の位置に基づいて求めることができる。また、領域臨界点の座標値は装置組立時などに予めメモリなどの記憶部に格納しておくようにしてもよい。
【0076】
そして、ロボット制御部30は、ステップS1で設定された領域臨界点の座標値に基づいて搬送ロボットTR1,TR4の可動空間をブロック分割する(ステップS2)。
【0077】
ステップS3では、ロボット制御部30は搬送ロボットTR1若しくはTR4の現在位置を座標値で取得する。ここで取得した現在位置の座標値が上記の搬送ロボットTR1若しくはTR4の現在位置P1となる。
【0078】
ステップS4では、ステップS3で取得した現在位置が干渉領域内に位置するか否かを判定し、「YES」であればステップS14に進み、「NO」であればステップS5に進む。搬送ロボットTR1,TR4の現在位置が干渉領域内にあるということは、既に搬送ロボットTR1,TR4は干渉物に干渉していることとなり、正常な状態ではないのでステップS14でエラー処理が行われる。
【0079】
そして、ステップS5では、ロボット制御部30は、移動先である目標位置をロボット制御部30のさらに上位に位置するコントローラから取得する。
【0080】
ステップS6では、ステップS5で取得した目標位置が干渉領域内に位置するか否かを判定し、「YES」であればステップS14に進み、「NO」であればステップS7に進む。搬送ロボットTR1,TR4の目標位置、すなわち移動先となる座標値が干渉領域内にあるということは、その目標位置に搬送ロボットTR1,TR4を移動させると干渉物に干渉することとなり、正常な状態ではないのでステップS14でエラー処理が行われる。
【0081】
ステップS6で「NO」と判断された場合は、現在位置と目標位置との双方が干渉領域内にないということになり、上記原理に基づいた搬送軌跡の設定を行うことができる。ステップS7以降の処理では、上記原理に基づいた搬送軌跡の設定が行われる。
【0082】
ステップS7においては、ロボット制御部30は現在位置と目標位置との2点から搬送ロボットTR1,TR4が現在位置から目標位置へ直線的に移動すると仮定した場合の仮想的な直線軌跡を求める。この直線軌跡は、干渉物の設定が行われた可動空間SP内において1次方程式で表現される。なお、このときロボット制御部30は直線軌跡導出手段として機能することとなる。
【0083】
そして、ステップS8において、ロボット制御部30は、現在位置と目標位置とが属するゾーンを特定し、特定されたゾーンによって干渉領域を通過するか否かを判定する際の検査対象とする領域臨界点を特定する。具体的には、現在位置が属するゾーンと目標位置が属するゾーンとの間に位置する全ての領域臨界点を抽出することにより、検査対象の領域臨界点が得られる。
【0084】
ステップS9でロボット制御部30は判定手段として機能し、ステップS8で特定された領域臨界点の所定の座標値を1次方程式で表現される直線軌跡にそれぞれ代入して演算を行うことにより、搬送ロボットTR1,TR4が仮想的な直線軌跡に沿って移動した場合に干渉領域を通過するか否かを判定する。ここでの判定は、上記原理で説明したように、領域臨界点の座標値と直線軌跡上の座標値との大小比較によって行われる。
【0085】
そして、ステップS10は、ステップS9での判定結果が干渉領域を通過する場合に次の処理をステップS11とする一方、通過しない場合に次の処理をステップS12とする。
【0086】
ステップS11に進んだ場合、すなわち、直線軌跡が干渉領域を通過する場合には、ロボット制御部30は干渉領域を回避させるべく、領域臨界点若しくは搬送経由点を経由した搬送軌跡を設定する。ここで、領域臨界点の座標値に搬送ロボットが干渉しない程度の余裕が含まれている場合は、搬送軌跡は領域臨界点を通過するものであってよいが、余裕が含まれていない場合は、別途設定された搬送経由点を経由した搬送軌跡を設定することとなる。
【0087】
一方、ステップS12に進んだ場合、すなわち、直線軌跡が干渉領域を通過しない場合には、ロボット制御部30は現在位置と目標位置とを結ぶ仮想的な直線軌跡を実際の搬送軌跡として設定する。
【0088】
なお、ステップS10〜S12においてロボット制御部30は搬送軌跡設定手段として機能する。
【0089】
そして、ステップS13において、ロボット制御部30はステップS11若しくはS12において設定した搬送軌跡に沿って搬送ロボットTR1,TR4が移動するように、Y軸駆動制御部31,Z軸駆動制御部34,θ軸駆動制御部37のそれぞれに対して駆動制御信号を送出する。すなわち、ロボット制御部30はY軸とθ軸若しくはY軸とZ軸とを同時駆動制御することによって搬送軌跡に沿って搬送ロボットTR1,TR4を最短で目標位置に移動させる。なお、このときロボット制御部30は、搬送ロボットTR1,TR4の動作を制御する制御手段として機能する。
【0090】
以上の処理手順を行うことにより、搬送ロボットTR1,TR4は、現在位置と目標位置とを結ぶ直線軌跡上に干渉物がある場合はその干渉物を迂回しつつ、かつ、最短で目標位置に移動することとなる。
【0091】
ここで、搬送ロボットTR1,TR4が干渉領域を回避するために領域臨界点若しくは搬送経由点を経由した移動を行う際の領域臨界点若しくは搬送経由点における各軸の動作速度について説明する。なお、搬送ロボットTR1,TR4は図6に示したような搬送軌跡SLに沿って移動させる場合を例示する。
【0092】
図10および図11は、搬送ロボットが現在位置から目標位置まで移動する際の各軸の動作速度を示す図である。なお、図10および図11はY軸とZ軸又はY軸とθ軸の速度と時間との関係を示している。従って、各図において移動距離は面積によって表されている。
【0093】
まず、図10に示すような速度制御を行う場合は、Y軸とZ軸又はY軸とθ軸については領域臨界点又は搬送経由点を搬送ロボットが通過する際に速度を一旦0にしてY軸とZ軸又はY軸とθ軸について停止を行っている。このような速度制御を行ったとしても搬送ロボットは領域臨界点若しくは搬送経由点を経由した最短経路で移動することができるので、従来に比べて搬送時間を短くすることができることは明らかである。
【0094】
次に、図11に示すような速度制御を行う場合は、Y軸とZ軸又はY軸とθ軸とは、領域臨界点又は搬送経由点を通過する際に速度を0にするのではなく、次の経由点若しくは目標位置に向かう際の速度となるような速度変化を生じさせている。従って、この場合は、各軸について経由点を通過する際に完全な一旦停止が生じることはないので、図10の場合に比べてさらに効率のよい搬送動作を行うことができる。但し、この場合は、搬送ロボットTR1,TR4は領域臨界点又は搬送経由点から干渉物側にズレた位置を通過することとなるため、領域臨界点又は搬送経由点の座標値設定の際にはこのズレ量を考慮して若干の余裕を含ませるようにすることが好ましい。
【0095】
以上説明したように、この実施形態においては、インデクサIDやインターフェイスIF内に設けられた搬送ロボットTR1やTR4の動作を制御するロボット制御部30が、現在位置から目標位置までを結ぶ仮想的な直線軌跡を求め、この直線軌跡が可動空間SP内に予め設定された干渉領域を通過するか否かを判定し、干渉領域を通過すると判定された場合には、干渉領域を迂回する搬送軌跡を設定する一方、干渉領域を通過しないと判定された場合には、仮想的な直線軌跡を搬送軌跡として設定する。そして、設定された搬送軌跡に沿って複数の駆動軸を同時駆動制御することにより搬送ロボットTR1やTR4の動作を制御するように構成されているため、従来に比べて短時間で干渉物を回避しつつ基板Wの搬送を行うことができる。従って、インデクサIDやインターフェイスIFにおいて、搬送ロボットTR1,TR4の移動時間を短くすることができる。また、特にインターフェイスIFにおいては上述したような動作制御を行うことにより、露光後の基板Wを露光後ベーク処理部(PEB)に搬送する際の時間を短くすることができる。
【0096】
なお、上記内容は、この発明を実施する際の一例であるため、これに限定されるものではない。
【0097】
例えば、上記説明においては、インデクサIDにおける搬送ロボットTR1とインターフェイスIFにおける搬送ロボットTR4についてのみ説明を行ったが、基板処理装置100内に設けられた他の搬送ロボットにも同様に干渉物に干渉する可能性がある場合は、その干渉物を回避しつつ効率よく基板Wを搬送するために上記の動作制御を適用することが可能である。
【0098】
また、上記説明においては、インデクサIDの搬送ロボットTR1についてはY軸とθ軸との可動空間について考え、また、インターフェイスIFの搬送ロボットTR4についてはY軸とZ軸との可動空間SPについて考えてることにより搬送軌跡を設定するようにしたが可動空間SPとして考慮する際の軸は干渉物を回避する際に必要となるものを採用すればよいことから上記内容に限定されるものではない。
【0099】
また、干渉物を回避する際に可動空間SPを立体的に捉える必要がある場合には、可動空間SPを立体的に定義する必要があるが、この場合であってもこの実施形態に示した原理を適用することができる。
【0100】
一般に、N自由度(Nは2以上の整数)を持つ搬送ロボットにつき、そのうちのM自由度(MはM≦Nを満たす2以上の整数)が干渉に関係する場合、可動空間としてはM次元空間が定義される。このとき、M個の自由度に対応する変数Xi〜XMのうちの特定の1つの自由度(それをXLとする。図6の場合はXL=Y)についての座標値によって、干渉領域を複数のゾーン(図6の場合はA〜E)に分割し、それらの分割境界上で直線軌跡(L1)と領域臨界点(H1、H2、…)との座標値をXi軸〜XM軸(ただしXL軸を除く)について比較することにより、上記の実施形態と同様の判定が可能になる。領域臨界点は、一般に、干渉領域の凸部の頂点や凹部の底点など、非干渉領域と非干渉領域との境界が折れ曲がったり、変曲している部分などにおいて設定される。
【0101】
また、図6,図7においては、各駆動軸のプラス方向のみを示したが、マイナス方向にも移動可能な場合は可動空間SPにマイナス方向の領域を含め、そのマイナス方向の領域にも干渉物が存在する場合は干渉領域を定義すればよいだけである。
【0102】
さらに、上記の搬送システムは、基板搬送の分野に限らず、一般産業用の搬送ロボットの動作制御にも適用することができる。すなわち、上述した干渉物を回避した搬送軌道に基づいて同時多軸駆動制御を行う技術を一般産業用の搬送ロボットの動作制御に適用することによって、一般産業用の搬送ロボットが基板以外の搬送対象物を搬送する際に、干渉物を回避しつつ効率的に搬送対象物の搬送を行うことが可能となる。
【0103】
【発明の効果】
以上説明したように、請求項1および請求項4に記載の発明によれば、搬送ロボットの複数の自由度についての可動範囲を座標空間として規定した可動空間において、搬送ロボットの出発位置に対応する第1の位置から目標位置に対応する第2の位置までを結ぶ仮想的な直線軌跡を求め、直線軌跡が可動空間内に予め設定された干渉領域を通過するか否かを判定し、干渉領域を通過すると判定された場合には、干渉領域を迂回する搬送軌跡を設定し、干渉領域を通過しないと判定された場合には、直線軌跡を搬送軌跡として設定した後、設定された搬送軌跡に沿って各自由度に対応する各駆動軸を同時駆動制御するため、時間的にも距離的にも最短で効率よく、干渉物を回避しつつ基板又は搬送対象物の搬送を行うことができる。
【0104】
さらに、請求項1および請求項4に記載の発明によれば、干渉領域を通過するか否かの判定は、可動空間における干渉領域の領域臨界点の座標値と直線軌跡上の座標値との比較を行うことによって行われるため、効率よく干渉領域を通過するか否かの判定を行うことができる。
【0105】
請求項2および請求項5に記載の発明によれば、領域臨界点の近傍の非干渉領域中に搬送経由点を設定し、直線軌跡が干渉領域を通過すると判定された場合には、搬送経由点を経由するように搬送軌跡を設定するため、搬送軌跡に沿って移動しても干渉が生じることはない。
【0106】
請求項3および請求項6に記載の発明によれば、搬送経由点において複数の駆動軸のそれぞれを停止させることなく同時駆動制御するため、さらに効率のよい搬送動作を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の一実施形態における基板処理装置を示す平面図である。
【図2】インデクサとユニット配置部との概略を示す平面図である。
【図3】インターフェイスのY−Z面における断面を露光部側から見た概略図である。
【図4】搬送ロボットの概要を示す斜視図である。
【図5】搬送ロボットの動作制御を行うための制御系を示すブロック図である。
【図6】搬送ロボットの干渉物回避動作の原理を示す図である。
【図7】図6と同様の可動空間において干渉が生じない場合を示す図である。
【図8】搬送軌跡を設定する際の搬送経由点を説明する図である。
【図9】この実施形態における搬送ロボットの動作制御手順を示すフローチャートである。
【図10】搬送ロボットが現在位置から目標位置まで移動する際の各軸の動作速度の一例を示す図である。
【図11】搬送ロボットが現在位置から目標位置まで移動する際の各軸の動作速度の一例を示す図である。
【図12】従来の装置における基板の搬送形態を示す図である。
【符号の説明】
12 内壁
26a,26b カセット
27a,27b カセット台
30 ロボット制御部
31 Y軸駆動制御部
34 Z軸駆動制御部
37 θ軸駆動制御部
32,35,38 サーボモータ
33,36,39 エンコーダ
100 基板処理装置
SP 可動空間
ID インデクサ
MP ユニット配置部
IF インターフェイス
EXP 露光部
TR1〜TR4 搬送ロボット
W 基板
Claims (6)
- 搬送ロボットを使用して基板を搬入搬出する基板搬入搬出装置であって、
(a) 前記搬送ロボットの複数の自由度についての可動範囲を座標空間として規定した可動空間において、前記搬送ロボットの出発位置に対応する第1の位置から目標位置に対応する第2の位置までを結ぶ仮想的な直線軌跡を求める直線軌跡導出手段と、
(b) 前記直線軌跡が前記可動空間内に予め設定された干渉領域を通過するか否かを判定する判定手段と、
(c) 前記判定手段において前記干渉領域を通過すると判定された場合には、前記干渉領域を迂回する搬送軌跡を設定し、前記干渉領域を通過しないと判定された場合には、前記直線軌跡を搬送軌跡として設定する搬送軌跡設定手段と、
(d) 前記搬送軌跡に沿って各自由度に対応する各駆動軸を同時駆動制御することにより前記搬送ロボットの動作を制御する制御手段と、
を備え、
前記判定手段は、
前記干渉領域の前記非干渉領域に対して突出する点である領域臨界点の座標値により前記可動空間を複数のゾーンに分割するゾーン分割手段と、
前記領域臨界点のうちで、前記第1の位置が属する第1のゾーンと前記第2の位置が属する第2のゾーンとの間に位置する領域臨界点を、検査対象領域臨界点として抽出する検査対象領域臨界点抽出手段と、
を備え、
前記判定手段は、前記検査対象領域臨界点の座標値と前記直線軌跡上の座標値との比較を行うことにより前記干渉領域を通過するか否かの判定を行うことを特徴とする基板搬入搬出装置。 - 請求項1に記載の基板搬入搬出装置において、
前記搬送軌跡設定手段は、
前記領域臨界点の近傍の非干渉領域中に搬送経由点を設定し、前記直線軌跡が前記干渉領域を通過すると判定された場合には、前記搬送経由点を経由するように前記搬送軌跡を設定することを特徴とする基板搬入搬出装置。 - 請求項2に記載の基板搬入搬出装置において、
前記制御手段は、
前記搬送経由点において前記複数の駆動軸のそれぞれを停止させることなく同時駆動制御することを特徴とする基板搬入搬出装置。 - 搬送ロボットを使用して所定の搬送対象物を搬送する搬送システムであって、
(a) 前記搬送ロボットの複数の自由度についての可動範囲を座標空間として規定した可動空間において、前記搬送ロボットの出発位置に対応する第1の位置から目標位置に対応する第2の位置までを結ぶ仮想的な直線軌跡を求める直線軌跡導出手段と、
(b) 前記直線軌跡が前記可動空間内に予め設定された干渉領域を通過するか否かを判定する判定手段と、
(c) 前記判定手段において前記干渉領域を通過すると判定された場合には、前記干渉領域を迂回する搬送軌跡を設定し、前記干渉領域を通過しないと判定された場合には、前記直線軌跡を搬送軌跡として設定する搬送軌跡設定手段と、
(d) 前記搬送軌跡に沿って各自由度に対応する各駆動軸を同時駆動制御することにより前記搬送ロボットの動作を制御する制御手段と、
を備え、
前記判定手段は、
前記干渉領域の前記非干渉領域に対して突出する点である領域臨界点の座標値により前 記可動空間を複数のゾーンに分割するゾーン分割手段と、
前記領域臨界点のうちで、前記第1の位置が属する第1のゾーンと前記第2の位置が属する第2のゾーンとの間に位置する領域臨界点を、検査対象領域臨界点として抽出する検査対象領域臨界点抽出手段と、
を備え、
前記判定手段は、前記検査対象領域臨界点の座標値と前記直線軌跡上の座標値との比較を行うことにより前記干渉領域を通過するか否かの判定を行うことを特徴とする搬送システム。 - 請求項4に記載の搬送システムにおいて、
前記搬送軌跡設定手段は、
前記領域臨界点の近傍の非干渉領域中に搬送経由点を設定し、前記直線軌跡が前記干渉領域を通過すると判定された場合には、前記搬送経由点を経由するように前記搬送軌跡を設定することを特徴とする搬送システム。 - 請求項5に記載の搬送システムにおいて、
前記制御手段は、
前記搬送経由点において前記複数の駆動軸のそれぞれを停止させることなく同時駆動制御することを特徴とする搬送システム。
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