KR102314422B1 - 기판처리시스템 및 그에 사용되는 카세트이송모듈 - Google Patents

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Abstract

본 발명은, 기판처리모듈, 기판교환모듈 및 기판이송모듈을 포함하는 기판처리시스템 및 그에 사용되는 카세트이송모듈에 관한 것이다.
본 발명은, 로딩위치(P1) 및 언로딩위치(P2)에 각각 설치되며, 카세트(30)에 대한 기판(10)의 도입 또는 배출을 위한 설정위치에 카세트(30)의 정렬 및 고정 후 상하이동에 의하여 카세트(30)에 상기 기판(10)이 도입 또는 배출되도록 하는 카세트핸들링부(500, 600)를 포함하며, 로딩위치(P1) 및 언로딩위치(P2)에 설치된 카세트핸들링부(500, 600)들 중 적어도 어느 하나는, 카세트(30)의 하부를 지지하는 하부지지부(520)와; 카세트(30)의 상부를 정렬 및 고정하는 상부지지부(510)와; 상부지지부(510) 및 하부지지부(520)에 의하여 지지된 카세트(30)를 상하로 이동시키는 카세트상하이동부를 포함하며, 상부지지부(510)는, 카세트(30)의 상측에 위치되는 상측지지부재(513)와; 상측지지부재(513)를 상하로 이동시키는 상측지지부재상하이동부(512)와; 상측지지부재(513)에 결합되어 카세트(30)의 상단부(31)의 상측 모서리 및 측면 중 적어도 하나를 가압하여 카세트(30)의 위치를 정렬하는 복수의 정렬부재(511)들을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리시스템의 카세트이송모듈을 개시한다.

Description

기판처리시스템 및 그에 사용되는 카세트이송모듈 {Substrate processing system, and cassette moving module}
본 발명은, 기판처리시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 트레이 상에 다수의 기판들을 안착시킨 후 기판처리를 수행하는 기판처리시스템 및 그에 사용되는 카세트이송모듈에 관한 것이다.
기판처리시스템은, 특허문헌 1 및 2와 같이, 밀폐된 처리공간에서 기판지지대에 안착된 기판의 표면을 증착, 식각하는 등 기판처리 공정을 수행하는 등 기판처리를 위한 기판처리모듈 등을 포함하는 시스템을 말한다.
기판처리시스템은, 특허문헌 2와 같이 처리대상인 기판의 종류, 기판처리의 종류 등에 따라서 다양한 구성이 가능하며, 기판을 로딩/언로딩하는 기판교환모듈과, 기판교환모듈로부터 기판을 전달받아 기판처리 등 소정의 공정을 수행하는 기판처리모듈과, 기판교환모듈과 기판처리모듈 사이에서 기판을 이송하는 이송로봇이 구비된 반송모듈 등을 포함하는 등 그 배치방식에 따라서 다양한 구성이 가능하다.
이때 기판처리의 대상인 기판은, 한 장씩 이송되는 경우가 일반적이지만 태양전지용 기판과 같이 소형 기판의 경우 공정효율을 고려하여 복수의 기판들이 트레이에 안착된 후 한 번에 이송될 수 있다.
또한 기판처리시스템은, 특허문헌 3과 같이 복수의 기판들이 로딩되는 트레이의 상측에 진공처리의 효율을 증대하기 위하여 다수개의 개구부가 형성된 커버부재를 복개한 후 진공처리를 수행할 수 있다.
상기 커버부재는, 공정가스 등을 분사하는 샤워헤드와는 달리 식각 등의 경우 식각에 의하여 발생하는 부유물들을 가두거나 플라즈마가 기판에 직접 타격하는 것을 방지하는 등 여러 가지 목적으로 사용될 수 있다.
한편 상기와 같은 기판처리시스템에 있어서, 기판의 로딩, 기판처리를 마친 기판의 언로딩까지 소요되는 시간으로 정의되는 TACT(Turn Around Cycle Time)는 기판처리시스템의 성능을 결정하는 중요한 요소 중 하나이다.
따라서 기판처리시스템은, 트레이에서의 기판교환(로딩/언로딩)시 기판의 원활한 도입 및 배출을 위하여 다수의 기판들이 적재되는 카세트를 로딩위치 및 언로딩위치에 순차적으로 위치시키켜 로딩위치 및 언로딩위치에 위치된 카세트 및 기판교환모듈 사이에서의 기판의 도입 및 배출을 수행하는 카세트이송모듈을 포함함이 일반적이다.
그러나 종래의 카세트이송모듈은, 카세트 이송을 위한 이송벨트를 사용하여 카세트를 로딩위치 및 언로딩위치로 위치시킬 때 카세트의 위치오차로 인하여 기판의 도입 및 배출과정이 원활하지 못하며, 경우에 따라서는 기판이 파손되는 문제점이 있다.
따라서 트레이에 안착된 상태로 기판처리를 수행하는 기판처리시스템에서 기판교환모듈 및 카세트 사이의 기판교환의 원활한 수행을 위하여 로딩위치 및 언로딩위치에서 카세트를 정확하게 위치시킬 필요가 있다.
(특허문헌 1) KR10-2013-0074145 A
(특허문헌 2) KR10-1624982 B
(특허문헌 3) KR10-2012-0047414 A
본 발명의 목적은 상기와 같은 문제점 및 필요성을 인식하여, 기판처리시스템의 기판교환모듈 및 카세트 사이의 기판교환의 원활한 수행을 위하여 기판의 로딩위치 및 언로딩위치에서 카세트를 정확하게 위치시킬 수 있는 기판처리시스템 및 그에 사용되는 카세트이송모듈을 제공하는데 있다
본 발명은 상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여 창출된 것으로서, 본 발명은, 다수의 기판(10)들이 트레이(20)에 안착된 상태로 기판처리를 수행하는 하나 이상의 기판처리모듈과; 상기 기판처리모듈에서 기판처리된 다수의 기판(10)들을 트레이(20)로부터 언로딩하는 동시에 기판처리될 다수의 기판(10)들을 트레이(20)에 로딩하는 기판교환모듈(300)과; 로딩위치(P1)에 위치된 카세트(30)로부터 기판처리될 다수의 기판(10)들이 인출되며, 기판처리된 다수의 기판(10)들이 언로딩위치(P2)에 위치된 카세트(30)에 적재되도록 카세트(30)를 상기 로딩위치(P1) 및 상기 언로딩위치(P2)로 각각 위치시키는 카세트이송모듈(400)을 포함하는 기판처리시스템의 카세트이송모듈(400)로서, 상기 로딩위치(P1) 및 상기 언로딩위치(P2)에 각각 설치되며, 상기 카세트(30)에 대한 상기 기판(10)의 도입 또는 배출을 위한 설정위치에 상기 카세트(30)의 정렬 및 고정 후 상하이동에 의하여 상기 카세트(30)에 상기 기판(10)이 도입 또는 배출되도록 하는 카세트핸들링부(500, 600)를 포함하며; 상기 로딩위치(P1) 및 상기 언로딩위치(P2)에 설치된 상기 카세트핸들링부(500, 600)들 중 적어도 어느 하나는, 상기 카세트(30)의 하부를 지지하는 하부지지부(520)와; 상기 카세트(30)의 상부를 정렬 및 고정하는 상부지지부(510)와; 상기 상부지지부(510) 및 상기 하부지지부(520)에 의하여 지지된 카세트(30)를 상하로 이동시키는 카세트상하이동부를 포함하며, 상기 상부지지부(510)는, 상기 카세트(30)의 상측에 위치되는 상측지지부재(513)와; 상기 상측지지부재(513)를 상하로 이동시키는 상측지지부재상하이동부(512)와; 상기 상측지지부재(513)에 결합되어 카세트(30)의 상단부(31)의 상측 모서리 및 측면 중 적어도 하나를 가압하여 상기 카세트(30)의 위치를 정렬하는 복수의 정렬부재(511)들을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리시스템의 카세트이송모듈을 개시한다.
상기 카세트(30)의 상단부(31)의 평면형상은, 상측에서 보았을 때 직사각형의 형상을 가지며, 기판(10)의 도입 및 배출 측의 방향을 카세트(30)의 전방으로 하였을 때, 상기 복수의 정렬부재(511)는, 상기 카세트(30)의 전방, 후방 및 한 쌍의 측방 중 적어도 일부에 설치될 수 있다.
상기 복수의 정렬부재(511)들 중 상기 카세트(30)의 전방을 제외한 나머지 정렬부재들은, 탄성재질을 가질 수 있다.
탄성재질을 가지는 상기 정렬부재(511)는, 상기 카세트(30)의 외측면과 평행하게 설치되는 수평방향 중심축을 가지는 원기둥형상을 가질 수 있다.
상기 원기둥형상의 정렬부재(511)는, 상기 중심축에 위치된 회전축을 중심으로 회전 가능하도록 설치될 수 있다.
상기 하부지지부(520)는, 상기 카세트(30)가 안착되어 상기 카세트(30)를 지지하는 하부지지부재(521)와; 상기 하부지지부재(521)가 상기 카세트(30)의 저면 중 일부에 밀착되도록 상기 하부지지부재(521)를 상하이동시키는 하부지지부재상하이동부(523)와; 상기 하부지지부재(521)에 설치되어 카세트(30)의 측면 중 상기 한 쌍의 측방에 대응되는 측면들을 가압하는 저면고정부(522)를 포함할 수 있다.
상기 상측지지부재(513)는, 상기 카세트(30)의 상단부(31)에 형성된 복수의 얼라인홈에 삽입되는 하나 이상의 얼라인핀이 설치될 수 있다.
상기 카세트이송모듈(400)은, 상기 기판교환모듈(300)에 대하여 상기 로딩위치(P1)에서의 카세트(30)의 로딩 및 언로딩을 위한 제1카세트이송부와, 상기 언로딩위치(P2)에서의 카세트(30)의 로딩 및 언로딩을 위한 제2카세트이송부를 포함할 수 있다.
상기 카세트이송모듈(400)은, 상기 카세트(30)의 이송방향에 따라서 상기 로딩위치(P1) 및 상기 언로딩위치(P2)를 기준으로 순차적으로 설치된 제1카세트이송부(710), 제2카세트이송부(720) 및 제3카세트이송부(730)를 포함할 수 있다.
본 발명은 또한, 다수의 기판(10)들이 트레이(20)에 안착된 상태로 기판처리를 수행하는 하나 이상의 기판처리모듈과; 상기 기판처리모듈에서 기판처리된 다수의 기판(10)들을 트레이(20)로부터 언로딩하는 동시에 기판처리될 다수의 기판(10)들을 트레이(20)에 로딩하는 기판교환모듈(300)과; 로딩위치(P1)에 위치된 카세트(30)로부터 기판처리될 다수의 기판(10)들이 인출되며, 기판처리된 다수의 기판(10)들이 언로딩위치(P2)에 위치된 카세트(30)에 적재되도록 카세트(30)를 상기 로딩위치(P1) 및 상기 언로딩위치(P2)로 각각 위치시키는 카세트이송모듈(400)을 포함하며, 상기와 같은 구성을 가지는 카세트이송모듈(400)을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리시스템을 개시한다.
본 발명에 따른 기판처리시스템 및 그에 사용되는 카세트이송모듈은, 카세트의 상단부의 상측 모서리 및 측면 중 적어도 하나를 가압하여 카세트의 위치를 정렬하는 복수의 정렬부재들을 포함함으로써, 기판의 로딩위치 및 언로딩위치에서 카세트를 정확하게 위치시킬 수 있는 이점이 있다.
특히 상기 복수의 정렬부재들 중 카세트의 전방을 제외한 나머지 정렬부재들이 탄성재질을 가지며, 탄성재질을 가지는 정렬부재가 카세트의 외측면과 평행하게 설치되는 수평방향 중심축을 가지는 원기둥형상을 가지게 되면, 카세트의 상단부의 상측 모서리 및 측면 중 적어도 하나를 보다 안정적으로 가압하여, 기판교환모듈로 기판을 전달하는 로딩위치와, 기판을 전달받기 위한 언로딩위치에서 카세트를 보다 안정적으로 위치시킬 수 있는 이점이 있다.
그리고, 카세트의 상단부의 상측 모서리 및 측면 중 적어도 하나, 특히 양측면 및 후면(3면)을 가압하는 정렬부재가 탄성재질을 가짐으로써, 카세트의 3면에 직접 접촉되는 정렬부재에 의하여 카세트를 정렬 및 고정되도록 하여 카세트 위치편차의 발생 가능성을 최소화 하는 이점이 있다.
더 나아가 카세트의 상단부와 밀착되는 상측지지부재의 저면은, 카세트의 상단부에 형성된 복수의 얼라인홈에 삽입되는 얼라인핀이 형성되어, 얼라인핀 및 얼라인홈의 조합에 의하여, 상측지지부재가 카세트의 상측부분의 고정과 함께 카세트의 위치를 정렬부재들과 함께 정확한 위치에서 카세트를 정렬할 수 있는 이점이 있다.
여기서 상기 카세트의 위치정렬은, 얼라인핀 및 얼라인홈의 조합에 의하여 1차로 이루어진 후 정렬부재들에 의하여 2차로 정렬되는데 카세트를 구성하는 프레임 등 기타 부재의 오차로 인하여 카세트 및 정렬부재 간의 유격이 발생될 수 있는데, 정렬부재들이 탄성재질을 가짐으로써 카세트 및 정렬부재 간의 유격의 형성에도 불구하고 정렬부재에 의한 카세트의 가압고정 및 정렬이 가능하다.
도 1은, 본 발명에 따른 기판처리시스템 중 기판교환모듈 및 카세트이송모듈을 보여주는 평면도이다.
도 2a는, 본 발명에 따른 기판처리시스템에서 다수의 기판이 적재되는 카세트로부터 기판을 인출하는 기판보조이송부의 작동을 보여주는 측면도이다.
도 2b는, 도 2a에서 카세트에 적재되는 다수의 기판들이 모두 인출되어 상기 기판보조이송부가 벨트 방향으로 복귀되는 것을 보여주는 측면도이다.
도 3은, 도 2a의 카세트핸들링부를 확대하여 보여주는 측면도이다.
도 4a 내지 도 4c는, 도 3의 카세트핸들링부의 하측부분을 보여주는 일부 측면도들이다.
도 5는, 도 3의 카세트핸들링부 중 하부지지부를 상측에서 본 평면도이다.
도 6은, 도 3의 카세트핸들링부 중 상부지지부를 카세트의 상단부의 하측에서 상측으로 본 저면도이다.
이하 본 발명에 따른 기판처리시스템 및 그에 사용되는 카세트이송모듈에 관하여 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.
본 발명에 따른 기판처리시스템은, 다수의 기판(10)들이 트레이(20)에 안착된 상태로 기판처리를 수행하는 하나 이상의 기판처리모듈(미도시)과; 기판처리모듈에서 기판처리된 다수의 기판(10)들을 트레이(20)로부터 언로딩하는 동시에 기판처리될 다수의 기판(10)들을 트레이(20)에 로딩하는 기판교환모듈(300)과; 로딩위치(P1)에 위치된 카세트(30)로부터 기판처리될 다수의 기판(10)들이 인출되며, 기판처리된 다수의 기판(10)들이 언로딩위치(P2)에 위치된 카세트(30)에 적재되도록 카세트(30)를 로딩위치(P1) 및 언로딩위치(P2)로 각각 위치시키는 카세트이송모듈(400)을 포함한다.
여기서 본 발명에 따른 기판처리시스템의 기판처리대상인 기판은, 트레이(20)에 다수개로 안착된 상태로 기판처리모듈에 의하여 식각, 증착 등의 기판처리를 요하는 기판으로서, 태양전지용 기판, OLED용 기판, LCD용 기판 등 식각, 증착 등의 기판처리를 요하는 기판이면 어떠한 대상도 가능하다.
한편 상기 다수의 기판(10)들이 안착되는 트레이(20)는, 다수의 기판(10)들이 안착된 상태로 기판교환모듈(300), 기판처리모듈 등으로 이송되는 구성으로 다양한 구성이 가능하다.
예로서, 상기 트레이(20)는, 특허문헌 1 내지 3 이외에, 한국 공개특허공보 제1020130141740호, 한국 공개특허공보 제1020120122783호 등에 개시된 트레이 등이 사용될 수 있다.
한편 상기 트레이(20)는, 다수의 기판(10)들이 안착됨에 있어서, n×m의 기판배열(n, m은 2 이상의 자연수)로 배치되어 안착될 수 있다.
즉, 상기 트레이(20)는, X-Y 평면 상에 평면 형상이 직사각형 형상을 가지며, Y축방향 및 Y축방향으로 다수의 기판(10)들이 행렬을 이루어 배치될 수 있다.
상기 기판처리모듈은, 다수의 기판(10)들이 직사각형 트레이(20)에 안착된 상태로 기판처리를 수행하는 구성으로서, 식각, 증착 등 기판처리의 종류, 기판처리방식에 따라서 다양한 구성이 가능하다.
예로서, 상기 기판처리모듈은, 특허문헌 1 내지 3 이외에, 한국 공개특허공보 제1020130141740호, 한국 공개특허공보 제1020120122783호 등에 개시된 공정모듈, 기판처리모듈 등이 될 수 있다.
한편 상기 기판처리모듈은, 하나 이상으로 설치될 수 있으며 기판교환모듈(300)과 함께 기판처리시스템을 구성할 수 있으며, 기판처리시스템은, 기판교환모듈(300) 및 기판처리모듈이 순차적으로 배치된 인라인 타입, 반송로봇(미도시)이 설치된 반송모듈을 중심으로 복수의 기판처리모듈들 및 기판교환모듈(300)이 결합된 클러스터 타입 등 다양한 배치 구조를 가질 수 있다.
상기 기판교환모듈(300)은, 도 1에 도시된 바와 같이, 기판처리모듈에서 기판처리된 다수의 기판(10)들을 트레이(20)로부터 언로딩하는 동시에 기판처리될 다수의 기판(10)들을 트레이(20)에 로딩하는 구성으로서, 기판처리모듈과의 결합방식, 기판교환방식에 따라서 다양한 구성이 가능하다.
예로서, 상기 기판교환모듈(300)은, 도 1에 도시된 바와 같이, 트레이(20) 상의 기판배열방향인 Y축방향으로 트레이(20)가 안착되는 트레이안착부(310)와; 트레이안착부(310)에 안착된 트레이(20)를 중심으로 후술하는 카세트이송모듈(400)의 로딩위치(P1)에 대응되어 설치되며 기판처리될 m개의 기판(10)들이 Y축방향을 따라서 위치되도록 하는 기판로딩부(800)와; 트레이안착부(310)에 안착된 트레이(20)를 중심으로 기판로딩부(800)에 대향되는 위치에서 카세트이송모듈(400)의 언로딩위치(P2)에 대응되어 설치되며 트레이(20)로부터 전달받은 기판처리된 m개의 기판(10)들이 안착된 후 카세트이송모듈(400)의 카세트(30)로 기판(10)을 적재하는 기판언로딩부(900)와; 기판로딩부(800)로부터 트레이(20)로 m개의 기판(10)들을 이송하는 제1기판이송툴(320)과; 트레이(20)로부터 기판언로딩부(900)로 m개의 기판(10)들을 이송하는 제2기판이송툴(330)을 포함할 수 있다.
상기 트레이안착부(310)는, 트레이(20) 상의 기판배열방향인 Y축방향으로 트레이(20)가 안착되는 구성으로서 트레이(20)의 안착방식, 교환방식에 따라서 다양한 구성이 가능하다.
상기 기판로딩부(800)는, 트레이안착부(310)에 안착된 트레이(20)를 중심으로 후술하는 카세트이송모듈(400)의 로딩위치(P1)에 대응되어 설치되며 기판처리될 m개의 기판(10)들이 Y축방향을 따라서 위치되도록 하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.
예로서, 상기 기판로딩부(800)는, 도 2a 및 도 2b에 도시된 바와 같이, Y축방향에서 일단에 위치된 하나 이상의 제1풀리(810)와; 제1풀리(810)와 Y축방향으로 간격을 두고 설치되는 하나 이상의 제2풀리(820)와; 제1풀리(810) 및 제2풀리(820)와 결합되어 제1풀리(810) 및 제2풀리(820)의 회전에 의하여 회전되며 기판(10)을 지지한 상태로 Y축방향을 따라서 제1기판이송툴(320)에 의하여 이송될 m개의 기판(10)을 위치시키는 하나 이상의 벨트(830)를 포함할 수 있다.
상기 하나 이상의 제1풀리(810)는, 트레이(20)가 안착된 트레이안착부(310)의 일측에 설치되며 Y축방향에서 일단에 위치되어 후술하는 벨트(830)를 회전구동하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.
상기 하나 이상의 제1풀리(810)는, 회전모터의 회전구동에 의하여 회전되어 후술하는 벨트(830)를 회전구동하기 위한 구성으로서 벨트(830)와의 결합방식에 따라서 타이밍 풀리 등 다양한 구성이 가능하다.
상기 하나 이상의 제2풀리(820)는, 트레이(20)가 안착된 트레이안착부(310)의 일측에 설치되며 제1풀리(810)와 Y축방향으로 간격을 두고 설치되는 구성으로서 제1풀리(810)와 함께 벨트(830)를 회전시키기 위한 구성으로서 벨트(830)와의 결합방식에 따라서 타이밍 풀리 등 다양한 구성이 가능하다.
여기서 상기 제1풀리(810) 및 제2풀리(820) 중 적어도 어느 하나에 그 회전구동을 위한 회전모터가 결합될 수 있다.
상기 하나 이상의 벨트(830)는, 제1풀리(810) 및 제2풀리(820)와 결합되어 제1풀리(810) 및 제2풀리(820)의 회전에 의하여 회전되며 기판(10)을 지지한 상태로 Y축방향을 따라서 후술하는 제1기판이송툴(320)에 의하여 이송될 m개의 기판(10)을 위치시키는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.
상기 벨트(830)는, 하나로 설치되거나, 서로 평행하게 2개로 설치되는 등 다양한 구성이 가능하다.
한편 상기 하나 이상의 벨트(830)는, Y축방향을 따라서 m개의 기판(10)이 순차적으로 위치되도록 m개의 기판(10)들에 대응되어 복수의 구획돌기(831)들이 벨트(830)의 표면으로부터 돌출되어 형성됨이 바람직하다.
상기 복수의 구획돌기(831)들은, Y축방향을 따라서 m개의 기판(10)이 순차적으로 위치되도록 m개의 기판(10)들에 대응되어 벨트(830)의 표면에서 돌출 형성되는 구성으로서 각 기판(10)에 대응되어 구간을 구획할 수 있는 구조이면 어떠한 구조도 가능하다.
그리고 상기 복수의 구획돌기(831)들은, 벨트(830)와 일체로 형성되거나, 접착물질에 의하여 벨트(830)의 표면에 부착되는 등 다양한 방식에 의하여 벨트(830)의 표면에 형성될 수 있다.
한편 상기 복수의 구획돌기(831)들은, 벨트(830)의 표면에 m개의 기판(10)이 안착될 수 있도록 기판(10)의 Y축방향 길이보다 같거나 큰 간격을 이루어 m+1개 이상으로 형성될 수 있다.
특히, 상기 기판(10)들은 벨트(830) 중 상측부분에 안착되며, 벨트(830)가 무한궤도를 이룸을 고려하여, 복수의 구획돌기(831)들은, m개의 기판(10)이 안착된 상태를 기준으로 벨트(830)의 상측부분에 기판(10)의 Y축방향 길이보다 같거나 큰 간격을 이루어 m+1개 이상, 하측부분에 기판(10)의 Y축방향 길이보다 같거나 큰 간격을 이루어 m+1개 이상이 형성될 수 있다.
여기서 후술하는 기준돌기(832)는, m개의 기판(10)이 안착된 상태 및 벨트(830)의 회전방향을 기준으로 가장 맨 첫번째 구획돌기(831)의 전방에 또는 첫번째 구획돌기(831)와 일체로 형성됨이 바람직하다.
한편 상기 복수의 구획돌기(831)은, 도 2a 및 도 2b에 도시된 바와 같이, 카세트(30)로부터 인출된 기판(10)의 이동관성에 의하여 지속적으로 가격된다.
이에 상기 복수의 구획돌기(831)은, 기판(10)의 가격에 의하여 Y축방향으로 홈(미도시, 도 2a 및 도 2b에서 Y축 방향의 홈)이 생기게 되며, 그 홈이 깊어지는 경우 기판(10)의 가장자리 일부가 삽입되는 경우도 있어 후술하는 제1기판이송툴(320)에 의하여 기판(10)을 들어 올릴 때 기판(10)이 걸려 심하게는 기판(10)이 파손되는 문제점이 있다.
이에 상기 복수의 구획돌기(831)은, 홈의 형성에도 불구하고 제1기판이송툴(320)에 의하여 기판(10)을 들어 올릴 때 기판(10)이 홈에 걸리는 것을 방지할 수 있도록, Y축방향 단면이 돌출되는 방향(Z축 방향)으로 가면서 폭이 감소하도록 형성됨이 바람직하다.
그 구체적인 형태로서, 상기 복수의 구획돌기(831)의 Y축방향 단면은, 도 2a 및 도 2b에 도시된 바와 같이, 사다리꼴, 삼각형 등 다양한 형상을 가질 수 있다.
이때 상기 복수의 구획돌기(831)의 Y축방향 단면은, 측면이 직선이외에 곡선 등으로 형성될 수도 있다.
한편 Y축방향을 따라서 m개의 기판(10)들이 벨트(830)에 트레이(20) 상의 기판(10) 적재위치에 대응되어 위치될 수 있도록, 벨트(830)의 회전위치의 감지를 위한 벨트회전위치감지부가 기판로딩부(800) 및 기판언로딩부(900) 중 적어도 하나에 대응되어 설치됨이 바람직하다.
상기 벨트회전위치감지부는, 기판로딩부(800) 및 기판언로딩부(900) 중 적어도 하나에 대응되어 설치되어, Y축방향을 따라서 m개의 기판(10)들이 벨트(830)에 트레이(20) 상의 기판(10) 적재위치에 대응되어 위치될 수 있도록, 벨트(830)의 회전위치의 감지를 위한 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.
예로서, 상기 기판로딩부(800)에 설치된 벨트회전위치감지부는, 로딩위치(P1)에 위치된 카세트(30)로부터 벨트(830)의 표면으로 기판(10)의 안착이 시작되는 기판로딩위치, 및 벨트(830)의 표면에 기판(10) 안착이 완료된 후 제1기판이송툴(320)에 의하여 트레이(20)로 기판(10)들이 전달되는 제1기판전달위치 중 적어도 하나의 위치로 위치되도록 벨트(830)의 회전을 제어하기 위하여 하나 이상의 위치감지센서(850) 및 하나 이상의 기준돌기(832)를 이용하여 벨트(830)의 회전을 감지하도록 구성될 수 있다.
이를 위하여, 상기 벨트회전위치감지부는, 벨트(830) 부근에 미리 설정된 위치에 설치되는 위치감지센서(850)와, 위치감지센서(850)에 감지되어 벨트(830)의 회전위치의 감지할 수 있도록 벨트(830)에 돌출형성된 하나 이상의 기준돌기(832)를 포함할 수 있다.
상기 위치감지센서(850)는, 벨트(830) 부근에 미리 설정된 위치에 설치되는 구성으로서 기준돌기(832)를 감지할 수 있는 센서이면 어떠한 구성도 가능하다.
예로서, 상기 위치감지센서(850)는, 초음파에 의하여 기준돌기(832)의 유무를 감지하는 초음파센서를 포함할 수 있다.
또한 상기 위치감지센서(850)는, 기준돌기(832)를 중심으로 일측에 광을 조사하는 발광부와 발광부에 대향되는 위치에 설치되어 발광부에 의하여 조사되는 광을 수광하는 수광부를 포함할 수 있다.
상기 위치감지센서(850)는, 기준돌기(832)의 위치를 감지하여 벨트(830)의 회전위치를 감지하기 위한 구성으로서 다양한 구성 및 배치가 가능하다.
상기 하나 이상의 기준돌기(832)는, 위치감지센서(850)에 감지되어 벨트(830)의 회전위치의 감지할 수 있도록 벨트(830)에 돌출형성되는 등 벨트(830)의 회전위치의 감지할 수 있는 구조이면 어떠한 구조도 가능하다.
예로서, 상기 하나 이상의 기준돌기(832)는, 앞서 설명한 위치감지센서(850)에 감지되록 벨트(830)로부터 돌출되어 형성될 수 있다.
여기서 상기 기준돌기(832)는, 앞서 설명한 구획돌기(831)들에 의한 간섭을 배제하기 위하여 구획돌기(831)들보다 더 높게 형성됨이 바람직하다.
또한 상기 기준돌기(832)는, 복수의 구획돌기(831)들 중 어느 하나와 함께 일체로 형성될 수 있다.
또한 상기 기준돌기(832)는, 상기 벨트(830)에 m개의 기판(10)이 안착된 상태를 기준으로 벨트(830)의 상측부분 및 하측부분 중 적어도 하나에 형성될 수 있다.
한편 상기 기준돌기(832) 및 위치감지센서(850)로 구성되는 벨트회전위치감지부는, 기준돌기(832) 및 위치감지센서(850)의 설치 숫자, 설치 위치 등 그 배치에 따라서 다양한 구성이 가능하다.
예를 들면, 상기 기준돌기(832)는, 벨트(830)에 m개의 기판(10)이 안착된 상태를 기준으로 벨트(830)의 상측부분 및 하측부분에 상하구분선을 기준으로 점대칭 또는 선대칭으로 하나 이상의 쌍을 이루어 형성될 수 있다.
그리고, 상기 위치감지센서(850)는, 벨트(830)가 기판로딩위치의 회전상태에 있을 때 해당 기준돌기(832)의 위치를 감지하고, 벨트(830)가 제1기판전달위치의 회전상태에 있을 때 해당 기준돌기(832)의 위치를 감지하도록 하나 이상으로 설치될 수 있다.
예로서, 상기 기준돌기(832)는, 벨트(830)에 m개의 기판(10)이 안착된 상태를 기준으로 벨트(830)의 상측부분 및 하측부분 모두에서, 벨트(830)가 기판로딩위치의 회전상태에 있을 때 대응되는 제1기준위치, 및 벨트(830)가 제1기판전달위치의 회전상태에 있을 때 대응되는 제2기준위치 모두에 형성될 수 있다.
이때 상기 위치감지센서(850)는, 벨트(830)의 상측부분 및 하측부분에서 제1기준위치, 및 제2기준위치 중 적어도 어느 하나에 대응되어 설치될 수 있다.
다른 예로서, 상기 기준돌기(832)는, 벨트(830)에 m개의 기판(10)이 안착된 상태를 기준으로 벨트(830)의 상측부분 및 하측부분 중 어느 하나에서, 벨트(830)가 기판로딩위치의 회전상태에 있을 때 대응되는 제1기준위치, 및 벨트(830)가 제1기판전달위치의 회전상태에 있을 때 대응되는 제2기준위치 중 어느 하나의 위치에 형성될 수 있다.
이때, 상기 위치감지센서(850)는, 벨트(830)의 상측부분 및 하측부분에서 제1기준위치, 및 제2기준위치 중 어느 하나에 한 쌍으로 설치될 수 있다.
상기와 같은 구성을 가지는 벨트회전위치감지부가 설치된 벨트(830) 상에 기판(10)이 안착되는 과정을 설명하면 다음과 같다.
먼저 상기 회전 중인 벨트(830)에 대하여 위치감지센서(850) 및 기준돌기(832)에 의하여 구성되는 벨트회전위치감지부에 의하여 m개의 기판(10) 중 첫번째 기판(10)이 안착될 수 있는 위치(제1기준위치)에 도달하였음을 감지하게 된다.
상기 벨트회전위치감지부에 의하여 회전 중인 벨트(830)가 m개의 기판(10) 중 첫번째 기판(10)이 안착될 수 있는 위치(제1기준위치)에 도달하였음이 감지되면, 벨트(830)의 회전과 함께 후술하는 기판보조이송부(840)에 의하여 카세트(30)로부터 m개의 기판(10)들이 순차적으로 인출되어 구획돌기(831)들 사이에 각 기판(10)이 안착된다.
여기서 상기 m개의 기판(10)들이 순차적으로 인출되어 구획돌기(831)들 사이에 각 기판(10)이 안착되는 것은, 벨트(830)의 회전속도, 별도의 센서 등을 통하여 감지할 수 있다.
한편 상기 카세트(30)로부터 m개의 기판(10)들이 순차적으로 벨트(830)의 상면에 안착이 완료되면, 후술하는 제1기판이송툴(320)에 의하여 픽업되어 트레이(20) 상에 안착된다.
여기서 상기 제1기판이송툴(320)에 의하여 안정적으로 픽업될 수 있도록, 앞서 설명한 벨트회전위치감지부에 의하여 벨트(830)가 제2기준위치에 있는지 여부를 확인할 수 있다.
만약 상기 벨트(830)가 제2기준위치에 있지 않는 경우 앞서 설명한 벨트회전위치감지부를 이용하여 벨트(830)가 제2기준위치에 있도록 벨트(830)의 회전위치를 정력하게 된다.
또한 상기 벨트(830)가 제2기준위치에 있는지 여부는, 제1기준위치로부터 벨트(830)의 회전량을 계산하여 벨트(830)가 제2기준위치에 도달하였음을 감지하여 확인할 수도 있다.
한편 상기 기판언로딩부(900)에 설치된 벨트회전위치감지부는, 기판로딩부(800)에 설치된 벨트회전위치감지부와 그 구성이 동일하거나 유사하다.
단, 상기 기판로딩부(800)의 경우 카세트(30)→벨트(830)→트레이(20) 순으로 이송되나, 기판언로딩부(900)의 경우 그 반대인 트레이(20)→벨트(830)→카세트(30) 순으로 이송된다는 점에서 기판의 이송흐름에서 차이가 있다.
구체적으로, 상기 기판언로딩부(900)에 설치된 벨트회전위치감지부는, 트레이(20)로부터 제2기판이송툴(330)에 의하여 벨트(830)의 표면에 기판(10) 안착되는 제2기판전달위치, 및 벨트(830)의 표면에 안착된 후 언로딩위치(P2)에 위치된 카세트(30)로 기판(10)들의 전달이 시작되는 기판언로딩위치 중 적어도 하나의 위치로 위치되도록 벨트(830)의 회전을 제어하기 위하여 하나 이상의 위치감지센서(850) 및 하나 이상의 기준돌기(832)를 이용하여 벨트(830)의 회전을 감지할 수 있다.
예로서, 상기 기준돌기(832)는, 벨트(830)에 m개의 기판(10)이 안착된 상태를 기준으로 상기 벨트(830)의 상측부분 및 하측부분에 상하구분선을 기준으로 점대칭 또는 선대칭으로 하나 이상의 쌍을 이루어 형성될 수 있다.
그리고 상기 위치감지센서(850)는, 벨트(830)가 기판언로딩위치의 회전상태에 있을 때 해당 기준돌기(832)의 위치를 감지하고, 벨트(830)가 제2기판전달위치의 회전상태에 있을 때 해당 기준돌기(832)의 위치를 감지하도록 하나 이상으로 설치될 수 있다.
한편 상기 기판언로딩부(900)에 설치된 벨트회전위치감지부의 구체적 구성은, 기판의 이송흐름을 제외한 나머지 구성은, 기판로딩부(800)에 설치된 벨트회전위치감지부의 구성과 동일하거나 유사하게 구성될 수 있다.
한편 상기 기판(10)을 지지하는 벨트(830)의 텐션이 저하되는 경우 처짐이 발생되어 기판(10)의 픽업위치가 변화되거나, 제1기판이송툴(320)에 의하여 기판(10)의 픽업이 원활하지 못하는 문제점이 발생될 수 있다.
이에 상기 벨트(830)의 처짐을 방지하기 위하여 제1풀리(810) 및 제2풀리(820) 사이에서 벨트(830) 중 상측에 위치된 벨트(830)의 저면 쪽을 지지하는 하나 이상의 가이드부재(미도시)가 설치될 수 있다.
상기 가이드부재는, 제1풀리(810) 및 제2풀리(820) 사이에서 벨트(830) 중 상측에 위치된 벨트(830)의 저면 쪽을 지지하는 구성이면 어떠한 구성도 가능하며, 벨트(830) 중 상측에 위치된 부분과 평행하게 형성된 가이드홈이 형성된 가이드블록으로 구성될 수 있다.
또한 상기 벨트(830)의 처짐을 방지하기 위한 별도의 구성으로서, 제1풀리(810)에 대한 제2풀리(820)의 Y축방향의 간격을 조절하여 벨트(830)의 텐션을 조절하는 텐션조절부가 추가로 설치될 수 있다.
상기 텐션조절부는, 제1풀리(810)에 대한 제2풀리(820)의 Y축방향의 간격을 조절하여 벨트(830)의 텐션을 조절하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.
일 예로서, 상기 텐션조절부는, 제1풀리(810) 및 제2풀리(820) 중 어느 하나를 Y축방향으로 선형이동시키도록 구성될 수 있다.
상기 기판언로딩부(900)는, 트레이안착부(310)에 안착된 트레이(20)를 중심으로 기판로딩부(800)에 대향되는 위치에서 카세트이송모듈(400)의 언로딩위치(P2)에 대응되어 설치되며 트레이(20)로부터 전달받은 기판처리된 m개의 기판(10)들이 안착된 후 카세트이송모듈(400)의 카세트(30)로 기판(10)을 적재하는 구성으로서, 기판로딩부(800)과 동일하거나 유사한 구성을 가지는 등 다양한 구성이 가능하다.
예로서, 상기 기판언로딩부(900)는, 도 2a 및 도 2b에 도시된 기판로딩부(800)의 구성과 실질적으로 동일하거나 유사한바 자세한 설명은 생략한다.
다만, 상기 기판언로딩부(900)는, 카세트(30)로부터 기판(10)을 인출하는 기판로딩부(800)과는 달리, 제2기판이송툴(330)에 의하여 기판(10)을 전달받고, 트레이(20)로부터 기판(10)을 카세트(30)에 적재하는바 벨트(830)의 회전방향이 다른 것에 기본적인 차이가 있다.
상기 제1기판이송툴(320)은, 기판로딩부(800)로부터 트레이(20)로 m개의 기판(10)들을 이송하는 구성으로서, 진공압에 의하여 기판(10)을 흡착하여 픽업하여 트레이(20)로 이동하여 플레이스하는 등 다양한 구성이 가능하다.
상기 제2기판이송툴(330)은, 트레이(20)로부터 기판언로딩부(900)로 m개의 기판(10)들을 이송하는 구성으로서, 진공압에 의하여 기판(10)을 흡착하여 픽업하여 트레이(20)로부터 기판언로딩부(900)의 벨트로 이동하여 플레이스하는 등 다양한 구성이 가능하다.
한편 상기 기판교환모듈(300)은, 카세트(30)에 대하여 다수의 기판(10)들을 도입 또는 배출하는 기판보조이송부(840)가 설치될 수 있다.
상기 기판로딩부(800)에 설치된 예로서, 기판보조이송부(840)는, 카세트(30)로부터 인출하여 기판로딩부(800)의 벨트(830)에 안착시키기 위한 구성으로서 카세트(30)에서의 기판인출방식에 따라 다양한 구성이 가능하다.
보다 구체적으로 상기 기판보조이송부(840)는, 도 2a 및 도 2b에 도시된 바와 같이, 카세트(30)에 대하여 전진 및 후퇴하도록 설치되며, 카세트(30)로부터 기판인출시 카세트(30) 쪽으로 전진하여 기판(10)의 저면을 지지하여 회전에 의하여 기판(10)을 인출하는 인출벨트와, 인출벨트를 회전시키는 하나 이상의 구동풀리 및 종동풀리로 구성될 수 있다.
여기서 상기 카세트(30)는, 기판(10)이 상하로 적층되어 적재되는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.
예로서, 상기 카세트(30)는, 상측부분을 구성하는 상단부(31)와, 하측부분을 구성하는 하단부(32)와, 상단부(31) 및 하단부(32)를 연결하여 설치되며 기판(10)이 상하로 적층되어 적재되도록 기판(10)의 가장자리 저면을 지지하는 지지홈(34)이 형성된 복수의 연결프레임(33)들을 포함할 수 있다.
상기 상단부(31)는, 카세트(30)의 상측부분을 구성하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.
예로서, 상기 카세트(30)의 상단부(31)의 평면형상은, 상측에서 보았을 때 직사각형의 형상을 가질 수 있다.
상기 하단부(32)는, 하측부분을 구성하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.
예로서, 상기 카세트(30)의 하단부(32)의 평면형상은, 상측에서 보았을 때 직사각형의 형상을 가질 수 있다.
한편 상기 카세트(30)의 하단부(32)는, 앞서 설명한 기판보조이송부(840)가 카세트(30)에 대하여 전진 및 후퇴하도록 중앙부가 절개된 절개홈(35)이 형성됨이 바람직하다.
즉, 상기 카세트(30)의 하단부(32)는, 상측에서 보았을 때 'U'자 형상을 가질 수 있다.
상기 복수의 연결프레임(33)들은, 상단부(31) 및 하단부(32)를 연결하여 설치되며 기판(10)이 상하로 적층되어 적재되도록 기판(10)의 가장자리 저면을 지지하는 지지홈(34)이 형성된 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.
한편 상기 기판보조이송부(840)에 의하여 기판(10)의 순차적 인출을 위하여 카세트핸들링부(500)에 의하여 고정된 상태에서 상하로 이동된다.
상기 기판언로딩부(900)에 설치된 예로서, 기판보조이송부(840)는, 기판언로딩부(900)의 벨트에 안착된 기판(10)을 카세트(30)로 도입하여 카세트(30)에 적재하기 위한 구성으로서 카세트(30)로의 기판적재방식에 따라 다양한 구성이 가능하다.
보다 구체적으로, 상기 기판보조이송부(840)는, 카세트(30)에 대하여 전진 및 후퇴하도록 설치되며, 카세트(30)로의 기판적재시 카세트(30) 쪽으로 전진하여 기판(10)의 저면을 지지하여 회전에 의하여 기판(10)을 인출하는 인출벨트와, 인출벨트를 회전시키는 하나 이상의 구동풀리 및 종동풀리로 구성될 수 있다.
여기서 상기 카세트(30)는, 기판보조이송부(840)에 의하여 기판(10)의 순차적 적재를 위하여 카세트핸들링부(600)에 의하여 고정된 상태에서 상하로 이동된다.
상기 카세트이송모듈(400)은, 로딩위치(P1)에 위치된 카세트(30)로부터 기판처리될 다수의 기판(10)들이 인출되며, 기판처리된 다수의 기판(10)들이 언로딩위치(P2)에 위치된 카세트(30)에 적재되도록 카세트(30)를 상기 로딩위치(P1) 및 상기 언로딩위치(P2)로 각각 위치시키는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.
예로서, 상기 카세트이송모듈(400)은, 로딩위치(P1) 및 언로딩위치(P2)에 각각 설치되며, 카세트(30)에 대한 기판(10)의 도입 또는 배출을 위한 설정위치에 카세트(30)의 정렬 및 고정 후 상하이동에 의하여 카세트(30)에 기판(10)이 도입 또는 배출되도록 하는 카세트핸들링부(500, 600)를 포함할 수 있다.
여기서 상기 로딩위치(P1)은, 카세트(30)로부터 기판처리될 기판(10)들이 순차적으로 기판로딩부(800)의 벨트(830)로 전달되도록 카세트(30)가 위치되는 설정된 위치로서, 후술하는 카세트핸들링부(500)가 설치된다.
그리고 상기 언로딩위치(P2)는, 기판언로딩부(900)의 벨트로부터 기판처리된 기판(10)들이 카세트(30)로 순차적으로 적층되어 적재되도록 카세트(30)가 위치되는 설정된 위치로서, 후술하는 카세트핸들링부(600)가 설치된다.
상기 카세트핸들링부(500, 600)는, 로딩위치(P1) 및 언로딩위치(P2)에 각각 설치되며, 카세트(30)에 대한 기판(10)의 도입 또는 배출을 위한 설정위치에 카세트(30)의 정렬 및 고정 후 상하이동에 의하여 카세트(30)에 기판(10)이 도입 또는 배출되도록 하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.
여기서 상기 로딩위치(P1) 및 언로딩위치(P2)에 각각 설치된 카세트핸들링부(500, 600)들의 구성은, 실질적으로 동일한바, 로딩위치(P1)에 설치된 카세트핸들링부(500)를 실시예로서 설명한다. 다만, 로딩위치(P1) 및 언로딩위치(P2)에 각각 설치된 카세트핸들링부(500, 600)들이 서로 다르게 구성될 수 있음은 물론이다.
예로서, 상기 카세트핸들링부(500, 600)는, 카세트(30)의 하부를 지지하는 하부지지부(520)와; 카세트(30)의 상부를 정렬 및 고정하는 상부지지부(510)와; 상부지지부(510) 및 하부지지부(520)에 의하여 지지된 카세트(30)를 상하로 이동시키는 카세트상하이동부를 포함할 수 있다.
상기 하부지지부(520)는, 카세트(30)의 하부를 지지하는 구성으로서 그 지지구조에 따라서 다양한 구성이 가능하다.
예로서, 상기 하부지지부(520)는, 카세트(30)가 안착되어 카세트(30)를 지지하는 하부지지부재(521)와; 하부지지부재(521)가 카세트(30)의 저면 중 일부에 밀착되도록 하부지지부재(521)를 상하이동시키는 하부지지부재상하이동부(523)와; 하부지지부재(521)에 설치되어 카세트(30)의 측면 중 한 쌍의 측방에 대응되는 측면들을 가압하는 저면고정부(522)를 포함할 수 있다.
상기 하부지지부재(521)는, 카세트(30)가 안착되어 카세트(30)를 지지하는 구성으로서 카세트(30)의 지지구조에 따라서 다양한 구성이 가능하다.
상기 하부지지부재상하이동부(523)는, 하부지지부재(521)가 카세트(30)의 저면 중 일부에 밀착되도록 하부지지부재(521)를 상하이동시키는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.
여기서 카세트(30)는, 로딩위치(P1)에 설치된 카세트로딩부(540)에 의하여 후술하는 제1카세트이송부(710)로부터 하부지지부재(521)의 상부로 이동된다.
상기 카세트로딩부(540)는, 후술하는 제1카세트이송부(710)로부터 하부지지부재(521)의 상부로 카세트(30)를 이동시키기 위한 구성으로서 벨트 및 풀리로 구성되는 등 다양한 구성이 가능하다.
한편 상기 카세트로딩부(540)는, 로딩위치(P1)에서 기판인출이 완료된 후에는 언로딩위치(P2)로 이동될 수 있도록 제2카세트이송부(720)로 카세트(30)를 이동시킨다.
한편 상기 하부지지부재상하이동부(523)는, 카세트로딩부(540)에 의하여 하부지지부재(521)의 상부로 이동되면 하부지지부재(521)를 상측으로 이동시켜 하부지지부재(521)가 카세트(30)의 저면을 지지하도록 한다.
상기 저면고정부(522)는, 하부지지부재(521)에 설치되어 카세트(30)의 측면 중 한 쌍의 측방에 대응되는 측면들을 가압하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.
예로서, 상기 저면고정부(522)는, 하부지지부재(521)가 카세트(30)의 저면을 지지한 상태에서 카세트(30)의 측면 중 한 쌍의 측방에 대응되는 측면들을 가압하는 한 쌍의 하측가압부재(522)와, 한 쌍의 하측가압부재(522) 중 적어도 하나를 카세트(30)의 측면을 향하여 이동시키는 부재이동부(미도시)를 포함할 수 있다.
상기 한 쌍의 하측가압부재(522)는, 하부지지부재(521)가 카세트(30)의 저면을 지지한 상태에서 카세트(30)의 측면 중 한 쌍의 측방에 대응되는 측면들을 가압하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.
예로서, 상기 한 쌍의 하측가압부재(522)는, 어느 하나가 고정되고 다른 하나가 카세트(30)의 측면을 향하여 이동가능하게 설치되거나, 모두가 카세트(30)의 측면을 향하여 이동가능하게 설치될 수 있다.
상기 부재이동부는, 한 쌍의 하측가압부재(522) 중 적어도 하나를 카세트(30)의 측면을 향하여 이동시키는 구성으로서 하측가압부재(522)를 이동시킬 수 있는 구성이면 어떠한 구성도 가능하다.
상기 상부지지부(510)는, 카세트(30)의 상부를 정렬 및 고정하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.
예로서, 상기 상부지지부(510)는, 카세트(30)의 상측에 위치되는 상측지지부재(513)와; 상측지지부재(513)를 상하로 이동시키는 상측지지부재상하이동부(512)와; 상측지지부재(513)에 결합되어 카세트(30)의 상단부(31)의 상측 모서리 및 측면 중 적어도 하나를 가압하여 카세트(30)의 위치를 정렬하는 복수의 정렬부재(511)들을 포함할 수 있다.
상기 상측지지부재(513)는, 카세트(30)의 상측에 위치되어 후술하는 상측지지부재상하이동부(512) 및 정렬부재(511)들을 지지하기 위한 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.
예로서, 상기 상측지지부재(513)는, 저면이 카세트(30)의 상단부(31)의 상면과 밀착된 상태로 카세트(30)를 고정할 수 있다.
이때 상기 상측지지부재(513)의 저면은, 카세트(30)의 상단부(31)에 형성된 복수의 얼라인홈(미도시)에 삽입되는 얼라인핀(미도시)이 형성될 수 있다.
상기 얼라인핀 및 얼라인홈의 조합에 의하여, 상측지지부재(513)는, 카세트(30)의 상측부분의 고정과 함께 카세트(30)의 위치를 후술하는 정렬부재(511)들과 함께 정확한 위치에 정렬할 수 있다.
한편 상기 카세트(30)의 상면에는, 설계 및 디자인에 따라서 부분적으로 상측으로 돌출된 부분이 있을 수 있는바, 상측지지부재(513)는, 돌출된 부분에 대응되어 요홈이 형성될 수 있다.
상기 요홈의 형성에 의하여, 돌출된 부분이 상측지지부재(513)의 요홈에 삽입됨으로써 상측지지부재(513)는, 카세트(30)의 상단부(31)에 대하여 안정적이고 균형있게 가압할 수 있게 된다.
상기 상측지지부재상하이동부(512)는, 상측지지부재(513)를 상하로 이동시키는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.
여기서 상기 상측지지부재상하이동부(512)는, 상부지지부(510), 하부지지부(520) 전체를 지지하는 구성으로, 상측지지부재(591)와, 하부지지부(520)을 지지하는 하측지지부재(593)와, 상측지지부재(591) 및 하측지지부재(593)를 연결하는 연결프레임(592)으로 구성된 지지프레임부(590)에 의하여 지지될 수 있다.
상기 복수의 정렬부재(511)들은, 상측지지부재(513)에 결합되어 카세트(30)의 상단부(31)의 상측 모서리 및 측면 중 적어도 하나를 가압하여 카세트(30)의 위치를 정렬하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.
예로서, 상기 카세트(30)의 상단부(31)의 평면형상이 상측에서 보았을 때 직사각형의 형상을 가지고, 기판(10)의 도입 및 배출 측의 방향을 카세트(30)의 전방으로 하였을 때, 복수의 정렬부재(511)는, 카세트(30)의 전방, 후방 및 한 쌍의 측방 중 적어도 일부에 설치될 수 있다.
여기서 상기 복수의 정렬부재(511)들 중 카세트(30)의 전방을 제외한 나머지 정렬부재들은, 탄성재질을 가지는 것이 바람직하다.
여기서 상기 복수의 정렬부재(511)들 중 카세트(30)의 전방에 위치된 정렬부재(511, 도면에서는 515로 표시됨)는, 탄성이 상대으로 적은 금속재질, 플라스틱 재질 등으로 카세트(30)의 전면을 지지하는 플레이트 부재 등으로 구성될 수 있다.
한편 탄성재질을 가지는 상기 정렬부재(511)는, 카세트(30)의 외측면과 평행하게 설치되는 수평방향 중심축을 가지는 원기둥형상을 가질 수 있다.
그리고 상기 원기둥형상의 정렬부재(511)는, 중심축에 위치된 회전축을 중심으로 회전 가능하도록 설치될 수 있다.
상기 정렬부재(511)의 회전축은, 상측지지부재(513)에 결합된 지지부재(514)에 의하여 양단이 지지될 수 있다.
상기와 같이, 상기 복수의 정렬부재(511)들 중 카세트(30)의 전방을 제외한 나머지 정렬부재들이 탄성재질을 가지며, 탄성재질을 가지는 정렬부재(511)가 카세트(30)의 외측면과 평행하게 설치되는 수평방향 중심축을 가지는 원기둥형상을 가지게 되면, 카세트(30)의 상단부(31)의 상측 모서리 및 측면 중 적어도 하나를 보다 안정적으로 가압할 수 있다.
상기 카세트상하이동부는, 상부지지부(510) 및 하부지지부(520)에 의하여 지지된 카세트(30)를 상하로 이동시키는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.
예로서, 상기 카세트상하이동부는, 지지프레임부(590)를 하측에서 지지한 상태에서 지지프레임부(590)를 상하로 이동시킴으로써 지지프레임부(590) 내에 지지된 카세트(30)를 상하로 이동시킬 수 있다.
한편 상기 카세트이송모듈(400)은, 기판교환모듈(300)에 대하여 로딩위치(P1)에서의 카세트(30)의 로딩 및 언로딩, 언로딩위치(P2)에서의 카세트(30)의 로딩 및 언로딩을 위한 하나 이상의 카세트이송부를 추가로 포함할 수 있다.
상기 카세트이송부는, 기판교환모듈(300)에 대하여 로딩위치(P1)에서의 카세트(30)의 로딩 및 언로딩, 언로딩위치(P2)에서의 카세트(30)의 로딩 및 언로딩을 위한 구성으로서 카세트(30)의 로딩 및 언로딩방식에 따라서 다양한 구성이 가능하다.
상기 카세트이송부는, 로딩위치(P1) 및 언로딩위치(P2)에서의 개별적인 카세트(30) 로딩 및 언로딩을 하도록 구성되는 예로서, 기판교환모듈(300)에 대하여 로딩위치(P1)에서의 카세트(30)의 로딩 및 언로딩을 위한 제1카세트이송부와, 언로딩위치(P2)에서의 카세트(30)의 로딩 및 언로딩을 위한 제2카세트이송부를 포함할 수 있다.
또한 상기 카세트이송부는, 다른 예로서, 로딩위치(P1)에 위치된 카세트(30)로부터 기판처리될 다수의 기판(10)들이 인출되며, 기판처리된 다수의 기판(10)들이 언로딩위치(P2)에 위치된 카세트(30)에 적재되도록 카세트(30)를 로딩위치(P1) 및 언로딩위치(P2)로 순차적으로 이송하도록 구성될 수 있다.
구체적으로, 상기 카세트이송부는, 도 1에 도시된 바와 같이, 기판교환모듈(300)의 일측에 설치되어 카세트(30)가 로딩위치(P1) 및 언로딩위치(P2)를 순차적으로 거치도록 구성될 수 있다.
이때 상기 카세트이송부는, 카세트(30)의 이송방식에 따라서 컨베이어벨트 등 다양한 구성이 가능하며, 카세트(30)의 이송방향에 따라서 로딩위치(P1) 및 언로딩위치(P2)를 기준으로 순차적으로 설치된 제1카세트이송부(710), 제2카세트이송부(720) 및 제3카세트이송부(730)를 포함할 수 있다.
상기 제1카세트이송부(710), 제2카세트이송부(720) 및 제3카세트이송부(730)는, 카세트(30)의 이송을 위한 구성으로서 카세트(30)의 이송방식에 따라서 컨베이어벨트 등 다양한 구성이 가능하다.
이상은 본 발명에 의해 구현될 수 있는 바람직한 실시예의 일부에 관하여 설명한 것에 불과하므로, 주지된 바와 같이 본 발명의 범위는 위의 실시예에 한정되어 해석되어서는 안 될 것이며, 위에서 설명된 본 발명의 기술적 사상과 그 근본을 함께하는 기술적 사상은 모두 본 발명의 범위에 포함된다고 할 것이다.
10: 기판 20: 트레이
30: 카세트 300: 기판교환모듈
400: 카세트이송모듈

Claims (10)

  1. 다수의 기판(10)들이 트레이(20)에 안착된 상태로 기판처리를 수행하는 하나 이상의 기판처리모듈과;
    상기 기판처리모듈에서 기판처리된 다수의 기판(10)들을 트레이(20)로부터 언로딩하는 동시에 기판처리될 다수의 기판(10)들을 트레이(20)에 로딩하는 기판교환모듈(300)과;
    로딩위치(P1)에 위치된 카세트(30)로부터 기판처리될 다수의 기판(10)들이 인출되며, 기판처리된 다수의 기판(10)들이 언로딩위치(P2)에 위치된 카세트(30)에 적재되도록 카세트(30)를 상기 로딩위치(P1) 및 상기 언로딩위치(P2)로 각각 위치시키는 카세트이송모듈(400)을 포함하는 기판처리시스템의 카세트이송모듈(400)로서,
    상기 로딩위치(P1) 및 상기 언로딩위치(P2)에 각각 설치되며, 상기 카세트(30)에 대한 상기 기판(10)의 도입 또는 배출을 위한 설정위치에 상기 카세트(30)의 정렬 및 고정 후 상하이동에 의하여 상기 카세트(30)에 상기 기판(10)이 도입 또는 배출되도록 하는 카세트핸들링부(500, 600)를 포함하며;
    상기 로딩위치(P1) 및 상기 언로딩위치(P2)에 설치된 상기 카세트핸들링부(500, 600)들 중 적어도 어느 하나는,
    상기 카세트(30)의 하부를 지지하는 하부지지부(520)와;
    상기 카세트(30)의 상부를 정렬 및 고정하는 상부지지부(510)와;
    상기 상부지지부(510) 및 상기 하부지지부(520)에 의하여 지지된 카세트(30)를 상하로 이동시키는 카세트상하이동부를 포함하며,
    상기 상부지지부(510)는,
    상기 카세트(30)의 상측에 위치되는 상측지지부재(513)와;
    상기 상측지지부재(513)를 상하로 이동시키는 상측지지부재상하이동부(512)와;
    상기 상측지지부재(513)에 결합되어 카세트(30)의 상단부(31)의 상측 모서리 및 측면 중 적어도 하나를 가압하여 상기 카세트(30)의 위치를 정렬하는 복수의 정렬부재(511)들을 포함하며,
    상기 카세트(30)의 상단부(31)의 평면형상은, 상측에서 보았을 때 직사각형의 형상을 가지며, 기판(10)의 도입 및 배출 측의 방향을 카세트(30)의 전방으로 하였을 때,
    상기 복수의 정렬부재(511)는, 상기 카세트(30)의 전방 및 후방 중 적어도 일부와 한 쌍의 측방에 설치되는 것을 특징으로 하는 기판처리시스템의 카세트이송모듈.
  2. 삭제
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 복수의 정렬부재(511)들 중 상기 카세트(30)의 전방을 제외한 나머지 정렬부재들은, 탄성재질을 가지는 것을 특징으로 하는 기판처리시스템의 카세트이송모듈.
  4. 청구항 3에 있어서,
    탄성재질을 가지는 상기 정렬부재(511)는,
    상기 카세트(30)의 외측면과 평행하게 설치되는 수평방향 중심축을 가지는 원기둥형상을 가지는 것을 특징으로 하는 기판처리시스템의 카세트이송모듈.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 원기둥형상의 정렬부재(511)는, 상기 중심축에 위치된 회전축을 중심으로 회전 가능하도록 설치되는 것을 특징으로 하는 기판처리시스템의 카세트이송모듈.
  6. 청구항 1에 있어서,
    상기 하부지지부(520)는,
    상기 카세트(30)가 안착되어 상기 카세트(30)를 지지하는 하부지지부재(521)와;
    상기 하부지지부재(521)가 상기 카세트(30)의 저면 중 일부에 밀착되도록 상기 하부지지부재(521)를 상하이동시키는 하부지지부재상하이동부(523)와;
    상기 하부지지부재(521)에 설치되어 카세트(30)의 측면 중 상기 한 쌍의 측방에 대응되는 측면들을 가압하는 저면고정부(522)를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리시스템의 카세트이송모듈.
  7. 청구항 1에 있어서,
    상기 상측지지부재(513)는,
    상기 카세트(30)의 상단부(31)에 형성된 복수의 얼라인홈에 삽입되는 하나 이상의 얼라인핀이 설치된 것을 특징으로 하는 카세트이송모듈.
  8. 청구항 1에 있어서,
    상기 카세트이송모듈(400)은,
    상기 기판교환모듈(300)에 대하여 상기 로딩위치(P1)에서의 카세트(30)의 로딩 및 언로딩을 위한 제1카세트이송부와, 상기 언로딩위치(P2)에서의 카세트(30)의 로딩 및 언로딩을 위한 제2카세트이송부를 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트이송모듈.
  9. 청구항 1에 있어서,
    상기 카세트이송모듈(400)은,
    상기 카세트(30)의 이송방향에 따라서 상기 로딩위치(P1) 및 상기 언로딩위치(P2)를 기준으로 순차적으로 설치된 제1카세트이송부(710), 제2카세트이송부(720) 및 제3카세트이송부(730)를 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트이송모듈.
  10. 다수의 기판(10)들이 트레이(20)에 안착된 상태로 기판처리를 수행하는 하나 이상의 기판처리모듈과;
    상기 기판처리모듈에서 기판처리된 다수의 기판(10)들을 트레이(20)로부터 언로딩하는 동시에 기판처리될 다수의 기판(10)들을 트레이(20)에 로딩하는 기판교환모듈(300)과;
    로딩위치(P1)에 위치된 카세트(30)로부터 기판처리될 다수의 기판(10)들이 인출되며, 기판처리된 다수의 기판(10)들이 언로딩위치(P2)에 위치된 카세트(30)에 적재되도록 카세트(30)를 상기 로딩위치(P1) 및 상기 언로딩위치(P2)로 각각 위치시키는 카세트이송모듈(400)을 포함하며,
    상기 카세트이송모듈(400)은, 청구항 1, 청구항 3 내지 청구항 9 중 어느 하나의 항에 따른 카세트이송모듈(400)인 것을 특징으로 하는 기판처리시스템.
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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR200414794Y1 (ko) * 2006-02-15 2006-04-25 (주)상아프론테크 정렬용 조립체

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20130053101A (ko) * 2011-11-15 2013-05-23 세메스 주식회사 기판 처리 장치
KR101387657B1 (ko) * 2012-03-27 2014-04-21 주식회사 신성에프에이 카세트 정렬 장치
KR102127113B1 (ko) * 2013-10-29 2020-06-29 삼성전자 주식회사 카세트 이송장치 및 이를 이용하여 카세트 이송방법

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR200414794Y1 (ko) * 2006-02-15 2006-04-25 (주)상아프론테크 정렬용 조립체

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