JPH06169003A - 基板搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 基板載置手段を基板受け渡し部に人為的な指
示操作でもって変位するときに、基板載置手段上への基
板の有無に応じた適切な位置で、基板載置手段を基板受
け渡し部に対して変位する。 【構成】 位置決めユニットに対して進退し水平方向に
移動する基板載置アーム１８と、基板載置アーム１８を
昇降する昇降機構と、基板載置アーム１８の水平方向へ
の移動を指示する右回転操作用スイッチ３８ａと、基板
載置アーム１８にに基板が載置されているかどうかを検
出する基板センサを設け、右回転操作用スイッチ３８ａ
の操作があったとき、基板センサによる基板有り検出時
には基板載置アーム１８を位置決めユニットの基板支持
部よりも高い位置に変位し、基板センサによる基板無し
検出時には、基板載置アーム１８を基板支持部よりも低
い位置に変位するように、昇降機構をマイクロコンピュ
ータにより制御する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、半導体基板や液晶表示
装置用ガラス基板、フォトマスク用ガラス基板、光ディ
スク用の基板等の電子部品製造用の基板を、その表面に
形成されたフォトレジスト膜やシリコン酸化膜等の透明
薄膜の厚さを測定する光学式膜厚測定装置や金属薄膜等
を含む各種薄膜の線幅を測定する光学式線幅測定装置、
あるいは、フォトレジストや現像液などの処理液を基板
の上に供給して回転させることにより基板上に塗布液被
膜を形成したり、現像するなどの処理を行う回転式基板
処理装置等の各種の処理装置に搬送したり、各種処理装
置から搬出したりするために、基板受け渡し部に対して
進退するとともに基板を載置した状態で水平方向に移動
する基板載置手段と、その基板載置手段を昇降する昇降
機構とを備えた基板搬送装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】上述のような処理装置では、例えば、通
常、マイクロコンピュータ等の制御手段による自動的な
制御により、多数の基板を収納したカセットから順次基
板を取り出し、同じ処理を多数の基板に連続して行う自
動処理ができるようになっている。また、それととも
に、それまで行っていた処理とは別の新しい処理を行う
などの場合に、１枚の基板を試験的に搬送・搬出して処
理具合を試すとか、あるいは、研究や試験などのため
に、１枚の基板を割り込み処理するような場合が多々あ
り、そのような場合に対処するために、基板搬送装置の
基板載置手段を人為的な指示操作で水平方向に移動させ
たり、昇降機構を人為的な指示操作で操作して基板載置
手段を昇降させたりできるように構成している。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
基板搬送装置では、搬入側や処理装置側での基板受け渡
し部に載置された基板を受け取るために、その基板受け
渡し位置より低い位置に基板載置手段を変位させたり、
また、基板搬送装置の基板載置手段に載置された基板を
基板受け渡し部に渡すために、その基板受け渡し位置よ
りも高い位置に基板載置手段を変位させたりするといっ
たことを、操作者が視覚的に確認しながら、その都度、
基板載置手段の上下動を指示操作することにより行って
いた。そのため、誤操作により、基板受け渡し部に載置
された基板に基板載置手段を衝突させたり、また、基板
載置手段に載置された基板を基板受け渡し部よりも低い
位置で水平方向に変位させて基板受け渡し部に衝突させ
たりすることがあり、基板の受け渡し不良を招き、基板
を破損したり、その表面を汚染してしまう欠点があっ
た。

【０００４】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たものであって、基板載置手段を基板受け渡し部に人為
的な指示操作でもって変位させるときに、基板載置手段
に基板が載置されているか否かに応じて適切な位置に、
基板載置手段を基板受け渡し部に対して変位させること
ができるようにすることを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明は、上述のような
目的を達成するために、基板受け渡し部に対して進退す
るとともに基板を載置した状態で水平方向に移動する基
板載置手段と、その基板載置手段を昇降する昇降機構と
を備えた基板搬送装置であって、基板載置手段の水平方
向への移動を指示する指示手段と、基板載置手段に基板
が載置されているかどうかを検出し、基板の載置された
状態で載置検出信号を出力するとともに、基板が載置さ
れていない状態で非載置検出信号を出力する基板センサ
と、指示手段による指示があったときに、前記載置検出
信号に応答して基板載置手段を基板受け渡し位置よりも
高い位置に変位するとともに前記非載置検出信号に応答
して基板載置手段を基板受け渡し位置よりも低い位置に
変位するように昇降機構を作動する制御手段とを備えて
構成する。

【０００６】

【作用】本発明の基板搬送装置の構成によれば、指示手
段により基板載置手段を移動させる指示があったとき
に、基板載置手段に基板が無ければ、基板センサから非
載置検出信号が出力され、制御手段は、この非載置検出
信号を取り込んで基板載置手段が基板受け渡し部に基板
を受け取りに行く状態であると判断して、昇降機構を下
降させる。これによって基板移送手段は、基板受け渡し
部に載置された基板を受け取る基板受け渡し位置よりも
低い位置に変位し、そこから上昇することによって基板
を基板受け渡し部から良好に受け取ることができる。

【０００７】一方、基板載置手段に基板が有れば、基板
センサから載置検出信号が出力され、制御手段は、この
載置検出信号を取り込んで基板載置手段が基板を基板受
け渡し部に渡しに行く状態であると判断して、昇降機構
を上昇させる。これによって基板移送手段は基板を載置
すべき基板受け渡し部の基板受け渡し位置よりも高い位
置に変位し、そこから下降することによって基板を基板
受け渡し部に良好に渡すことができる。

【０００８】

【実施例】

＜実施例＞次に、本発明の実施例を図面に基づいて詳細
に説明する。

【０００９】図１は、本発明に係る基板搬送装置を備え
た光学式自動膜厚測定装置の一部省略平面図、図２は全
体正面図であり、台１上に、カセット載置部２、移載ロ
ボット３、測定前に基板の位置決めを行う位置決めユニ
ット４および測定ステージ５、および、測定手段として
の顕微鏡に分光器を組み付けた顕微分光装置６が設けら
れている。

【００１０】カセット載置部２は、複数個の基板Ｗを上
下方向に多段状に収納したカセット７を載置するように
構成され、移載ロボット３の駆動昇降によって所定位置
の基板Ｗをカセット７から取り出し、位置決めユニット
４を経て測定ステージ５に移載する。そして、顕微分光
装置６が基板Ｗ表面の所望位置の分光特性から、基板Ｗ
のその位置に形成されている薄膜の厚さを測定し、膜厚
を測定した後には移載ロボット３が測定ステージ５より
基板Ｗを取り出してカセット７へ収納できるように構成
されている。

【００１１】図３の斜視図で示す移載ロボット３は、図
４の要部の縦断面図、図５の一部切欠正面図、および、
図６の横断面図に示すものである。それぞれの図に示す
ように、搭載台８に、一対のガイドロッド１２，１２を
介して昇降可能にモータ台１３が設けられるとともに、
そのモータ台１３の下方に突設されたネジ軸１４に、内
ネジを形成したネジ部材１５が螺合され、そのネジ部材
１５と正逆転可能な昇降用電動モータ１６とが第１のベ
ルト式伝動機構１７を介して連動連結され、昇降用電動
モータ１６の正逆転駆動によって移載ロボット３の真空
吸着式の基板載置アーム１８を昇降するように昇降機構
１９が構成されている。

【００１２】モータケース２１は、次のようにして回転
するように構成されている。モータケース２１は、モー
タケース２１の下部がモータ台１３を貫通して、モータ
台１３に正逆回転可能な状態で支持されている。モータ
ケース２１のモータ台１３より下へ貫通した部分には、
第３のベルト式伝動機構２５が組み付けられている。

【００１３】第３のベルト式伝動機構２５は、従動プー
リー２５ａと駆動プーリー２５ｂおよび回転伝達ベルト
２５ｃから構成され、従動プーリー２５ａは、モータケ
ース２１と一体に回転するようにモータケース２１の下
端に取り付けられたプーリーである。駆動プーリー２５
ｂは、回転軸２２に環装されて、回転軸２２とは一体に
回転するように回転軸２２と係合し、ただし、モータ台
１３と一体に昇降するようにモータ台１３に正逆回転可
能に取り付けられている。回転伝達ベルト２５ｃは、両
プーリー２５ａ，２５ｂに巻回されている。要するに、
第３のベルト式伝動機構２５は、モータケース２１を、
昇降自在な状態で、回転軸２２に連れて回転するよう
に、モータケース２１を回転軸２２に連動連結するもの
である。

【００１４】なお、回転軸２２は、モータ台１３が昇降
自在な状態で、モータ台１３を貫通した状態で、搭載台
８に正逆回転可能に組み付けられ、第２のベルト式伝動
機構２４を介して連動された左右回転用電動モータ２３
によって回転駆動される。

【００１５】このようにして、左右回転用電動モータ２
３の正逆回転駆動によってモータケース２１を回転し、
基板載置アーム１８をカセット載置部２側を向く姿勢と
位置決めユニット４を向く姿勢と、測定ステージ５側を
向く姿勢とに姿勢変更するように構成されている。

【００１６】進退用電動モータ２０の出力軸２６には、
リンク機構２７を介して基板載置アーム１８が設けら
れ、進退用電動モータ２０の正逆転駆動によって基板載
置アーム１８の先端部が直線状の動線を描くようにして
移動するように構成されている。

【００１７】すなわち、詳述しないが、リンク機構２７
を構成する第１および第２のリンクケース２７ａ，２７
ｂそれぞれの内に固定ギアと回転ギアとが設けられると
ともにそれらギアにチェーンが巻回され、かつ、第２の
リンクケース２７ｂに回転可能に基板載置アーム１８が
取り付けられ、第１のリンクケース２７ａを正逆転する
ことにより第１のリンクケース２７ａに対して第２のリ
ンクケース２７ｂを直列状に並ぶ進出姿勢と屈曲させた
縮退姿勢とに屈伸するとともに、第２のリンクケース２
７ｂに対して基板載置アーム１８を回転しすることによ
り、基板載置アーム１８の先端部が直線状の動線を描く
ようにして移動するように構成されている。

【００１８】前記基板載置アーム１８には真空吸着孔２
８…が形成され、その真空吸着孔２８…と真空源２９と
が、図７の概略側面図に示すように、基板載置アーム１
８、第１および第２のリンクケース２７ａ，２７ｂおよ
びモータケース２１それぞれに形成した通気路Ｒ…を介
して接続されている。また、モータケース２１内の通気
路Ｒには電磁開閉弁３０と通気路Ｒ内の圧力によって基
板Ｗの有無を検出する基板センサ３１とが設けられてい
る。

【００１９】台１には、図８の拡大平面図に示すよう
に、人為操作用のパネル３２が設けられ、このパネル３
２に、カセット載置部２に設けられカセット７内の基板
の収納位置を検出するセンサーアーム３３を操作するセ
ンサーアーム上昇操作用スイッチ３４ａとセンサーアー
ム下降操作用スイッチ３４ｂ、移載ロボット３を操作す
るための、カセット７に沿って大きく昇降変位させる上
昇操作用スイッチ３５ａと下降操作用スイッチ３５ｂ、
基板Ｗの受け渡しのために小さく昇降変位させる微上昇
操作用スイッチ３６ａと微下降操作用スイッチ３６ｂ、
基板載置アーム１８を進出させる進出操作用スイッチ３
７ａと縮退させる縮退操作用スイッチ３７ｂ、基板載置
アーム１８を時計回り方向に回転する右回転操作用スイ
ッチ３８ａと反時計回り方向に回転する左回転操作用ス
イッチ３８ｂ、電磁開閉弁３０を開あるいは閉状態に切
換えて真空吸着を行わせるあるいは停止させる真空吸着
スイッチ３９、位置決めユニット４におけるセンタリン
グ操作用スイッチ４１ａとオリエンテーションフラット
操作用スイッチ４１ｂ、および、移載ロボット３を手前
側のカセット７の最下部に収容された基板Ｗを取り出す
初期設定位置に戻す復帰操作用スイッチ４２と人為（マ
ニュアル）操作を行う人為操作用スイッチ４３とが備え
られている。

【００２０】図９は、基板搬送装置の全体構成を示すブ
ロック図であり、カセット載置部２とそれに付設されカ
セット内の基板の収納位置を検出するセンサーアーム３
３、移載ロボット３とその基板載置アーム１８における
基板の有無を検出する基板センサ３１、位置決めユニッ
ト４、測定ステージ５、パネル３２は、各々マイクロコ
ンピュータ４４に接続されている。要部の詳細は、図１
０のブロック図に示すように、基板Ｗの受け渡しのため
に小さく昇降変位させる上昇操作用スイッチ３６ａと下
降操作用スイッチ３６ｂ、右回転操作用スイッチ３８ａ
と左回転操作用スイッチ３８ｂ、および、基板センサ３
１がマイクロコンピュータ４４に接続されるとともに、
そのマイクロコンピュータ４４に昇降用電動モータ１６
と電磁開閉弁３０とが接続されている。なお、その他の
スイッチやモータも、図９および図１０それぞれに示し
ていないがマイクロコンピュータ４４に接続されてい
る。マイクロコンピュータ４４には、操作判別手段４５
と基板吸着判別手段４６と昇降操作判別手段４７と基準
高さ記憶手段５０とが備えられている。

【００２１】基準高さ記憶手段５０には、カセット載置
部２、位置決めユニット４及び測定ステージ５と基板載
置アーム１８との間で基板の受け渡しを行う時に基準と
なる基準高さが記憶されている。基準高さは、カセット
載置部２についてはそこに載置されるカセット７の最下
部にある基板支持部７ａの高さ、位置決めユニット４及
び測定ステージ５についてはその各々の基板支持部４
ａ，５ａの高さである。なお、カセット載置部２につい
ては、そこに載置されるカセット７の基板支持部７ａに
おいて、原点位置とする最下段の基板収納位置が基板受
け渡し位置であり、位置決めユニット４及び測定ステー
ジ５については、その各々の基板支持部４ａ，５ａが基
板受け渡し位置である。

【００２２】操作判別手段４５では、右回転操作用スイ
ッチ３８ａまたは左回転操作用スイッチ３８ｂが操作さ
れるに伴って操作検出信号を基板吸着判別手段４６に出
力するようになっている。

【００２３】基板吸着判別手段４６では、前記操作検出
信号を受けたときに、前記基板センサ３１による検出結
果に基づき、基板載置アーム１８に基板Ｗが載置されて
いるかどうかを判別し、基板Ｗの載置された状態で載置
検出信号を、一方、基板Ｗが載置されていない状態で非
載置検出信号をそれぞれ昇降用電動モータ１６の駆動回
路４８に出力する。駆動回路４８においては、載置検出
信号に応答して昇降用電動モータ１６を駆動し、基板載
置アーム１８を基板受け渡し位置よりも高い位置に変位
させるとともに、非載置検出信号に応答して昇降用電動
モータ１６を駆動し、基板載置アーム１８を基板受け渡
し位置よりも低い位置に変位させるようになっている。

【００２４】昇降操作判別手段４７では、微上昇操作用
スイッチ３６ａと微下降操作用スイッチ３６ｂの指示動
作を受け、微上昇操作用スイッチ３６ａが操作されるに
伴って電磁開閉弁３０に開き信号を出力し、一方、微下
降操作用スイッチ３６ｂが操作されるに伴って電磁開閉
弁３０に閉じ信号を出力するようになっている。

【００２５】移載ロボット３は、待機時には、カセット
７に収納した複数の基板の測定を連続して自動的に行う
自動処理実行の初期設定位置、即ち、カセット載置部２
の基準高さに停止しているものとする。

【００２６】この状態で、臨時にカセット７に収容され
ている基板とは別の基板を割り込み処理的に膜厚測定す
る場合、本実施例に係る装置は以下のように動作する。

【００２７】膜厚測定するには、基板は測定ステージ５
に対して精密に位置決めされた状態で載置されねばなら
ないため、直接的に操作者が基板を測定ステージ５に基
板を載置することはできず、移載ロボット３から位置決
めユニット４へ搬送して位置決めをした後に測定ステー
ジ５へ搬送する必要があり、操作者は移載ロボット３に
対して、（ａ）位置決めユニット４への基板搬入作業、
（ｂ）位置決めユニット４からの基板搬出作業、（ｃ）
測定ステージ５への基板搬入作業、（ｄ）測定ステージ
５への基板搬出作業を順番に行わせる。

【００２８】＜（ａ）位置決めユニット４への基板搬入
作業＞先ず、操作者は人為操作用スイッチ４３を押し
て、人為操作可能な動作状態（マニュアルモード）に設
定する。そして、測定したい基板Ｗを基板載置アーム１
８にピンセット等を用いて載せ、真空吸着スイッチ３９
を操作して電磁開閉弁３０を開状態にしてその基板Ｗを
吸着保持させる。

【００２９】次に、操作者は、基板Ｗを位置決めユニッ
ト４へ搬入するべく、基板載置アーム１８を、位置決め
ユニット４へ向かうように９０度右回転させ、位置決め
ユニット４の基板受け渡し位置より高い状態とし、位置
決めユニット４へ進出させ、そこで微降下させることで
基板Ｗを位置決めユニット４へ移載し、位置決めユニッ
ト４が位置決め動作をするために動くのを邪魔しないよ
うに縮退させる……以上からなる一連の動作を意図し
て、右回転操作用スイッチ３８ａ（ただし、右回転操作
用スイッチ３８ａや左回転操作用スイッチ３８ｂは、１
回押される度に基板載置アーム１８を９０度回転するよ
うになっており、この場合右回転操作用スイッチ３８ａ
は１回押される）、進出操作用スイッチ３７ａ、微下降
操作用スイッチ３６ｂ、縮退操作用スイッチ３７ｂを順
番に指示操作する。この際、本実施例の基板搬送装置
は、次のように動作する。

【００３０】先ず最初に、本実施例の基板搬送装置は操
作者から人為操作用スイッチ４３が指示操作されると、
パネル３２における基板載置アーム１８の昇降・進退・
回転に関する各種スイッチ３５ａ，３５ｂ、３６ａ，３
６ｂ、３７ａ，３７ｂ、３８ａ，３８ｂのいづれかが、
指示操作されたかを監視する状態となる。［図１１に示
す人為操作時動作フローチャートにおいて、ステップＳ
１→Ｓ２……Ｓ９→Ｓ１→Ｓ２……と周回する状態］

【００３１】この状態で、前述したように操作者から最
初に指示操作されたのが右回転操作用スイッチ３８ａで
あるので、本実施例の基板搬送装置は「アーム１８右回
転」動作を実行する。［Ｓ２→Ｓ２０］

【００３２】このアーム１８右回転動作［Ｓ２０］と
は、詳しくは図１２の（ａ）のフローチャートに示す。
すなわち、右回転操作用スイッチ３８ａが指示操作され
ると、操作判別手段４５が基板吸着判別手段４６に検出
操作信号を出し、前述のように、すでに操作者によって
基板載置アーム１８に基板Ｗが置かれているから、基板
吸着判別手段４６において、基板吸着センサ３１はＯＮ
（基板吸着状態）、つまりＹＥＳと判定し、載置検出信
号を第２の電動モータ１６の駆動回路４８に出力する。
［Ｓ２０］

【００３３】駆動回路４８は、基板載置アーム１８の高
さが、回転指示された向きの対応する基板受け渡し位置
にあるかを判定する。この判定は、次のように為され
る。

【００３４】基板載置アーム１８は９０度ごとのいずれ
の方向を向いているかが、図示しない手段により常時認
識されており、前記右回転操作用スイッチ３８ａまたは
左回転操作用スイッチ３８ｂが指示操作されると、指示
操作された時点での基板載置アーム１８の向きと、その
押された回数から、操作判別手段４５は、位置決めユニ
ット４か、カセット載置部２、測定ステージ５のいづれ
に向かうよう指示されたかを判別し、該当する向きに対
応する基板受け渡し位置を、基準高さを記憶手段５０よ
り読み出し、その高さに対して、基板載置アーム１８が
上位にあるかを判定する。

【００３５】なお、この位置決めユニット４への基板搬
入作業では、前述のように、基板載置アーム１８がカセ
ット載置部２へ向いた状態で、右回転操作用スイッチ３
８ａを１回押しているので、基板載置アーム１８の右９
０度方向に配備されている位置決めユニット４の基板受
け渡し位置に対して、高い位置にあるかで判定が為され
る。［ステップＳ２２］

【００３６】また、前記ステップＳ２２では、右回転操
作用スイッチ３８ａが指示操作された時点での基板載置
アーム１８の高さは、位置決めユニット４の基板受け渡
し位置より低い位置にあるので「ＮＯ」と判定するか
ら、高い位置となるように、マイクロコンピュータ４４
から駆動回路４８へ駆動信号を出力し、昇降駆動モータ
１６が駆動して基板載置アーム１８が上昇する。［ステ
ップＳ２３］

【００３７】このようにして、基板載置アーム１８が位
置決めユニット４の基板受け渡し位置より高い位置まで
上昇し終えると、マイクロコンピュータ４４からの指令
で左右回転用電動モータ２３が駆動し、基板載置アーム
１８が右回転する。［ステップＳ２４］

【００３８】なお、前記昇降動作と回転動作が、同時に
進行するようにしてもよい、また、左回転操作用スイッ
チ３８ｂが指示操作された場合には、図１２の（ｂ）の
ようなフローチャートのようにしてアーム１８左回転動
作が実行される。図１２の（ａ）と図１２の（ｂ）との
違いは、ステップＳ２４とステップＳ３４とが違うだけ
である。

【００３９】以上のようにして、図１１のステップＳ２
０に示す「アーム１８右回転」動作が終了すると、再度
ステップＳ１に戻るが、まだ、人為操作用スイッチ４３
はＯＮに指示操作されたままであるので、ステップＳ２
に進み、右回転操作用スイッチ３８ａもＯＮの状態では
ないのでステップＳ３に進み、左回転操作用スイッチ３
８ｂもＯＮの状態ではないのでステップＳ４に進む。
［ステップＳ１→Ｓ２→Ｓ３→Ｓ４］

【００４０】前述したように、操作者からは、右回転操
作用スイッチ３８ａの次に、進出操作用スイッチ３７ａ
が指示操作されているので、ステップＳ４にて、進出操
作用スイッチ３７ａがＯＮであると判定し、ステップＳ
４０の「アーム１８進出動作」を実行する。［Ｓ４→Ｓ
４０］

【００４１】このアーム１８進出動作は、進退用電動モ
ータ２０を駆動することにより、基板載置アーム１８に
載置された基板Ｗを位置決めユニット４の上方へ差し出
すように基板載置アーム１８を動かす動作である［ステ
ップＳ４４］

【００４２】以上のようにして、図１１のステップＳ４
０に示す「アーム１８進出」動作が終了すると、再度ス
テップＳ１に戻るが、人為操作用スイッチ４３はＯＮに
指示操作されたままで、右回転操作用スイッチ３８ａは
ＯＮ状態でなく、左回転操作用スイッチ３８ｂ、進出操
作用スイッチ３７ａ、縮退操作用スイッチ３７ｂ、微上
昇操作用スイッチ３６ａもＯＮ状態にないので、ステッ
プＳ７へ進む。［ステップＳ１→Ｓ２→Ｓ３→Ｓ４→Ｓ
５→Ｓ６→Ｓ７］

【００４３】ステップＳ７では、前述したように操作者
から、進出操作用スイッチ３７ａの次に微下降操作用ス
イッチ３６ｂが指示操作されているので、ステップＳ７
０へ進む。

【００４４】このステップＳ７０では、動作昇降操作判
別手段４７が、微下降が指示操作された旨の判定を下
し、この昇降操作判別手段４７から電磁開閉弁３０に閉
じ信号を出力して基板載置アーム１８の真空吸着による
吸着結合関係を解除［ステップＳ７０］してから、続き
のステップＳ７１にて、昇降用電動モータ１６の駆動回
路４８に駆動信号を出力することで基板載置アーム１８
を位置決めユニット４の基板受け渡し位置より下へ下降
する。その下降する間に、基板Ｗは基板載置アーム１８
から位置決めユニット４へ移載（図１３の概略側面図参
照）される。［ステップＳ７１］

【００４５】以上のようにして、図１１のステップＳ７
１に示す「アーム１８微下降」動作が終了すると、再度
ステップＳ１に戻るが、まだ、人為操作用スイッチ４３
はＯＮに指示操作されたままで、右回転操作用スイッチ
３８ａ、左回転操作用スイッチ３８ｂ、進出操作用スイ
ッチ３７ａはＯＮ状態にないので、ステップＳ５へ進
む。［ステップＳ１→Ｓ２→Ｓ３→Ｓ４→Ｓ５］

【００４６】ステップＳ５では、前述したように操作者
より微下降操作用スイッチ３６ｂの次に縮退操作用スイ
ッチ３７ｂが指示操作されているので、「アーム１８縮
退」動作を実行するように判定する。

【００４７】このアーム１８縮退動作は、進退用電動モ
ータ２０を駆動して、基板載置アーム１８を、折れ曲が
るように縮退して、位置決めユニット４から離れるよう
に動作する。［ステップＳ５０］

【００４８】以上のような一連の動作にて、操作者から
の指示操作に従って位置決めユニット４への基板搬入作
業が完了する。

【００４９】なお、この位置決めユニット４への基板搬
入作業が完了した時点では、まだ人為操作用スイッチ４
３はＯＮ状態のままで、操作者から指示操作された全て
の動作が完了しているので、図１１において、ステップ
Ｓ１でＹＥＳ、ステップＳ２〜Ｓ９でＮＯと判定する状
況であるので、パネル３２における基板載置アーム１８
の回転・進退・昇降に関する各種のスイッチ３５ａ，３
５ｂ，３６ａ，３６ｂ，３７ａ，３７ｂ，３８ａ，３８
ｂのいづれが指示操作されるかを監視している状態にあ
る。［図１１に示す人為操作時動作フローチャートにお
いて、ステップＳ１→Ｓ２……Ｓ９→Ｓ１→Ｓ２……と
周回する状態］

【００５０】このような状態で、センタリング操作用ス
イッチ４１ａ、オリエンテーションフラット操作用スイ
ッチ４１ｂを操作することにより、位置決めユニット４
における基板Ｗの位置決め動作、即ち基板Ｗのセンタリ
ングやオリエンテーションフラットの位置合わせ処理が
行われる。

【００５１】＜（ｂ）位置決めユニット４からの基板搬
出作業＞かかる位置決め処理が終了した後、位置決めユ
ニット４から基板Ｗを搬出するべく操作者は、基板載置
アーム１８を、位置決めユニット４の基板受け渡し位置
より低い状態で、位置決めユニット４へ進出させ、そこ
で微上昇させることで基板Ｗを位置決めユニット４から
基板載置アーム１８へ移載し、縮退させるとの一連の動
作を意図して、進出操作用スイッチ３７ａ，微上昇操作
用スイッチ３６ａ，退出操作用スイッチ３７ａを順番に
指示操作する。

【００５２】この位置決めユニット４からの基板搬出作
業において、本実施例の基板搬送装置は、次のように動
作する。

【００５３】位置決めユニット４からの基板搬出作業に
おいて、前述したように操作者から最初に指示操作され
たのは、進出操作用スイッチ３７ａであるから、ステッ
プＳ４にて、進出操作用スイッチ３７ａがＯＮ状態と判
定され、ステップＳ４０の「アーム１８進出」動作を実
行する。

【００５４】このアーム１８進出動作［ステップＳ４
０］は、進退用電動モータ２０が駆動して基板載置アー
ム１８を、位置決めユニット４に支持されている基板の
下方へ差し出すように移動する。［ステップＳ４０］

【００５５】以上のようにして「アーム１８進出」動作
が終了すると、再度ステップＳ１に戻るが、まだ、人為
操作用スイッチ４３はＯＮに指示操作されたままで、右
回転操作用スイッチ３８ａ、左回転操作用スイッチ３８
ｂ、進出操作用スイッチ３７ａ、縮退操作用スイッチ３
７ｂはＯＮ状態にないので、ステップＳ６へ進む。［ス
テップＳ１→Ｓ２→Ｓ３→Ｓ４→Ｓ５→Ｓ６］

【００５６】ステップＳ６では、前述したように操作者
から、先の進出操作用スイッチ３７ａの次に微上昇操作
用スイッチ３６ａが指示操作されているので、「アーム
１８微上昇」動作を実行するように判定が下される。

【００５７】このアーム１８微上昇動作とは、昇降操作
判別手段４７が、微上昇が指示操作された旨の判定を下
し、この昇降操作判別手段４７から電磁開閉弁３０に開
信号を出力して基板載置アーム１８を真空吸着可能な状
態で［ステップＳ６０］、昇降用電動モータ１６の駆動
回路４８に駆動信号を出力して、基板載置アーム１８が
位置決めユニット４の基板受渡し位置より上へ上昇し、
その上昇する間に、基板Ｗを位置決めユニット４から基
板載置アーム１８へ移載（図１３の概略側面図参照）す
る。［ステップＳ６１］

【００５８】以上のようにして、ステップＳ６１に示す
「アーム１８微上昇」動作が終了すると、再度ステップ
Ｓ１に戻るが、人為操作用スイッチ４３はＯＮに指示操
作されたままで、右回転操作用スイッチ３８ａ、左回転
操作用スイッチ３８ｂ、縮退操作用スイッチ３７ｂはＯ
Ｎ状態にないので、ステップＳ５へ進む。［ステップＳ
１→Ｓ２→Ｓ３→Ｓ４→Ｓ５→Ｓ６］

【００５９】ステップＳ５では、前述したように操作者
から先の微上昇操作用スイッチ３６ａの次に縮退操作用
スイッチ３７ｂが指示操作されているので、「アーム１
８縮退」動作を実行するよう判定する。このアーム１８
縮退動作は、昇降操作判別手段４７が、微下降が指示操
作された旨の判定を下して、昇降用電動モータ１６の駆
動回路４８へ駆動信号を出力し、基板載置アーム１８は
折れ曲がるように縮退して、位置決めユニット４から離
れる。［ステップＳ５０］

【００６０】以上のような一連の動作にて、操作者の操
作に従って位置決めユニット４からの基板搬出作業が完
了する。

【００６１】なお、この位置決めユニットからの基板搬
出作業が完了した時点は、先の位置決めユニット４への
基板搬入作業が完了した時点と同様に、図１１に示す人
為操作時動作フローチャートにおいて、ステップＳ１で
ＹＥＳ、ステップＳ２〜Ｓ９でＮＯと判定される状況で
あるので、パネル３２における基板載置アーム１８の回
転・進退・昇降に関する各種スイッチ３５ａ，３５ｂ，
３６ａ，３６ｂ，３７ａ，３７ｂ，３８ａ，３８ｂのい
づれかが指示操作された状況にあるかを監視する状態に
ある。［図１１に示す人為操作時動作フローチャートに
おいて、ステップＳ１→Ｓ２……Ｓ９→Ｓ１→Ｓ２……
と周回する状態］

【００６２】＜（ｃ）測定ステージへの基板搬入作業＞
続いて、測定ステージ５へ基板Ｗを搬入するべく、操作
者は、基板載置アーム１８を、測定ステージ５へ向け
て、さらに９０度右回転させ、測定ステージ５の基板受
渡し位置より高い状態とし、位置決めユニット４へ進出
し、そこで微下降し、縮退させる……からなる一連の動
作を意図して、右回転操作用スイッチ３８ａ（１回押さ
れる）、進出操作用スイッチ３７ａ，微下降操作用スイ
ッチ３６ｂ、縮退操作用スイッチ３７ｂを順番に指示操
作する。

【００６３】この際、本実施例に係る基板搬送装置の動
作は、前記位置決めユニット４への基板搬入作業とほぼ
同様で、ステップＳ２２における「所定の基板受け渡し
位置」が位置決めユニット４の基板受け渡し位置ではな
くて測定ステージ５の基板受け渡し位置であることが違
う。

【００６４】＜（ｄ）測定ステージ５からの基板搬出作
業＞最後に、測定ステージ５での測定処理が終了した
後、測定ステージ５から基板Ｗを搬出するべく、操作者
は、基板載置アーム１８を、測定ステージ５の基板受渡
し位置より低い状態とし、測定ステージ５へ進出し、そ
こで微上昇し、縮退させる一連の動作を意図して、進出
操作用スイッチ３７ａ，微上昇操作用スイッチ３６ａ、
縮退操作用スイッチ３７ｂを順番に指示操作する。

【００６５】この際、本実施例に係る基板搬送装置の動
作は、前述の位置決めユニット４からの基板搬出作業と
ほぼ同様であり、ステップＳ３２における「所定の基板
受け渡し位置」が位置決めユニット４の基板受け渡し位
置ではなくて測定ステージ５の基板受け渡し位置となる
ことが違う。

【００６６】以上の構成により、基板Ｗを位置決めユニ
ット４やカセット載置部２、測定ステージ５などに渡す
ときには、基板Ｗを位置決めユニット４やカセット載置
部２、測定ステージ５に衝突させることなく渡し、一
方、基板Ｗを位置決めユニット４や、カセット載置部２
や、測定ステージ５から受け取るときには、基板載置ア
ーム１８を基板Ｗに衝突させることなく受け取ることが
できる。

【００６７】上記実施例では、右回転操作用スイッチ３
８ａまたは左回転操作用スイッチ３８ｂにより基板載置
アーム１８を回転操作したときにのみ、基板センサ３１
からの信号を受け、基板Ｗが載置されているかどうかを
判断しているが、位置決めユニット４や、カセット載置
部２や、測定ステージ５の配置等によっては、例えば、
前進操作用スイッチ３７ａで基板載置アーム１８を前進
操作したときにも基板センサ３１からの信号を受けるよ
うに構成しても良い。

【００６８】上記実施例では、基板載置アーム１８に基
板Ｗが載置されているかどうかを検出するのに、真空源
２９に対する吸気経路の途中箇所での圧力の大きさによ
り検出するように構成しているが、例えば、静電容量式
センサを基板載置アーム１８の基板載置面に設けても良
い。

【００６９】本発明としては、上述実施例のような光学
式自動膜厚測定装置の基板搬送装置に限らず、各種の処
理装置の基板搬送装置に適用できる。

【００７０】なお、本実施例における「位置決めユニッ
ト４」、「カセット載置部」及び「測定ステージ５」の
それぞれが、特許請求の範囲に記載するところの「基板
受け渡し部」に相当し、「基板載置アーム１８」が、特
許請求の範囲に記載するところの「基板移載手段」に相
当する。

【００７１】また、本実施例における「昇降機構１９」
が、特許請求の範囲に記載するところの「昇降機構」に
相当し、「右回転操作用スイッチ３８ａ」、「左回転操
作用スイッチ３８ｂ」のそれぞれが、特許請求の範囲に
記載するところの「指示手段」に相当する。さらに、
「マイクロコンピュータ４４」が、特許請求の範囲に記
載するところの「制御手段」に相当する。

【００７２】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の基板搬送
装置によれば、指示手段により、基板載置手段を基板受
け渡し部に人為的な指示操作でもって変位させるとき
に、基板載置手段に基板が有るか無いかを判断し、その
有無に応じて、基板載置手段または基板受け渡し部それ
ぞれと基板とが互いに干渉しない相対上下位置に基板載
置手段を自ずと変位させるから、視覚的に位置を注意深
く確認しなくても、基板載置手段または基板受け渡し部
を基板に衝突させることを確実に回避して基板載置手段
を変位させることができ、割り込みなどによる基板の処
理を確実かつ容易に行うことができるようになった。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る基板用測定装置の一実施例として
の光学式自動膜厚測定装置の一部省略平面図である。

【図２】全体正面図である。

【図３】移載ロボットの斜視図である。

【図４】要部の縦断面図である。

【図５】一部切欠正面図である。

【図６】横断面図である。

【図７】吸引構成を示す概略側面図である。

【図８】パネルの正面図である。

【図９】ブロック図である。

【図１０】ブロック図である。

【図１１】フローチャートである。

【図１２】フローチャートである。

【図１３】概略側面図である。

【符号の説明】

２…カセット載置部 ４…位置決めユニット ５…測定ステージ １８…基板載置アーム １９…昇降機構 ３１…基板センサ ３７ａ…進出操作用スイッチ ３８ａ…右回転操作用スイッチ ３８ｂ…左回転操作用スイッチ ４４…マイクロコンピュータ Ｗ…基板

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板受け渡し部に対して進退するととも
   に基板を載置した状態で水平方向に移動する基板載置手
   段と、前記基板載置手段を昇降する昇降機構とを備えた
   基板搬送装置であって、 前記基板載置手段の水平方向への移動を指示する指示手
   段と、 前記基板載置手段に基板が載置されているかどうかを検
   出し、基板の載置された状態で載置検出信号を出力する
   とともに、基板が載置されていない状態で非載置検出信
   号を出力する基板センサと、 前記指示手段による指示があったときに、前記載置検出
   信号に応答して前記基板載置手段を基板受け渡し位置よ
   りも高い位置に変位するとともに前記非載置検出信号に
   応答して前記基板載置手段を基板受け渡し位置よりも低
   い位置に変位するように前記昇降機構を作動する制御手
   段とを備えたことを特徴とする基板搬送装置。